JP4498228B2 - バリ検知方法および装置 - Google Patents
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Description
従来の一般的な微小バリの検知の方法、専用の治具とワークの対象となるポイントに位置合わせした照明装置を用いて、熟練した作業者が拡大顕微鏡により視覚判定するものであった。しかしながら、人間による判定作業においては、当然のことながらバラツキが生ずるものであり、照明位置の僅かなズレによっても判定の結果のバラツキが生じがちであった。
第1の発明は、検知対象となる金属製ワークの3μm以上のバリを対象とするバリ検知方法において、検知対象となる金属製ワークを電源のプラス極に接続し、電極に電源のマイナス極を接続し、電極とワークを近接して電極とワーク間に存在する気体に放電を生じさせ、ワークと電極間を流れる電流が予め設定されたしきい値を超えた場合にバリ有りと判定するバリ検知方法である。
第2の発明は、第1の発明において、前記ワークの載置面とその対となる面を反転させ、反転の前後それぞれで前記判定を行うことを特徴とする。
第3の発明は、第1または2の発明において、前記電極は、前記ワークの外周の形状に合致する外周用電極と、前記ワークの内周の形状に合致する内周用電極を用いることを特徴とする。
第4の発明は、第1,2または3の発明において、前記電極は、長手方向を縦断する一定幅の導電部と絶縁部とから構成される電極を用いることを特徴とする。
第5の発明は、第4の発明において、前記導電部の回転位置情報から、前記ワークにおけるバリの円周上の位置を算出することを特徴とする。
第6の発明は、第1ないし5のいずれかの発明において、前記放電時に、前記ワークおよび/または前記電極を回動させることを特徴とする。
第7の発明は、第1ないし6のいずれかの発明において、前記放電は、バリが起立するように前記ワークの表面をブラッシングした後に行うことを特徴とする。
第8の発明は、第1ないし7のいずれかの発明において、前記ワークは磁性体であり、前記放電は、バリが起立するように前記ワークに磁石を近接させた後に行うことを特徴とする。
第9の発明は、第1ないし8のいずれかの発明において、前記放電は、前記電源により3000〜7000Vの極性がマイナスの直流電圧を供給して行うことを特徴とする。
第10の発明は、検知対象となる金属製ワークの3μm以上のバリを対象とするバリ検知装置において、
検知対象となる金属製ワークに接続されるプラス極および電極となるマイナス極を有する電源と、
電極をワークに近接および離間させる電極駆動系と、
ワークと電極の近接時に電極とワーク間に存在する気体に放電を生じさせた場合に流れる電流値を検出する電流値検出器と、
電流値が予め設定されたしきい値を超えた場合にバリ有りと判定する判定装置と、
を備えるバリ検知装置である。
第11の発明は、第10発明において、さらに、前記ワークの載置面とその対となる面を反転させるワーク反転機構を有し、反転の前後それぞれで前記判定を行うことを特徴とする。
第12の発明は、第10または11の発明において、前記電極は、前記ワークの外周の形状に合致する外周用電極と、前記ワークの内周の形状に合致する内周用電極とから構成されることを特徴とする。
第13の発明は、第10,11または12の発明において、前記電極は、長手方向を縦断する一定幅の導電部と絶縁部とから構成されることを特徴とする。
第14の発明は、第13の発明において、前記判定装置は、前記導電部の回転位置情報から、前記ワークにおけるバリの円周上の位置を算出することを特徴とする。
第15の発明は、第10ないし14のいずれかの発明において、前記電極駆動系は、前記電極を回動自在であることを特徴とする。
第16の発明は、第10ないし15のいずれかの発明において、さらに、前記電源のプラス極とそれぞれ接続され、載置されたワークを回動自在である複数のワーク載置部を有するロータリーテーブルを備えることを特徴とする。
第17の発明は、第10ないし16のいずれかの発明において、前記ワークと電極を近接する上流工程に、バリが起立するように前記ワークの表面をブラッシングする手段を有することを特徴とする。
第18の発明は、第10ないし17のいずれかの発明において、前記ワークは磁性体であり、前記ワークと電極を近接する上流工程に、バリが起立するように前記ワークに磁石を近接させる手段を有することを特徴とする。
第19の発明は、第10ないし18のいずれかの発明において、さらに、前記判定装置により、バリ無しと判定されたワークを排出するコンベヤと、前記判定装置により、バリ有りと判定されたワークを排出するコンベヤを備えることを特徴とする。
第20の発明は、第10ないし19のいずれかの発明において、前記電源は、3000〜7000Vの極性がマイナスの直流電圧を供給することを特徴とする。
また、電解液を使用せず、複雑な管理項目も無いため、無人化することが可能であり、しかも、高速処理ができ、省スペースで実施できるため、部品の低コスト化を実現できる。
また、放電により微小のバリやゴミであれば除去されることがある。従って、最初に微小バリないしは埃やゴミを除去するための放電を数秒間(1〜3秒程度)行って誤検知要因を取り除き、その後さらに数秒間(1〜3秒程度)放電し、電流値を測定することでバリ検知の精度を高めるようにしてもよい。
バリ有りと判定された場合には、当該ワークないしは同一ロットのワーク全てを廃棄することにより、品質を保証することができる。なお、ワークの全周を漏れなく調べるために、放電はワークおよび/または電極を回転させながら行うのが好ましい。
また、図4のような構成の電極においては、導電部31に回転位置情報を持たせ、サーボモータなどの回転位置情報を検出するための機構を設け、ワークとの位置関係から、バリの円周上の位置を算出することもできる。
コンベヤやロータリーテーブルにより、各工程を自動で行うように構成することで、検知時間の短縮化・無人化を図ることができる。
第2ステップでは、ワークの内径がナイロンブラシによりブラッシングされ、ゴミの除去ないしはバリの起立が行われる。
第3ステップでは、強力なマグネットがワークの内径に挿入され、バリの除去ないしは起立が行われる。ワーク挿入後のマグネットは撮像手段により撮像され、予め入力されたマグネット画像との差分値からマグネットに付着したバリの有無が判定される。
第5ステップでは、図4に示すようなワークの内周と合致する形状の電極(SUS材)をワークの貫通孔に挿入し、回動させながら放電を行うことでワークの内周におけるバリを検知する。本実施例では、電極とワークの間隔を約0.5mmに設定した。また、電源は直流電圧供給装置を用い、3KVの極性がマイナスの直流電圧を供給している。
第6ステップでは、図3に示すような配置で電極にワークを近接させ、ワークを回動しながら放電を行うことでワークの外周におけるバリを検知する。なお、電極は外周の段差と合致する形状である凹型電極を使用する。本実施例の装置では、100μA以上の値の変動を検出できる。
第7ステップでは、ワークの表と裏(上下)を180度回転させる。ワークの表側からの検査だけでは、裏側の不良を見つけることができないため、裏側からも同様に検査を行う。
第8ステップでは、第5ステップと同様の手順でワークの内周におけるバリを検知する。
第9ステップでは、上流のステップで不良があると判定されたワークをコンベヤ10により搬出する。上流のステップで不良がないと判定されたワークは、第10ステップでコンベヤ11により搬出される。本実施例の装置では、無人稼働が可能であり、6秒に1個完成品が搬出される(ただし、不良品がある場合を除く)。検知対象となるバリは、3μm以上である。
また、電解液等を使用しない簡便な手法であり、複雑な管理項目も無いため、無人化稼動に適している。
2 ワーク
3 電極
4 直流電圧供給装置
5 電流値検知器
6 判定装置
7 ロータリーテーブル
10,11 コンベヤ
20 火薬
21 凹部
31 導電部
32 絶縁部
Claims (20)
- 検知対象となる金属製ワークの3μm以上のバリを対象とするバリ検知方法において、検知対象となる金属製ワークを電源のプラス極に接続し、電極に電源のマイナス極を接続し、電極とワークを近接して電極とワーク間に存在する気体に放電を生じさせ、ワークと電極間を流れる電流が予め設定されたしきい値を超えた場合にバリ有りと判定するバリ検知方法。
- 前記ワークの載置面とその対となる面を反転させ、反転の前後それぞれで前記判定を行う請求項1のバリ検知方法。
- 前記電極は、前記ワークの外周の形状に合致する外周用電極と、前記ワークの内周の形状に合致する内周用電極を用いる請求項1または2のバリ検知方法。
- 前記電極は、長手方向を縦断する一定幅の導電部と絶縁部とから構成される電極を用いる請求項1,2または3のバリ検知方法。
- 前記導電部の回転位置情報から、前記ワークにおけるバリの円周上の位置を算出する請求項4のバリ検知方法。
- 前記放電時に、前記ワークおよび/または前記電極を回動させる請求項1ないし5のいずれかのバリ検知方法。
- 前記放電は、バリが起立するように前記ワークの表面をブラッシングした後に行う請求項1ないし6のいずれかのバリ検知方法。
- 前記ワークは磁性体であり、前記放電は、バリが起立するように前記ワークに磁石を近接させた後に行う請求項1ないし7のいずれかのバリ検知方法。
- 前記放電は、前記電源により3000〜7000Vの極性がマイナスの直流電圧を供給して行う請求項1ないし8のいずれかのバリ検知方法。
- 検知対象となる金属製ワークの3μm以上のバリを対象とするバリ検知装置において、
検知対象となる金属製ワークに接続されるプラス極および電極となるマイナス極を有する電源と、
電極をワークに近接および離間させる電極駆動系と、
ワークと電極の近接時に電極とワーク間に存在する気体に放電を生じさせた場合に流れる電流値を検出する電流値検出器と、
電流値が予め設定されたしきい値を超えた場合にバリ有りと判定する判定装置と、
を備えるバリ検知装置。 - さらに、前記ワークの載置面とその対となる面を反転させるワーク反転機構を有し、反転の前後それぞれで前記判定を行う請求項10のバリ検知装置。
- 前記電極は、前記ワークの外周の形状に合致する外周用電極と、前記ワークの内周の形状に合致する内周用電極とから構成される請求項11または12のバリ検知装置。
- 前記電極は、長手方向を縦断する一定幅の導電部と絶縁部とから構成される請求項10,11または12のバリ検知装置。
- 前記判定装置は、前記導電部の回転位置情報から、前記ワークにおけるバリの円周上の位置を算出する請求項13のバリ検知装置。
- 前記電極駆動系は、前記電極を回動自在である請求項10ないし14のいずれかのバリ検知装置。
- さらに、前記電源のプラス極とそれぞれ接続され、載置されたワークを回動自在である複数のワーク載置部を有するロータリーテーブルを備える請求項10ないし15のいずれかのバリ検知装置。
- 前記ワークと電極を近接する上流工程に、バリが起立するように前記ワークの表面をブラッシングする手段を有する請求項10ないし16のいずれかのバリ検知装置。
- 前記ワークは磁性体であり、前記ワークと電極を近接する上流工程に、バリが起立するように前記ワークに磁石を近接させる手段を有する請求項10ないし17のいずれかのバリ検知装置。
- さらに、前記判定装置により、バリ無しと判定されたワークを排出するコンベヤと、
前記判定装置により、バリ有りと判定されたワークを排出するコンベヤを備える請求項10ないし18のいずれかのバリ検知装置。 - 前記電源は、3000〜7000Vの極性がマイナスの直流電圧を供給する請求項10ないし19のいずれかのバリ検知装置。
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