JPS6078301A - 多重座標測定機械の測定ヘツド - Google Patents
多重座標測定機械の測定ヘツドInfo
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- JPS6078301A JPS6078301A JP59150455A JP15045584A JPS6078301A JP S6078301 A JPS6078301 A JP S6078301A JP 59150455 A JP59150455 A JP 59150455A JP 15045584 A JP15045584 A JP 15045584A JP S6078301 A JPS6078301 A JP S6078301A
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- Japan
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- measuring
- support
- coil
- transducer
- coils
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、探触ピンが支持体を介して上側部分に対しＸ
−１Ｙ−および場合によっては２−測定方向に転向でき
、各測定方向に対し、探触ピンを上側部分に対しその測
定方向に移動可能に支持している平行四辺形支持装罰、
探触ピンを電磁石装置によってその運動方向において零
点位置から揺動する転向装置、および探触ピンをその運
動方向における運動を■止する固定装置がそれぞれ設け
られている多重座標測定機械の測定ヘラＰに関する。
−１Ｙ−および場合によっては２−測定方向に転向でき
、各測定方向に対し、探触ピンを上側部分に対しその測
定方向に移動可能に支持している平行四辺形支持装罰、
探触ピンを電磁石装置によってその運動方向において零
点位置から揺動する転向装置、および探触ピンをその運
動方向における運動を■止する固定装置がそれぞれ設け
られている多重座標測定機械の測定ヘラＰに関する。
かかる測定ヘッドは西１？イツ特許第、２２婦Ｕｊ夕号
明細含に記載されている。その場合上側部分に３つの電
磁コイルが配置されている。これらの電磁コイルによっ
て問題とする支持体がＸ−１Ｙ−ｆｉいし２−測定方向
に転向される。相応した電流制御によって所定の測定力
が得られる。電磁コイルの運動はレバー装置を介して問
題とする支持体に与えられねばならない。これは構造的
に経費がかかる。
明細含に記載されている。その場合上側部分に３つの電
磁コイルが配置されている。これらの電磁コイルによっ
て問題とする支持体がＸ−１Ｙ−ｆｉいし２−測定方向
に転向される。相応した電流制御によって所定の測定力
が得られる。電磁コイルの運動はレバー装置を介して問
題とする支持体に与えられねばならない。これは構造的
に経費がかかる。
西ドイツ特許第、２．２Ｉ１．、ＺｊＪ’ｊ号明細書で
提案され。
提案され。
でいる固定装置は雷、磁コイルから分離して支持体に配
置されている。この固定装置は楼械的に拘束され、固有
の電、動モータで制御される。これは同様に構造的に経
費がかかる。さらにある−測定方向における測定の際固
定装置が探触ピンを別の測定方向に対し拘束するように
、固定装置および電磁コイルの切替えを連動するために
、特別な電気制御装置が設けられねばならない。
置されている。この固定装置は楼械的に拘束され、固有
の電、動モータで制御される。これは同様に構造的に経
費がかかる。さらにある−測定方向における測定の際固
定装置が探触ピンを別の測定方向に対し拘束するように
、固定装置および電磁コイルの切替えを連動するために
、特別な電気制御装置が設けられねばならない。
本発明の目的は、冒頭に述べた形式の測定ヘッドにおい
て固定装置および転向装置の構造を改善することにある
。
て固定装置および転向装置の構造を改善することにある
。
本発明によればこの目的は、固定装置が各測定方向の転
向装置と共に少なくともそれぞれ７個の磁石を持った２
つのコイルを有する１つの電気液圧変換器によって形成
され、コイルの軸心がその測定方向に対し平行に向けら
れ、コイルあるいは磁石がその測定方向における運動を
阻止され、磁石ないしコイルがその測定方向に移動可絆
な支持体に増り付けられていることによって達成される
。
向装置と共に少なくともそれぞれ７個の磁石を持った２
つのコイルを有する１つの電気液圧変換器によって形成
され、コイルの軸心がその測定方向に対し平行に向けら
れ、コイルあるいは磁石がその測定方向における運動を
阻止され、磁石ないしコイルがその測定方向に移動可絆
な支持体に増り付けられていることによって達成される
。
２つのコイルに同時に逆向きの電流が流されると問題と
する支持体がその測定方向において固定される。これに
対しコイルの雷１流が一方向である場合、支持体はその
測定方向の一方向において転向される。別の方向におけ
る電流の場合この測定方向の別の方向における転向が行
なわれる。Ｘ−測定方向における測定の際たとえばこの
チ（１１定方向の支持体が始動のために測定面に予め転
向される。
する支持体がその測定方向において固定される。これに
対しコイルの雷１流が一方向である場合、支持体はその
測定方向の一方向において転向される。別の方向におけ
る電流の場合この測定方向の別の方向における転向が行
なわれる。Ｘ−測定方向における測定の際たとえばこの
チ（１１定方向の支持体が始動のために測定面に予め転
向される。
始動後に支持体は測定面に所定の測定力で保持される。
Ｙ−および２−測定方向に対する別の２つの支持体はそ
れらに例属された電気液圧変換器によってその間固定さ
れる。
れらに例属された電気液圧変換器によってその間固定さ
れる。
本発明に基づく固定装置および転向装ｆ１．ｔの構造は
簡単である。というのはそわらの装置の作用が電気液圧
変換器によって行なわれ、電１気液圧変換器が問題とす
る支持体に直接おかわているからである。それによって
レバー伝達装置は不要と力る。
簡単である。というのはそわらの装置の作用が電気液圧
変換器によって行なわれ、電１気液圧変換器が問題とす
る支持体に直接おかわているからである。それによって
レバー伝達装置は不要と力る。
本発明の有利な実施形態に討いそコイル軸心は一直線の
上にあり、コイルは互に間隔を隔てられ、磁石は非磁性
部品によって互に接続されている。
上にあり、コイルは互に間隔を隔てられ、磁石は非磁性
部品によって互に接続されている。
これらはさらに構造を簡単にする。
本発明の別の有利な実施形態は特許請求の範囲の冥加Ｊ
態様項にまとめて記載しである。
態様項にまとめて記載しである。
以下図面に示す本発明の実施例について説明する。
探触ピン２は３−座標測定機械の測定ヘッドの上側部分
／によって支持されている。
／によって支持されている。
この上側部分／はＺ一方向に伸びるウェブ３を有してい
る。このウェブ３には平行四辺彫型支持装置≠を介して
支持体夕が配置され、この支持体よげ上（Ｉｌ１ｌ１部
分対してＺ一方向に移動できる。
る。このウェブ３には平行四辺彫型支持装置≠を介して
支持体夕が配置され、この支持体よげ上（Ｉｌ１ｌ１部
分対してＺ一方向に移動できる。
支持体ｊと上側部分／との間には電気液圧変換器乙が設
けられ、この変換器乙によって支持体ｊは上側部分／に
対しＺ一方向に送られたり固定されるＯ さらに支持体ｊと上（ｌｉｌｉ部分／部分間には２−測
定装置７が配置されている。
けられ、この変換器乙によって支持体ｊは上側部分／に
対しＺ一方向に送られたり固定されるＯ さらに支持体ｊと上（ｌｉｌｉ部分／部分間には２−測
定装置７が配置されている。
支持体ｊには剛性のシーン−形設垂体ととして形成され
た平行四辺彫型支持装置によって別の支持体りがＹ一方
向に移動可能に支持されている。
た平行四辺彫型支持装置によって別の支持体りがＹ一方
向に移動可能に支持されている。
支持体ｊと別の支持体りとの間にはコイル体／／と鉄心
／２とを持ったＹ一方向に作用する電気液圧変換器１０
が配置さねでいる。コイル体／／はＵ ＩＪンク１３を
介して支持体ｊに堅く接続されている。鉄心／：ｌは支
持体りに接続されている。さらにＵリンク１３と支持体
７との間にはＹ−測定装ｆｆｙ／Ｉｌが設けられている
。
／２とを持ったＹ一方向に作用する電気液圧変換器１０
が配置さねでいる。コイル体／／はＵ ＩＪンク１３を
介して支持体ｊに堅く接続されている。鉄心／：ｌは支
持体りに接続されている。さらにＵリンク１３と支持体
７との間にはＹ−測定装ｆｆｙ／Ｉｌが設けられている
。
第３の支持体／Ｓが第３の平行四辺形型支持装Ｈ！？を
形成している別の剛性のシーン−形設垂体／Ａを介して
支持体夕に支持さ〕１ている。Ｙ一方向において支持体
りは第３の支持体／Ｓの脚部／、Ｓ′ に当接している
（第１図参照〕。第３の支持体１５はＸ一方向において
別の支持体りに対し自由になっている。支持体りと第３
の支持体１５との間にはコイル体／ｇと鉄心メゾとを持
ったＸ一方向に作用する電気液圧変換器／７が配置さ九
ている。コイル体／ｇｆ支持体７の付屈物、！ｏに取り
付けられている。鉄心／ｑは第３の支持体１５に接続で
れている。付和物２ζノと第３の支持体１５との間には
Ｘ−測定装置２／が設けられている。Ｍ３． Ｊの支持
体１５には探触ビン−が取り角けられている。
形成している別の剛性のシーン−形設垂体／Ａを介して
支持体夕に支持さ〕１ている。Ｙ一方向において支持体
りは第３の支持体／Ｓの脚部／、Ｓ′ に当接している
（第１図参照〕。第３の支持体１５はＸ一方向において
別の支持体りに対し自由になっている。支持体りと第３
の支持体１５との間にはコイル体／ｇと鉄心メゾとを持
ったＸ一方向に作用する電気液圧変換器／７が配置さ九
ている。コイル体／ｇｆ支持体７の付屈物、！ｏに取り
付けられている。鉄心／ｑは第３の支持体１５に接続で
れている。付和物２ζノと第３の支持体１５との間には
Ｘ−測定装置２／が設けられている。Ｍ３． Ｊの支持
体１５には探触ビン−が取り角けられている。
変換器１０および変換器／７は第３図に示てれているよ
うに構成されている。コイル体／／ないし７ｇの中には
互に間隔を隔てられた２つのコイル、？ηｊ３が設けら
れている。鉄心／、２ 、 ／９はりつの永久磁石、２
Ｉ／、 、ｕ 、 、２Ａ 、 、２７を有している。
うに構成されている。コイル体／／ないし７ｇの中には
互に間隔を隔てられた２つのコイル、？ηｊ３が設けら
れている。鉄心／、２ 、 ／９はりつの永久磁石、２
Ｉ／、 、ｕ 、 、２Ａ 、 、２７を有している。
これらの永久磁石はそれぞれコイル端部範囲に配置され
ている。永久磁石のＮ極およびＳ極はそれぞれ対向して
いる（第３図参照）。磁石は非磁性の接続部片ユＫによ
って互に固定されている。問題とする支持体と接続し駆
動するために別の非磁性接続片２ゾが設けられている。
ている。永久磁石のＮ極およびＳ極はそれぞれ対向して
いる（第３図参照）。磁石は非磁性の接続部片ユＫによ
って互に固定されている。問題とする支持体と接続し駆
動するために別の非磁性接続片２ゾが設けられている。
コイル軸心は一直線の上にある。
次に変換器の作用について説明する。
相応した電流によって同方向に向けられた磁界が形成さ
れた場合、相応して鉄心／２．／３が右ないし左に向け
て移動される。これに対し２つのコイルｎとのに互に逆
向きに向けられた磁界が発生されると、鉄心／、２ 、
／９ばその中心位ｇ（その測定方向の零点位置）に拘
束される。
れた場合、相応して鉄心／２．／３が右ないし左に向け
て移動される。これに対し２つのコイルｎとのに互に逆
向きに向けられた磁界が発生されると、鉄心／、２ 、
／９ばその中心位ｇ（その測定方向の零点位置）に拘
束される。
変換器２は原理的に変換器１０ 、 ／７と同様に構成
されている。しかし変換器乙の場合２つのコイル二とｎ
はその軸心が一直線の上にはかく、互に並んで位置して
いる。第１図には１つのコイル二だけが示されている。
されている。しかし変換器乙の場合２つのコイル二とｎ
はその軸心が一直線の上にはかく、互に並んで位置して
いる。第１図には１つのコイル二だけが示されている。
上述した測定ヘッドにおいて変換器に次のように作用す
る。
る。
たとえばＹ−測定方向における測定を実施しようとする
場合、変換器乙のコイルに支持体ｊが２一方向の零点位
置に拘束されるように電流が供給される。さらに変換器
／７のコイルに支持体１５がＸ方向の零点位置に拘束さ
れるように電流が供給される。変換器１０のコイルに支
持体７およびそれに伴って支持体１５が所望の距離だけ
および所望方向にＹ−測定方向に°移動されるような電
流が（ｉｔ給される。同時にそれによって所望の測定が
発生される０ 他のβつの方向における測定は同じように１−で行なわ
れる。
場合、変換器乙のコイルに支持体ｊが２一方向の零点位
置に拘束されるように電流が供給される。さらに変換器
／７のコイルに支持体１５がＸ方向の零点位置に拘束さ
れるように電流が供給される。変換器１０のコイルに支
持体７およびそれに伴って支持体１５が所望の距離だけ
および所望方向にＹ−測定方向に°移動されるような電
流が（ｉｔ給される。同時にそれによって所望の測定が
発生される０ 他のβつの方向における測定は同じように１−で行なわ
れる。
第１図は本発明に基づく多重座梗測定器の測定ヘッドの
Ｚ−Ｙ平面における断面図、第一図は第１図における測
定ヘッドのＺ−Ｘ平面における断面図、第３図（ｄ電、
気液圧変換器の断面図である。 ｌ・・・上側部分、コ・・・探触ピン、３・・・ウェブ
、グ・・・平行四辺形支持装置、よ・・・支持体、６・
・・電気液圧変換器、７・・・２−測定装置、ｇ・・シ
ーン−形懸垂体、り・・・支持体、１０・・・電気液圧
変換器、／知・Ｙ−測定装置、１５・・・支持体、／６
・・・シーソー形懸垂体、１７・・・電気液圧変換器１
．２Ｊ、２Ｊ・・・コイル１．２’ｌ−、、ｌＪ 。 ２６ 、．２７・・・磁石、２ｇ・・・非磁性連結部片
。 出願人代理人 猪 股 清 手続ネ１１正書（方式） ７ 昭和５９年１１月ｆ？日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １ 事イ′１の表示 昭和５９年 特許願 第１５０４５５号２ 発明の名称 多重座標測定機械の測定ヘッド ３ 補正をする者 事ｆ４との関係 特許出願人 マウげルーベルヶ、オペルンドルフ、 ゲゼルシレフト、ミツト、ベシュレンクテル、ハフラン
グ ４代理人 昭和５９年１０月９日 （発送口 昭和５９年１０月３０日） ６ 補正の対象 願書の出願人の欄、委任状、図面。 補正の内容 （１）別紙の通り。 （２）図面の浄書（内容に変更なし）。
Ｚ−Ｙ平面における断面図、第一図は第１図における測
定ヘッドのＺ−Ｘ平面における断面図、第３図（ｄ電、
気液圧変換器の断面図である。 ｌ・・・上側部分、コ・・・探触ピン、３・・・ウェブ
、グ・・・平行四辺形支持装置、よ・・・支持体、６・
・・電気液圧変換器、７・・・２−測定装置、ｇ・・シ
ーン−形懸垂体、り・・・支持体、１０・・・電気液圧
変換器、／知・Ｙ−測定装置、１５・・・支持体、／６
・・・シーソー形懸垂体、１７・・・電気液圧変換器１
．２Ｊ、２Ｊ・・・コイル１．２’ｌ−、、ｌＪ 。 ２６ 、．２７・・・磁石、２ｇ・・・非磁性連結部片
。 出願人代理人 猪 股 清 手続ネ１１正書（方式） ７ 昭和５９年１１月ｆ？日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １ 事イ′１の表示 昭和５９年 特許願 第１５０４５５号２ 発明の名称 多重座標測定機械の測定ヘッド ３ 補正をする者 事ｆ４との関係 特許出願人 マウげルーベルヶ、オペルンドルフ、 ゲゼルシレフト、ミツト、ベシュレンクテル、ハフラン
グ ４代理人 昭和５９年１０月９日 （発送口 昭和５９年１０月３０日） ６ 補正の対象 願書の出願人の欄、委任状、図面。 補正の内容 （１）別紙の通り。 （２）図面の浄書（内容に変更なし）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ／）探触ピンが支持体を介して上側部分に対しＸ−１Ｙ
−および場合によっては２−測定方向に転向でき、各測
定方向に対し、探触ピンを上側性によってその運動方向
において零点位置から揺動する転向装置、および探触ピ
ンをその運動方向における運動を阻止する固定装置がそ
れぞれ設けられている多重座標測定機械の測定ヘッドに
おいて、固定装置が各測定方向の転向装置と共に少なく
ともそれぞれ７個の磁石（，２Ｑ−２７）を持った２つ
のコイル（，２２、２３）を有する７つの電気液圧変換
器（Ａ、１０．／１）によって形成され、コイルｒツ、
７． 、２３ ）の軸心がその測定方向に対し平行に向
けられ、コイル（ユニ、Ｊ）あるいは磁石（二ｔｔ−，
２７）がその測定方向における運動を阻止され、磁石（
，２１１−−，２７）ないしコイル（工、ｎ）がその測
定方向に移動可能な支持体（ｊ、り、１５）に取り付け
られていることを特徴とする多ｍ座標測定機械の測定ヘ
ッド。 ２）コイル（２２、，２Ｊ ）の軸心が一直線上にあ見
コイル（，７，２、、ｚ３）が互に間隔を隔てられ、磁
石（２１１−，２７）が非磁性部品（，２，ざ）を介し
て互に接続されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の測定ヘラＰ０ ３）各コイル・２．．２ 、２３）におけるその終端範
囲に２つの磁石（Ｊ’ 、 ：ｌ！； 、 ：１６ 、
．２７ ）が配置され、それらのＮ極あるいはＳ極が互
に向き合わされ、非磁性部品（：２．ｇ）を介して互に
接続はれていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
寸たけ第２項に記載の測定ヘッド。 ｔ）支持装色（Ｉ７．、ざ、／６）が剛性のシーソー形
懸垂体として形成されていることを特徴とする特許請求
のか間第７項々いし第３項のいずれがに記載の測定ヘッ
ド。 ｊ） ２−測定方向の変換器（乙）のコイルが上側部分
（１）に固定して位置し、Ｙ−測定方向の変換器（１０
）のコイルが２−測定方向の変換器（Ｊ）から転向でき
る支持体（夕）に取り付けられ、Ｘ−測定方向の変換器
（／７）のコイルが２−測定方向の変換器（６）および
Ｙ−測定方向の変換器（１０）から転向できる支持体（
り）に取り付けられていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項ないし第ｑ項のいずれかに記載の測定ヘッド
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE8322759.8 | 1983-08-06 | ||
| DE8322759 | 1983-08-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078301A true JPS6078301A (ja) | 1985-05-04 |
| JPH0327041B2 JPH0327041B2 (ja) | 1991-04-12 |
Family
ID=6755935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59150455A Granted JPS6078301A (ja) | 1983-08-06 | 1984-07-19 | 多重座標測定機械の測定ヘツド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4563823A (ja) |
| JP (1) | JPS6078301A (ja) |
| AT (1) | AT385123B (ja) |
| IT (2) | IT8422786V0 (ja) |
| SE (1) | SE456365B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866854A (en) * | 1986-12-05 | 1989-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multiple axis displacement sensor |
| GB2208934B (en) * | 1987-08-24 | 1991-05-15 | Mitutoyo Corp | Surface contour measuring tracer |
| GB8728500D0 (en) * | 1987-12-05 | 1988-01-13 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
| GB9724453D0 (en) * | 1997-11-20 | 1998-01-14 | Renishaw Plc | Measuring or positioning machine |
| CN103837072B (zh) * | 2012-11-23 | 2017-07-18 | 孟宪章 | 一种三维触发式测量头 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2242355C2 (de) * | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
| DE2356030C3 (de) * | 1973-11-09 | 1978-05-11 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Taster zur Werkstückantastung |
| GB1551218A (en) * | 1975-05-13 | 1979-08-22 | Rolls Royce | Probe for use in displacement measuring apparatus |
-
1984
- 1984-07-19 JP JP59150455A patent/JPS6078301A/ja active Granted
- 1984-07-23 AT AT0236384A patent/AT385123B/de not_active IP Right Cessation
- 1984-07-25 US US06/634,124 patent/US4563823A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-08-02 IT IT8422786U patent/IT8422786V0/it unknown
- 1984-08-02 IT IT22186/84A patent/IT1196210B/it active
- 1984-08-03 SE SE8403967A patent/SE456365B/sv not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ATA236384A (de) | 1987-07-15 |
| SE8403967L (sv) | 1985-02-07 |
| IT8422786V0 (it) | 1984-08-02 |
| JPH0327041B2 (ja) | 1991-04-12 |
| IT8422186A0 (it) | 1984-08-02 |
| SE8403967D0 (sv) | 1984-08-03 |
| AT385123B (de) | 1988-02-25 |
| US4563823A (en) | 1986-01-14 |
| IT1196210B (it) | 1988-11-16 |
| SE456365B (sv) | 1988-09-26 |
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