DE2242355B1 - Elektronischer Mehrkoordinatentaster - Google Patents

Elektronischer Mehrkoordinatentaster

Info

Publication number
DE2242355B1
DE2242355B1 DE2242355A DE2242355DA DE2242355B1 DE 2242355 B1 DE2242355 B1 DE 2242355B1 DE 2242355 A DE2242355 A DE 2242355A DE 2242355D A DE2242355D A DE 2242355DA DE 2242355 B1 DE2242355 B1 DE 2242355B1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coordinate
straight
electronic multi
systems
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2242355A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2242355C2 (de
Inventor
Klaus 7920 Heidenheim Herzog
Harald Dr. 7083 Wasseralfingen Neuer
Franz 7923 Koenigsbronn Szenger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss AG
Publication of DE2242355B1 publication Critical patent/DE2242355B1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2242355C2 publication Critical patent/DE2242355C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B23Q1/36Springs

Description

Die Erfindung betrifft einen elektronischen Mehrkoordinatentaster mit einem Tastkopf, der gleichzeitig einen oder mehrere Taststifte tragen kann, zum Antasten von mehrdimensionalen Gegenständen, vorzugsweise auf Koordinatenmeßmaschinen.
Es sind Vorrichtungen zum Antasten von Körpern in zwei oder mehr in Richtungen bekannt, bei denen die Antastrichtung eines Taststiftes mit Hilfe reibungsarm gelagerter Gelenke ©der Führungen, wie Federgelenke, Luftlager od. dgl. in einer anderen Richtung umgelenkt werden kann. Derartige Vorrichtungen können auch so ausgebildet sein, daß sowohl in der einen als auch — nach einer Umschaltung — in der anderen Richtung angetastet werden kann.
Diese Tasteinrichtungen haben jedoch den Nachteil, daß beim Umschalten der Tasteinrichtung der Koordinatennullpunkt des Tastsystemes im allgemeinen verloren geht und über Hilfspunkte wieder neu eingestellt werden muß. Außerdem ist bei dieser Art von Tasteinrichtungen ein Antasten in einer schrägen Richtung und einer gleichzeitigen Signalabgabe in zwei oder mehr zueinander senkrecht stehenden Bezugsrichtungen nicht möglich.
Es sind auch Vorrichtungen bekanntgeworden, bei denen zwei elektrische Signalgeber verwendet werden, um ohne Umschalten oder Umlenken die Koordinatenpunkte eines Körpers in durch die zwei Signalgeber festgelegten Koordinatenrichtungen anzutasten.
Diese bekannten Vorrichtungen können aber das zu vermessende Objekt nur von einzelnen außenlie-
3 4
genden Seitenflächen aus antasten und daher Längen- b) daß richtungs- und lageempfindliche elektrische messungen nur in einer vorher festzulegenden Seiten- Signalgeber eingebaut sind, die ebenfalls ein torfläche des Objektes durchführen. Bei mehrdimensio- sionssteifes Koordinatensystem bilden,
nalen Körpern die in den meisten Fällen auch noch c) daß motorisch feinverstellbare, in der Führungsverdeckte - oder innenhegende - Meßflachen RiI- 5 rich der jeweiH Geradführung wirkeifde len, Nuten, Hohlecken oder schragliegende Bohrun- Präzisionsgesperre eingebaut sind, welche die gen haben, besteht aber der Wunsch in einer einzi- L der Koordinaten-Nullpunkte der Geradgen Werkstuckaufspannung gleichzeitig ale Seiten- führungssysteme und die Nullpunktslage der flachen mit Ausnahme der Aufspannflache des elektrischen Signalgeber automatisch auf Über-Werkstuckes antasten zu können, to einstimmung einregeln,
Bei einer dieser Vorrichtung mit zwei Signalgebern ö
wird eine kegelige oder zylindrische Meßsonde ver- cl) daß Mittel zur definierten Meßkraftvorgabe in
wendet, die zwangsweise in eine Bohrung einge- allen einzelnen Führungsrichtungen vorgesehen
drückt wird, wodurch das Zentrum der Bohrung an- smd-
gesprochen werden soll. Dieses Verfahren funktio- 15
niert nur, wenn die Achse der Sonde parallel zur In Weiterführung dieses grundlegenden Erfin-
Achse der Bohrung ist, was in den meisten Fällen dungsgedankens werden als spiel- und reibungsfreie
nicht vorausgesetzt werden kann. Außerdem führt es Geradführungssysteme beispielsweise Federparallelo-
bei Unsauberkeiten oder Gratbildungen des Boh- gramme verwendet.
rungseinlaufes, die in der Praxis nicht zu vermeiden ao Die elektrischen Signalgeber sind vorzugsweise als
sind, zu Versetzung der Meßsonde gegenüber der ef- Längenmeßgeber ausgebildet.
fektiven Bohrungsachse. Auch ist bei dieser Vorrich- Die Signale der elektrischen Signalgeber können tung keine Torsionssteife der mechanischen Halte- auch zur Positionierung eines oder mehrerer Koordirung der Meßsonde gegeben. Die Meßsonde kann so- natenschlitten in die Nullposition des Tasters verzusagen frei in einer Ebene schwimmen. Dies ist aber »5 wendet werden. Desgleichen können die elektrischen für die Antastung von schrägen Flächen ungeeignet, Signalgeber im Nulldurchgang einen Festhalte- oder da die Meßsonde wegen der fehlenden Richtungs- Speicherbefehl an eine Verschiebungs- oder Impulssteife Undefiniert nach verschiedenen Richtungen zähleinrichtung abgeben, um ohne positionieren im ausweichen kann. Nullpunkt eine dynamische Messung während der
Eine andere bekannte Vorrichtung verwendet zur 30 Verschiebung des Werkstückes zu ermöglichen.
Messung in einer Richtung eine Geradführung, in der In weiterer Ausgestaltung der Erfindung werden anderen Richtung aber einen Umlenkhebel. Da der die Antastrichtungen der Taststifte durch Kodierung Hebel einen bestimmten Radius hat, darf die Um- der Richtungssignale der Signalgeber zur Weiterverwandlung der Längenbewegung in eine Winkelbewe- arbeitung in einem mit dem Tastkopf verbundenen gung zum Zwecke der Längenmessung nur bei einem 35 Rechner übertragen. Mit der Zuführung der Anbestimmten Abstand der Taststiftspitze vom Biegege- tastrichtung erhält der Rechner eine Information über lenk erfolgen. Verwendet man einen anderen Tast- die jeweilige Relativlage der kugelförmigen Taststiftstift mit beispielsweise anderer Hebellänge, dann spitze zur Werkstückfläche. Durch diese Anordnung muß die Einrichtung jeweils auf diesen Taststift neu wird bei jedem Antastvorgang der wirksame Kugelgeeicht werden. 40 radius der Taststiftspitze vorzeichenrichtig addiert,
Ferner ist bereits eine Vorrichtung vorgeschlagen und es können die Werkstückpunkte direkt ohne subworden, bei der ein Taster gleichzeitig seine nach jektive Entscheidung des Messenden berechnet werden drei Koordinatenachsen zerlegte Bewegung mit- den.
tels eines Tastarmes auf zwei in der X- bzw. Der besondere Vorteil der erfindungsgemäßen Y-Achse elastisch deformierbare Parallelogramme 45 Ausbildung eines elektronischen Mehrkoordinatentamit starren Brücken, deren Relativlagen von Meß- sters besteht darin, daß man hiermit auch schwer zufühlem registriert werden, überträgt. Dabei wird die gängliche Meßflächen mit äußerster Präzision ausBewegung des Meßtasters in einer dritten Koordina- messen kann. Dabei werden die durch mechanische tenrichtung (y-Achse) unmittelbar auf einen weiteren Verschleißerscheinungen oder thermischer Verfor-Meßfühler gegeben. Auch dieser Vorrichtung haftet, 50 mung der Geradführungssysteme hervorgerufenen wie auch allen übrigen bekannten Vorrichtungen, Veränderungen der mechanischen Nullpunktslage noch der Nachteil an, daß hierbei die in der Praxis automatisch kompensiert, ohne daß man nachzueinicht zu vermeidenden Änderungen der relativen chen braucht, was eine erhebliche Steigerung der Nullpunktslagen der Geradführung- und Meßsy- Meßgenauigkeit selbst unter erschwerten Bedingunsteme weder erfaßt noch kompensiert werden, was 55 gen gewährleistet. Außerdem ist hierbei eine weitgeauf Kosten der Genauigkeit der Meßergebnisse geht. hende Automation des Meßvorganges unter Einbe-
Ziel der Erfindung ist es, einen elektronischen ziehung von elektronischen Rechnern möglich.
Mehrkoordinatentaster höchster Genauigkeit mit um- Die Erfindung sei nun an Hand der in den F i g. 1
fassenden Einsatzmöglichkeiten zu schaff en. bis 5 dargestellten Ausführungsbeispielen näher er-
Erreicht wird dieses nach der Erfindung durch die 60 läutert.
Kombination folgender Merkmale: In Fig. 1 ist der prinzipielle Aufbau der Führungssysteme eines Tastkopfes nach der Erfindung dargestellt.
a) daß der Tastkopf aus einer torsionssteifen An- Die Taststiftaufnahme 1, welche beispielsweise
einanderreihung von spiel- und reibungsfreiem 65 eine Reihe von sternförmig angeordneten, beliebig
Geradführungssystem besteht, die miteinander auswechselbaren Taststiften 2 trägt, ist über ein vier
ein definiertes ebenes oder räumliches Koordi- Blattfedern 3 a besitzendes Federparallelogramm 3
natensystem bilden, mit der Platte 4 verbunden. Letztere ist andererseits
über ein weiteres Federparallelogramm 5, deren 22 ist mit der Taststiftaufnahme 1 verbunden. Diese
Blattfedern Sa um 90° versetzt angreifen, an dem Einrichtung zum automatischen Gewichtsausgleich
Winkelstück 6 befestigt. wird von dem Motor 19 betätigt, der seinerseits von
Das Winkelstück 6 hängt schließlich über ein drit- einem noch zu beschreibenden Signalgeber gesteuert tes Federparallelogramm 7, welches horizontal lie- 5 wird, der die Lage des in der Z-Richtung bewegligende Blattfedern 7 α enthält, an dem Verbindungs- chen Parallelogramms 7 erfaßt,
stück 8, welches mit dem Oberteil 9 starr verbunden Jedes einzelne der in den F i g. 1 und 2 dargestellist. · ■ ten Federparallelogramme 3, 5,7 enthält bei der er-
Durch diese torsionssteife Aneinanderreihung findungsgemäßen Ausführung des Tastkopfes noch
dreier spiel- und reibungsfreier Geradführungssy- io weitere, in den F i g. 3 bis 5 dargestellte, zusätzliche
steine wird ein mechanisches Koordinatensystem Einrichtungen, die in geeigneter Weise neben- oder
XYZ aufgespannt. Hierin ist beispielsweise das hintereinander an den einzelnen Parallelogrammen
Winkelstück 6 parallel zur Z-Richtung, die Platte 4 befestigt sind.
parallel zur Z- und Z-Richtung und schließlich die In den F i g. 3 bis 5 sind diese Zusatzeinrichtungen
Taststiftaufnahme 1 parallel zu der X-, Y- und 15 jeweils nur für ein beliebig herausgegriffenes Paralle-
Z-Richtung beweglich. logramm aufgezeigt, da diese für alle übrigen Paral-
AIs Anwendungsbeispiel ist in F i g. 2 die Anta- lelogramme völlig identisch sind,
stung einer gekrümmten Fläche 101 eines Werkstük- In der F i g. 3 ist beispielsweise das Federparallelokes 100 dargestellt, das beispielsweise an seiner gramm 3 der F i g. 1 und 2 herausgegriffen.
Fläche 102 auf dem Tisch einer Koordinatenmeßma- 20 In der F i g. 3 ist ein in der Führungsrichtung des schine aufgespannt ist. Aus dem Beispiel erkennt Parallelogramms wirkendes Gesperre eingezeichnet, man, daß auch andere, schwer zugängliche Meßflä- welche im wesentlichen der Ausführungsform des in chen des Werkstückes von der erfindungsgemäßen der Patentanmeldung 22 42 356.9 der Anmelderin beEinrichtung angetastet werden können, ohne daß das schriebenen Präzisionsgesperres entspricht. Das par-Werkstück oder die Tasteinrichtung umgespannt as allel zum Teil 4 bewegliche Teill trägt einen Rastwerden muß. körper 30 mit einer V-förmigen Rastnut, in die die an
In dem im Schnitt dargestellten Ausführungsbei- einem Hebel 31 befindliche Rastkugel 32 einrasten
spiel nach F i g. 2 sind außer den in F i g. 1 bereits kann.
beschriebenen Teilen, die hier mit gleichen Bezugs- Durch Kugel und V-Nut ist an sich die Relativlage
zeichen versehen sind, noch die Mittel zur Erzeugung 30 zwischen den Teilen 4 und 1 des Federparallelo-
und Eingabe der Meßkraftvorgabe, sowie ein auto- gramms 3 der F i g. 1 und 2 formschlüssig gesperrt,
matischer Gewichtsausgleich in der Z-Richtung für Gleiche Präzisionsgesperre besitzen die Führungs-
die Führungssysteme nebst Taststiften und Taststift- systeme 5 und 7 in den F i g. 1 und 2, wodurch ein
aufnehmer eingezeichnet. mechanisch geometrischer Nullpunkt des Tastkopfes
Im Oberteil 9 des Tastkopfes 10 sind beispiels- 35 10 festgelegt wird.
weise drei Tauchspulsysteme angeordnet, deren Wie noch gezeigt wird, müssen in jedem der Füh-
Ringspaltmagnete 11, 11', 11" im Oberteil 9 festste- rungssysteme die formschlüssigen Raststellungen zu-
hend gelagert sind und deren Tauchspulen 12, 12', sätzlich nachgestellt werden, wozu eine elastisch ki-
12" aus einer mittleren Nullage heraus, je nach nematische Vorrichtung mit den Teilen 31 bis 36
Stromrichtung des in die Tauchspulen eingegebenen 40 dient.
Stromes, in den Ringspalt der Magnete hereingezo- Der Hebel 31 ist in einer an dem Teil 4 befestigten gen oder herausgedrückt werden. Die Stromzufüh- Halterung 33 um eine senkrecht zur Zeichenebene rung jeder einzelnen Tauchspule kann wahlweise ein- liegende Achse .4 drehbar gelagert. Am vorderen oder ausgeschaltet bzw. entsprechend elektronisch Ende des Hebels 31 ist eine Blattfeder 34 befestigt, gesteuert werden, um definierte Meßkräfte zu erzeu- .45 Das hintere Ende der Blattfeder 34 hegt an den Nokgen. Die Bewegungen der Tauchspule 12 werden ken 35 einer Nockenscheibe 36 an. Die Nockenmittels des im Oberteil 9 um die Achse 13 drehbar scheibe 36 ist durch einen nicht mehr eingezeichnegelagerten Hebels 14 und weiterer elastisch miteinan- ten Elektromotor in den Richtungen des Doppelpf eider verbundenen Übertragungselemente 15, 16, 17 les 37 verdrehbar. Bei einer Drehung der Nockenauf die Taststiftaufnahme 1 übertragen. Das Ubertra- -50 scheibe 36 wird bei einem Hub des Nockens 35 die gungselement 16 ist hier beispielsweise mittels eines Feder 34 verbogen, wodurch sich eine zusätzliche elastischen Wellrohres 18 im Boden 9 α des Oberteils Lageverstellung der Rastkugel und damit auch der allseitig schwenkbar gelagert. Das Tauchspulensy- durch Kugel und V-Nut geklemmten Relativlage zwistem 11,12 erzeugt hier eine Meßkraftvorgabe in der sehen Teil 4 und Teil 1 erzielen läßt.
Y-Richtung. Das Tauchspulensystem 11', 12' ver- 55 In der Fig.4 ist wiederum das Federparalleloschwenkt durch eine geeignete Hebelübertragung, die gramm 3 herausgegriffen, was stellvertretend für alle der besseren Übersicht wegen hier nicht eingezeich- übrigen 5,7 steht.
net ist, das Übertragungselement 16 im elastischen Hierin ist nun ein lage- und richtungsempfindli-
Wellrohr 18 senkrecht zur Zeichenebene und erzeugt eher Signalgeber, z. B. ein induktiver Meßgeber, ein-
so die Meßkraftvorgabe in der X-Richtung. Das '60 gebaut, dessen Spulensysteme 40 mit dem Teil 4 starr
Tauchspulensystem 11", 12" schließlich greift über verbunden sind, während der zugehörige Kern 41 am
das Übertragungselement 17a auf das Winkelstück Teill starr befestigt ist. Der Signalgeber ist so be-
16 an und schafft somit eine Meßkraftvorgabe in der schaffen, daß er bei einer bestimmten relativen Lage
Z-Richtung. der Teile 4 und 1 keine Spannung abgibt. Diese Lage
Ferner ist im Oberteil eine über einen Motor 19 65 definiert den »elektrischen« Nullpunkt in der Füh-
angetriebene Gewindespindel 20 gelagert, deren zu- rungsrichtung des Federparallelogrammes 3. In glei-
geordnete Spindelmutter 21 mit einer Spiralfeder 22 eher Weise haben die Federparallelogramme 5 und 7
in Verbindung steht. Das untere Ende der Spiralfeder elektrische Nullpunkte, die zusammen den ebenen
bzw. raumlichen »elektrischen« Nullpunkt des gesamten Tastkopfes definieren. Dieser elektrische Nullpunkt wird im allgemeinen nicht mit dem, durch die Klemmeinrichtungen 30 und 31 bestimmten, mechanisch geometrischen Nullpunkt übereinstimmen. Um diese Übereinstimmung zu erreichen, werden Signale der induktiven Meßgeber zur motorischen Nachstellung der Raststellung mit einem an der Nokkenscheibe 36 angeflanschten, hier nicht dargestellten Elektromotor herangezogen. Die mechanische Klemmstelie wird dadurch auf den elektrischen Nullpunkt eingeregelt.
Die aus den Signalgebern kommenden lage- und richtungsanzeigenden Signale können auch zur Messung der Abweichung des zu prüfenden Werkstückpunktes von einer Sollage verwendet werden.
Der verwendete Signalgeber hat ferner die Eigenschaft, daß seine Signale zur Regelung der Sperrung auf den jeweiligen elektrischen Nullpunkt herangezogen werden können.
In der F i g. 5 ist am Beispiel des herausgegriffenen Federparallelogramms5 (Fig. i) eine viscohydraulische Bewegungsdämpt'ung eingezeichnet, bei der in dem durch die Platten 51 und 52 gebildeten Kapillarspalt 53 eine zähe Flüssigkeit eingefüllt ist. Die Platte 51 ist mit dem Teil 6 und die Platte 52 mit dem Teil 4 fest verbunden. Durch die Kapillarwirkung wird ein Herauslaufen der Flüssigkeit verhindert, und es ist keine reibungsbehaftete Abdichtung nötig.
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. Es lassen sich z. B. auch andere Geradführungssysteme, wie z. B. ebene oder räumliche Kreuzschlittensysteme oder andere elektrische Signalgeber, z. B. kapazitive, ohmsche oder optisch-elektronische Meßsysteme verwenden.
Auch ist die Anwendung nicht allein auf Koordinatenmeßmaschinen beschränkt. Die Erfindung kann auch in verschiedenen Meß- und Bearbeitungsvorrichtungen oder Werkzeugmaschinen eingesetzt werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
ÄdOO 409 510,269

Claims (12)

Patentansprüche:
1. Elektronischer Mehrkoordinatentaster mit einem Tastkopf, der gleichzeitig einen oder mehrere Taststifte tragen kann, zum Antasten von mehrdimensionalen Gegenständen, vorzugsweise auf Koordinatenmeßmaschinen, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale:
a) daß der Tastkopf aus einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien Geradführungssystemen (3, 5, 7) besteht, die miteinander ein definiertes ebenes oder räumliches Koordinatensystem bilden, χ5
b) daß richtungs- und lageempfindliche elektrische Signalgeber (40, 41) eingebaut sind, die ebenfalls ein torsionssteifes Koordinatensystem bilden,
20
c) daß motorisch fein verstellbare, in der Führungsrichtung der jeweiligen Geradführung wirkende Präzisionsgesperre (30 bis 36) eingebaut sind, welche die Lage der Koordinaten-Nullpunkte der Geradführungssysteme (3, 5, 7) und die Nullpunktslage der elektrischen Signalgeber (40, 41) automatisch auf Übereinstimmung einregeln,
d) daß Mittel (11 bis 17) zur definierten Meßkraftvorgabe in allen einzelnen Führungs- 3„ richtungen vorgesehen sind.
2. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Geradführungssysteme (3, 5, 7) als Federparallelogramme ausgebildet sind.
3. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Signalgeber als Längenmeßgeber ausgebildet sind.
4. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung der elektrischen Signalgeber (40, 41) zur Steuerung des Einfahrens eines oder mehrerer Koordinatenschlitten in die Nullposition des Tasters.
5. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung der elektrischen Signalgeber (40, 41) zum Auslösen eines Festhalte- bzw. Speicherbefehles an eine Verschiebungsmeß- bzw. Impulszähleinrichtung.
6. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch!, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Signalgeber (40, 41) an einen elektronischen Rechner angeschlossen sind und entsprechend der Lage und Richtung der Taststifte (2) kodierte Signale liefern.
7. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch die Verwendung des elektronischen Rechners bei der Elimination der Abmessungen der Tastspitzen der Taststifte (2) auf das Meßergebnis.
8. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Signalgeber als induktive Meßgeber ausgebildet sind, deren relativ zueinander bewegliche Teile (40, 41) mit Teilen (1, 4) der Geradführungssysteme (3) verbunden sind und deren induktive Nullagen die elektrischen Nullpunktslagen in den Führungsrichtungen der Geradführungssysteme (3, S, 7) bilden.
9. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung eines feinverstellbaren Präzisionsgesperres, bei dem ein mit einer Blattfeder (34) verbundener Hebel (31) an einen Teil (4) eines Geradführungssystemes (3) drehbar gelagert ist und in einem mit einem weiteren Teil (1) des Geradführungssystems (3) verbundenen Rastkörper (30) einrastet, wobei die in Abhängigkeit der gegenseitigen Lage der Teile (4, 1) des Geradführungssystemes (3) veränderliche elastische Verformung der Blattfeder (34) zur Feineinstellung des Gesperres verwendet wird.
10. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungen der Geradführungssysteme (3, S, 7) mittels flüssigkeitsgefüllter Kapillarspalte (53) gedämpft sind.
11. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung (19 bis 22) zum automatischen Gewichtsausgleich der Tastorgane (1,2) und der Geradführungssysteme (3, 5, 7) eingebaut ist.
12. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung von Tauchspulsystemen (11, 12) zur Meßkraftvorgabe in den einzelnen Führungseinrichtungen der Geradführungssysteme (3, 5, 7).
DE2242355A 1972-08-29 1972-08-29 Elektronischer Mehrkoordinatentaster Expired DE2242355C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2242355 1972-08-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2242355B1 true DE2242355B1 (de) 1974-03-07
DE2242355C2 DE2242355C2 (de) 1974-10-17

Family

ID=5854820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2242355A Expired DE2242355C2 (de) 1972-08-29 1972-08-29 Elektronischer Mehrkoordinatentaster

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3869799A (de)
JP (1) JPS546218B2 (de)
CH (1) CH561897A5 (de)
DE (1) DE2242355C2 (de)
GB (1) GB1429973A (de)
IT (1) IT994169B (de)

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2620100A1 (de) * 1975-05-13 1976-12-02 Rolls Royce 1971 Ltd Messeinrichtung
DE2712761A1 (de) * 1976-03-24 1977-09-29 Renishaw Electrical Ltd Tastkopf
DE2757453A1 (de) * 1976-12-24 1978-07-06 Renishaw Electrical Ltd Tastkopf fuer messmaschinen
DE2938080A1 (de) * 1978-12-27 1980-07-10 Jenoptik Jena Gmbh Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke
DE2949484A1 (de) * 1979-01-31 1980-08-14 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur einstellung von tastern
DE3035838A1 (de) * 1979-09-19 1981-04-30 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc., Cambridge, Mass. Zentriergeraet mit einem arbeitsorgan sowie verfahren zur messung und eichung einer verschiebung des arbeitsorgans
EP0086167A2 (de) * 1982-02-05 1983-08-17 Luc Barrut Verfahren und Einrichtung zum Formen oder Behandeln von Zähnen oder Zahnprothesen
DE3234471C1 (de) * 1982-09-17 1983-08-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3210711A1 (de) * 1982-03-24 1984-02-02 Dr.-Ing. Höfler Meßgerätebau GmbH, 7505 Ettlingen Mehrkoordinatentaster mit geregelter antastkraft
DE3309122A1 (de) * 1983-03-15 1984-09-20 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Tastkopf fuer messeinrichtungen
DE3313861A1 (de) * 1983-04-16 1984-10-25 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Halterung fuer ein paar von planspiegeln und eine kugel in einer interferometer-laengenmesseinrichtung
FR2562234A1 (fr) * 1984-04-03 1985-10-04 Mauser Werke Oberndorf Tete palpeuse pour appareil de mesure
EP0211202A1 (de) 1985-06-28 1987-02-25 Firma Carl Zeiss Steuerung für Koordinatenmessgeräte
EP0264717A2 (de) * 1986-10-11 1988-04-27 Firma Carl Zeiss Verfahren und Einrichtung zur Messung von Verzahnungen mit Hilfe eines Koordinatenmessgerätes
EP0301389A2 (de) * 1987-07-30 1989-02-01 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0301390A2 (de) * 1987-07-30 1989-02-01 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0732563A1 (de) * 1995-03-11 1996-09-18 Carl Zeiss Koordinatenmessgerät mit einer Einrichtung für die Rauheitsmessung
WO2002073123A1 (de) * 2001-03-09 2002-09-19 Carl Zeiss Tastkopf mit einer tarierung
EP2551631A1 (de) * 2011-07-25 2013-01-30 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Tastkopf
EP3236194A1 (de) 2016-04-18 2017-10-25 Hexagon Metrology GmbH Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät

Families Citing this family (95)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
JPS5340465B2 (de) * 1973-07-31 1978-10-27
DE2356030C3 (de) * 1973-11-09 1978-05-11 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Taster zur Werkstückantastung
US3940854A (en) * 1974-03-27 1976-03-02 Westinghouse Electric Corporation Three axis precision measuring device
US4130941A (en) * 1975-03-20 1978-12-26 Rolls-Royce Limited Displacement gauge
GB1551218A (en) * 1975-05-13 1979-08-22 Rolls Royce Probe for use in displacement measuring apparatus
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
US4136458A (en) * 1976-10-01 1979-01-30 The Bendix Corporation Bi-axial probe
JPS5433155U (de) * 1977-08-08 1979-03-05
SE406228B (sv) * 1977-09-20 1979-01-29 Johansson Ab C E Legesgivare avsedd for kontrollmetning av ytor
US4187614A (en) * 1978-08-04 1980-02-12 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Tracer head
JPS56121105U (de) * 1981-01-27 1981-09-16
DE3135495C2 (de) * 1981-09-08 1983-11-10 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Meßkopf für Meßeinrichtungen, Mehrkoordinatenmeßgeräte und Bearbeitungsmaschinen
US4523450A (en) * 1981-11-07 1985-06-18 Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz Method of calibrating probe pins on multicoordinate measurement machines
JPS58169001A (ja) * 1982-03-31 1983-10-05 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 2方向タツチセンサ
DE3217995A1 (de) * 1982-05-13 1983-11-17 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Verfahren und vorrichtung zum vermessen von gewinden
US4451987A (en) * 1982-06-14 1984-06-05 The Valeron Corporation Touch probe
DE3231158C2 (de) * 1982-08-21 1985-11-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3234470C2 (de) * 1982-09-17 1985-11-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3234851C2 (de) * 1982-09-21 1985-11-14 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Dynamischer Tastkopf
DE3241747A1 (de) * 1982-11-11 1984-05-17 Gerhard 6686 Eppelborn Lauer Vorrichtung zum ermitteln der lage einer ausnehmung an einem groesseren werkstueck, insbesondere aus blech
IN161120B (de) * 1983-03-30 1987-10-03 Wyler Ag
US4536961A (en) * 1983-03-31 1985-08-27 Meseltron S. A. Three-dimensional measuring device
DE3348472C2 (de) * 1983-06-03 1994-09-29 Zeiss Carl Fa Taststiftwechselhalter
JPS6078301A (ja) * 1983-08-06 1985-05-04 マウゼル−ベルケ、オベルンドルフ、ゲゼルシヤフト、ミツト、ベシユレンクテル、ハフツング 多重座標測定機械の測定ヘツド
CA1276710C (en) * 1983-11-30 1990-11-20 Kazuo Asakawa Robot force controlling system
US4669300A (en) * 1984-03-30 1987-06-02 Sloan Technology Corporation Electromagnetic stylus force adjustment mechanism
JPS6127649U (ja) * 1984-07-26 1986-02-19 宣行 杉村 Nc旋盤のねじ用タツチセンサ
JPS6150007A (ja) * 1984-08-18 1986-03-12 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 表面形状測定用トレ−サ
DE3546889C2 (de) * 1984-08-18 1994-05-11 Mitutoyo Mfg Co Ltd Tastervorrichtung für Oberflächen
DE3532184C1 (de) * 1985-09-10 1987-02-19 Zeiss Carl Fa Kollisionsschutz fuer den Tastkopf einer Messmaschine
GB8607199D0 (en) * 1986-03-24 1986-04-30 Renishaw Plc Position sensing probe
DE3623614A1 (de) * 1986-07-12 1988-01-14 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem tastkopf vom schaltenden typ
IT1206842B (it) * 1987-01-15 1989-05-11 Fidia Spa Dispositivo tastatore particolarmente per macchina a copiare
US5154002A (en) * 1987-02-26 1992-10-13 Klaus Ulbrich Probe, motion guiding device, position sensing apparatus, and position sensing method
US4882848A (en) * 1987-07-30 1989-11-28 Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz Probe head for a coordinate-measuring instrument
DE3811235A1 (de) * 1987-08-21 1989-10-19 Wegu Messtechnik Dynamischer tastkopf
GB2208934B (en) * 1987-08-24 1991-05-15 Mitutoyo Corp Surface contour measuring tracer
GB8728500D0 (en) * 1987-12-05 1988-01-13 Renishaw Plc Position sensing probe
GB8729638D0 (en) * 1987-12-19 1988-02-03 Renishaw Plc Mounting for surface sensing device
US5212646A (en) * 1987-12-19 1993-05-18 Renishaw Plc Method of using a mounting for surface-sensing stylus
GB8803847D0 (en) * 1988-02-18 1988-03-16 Renishaw Plc Mounting for surface-sensing device
US5152072A (en) * 1988-02-18 1992-10-06 Renishaw Plc Surface-sensing device
DE3823042A1 (de) * 1988-07-07 1990-01-11 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
US5088208A (en) * 1988-10-11 1992-02-18 Renishaw Plc Measurement probe for position determining apparatus
US5189806A (en) * 1988-12-19 1993-03-02 Renishaw Plc Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece
DE3843125A1 (de) * 1988-12-22 1990-06-28 Zeiss Carl Fa Tastkopf vom schaltenden typ
DE3905952A1 (de) * 1989-02-25 1990-08-30 Kugelfischer G Schaefer & Co Mehrkoordinatenmesstaster
US5390424A (en) * 1990-01-25 1995-02-21 Renishaw Metrology Limited Analogue probe
GB9001682D0 (en) * 1990-01-25 1990-03-28 Renishaw Plc Position sensing probe
US5129152A (en) * 1990-12-20 1992-07-14 Hughes Aircraft Company Fast contact measuring machine
US5390423A (en) * 1991-01-22 1995-02-21 Renishaw Plc Analogue probe
GB9107825D0 (en) * 1991-04-12 1991-05-29 Renishaw Metrology Ltd Stylus counterbalancing mechanism for a measuring probe
GB2256476B (en) 1991-05-30 1995-09-27 Rank Taylor Hobson Ltd Positional measurement
JP3279317B2 (ja) * 1991-11-09 2002-04-30 レニショウ メタロジィ リミテッド 接触プローブ
JP2587565B2 (ja) * 1992-05-28 1997-03-05 株式会社ミツトヨ 倣いプローブ
DE69218422T2 (de) * 1992-06-23 1997-10-23 Oce Nederland Bv Elektro-optischer Kopf
US5394757A (en) * 1992-06-25 1995-03-07 Thiokol Corporation Multiple stylus probe attachment and methods
DE4327250C5 (de) * 1992-09-25 2008-11-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
US5367373A (en) * 1992-11-19 1994-11-22 Board Of Regents, The University Of Texas System Noncontact position measurement systems using optical sensors
DE4318741C2 (de) 1993-06-05 1995-04-06 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE4331655C3 (de) * 1993-09-17 2000-11-09 Leitz Mestechnik Gmbh Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte
DE4424225A1 (de) * 1994-07-09 1996-01-11 Zeiss Carl Fa Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
GB2302589B (en) * 1995-06-21 1998-11-11 Zeiss Stiftung Probe head for coordinate measuring machines with a clamping device for clamping the deflectable part of the probe head
US5822877A (en) * 1996-06-20 1998-10-20 Brown & Sharpe Manufacturing Company Multi-probe system for dimensional metrology
US5887356A (en) * 1996-09-03 1999-03-30 Sheldon/Van Someren, Inc. Multi-axis continuous probe
US5836082A (en) * 1996-09-27 1998-11-17 Sheldon/Van Someren Inc. Three-axis probe
US5743020A (en) * 1996-09-27 1998-04-28 Sheldon; Paul C. Three-axis continuous probe
US5979070A (en) * 1997-12-19 1999-11-09 Lau; Kam C. Method and apparatus for selectively locking a movement direction of a coordinate measurement probe
JP3130289B2 (ja) * 1998-08-04 2001-01-31 株式会社ミツトヨ タッチ信号プローブ
DE19949044B4 (de) * 1999-10-11 2004-05-27 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Vorrichtung zur Feinfokussierung eines Objektives in einem optischen Sytstem und Koordinaten-Messgerät mit einer Vorrichtung zur Feinfokussierung eines Objektivs
WO2001091664A1 (fr) * 2000-05-29 2001-12-06 Kabushiki Kaisya Advance Systeme de mesurage/usinage s'appliquant a la dentisterie
US6640459B1 (en) * 2001-02-15 2003-11-04 Fast Forward Devices, Llc Multidimensional contact mechanics measurement system
GB0201845D0 (en) 2002-01-26 2002-03-13 Renishaw Plc Analogue probe
DE10240292A1 (de) * 2002-08-31 2004-03-18 Carl Mahr Holding Gmbh Tasteinrichtung für vielfältige Messaufgaben
ATE441085T1 (de) * 2002-09-18 2009-09-15 Mecartex Sa Vorrichtung mit tastkopf
JP3795008B2 (ja) * 2002-11-28 2006-07-12 アサ電子工業株式会社 タッチセンサ
GB0228368D0 (en) * 2002-12-05 2003-01-08 Renishaw Plc Probe for high speed scanning
US20040187523A1 (en) * 2003-03-24 2004-09-30 Corning Incorporated Score bar instrumented with a force sensor
DE102004007968B4 (de) * 2004-02-18 2006-02-09 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mit einem Koordinatenmessgerät
GB0417536D0 (en) * 2004-08-06 2004-09-08 Renishaw Plc The use of surface measurement probes
EP1672310B1 (de) * 2004-12-15 2007-02-21 Hexagon Metrology GmbH Messender Tastkopf mit Vibrationsdämpfung für ein Koordinatenmessgerät
GB0508388D0 (en) 2005-04-26 2005-06-01 Renishaw Plc Surface sensing device with optical sensor
NL1030138C2 (nl) * 2005-10-07 2007-04-11 Ibs Prec Engineering B V Meet-samenstel en werkwijze voor het bepalen van de onderlinge positie van machinedelen.
JP4933775B2 (ja) * 2005-12-02 2012-05-16 独立行政法人理化学研究所 微小表面形状測定プローブ
DE602007009188D1 (de) * 2007-03-26 2010-10-28 Hexagon Metrology Ab Verfahren zur Verwendung eines mehrachsigen Positionierungs- und Messsystems
EP1988357B1 (de) 2007-05-04 2018-10-17 Hexagon Technology Center GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Koordinatenmessung
DE102011104228B4 (de) * 2011-05-13 2014-12-31 Ludwig Nanopräzision GmbH Vorrichtung zur Längenmessung und Verwendung der Vorrichtung zur Bestimmung physikalischer Eigenschaften von Messobjekten
DE102012003223A1 (de) * 2012-02-20 2013-08-22 Carl Zeiss 3D Automation Gmbh Kugel-Schaft-Verbindung
CN102679928B (zh) * 2012-06-01 2014-07-09 西安工业大学 带防撞保护和自动转向功能的一维测头
JP2014081323A (ja) * 2012-10-18 2014-05-08 Mitsutoyo Corp レバーヘッド
WO2014191016A1 (de) * 2013-05-27 2014-12-04 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und verfahren zur kalibrierung eines koordinatenmessgeräts
DE102014208376B3 (de) * 2014-05-05 2015-06-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Messkopf für ein Koordinatenmessgerät
CN107206562B (zh) * 2015-03-17 2020-06-16 东芝机械株式会社 机床
US11524410B2 (en) * 2020-06-12 2022-12-13 Hexagon Metrology, Inc. Robotic alignment method for workpiece measuring systems

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3164909A (en) * 1959-01-14 1965-01-12 Gen Electric Automatic gauging system
US3149421A (en) * 1961-01-24 1964-09-22 Watton Engineering Co Ltd Measuring and gauging devices
US3572724A (en) * 1968-08-27 1971-03-30 Libman Max L Servodriven spring-supported arm for phonograph pickups
US3798779A (en) * 1972-07-05 1974-03-26 Ferranti Packard Ltd Probe inspection system

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2620100A1 (de) * 1975-05-13 1976-12-02 Rolls Royce 1971 Ltd Messeinrichtung
DE2712761A1 (de) * 1976-03-24 1977-09-29 Renishaw Electrical Ltd Tastkopf
DE2757453A1 (de) * 1976-12-24 1978-07-06 Renishaw Electrical Ltd Tastkopf fuer messmaschinen
DE2938080A1 (de) * 1978-12-27 1980-07-10 Jenoptik Jena Gmbh Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke
FR2445513A1 (fr) * 1978-12-27 1980-07-25 Zeiss Jena Veb Carl Palpeur de coordonnees pour explorer des pieces a plusieurs dimensions
DE2949484A1 (de) * 1979-01-31 1980-08-14 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur einstellung von tastern
DE3035838A1 (de) * 1979-09-19 1981-04-30 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc., Cambridge, Mass. Zentriergeraet mit einem arbeitsorgan sowie verfahren zur messung und eichung einer verschiebung des arbeitsorgans
EP0086167A2 (de) * 1982-02-05 1983-08-17 Luc Barrut Verfahren und Einrichtung zum Formen oder Behandeln von Zähnen oder Zahnprothesen
EP0086167A3 (de) * 1982-02-05 1984-01-18 Luc Barrut Verfahren und Einrichtung zum Formen oder Behandeln von Zähnen oder Zahnprothesen
DE3210711A1 (de) * 1982-03-24 1984-02-02 Dr.-Ing. Höfler Meßgerätebau GmbH, 7505 Ettlingen Mehrkoordinatentaster mit geregelter antastkraft
DE3234471C1 (de) * 1982-09-17 1983-08-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3309122A1 (de) * 1983-03-15 1984-09-20 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Tastkopf fuer messeinrichtungen
DE3313861A1 (de) * 1983-04-16 1984-10-25 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Halterung fuer ein paar von planspiegeln und eine kugel in einer interferometer-laengenmesseinrichtung
FR2562234A1 (fr) * 1984-04-03 1985-10-04 Mauser Werke Oberndorf Tete palpeuse pour appareil de mesure
DE3412302A1 (de) * 1984-04-03 1985-10-10 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Tastkopf fuer eine messmaschine
EP0211202A1 (de) 1985-06-28 1987-02-25 Firma Carl Zeiss Steuerung für Koordinatenmessgeräte
EP0264717A3 (en) * 1986-10-11 1989-04-26 Firma Carl Zeiss Method and device for measuring gearing by the use of a coordinate measuring machine
EP0264717A2 (de) * 1986-10-11 1988-04-27 Firma Carl Zeiss Verfahren und Einrichtung zur Messung von Verzahnungen mit Hilfe eines Koordinatenmessgerätes
EP0301389A2 (de) * 1987-07-30 1989-02-01 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0301390A2 (de) * 1987-07-30 1989-02-01 Firma Carl Zeiss Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0301390A3 (en) * 1987-07-30 1990-08-22 Zeiss Carl Fa Feeler head for coordinate measuring machines
EP0301389A3 (en) * 1987-07-30 1990-08-29 Zeiss Carl Fa Feeler head for coordinate measuring machines
EP0732563A1 (de) * 1995-03-11 1996-09-18 Carl Zeiss Koordinatenmessgerät mit einer Einrichtung für die Rauheitsmessung
WO2002073123A1 (de) * 2001-03-09 2002-09-19 Carl Zeiss Tastkopf mit einer tarierung
EP2551631A1 (de) * 2011-07-25 2013-01-30 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Tastkopf
US9062956B2 (en) 2011-07-25 2015-06-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Probe head
EP3236194A1 (de) 2016-04-18 2017-10-25 Hexagon Metrology GmbH Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät

Also Published As

Publication number Publication date
JPS4965857A (de) 1974-06-26
DE2242355C2 (de) 1974-10-17
CH561897A5 (de) 1975-05-15
IT994169B (it) 1975-10-20
US3869799A (en) 1975-03-11
JPS546218B2 (de) 1979-03-26
GB1429973A (en) 1976-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2242355C2 (de) Elektronischer Mehrkoordinatentaster
DE102007022326B4 (de) Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät
DE3210711C2 (de) Mehrkoordinatentaster mit einstellbarer Meßkraft zum Abtasten von mehrdimensionalen, stillstehenden Gegenständen
DE4023311C2 (de)
DE2416215C3 (de) Vorrichtung zur Lageänderung eines auf einer Gleitfläche befindlichen Werkstückes
EP0301390B1 (de) Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0317967A2 (de) Dreh-Schwenk-Einrichtung für Tastköpfe von Koordinatenmessgeräten
EP0332575B1 (de) Taster zur Messwertbildung beim Antasten eines Werkstückes
DE102017106425A1 (de) Von einem Koordinatenmessgerät verfahrbare Vorrichtung zum Positionieren eines Messinstruments bezüglich eines Werkstücks
EP1627203B1 (de) Verfahren zur kalibrierung eines tasters
CH644206A5 (de) Anordnung zur variation der federkennlinie einer federparallelogrammvorrichtung.
DE102017103938A1 (de) Vorrichtung zum Messen der Rauheit einer Werkstückoberfläche
EP0207481B1 (de) Vorrichtung zur mechanischen Werkzeug-Bruchkontrolle bei Werkzeugmaschinen
DE1295199C2 (de) Messmaschine zum pruefen der masshaltigkeit von werkstuecken
DE102007019453B4 (de) Koordinatenmessgerät mit zwei Schlitten auf gemeinsamer Führung
DE102010017903A1 (de) Koordinatenmessgerät mit einem Bandantrieb für langgestreckte Schlitten
DE19617022C1 (de) Konturenmeßgerät
EP0270721A1 (de) Messvorrichtung zur Ermittlung der Abmessungen eines Gegenstandes in drei Dimensionen
DE3406045A1 (de) Abtastvorrichtung, welche am ende des querarmes eines mess- und anreissgeraetes anschliessbar ist
DE102017105814B3 (de) System zum Messen der Rauheit einer Oberfläche eines Werkstücks
DE7231877U (de) Elektronischer Mehrkoordinatentaster
DE102013210739B3 (de) Koordinatenmessgerät und Verfahren zur Vermessung eines Werkstücks mit einer selbstfahrenden Antriebseinheit und einer fahrbaren Messeinheit
DE102007060606A1 (de) Koordinatenmessgerät mit Kompensation von thermisch bedingten Längenänderungen für die Koordinatenbestimmung
DE3914059A1 (de) Vorrichtung zur festlegung der eingriffstiefe eines gravierstichels in ein zu gravierendes werkstueck
EP1336815A2 (de) Abtasteinrichtung zum Vermessen einer Fertigungsmaschine

Legal Events

Date Code Title Description
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977