DE4231989C1 - Abtastvorrichtung für konturierte Oberflächen - Google Patents
Abtastvorrichtung für konturierte OberflächenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Abtastvorrichtung zum berührenden Abtasten
einer konturierten Oberfläche gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine gattungsgemäße Abtastvorrichtung ist beispielsweise aus der
DE 37 40 657 A1 bekannt und dient zum Erstellen digitaler Datensätze,
welche die Konturen von dreidimensionalen Gebilden bzw.
Modellen oder Oberflächen beschreiben und später beispielsweise
zum programmgesteuerten Betrieb einer Fräsmaschine zur Herstellung
entsprechender Werkstücke bzw. Oberfläche verwendet werden können.
Abtastvorrichtungen der betrachteten Art können auch zum Bestimmen
der Lage eines Werkstücks auf einer Werkzeugmaschine und zum anschließenden
Positionieren des Werkstücks anhand der bei der Abtastung
gewonnenen Daten dienen. Weiterhin besteht die Möglichkeit,
anhand der Positionsdaten, die mit Hilfe einer Abtastvorrichtung
gewonnen werden, die Maßhaltigkeit eines bearbeiteten Werkstücks zu
prüfen und Werkzeug- und Maschinenabweichungen zu erkennen und ggf.
zu korrigieren.
Bei den bekannten Abtastvorrichtungen ist die Meßsonde mittels dreier
voneinander unabhängiger, die Meßsonde in jeweils einer Koordinatenrichtung
spielfrei führenden Linearlageranordnungen gehaltert, wobei
für jede Koordinatenrichtung ein eigener Linearwandler, beispielsweise
in Form einer der bekannten Längenmeßeinrichtungen, vorgesehen ist, um
für die betreffende Koordinatenrichtung auswertbare Positionsdaten bzw.
-signale zu erzeugen.
Die bekannten Abtastvorrichtungen sind einerseits sehr genau und
arbeiten mit einer Auflösung im Bereich von etwa 1 µm. Andererseits
sind die bekannten Abtastvorrichtungen im Hinblick auf den komplizierten
Aufbau ihres Meßsystems aber auch sehr teuer und empfindlich, insbesondere
auch hinsichtlich der erforderlichen Auswerteeinrichtungen,
mit denen bei der angegebenen, hohen Abtastgenauigkeit, beispielsweise
beim spurenweisen Abtasten einer Freiformfläche, bei zeitlich
befriedigender Vorschubgeschwindigkeit der Meßsonde ungeheure Datenmengen
verarbeitet werden müssen.
Ausgehend vom Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde,
eine hinsichtlich ihres Meßsystems vereinfachte und damit
billigere, aber dennoch mit guter Genauigkeit arbeitende Abtastvorrichtung
anzugeben.
Diese Aufgabe wird bei einer gattungsgemäßen Abtastvorrichtung gemäß
der Erfindung durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs
1 gelöst.
Es ist ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Abtastvorrichtung,
daß ihr Meßsystem mit der Meßsonde und den zugehörigen Wandlern relativ
klein und preiswert aufgebaut werden kann, da die bisher üblichen
Linearlageranordnungen für die X-Richtung und die Y-Richtung durch
eine einfache Meßsondenaufhängung in Form einer einseitig eingespannten
Biegefeder ersetzt werden, die selbst die erforderlichen
Rückstellkräfte erzeugt.
Vorzugsweise sind die Wandler für die Erzeugung der Positionssignale
für die X- und die Y-Richtung erfindungsgemäß als berührungslos
arbeitende X-, Y-Wandler ausgebildet, insbesondere als nach dem
Wirbelstromverfahren arbeitende Wandler oder auch als Wandler,
welche, ähnlich wie induktive Näherungsschalter, auf Induktivitätsänderungen
bzw. Kapazitätsänderungen in Abhängigkeit von einer Auslenkung
der Meßsonde in X-Richtung bzw. Y-Richtung ansprechen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteilhaft,
wenn einerseits die Meßsonde im Bereich
der X-, Y-Wandler und andererseits die X-, Y-Wandler
derart ausgebildet sind, daß die von diesen
Wandlern erzeugten Positionssignale jeweils linear
mit der Position bzw. der Auslenkung der Meßsonde
in X-Richtung und in Y-Richtung verknüpft sind.
Als vorteilhaft hat es sich dabei erwiesen, wenn
die X- und Y-Wandler zueinander senkrechte, der
Meßsonde zugewandte Sensorflächen aufweisen und
wenn die Meßsonde im Bereich der Sensorflächen zu
diesen parallele, zueinander senkrechte Außenflächen
aufweist.
Vorzugsweise weist die Meßsonde im Bereich der X-,
Y-Wandler einen rechteckigen Querschnitt und paarweise
parallel zueinander verlaufende Außenflächen
auf, während der X-Wandler und der Y-Wandler
jeweils zwei Meßsysteme aufweisen, die einander und
den zugeordneten Außenflächen der Meßsonde paarweise
gegenüberliegen. Auf diese Weise ergibt sich
nämlich der Vorteil, daß die Positionssignale für
die X-Koordinate und die Positionssignale für die
Y-Koordinate völlig unabhängig voneinander sind,
wobei die jeweils zwei Meßsysteme pro Koordinatenrichtung
bei einer Auslenkung der Meßsonde in dieser
Richtung gegensinnig beeinflußt werden, wodurch
eine Reihe von Kompensationseffekten erreicht wird,
auf die weiter hinten noch näher eingegangen werden
wird.
Bezüglich des konstruktiven Aufbaus der Abtastvorrichtung
hat es sich in Ausgestaltung der Erfindung
als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn die Aufhängung
für die Meßsonde und die Wandler für die
Meßsondenbewegungen in den drei zueinander senkrechten
Koordinaten X, Y und Z an einem gemeinsamen
Träger befestigt sind, welcher mit Hilfe des für
die Z-Achse vorgesehenen Linearlagers längs einer
Schiene in Z-Richtung verfahrbar ist, daß das gesamte Meßsystem
in eine Ruheposition anhebbar und in eine
Arbeitsposition absenkbar ist.
Für das Anheben und Absenken des Meßsystems ist
dabei vorzugsweise eine eigene Hubvorrichtung, insbesondere
eine Hubvorrichtung mit einem Spindelantrieb,
vorgesehen, die insbesondere derart lösbar
mit dem schlittenförmigen Träger gekoppelt ist, daß
dieser für die Durchführung einer Abtastung bzw.
Messung in eine durch einen Anschlag definierte
Nullstellung absenkbar ist, in der er von der Hubvorrichtung
vollständig entkoppelt ist.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung
werden nachstehend anhand von Zeichnungen noch
näher erläutert und/oder sind Gegenstand der
Ansprüche.
In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 eine schematische, perspektivische Darstellung
des Meßsystems einer Abtastvorrichtung
gemäß der Erfindung;
Fig. 2 eine schematische Detaildarstellung des Meßsystems
gemäß Fig. 1 in seiner Arbeitsposition;
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer X-, Y-
Wandleranordnung für ein Meßsystem gemäß
Fig. 1 und 2;
Fig. 4 ein schematisches Blockschaltbild zur weiteren
Erläuterung der Funktion der Wandleranordnung
gemäß Fig. 3;
Fig. 5 eine schematische Darstellung zur Erläuterung
der Wirkung einer Auslenkung der Meßsonde in
X- oder Y-Richtung auf die Größe des in Z-Richtung
gemessenen Positionswertes;
Fig. 6a-g schemtische Darstellungen zur Erläuterung
des Arbeitsprinzips unterschiedlicher Typen
von X-, Y-Wandlern;
Fig. 7 ein schematisches Blockschaltbild zur Erläuterung
der Funktion einer gegenüber der Wandleranordnung
gemäß Fig. 3 abgewandelten Wandleranordnung;
und
Fig. 8 ein Impulsdiagramm zur weiteren Erläuterung
der Funktion der in Fig. 7 gezeigten Schaltung.
Im einzelnen zeigt Fig. 1 ein erfindungsgemäßes Meßsystem,
bei dem im Inneren eines äußeren Schutzgehäuses 10
eine feststehende Führungsschiene 12 befestigt ist.
Längs dieser Schiene 12 ist ein kastenförmiger Träger 14
mittels spielfreier Linearkugellager 16 nach Art eines
Schlittens in Richtung der senkrechten Koordinate, d. h.
in Z-Richtung, verfahrbar. An einer oberen Stirn- bzw.
Endfläche 14a ist eine stabförmige Meßsonde 18 mittels
einer Aufhängung befestigt, die beim Ausführungsbeispiel
durch eine stabförmige Biegefeder 20 gebildet wird. Die
Biegefeder 20 gestattet eine Auslenkung der Meßsonde 18
quer zu deren in Z-Richtung verlaufender Längsachse,
d. h. in X-Richtung und Y-Richtung. Die Meßsonde 18
besitzt in ihrem Hauptteil einen rechteckigen bzw. quadratischen
Querschnitt und verjüngt sich an ihrem unteren
Ende zu einem Stab, an dem eine Abtastkugel 18a vorgesehen
ist.
Das Meßsystem ist in Fig. 1 in seiner Ruhestellung
gezeigt, in der sich seine empfindlichen Komponenten
alle im Inneren des Schutzgehäuses 10 befinden. Das
Absenken des Meßsystems in seiner Arbeitsstellung und
das Zurückführen desselben in seine in Fig. 1 gezeigte
Ruhestellung erfolgen mittels einer Hubvorrichtung 22,
die beim Ausführungsbeispiel durch einen Spindeltrieb
realisiert ist, welche eine in Z-Richtung bzw. vertikal
verlaufende Schnecke 24 aufweist, die an ihrem unteren
Ende mittels eines Kugellagers 26 drehbar gelagert ist
und die an ihrem gegenüberliegenden, oberen Ende von
einem umsteuerbaren Motor 28 zu einer Drehbewegung antreibbar
ist. Auf der Spindel 24 sitzt ein nach Art einer
Spindelmutter ausgebildeter Hubarm 30, der beispielsweise
durch ein Langloch (nicht gezeigt) in der Wand des
Schutzgehäuses 10 gegen eine Drehung gesichert ist und
der bei einem Hubvorgang und bei in seiner Ruhestellung
befindlichem Meßsystem an der Unterseite einer unteren
Endfläche 14b des Trägers 14 anliegt. Beim Absenken des
Trägers 14 in die Arbeitsstellung des Meßsystems gelangt
die untere Endfläche in Kontakt mit einem als Anschlag
dienenden, federnden Druckstück 32, welches die Nullstellung
des Trägers 14 und damit der Meßsonde 18 in Z-Richtung
definiert.
Entsprechende federnde Druckstücke (nicht gezeigt) sind
vorzugsweise am Boden des Trägers 14 montiert, um die
Auslenkbewegungen der Meßsonde 18 in X-Richtung und Y-Richtung
zu begrenzen und ggf. Schwingungen der
Meßsonde 18 zu dämpfen.
Die Hubvorrichtung 22 ist so ausgebildet, daß der
Hubarm 30 nach dem Auftreffen des Trägers 14 auf das
federnde Druckstück 32 noch etwas weiter abgesenkt wird,
so daß der Träger 14 vollständig von der Hubvorrichtung
22 entkoppelt wird.
An einer senkrechten Wandfläche 14c ist ein Linearpotentiometer
34 befestigt, dessen Betätigungselement über
die untere Endfläche 14b des Trägers 14 vorsteht und an
diesem überstehenden Ende einen Magneten 36 trägt, der
an einem Bereich 38 aus magnetischem oder magnetisierbarem
Material am Boden des Schutzgehäuses 10 magnetisch
lösbar festgelegt ist, wenn sich das Meßsystem in seiner
Arbeitsstellung befindet. Das Linearpotentiometer 34 und
dessen Betätigungselement bzw. die damit zusammwirkende
Magnetanordnung 36, 38 werden dabei elektronisch
mittels eines Trimmpotentiometers derart justiert, daß
sich bei unbelasteter Meßsonde am Ausgang des Potentiometers
34 das Positionssignal NULL ergibt.
Bei dem betrachteten Meßsystem stellt das Linearpotentiometer
den Signalwandler für die Bewegungen der Meßsonde
18 in Z-Richtung dar. Die Bewegungen der Meßsonde
18 in Richtung der X-Koordinate und der Y-Koordinate
- bei diesen Bewegungen handelt es sich um relativ
kleine Auslenkbewegungen der Meßsonde 18 bezüglich ihrer
in Z-Richtung verlaufenden Längsachse - werden mit Hilfe
eines X-Wandlers bzw. eines Y-Wandlers erfaßt, wobei
jeder dieser Wandler jeweils zwei separate Meßeinheiten
aufweist, die paarweise auf gegenüberliegenden Seiten,
genauer gesagt, angrenzend an einander gegenüberliegende
Seitenflächen der Meßsonde 18, angeordnet sind. Im Interesse
einer verbesserten Übersichtlichkeit der schematischen
Darstellung gemäß Fig. 1 sind dort von dem X-Wandler und
dem Y-Wandler lediglich die E-förmigen Kerne 40 der einzelnen
Meßspulen gezeigt. Auf den Aufbau der X-, Y-Wandler
wird weiter unten noch näher eingegangen.
Fig. 2 zeigt eine stark schematisierte Darstellung des
Meßsystems gemäß Fig. 1 in seiner Arbeitsstellung. Man
erkennt, daß der Träger 14 mit der Unterseite seines
Bodens auf dem federnden Druckstück 32 aufliegt und daß
der Magnet 36 des Betätigungselementes des Linearpotentiometers
34 magnetisch am Boden des Schutzgehäuses
festgelegt ist. Der Hubarm 30 ist in seiner unteren Endstellung
unterhalb des Trägers 14 mit gestrichelten
Linien angedeutet. Die Meßsonde 18 durchgreift eine
dafür vorgesehene Öffnung 42 im Boden des
Schutzgehäuses 10, so daß die Meßsonde 18 mit der an
ihrem freien Ende vorgesehenen Kugel 18a eine abzutastende,
konturierte Oberfläche frei erfassen kann.
Fig. 3 zeigt in Form eines schematischen Prinzipschaltbildes
die Anordnung und Ausbildung des X-Wandlers und
des Y-Wandlers bei Messung der Auslenkung der Meßsonde
18 in X-Richtung bzw. Y-Richtung, und zwar für ein
bevorzugtes Ausführungsbeispiel, bei dem jeder Wandler
jeweils zwei Meßeinheiten mit jeweils einer auf einen
Ferritkern 40 gewickelten Spule 42, 42′ und 44, 44′ aufweist.
Die Spulen 42, 42′ mit ihren zugehörigen Ferritkernen
40 bilden dabei den X-Wandler 50, während die
Spulen 44, 44′ mit ihren Ferritkernen 40 den Y-Wandler
52 bilden. Die Spulen 42, 42′ und die Spulen 44, 44′
sind jeweils in Reihe geschaltet und werden vom Ausgang
eines Oszillators mit einer hochfrequenten Wechselspannung
gespeist, die beispielsweise in einem Frequenzbereich
von 20 bis 100 kHz liegen kann. Das Meß- oder
Positionssignal für die X-Richtung steht dabei an einem
Wandlerausgang A zur Verfügung, der an den Verbindungspunkt
der beiden in Reihe geschalteten Spulen 42, 42′
angeschlossen ist. Das Meß- bzw. Positionssignal für die
Y-Richtung steht an einem Ausgang B zur Verfügung, der
an den gemeinsamen Verbindungspunkt der Spulen 44, 44′
angeschlossen ist. Im übrigen sind die Reihenschaltungen
der beiden Spulenpaare 42, 42′; 44, 44′ parallel zueinander
zwischen den Ausgang des Oszillators OSZ und
Bezugspotential geschaltet.
Bei den als Ausführungsbeispiel betrachteten Wandlern
50, 52 handelt es sich um Wandler, die nach dem
Wirbelstrom-Abstandsverfahren arbeiten, die auf dem folgenden
Prinzip beruhen:
Der hochfrequente Wechselstrom in einer Spule, speziell in einer mit einem Magnetkern bzw. einem Ferritkern versehenen Spule, führt zu einem hochfrequenten, magnetischen Wechselfeld, welches bei geeigneter Ausgestaltung des Kerns beispielsweise als Topfkern oder, wie in Fig. 1 angedeutet, als E-förmigem Kern auf der offenen Seite des Kerns im Bereich einer sogenannten Sensorfläche konzentriert ist. Wenn dieser Sensorfläche ein Element aus elektrisch leitendem, nicht magnetisierbarem Material, wie z. B. Messing oder auch Aluminium, gegenüberliegt, dann werden in diesem Material, speziell in einem oberflächennahen Bereich, durch das magnetische Wechselfeld elektrische Wirbelströme hervorgerufen, die ihrerseits ein magnetisches Gegenfeld erzeugen, welches dem Magnetfeld der Spule entgegenwirkt, wodurch sich die Induktivität der Spule bzw. der Kern/Spulen-Anordnung scheinbar verringert und damit auch deren Impedanz, und zwar in Abhängigkeit vom Abstand des elektrisch leitenden Materials von der Sensorfläche.
Der hochfrequente Wechselstrom in einer Spule, speziell in einer mit einem Magnetkern bzw. einem Ferritkern versehenen Spule, führt zu einem hochfrequenten, magnetischen Wechselfeld, welches bei geeigneter Ausgestaltung des Kerns beispielsweise als Topfkern oder, wie in Fig. 1 angedeutet, als E-förmigem Kern auf der offenen Seite des Kerns im Bereich einer sogenannten Sensorfläche konzentriert ist. Wenn dieser Sensorfläche ein Element aus elektrisch leitendem, nicht magnetisierbarem Material, wie z. B. Messing oder auch Aluminium, gegenüberliegt, dann werden in diesem Material, speziell in einem oberflächennahen Bereich, durch das magnetische Wechselfeld elektrische Wirbelströme hervorgerufen, die ihrerseits ein magnetisches Gegenfeld erzeugen, welches dem Magnetfeld der Spule entgegenwirkt, wodurch sich die Induktivität der Spule bzw. der Kern/Spulen-Anordnung scheinbar verringert und damit auch deren Impedanz, und zwar in Abhängigkeit vom Abstand des elektrisch leitenden Materials von der Sensorfläche.
In dem als Ausführungsbeispiel betrachteten Fall gemäß
Fig. 3 bilden die beiden Spulen jedes der Wandler 50, 52
jeweils einen Spannungsteiler, dessen Symmetrie durch
die Auslenkung der in diesem Fall aus einem elektrisch
leitenden, unmagnetischen Material bestehenden Meßsonde
18 gestört wird. Beispielsweise führt eine Auslenkung
der Meßsonde 18 in +X-Richtung - d. h. in Fig. 3
nach rechts - unter der Voraussetzung, daß über den beiden
Spulen 42, 42′ zunächst dieselbe Spannung abfällt,
dazu, daß die Spannung über der Spule 42′ kleiner und
die Spannung über der Spule 42 größer wird. Es ergibt
sich also ein von dem ursprünglichen Spannungs-Übersetzungsverhältnis
von 1:1 abweichendes Spannungs-Übersetzungsverhältnis
und eine entsprechende Spannungsänderung
am Ausgang A, wo für den betrachteten Fall nunmehr eine
höhere Spannung ansteht. In entsprechender Weise führt
eine Auslenkung der Meßsonde 18 in -X-Richtung - in
Fig. 3 nach links - zu einer kleineren Spannung über
der Spule 44 und damit zu einer niedrigeren Spannung am
Signalausgang A. Eine Auslenkung der Meßsonde 18 in Y-Richtung
hat entsprechende Änderungen der Spannung am
Ausgang B des Y-Wandlers 52 zur Folge. Durch die ebenen,
paarweise rechtwinklig zueinander verlaufenden Außenflächen
der Meßsonde 18 ist dabei außerdem - anders als
beispielsweise bei einem runden Meßstab mit gekrümmter
Oberfläche - im Rahmen der bei dem Meßsystem zulässigen
Auslenkbewegungen eine völlige Unabhängigkeit der Meß-
bzw. Positionssignale für die X-Richtung und die Y-Richtung
gewährleistet.
Gemäß Fig. 4 der Zeichnung wird ausgehend von dem anhand
von Fig. 3 erläuterten Meßprinzip so vorgegangen, daß an
der Reihenschaltung der Wandlerspulen 42, 42′ einerseits
die Oszillatorspannung Uos und andererseits eine Spannung
U′os anliegt, wobei U′os=0,6×os gilt (os ist
dabei die invertierte Oszillatorausgangsspannung).
Das Signal vom Abgriff zwischen den beiden Spulen 42,
42′, d. h. das Signal vom Wandlerausgang A wird dem einen
Eingang eines Operationsverstärkers 54 zugeführt, dessen
anderer Eingang an Bezugspotential liegt. Das Ausgangssignal
des Operationsverstärkers 54 wird mit Hilfe eines
Gleichrichters 56 gleichgerichtet. Die wellige Gleichspannung
vom Ausgang des Gleichrichters 56 wird durch
einen Tießpaß 58 geglättet und dem einen Eingang eines
weiteren Operationsverstärkers 60 zugeführt, dessen
zweitem Eingang eine mit Hilfe eines Potentiometers einstellbare
Bezugsspannung zugeführt wird und der eine
analoge Ausgangsspannung Ua liefert, deren Pegel durch
Einstellen der Bezugsspannung an dem Potentiometer 62
auf einen für die weitere Verarbeitung der Spannung Ua,
insbesondere für die Digitalisierung derselben, geeigneten
Pegel gebracht werden kann.
Die mit Hilfe der Wandler- bzw. Meßeinrichtungen gemäß
Fig. 3 und 4 gewonnenen analogen Spannungen - die Spannung
vom Wandlerausgang B des Wandlers 52 kann in ähnlicher
Weise aufbereitet werden, wie dies vorstehend für
die Spannung vom Wandlerausgang A erläutert wurde - sind
trotz des relativ einfachen Aufbaus des erfindungsgemäßen
Meßsystems bezüglich der Genauigkeit, mit der
die X-Position und die Y-Position erfaßt werden, relativ
genau, wie dies nachstehend anhand von Fig. 5 erläutert
wird.
In Fig. 5 bezeichnet die Strecke l die Länge der
Meßsonde 18 in Z-Richtung. Wenn nun die Meßsonde 18 bzw.
deren die Meßkugel 18a tragendes freies Ende in X-Richtung
um die Strecke Δx ausgelenkt wird, was einem Auslenkwinkel
α entspricht, dann ergibt sich für die Z-Richtung
eine Abweichung Δl. Unter der Voraussetzung, daß
die Länge l der Meßsonde 18=200 mm beträgt und daß die
Auslenkung Δx in X-Richtung 2 mm beträgt - diese Werte
sind für ein in der Praxis verwirklichtes Meßsystem realistisch
- ergibt die nachfolgende Berechnung, daß der
Meßfehler bzw. die Abweichung Δl nur etwa 1/100 mm
beträgt:
Die Meßgenauigkeit der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung
liegt damit in einem für viele Anwendungen brauchbaren
Genauigkeitsbereich, ohne daß ein übermäßiger technischer
Aufwand betrieben werden müßte, wie dies bei den
bekannten, mit höherer Auflösung arbeitenden Abtastvorrichtung
der Fall ist.
Während vorstehend anhand von Fig. 3 und 4 als bevorzugte
Wandleranordnung für die X-, Y-Wandler einer
erfindungsgemäßen Abtastvorrichtung Wandleranordnungen
beschrieben wurden, die nach dem Wirbelstromverfahren
arbeiten, sollen nachstehend anhand von Fig. 6 noch weitere
Möglichkeiten für die Ausgestaltung der X-, Y-Wandler
erläutert werden.
Zunächst ist in Fig. 6a noch einmal schematisch ein nach
den Wirbelstromverfahren arbeitendes Wandlerpaar mit den
Magnetkernen 40 und den vier Spulen 42, 42′; 44, 44′
dargestellt. Zu dieser Wandlervariante ist in Fig. 6b
ein Teilstück der einen rechteckigen Querschnitt aufweisenden
Meßsonde 18 gezeigt, welcher auf (jeweils) zwei
einander gegenüberliegenden Seiten Magentkerne 40, insbesondere
Ferritkerne, in Form von E-Kernen gegenüberliegen,
wobei die offene Seite der E-Kerne 40, die ggf.
durch Topfkerne ersetzt werden können, den benachbarten
Flächen der Meßsonde 18 gegenüberliegt und die "Sensorfläche"
der betreffenden Wandlereinheit bilden. Gemäß
Fig. 6c bis 6e können Wirbelstromwandler gemäß Fig. 6a
und 6b durch induktive Wandler ersetzt werden, wobei es
sich als vorteilhaft erwiesen hat, wenn die Wandlerspulen
42, 42′; 44, 44′ ortsfest an dem Träger 14 montiert
werden, während die zugehörigen Kerne 40 in Form runder
Ferritstäbe in zugeordnete Bohrungen der Meßsonde 18
eingesetzt sind. Die Kerne 40 aber auch, wie dies
in Fig. 6e schematisch angedeutet ist, zusammen mit den
Spulen 42, 42′; 44, 44′ ortsfest gegenüber der in X- und
Y-Richtung auslenkbaren Meßsonde 18 montiert werden.
Für die mit den Wandlern gemäß Fig. 6c bis 6e erfaßten
Induktivitätsänderungen, die die Verwendung einer Meßsonde
18 aus magnetisierbarem Material zur Voraussetzung
haben, können gemäß einer abgewandelten Ausführungsform
auch Differentialtransformatoren verwendet werden.
Weiterhin besteht gemäß Fig. 6f und 6g die Möglichkeit
zum Erfassen der Auslenkung der Meßsonde 18 kapazitive
Wandler zu verwenden, die nach dem Prinzip eines "Differentialkondensators"
arbeiten, wobei jeweils der eine
Belag, der in Fig. 6f gezeigten Kondensatoren C₁ bis C₄
durch eine ortsfest montierte Metallplatte gebildet
wird, während der andere Belag durch die gegenüberliegende
Oberfläche der Meßsonde 18 bzw. einen dort vorgesehenen
Kondensatorbelag gebildet wird, wobei sich der
Kapazitätswert der auf diese Weise gebildeten Kondensatoren
C₁ bis C₄ in Abhängigkeit von der Position zwischen
den Kondensatorbelägen ändert, und wobei, ähnlich
wie bei den Wandlern gemäß Fig. 3 wieder jeweils zwei
einander gegenüberliegende Kondensatoren C₁, C₂ bzw. C₃,
C₄ in Reihe geschaltet werden können, wie dies in
Fig. 6g angedeutet ist. Bezüglich der Ausgestaltung der
Wandler für die X-Koordinate und die Y-Koordinate bestehen
also verschiedene Möglichkeiten, ohne daß die vorstehend
angesprochenen Möglichkeiten als abschließend
angesehen werden sollten.
Abweichend von dem zuvor erläuterten Ausführungsbeispiel
kann insbesondere die Differentialkondensatoranordnung
auch in der Weise realisiert werden, daß jeweils beide
Beläge der Kondensatoren C₁ bis C₄ ortsfest angeordnet
werden und daß statt dessen das in Fig. 6f gestrichelt
eingezeichnete Dielektrikum in X- bzw. Y-Richtung bewegt
wird.
Weiterhin ist anzumerken, daß im Prinzip auch die Wandler
34, 50, 52 ortsfest angeordnet werden können, z. B.
an der Unterseite des Schutzgehäuses 10, was allerdings
mit dem Nachteil verbunden wäre, daß sich eine Bewegung
des Trägers 14 in Z-Richtung geringfügig auf die für die
Bewegungen in den beiden anderen Koordinatenrichtungen X
und Y ermittelten Meßsignale auswirken würde.
Gemäß Fig. 7 besteht, ausgehend von der in Fig. 3 schematisch
dargestellten Anordnung und Ausbildung des X-Wandlers
und des Y-Wandlers, die Möglichkeit, jeden der
beiden induktiven Wegaufnehmer für die X-Koordinate und
die Y-Koordinate bei im Prinzip gleichem Wandleraufbau
als induktiven Wegaufnehmer zu betreiben, dessen Spulen
anstelle eines Oszillatorausgangssignals eine mit Hilfe
eines geeigneten Taktgenerators 64 erzeugte Folge von
Einzelimpulsen zugeführt wird. Im einzelnen erzeugt der
Taktgenereator 64 an einem ersten Ausgang 66, der dem
Oszillatoranschluß der Schaltung in Fig. 3 entspricht,
eine erste Impulsfolge mit Rechteckimpulsen vorgegebener
Impulsbreite, die den beiden in Serie geschalteten Spulen
42, 42′ zugeführt werden. Der Mittelabgriff zwischen
den beiden Spulen 42, 42′ ist mit dem einen Eingang
eines Operationsverstärkers 54′ verbunden, der dem Operationsverstärker
54 in Fig. 4 entspricht, dessen Referenzspannung
an seinem zweiten Eingang jedoch mit Hilfe
eines Potentiometers 62′ einstellbar ist, welches, ähnlich
wie das Potentiometer 62 in Fig. 4, der Einstellung
des Pegels der Ausgangsspannung Ua dient. Der Ausgang
des Verstärkers 54′ ist mit dem Eingang einer
Abtast/Halte-Schaltung (Sample & Hold-Schaltung) 68 verbunden,
an deren Ausgang die analoge Ausgangsspannung Ua
zur Verfügung steht. Die zeitliche Steuerung der Abtastvorgänge
der Schaltung 68 erfolgt über einen zweiten
Ausgang 70 des Taktgebers 64. An diesem zweiten Ausgang
70 liefert der Taktgenerator 64 eine zweite Impulsfolge,
welche dieselbe Impulsfolgefrequenz aufweist wie
die Impulsfolge am Ausgang 66, wobei die Einzelimpulse
der Impulsfolge am Ausgang 70 jedoch jeweils kürzer sind
als die Impulse am Ausgang 66 und ein innerhalb der
Impulsbreite der Impulse am Ausgang 66 liegendes Zeitfenster
definieren. Dabei ist dieses Zeitfenster so
gewählt, daß Einschwingvorgänge zum Zeitpunkt der Abtastung
bereits abgeklungen sind und daß die Abtastung
auf jeden Fall beendet ist, ehe die Rückflanke eines
Einzelimpulses vom Ausgang 66 erscheint. Der Zusammenhang
zwischen den Impulsfolgen an den Ausgängen 66 und
70 des Taktgenerators 64 ist in Fig. 8 dargestellt, wo
die Kurve a den Spannungsverlauf am Ausgang 66 und die
Kurve b den Spannungsverlauf am Ausgang 70 des Taktgenerators
zeigt.
In der Praxis kann die Impulsfolgefrequenz der beiden
Impulsfolgen a, b einer Periodendauer von etwa 1 ms entsprechen,
wobei die Dauer der Einzelimpulse der Impulsfolge
a beispielsweise etwa 5 µs betragen kann. In diesem
Fall ist die Vorderflanke der Einzelimpulse der
Impulsfolge b gegenüber der Vorderflanke der Einzelimpulse
der Impulsfolge a beispielsweise um 2 µs verzögert,
während ihre Rückflanke, gerechnet vom Zeitpunkt
des Auftretens der Vorderflanke des Impulses der Impulsfolge
a, um etwa 4 µs verzögert sein kann, so daß die
Rückflanke eines Abtastimpulses der Impulsfolge b etwa
1 µs vor der Rückflanke des zugeordneten Spulenimpulses
der Impulsfolge a auftritt.
Aufgrund der relativ kurzen Spulenimpulse werden bei der
betrachteten Ausgestaltung der Wandleranordnung nur die
induktiven Anteils des aus der Serienschaltung der beiden
Spulen 42, 42′ gebildeten Spannungsteilers wirksam
und nicht die ohmschen Anteile der Spulenwicklungen.
Hierdurch erhält man wieder ein wegproportionales Ausgangssignal
Ua, welches allerdings in Form von einzelnen
Impulsen vorliegt, aus denen mit Hilfe der Abtast/Haltespannung
als Ausgangsspannung Ua erhalten wird. Mit
Hilfe der Schaltungsvariante gemäß Fig. 7 lassen sich
der Bauteileaufwand und damit die Kosten und der Platzbedarf
stark reduzieren. Weiterhin verringert sich auch
der Stromverbrauch der Wandlerschaltung. Dabei versteht
es sich, daß diese Schaltungsvariante auch für den Y-Wandler
mit den Spulen 44, 44′ realisiert werden kann.
Während bei dem betrachteten Ausführungsbeispielen gemäß
Fig. 1 und 2 für die Durchführung der Messungen eine
magnetische Festlegung des Betätigungselementes des
Linearpotentiometers 34 erfolgt, besteht in Ausgestaltung
der Erfindung ferner die Möglichkeit, das Betätigungselement
des Linearpotentiometers 34 mittels einer
Schraubenfeder oder dergleichen in eine definierte Ausgangslage
bezüglich des Gehäuses des Linearpotentiometers
zu bringen. Dabei wird eine Ausführungsform bevorzugt,
bei der die Schraubenfeder das Betätigungselement
umgibt und sich mit seinem einen Ende am Gehäuse des
Linearpotentiometers abstützt und mit seinem anderen
Ende an einer Kopfplatte am freien Ende des Betätigungselementes.
Auch bei dieser Ausgestaltung erfolgt wieder
eine solche Justierung des Linearpotentiometers, daß
sich bei unbelasteter Meßsonde - genauer gesagt bei in
Z-Richtung unbelasteter Meßsonde - am Ausgang des Potentiometers
34 das Positionssignal NULL ergibt.
Bezüglich des beim Ausführungsbeispiel verwendeten
Linearpotentiometers zur Messung der Z-Auslenkung ist
ferner anzumerken, daß anstelle dieses Potentiometers
auch andere lineare Wegaufnehmer verwendet werden können,
wie z. B. ein induktiver Wegaufnehmer oder ein Differentialtransformator.
Claims (25)
1. Abtastvorrichtung zum berührenden Abtasten einer konturierten
Oberfläche, insbesondere einer dreidimensionalen Freiformfläche,
mittels einer stabförmigen Meßsonde, deren freies, im Betrieb
der abzutastenden Oberfläche zugewandtes Ende in drei zueinander
senkrechten Koordinaten X, Y und z beweglich ist, die in
Z-Richtung mittels eines Linearlagers linear beweglich geführt
ist, die in X- und Y-Richtung beweglich gehaltert ist und deren
Bewegungen über Wandler in Positionssignale für eine Auswerteeinrichtung
umsetzbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die
Meßsonde (18) an ihrem, dem freien Ende (18a) gegenüberliegenden
Ende mittels einer Biegefeder (20) in Form eines einseitig eingespannten
Rundstabs aus federelastischem Material derart beweglich
mit dem Linearlager (16) verbunden ist, daß sie im unbelasteten
Zustand durch Rückstellkräfte in einer Lage gehalten wird, in der
ihre Längsachse in Richtung der Z-Achse verläuft, und daß sie bei
einem Abtastvorgang senkrecht zu ihrer in Z-Richtung verlaufenden
Längsachse in X- und Y-Richtung auslenkbar ist.
2. Abtastvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Biegefeder (20) an einem Träger (14) befestigt ist, welcher
mittels eines Linearlagers (16) längs einer feststehenden Schiene
(12) in Z-Richtung verfahrbar ist.
3. Abtastvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Wandler (34, 50, 52) für die Erzeugung der Positionssignale
für die X-, die Y- und die Z-Richtung an dem Träger (14) befestigt
sind.
4. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Wandler für die Erzeugung der Positionssignale
für die X- und die Y-Richtung als berührungslos arbeitende
X-, Y-Wandler (50, 52) ausgebildet sind.
5. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß einerseits die Meßsonde (18) im Bereich der
X-, Y-Wandler (50, 52) und andererseits die X-, Y-Wandler (50, 52)
derart ausgebildet sind, daß die von den X-, Y- Wandlern erzeugten
Positionssignale (Ua) jeweils linear mit der Position der Meßsonde
(18) in X-Richtung und in Y-Richtung verknüpft sind.
6. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die X-, Y-Wandler (50, 52) als nach dem Wirbelstromverfahren
arbeitende Wandler ausgebildet sind und daß die Meßsonde
(18), zumindest im Bereich der Wandler (50, 52), aus elektrisch
leitfähigem, nicht magnetisierbarem Material besteht.
7. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die X-, Y-Wandler als induktive, berührungslos arbeitende,
ein Magnetfeld erzeugende Annäherungswandler ausgebildet
sind und daß die Meßsonde (18) zumindest im Bereich der Wandler ein
die von den Wandlern erzeugten Magnetfelder beeinflussendes Material
aufweist.
8. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die X-, Y-Wandler (50, 52) zueinander senkrechte,
der Meßsonde (18) zugewandten Sensorflächen aufweisen und daß die
Meßsonde (18) im Bereich der Sensorfläche zu diesen parallele,
zueinander senkrechte Außenfläche aufweist.
9. Abtastvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
die Meßsonde (18) im Bereich der X-, Y-Wandler einen rechteckigen
Querschnitt und paarweise parallel zueinander verlaufende Außenflächen
aufweist.
10. Abtastvorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet,
daß der X-Wandler und der Y-Wandler jeweils zwei Meßeinheiten
(40, 42, 40, 42′; 40, 44, 40, 44′) aufweisen, die einander und
den zugeordneten Außenflächen der Meßsonde (18) paarweise gegenüberliegen.
11. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Meßsonde (18) aus Messing besteht.
12. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß der Träger (14) mittels einer Hubvorrichtung
(22) in Z-Richtung in eine Ruheposition anhebbar und in eine
Arbeitsposition absenkbar ist.
13. Abtastvorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß
die Hubvorrichtung (22) einen Spindelantrieb (24, 26, 28, 30)
umfaßt.
14. Abtastvorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet,
daß die Hubvorrichtung (22) lösbar mit dem Träger (14) gekoppelt
und für einen Abtastvorgang derart von dem Träger (14) trennbar
ist, daß dieser in eine bezüglich der Z-Achse definierte Nullstellung
absenkbar ist.
15. Abtastvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß
die Nullstellung des Trägers (14) durch einen Anschlag (32)
definiert ist.
16. Abtastvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß
der Anschlag durch ein federndes Druckstück (32) gebildet ist.
17. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, daß der Z-Wandler einen Linearwandler (34) umfaßt.
18. Abtastvorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß
als Linearwandler ein Linearpotentiometer (34) vorgesehen ist.
19. Abtastvorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß
das Linearpotentiometer (34) an dem Träger (14) befestigt ist
und ein Betätigungselement aufweist, welches in der Nullstellung
des Trägers lösbar an einem feststehenden Bauteil festlegbar ist.
20. Abtastvorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß
das Betätigungselement des Linearpotentiometers (34) magnetisch
festlegbar ist.
21. Abtastvorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß
das Linearpotentiometer (34) an dem Träger (14) befestigt ist und
ein Betätigungselement aufweist, welches mittels einer zwischen
dem Gehäuse des Linearpotentiometers (34) und dem Betätigungselement
desselben eingespannten Feder in einer definierten Ausgangslage
gehalten ist.
22. Abtastvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß der X-Wandler und der Y-Wandler als kapazitive,
berührungslos arbeitende Wandler ausgebildet sind.
23. Abtastvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
der X-Wandler und/oder der Y-Wandler zwei in Serie geschaltete
Spulen (42, 42′; 44, 44′) aufweisen, die mit einer hochfrequenten
Spannung gespeist werden.
24. Abtastvorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß
die Frequenz der Speisespannung für die Spulen (42, 42′; 44, 44′)
in einem Frequenzbereich von etwa 20 bis 100 kHz liegt.
25. Abtastvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
der X-Wandler und/oder der Y-Wandler zwei in Serie geschaltete
Spulen (42, 42′; 44, 44′) aufweisen, die mittels eines Taktgenerators
(64) mit einer Impulsfolge ansteuerbar sind, und daß zur Erzeugung
einer kontinuierlichen, analogen Ausgangsspannung eine
Abtast/Halte-Schaltung (68) vorgesehen ist, welche durch eine von
dem Taktgenerator (64) erzeugte Impulsfolge steuerbar ist, deren
Einzelimpulse derart mit den den Spulen (42, 42′; 44, 44′) zugeführten
Impulsen synchronisiert sind, daß sie für die Dauer
jedes dieser Impulse ein Zeitfenster für den Abtastvorgang definieren.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19924231989 DE4231989C1 (de) | 1992-08-13 | 1992-09-24 | Abtastvorrichtung für konturierte Oberflächen |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE4226794 | 1992-08-13 | ||
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4231989C1 true DE4231989C1 (de) | 1994-01-20 |
Family
ID=25917486
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924231989 Expired - Fee Related DE4231989C1 (de) | 1992-08-13 | 1992-09-24 | Abtastvorrichtung für konturierte Oberflächen |
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