JP2002321909A - 表面変性およびドーピングされている熱分解により製造された酸化物、その製法ならびにその使用 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面変性され、ドーピングされている熱分解
により製造された酸化物 【解決手段】 オルガノシラン：ａ）（ＲＯ）_３Ｓｉ
（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）および（ＲＯ）_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２
ｎ− １}）、ｂ）Ｒ´_ｘ（ＲＯ）_ｙＳｉ（Ｃ
_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）および（ＲＯ）_３Ｓｉ（Ｃ
_ｎＨ_{２ ｎ− １}）、ｃ）Ｘ_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およ
びＸ_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ− １}）、ｄ）Ｘ_２（Ｒ´）Ｓｉ
（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およびＸ_２（Ｒ´）Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２
ｎ− １}）、ｅ）Ｘ（Ｒ´）_２Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ _{２ ｎ＋ １}）お
よびＸ（Ｒ´）_２Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ− １}）、ｆ）（Ｒ
Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´、ｇ）（Ｒ´´）_ｘ（Ｒ
Ｏ）_ｙＳｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´、ｈ）Ｘ_３Ｓｉ（Ｃ
Ｈ_２）_ｍ−Ｒ´、ｉ）（Ｒ）Ｘ_２Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ
´、ｊ）（Ｒ）_２ＸＳｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´、シラザ
ン：ｋ） 【化１】 、ｌ）環式ポリシロキサン、ｍ）ポリシロキサンもしく
はシリコーンオイルからなる群からの１種または複数の
化合物で表面変性する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は表面変性およびドー
ピングされている熱分解により製造された酸化物、その
製法ならびにその使用に関する。

【０００２】

【従来の技術】エアロゾルによりドーピングされている
熱分解により製造された酸化物は例えばＤＥ１９６５０
５００Ａ１から公知である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は表面変
性され、エアロゾルによりドーピングされている熱分解
により製造された酸化物である。有利にはこの表面変性
され、エアロゾルによりドーピングされている熱分解に
より製造された酸化物は、酸化物がＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ
_３、ＴｉＯ_２、Ｂ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、Ｉｎ_２Ｏ_３、Ｚｎ
Ｏ、Ｆｅ_２Ｏ_３、Ｎｂ_２Ｏ_５、Ｖ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、Ｓｎ
Ｏ_２、ＧｅＯ_２からなる群からの酸化物であることを特
徴としてよい。

【０００４】

【課題を解決するための手段】表面変性を次の群： ａ）（ＲＯ）_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）および（ＲＯ）
_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ− １}）のタイプのオルガノシラン
［式中、Ｒ＝アルキル、例えばメチル−、エチル−、ｎ
−プロピル−、ｉ−プロピル−、ブチル−；ｎ＝１〜２
０］、 ｂ）Ｒ´_ｘ（ＲＯ）_ｙＳｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）および
（ＲＯ）_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）のタイプのオルガノ
シラン［式中、Ｒ＝アルキル、例えばメチル−、エチル
−、ｎ−プロピル−、ｉ−プロピル−、ブチル−；Ｒ´
＝アルキル、例えばメチル−、エチル−、ｎ−プロピル
−、ｉ−プロピル−、ブチル−；Ｒ´＝シクロアルキ
ル；ｎ＝１〜２０；ｘ＋ｙ＝３；ｘ＝１または２；ｙ＝
１または２］ ｃ）Ｘ_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およびＸ_３Ｓｉ（Ｃ_ｎ
Ｈ_{２ ｎ− １}）のタイプのハロゲンオルガノシラン［式
中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；ｎ＝１〜２０］ ｄ）Ｘ_２（Ｒ´）Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およびＸ
_２（Ｒ´）Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ − １}）のタイプのハロゲン
オルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ´＝ア
ルキル、例えばメチル−、エチル−、ｎ−プロピル−、
ｉ−プロピル−、ブチル−；Ｒ´＝シクロアルキル；ｎ
＝１〜２０］、 ｅ）Ｘ（Ｒ´）_２Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およびＸ（Ｒ
´）_２Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ − １}）のタイプのハロゲンオル
ガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ´＝アルキ
ル、例えばメチル−、エチル−；Ｒ´＝シクロアルキ
ル、ｎ−プロピル−、ｉ−プロピル−、ブチル−；ｎ＝
１〜２０］ ｆ）（ＲＯ）_３Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのオル
ガノシラン［式中、Ｒ＝アルキル、例えばメチル−、エ
チル−、プロピル−；ｍ＝０、１〜２０；Ｒ´＝メチル
−、アリール（例えば−Ｃ_６Ｈ_５、置換されたフェニル
基）、−Ｃ_４Ｆ_９、ＯＣＦ_２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６
Ｆ_１３、−Ｏ−ＣＦ_２−ＣＨＦ_２、−ＮＨ _２、−Ｎ_３、
−ＳＣＮ、−ＣＨ＝ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−
ＮＨ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯ
Ｃ（ＣＨ_３）Ｃ＝ＣＨ_２、−ＯＣＨ _２−ＣＨ（Ｏ）ＣＨ
_２、−ＮＨ−ＣＯ−Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ−
ＣＯＯ−ＣＨ_３、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、−
ＮＨ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）
_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−ＳＨ、−ＮＲ´Ｒ´´Ｒ´´´
（Ｒ´＝アルキル、アリール；Ｒ´´＝Ｈ、アルキル、
アリール；Ｒ´´´＝Ｈ、アルキル、アリール、ベンジ
ル、Ｃ_２Ｈ_４ＮＲ´´´´Ｒ´´´´´、ここでＲ´´
´´＝ＡまたはアルキルならびにＲ´´´´´＝Ｈまた
はアルキル）］、 ｇ）（Ｒ´´）_ｘ（ＲＯ）_ｙＳｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´の
タイプのオルガノシラン［Ｒ´´＝アルキル； ＝シク
ロアルキル；ｘ＋ｙ＝２；ｘ＝１または２；ｙ＝１また
は２；ｍ＝０、１〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリール
（例えば−Ｃ_６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−Ｃ_４
Ｆ_９、−ＯＣＦ_２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６Ｆ_１３、−
Ｏ−ＣＦ_２−ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−Ｎ_３、−ＳＣＮ、
−ＣＨ＝ＣＨ _２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２、−
Ｎ−（ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯＣ（Ｃ
Ｈ_３）Ｃ＝ＣＨ_２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ（Ｏ）ＣＨ_２、−
ＮＨ−ＣＯ−Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ−ＣＯＯ
−ＣＨ_３、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、−ＮＨ−
（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）_３Ｓ
ｉ（ＯＲ）_３、−ＳＨ−ＮＲ´Ｒ´´Ｒ´´´（Ｒ´＝
アルキル、アリール；Ｒ´´＝Ｈ、アルキル、アリー
ル；Ｒ´´´＝Ｈ、アルキル、アリール、ベンジル、Ｃ
_２Ｈ_４ＮＲ´´´´Ｒ´´´´´、ここでＲ´´´´＝
ＡまたはアルキルならびにＲ´´´´´＝Ｈまたはアル
キル）］、 ｈ）Ｘ_３Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのハロゲンオ
ルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；ｍ＝０、１
〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリール（例えば−Ｃ
_６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−Ｃ_４Ｆ_９、−ＯＣ
Ｆ_２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６Ｆ_１３、−Ｏ−ＣＦ_２−
ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−Ｎ_３、−ＳＣＮ、−ＣＨ＝ＣＨ
_２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２
−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯＣ（ＣＨ_３）Ｃ＝Ｃ
Ｈ_２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ（Ｏ）ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＯ−
Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_３、−
ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、−ＮＨ−（ＣＨ_２）_３
Ｓｉ（ＯＲ）_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（Ｏ
Ｒ）_３、−ＳＨ］、 ｉ）（Ｒ）Ｘ_２Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのハロ
ゲンオルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ＝
アルキル、例えばメチル−、エチル−、プロピル−；ｍ
＝０、１〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリール（例えば−
Ｃ_６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−Ｃ_４Ｆ_９、ＯＣ
Ｆ_２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６Ｆ_１３、−Ｏ−ＣＦ_２−
ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−Ｎ_３、−ＳＣＮ、−ＣＨ＝ＣＨ
_２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２
−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯＣ（ＣＨ_３）Ｃ＝Ｃ
Ｈ_２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ（Ｏ）ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＯ−
Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_３、−
ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、−ＮＨ−（ＣＨ_２）_３
Ｓｉ（ＯＲ）_３（ここでＲ＝メチル−、エチル−、プロ
ピル−、ブチル−であってよい）、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）
_３Ｓｉ（ＯＲ）_３（ここでＲ＝メチル−、エチル−、プ
ロピル−、ブチル−であってよい）、−ＳＨ］、 ｊ）（Ｒ）_２ＸＳｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのハロ
ゲンオルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ＝
アルキル；ｍ＝０、１〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリー
ル（例えば−Ｃ_６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−Ｃ
_４Ｆ_９、−ＯＣＦ _２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６Ｆ_１３、
−Ｏ−ＣＦ_２−ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−Ｎ _３、−ＳＣ
Ｎ、−ＣＨ＝ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−Ｎ
Ｈ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯＣ
（ＣＨ_３）Ｃ＝ＣＨ_２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ（Ｏ）Ｃ
Ｈ_２、−ＮＨ−ＣＯ−Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ
−ＣＯＯ−ＣＨ _３、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、
−ＮＨ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ
_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−ＳＨ］、 ｋ）

【０００５】

【化４】

【０００６】のタイプのシラザン［式中、Ｒ＝アルキ
ル；Ｒ´＝アルキル、ビニル］、 ｌ）Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５のタイプの環式ポリシロキサン、
ここでＤ３、Ｄ４、Ｄ５とは−Ｏ−Ｓｉ（ＣＨ_３）_２−
タイプの単位３、４または５個を有する環式ポリシロキ
サンのことである。例えば、オクタメチルシクロテトラ
シロキサン＝Ｄ４：

【０００７】

【化５】

【０００８】ｍ）次のタイプのポリシロキサンもしくは
シリコーンオイル

【０００９】

【化６】

【００１０】［式中、ｍ＝０、１、２、３、．．．∞；
ｎ＝０、１、２、３、．．．∞；ｕ＝０、１、２、
３、．．．∞；Ｙ＝ＣＨ_３、Ｈ、Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋１}（ｎ＝
１〜２０）；Ｙ＝Ｓｉ（ＣＨ_３）_３、Ｓｉ（ＣＨ_３）_２
Ｈ、Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＨ、Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＯＣＨ
_３）、Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）（ｎ＝１〜
２０）；Ｒ＝アルキル、例えばＣ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}（ここで
ｎ＝１〜２０である）、アリール、例えばフェニル−お
よび置換されたフェニル基、（ＣＨ_２）_ｎ−ＮＨ_２、
Ｈ；Ｒ´＝アルキル、例えばＣ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}（ここでｎ
＝１〜２０である）、アリール、例えばフェニル−およ
び置換されたフェニル基、（ＣＨ_２）_ｎ−ＮＨ_２、Ｈ；
Ｒ´´＝アルキル、例えばＣ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}（ここでｎ＝
１〜２０である）、アリール、例えばフェニル−および
置換されたフェニル基、（ＣＨ_２）_ｎ−ＮＨ_２、Ｈ；Ｒ
´´´＝アルキル、例えばＣ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}（ここでｎ＝
１〜２０である）、アリール、例えばフェニル−および
置換されたフェニル基、（ＣＨ_２） _ｎ−ＮＨ_２、Ｈ］か
らの１種または複数の化合物で行うことができる。

【００１１】本発明のもう１つの目的は本発明の表面変
性され、エアロゾルによりドーピングされている熱分解
により製造された酸化物の製法であり、これはエアロゾ
ルによりドーピングされている熱分解により製造された
酸化物を適切な混合容器に予め装入し、激しい混合下に
エアロゾルによりドーピングされている熱分解により製
造された酸化物に場合により先ず、水および／または酸
を、引き続き表面変性試薬または複数の表面変性試薬か
らなる混合物を噴霧し、場合により１５〜３０分間、後
混合し、引き続き温度１００〜４００℃で１〜６時間に
亙り熱処理することを特徴とする。

【００１２】使用される水は酸、例えば塩酸で７〜１の
ｐＨ値まで酸性化されていてよい。使用される表面変性
試薬は好適な溶剤、例えばエタノール中に溶解されてい
てよい。混合および／または熱処理は保護ガス雰囲気、
例えば窒素中で実施することができる。

【００１３】本発明のもう１つの目的は本発明の表面変
性され、エアロゾルによりドーピングされている熱分解
により製造された酸化物の製法であり、これはエアロゾ
ルによりドーピングされている熱分解により製造された
酸化物を酸素排除下に可能な限り均一にオルガノハロゲ
ンシランと混合し、この混合物を少量の水蒸気と一緒
に、かつ場合により不活性ガスと一緒に、継続的に流さ
れる順流法で、直立している管状炉として構成されてい
る処理室で温度２００〜８００℃、有利には４００〜６
００℃に加熱し、固体および気体反応生成物を相互に分
離し、固体生成物を場合により後酸除去および乾燥させ
ることを特徴とする。

【００１４】エアロゾルによりドーピングされている熱
分解により製造された酸化物は金属および／またはメタ
ロイドのドーピングされている熱分解により製造された
酸化物であってよく、その際、ベース成分は金属および
／またはメタロイドの熱分解で火炎水素分解により製造
された酸化物であってよく、これは少なくとも１種のド
ーピング成分０．００００１〜２０質量％でドーピング
されていて、ドーピング量は有利には１〜１００００ｐ
ｐｍであってよく、かつドーピング成分はメタロイドお
よび／または金属あるいはメタロイド塩および／または
金属塩あるいは金属および／またはメタロイドの酸化物
であり、かつドーピングされている酸化物のＢＥＴ表面
積は５〜６００ｍ^２／ｇである。

【００１５】公知の方法で火炎加水分解により熱分解酸
化物を製造するために使用されるような火炎中にエアロ
ゾルを供給し、このエアロゾルを反応前に火炎酸化もし
くは火炎加水分解のガス混合物と均一に混合し、エアロ
ゾル−ガス混合物を火炎中で反応させ、かつ生じたドー
ピングされている熱分解により製造された酸化物を公知
の方法でガス流から取り出し、その際、エアロゾルの出
発生成物として、金属塩またはメタロイド塩あるいはこ
れら両方の混合物あるいは不溶性金属−またはメタロイ
ド化合物の懸濁液であってよいドーピングすべき物質の
成分を含有する塩溶液または懸濁液を使用し、その際、
エアロゾルを、二成分系ノズルを用いて、または有利に
は超音波法によるエアロゾル発生器により、またはエア
ロゾル製造の別の方法でエアロゾルを生じさせることに
より、これらを製造することができる。このような方法
はＤＥ１９６５０５０００Ａ１から公知である。

【００１６】エアロゾルは本発明の有利な１実施態様で
は、図１に示したような装置により供給することができ
る。この場合、ガス−およびエアロゾル供給のために管
を交換することもできる。

【００１７】本発明のもう１つの実施態様ではエアロゾ
ルを、任意の角度で、有利には主ガス流に対して垂直に
設置されている輪状ノズルを用いて供給することができ
る。

【００１８】ベース成分として、メタロイド／金属のア
ルミニウム、ニオブ、チタン、タングステン、ジルコ
ン、ゲルマニウム、ホウ素、インジウム、鉄、バナジウ
ム、タングステン、亜鉛および／またはケイ素を使用す
ることができる。

【００１９】ドーピング成分として金属および／または
メタロイドならびに液体に可溶性または懸濁可能である
限りこれらの化合物を使用することができる。有利な実
施態様の１つでは遷移金属および／または土類金属の化
合物を使用することができる。

【００２０】例えば、セリウムおよびカリウム塩をドー
ピング成分として使用することができる。

【００２１】熱分解酸化物を製造するための火炎加水分
解法はUllmanns Enzyklopaedie dertechnischen Chemi
e, 4.Auflage,Band 21,p.464から公知である。

【００２２】エアロゾル中でのドーピング成分の微細な
分配ならびに、条件下にドーピング成分を更に微細化
し、かつ／または溶融する引き続く火炎加水分解での高
温（１０００〜２４００℃）により、ドーピング媒体が
熱分解酸化物の発生の間に気相中で微細に分配されて存
在するので、熱分解により製造された酸化物へのドーピ
ング成分の均一な取り入れが可能である。しかし、出発
塩およびプロセス実施の方法の好適な選択により、不均
一な分配の達成も可能である。

【００２３】本発明の方法では、公知の熱分解により製
造された酸化物の全て（例えばＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２、Ａ
ｌ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、Ｉｎ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、
Ｆｅ _２Ｏ_３、ＧｅＯ_２、Ｖ_２Ｏ_５、ＳｎＯ_２、ＷＯ_３、
Ｎｂ_２Ｏ_５）を他の金属−または金属酸化物またはこれ
らの混合物でドーピングすることができる。

【００２４】好適なドーピング成分を選択することによ
り、熱酸化物の凝集物−もしくは凝集塊構造に影響を及
ぼすことができる。更に、熱分解酸化物のｐＨ−値に影
響を及ぼすことができる。

【００２５】ドーピング成分として使用される触媒活性
な物質（例えばセリウムまたは土類金属）を所望の場合
には、熱分解により製造された酸化物にほぼ均一に分配
することができる。

【００２６】例えば熱分解により製造された酸化チタン
でのルチルからアナタースのような、熱分解により製造
された酸化物での相転移にもドーピングにより影響を及
ぼすことができる。

【００２７】本発明の実施態様の１つでは、酸化アルミ
ニウムを含むエアロゾルによりドーピングされている熱
分解により製造されたケイ酸を使用することができる
が、この際、ベース成分は、火炎酸化または有利には火
炎加水分解の方法で熱分解により製造されたケイ酸であ
り、これはドーピング成分１×１０^{- ４}および２０質量
％まででドーピングされていて、ドーピング量は有利に
は１〜１００００ｐｐｍの範囲であり、かつドーピング
成分はアルミニウムの塩または塩混合物あるいはアルミ
ニウム化合物または金属アルミニウムの懸濁液あるいは
これらの混合物であり、この際、ドーピングされている
酸化物のＢＥＴ表面積は５〜６００ｍ^２／ｇ、有利には
４０〜１００ｍ^２／ｇの範囲である。

【００２８】ケイ酸は１００ｇ／１００ｇ未満のＤＢＰ
数を有する。

【００２９】火炎酸化または有利には火炎加水分解の方
法でケイ酸を熱分解製造するために使用されるような火
炎中にエアロゾルを供給し、エアロゾルを反応前に火炎
酸化もしくは火炎水素分解のガス混合物と均一に混合
し、次いで、エアロゾル−ガス混合物を火炎中で反応さ
せ、かつ生じた酸化アルミニウムでドーピングされてい
る熱分解により製造されたケイ酸を公知の方法でガス流
から取り出すが、その際、エアロゾルを製造するため
に、アルミニウムの塩または塩混合物あるいはこの金属
自体を溶解または懸濁した形で、またはこれらの混合物
を含有する水溶液を使用し、その際、エアロゾルを、二
成分系ノズルを用いて、またはエアロゾル製造の別の方
法により、有利には超音波噴霧化によるエアロゾル発生
器により製造することにより、酸化アルミニウムを含む
エアロゾルによりドーピングされている熱分解により製
造されたケイ酸を製造することができる。

【００３０】塩として例えば、ＡｌＣｌ_３、Ａｌ_２（Ｓ
Ｏ_４）_３、Ａｌ（ＮＯ_３）_３を使用することができる。

【００３１】本発明のもう１つの目的は本発明による表
面変性され、ドーピングされている熱分解により製造さ
れた酸化物を、塗料系での表面品質の改善、シリコーン
ゴム、ゴムおよび樹脂中での強化充填剤、トナー粉末中
での貯蔵安定剤および流動化助剤（Rieselhilfsmitte
l）、流動化助剤（フリーフロー助剤）、例えばシート
中での粘着防止剤、例えば化粧品中でのＵＶ遮断剤、例
えばラッカーおよび他の塗料系での増粘剤、例えばポリ
エステルのような樹脂中での増粘剤として使用すること
である。

【００３２】表面変性により、本発明の生成物は迅速か
つ高い濃度で有機系、例えばポリエステル樹脂に添加す
ることができる。

【００３３】

【実施例】実施例１から５で使用するバーナー装置を図
１に図示している。

【００３４】図１で、バーナー１の装置の核となってい
る部分は、熱分解酸化物を製造するために通常使用され
るような公知の構造である。バーナー１はノズル３に達
する中心管２からなり、このノズル３から主ガス流がバ
ーナー室に流れ、かつそこで燃焼する。この内部ノズル
はもう１つの輪状ノズル４（ジャケットノズル）に囲ま
れていて、ここから、焼付きを回避するために輪状また
は第２水素が流れ出る。中心管には軸管５が存在し、こ
れは中心管２のノズル３の手前数センチで終わってい
る。軸環５にエアロゾルを供給するが、その際、中心管
２の最後の区間で軸管５のエアロゾルガス流は中心管２
のガス流と均一に混合される。エアロゾルをエアロゾル
発生器６（超音波噴霧器）で発生させる。エアロゾル原
料としてドーピングすべき金属またはメタロイドを塩と
して溶解または分散／懸濁された形で含有する水性塩溶
液を使用する。エアロゾル発生器６で製造されたエアロ
ゾルをキャリアガス流を用いて、加熱帯域７に導通させ
るが、ここで水が蒸発して、気相に小さい塩結晶が微細
に分散した形で残留する。このような装置はＤＥ１９６
５０５００Ａ１から公知である。

【００３５】実施例１（セリウムでのドーピング） ＳｉＣｌ_４４．４４ｋｇ／ｈを約１３０℃で蒸発させ、
かつバーナーの中心管に供給する。中心管に付加的に、
一次水素３Ｎｍ^３／ｈおよび空気８．０Ｎｍ^３／ｈを供
給する。ガス混合物をバーナーの内部ノズルから流し、
かつバーナー室およびそれに接続する水冷却火炎管中で
燃焼させる。中心ノズルを囲んでいるジャケットノズル
にノズルの焼き付きを回避するために、ジャケット−ま
たは二次水素０．５Ｎｍ^３／ｈを供給する。バーナー室
に付加的に二次空気１２Ｎｍ^３／ｈを供給する。軸管か
らエアロゾルを中心管へと流す。エアロゾルはセリウム
塩−エアロゾルであり、これはエアロゾル発生器中で５
％濃度塩化セリウム（ＩＩＩ）水溶液を超音波噴霧化す
ることにより２１０ｇ／ｈの量で生じさせる。

【００３６】セリウム塩−エアロゾルを空気０．５Ｎｍ
^３／ｈのキャリアガスを用いて加熱された管に導通させ
るが、この際、エアロゾルは約１８０℃の温度でガスお
よび塩結晶−エアロゾルに移行する。

【００３７】バーナー開口部の所ではガス混合物（Ｓｉ
Ｃｌ_４−空気−水素、エアロゾル）の温度は１８０℃で
ある。

【００３８】反応ガスおよび生じた、セリウムでドーピ
ングされている熱分解により製造されたケイ酸を減圧の
適用により冷却系を介して吸い取り、その際、約１００
〜１６０℃に冷却する。フィルターまたはサイクロンで
固体をガス流から分離除去する。

【００３９】ドーピングされている熱分解により製造さ
れたケイ酸は白色微粉末として沈殿する。もう１つの工
程で、高温で水蒸気含有空気で処理することにより、付
着している塩酸残分をケイ酸から除去する。

【００４０】ドーピングされている熱分解により製造さ
れたケイ酸のＢＥＴ表面積は１４３ｍ^２／ｇである。製
造パラメーターを第１表にまとめた。

【００４１】得られた熱分解により製造されたケイ酸の
更なる分析データは第２に示した。

【００４２】実施例２（セリウムでのドーピング） ＳｉＣｌ_４４．４４ｋｇ／ｈを約１３０℃で蒸発させ、
かつバーナーの中心管に供給する。中心管に付加的に、
一次水素３Ｎｍ^３／ｈおよび空気８．７Ｎｍ^３／ｈを供
給する。ガス混合物をバーナーの内部ノズルから流し、
かつバーナー室およびそれに接続する水冷却火炎管中で
燃焼させる。中心ノズルを囲んでいるジャケットノズル
にノズルの焼き付きを回避するために、ジャケット−ま
たは二次水素０．５Ｎｍ^３／ｈを供給する。バーナー室
に付加的に二次空気１２Ｎｍ^３／ｈを供給する。

【００４３】軸管からエアロゾルを中心管へと流す。エ
アロゾルはセリウム塩−エアロゾルであり、これはエア
ロゾル発生器中で５％濃度塩化セリウム（ＩＩＩ）水溶
液を超音波噴霧化することにより２０５ｇ／ｈの量で生
じさせる。

【００４４】セリウム塩−エアロゾルを空気０．５Ｎｍ
^３／ｈのキャリアガスを用いて加熱された管に導通させ
るが、この際、エアロゾルは約１８０℃の温度でガスお
よび塩結晶−エアロゾルに移行する。

【００４５】バーナー開口部の所ではガス混合物（Ｓｉ
Ｃｌ_４−空気−水素、エアロゾル）の温度は１８０℃で
ある。

【００４６】反応ガスおよび生じた、セリウムでドーピ
ングされている熱分解により製造されたケイ酸を減圧の
適用により冷却系を介して吸い取り、その際、約１００
〜１６０℃に冷却する。フィルターまたはサイクロンで
固体をガス流から分離除去する。

【００４７】ドーピングされている熱分解ケイ酸は白色
微粉末として沈殿する。もう１つの工程で、高温で水蒸
気含有空気で処理することにより、付着している塩酸残
分を熱分解ケイ酸から除去する。

【００４８】ドーピングされている熱分解ケイ酸のＢＥ
Ｔ表面積は２１７ｍ^２／ｇである。製造パラメーターを
第１表にまとめた。得られた熱分解ケイ酸の更なる分析
データは第２に示した。

【００４９】実施例３（カリウム塩でのドーピング） ＳｉＣｌ_４４．４４ｋｇ／ｈを約１３０℃で蒸発させ、
かつバーナーの中心管に供給する。中心管に付加的に、
一次水素３Ｎｍ^３／ｈおよび空気８．７Ｎｍ^３／ｈを供
給する。ガス混合物をバーナーの内部ノズルから流し、
かつバーナー室およびそれに接続する水冷却火炎管中で
燃焼させる。中心ノズルを囲んでいるジャケットノズル
にノズルの焼き付きを回避するために、ジャケット−ま
たは二次水素０．５Ｎｍ^３／ｈを供給する。

【００５０】軸管からエアロゾルを中心管へと流す。エ
アロゾルはカリウム塩−エアロゾルであり、これをエア
ロゾル発生器中で５％濃度塩化カリウム水溶液を超音波
噴霧化することにより２１５ｇ／ｈの量で生じさせる。

【００５１】カリウム塩−エアロゾルを空気０．５Ｎｍ
^３／ｈのキャリアガスを用いて加熱された管に導通させ
るが、この際、エアロゾルは約１８０℃の温度でガスお
よび塩結晶−エアロゾルに移行する。

【００５２】バーナー開口部の所ではガス混合物（Ｓｉ
Ｃｌ_４−空気−水素、エアロゾル）の温度は１８０℃で
ある。

【００５３】反応ガスおよび生じた、カリウムでドーピ
ングされている熱分解により製造されたケイ酸を減圧の
適用により冷却系を介して吸い取り、その際、粒子−ガ
ス流を約１００〜１６０℃に冷却する。フィルターまた
はサイクロンで固体をガス流から分離除去する。

【００５４】ドーピングされている熱分解ケイ酸は白色
微粉末として沈殿する。もう１つの工程で、高温で水蒸
気含有空気で処理することにより、付着している塩酸残
分を熱分解ケイ酸から除去する。ドーピングされている
熱分解ケイ酸のＢＥＴ表面積は１９９ｍ^２／ｇである。
製造パラメーターを第１表にまとめた。

【００５５】得られたケイ酸の更なる分析データは第２
に示した。

【００５６】

【表１】

【００５７】注釈：一次空気＝中心管中の空気量；Ｓｅ
ｋ−空気＝二次空気；Ｈ_２−核＝中心管中の水素；Gas-
Temp＝中心管のノズル部分でのガス温度；エアロゾル量
＝エアロゾル形に変わった塩溶液の質量流；空気−エア
ロゾル＝エアロゾルのキャリアガス量（空気）

【００５８】

【表２】

【００５９】注釈：セリウムとしてのセリウム含有率μ
ｇ／ｇ（ｐｐｍ）；Ｋとしてのカリウム含有率μｇ／ｇ
（ｐｐｍ）；ＴＶ＝乾燥減損（１０５℃で２時間、ＤＩ
Ｎ／ＩＳＯ７８７／ＩＩ、ＡＳＴＭ Ｄ２８０、ＪＩＳ
Ｋ５１０１／２１による）；ＧＶ＝強熱減損（１００
０℃で２時間、ＤＩＮ５５９２１、ＡＳＴＭ Ｄ１２０
８、ＪＩＳ Ｋ５１０１／２３により、１０５℃で２時
間乾燥させた物質に対する）；グラインドメーター＝グ
ラインドメーター値；Ｓｅｄｉ−Ｖｏｌ＝沈降容積；有
効性＝濁度測定：有効性測定の方法（濁度測定）は特許
文献ＤＥ４４００１７０に記載されている；同じ方法で
製造された懸濁液を更に５分間の待機時間の後に沈降容
積の測定のために使用する；ＤＩＮ／ＩＳＯ７８７／Ｉ
Ｘ、ＪＩＳ Ｋ５１０１／１８によるタッピング密度
（Stampfdichte）（ふるいにかけていない）。ポリエス
テル関係系中での増粘：ＥＰ−Ａ００１５３１５に記
載。

【００６０】実施例４ 低いＢＥＴ表面積を有する、酸化アルミニウムを有する
エアロゾルによりドーピングされている熱分解により製
造されたケイ酸の製造 ＳｉＣｌ_４５．２５ｋｇ／ｈを約１３０℃で蒸発させ、
かつ公知の構造のバーナー１の中心管２に移す。中心管
２に付加的に、（一次）水素３．４７Ｎｍ^３／ｈおよび
空気３．７６Ｎｍ^３／ｈならびに酸素０．９５Ｎｍ^３／
ｈを供給する。ガス混合物をバーナー１のノズル３から
流し、かつバーナー室およびそれに接続する水冷却火炎
管中で燃焼させる。

【００６１】輪状ノズル４に（ジャケット−または二次
−）水素０．５Ｎｍ^３／ｈおよび窒素０．３Ｎｍ^３／ｈ
を供給する。

【００６２】バーナー室に更に付加的に（二次−）空気
２０Ｎｍ^３／ｈを供給する。

【００６３】軸管５から第２のガス流を中心管２に流
す。

【００６４】第２のガス流は、別の噴霧化ユニット６で
ＡｌＣｌ_３−溶液の超音波噴霧化により生じさせたエア
ロゾルからなる。この場合、エアロゾル発生器６により
２．２９％濃度塩化アルミニウム水溶液４６０ｇ／ｈを
噴霧化する。この塩化アルミニウムエアロゾルを空気
０．５Ｎｍ^３／ｈのキャリアガスを用いて加熱した管に
導通させるが、その際、水性エアロゾルは温度約１８０
℃でガスおよび塩結晶に移行する。

【００６５】バーナー開口部の所ではガス混合物（Ｓｉ
Ｃｌ_４−空気−水素、水−エアロゾル）の温度は１８０
℃である。

【００６６】反応ガスおよび生じた、酸化アルミニウム
を含むエアロゾルによりドーピングされている熱分解に
より製造されたケイ酸を減圧の適用により冷却系を介し
て吸い取る。ここで粒子−ガス流を約１００〜１６０℃
に冷却する。サイクロンで固体を排ガス流から分離除去
する。

【００６７】酸化アルミニウムを含むエアロゾルにより
ドーピングされている熱分解により製造されたケイ酸は
白色微粉末として沈殿する。もう１つの工程で、高温で
水蒸気含有空気で処理することにより、まだ付着してい
る塩酸残分をケイ酸から除去する。

【００６８】酸化アルミニウムを含むエアロゾルにより
ドーピングされている熱分解ケイ酸のＢＥＴ表面積は５
５ｍ^２／ｇである。

【００６９】製造条件を第３表に記載した。このケイ酸
の更なる分析データは第４表に記載した。

【００７０】実施例５ 高いＢＥＴ表面積を有する、酸化アルミニウムを含むエ
アロゾルによりドーピングされている熱分解により製造
されたケイ酸の製造 ＳｉＣｌ_４４．４４ｋｇ／ｈを約１３０℃で蒸発させ、
かつ公知の構造のバーナー１の中心管２に移す。中心管
２に付加的に、（一次）水素３．１５Ｎｍ^３／ｈおよび
空気８．２Ｎｍ^３／ｈを供給する。ガス混合物をバーナ
ー１のノズル３から流し、かつバーナー室およびそれに
接続する水冷却火炎管中で燃焼させる。

【００７１】輪状ノズル４に（ジャケット−または二次
−）水素０．５Ｎｍ^３／ｈおよび窒素０．３Ｎｍ^３／ｈ
を供給する。

【００７２】バーナー室に更に付加的に（二次−）空気
１２Ｎｍ^３／ｈを供給する。

【００７３】軸管５から第２のガス流を中心管２に流
す。

【００７４】第２のガス流は、別の噴霧化ユニット６で
ＡｌＣｌ_３−溶液の超音波噴霧化により生じさせたエア
ロゾルからなる。この場合、エアロゾル発生器６により
２．２９％濃度塩化アルミニウム水溶液４５０ｇ／ｈを
噴霧化する。この塩化アルミニウムエアロゾルを空気
０．５Ｎｍ^３／ｈのキャリアガスを用いて加熱した管に
導通させるが、その際、水性エアロゾルは温度約１８０
℃でガスおよび塩結晶に移行する。

【００７５】バーナー開口部の所ではガス混合物（Ｓｉ
Ｃｌ_４−空気−水素、水−エアロゾル）の温度は１８０
℃である。

【００７６】反応ガスおよび酸化アルミニウムを含むエ
アロゾルによりドーピングされている熱分解により製造
されたケイ酸を減圧の適用により冷却系を介して吸い取
る。ここで粒子−ガス流を約１００〜１６０℃に冷却す
る。サイクロンで固体を排ガス流から分離除去する。

【００７７】酸化アルミニウムを含むエアロゾルにより
ドーピングされている熱分解により製造されたケイ酸は
白色微粉末として沈殿する。もう１つの工程で、高温で
水蒸気含有空気で処理することにより、まだ付着してい
る塩酸残分をケイ酸から除去する。

【００７８】酸化アルミニウムを含むエアロゾルにより
ドーピングされている熱分解ケイ酸のＢＥＴ表面積は２
０３ｍ^２／ｇである。

【００７９】製造条件を第３表に記載した。このケイ酸
の更なる分析データは第４表に記載した。

【００８０】

【表３】

【００８１】注釈：一次空気＝中心管中の空気量；Ｓｅ
ｋ−空気＝二次空気；Ｈ2−核＝中心管中の水素；Ｇａ
ｓ−温度＝中心管のノズル部分でのガス温度；エアロゾ
ル量＝エアロゾル形に移行した塩溶液の質量流；空気エ
アロゾル＝エアロゾルのキャリアガス量（空気）

【００８２】

【表４】

【００８３】注釈：ｐＨ４％Ｓｕｓ．＝４％濃度の水性
懸濁液のｐＨ値 実施例４による酸化物に好適な混合容器中で激しい混合
下に、場合により先ず水または希酸を、かつ引き続き１
種または複数の、または複数の表面変性化剤（疎水化
剤）からなる混合物を噴霧し、場合により１５〜３０分
間、後混合し、かつ温度１００〜４００℃で０．５〜６
時間に亙り熱処理する。熱処理は保護ガス下に行うこと
ができる。

【００８４】適用した量比を第５表に記載した。得られ
た表面変性酸化物の物理的−化学的データを第６表に記
載した。

【００８５】

【表５】

【００８６】＊Ｓｉ１０８：オクチルトリメトキシシラ
ン ＨＭＤＳ：ヘキサメチルジシラザン ＰＤＭＳ：ポリジメチルシロキサン、ここではRhodorsi
l ４７Ｖ１００ ＡＭＥＯ：γ−アミノプロピルトリエトキシシラン ＊＊ここではＨ_２Ｏの代わりに０．０１ｎ ＨＣｌを使
用した。

【００８７】

【表６】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の有利な１実施態様を実施するための装
置を示す図。

【符号の説明】 １ バーナー、 ２ 中心管、 ３ ノズル、 ４ 輪
状ノズル、 ５ 軸管、 ６ エアロゾル発生器、 ７
加熱帯域

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ユルゲン マイヤー ドイツ連邦共和国 シュトックシュタット ／マイン グロースオストハイマー シュ トラーセ 51 Ｆターム(参考） 4G042 DB10 DB28 DE03 DE07 4G072 AA35 AA36 BB05 GG03 HH08 MM01 QQ06 RR01 RR11 UU07

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面変性され、エアロゾルによりドーピ
   ングされている熱分解により製造された酸化物。
2. 【請求項２】 表面変性され、エアロゾルによりドーピ
   ングされている熱分解により製造された酸化物におい
   て、酸化物が、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ _２、Ｂｅ
   Ｏ_３、ＺｒＯ_２、Ｉｎ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、Ｆｅ_２Ｏ_３、Ｎ
   ｂ_２Ｏ_５、Ｖ_２Ｏ_５、ＷＯ_３、ＳｎＯ_２、ＧｅＯ_２から
   なる群からの酸化物であることを特徴とする、表面変性
   され、エアロゾルによりドーピングされている熱分解に
   より製造された酸化物。
3. 【請求項３】 次の群： ａ）（ＲＯ）_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）および（ＲＯ）
   _３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ− １}）のタイプのオルガノシラン
   ［式中、Ｒ＝アルキル；ｎ＝１〜２０］、 ｂ）Ｒ´_ｘ（ＲＯ）_ｙＳｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）および
   （ＲＯ）_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）のタイプのオルガノ
   シラン［式中、Ｒ＝アルキル；Ｒ´＝アルキル；Ｒ´＝
   シクロアルキル；ｎ＝１〜２０；ｘ＋ｙ＝３；ｘ＝１ま
   たは２；ｙ＝１または２］ ｃ）Ｘ_３Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およびＸ_３Ｓｉ（Ｃ_ｎ
   Ｈ_{２ ｎ− １}）のタイプのハロゲンオルガノシラン［式
   中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；ｎ＝１〜２０］ ｄ）Ｘ_２（Ｒ´）Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およびＸ
   _２（Ｒ´）Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ − １}）のタイプのハロゲン
   オルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ´＝ア
   ルキル；Ｒ´＝シクロアルキル；ｎ＝１〜２０］、 ｅ）Ｘ（Ｒ´）_２Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）およびＸ（Ｒ
   ´）_２Ｓｉ（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ − １}）のタイプのハロゲンオル
   ガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ´＝アルキ
   ル；Ｒ´＝シクロアルキル；ｎ＝１〜２０］ ｆ）（ＲＯ）_３Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのオル
   ガノシラン［式中、Ｒ＝アルキル；ｍ＝０、１〜２０；
   Ｒ´＝メチル−、アリール（例えば−Ｃ_６Ｈ_５、置換さ
   れたフェニル基）、−Ｃ_４Ｆ_９、ＯＣＦ_２−ＣＨＦ−Ｃ
   Ｆ_３、−Ｃ_６Ｆ_{１ ３}、−Ｏ−ＣＦ_２−ＣＨＦ_２、−ＮＨ
   _２、−Ｎ_３、−ＳＣＮ、−ＣＨ＝ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＨ
   _２−ＣＨ_２−ＮＨ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２−ＣＨ_２−Ｎ
   Ｈ_２）_２、−ＯＯＣ（ＣＨ_３）Ｃ＝ＣＨ_２、−ＯＣＨ_２
   −ＣＨ（Ｏ）ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＯ−Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ
   _２）_５、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_３、−ＮＨ−ＣＯＯ−Ｃ
   Ｈ_２−ＣＨ_３、−ＮＨ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、
   −Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−ＳＨ、−ＮＲ
   ´Ｒ´´Ｒ´´´（Ｒ´＝アルキル、アリール；Ｒ´´
   ＝Ｈ、アルキル、アリール；Ｒ´´´＝Ｈ、アルキル、
   アリール、ベンジル、Ｃ_２Ｈ_４ＮＲ´´´´Ｒ´´´´
   ´、ここでＲ´´´´＝Ａ、アルキルならびにＲ´´´
   ´´＝Ｈ、アルキル）］、 ｇ）（Ｒ´´）_ｘ（ＲＯ）_ｙＳｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´の
   タイプのオルガノシラン［式中、Ｒ´´＝アルキル；
   ＝シクロアルキル；ｘ＋ｙ＝２；ｘ＝１または２；ｙ＝
   １または２；ｍ＝０、１〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリ
   ール（例えば−Ｃ _６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−
   Ｃ_４Ｆ_９、−ＯＣＦ_２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ
   _６Ｆ_１３、−Ｏ−ＣＦ_２−ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−
   Ｎ_３、−ＳＣＮ、−ＣＨ＝ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＨ_２−Ｃ
   Ｈ_２−ＮＨ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、
   −ＯＯＣ（ＣＨ_３）Ｃ＝ＣＨ_２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ
   （Ｏ）ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＯ−Ｎ−ＣＯ−（Ｃ
   Ｈ_２）_５、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_３、−ＮＨ−ＣＯＯ−
   ＣＨ_２−ＣＨ_３、−ＮＨ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（Ｏ
   Ｒ）_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−Ｓ
   Ｈ、−ＮＲ´Ｒ´´Ｒ´´´（Ｒ´＝アルキル、アリー
   ル；Ｒ´´＝Ｈ、アルキル、アリール；Ｒ´´´＝Ｈ、
   アルキル、アリール、ベンジル、Ｃ_２Ｈ_４ＮＲ´´´´
   Ｒ´´´´´、ここでＲ´´´´＝Ａ、アルキルならび
   にＲ´´´´´＝Ｈ、アルキル）］、 ｈ）Ｘ_３Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのハロゲンオ
   ルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；ｍ＝０、１
   〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリール（例えば−Ｃ
   _６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−Ｃ_４Ｆ_９、−ＯＣ
   Ｆ_２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６Ｆ_１３、−Ｏ−ＣＦ_２−
   ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−Ｎ_３、−ＳＣＮ、−ＣＨ＝ＣＨ
   _２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２
   −ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯＣ（ＣＨ_３）Ｃ＝Ｃ
   Ｈ_２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ（Ｏ）ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＯ−
   Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_３、−
   ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、−ＮＨ−（ＣＨ_２）_３
   Ｓｉ（ＯＲ）_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（Ｏ
   Ｒ）_３、−ＳＨ］、 ｉ）（Ｒ）Ｘ_２Ｓｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのハロ
   ゲンオルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ＝
   アルキル、例えばメチル−、エチル−、プロピル−；ｍ
   ＝０、１〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリール（例えば−
   Ｃ_６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−Ｃ_４Ｆ_９、−Ｏ
   ＣＦ_２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６Ｆ_１３、−Ｏ−ＣＦ_２
   −ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−Ｎ_３、−ＳＣＮ、−ＣＨ＝Ｃ
   Ｈ_２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２、−Ｎ−（ＣＨ
   _２−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯＣ（ＣＨ_３）Ｃ＝ＣＨ
   _２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ（Ｏ）ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＯ−Ｎ
   −ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_３、−Ｎ
   Ｈ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、−ＮＨ−（ＣＨ_２）_３Ｓ
   ｉ（ＯＲ）_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、
   −ＳＨ］、 ｊ）（Ｒ）_２ＸＳｉ（ＣＨ_２）_ｍ−Ｒ´のタイプのハロ
   ゲンオルガノシラン［式中、Ｘ＝ＣｌまたはＢｒ；Ｒ＝
   アルキル；ｍ＝０、１〜２０；Ｒ´＝メチル−、アリー
   ル（例えば−Ｃ_６Ｈ_５、置換されたフェニル基）、−Ｃ
   _４Ｆ_９、−ＯＣＦ _２−ＣＨＦ−ＣＦ_３、−Ｃ_６Ｆ_１３、
   −Ｏ−ＣＦ_２−ＣＨＦ_２、−ＮＨ_２、−Ｎ _３、−ＳＣ
   Ｎ、−ＣＨ＝ＣＨ_２、−ＮＨ−ＣＨ_２−ＣＨ_２−Ｎ
   Ｈ_２、−Ｎ−（ＣＨ_２−ＣＨ_２−ＮＨ_２）_２、−ＯＯＣ
   （ＣＨ_３）Ｃ＝ＣＨ_２、−ＯＣＨ_２−ＣＨ（Ｏ）Ｃ
   Ｈ_２、−ＮＨ−ＣＯ−Ｎ−ＣＯ−（ＣＨ_２）_５、−ＮＨ
   −ＣＯＯ−ＣＨ _３、−ＮＨ−ＣＯＯ−ＣＨ_２−ＣＨ_３、
   −ＮＨ−（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−Ｓ_ｘ−（ＣＨ
   _２）_３Ｓｉ（ＯＲ）_３、−ＳＨ］、 ｋ） 【化１】 のタイプのシラザン［式中、Ｒ＝アルキル；Ｒ´＝アル
   キルまたはビニル］、 ｌ）Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５のタイプの環式ポリシロキサン例
   えば、オクタメチルシクロテトラシロキサン＝Ｄ４： 【化２】 ｍ）次のタイプのポリシロキサンもしくはシリコーンオ
   イル 【化３】 ［式中、ｍ＝０、１、２、３、．．．∞；ｎ＝０、１、
   ２、３、．．．∞；ｕ＝０、１、２、３、．．．∞；Ｙ
   ＝ＣＨ_３、Ｈ、Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋１}（ｎ＝１〜２０）；Ｙ＝
   Ｓｉ（ＣＨ_３）_３、Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｈ、Ｓｉ（Ｃ
   Ｈ_３）_２ＯＨ、Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＯＣＨ_３）、Ｓｉ
   （ＣＨ_３）_２（Ｃ_ｎＨ_{２ ｎ＋ １}）（ｎ＝１〜２０）；Ｒ
   ＝アルキル、アリール、（ＣＨ_２）_ｎ−ＮＨ_２、Ｈ；Ｒ
   ´＝アルキル、アリール、（ＣＨ_２）_ｎ−ＮＨ_２、Ｈ；
   Ｒ´´＝アルキル、アリール、（ＣＨ_２） _ｎ−ＮＨ_２、
   Ｈ；Ｒ´´´＝アルキル、アリール、（ＣＨ_２）_ｎ−Ｎ
   Ｈ_２、Ｈ］からの１種または複数の化合物で表面変性さ
   れている、請求項１または２に記載の表面変性され、エ
   アロゾルによりドーピングされている熱分解により製造
   された酸化物。
4. 【請求項４】 請求項１または２に記載の表面変性され
   ている酸化物の製法において、エアロゾルによりドーピ
   ングされている熱分解により製造された酸化物を適切な
   混合容器に予め装入し、激しい混合下にこの酸化物に場
   合により先ず、水および／または酸を、引き続き表面変
   性試薬または複数の表面変性試薬からなる混合物を噴霧
   し、場合により１５〜３０分間、後混合し、かつ温度１
   ００〜４００℃で１〜６時間に亘り熱処理することを特
   徴とする、請求項１または２に記載の表面変性されてい
   る酸化物の製法。
5. 【請求項５】 強化用充填剤としての、表面変性されて
   いる酸化物の使用。