JP2002310605A - バリ検査用センサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】汎用的であり簡単に使用できるバリ検査装置を
提供すること。 【解決手段】検出ヘッド３０を有する距離センサ２８を
少なくとも一つ備えており、前記検出ヘッドは工作物３
４まで距離をおいて位置決め可能であるとともに該検出
ヘッドと工作物は互いに相対移動可能であり、検出ヘッ
ドは工作物と電磁結合可能であるか又は該ヘッドを通じ
て工作物に電磁気的信号で衝撃を与えることが可能であ
り、工作物への結合又は前記衝撃信号に対する工作物の
電磁気的反応信号は検出ヘッドと工作物との間の距離３
６に依存しているため、該距離は非接触で測定でき、検
出ヘッドにより工作物表面を非接触で検査可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は、バリ検査用センサ装置に関す
る。

【０００２】バリは、切削による材料加工法で工作物を
加工した箇所であればどこにでも生じ得る。例えば、バ
リは穴に生じ得る。バリは様々な理由から妨害要因にな
ることがある。例えば、密閉すべき切断面にはバリがあ
ってはならない。さもなければ密閉性に影響が出るから
である。特定の工作物では材料の突出がないことが望ま
れることがある。バリが存在すると、それが部品組立の
際に落下して妨害要因になることがある。機械の運転中
にバリが落下すると機械が壊れてしまうことがある。被
膜加工すべき工作物の材料の縁にバリがあると、ラッカ
ーの厚さが不均一になってしまうことがある。縁の尖っ
たバリが工作物の外表面にあると、切り傷を負うことが
ある。

【０００３】従って、工作物の加工後にはバリ検査を行
うことがしばしば必要となる。この検査には次の２つの
観点があり得る。すなわち、定性的バリ検査（バリが存
在するかどうか）と定量的バリ検査（例えば、バリが所
定の許容高さを超えているかどうか）である。

【０００４】バリ検査はこれまで、例えば指、指の爪、
つまようじ、縁に綿のついた配管洗浄具、鉛筆の先、あ
るいはピンの針先を使って、目的の工作物表面を触診す
るというように、手作業で行われるのが常であった。ま
た、例えば肉眼でバリを検査したり、顕微鏡やルーペを
使ったり、耳鏡や内視鏡を使うといった、視覚的方法も
用いられる。

【０００５】このような方法は非常に時間がかかり、更
に、少なくとも定量的情報の量は比較的少ない。

【０００６】剪断により形成されるバリの形状及び寸法
の測定方法の一つが特開平６−６６５３６号公報により
知られている。この方法では、走査手段の上で目的の板
材の縁をレーザー光を使って検査するもので、位置検出
型の受光器が複数備えられている。これに該当する装置
では高価な光学系が必要である。広くて障害物のない視
野が存在する必要があるため、工作物の内側表面を検査
することができない。また、視野中の汚れは光路に影響
を与えることがあるが、この汚れに測定結果が非常に影
響されやすい。

【０００７】そのため、本発明は、汎用性があり簡単に
使用できるバリ検査用センサ装置を創作することを課題
とする。

【０００８】本発明によればこの課題は次のように解決
される。すなわち、本発明に係る、工作物上のバリを検
査するためのバリ検査用センサ装置は、検出ヘッドを有
する距離センサを少なくとも一つ備えており、前記検出
ヘッドは工作物に対して距離をおいて位置決め可能であ
るとともに該検出ヘッドと工作物は互いに相対移動可能
であり、検出ヘッドは工作物と電磁結合可能であるか又
は該ヘッドを通じて該工作物に電磁気的信号で衝撃を与
えることが可能であり、工作物への結合又は前記衝撃信
号に対する工作物の電磁気的反応信号は検出ヘッドと工
作物との間の距離に依存しているため、該距離は非接触
で測定可能であり、検出ヘッドにより工作物表面を非接
触で検査可能である。

【０００９】本発明に従って距離センサを特徴的部品と
して使用する場合、距離センサは工作物と相互作用する
ようになり、その相互作用は距離センサと工作物との間
の距離に依存するため、簡単にバリ検査を行うことがで
きる。その際、距離センサは、局所的に工作物と結合さ
れた感知野を構成する。そのため、適切に距離センサを
挿入すれば、工作物の内側表面でも検査することができ
る。もちろん、検査は非接触で行われるため、簡単且つ
機械的な使用が可能である。

【００１０】また、本発明によれば汚れの影響も少なく
なる。汚れはせいぜい局所的感知野に影響するに留まる
からである。

【００１１】距離センサの工作物への結合は距離に影響
され、一方、バリの存在は距離そのものを変化させるか
ら、例えば、バリの大きさやそれに関係のあるバリのタ
イプのような、バリに関する定量的情報も確認すること
ができる。

【００１２】検出ヘッドが活性面を備え、この面を通じ
て工作物への局所的結合が生じるか、この面を通じて衝
撃信号が工作物表面の一領域へ局所的に発せられるとと
もに前記領域からの反応信号が受信されるようにすると
有利である。このようにすると、目的の工作物表面を内
側でも外側でも検査することができるとともに、工作物
表面に対する活性面の位置によって、バリを検査する検
査領域が決定される。従って、検出ヘッドと工作物とを
互いに相対的に動かしながら、バリ認識自体を非接触で
行うとともに定量的表現も生成するというようにして局
所的な検査を行うことも可能である。

【００１３】検出ヘッドと工作物とは間隔方向に平行に
相対移動できるようにすると有利である。このようにす
ると、例えば、工作物にできた穴のバリ検査を行うため
に、検出ヘッドをその穴に潜り込ませることができる。
また、検出ヘッドを工作物表面に沿って案内する必要が
あるとき、この表面に対して所定の距離に位置調節する
こともできる。更に、例えば工作物の外側表面を検査で
きるようにするために、検出ヘッドと工作物とを高さ距
離方向に対して斜め又は横方向に相対移動できるように
すると有利である。

【００１４】特に、検出ヘッドを工作物に対して位置決
めしたり動かしたりするための位置決め装置を設けると
非常に有利である。このようにすると、検出ヘッドに、
工作物に対して所定の動きをさせることができるし、と
りわけ工作物を所定の方法で検査することができる。

【００１５】それに加えて、最大限の移動自由度を維持
するため、検出ヘッドが位置決め装置によって線形独立
な座標軸方向に沿って移動可能であるようにすると有利
である。

【００１６】更に、検出ヘッドが工作物に対して回転可
能であると有利である。このようにすると、例えば、工
作物の内側表面の円周領域全体を検査するために、検出
ヘッドをゾンデとして穴に挿入し、そこで回転させるこ
とができる。

【００１７】コスト面で有利な一変形例においては、工
作物を加工するための工具用の位置決め装置を距離セン
サ用の位置決め装置として利用する。工具用の位置決め
装置は、工作物に所定の加工を施すのに必要な可動性を
精確に工具に与えなければならない。そこで、バリに関
する工作物の検査をも特に自動的に実行できるようにす
るため、距離センサを用いた工作物の検査に前記可動性
が利用できる。この場合、本発明によるバリ検査用セン
サ装置の測定ヘッドは工具の代わりの交換部品として、
特に工具を使った工作物への加工直後にバリ検査のため
に使用されるので、工作物を置き換える手間をかける必
要がない。この結果、工作物に対する相対移動に対応す
る座標系が維持されるため、時間の節約になるだけでな
く精度の低下も生じない。こうして、元々存在する工具
用位置決め装置を距離センサ用の精確な位置決め装置と
して利用することで、距離センサは工作物に対して自在
に位置決め可能となり、工作物に対する相対位置に関す
る情報を継続的に自由に利用できる。

【００１８】検出ヘッドをゾンデとして構成するかゾン
デの内部に配置すると有利である。このようにすると、
工作物の内側表面も検査することができる。更に、特に
ゾンデは、例えば交差切除部のバリを検出できるように
するために、工作物にできた穴に挿入可能である。

【００１９】その際、装置の、とりわけ距離センサの電
子構成部品を全体的又は部分的にゾンデと一体化させる
と、対雑音信頼性が高まるため有利である。

【００２０】バリに関する工作物の所定の検査をするた
めには距離センサの可視領域を調節することが好まし
い。可視領域を調節すると、活性面を有する距離センサ
の感知野が工作物に関して目標通りに形成されるととも
にその空間的位置が決まり、検査される工作物表面の局
所領域が目標通りに位置決めされる。

【００２１】距離センサの可視領域とともに視線方向も
電磁気的に調節可能であると有利である。このようにす
ると、視線方向を目標通りに設定・変更できる。例え
ば、感知野を回転させることができる。ここでの調節
は、工作物に対する検出ヘッドの位置の調節によって行
うことができる。この場合、位置調節は電磁気信号によ
って行うか、検出ヘッド上の感知野の形成を調節するこ
とにより行うか、あるいは前者の方法に後者の方法を付
加して行う。

【００２２】更に、実施形態の一変形例においては、検
出ヘッドと工作物との間の電磁結合が工作物の検査のた
めに特に所望されている特定の可視領域に制限されるよ
うに、距離センサを構成及び／又は遮蔽するようにして
もよい。

【００２３】前記特定の可視領域が、距離センサの縦方
向に対して実質的に斜め又は横向きの視線方向を有する
ようにしてもよい。この場合、例えば距離センサを穴の
軸に沿って移動させることができ、その移動中に穴の壁
を検査することができる。

【００２４】また、前記特定の可視領域が、距離センサ
の縦方向に対して実質的に平行な視線方向を有するよう
にしてもよい。このようにすると、例えば距離センサを
工作物に沿って導入するときに工作物の外側表面を検査
することができる。

【００２５】視線方向を、例えば距離センサの縦方向に
対して特定の角度を成すように調節する、という混合形
態も可能である。可視領域は個別の適用形態に適合させ
ると有利である。

【００２６】測定ヘッドで信号の前処理を実行するとと
もにバリ検査用の評価部を設けてもよい。この場合、測
定ヘッドから出力される信号は距離情報を含んでおり、
評価部はこの情報をバリ検査の観点から評価する。評価
部は測定ヘッドと一体化させてもよいしそれとは別にし
てもよい。例えば、パソコン、加工ラインの制御装置の
一部、あるいはマイクロ制御回路が利用できる。この場
合、ソフトウェア及び／又は離散型回路で評価を行うこ
とができる。これに適した評価アルゴリズムは、例えば
基準推移と比較し、工作物の品質が許容領域内にあるか
同領域外にあるかを示す手順を含む。この評価アルゴリ
ズムは更に一連の工作物について時系列的に比較を行
い、それに従って、例えば間接的に工具品質を管理する
ために、バリ形成の時系列的変化を監視するようにして
もよい。

【００２７】実施形態の一変形例においては、検出ヘッ
ドが接触部を備えることにより、その検出ヘッドが、距
離をおいて配置された装置に結合可能となっている。こ
のようにすると、例えば、エリミネータ又はそれに類す
るものを検出ヘッドから距離をおいて配置した状態で、
検出ヘッドに電圧を供給することができる。また、評価
部を、検出ヘッドから距離をおいて、特にその評価部が
工作物の加工領域に入らないような距離に配置すること
ができる。

【００２８】あるいは、検出ヘッドを、距離をおいて配
置された装置と無線で結合可能なリモート装置として構
成してもよい。この場合、検出ヘッドの目的の検出信号
は例えば赤外線により遠隔の装置に伝送される。

【００２９】有利な一実施形態においては、距離センサ
が、その検出ヘッドが金属製工作物に誘導結合する誘導
型センサである。このような誘導型センサを用いると、
工作物への距離を良好に測定できる。誘導型センサは特
に油などの汚れに強い。なぜなら、誘導結合は、汚れが
金属的なものでなければ、その汚れに実質的に影響され
ないからである。

【００３０】距離センサが、電圧で衝撃を与えることが
できる金属製の外部表面領域を有するようにしてもよ
い。このようにすると、距離センサが工作物に偶発的に
衝突するかどうかを監視できる。つまり、工作物にぶつ
かると金属製の外部表面領域に電圧ポテンシャルの衝撃
が与えられる。こうして電圧ポテンシャルが工作物に接
触すると、警告信号が発生可能で、それが例えば位置決
め装置に渡され、同装置が距離センサを再度工作物から
遠ざかるように逆向きに動かす。測定信号が一定の閾値
を上回るか下回ったときに警告信号を発生するようにし
てもよい。

【００３１】距離センサが、その検出ヘッドが光学信号
で工作物に衝撃を与えるとともに反射信号を記録する光
学式距離センサであるようにしてもよい。このような方
法でも、検出ヘッドと工作物との間の距離を局所的に求
めることができる。

【００３２】工作物と検出ヘッドとの間に局所的感知野
を構成するため、所定の局所的可視領域にだけ到達可能
なように光信号を光ファイバで入力及び／又は出力する
と有利である。測定ヘッドとしての検出ヘッドはグラス
ファイバの使用により非常に小型化することができ、特
にゾンデの形の光学検査器として例えば穴に入れること
ができる。

【００３３】また、光学・誘導型距離センサを距離セン
サに用いてもよい。このセンサでは特に、任意の選択・
組合わせにより工作物のバリを局所的に光学的及び誘導
的に検査できる。

【００３４】更に、距離センサが、その検出ヘッドが工
作物に容量結合する容量型距離センサであるようにする
ことも可能である。容量的な電磁結合によっても距離セ
ンサと工作物との間の距離に関する情報を得ることがで
きる。

【００３５】上記の変形として、工作物と誘導的にも容
量的にも結合可能な素子を有する結合型誘導・容量距離
センサがある。これにより、あるときは容量的に、また
あるときは誘導的にというように、いわば２重の距離測
定を行うことができる。適用形態に応じて最適な方法を
評価することもできるし、比較を行うこともできる。こ
の場合、信号は例えば同軸ケーブルを通じて誘導・容量
型距離センサから出力される。

【００３６】本発明に係るバリ検査用センサ装置の実施
形態の一変形例では複数の距離センサが備えられてい
る。複数の距離センサを用いると、それに相応した複数
の感知野ができ、それに応じて工作物を複数の領域で検
査することができる。更に、異なる距離センサのセンサ
信号を互いに結合することもできる。例えば、複数の距
離センサの差信号及び和信号の両方を評価したり一方だ
け評価したりする。これにより、バリに関する及びバリ
に基づく明確な検査を行うことができるとともに、バリ
の種類やバリの大きさの決定に役立つ良好な定量結果を
得ることができる。複数のセンサ信号を適当な結合方法
（例えば、和あるいは差）で組み合わせることにより、
特に温度ドリフトや材料の不均質性といったような撹乱
因子の効果を低減させることができる。あるいは、測定
信号と参照信号との組み合わせにより測定効果を増大さ
せることができる。

【００３７】バリ検査用センサ装置の複数の距離センサ
が、例えば工作物の同一表面を異なる分解能で検査する
ために、同じ視線方向を有するようにしてもよい。ま
た、バリ検査用センサ装置の複数の距離センサが、例え
ば工作物の異なる表面を同時に検査できるように、異な
る視線方向を有するようにしてもよい。特に、複数の距
離センサが逆の視線方向を有するようにしてもよい。

【００３８】実施形態の別の有利な変形例では、複数の
距離センサが互いに相対的に固定的に位置決めされてい
る。装置の移動に際しては全ての距離センサが同時に一
緒に移動するため、バリ検査用センサ装置を工作物に対
して所定通りに移動させることができる。

【００３９】バリ検査用センサ装置の複数の距離センサ
の相対位置が調節可能であると特に有利である。この場
合、適用形態に応じて距離センサ間を最適距離に調節す
ることができ、例えば距離センサの縦方向に対して斜め
又は横方向、あるいは平行に調節できる。この場合、距
離センサを互いにずらして配置することもできる。これ
は、特定の適用形態の際に有利になり得る。例えば、位
置調節の後、距離センサを穴に挿入する際、穴の直径に
合わせることができる。

【００４０】特定の適用形態にとっては、複数の距離セ
ンサが同じ視平面を有するようにすると有利である。こ
のようにすると、工作物に対するバリ検査用センサ装置
の相対移動の際、例えば穴の内側の円周表面のような広
い表面領域を同時に検査できる。

【００４１】距離センサがずれた視平面を有するように
することもできる。このようにすると、例えば穴の内部
に一度挿入するだけで工作物の同一表面を複数回検査で
き、しかも特に異なる分解能で検査できる。

【００４２】実施形態の一変形例においては、バリ検査
用センサ装置に２個の距離センサを設け、更に別の変形
例では３個の距離センサを設ける。これらの装置は工作
物表面の検査を実行できる。

【００４３】検査すべき工作物に依存した最適な検査を
可能にするため、バリ検査用センサ装置が遮蔽部の形状
及び／又は視線方向及び／又は動作周波数及び／又は自
由区域に関して、検査すべき工作物に適合していると有
利である。

【００４４】特に、多数の工作物を連続して検査するに
は、工作物を検査するために、距離センサを制御しつつ
工作物に沿って移動させると有利である。更に、距離セ
ンサにより求められた工作物までの距離を制御量にする
と有利である。この距離は連続的に認識され、検査の間
は位置決め装置を介して実質的に一定値に留まるように
調節される。位置決め装置により、距離センサの検出ヘ
ッドの工作物に対する絶対位置がわかり、その時点の実
際の距離センサの出力信号を基準推移と照合することに
より、工作物上のバリ形成に関する情報が得られる。こ
のとき、基準推移線からの偏差は定量的情報も含んでい
る。

【００４５】本発明では更に、非接触で動作し、工作物
上で局所的に位置決め可能であり、工作物と局所的に相
互作用でき、この相互作用から工作物と距離センサとの
間の距離を求めることができるような距離センサを、バ
リ検査用センサとして使用することにより、冒頭で言及
した課題を解決する。

【００４６】この利用方法には、既に本発明に係る装置
に関連して述べた長所がある。

【００４７】更なる有利な発展形態は既に本発明に係る
装置に関連して説明した通りである。

【００４８】特に、距離センサと工作物との間に局所的
感知野を形成可能にし、その領域を通じて距離センサと
工作物との間の距離を求めることができるようにすると
有利である。感知野が局所的に形成可能であることによ
り、距離センサは工作物に沿って局所的に移動しながら
それに応じて工作物を検査することができる。

【００４９】好ましい実施形態に関する以下の記述で
は、図面と関連づけつつ本発明をより詳しく説明する。

【００５０】工作物、特に金属製工作物を切削工具で加
工すると、工作物の外側表面や内側表面（例えば穴状切
除部）にバリができることがある。図１（ａ）から
（ｃ）に穴にできるバリを概略的に示す。

【００５１】バリには様々なタイプがある。本願にいう
タイプ１のバリは、全体としては図１（ａ）に符号１０
で示したようなもので、縁が円周状に立ち上がった形態
を有する単純な形のバリで、高さは０．１５ｍｍ以上で
ある。タイプ２のバリは同様の単純なバリで、高さは約
１．１ｍｍである。

【００５２】タイプ３のバリは、全体としては図１
（ｂ）に符号１２で示したようなもので、バリの円周状
の縁１４が鋸歯状になっているため、王冠状バリとも呼
ばれる。また、タイプ３のバリでは、バリのできた工作
物１８にある穴１６の直径の約０．６５倍の高さがあ
る。

【００５３】タイプ４のバリとは、工作物にぶら下がり
状態でくっついた穴キャップを有する単純なバリのこと
である（図示せず）。

【００５４】タイプ５のバリは、全体としては図１
（ｃ）に符号２０で示したようなもので、円周状の縁２
２の高さが非常に不均一であり、しかも鋸歯状部２４が
形成されている。しかし、この鋸歯状部は、タイプ３の
バリとは対照的に、バリ２０の縁２２の全周に分布して
はいない。

【００５５】そこで、本発明では、そもそもバリが工作
物の表面に形成されているのかどうかが分かるバリ検査
用センサ装置を設計する。とりわけ、本発明に係る装置
を用いることで、例えばバリの寸法やバリの属するタイ
プといった、バリに関する定量的表現が得られる。本発
明に係るバリ検査用センサ装置で工作物を適切に測定す
ることにより、例えばバリの除去又は縮小のために後処
理が必要かどうかというような、工作物のその後の加工
に役立つ様々な重要な情報を得ることができる。一連の
複数の工作物がある場合はそれを用いて、その一連の工
作物の範囲で生じるバリの時間的変化を監視するように
工作物の検査を行うこともできる。例えば、穴の周囲に
できるバリの形態から穴あけ工具の切れ味の低下がわか
る。

【００５６】図２に本発明に係るバリ検査用センサ装置
の第一の実施例を概略的に示す。この図では装置を全体
として符号２６で示している。この装置は検出ヘッド３
０を有する距離センサ２８を備えている。検出ヘッド３
０は活性面３２を有しており、この面を通じて工作物３
４と電磁結合できる。このとき、結合状態は検出ヘッド
３０の活性面３２と工作物３４との間の距離３６によっ
て決まる。

【００５７】図２に示した実施例において、距離センサ
２８は誘導型近接センサである。これは、渦電流の発生
により工作物３４の表面と誘導結合する。このため、工
作物３４は金属材料で作製する必要がある。更に、距離
センサ２８の検出ヘッド３０は活性面３２の方を向いた
コイル３８を誘導素子として備えており、このコイルと
金属製工作物３４が誘導結合する。

【００５８】この実施例において、コイル３８は殻状コ
ア４０を備えている。殻状コア４０の底面は実質的に活
性面３２を規定する。つまり、殻状コアのキャップ４１
の表面が活性面３２にほぼ相当する。距離センサ２８の
感知野４２は活性面３２の前に存在する。

【００５９】模範例として、距離センサ２８は更に発振
器４４、復調器４６及び出力ドライバ５０を備えてい
る。距離センサ２８の出力端子５２には、例えば電圧信
号のようなアナログ出力信号が供給されている。この信
号は検出ヘッド３０の活性面３２と工作物３４との間の
距離に依存する。

【００６０】別の形態として、距離センサ２８のコイル
３８がコアを持たないようにすることもできる。この場
合、例えば金属製工作物３４が誘導結合により発振中の
発振器４４の振幅に影響を与え、発振器４４の振幅及び
／又は周波数及び／又は位相が距離３６を求める尺度と
なる。

【００６１】距離センサ２８の相互作用は活性面３２を
通じてのみ生じ、この面の構造及び工作物に対する相対
的位置に応じて感知野４２が定まる。検出ヘッド３０を
有する距離センサ２８は工作物３４の上で局所的に位置
決め可能であり、このとき、検出ヘッド３０と工作物３
４との間で相互作用が局所的感知野を通じて局所的に発
生する。感知野４２の中にバリがあると、活性面３２と
工作物３４との間の電磁（誘導）結合が影響を受け、そ
れに応じて出力信号５２が変化する。このように信号が
変化すると、工作物に関する局所的情報、すなわち、バ
リが存在するかどうかに関する情報が得られる。一方、
信号の変化そのものからバリに関する定量的情報を得る
ことができる。

【００６２】図２では、模範例として距離センサ２８を
工作物に誘導結合される誘導型距離センサとして描いて
いる。しかし、距離センサを工作物３４と容量結合する
容量型距離センサとして構成するような設計も可能であ
る。ここでも電磁結合が関係してくるのであって、この
静電結合が同様に距離３６から影響を受けるのである。
従って、ここでも、容量型距離センサの出力信号に基づ
いて工作物３４の検査を行うことができる。

【００６３】図２に示した実施例では、活性面３２が距
離センサ２８の縦軸５４に対して対称に構成されてい
る。このとき、工作物３４が結合されていないか、ある
いは、結合された工作物３４において感知野４２の位置
関係が、少なくとも該感知野４２が有効な領域内におい
て、距離をおいて位置決めされた距離センサ２８の縦軸
５４上で対称になっている限り、感知野４２も同様に縦
軸５４に対して対称に形成される。

【００６４】こうして、距離センサ２８の有効なセンサ
領域（感知野４２）は、実質的に距離センサ２８の縦方
向５４に平行な視線方向を持つ可視領域を有することに
なる。

【００６５】縦方向５８を持つ距離センサ５６を例に挙
げて図３に概略的に示したように、活性面６０が縦方向
５８に対して斜め又は横に向き、その結果、その面に対
応する、感知野６２により定まった可視領域が、距離セ
ンサ５６の縦方向５８に対して実質的に斜め又は横に、
そして特に垂直に向くような視線方向６４を持つように
することもできる。

【００６６】更に、例えば高い位置分解能を達成するた
め、距離センサの可視領域を所定方法で調節したり、特
に遮蔽素子で制限することも可能である。適切に配置さ
れた遮蔽素子は距離センサと工作物との間における感知
野の形成に影響を及ぼす。ここで、特に、誘導型距離セ
ンサでは金属製工作物３４における渦電流の誘導に影響
を及ぼす点で遮蔽素子が関係し、また、容量型距離セン
サでは活性面と工作物との間の電界の形成に影響を及ぼ
す点で遮蔽素子が関係する。

【００６７】出力端子５２には、検出ヘッド３０と工作
物との間の距離に対応する距離情報を含んだアナログ出
力信号が順に蓄積される。更に分離型の評価部を設け、
測定ヘッドの信号を無線により又は伝送線を使ってその
評価部に伝送すると有利である（図示せず）。この評価
部は、評価アルゴリズムを用いて、信号に間接的に含ま
れているバリ情報から、バリ形成に関する情報、なかで
も位置及び寸法に関する直接的情報を求める。そのため
に、例えば、センサ位置が同じで工作物にバリがない場
合に対応する信号である参照信号との比較を行う。

【００６８】また、距離センサは例えば光学検査器のよ
うな光学的距離センサでもよい。このセンサを距離セン
サ６６として図４に概略的に示す。このセンサは活性面
７０を有する検出ヘッド６８を備えている。活性面を通
じて光で工作物に衝撃を与え、更に同じ活性面で工作物
からの反応信号の受信、すなわち、戻ってくる反射光の
受光も行われる。こうして、活性面の前に感知野７２が
形成され、これによって工作物を局所的に検査し、それ
を利用して検出ヘッド６８と工作物との間の距離を求め
ることができる。こうして感知野７２が距離センサ６６
と工作物との間で局所的に形成される。

【００６９】活性面７０の光の衝撃だけを測定し、それ
に基づいて検出ヘッド６８の工作物からの距離に関する
情報を取得する場合、活性面７０を有する検出ヘッド６
８は、それ自体が感知野７２にとっての光源であると同
様に工作物から戻ってくる反射光の受光器でもある。

【００７０】光学的距離センサ６６では、感知野７２を
非常に精確かつ所定通りに位置合わせできる。なぜな
ら、工作物に衝撃を与えるための検出ヘッド６８からの
光の出射によりセンサの視線方向が定まるからである。
特に、検出ヘッド６８からの光を光ファイバを使って出
力することも可能である。また、戻ってくる反射光も光
ファイバで入力し、光学的評価部に伝送するようにして
もよい。

【００７１】戻ってくる反射光を測定することにより、
非金属製材料までの距離も光学的に測定可能となり、そ
れによって例えばセラミック材料や他の合成材料でもバ
リの形成を検査できる。

【００７２】図４にバリ検査用センサ装置の実施例を概
略的に示す。この装置はそれぞれ検出ヘッドを有する複
数の距離センサを備えている。例えば、距離センサ６６
の近くに別の距離センサ７４がある。距離センサ７４は
光学式、誘導型又は容量型距離センサのいずれでもよ
い。複数の距離センサを有するバリ検査用センサ装置に
おいては、基本的に距離センサの全ての組み合わせが可
能である。もっとも、距離センサを同じ形式にするのが
実施形態として有利である。

【００７３】複数の距離センサに含まれる距離センサを
互いに固定的に結合して、複数の距離センサを有するバ
リ検査用センサ装置の移動の際にそれら距離センサが一
緒に移動するとともに互いの相対位置が変化しないよう
にすると有利である。もっとも、例えば図４に矢印７６
及び７８で示したように、距離センサの相対位置を互い
に調節可能にしてもよい。距離センサ６６及び７４を方
向７６に沿って固定可能に移動させることにより、両者
をペンチのように引き離したり近づけたりでき、しか
も、各距離センサの縦方向８０に対して斜め又は横方向
に動かすことができる。このようにすると、例えば適当
なバリ検査用センサ装置を穴の壁のバリ検査のために挿
入しなければならないような穴があるとき、センサ装置
をその穴に適合させることができる。この結果、検査す
べき材料表面（穴の場合は材料の内側表面）に対する距
離センサ６６、７４の各距離を所定通りに調節すること
ができるとともに、距離センサ６６及び７４の各感知野
を所定の方法で設定することができる。

【００７４】更に、距離センサ６６、７４を矢印７８に
沿って固定自在に調節可能に、すなわち、距離センサ６
６、７４の縦方向８０に実質的に平行に調節できるよう
にしてもよい。このようにすると、感知野をその視平面
が例えば縦方向８０に対して斜めになるように互いに相
対的にずらして配置することができ、その結果、複数の
距離センサを有するバリ検査用センサ装置で、例えば穴
の中での異なる高さ範囲が同時に検査可能になる。

【００７５】距離センサ６６、７４の感知野が高さに関
して互いにずれていない場合、このセンサ装置を例えば
穴に挿入すると、穴の内部の円周表面のより広い部分を
同時に検査できる。より多くの距離センサを円周状に分
散配置すれば、同時に検査できる領域がより広くなる。

【００７６】１個又は複数の距離センサを有するセンサ
装置を例えば穴の内部で穴の対称軸の回りに回転させ、
穴の壁を全周にわたって完全に検査するとともに本発明
に係るバリ検査を実行することも可能であり、好まし
い。

【００７７】更に、複数の距離センサによって差信号及
び／又は和信号を生成するようにしてもよい。特に、距
離センサが同じ視線方向を有するときに当てはまる。

【００７８】図５に、バリ検査用センサ装置の実施例８
２を示す。この装置は穴８４の検査に用いられる。この
穴８４は別の穴８６に通じており、その結果切除部８８
ができている。このような切除部８８は、バリが生じ得
る外側縁９０、及び、同様にバリが生じ得る内側縁９２
を有する。

【００７９】このセンサ装置８２では、２個の距離セン
サ９４、９６が、外側縁９０及び内側縁９２のバリを測
定時に同時に検査できるような距離だけ互いにずれて配
置されている。この場合、距離センサ９４及び９６の間
の距離は実質的に外側縁９０と内側縁９２との間の距離
に相当する。このようにすると、センサ９６で例えば内
側縁９２にできたバリを測定できる一方で、それと同時
に距離センサ９４が外側縁９０にできたバリに関する情
報を出力する。

【００８０】図４及び５に複数の距離センサを有するセ
ンサ装置を示す。これらの装置では、各感知野が互いに
逆向きの視線方向を有しているため、工作物の対面する
面を測定することができる。また、２を超える適宜な数
の距離センサがある場合、例えば放射状の複数の視線方
向を設定してもよい。

【００８１】図６に、バリ検査用センサ装置の実施例９
８を示す。この装置には第一の距離センサ１００及び第
二の距離センサ１０２が備えられている。２つの距離セ
ンサは高さに関して互いに相対的にずれて配置されてい
るが視線方向は同じである。このため、センサ装置９８
を移動させて工作物表面１０４を検査する際、同一の表
面領域をまず第一の距離センサで検査し、次に第二の距
離センサで検査することができる。このとき、特に両方
の距離センサ１００、１０２が異なった構成を持つよう
にしてもよい。例えば、第一の距離センサ１００は分解
能を低くして、例えばそもそもバリが存在するかどうか
を認識するために粗めの検査を行い、第二の距離センサ
１０２は分解能を高くして、第一の距離センサ１００で
存在が検出されたバリを定量的に測定できるようにして
もよい。

【００８２】複数の距離センサを互いの相対位置を固定
しながらも高さをずらして配置することにより、工作物
表面の検査をより迅速に達成できる。前記配置の結果生
じる、バリ検査用センサ装置９８が工作物に作用するた
めの感知野が、まさに距離センサ１００、１０２の数に
応じて大きくなるからである。

【００８３】バリを目標とする工作物１０６の触診・検
査には、図７に示したように位置決め装置を用意し、こ
れを用いてバリ検査用センサ装置１０８を工作物１０６
に対して同工作物上で同工作物から所定の距離に位置決
めできるようにすると有利である。例えば、ゾンデ１１
０として構成された距離センサを有するセンサ装置１０
８は工作物１０６に対して移動可能（詳しく言えばＸ方
向、Ｙ方向及びＺ方向に移動可能）で、Ｚ方向に移動さ
せることでゾンデ１１０と工作物１０６との間の高低差
が決まる。ゾンデ１１０は特に、工作物１０６の内側表
面のバリ（これは、例えば切除加工によって生じ得る）
を検査するために、工作物１０６の穴１１２に挿入する
ことができる。

【００８４】Ｘキャリッジ、Ｙキャリッジ及びＺキャリ
ッジを有する位置決め装置を利用すると、ゾンデ１１０
を動かすことができる。

【００８５】それに加えて、穴１１２の内側の円周表面
を検査できるようにするために、例えばゾンデ１１０を
Ｚ軸の回りに回転可能にしてもよい（図７のＣの動
き）。

【００８６】工具を用いた工作物１０６の加工では、工
作物１０６に関して工具を位置決めする装置自体か、工
具に対して工作物１０６を位置決めする装置が必要にな
る。両者の組み合わせも可能で、この場合、相対的な位
置決めのために、例えば部分的に（例えばＺ方向に）工
具を動かすとともに部分的に（例えばＸ方向及びＹ方向
に）工作物を動かす。工具と工作物１０６との間の相対
的位置を決めるための位置決め装置を工作物１０６に対
するゾンデ１１０の位置決めに用いるようにしてもよ
い。この場合、工作物の加工後に工作物１０６を持ち運
ぶ手間をかけることなく、加工成果物の検査を行うこと
ができる。例えば、工作物・工具用位置決め装置のため
のアダプタを用意し、ゾンデ１１０をこの位置決め装置
の上で工作物１０６に対して位置決めできるようにする
とともに、工作物１０６の外側表面及び／又は内側表面
に沿って動かすことによって工作物を局所的に検査でき
るようにしてもよい。

【００８７】図８〜１１に、誘導型距離センサを有する
バリ検査用センサ装置を用いて様々な直径の穴を有する
金属ブロックの測定例を示す。金属ブロックは図８
（ａ）の側面図及び図８（ｂ）の平面図で概略的に示さ
れ、全体としては図中の符号１１４で示されている。金
属ブロックには、小径の貫通穴１、２、３、中径の貫通
穴４、５、６、大径の貫通穴７、８、９がある。穴２、
３、５、６及び８、９には金属ブロック１１４の表面１
１６にバリができている。このうち穴３、６及び９にあ
るのはタイプ２のバリで（図１（ａ）参照）、穴２、５
及び８にあるのはタイプ３のバリである（図１（ｂ）参
照）。

【００８８】誘導型距離センサ２８を縦軸５４が表面１
１６に垂直になるように向け、直線１１８に沿って動か
す。ここで、直線１１８は９個の穴の直径−対称軸であ
る。距離センサ２８は表面１１６から一定の距離に位置
決めされている。つまり、配置された検出ヘッド３０の
活性面３２の距離は直線１１８に沿っての移動中、常に
一定である。感知野４２は金属ブロック１１４に向けら
れている。

【００８９】図９に第一の測定グラフを示す。この測定
では、距離センサを表面１１６に沿って１．８５ｍｍの
距離だけ動かし、センサには小さい活性面を有するもの
を用いた。図中の電圧Ｕａはセンサの出力電圧である。
この電圧は縦座標の正方向に小さくなる、つまり低下す
る。従って、図９の横座標の近傍に値があれば、それは
金属ブロック１１４の表面の被検査区画までの距離が大
きいことを意味し、横座標から離れたところに値があれ
ば、検出距離がそれだけ小さかったことを意味する。

【００９０】図９の符号１２０では、距離センサ２８が
金属ブロック１１４の外側に位置している。金属ブロッ
クに達すると、電圧が符号１２２の値まで変化する。金
属ブロック１１４での渦電流の誘導によって感知野から
エネルギーが奪われるため、電圧が低下するのである。
距離センサ２８はバリのない穴１をある程度覗き込むこ
とができる。このことは符号１２４から大体分かる。穴
２にはタイプ３のバリがある。この穴に達すると、電圧
Ｕａは急変する、すなわち、急降下する（符号１２
６）。こうして、図９の測定グラフから、穴２における
バリの存在が検出できる。電圧の最低到達値及び電圧降
下の推移から、検出されたバリの定量的情報を求めるこ
とができる。それも特に寸法に関する情報が得られ、と
きにはバリのタイプに関する情報も得られる。例えば、
図９の測定グラフによると二股の先端１２８が非対称に
なっているが、これは穴２にあるバリが王冠状バリであ
ることを示している。バリの高さが均一でなく、しかも
電圧の急降下がバリ高さの大きいことを示しているから
である。このように、電圧降下１２６はタイプ３のバリ
の存在を示している。実際、金属ブロック１１４に予め
形成したのもこのタイプである。

【００９１】図１０に、距離センサを金属ブロック１１
４の上で直線１１８に沿って距離４．６ｍｍだけ移動し
た場合に対応する金属ブロック１１４の検査の測定グラ
フを示す。ここでは、活性面の直径を図９の測定グラフ
を得るために使われた距離センサ場合より大きくするこ
とで、感知野の局所的面積がより大きくなるようにし
た。図１０の測定グラフに用いられた距離センサは分解
能が低いことが分かる。特に、穴のところでの深さが浅
い。このセンサでは、穴２のバリの認識はできる（電圧
降下１３０）ものの、二股の先端までは解像できない。
しかし、穴５では二股の先端１３２が解像されている。
これはタイプ３のバリの存在を示しており、実際にそこ
に予め形成されている。しかし、穴３にあるバリはかす
かに認識されているのみである。距離センサは、符号１
３４からおおよそ認識できるように、穴４をある程度見
分けているが、穴１は見分けられていない。しかしま
た、距離センサは穴７も見分けている。これは直径が最
も大きい穴である。穴３にあるタイプ２のバリはかすか
な信号１３６を出しているだけだが、穴６のバリははっ
きり識別できる（符号１３８）。

【００９２】穴８にあるタイプ３のバリも識別されてい
るが、電圧降下が非常に大きいため二股の先端はもはや
解像不能である。また、タイプ３のバリでは高さが直径
に依存する、つまり、穴８にあるバリは高さが比較的高
いため、距離センサがそのバリに接触寸前であることに
注意すべきである。

【００９３】図１１の測定グラフでは図１０で用いたの
と同じ距離センサをバリ検査に用いた。ただし、ここで
は、直線１１８に沿ってより長い距離６．８ｍｍだけセ
ンサを移動させた。今度は穴８に二股のバリ１４０が検
出されている。これは、上述したように、タイプ３のバ
リに関係する。穴９にあるタイプ２のバリも識別されて
いる（符号１４２）。なお、このバリは既に測定により
検出されていたもので、図１０の測定グラフでも生じて
いた。

【００９４】金属ブロック１１４のバリ検査を実行する
ため、距離センサ２８を金属ブロック１１４の上で操作
及び／又は制御しつつ移動させることができる。更に、
例えば距離センサ２８を通じて求められる距離を制御量
として金属ブロック１１４上での移動の際に実質的に一
定に保ちつつ、電圧を記録する。検出ヘッド３０の金属
ブロック１１４に対する絶対位置を各時点で確認し、距
離センサ２８の出力信号を基準推移（バリのない工作物
について求められたもの）と比較することにより、バリ
の位置（基準推移に対するずれ）やバリの形態（ずれ方
やずれの大きさ）を知ることができる。

【００９５】特定の応用形態に対しては、特に活性面の
面積及び／又は視線方向及び／又は距離センサの動作周
波数及び／又は感知野の形成（特に方向依存性並びに／
もしくは距離依存性）に関してその形態に応じて構成さ
れた距離センサを適切に用いることにより、本発明に従
って、定性的バリ検査とともに定量的バリ検査も行うこ
とができる。

【００９６】例えば、バリ高さの高いバリを非接触で遠
距離から検査するために、広い活性面を有する距離セン
サを用いてもよい。このようにすると、距離センサがバ
リのある工作物にぶつかることを十分に防止できる。

【００９７】距離センサの損傷を回避するため、バリ検
査用センサ装置に、距離センサの工作物への衝突が近づ
くと警告信号を出力する金属素子を有する距離センサを
備えるようにしてもよい。この場合、バリが非常に鋭い
縁を持っている可能性があり、距離センサがバリと接触
すると、距離センサの機能が損なわれたり距離センサが
破損するおそれがあることを考慮すべきである。

【００９８】このときまた、活性面の大きい距離センサ
では分解能が不十分であるような穴を検査するとともに
その穴のバリをはっきりと検査できるようにするため、
例えば小さい活性面を有する別の距離センサを用いても
よい。

【００９９】図１２及び１３に、穴１４６及び交差切除
部１４８を有する工作物１１４の測定を概略的に示す。
この場合、第一の縁１５０及び第二の縁１５２にバリが
できる可能性がある。

【０１００】ゾンデとして構成された検出ヘッド１５４
及び活性面１５６を有する誘導型距離センサを穴１４６
に挿入し、穴１４６の軸方向に沿って第二の縁１５２に
向かって押し進めながら、検出ヘッド１５４の場所ｓに
依拠する距離センサの出力電圧Ｕａを記録する。

【０１０１】図１２（ａ）に示した実施例では、縁１５
０及び１５２にはバリがなく、図１２（ｂ）では第一の
縁１５０にバリ１５８ができており、図１２（ｃ）に示
した工作物でも同様に縁１５０にバリ１６０ができてい
る。このバリ１６０の高さは、図１２（ｂ）に示したバ
リ１５８よりも高い。図１２（ｄ）に示した工作物では
第二の縁１５２にバリ１６２ができている。

【０１０２】図１３の測定グラフは、図１２（ａ）から
（ｄ）に示した様々な工作物について求められた電圧の
推移を示す。電圧の推移１６４は、図１２（ａ）に示し
たバリのない工作物の測定結果を示す。ここで、図１３
の電圧は、横軸からの距離が大きくなるにつれて高くな
るように描かれている。従って、工作物より外側では、
距離センサの誘導結合が生じないため、電圧１６６が高
くなっている。そこから、距離センサの検出ヘッド１５
４を工作物に近づけると、渦電流の誘導によりエネルギ
ーが奪われるため電圧が降下する（符号１６８）。穴１
４６の内側では、検出ヘッド１５４が穴の軸に対して対
称に配置されている限り、電圧は低レベル１７０で一定
となり、その後、交差切除部１４８に達すると、再び上
昇する。工作物の内側表面までの距離が大きいとき、交
差切除部１４８の中にある検出ヘッド１５４では、活性
面１５６が交差切除部１４８から穴１４６の後続部分に
入るまで、最初の電圧レベル１６６に達した状態とな
る。

【０１０３】縁１５０にバリ１５８が形成されている場
合、電圧の推移は符号１７２のようになる。第一の縁１
５０の近傍において、検出ヘッドは、工作物との誘導結
合が変化して電圧が急降下することを記録する。丁度そ
こにバリ１５８が存在するからである。この電圧降下の
位置から、バリがどこにあるか、すなわち押し方向にお
けるバリの寸法がどのくらいかがわかる。一方、電圧降
下の傾きからは、バリが押し方向に直交してどの程度ま
で離れて形成されているかについての情報が得られる。
感知野を適切に調節することにより、バリ１５８に関す
る定量的情報が得られる。

【０１０４】このことは例えば、バリ１６０を有する図
１２（ｃ）に示した工作物に対応する電圧の推移１７４
に現れている。このバリ１６０は、図１２（ｂ）に示し
たバリ１５８と比べて高さは高いものの横断方向の寸法
は実質的に同じである。従って、電圧降下はより早く起
きる。図１２（ｂ）のバリ１５８よりもバリ１６０の方
が検出ヘッド１５４の感知野が早く到達するからであ
る。しかし、電圧の推移１７２及び１７４の傾きは非常
に似ている。バリ１５８及び１６０の横断方向の寸法が
ほぼ同じだからである。

【０１０５】最後は、第二の縁１５２にバリができた図
１２（ｄ）の工作物に対応する電圧の推移１７６であ
る。この場合、高い電圧レベルから電圧降下が発生す
る。検出ヘッド１５４が最初にバリ１６２との相互作用
に入ったとき、同ヘッドは交差切除部１４８の範囲内に
あり、工作物との誘導結合もそれだけ弱いからである。
しかし一方で、電圧降下の位置からバリの場所が特定で
き、その大きさも特定できる。

【０１０６】本発明によるバリ検査では、活性面を有す
る検出ヘッドを備える距離センサを工作物に対して距離
をおいて位置決めし、活性面と工作物との間に局所的感
知野を形成する。この感知野を通じて検出ヘッドの工作
物からの距離を求めることができる。そこから工作物に
沿って検出ヘッドを動かすか、検出ヘッドに対して工作
物を相対移動させ、バリが存在すると、それに応じて距
離センサが発生する距離信号が変化し、この信号から、
バリが存在するかどうかを定性的に読みとることができ
るとともに、バリの種類や形状に関する定量的表現を生
成することもできる。

【０１０７】感知野の大きさ及び方向を適切に構成する
ことにより、本発明に係るバリ検査用センサ装置を工作
物の外側及び内側の検査すべき目的表面に適合させるこ
とができ、また、例えば所定の発振周波数の選択等によ
って距離センサにおける評価を適切に行うことによって
も適合を達成できる。

【０１０８】また、距離センサは特に工作物と電磁結合
（例えば誘導的又は容量的に）されるか、あるいは検出
ヘッドを通じて電磁気的信号で衝撃を与えられ、反応信
号が受信される。電磁気的信号での衝撃による場合で
も、距離センサは、検出ヘッドの活性面により決定され
る局所的感知野を有するセンサである。こうして、本発
明によれば、バリ検査を定性的及び／又は定量的に実行
するため、工作物表面が局所的に検査される。

【０１０９】本発明に係るバリ検査用センサ装置はま
た、例えば面取りの検査等の縁検査にも応用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 工作物の穴にできるバリの様々な形態（図１
（ａ）、（ｂ）、（ｃ））。

【図２】 本発明に係るバリ検査用センサ装置に用いら
れる距離センサの概略図。

【図３】 バリ検査用センサ装置に用いられる別の距離
センサの概略図。

【図４】 バリ検査用センサ装置が２個の距離センサを
備える実施例の概略図。

【図５】 同様に２個の距離センサを備える本発明に係
るバリ検査用センサ装置の変形例。

【図６】 軸方向に離れて配置された２個の距離センサ
を備える別の変形例。

【図７】 位置決め装置に保持された距離センサの工作
物に対する相対的可動性を概略的に示す図。

【図８】 直径が異なり、バリの形状も異なる一列の穴
１から９を有する工作物の横から見た縦断面図（図８
（ａ））と平面図（図８（ｂ））。

【図９】 距離センサを工作物に沿って縦方向に、穴の
直径に対して対称性を保ちつつ、所定距離（１．８５ｍ
ｍ）だけ動かしたときに距離センサから出力される電圧
の推移。

【図１０】 図９に示した測定グラフに用いられたセン
サに比べてより大きな活性面を備える別の距離センサを
工作物に沿って異なる距離（５ｍｍ）だけ動かしたとき
の電圧の推移。

【図１１】 図１０に示した測定グラフを求めるのに用
いられた距離センサを工作物に沿ってより大きな距離
（６．８ｍｍ）だけ動かしたときの電圧の推移。

【図１２】 穴状切除部を有する工作物で、この穴状切
除部には、バリのないもの（図１２（ａ））、切除部の
縁に距離センサの挿入口の方を向いた低いバリのあるも
の（図１２（ｂ））、より高いバリのあるもの（図１２
（ｃ））、そして、切除部の反対側の縁にバリのあるも
の（図１２（ｄ））、がある。

【図１３】 図１２（ａ）〜（ｄ）に示した工作物の穴
にそれぞれ距離センサを通して位置を変化させたときに
出力される電圧の推移。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F063 AA02 AA22 AA23 BA00 BB02 BD11 DA01 DA05 DC08 DD02 DD08 GA03 GA08 HA04 KA02 LA22 LA23 2F065 AA06 BB05 CC00 FF12 MM03

Claims (49)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検出ヘッド（３０）を有する距離センサ
   （２８）を少なくとも一つ備えており、前記検出ヘッド
   （３０）は工作物に対して距離をおいて位置決め可能で
   あるとともに該検出ヘッドと工作物は互いに相対移動可
   能であり、検出ヘッド（３０）は工作物と電磁結合可能
   であるか又は該ヘッドを通じて工作物に電磁気的信号で
   衝撃を与えることが可能であり、工作物への結合又は前
   記衝撃信号に対する前記工作物の電磁気的反応信号は検
   出ヘッド（３０）と工作物との間の距離に依存している
   ため、該距離は非接触で測定可能であり、検出ヘッド
   （３０）により工作物表面を非接触で検査可能である、
   工作物上のバリを検査するためのバリ検査用センサ装
   置。
2. 【請求項２】 検出ヘッド（３０）が活性面（３２）を
   備え、この面で工作物への局所的結合が生じるか、この
   面で衝撃信号が工作物表面の領域へ局所的に発せられる
   とともに前記領域からの反応信号が受信されることを特
   徴とする請求項１に記載のバリ検査用センサ装置。
3. 【請求項３】 検出ヘッド（３０）と工作物が間隔方向
   に平行に相対移動できることを特徴とする請求項１又は
   ２に記載のバリ検査用センサ装置。
4. 【請求項４】 検出ヘッド（３０）と工作物とが高さ距
   離方向に対して斜め又は横方向に相対移動できることを
   特徴とする、先行するいずれかの請求項に記載のバリ検
   査用センサ装置。
5. 【請求項５】 検出ヘッド（３０）を工作物に対して位
   置決めしたり動かしたりするための位置決め装置を備え
   ることを特徴とする、先行するいずれかの請求項に記載
   のバリ検査用センサ装置。
6. 【請求項６】 検出ヘッド（３０）が位置決め装置によ
   って線形独立な座標軸に沿って位置決め可能であること
   を特徴とする請求項５に記載のバリ検査用センサ装置。
7. 【請求項７】 検出ヘッド（３０）が工作物に対して回
   転可能であることを特徴とする請求項５又は６に記載の
   バリ検査用センサ装置。
8. 【請求項８】 工作物を加工するための工具用の位置決
   め装置が距離センサ（２８）用の位置決め装置として利
   用されることを特徴とする請求項５から７のいずれかに
   記載のバリ検査用センサ装置。
9. 【請求項９】 検出ヘッドがゾンデ（１１０）として構
   成されるかゾンデの内部に配置されることを特徴とす
   る、先行するいずれかの請求項に記載のバリ検査用セン
   サ装置。
10. 【請求項１０】 ゾンデ（１１０）が工作物にできた穴
    に挿入可能であることを特徴とする請求項９に記載のバ
    リ検査用センサ装置。
11. 【請求項１１】 装置の電子構成部品が全体的又は部分
    的にゾンデ（１１０）内に配置されていることを特徴と
    する請求項９又は１０に記載のバリ検査用センサ装置。
12. 【請求項１２】 距離センサ（２８）の可視領域が調節
    されることを特徴とする、先行するいずれかの請求項に
    記載のバリ検査用センサ装置。
13. 【請求項１３】 距離センサ（２８）の可視領域が電磁
    気的に調節可能であることを特徴とする請求項１２に記
    載のバリ検査用センサ装置。
14. 【請求項１４】 検出ヘッド（３０）と工作物との間の
    電磁結合が特定の可視領域に制限されるように距離セン
    サが構成及び／又は遮蔽されていることを特徴とする請
    求項１２又は１３に記載のバリ検査用センサ装置。
15. 【請求項１５】 前記特定の可視領域が、距離センサ
    （２８）の縦方向（５４）に対して実質的に斜め又は横
    の視線方向を有することを特徴とする請求項１２から１
    ４のいずれかに記載のバリ検査用センサ装置。
16. 【請求項１６】 前記特定の可視領域が、距離センサ
    （２８）の縦方向（５４）に対して実質的に平行な視線
    方向を有することを特徴とする請求項１２から１５のい
    ずれかに記載のバリ検査用センサ装置。
17. 【請求項１７】 測定ヘッドで信号の前処理が実行され
    るとともにバリ検査用の評価部が備えられていることを
    特徴とする、先行するいずれかの請求項に記載のバリ検
    査用センサ装置。
18. 【請求項１８】 評価アルゴリズムで測定信号と基準推
    移とを比較することを特徴とする請求項１７に記載のバ
    リ検査用センサ装置。
19. 【請求項１９】 検出ヘッド（３０）が接触部を備える
    ことにより、その検出ヘッドが距離をおいて配置された
    装置に結合可能であることを特徴とする、先行するいず
    れかの請求項に記載のバリ検査用センサ装置。
20. 【請求項２０】 検出ヘッド（３０）が、距離をおいて
    配置された装置と無線で結合可能なリモート装置として
    構成されていることを特徴とする請求項１から１８のい
    ずれかに記載のバリ検査用センサ装置。
21. 【請求項２１】 距離センサが、その検出ヘッド（３
    ０）が金属製工作物に誘導結合する誘導型センサ（２
    ８）であることを特徴とする、先行するいずれかの請求
    項に記載のバリ検査用センサ装置。
22. 【請求項２２】 距離センサ（２８）が、電圧で衝撃を
    与えることができる金属製の外部表面領域を有すること
    を特徴とする請求項２１に記載のバリ検査用センサ装
    置。
23. 【請求項２３】 距離センサが、その検出ヘッドで光学
    信号で工作物に衝撃を与えるとともに反射信号を記録す
    る光学式距離センサ（６６）であることを特徴とする請
    求項１から２０のいずれかに記載のバリ検査用センサ装
    置。
24. 【請求項２４】 光信号が光ファイバで入力及び／又は
    出力されることを特徴とする請求項２３に記載のバリ検
    査用センサ装置。
25. 【請求項２５】 距離センサが、その検出ヘッドが金属
    製工作物に誘導結合するとともに、該検出ヘッドを通じ
    て光学的信号により工作物に衝撃を与え、更に該検出ヘ
    ッドで反射信号を記録することができる光学・誘導型距
    離センサであることを特徴とする請求項１から２０のい
    ずれかに記載のバリ検査用センサ装置。
26. 【請求項２６】 距離センサが、その検出ヘッドが工作
    物に容量結合する容量型距離センサであることを特徴と
    する請求項１から２０のいずれかに記載のバリ検査用セ
    ンサ装置。
27. 【請求項２７】 距離センサが、工作物と誘導的にも容
    量的にも結合可能な素子を有する結合型誘導・容量距離
    センサであることを特徴とする請求項１から２０のいず
    れかに記載のバリ検査用センサ装置。
28. 【請求項２８】 複数の距離センサ（６６、７４）を備
    えることを特徴とする、先行する請求項のいずれかに記
    載のバリ検査用センサ装置。
29. 【請求項２９】 異なる距離センサのセンサ信号が互い
    に結合されることを特徴とする請求項２８に記載のバリ
    検査用センサ装置。
30. 【請求項３０】 複数の距離センサの差信号が評価され
    ることを特徴とする請求項２８又は２９に記載のバリ検
    査用センサ装置。
31. 【請求項３１】 複数の距離センサの和信号が評価され
    ることを特徴とする請求項２８から３０のいずれかに記
    載のバリ検査用センサ装置。
32. 【請求項３２】 バリ検査用センサ装置の複数の距離セ
    ンサが同じ視線方向を有することを特徴とする請求項２
    ８から３１のいずれかに記載のバリ検査用センサ装置。
33. 【請求項３３】 バリ検査用センサ装置の複数の距離セ
    ンサが異なる視線方向を有することを特徴とする請求項
    ２８から３１のいずれかに記載のバリ検査用センサ装
    置。
34. 【請求項３４】 バリ検査用センサ装置の複数の距離セ
    ンサが逆の視線方向を有することを特徴とする請求項３
    ３に記載のバリ検査用センサ装置。
35. 【請求項３５】 複数の距離センサ（６６、７４）が互
    いに相対的に固定的に位置決めされていることを特徴と
    する請求項２８から３４のいずれかに記載のバリ検査用
    センサ装置。
36. 【請求項３６】 バリ検査用センサ装置の複数の距離セ
    ンサ（６６、７４）の相対位置が調節可能であることを
    特徴とする請求項２８から３５のいずれかに記載のバリ
    検査用センサ装置。
37. 【請求項３７】 複数の距離センサが同じ視平面を有す
    ることを特徴とする請求項２８から３６のいずれかに記
    載のバリ検査用センサ装置。
38. 【請求項３８】 複数の距離センサがずれた視平面を有
    することを特徴とする請求項２８から３７のいずれかに
    記載のバリ検査用センサ装置。
39. 【請求項３９】 ２個の距離センサ（６６、７４）を備
    えることを特徴とする請求項２８から３８のいずれかに
    記載のバリ検査用センサ装置。
40. 【請求項４０】 ３個の距離センサを備えることを特徴
    とする請求項２８から３８のいずれかに記載のバリ検査
    用センサ装置。
41. 【請求項４１】 バリ検査用センサ装置が、遮蔽部の形
    状及び／又は視線方向及び／又は動作周波数及び／又は
    自由区域に関して、検査すべき工作物に適合しているこ
    とを特徴とする、先行するいずれかの請求項に記載のバ
    リ検査用センサ装置。
42. 【請求項４２】 工作物を検査するために、距離センサ
    を制御しつつ工作物に沿って移動させることを特徴とす
    る、先行するいずれかの請求項に記載のバリ検査用セン
    サ装置。
43. 【請求項４３】 距離センサにより求められた工作物ま
    での距離が制御量であることを特徴とする請求項４２に
    記載のバリ検査用センサ装置。
44. 【請求項４４】 距離センサが非接触で動作し、工作物
    上で局所的に位置決め可能であり、工作物と局所的に相
    互作用でき、この相互作用から工作物と距離センサとの
    距離を求めることができる、距離センサをバリ検査用セ
    ンサとして利用する方法。
45. 【請求項４５】 距離センサが工作物に電磁結合するこ
    とを特徴とする請求項４４に記載の距離センサの利用方
    法。
46. 【請求項４６】 距離センサが工作物に容量結合するこ
    とを特徴とする請求項４４又は４５に記載の距離センサ
    の利用方法。
47. 【請求項４７】 距離センサが工作物に誘導結合するこ
    とを特徴とする請求項４４から４６のいずれかに記載の
    距離センサの利用方法。
48. 【請求項４８】 距離センサが発光器及び受光器を備え
    る検出ヘッドを有し、工作物が検出ヘッドによって局所
    的に光学的に検査可能であることを特徴とする請求項４
    ４に記載の距離センサの利用方法。
49. 【請求項４９】 距離センサと工作物との間に局所的セ
    ンサ領域を形成することができ、それを通じて距離セン
    サと工作物との間の距離を求めることができることを特
    徴とする請求項４４から４８のいずれかに記載の距離セ
    ンサの利用方法。