DE4317285A1 - Kapazitive Meßsonde für die Bestimmung von Werkstückabmessungen - Google Patents
Kapazitive Meßsonde für die Bestimmung von WerkstückabmessungenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine berührungslos arbeitende kapazi
tive Meßsonde, nämlich eine Meßsonde, deren Abstand von einem
Gegenstand gemessen werden kann. Insbesondere befaßt sich die
Erfindung mit einer berührungslos arbeitenden richtungsunab
hängigen Meßsonde zur Verwendung in Verbindung mit einer Ko
ordinatenmeßmaschine.
Rechnergesteuerte Koordinatenmeßmaschinen gehören inzwischen
zur Standardausrüstung im Maschinenbau, bei der Fertigung von
Präzisionsteilen und in Forschungslabors. Derartige Koordi
natenmeßmaschinen steuern eine Meßsonde in einem Koordinaten
meßsystem zur Gewinnung von Informationen über die Abmessun
gen eines Werkstücks oder dgl.
Derzeit sind mehrere verschiedene Typen von Meßsonden erhält
lich. In Systemen mit Meßsonden mit mechanischen Schaltern
wird die Meßsonde in Kontakt mit dem Werkstück oder dgl. ge
bracht, bis ein Schalter in der Sonde geöffnet oder geschlos
sen wird. Der Rechner der Koordinatenmeßmaschine gewinnt die
Information über die zu bestimmenden Abmessungen aufgrund der
Aktivierung des Schalters.
Derartige mechanische Meßsonden, die in Kontakt mit dem zu
erfassenden Gegenstand gebracht werden müssen, haben einige
Nachteile. Typischerweise werden Kontaktkräfte benötigt, die
größer sind als 0,1 N, so daß derartige mechanische Meßsonden
beispielsweise zur Durchführung von Messungen an Silicium
strukturen ungeeignet sind, welche nicht zerstörungsfrei be
rührt werden können.
Anstelle der mechanischen Meßsonden können auch kontaktlos
arbeitende Meßsonden verwendet werden. Ein Typ einer solchen
kontaktlos arbeitenden Meßsonde ist beispielsweise von McRae
in dem Artikel "Anwendung einer kapazitiven Abtastung zur be
rührungslosen Bestimmung von Abmessungen" in der Zeitschrift
"SENSORS", Seiten 13 bis 20, Oktober 1988, beschrieben. Der
Artikel beschreibt die Verwendung eines flachen plattenförmi
gen Sensors, welcher in Verbindung mit einer benachbarten
Zielplatte, beispielsweise einem Werkstück, einen Kondensator
mit parallelen Platten bildet. Die Kapazität dieses parallele
Platten aufweisenden Kondensators ist dabei umgekehrt propor
tional zum Abstand zwischen dem Sensor und der Zielplatte; es
gilt also
C = K/d,
wobei C = Kapazität;
K = eine Konstante und
d = Abstand zwischen Sensor und Zielplatte sind.
C = K/d,
wobei C = Kapazität;
K = eine Konstante und
d = Abstand zwischen Sensor und Zielplatte sind.
Kapazitive Meßsonden, die auf dem Prinzip der parallelen Kon
densatorplatten basieren, haben verschiedene Nachteile. Sie
müssen exakt parallel zu der Zielplatte bzw. der Werkstück
oberfläche ausgerichtet werden, damit die kapazitiv wirksame
Plattenfläche relativ konstant bleibt. Zusätzlich gestattet
die nur in einer Richtung wirksame kapazitive Charakteristik
der parallelen Sondenplatte nur Positionsmessungen längs
einer einzige Koordinatenachse, nämlich senkrecht zu der fla
chen Meßsondenplatte.
Ausgehend vom Stand der Technik und der vorstehend aufgezeig
ten Problematik, liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde,
eine verbesserte kapazitive Meßsonde anzugeben, welche eine
richtungsunabhängige Bestimmung von Abständen bzw. Abmessun
gen eines zu erfassenden Gegenstandes gestattet.
Diese Aufgabe wird durch eine berührungslos arbeitende kapa
zitive Meßsonde gelöst, die gekennzeichnet ist durch eine
elektrisch leitfähige, kugelförmige Meßspitze.
Es ist ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen kapaziti
ven Meßsonde, daß sie richtungsunabhängig arbeitet.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besitzt
die Meßsonde eine elektrisch leitfähige sphärische bzw. ku
gelförmige Abtastspitze, welche zusammen mit einem zu erfas
senden Gegenstand, insbesondere einem Werkstück, einen Kon
densator bildet. Dabei ist die sphärische Meßspitze an einem
Ende eines hohlen, leitfähigen Schaftes montiert und gegen
über diesem isoliert. Ein leitfähiger Draht bzw. ein Leiter
erstreckt sich koaxial zur Mittelachse des hohlen Schaftes
und ist mit der sphärischen Abtastspitze verbunden. Der
Schaft und der dazu koaxiale Draht sind jeweils mit einer
Wechselspannungsquelle verbunden, die an ihnen eine Wechsel
spannung erzeugt. Dabei sind die beiden Wechselspannungen im
wesentlichen gleichphasig und haben im wesentlichen gleiche
Amplituden, um die Effekte einer Streukapazität auf die mit
der Sonde durchgeführten Messungen zu reduzieren.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden nach
stehend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele in Verbindung
mit Zeichnungen noch näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung einer bevor
zugten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Meßsonde, teilweise im Schnitt;
Fig. 2 einen Querschnitt durch die Abtastspitze einer
bevorzugten Meßsonde gemäß der Erfindung;
Fig. 2A eine schematische Darstellung einer weiteren
abgewandelten Meßsonde gemäß der Erfindung,
teilweise aufgebrochen bzw. im Schnitt;
Fig. 3 eine Seitenansicht der Meßsonde gemäß Fig. 1,
teilweise aufgebrochen bzw. im Schnitt;
Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer Vor
richtung zum Prüfen und Kalibrieren der Meß
sonde gemäß Fig. 1;
Fig. 5 eine grafische Darstellung von mit Hilfe der
Vorrichtung gemäß Fig. 4 erhaltenen Meßergeb
nissen für zwei unterschiedliche Orientierun
gen der Meßsonde;
Fig. 5A eine grafische Darstellung der Meßcharakteri
stik einer erfindungsgemäßen Meßsonde bei
kleinen Abständen im logarithmischen Maßstab;
Fig. 6 eine grafische Darstellung zur Erläuterung der
Zunahme der kapazitiv wirksamen Sondenfläche
bei Annäherung der Sonde gemäß Fig. 1 an einen
Gegenstand;
Fig. 7 eine grafische Darstellung zur Erläuterung des
Einflusses einer Seitenwand auf mit der Sonde
erhaltene Meßergebnisse, und
Fig. 8 eine erfindungsgemäße Meßsonde gemäß Fig. 1 in
Verbindung mit einer Koordinatenmeßmaschine.
Im einzelnen zeigt Fig. 1 eine kapazitive Sonde 10. Die Sonde
10 umfaßt eine sphärische Abtastspitze 15, die in Form einer
einteiligen, einheitlichen Struktur, beispielsweise aus
Stahl, Wolframcarbid, Inconel®*) oder einem anderen harten
leitfähigen Material hergestellt werden kann, welches ver
schleißfest und widerstandsfähig gegen eine Verformung ist.
Der Durchmesser der sphärischen Abtastspitze 15 ist von dem
jeweiligen Einsatzzweck der Sonde abhängig. Der Radius der
sphärischen Abtastspitze 15 sollte deutlich größer sein als
der zwischen der Abtastspitze und einem zu erfassenden Gegen
stand bzw. einer Zielplatte zu ermittelnde Abstand. Für die
vorliegenden Zwecke werden jedoch die Meßsonde 10 und die
entsprechenden Testergebnisse bezüglich einer sphärischen Ab
tastspitze 15 aus Stahl und mit einem Durchmesser von 4,78 mm
beschrieben.
Die sphärische Abtastspitze 15 kann auch so wie in Fig. 2 ge
zeigt ausgebildet sein. Wie gezeigt, hat die sphärische Ab
tastspitze 15 einen zentralen Teil 20, der beispielsweise aus
einem isolierenden Material, wie z. B. einem Keramikmaterial,
hergestellt ist. Ein äußerer leitfähiger Mantel 25 ist rings
um den Umfang des zentralen Teils herumgelegt.
*) eine Nickel-Chrom-Legierung mit weiteren Bestandteilen,
z. B. Fe, Mn, Ti, Nb, Ta, Mo, Cu, Co, C und Si.
Wendet man sich nunmehr erneut Fig. 1 zu, so erkennt man, daß
die sphärische Abtastspitze 15 dort über einen isolierenden
Hals 30 mit einem Ende eines hohlen Schaftes 35 verbunden
ist. Der Hals 30 kann beispielsweise aus einem Epoxydharzma
terial hergestellt werden, welches die Abtastspitze 15 gegen
über dem hohlen Schaft 35 isoliert und zwischen diesen beiden
Teilen eine mechanisch stabile Verbindung herstellt. Der
Schaft 35 kann beispielsweise aus Messing oder rostfreiem
Stahl hergestellt sein.
In dem hohlen Schaft 35 ist koaxial ein Draht 40 angeordnet,
der sich bis zu der sphärischen Abtastspitze 15 erstreckt und
mit dieser in elektrischem Kontakt steht. Der Draht 40 kann
eine isolierende Hülle 45 aufweisen, um sicherzustellen, daß
der hohle Schaft 35 und der Draht 40 nicht in elektrischen
Kontakt miteinander gelangen. Andererseits ist eine iso
lierende Hülle nicht zwingend erforderlich.
In Fig. 2A ist ein abgewandelter Aufbau der sphärischen Ab
tastspitze 15 und des hohlen Schaftes 35 dargestellt. Wie ge
zeigt, besitzt die sphärische Abtastspitze 15 eine Öffnung
47, die den hohlen Schaft 35 aufnimmt. Ein isolierendes Ma
terial 48, beispielsweise ein Epoxydharz, ist in der Öffnung
47 vorgesehen, um die Abtastspitze 15 und den Schaft 35 mit
einander zu verbinden und sie gleichzeitig elektrisch gegen
einander zu isolieren.
Der Fachmann erkennt, daß der Schaft als hohler Schaft 35
ausgebildet ist, um den Draht 40 aufzunehmen und die Wirkung
von Streukapazitäten zu verringern. Der Schaft muß jedoch
nicht hohl sein, wenn für den Draht 40 ein anderer Pfad ver
wendet wird oder wenn ein anderes Verfahren zum Reduzieren
des Effektes der Streukapazität angewandt wird.
Wie in Fig. 3 gezeigt, ist die Meßsonde 10 mit einem Koaxial
kabel 50 verbunden, beispielsweise mit einem Koaxialkabel des
Typs RG-179. Das Koaxialkabel 50 besitzt einen Außenleiter
55, der elektrisch mit dem Schaft 35 verbunden ist, und einen
Innenleiter 60, welcher elektrisch mit dem koaxial dazu ange
ordneten Draht 40 verbunden ist. Obwohl die Meßsonde 10 mit
einer direkten mechanischen Verbindung zwischen dem Koaxial
kabel und dem Rest der Sondenanordnung dargestellt ist, er
kennt der Durchschnittsfachmann, daß die Verbindung durch
Verwendung eines Koaxialkabelverbinders erleichtert werden
kann.
Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung zum Kalibrieren und Prüfen der
Meßsonde 10. Diese Vorrichtung umfaßt einen gleitverschieb
lichen Tisch bzw. einen Schlitten 60 mit einer isolierenden
Spannzange 65 zum Erfassen des Schaftes 35 der Meßsonde 10
und zum Ausrichten derselben in einer von mindestens zwei
Richtungen. Weiterhin sind zwei Zielplatten 70, 75 vorgese
hen, welche ein zu erfassendes Werkstück repräsentieren. Die
Prüf-, Kalibrier- bzw. Zielplatte 70 wird zum Kalibrieren und
Prüfen der Meßsonde 10 verwendet, wobei der Schaft 35 senk
recht zu der Zielplatte ausgerichtet ist, wie dies mit ge
strichelten Linien eingezeichnet ist. Die Kalibrier- bzw.
Zielplatte 75 wird zum Kalibrieren und Prüfen der Meßsonde 10
für den Fall verwendet, daß der Schaft 35 im wesentlichen
parallel zu dieser Zielplatte ausgerichtet ist.
Die Zielplatten 70 und 35 werden aus Aluminium, einem leitfä
higen Metall hergestellt. Die Meßsonde 10 kann jedoch auch in
Verbindung mit anderen leitfähigen Materialien verwendet wer
den. Die Leitfähigkeit des Materials muß nicht erheblich
sein. Materialien mit mehreren MOhm/m können gemessen werden.
Die Meßsonde 10 wird mit Hilfe eines kapazitiven Sondentrei
bers 80 angesteuert, beispielsweise mit einem Sondentreiber
des Typs Capacitec, Modell 4100S mit einer Takteinheit 4100-C
(diese Einheiten sind erhältlich von der Firma Capacitec
Corp., Postfach 819, 87 Fitchburg Road, Ayer/MA 01432). Der
Sondentreiber 80 umfaßt zwei getrennte elektrisch gegeneinan
der isolierte Wechselspannungsausgänge. Einer dieser Ausgänge
ist mit dem Innenleiter 60 des Koaxialkabels 50 und darüber
mit dem Draht 40 verbunden, der durch den hohlen Schaft 35
läuft. Dieser Ausgang dient der Erzeugung eines ersten Wech
selspannungspotentials zwischen der sphärischen Abtastspitze
15 und der jeweiligen Zielplatte. Der zweite Ausgang ist mit
dem Außenleiter 55 des Koaxialkabels 50 und über diesen mit
dem hohlen Schaft 35 verbunden und dient der Erzeugung eines
zweiten Wechselspannungspotentials zwischen dem hohlen Schaft
35 und der Zielplatte. Die beiden Wechselspannungspotentiale
haben dabei im wesentlichen dieselbe Größe und Phasenlage, um
den Effekt der Streukapazität auf die Sondenmessungen aus zu
schließen.
Die Position der sphärischen Abtastspitze 15 bezüglich der
jeweiligen Zielplatte 70 bzw. 75 wird mittels eines Einstell
organs (Kurbel) 85 eingestellt. Dabei werden die betreffende
Zielplatte und die Abtastspitze 15 zunächst in Kontakt mit
einander gebracht, woraufhin ein Abstandsmesser 90 auf Null
gestellt wird. Der Abstandsmesser 90 wird dann dazu verwen
det, die Verlagerung bzw. den Abstand der Abtastspitze 15 von
der betreffenden Zielplatte zu messen. Für den betrachteten
Zweck kann ein Abstandsmesser des Typs Digimatic Indicator
Model IDF 130-E der Firma Mitutoyo verwendet werden.
Der Strom, der zwischen der sphärischen Abtastspitze 15 und
der Zielplatte fließt, ist eine Funktion der Kapazität eines
durch diese Elemente gebildeten Kondensators. Der Sondentrei
ber 80 mißt den zwischen der sphärischen Abtastspitze 15 und
der Zielplatte fließenden Wechselstrom und liefert eine Aus
gangsgleichspannung, die repräsentativ für diesen Strom und
damit für die Kapazität ist. Die Ausgangsgleichspannung wird
beispielsweise mit Hilfe eines Voltmeters 95 gemessen und in
Verbindung mit dem Abstandsmesser 90 zur Prüfung und Kali
brierung der Meßsonde 10 verwendet.
Mit der Vorrichtung gemäß Fig. 4 wurden Meßversuche bzw.
Testmessungen durchgeführt. Fig. 5 zeigt eine lineare grafi
sche Darstellung der Ausgangsgleichspannung des kapazitiven
Sondentreibers 80 als Funktion des Spalts bzw. des Abstands
zwischen der Meßspitze 15 der Sonde und der betreffenden
Zielplatte. Die Grafik zeigt zwei Funktionen, nämlich eine,
bei der der Schaft 35 senkrecht zu der Zielplatte 70 ausge
richtet ist und eine, bei der der Schaft 35 im wesentlichen
parallel zu der Zielplatte 75 ausgerichtet ist. Die Testmes
sungen wurden also für die beiden extremen Ausrichtungen des
Schaftes durchgeführt.
Die grafische Darstellung gemäß Fig. 5 zeigt die Ausgangs
gleichspannung des Sondentreibers 80 für Spaltbreiten zwi
schen 0 und 6 mm. Wie die grafische Darstellung zeigt, unter
scheiden sich die Meßergebnisse für die beiden angegebenen
Orientierungen des Schaftes bei größeren Spalten bzw. Abstän
den, haben jedoch die Tendenz, für geringere Abstände zu kon
vergieren. Die Kapazität und damit die Ausgangsspannung ste
hen in einer logarithmischen Beziehung zu der Spaltbreite.
Diese logarithmische Beziehung ist in der grafischen Darstel
lung gemäß Fig. 5A noch näher dargestellt.
Die grafische Darstellung gemäß Fig. 5 demonstriert die Rich
tungsunabhängigkeit der Meßcharakteristik der sphärischen Ab
tastspitze. Diese Charakteristik wird anhand der Darstellung
gemäß Fig. 6 noch näher erläutert. Fig. 6 zeigt eine vergrö
ßerte Darstellung der sphärischen Abtastspitze 15 in einem
Abstand d von der Zielplatte 70.
Wenn die sphärische Abtastspitze 15 in einem Abstand von der
Zielplatte 70 angeordnet ist, der größer ist als ein Radius
der Abtastspitze, dann liegt die Kapazität der sphärischen
Abtastspitze in der Nähe des Wertes für den freien Raum, näm
lich bei 4 π·e₀·r, wobei r der Radius der sphärischen
Abtastspitze in cm und e₀ die Dielektrizitätskonstante im Va
kuum ist.
Wenn sich die sphärische Abtastspitze 15 der Zielplatte 70
(beispielsweise einem Werkstück) nähert und der Spalt d klein
wird im Vergleich zum Radius r der sphärischen Spitze, dann
wird durch die sphärische Spitze 15 und die Zielplatte 70 ein
Kondensator gebildet. Die Kapazität dieses Kondensators be
ginnt die Kapazität der Abtastspitze im freien Raum bei einer
Spaltbreite d zu überschreiten, die ungefähr gleich r, d. h.
einem Radius ist, und nimmt dann bei abnehmender Spaltbreite
logarithmisch zu. Die Kapazitätszunahme ergibt sich aufgrund
des resultierenden Gesamtergebnisses der beiden folgenden Ef
fekte:
- a) der Abnahme des Abstands d zwischen dem Sondenbereich 91 und der Zielplatte 70 und
- b) der Abnahme des effektiv zur Kapazität beitragenden Plat tenbereichs des Kondensators.
In Fig. 6 sind diese wirksamen Plattenbereiche als Projektio
nen A1, A2 und A3 dargestellt, die sich ergeben, wenn sich
aufeinanderfolgende Sondenbereiche 92, 95 und 100 der Ziel
platte 70 nähern.
Die in allen Richtungen gleiche bzw. richtungsunabhängige
Charakteristik der Meßsonde hat zur Folge, daß diese sowohl
auf die Zielplatte als auch auf alle in der Nähe befindlichen
leitfähigen Objekte anspricht. Die logarithmische Ansprech
charakteristik der Meßsonde verringert jedoch die Wirkung,
die diese in der Nähe befindlichen Gegenstände auf die gemes
sene Kapazität haben, da die Kapazität aufgrund der Nähe der
Sonde zu der Zielplatte bei geringem Abstand die Kapazität
bei weitem überschreitet, die sich aufgrund von in der Nähe
der Meßsonde befindlichen (weiteren) Gegenständen ergibt.
Fig. 7 verdeutlicht diesen Effekt und zeigt eine grafische
Darstellung der Spannung über der Spaltbreite in Anwesenheit
einer Seitenwand für Seitenwandabstände von 3, 5, 10 und 20 mm.
Die anhand von Fig. 7 gezeigte Richtungsunabhängigkeit ermög
licht einen einfachen Mechanismus zum Messen der Effekte der
Streukapazität aufgrund von in der Nähe befindlichen Objekten
sowie eine automatische Kompensation dieser Effekte. Bei
spielsweise könnte eine Kordinatenmeßmaschine bei einer ty
pischen programmgesteuerten Meßfolge die Meßsonde 10 in
mehrere Meßabstände mit einer Spaltbreite von 1 mm, 0,1 mm
und 0,01 mm bewegen. Auf der Basis der dabei gewonnenen Meß
ergebnisse kann die Streukapazität beispielsweise aufgrund
von Seitenwänden herausgezogen und von der Kordinatenmeßma
schine automatisch korrigiert werden.
Fig. 8 zeigt als Beispiel eine Koordinatenmeßmaschine 105,
die mit der Meßsonde 10 arbeitet. Die Koordinatenmeßmaschine
105 umfaßt eine Steuerkonsole 110, eine Kalibrierkugel 115,
einen Werkstücktisch 120 und einen Arm 125, der die Meßsonde
10 haltert und sie unter der Steuerung durch ein Programm in
die gewünschten Positionen bewegt. Der Tisch 120 trägt ein
Werkstück 130, welches in Fig. 8 als eine Siliciumstruktur
dargestellt ist, wie sie in Hochleistungsanwendungen einge
setzt wird. Der Arm 125 führt die Meßsonde 10 längs des Werk
stücks 130, um die geforderten Messungen durchzuführen. Ob
wohl die Meßsonde in Fig. 8 in Verbindung mit einer speziel
len Koordinatenmeßmaschine gezeigt ist, wird deutlich, daß
die Meßsonde zur Verwendung in Verbindung mit zahlreichen an
deren Koordinatenmeßmaschinen geeignet ist, beispielsweise
mit einer Maschine des Typs Cordax 1800 oder einer der Ma
schinen, die in der Zeitschrift ANSI/ASME, B 89.1.12M-1985,
gezeigt sind, wobei diese Literaturstelle die vorliegende Be
schreibung in vollem Umfang ergänzt.
Die Sonde 10 kann Kontaktsonden mit Schalter ersetzen, wie
sie normalerweise bei derartigen Koordinatenmeßmaschinen ver
wendet werden. Um dies zu erreichen, kann eine Schnittstel
lenschaltung (nicht gezeigt) ein Signal liefern, welches
einem offenen oder einem unterbrochenen Schaltkreis ent
spricht und bisher mit Hilfe eines Schalters der Meßsonde er
zeugt wurde. Das betreffende Signal für die Koordinatenmeß
maschine würde gemäß der Erfindung beispielsweise dann er
zeugt, wenn die Ausgangsspannung des kapazitiven Sondentrei
bers 80 (in Fig. 8 nicht gezeigt) anzeigt, daß sich die sphä
rische Meßspitze 15 in einem vorgegebenen Abstand von dem
Werkstück befindet, beispielsweise wenn der Spalt zwischen
Werkstück und Abtastspitze etwa 1 µm beträgt.
Während die Erfindung vorstehend anhand verschiedener Aus
führungsbeispiele erläutert wurde, erkennt der Fachmann, daß
ihm ausgehend von diesen Ausführungsbeispielen zahlreiche
Möglichkeiten für Änderungen und/oder Ergänzungen zu Gebote
stehen, ohne daß er dabei den Grundgedanken der Erfindung
verlassen müßte. Die Erfindung ist also nicht auf die vor
stehend erläuterten Ausführungsbeispiele beschränkt.
Claims (13)
1. Berührungslos arbeitende, kapazitive Meßsonde,
gekennzeichnet durch eine elektrisch leitfähige, kugel
förmige Meßspitze (15).
2. Meßsonde nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Spannungs
erzeugungseinrichtungen (80) zum Erzeugen einer Wechsel
spannung zwischen der Meßspitze (15) und einem von dieser
zu erfassenden Gegenstand (70, 75, 130).
3. Meßsonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßspitze (15) einen zentralen Teil (20) aus iso
lierendem Material aufweist, der von einem Mantel (25)
aus elektrisch leitfähigem Material umschlossen ist.
4. Meßsonde nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der
zentrale Teil aus einem elektrisch isolierenden Keramik
material besteht.
5. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß das elektrisch leitfähige Material der
Meßspitze (15) aus einem der folgenden Materialien ausge
wählt ist: Stahl, Wolfram-Carbid, Inconel.
6. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß sie einen hohlen Schaft (35) aufweist,
an dessen einem Ende die Meßspitze (15) angeordnet ist
und in dem ein koaxialer Draht (45) angeordnet ist, der
elektrisch mit der elektrisch leitfähigen Meßspitze (15)
verbunden ist.
7. Meßsonde nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der
hohle Schaft (35) aus einem elektrisch leitfähigen Ma
terial besteht.
8. Meßsonde nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der
hohle Schaft (35) aus Messing besteht.
9. Meßsonde nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch ge
kennzeichnet, daß Verbindungseinrichtungen (30) vorgese
hen sind, durch die die kugelförmige Meßspitze (15) me
chanisch mit dem hohlen Schaft (35) verbunden ist und
durch die die kugelförmige Meßspitze (15) gegenüber dem
hohlen Schaft (35) elektrisch isoliert ist.
10. Meßsonde nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Verbindungseinrichtungen als halsförmiges Verbindungs
stück (35) ausgebildet sind.
11. Meßsonde nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
das halsförmige Verbindungsstück (35) aus einem Epoxyd
harz-Material besteht.
12. Meßsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch ge
kennzeichnet, daß die kugelförmige Meßspitze (15) einen
Radius aufweist, welcher größer ist als der größte mit
Hilfe der Meßspitze zu erfassende Abstand zu einem Werk
stück (70, 75, 130).
13. Meßsonde nach Anspruch 2 und 7, dadurch gekennzeichnet,
daß die Spannungserzeugungseinrichtungen eine zweite
Spannungsquelle umfassen, mit deren Hilfe eine zweite
Wechselspannung zwischen dem hohlen Schaft (35) und dem
zu erfassenden Gegenstand (70, 75, 130) erzeugbar ist und
daß die beiden von den Spannungserzeugungseinrichtungen
erzeugten Wechselspannungen zur Verringerung des Einflus
ses einer Streukapazität auf die mit der Sonde erhaltenen
Meßergebnisse im wesentlichen phasen- und amplituden
gleich sind.
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