JP4798512B2 - ガラス基板の異物除去装置およびその方法 - Google Patents
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Description
2 ガラス基板
3 異物
4 検知手段
5 ドライアイス噴射装置
5a ノズル
6 ノズル移動手段
7 顕微鏡
9 ディスプレイ
13 欠陥
D ドライアイス
L 光
Claims (5)
- ドライアイスを噴射するノズルを備え、ガラス基板の表面に向けて前記ノズルから前記ドライアイスを噴射することで前記表面に付着した異物を除去するガラス基板の異物除去装置において、
前記ガラス基板の前記表面を走査して欠陥を検知する検知手段と、
前記検知手段によって検知された前記欠陥の位置データに基づいて、ドライアイスを前記欠陥の位置に向けて噴射可能な所定位置に前記ノズルを移動させるノズル移動手段と、
前記欠陥を拡大して撮像し、該撮像された前記欠陥が前記異物であるか否かを確認するための拡大撮像装置とを備えたことを特徴とするガラス基板の異物除去装置。 - 前記拡大撮像装置を、前記位置データに基づき前記欠陥を撮像可能な所定位置に移動させる撮像装置移動手段を備えた請求項1に記載のガラス基板の異物除去装置。
- 前記拡大撮像装置は、前記ノズル移動手段により前記ノズルと共に移動する請求項1に記載のガラス基板の異物除去装置。
- 前記拡大撮像装置により撮像された画像を表示するための表示機器を備えた請求項1から3の何れか1項に記載のガラス基板の異物除去装置。
- ドライアイスを噴射するノズルから、ガラス基板の表面に向けて前記ドライアイスを噴射することで前記表面に付着した異物を除去するガラス基板の異物除去方法において、
前記ガラス基板の前記表面を走査して欠陥を検知し、
前記検知した欠陥の位置に向けてドライアイスを噴射可能な所定位置に前記ノズルを移動させ、
前記欠陥を拡大撮像装置により拡大して撮像し、該撮影された前記欠陥が前記異物であるか否かを確認して、前記欠陥が前記異物であると確認されたとき、前記ノズルから前記異物に向けてドライアイスを噴射することを特徴とするガラス基板の異物除去方法。
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