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Halterung für ein Paar von Planspiegeln und
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eine Kugel in einer Interferometer-Längenmeßeinrichtung Die Erfindung
betrifft eine Halterung für ein Paar von Planspiegeln und eine Kugel in einer Interferometer-Längenmeßeinrichtung
nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, wie sie beispielsweise aus der DE-OS 31 24
357 als bekannt hervorgeht.
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In dieser Veröffentlichung ist eine interferometer Längenmeßeinrichtung
zum genauen Vermessen von Endmaßen, zinnenförmigen Stufenendmaßen, Lehrenringen
oder ähnlichen Prüflingen beschrieben, bei der der Meßstrahl beiderseits der Hauptmeßachse
symmetrisch umgelenkt wird.
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Die mit der Meßtastkugel zunt Antasten der zu vermessenden Oberflächen
verbundenen Meßreflektoren sind beiderseits der Hauptmeßachse angeordnet. Durch
seitliche Verschiebung der Ilalterung sowohl der Planspiegel als auch der Meßtastkugel
kann der Prüfling ohne Unterbrechung des Meßstrahles umfahren werden. Mit einer
solchen Interferometer-Längenmeßeinrichtllng, die relativ einfach und klein iln
Aufbau ist, können 1'rilfiiiige der oben angesprochenen Art unter Einhaltung des
Abb6'schen Prinzips und unter Vermeldung de@ Folgen von kleinen Führungsfeh-
lern
der MeDreflektoren beim Verschieben der Meßtastlcugel sehr genau verrnessen werden
aufgrund eines direkten Anschlusses des mechanisch- geometrischen Maßes des Prüflinges
in einer festgelegten Meßlinie an die optische Lichtwellenlänge. Aufgrund eines
insgesamt vierfachen Durchlaufens des Meßlichtstrahles durch die zu ermittelnde
Distanz kommt es sogar zu einer entsprechenden Steigerung der Auflösungsgenauigkeit.
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Aufgrund dieser besonders hohen Auflösungsgenauigkeit des optischen
Teils der Längenmeßeinrichtung ist es auch erforderlich, daß die mechanischen an
der Längenmessung beteiligten Teile innerhalb einer mindestens gleich hohen Genauigkeit
maßkonstant während der Messung sind.
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Die Längenmessung sollfjeweils nach Antasten der Meßflächen in der
gewünschten Meßlinie durchgeführt werden.
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Dazu ist eine bestimmte und gleichbleibend hoch reproduzierbare Antastkraft
erforderlich, um gleichbleibende Eindrückungen an den Neßflächen und einer gleichbleibenden
Abplattung an der Tastkugel aufgrund der Hertz'schen Pressung und um gleichbleibende
Taststiftbiegungen bzw.
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Auslenkungen zu erreichen. Diese Werte werden üblicherweise zusammen
mit dem tatsächlichen Tastkugeldurchmesser zu einem korrigierten Tastkugeldurchnlesser
zusammengefaßt und experimentell eingemessen bzw. kalibriert. Für eine Wiederholbarkeit
der Längenmeßwerte und Vergleichbarkeit, z.B. mit früheren Messungen oder mit Meßwerten
von anderen Meßlaboratorien muß dieser Korrckturwert konstant und möglichst k@ein
gehalten
werden. An diese Konstanz werden bei Vergleichsmessungen
im Rahmen des Deutschen Kalibrierdienstes Anforderungen in der Größenordnung bis
herunter zu 10 nm gestellt.
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Zugleich ist die Erzielung einer Antastkraft von 0,1 bis 0,4 N, wie
sie üblicherweise an Koordinatenmeßgeräten angewendet wird, anzustreben; die Antastkraft
soll nicht zu klein sein.
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Bei einer vorbekannten Spiegel- und Tastkugelhalterung der eingangs
genannten Literaturstelle wird die Antastkraft durch den elektro-mechanischen Taster
selber erzeugt, bei dem prinzipbedingt Proportionalität zwischen Antastkraft und
Auslenkung besteht. Da es sich wegen der hohen geforderten Meßgenauigkeit um einen
Feintaster handelt, kann nur eine sehr geringe Antastkraft mit ihm aufgebracht werden.
Dennoch tritt ein Auslenkungshub der Meßtastkugel gegenüber der Ebene der Planspiegel
von mehreren Mm auf; dieser Auslenkungshub kann nur mit großer Mühe in der zu fordernden
hohen Genauigkeit von zehn nm gemessen werden. Nachteilig ist ferner, daß diese
Antastung und Hubmessung aufgrund von Erschütterungen, Biegeelastizitäten und ähnlichem
sehr störanfällig ist und zu einem Korrekturwertanteil von einigen µm führt.
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Bei der anderen vorbekannten nalterung wird die Antastkraft ebenfalls
durch den Meßtaster erzeugt, so daß gegenüber diesem Ausführungsbeispiel ebenfalls
die obengenannten Nachteile bzw. Einschränkgungen gelten. Da bei diesem Ausführungsbeispiel
die beiden Meßreflektoren über dünne Kragarme unmittelbar mit dem Meßtaststift verbunden
sind, geht jedoch hier der Tasteriiub nicht mit in die Tastkugel-Korroktur ein.
Die dünne mochanische Verbindung zwischen Meßreflokter und Tast-
stift
schafft Jedoch mechanische Probleme. Der Tas; stift ist nur sehr dünn - etwa 3 bis
5 mm Durchmesser - und gestattet kaum die Anbringung von Kragarmen mit einer Länge
von 5 bis 10 cm, die ihrerseits zur Vermeidung von Schwingungen und Verbiegungen
mindestens einen Durchmesser von 5 mm haben müßten. Weiterhin ist nachteilig, daß
die Meßreflektoren bei Aus lenkung des Tasters und dementsprechender Neigung ebenfalls
eine Neigung erfahren, die den reflektierten Strahl um den doppelten Winkel ablenken.
Dadurch wird die Lauflänge des reflektierten Strahles größer und es können Längenmeßfehler
entstehen. Bei größeren Meßlängen kann es zu einem stärkeren Versatz des reflektierten
Strahles gegenüber dem ausgesendeten Strahl kommen, so daß dieser nur noch zum Teil
in den Empfänger trifft. Dieses kann zu Signalschwächungen oder im Extremfall sogar
zu Stpahlunterbrechungen führen. Es darf in diesem Zusammenhang darauf hingewiesen
werden, daß auch Prüflinge mit erheblicher Länge, beispielsweise bis zu 8 m genau
vermessen werden müssen; derart große Stufenendmaße werden benötigt für Nehrkoordinatenmeßgeräte
mit einem Meßvolumen von z.B.
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7 x 3 x 2 m, wie sie zur Vermessung von Kraftfahrzeug-Karosserien
benötigt werden. Das Stufenendmaß soll etwa so lang sein wie die llaumdiagonale
des Meßvolumens. Bei Stufenendmaßen mit versenkt angeordneten Zinnen, die nach der
Lehre der DE-OS 32 19 713 in der neutralen Faser des Tragkörpers des Stufenendmaßes
liegen, würden die Kragarme an der Kugel bzw.
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an dem Meßtaststift überhaupt den Zugang zu den Meßfl.ichell verhindern.
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Aufgabe der Erfindung ist es, eine Halterung der zugrundegelegten
Art dahingehend zu verbessern, daß die Relativbewegungen zwischen der Meßtastkugel
und den Meßreflektoren so klein wie möglich sind und - soweit unvermeidlich - mit
möglichst hoher Genauigkeit vorherbestimmt und aus dem Meßergebnis herausgerechnet
werden können. Außerdem sollen auch versenkt liegende Meßflächen ohne weiteres angetastet
werden können.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemiß durch die kennzeichnenden Merkmale
von Anspruch 1 gelöst. Dank der starren Zuordnung von Meßtaststift und Brille wird
der erste Teil der Forderungen optimal erfüllt. Aufgrund der nachgiebigen Halterung
in Meßrichtung über Blattfeder-Gelenkparallelogramme kann die Meßtastkugel sicher
und definiert an die zu vermessende Oberfläche herangefahren und angetastet werden.
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Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen
entnommen werden. Im übrigen ist die Erfindung anhand eines in den Zeichnungen dargestellten
Ausführungsbeispieles nachfolgend noch erläutert; dabei zeigen: Figur 1 und 2 Seitenansicht
(Figur l>und Grundrißdarstellung (Figur 2) einer Interferometer-Längenmeßeinrichtung,
in der eine Planspiegel- und Meßtastkugelhalterung nach der Erfindung angewandt
wird,
Figur 3 und 4 zwei Vertikalschnitte parallel (Figur 3) bzw.
quer zu der Hauptmeßachse der Längenmeßeinrichtung nach den Figuren 1 und 2 in vergrößerter
Darstellung, Figur 5 einen Teilschnitt durch die Brille der Halterung nach Figuren
3 und 4 entlang der Schnittlinie V-V und Figur 6 eine Variante des Meßtaststiftes
gegenüber dem Ausführungsbeispiel nach den Figuren 3 und k.
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Die in den Figuren 1 und 2 gezeigte Interferometer-Längenmeßeinrichtung
besteht im mechanischen Teil aus einem Tisch 1, einer von Stützen gehalterten Längsführung
9, auf dem ein Schlitten EO parallel zur Hauptmeßachse 12 geführt ist. An dem Schlitten
ist über eine Hubeinrichtung 11 eine Halterung 13 für eine Brille 15 mit Planspiegeln
und MeDtaststift angeordnet. Auf dem Tisch ist als zu vermessender Prüfling ein
Stufenendmaß 2 aufgespannt, mit mehreren in eine Nut festhaftend eingelassenen zylindrischen
Meßkörpern, deren Stirnseiten die Neßflächen tragen. Aufgrund einer Anordnung der
Meßkörper 3 gleichachsig zur neutralen Faser des Tragkörpers des Stufenendmaßes
sind die Abstandsänderungen der Meßflächen bei Biegung des Tragkörpers möglichst
gering.
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In optischer Hinsicht weist die Interferometer-Längenmeßeinrichtung
zunächst eine Laserlichtquelle 4 auf, die gleichzeitig auch als Empfänger für den
zurückgeworfenen Me- und Referenzstrahl dient. Sie sendet gleichachsig zueinander
einen Meßstrahl und einen Referenzstrahl aus,
die kohärent zueinander
schwingen und linear polarisiert sind, jedoch mit senkrecht zueinander stehenden
Schwingungsebenen. Auf dem Tisch ist ein Interferometerteiler 5 mit einem Referenzreflektor
6 und Polarisationsplatten 7 angeordnet. Der Referenzstrahl wird durch den Referenzreflektor
sofort wieder in den Empfängerteil der Laserlichtquelle zurückgelenkt. Der Meßstrahl
wird aufgrund einer sinnreichen Anordnung, die in der eingangs zitierten Literaturstelle
näher beschrieben ist, über die Umlenkspiegel 8 insgesamt vier mal durch die Meßstrecke
hindurchgeschickt (Meßstrahlen 44); erst nach dem vierten Durchlauf fällt der Meßstrahl
in den Empfängerteil der Laserlichtquelle zurück und interferiert dort mit dem Referenzstrahl.
Die Anordnung ist so getroffen, daß die Meßstrahlen symmetriah zu der Hauptmeßachse
und in einer einheitlichen Ebene mit ihr liegen. Dadurch kann um einen das Abbe'sche
Prinzip verwirklicht werden. Aufgrund des mehrfachen Durchlaufs des Meßstrahles
durch die Meßstrecke können außerdem kleine führungsbedingte Winkel fehler der als
Meßreflektoren verwendeten Planspiegel 14 kompensiert werden. Außerdem erbringt
das vierfache Hindurchlaufen des Meßstrahles durch die Me!3strecke - wie gesagt
-eine entsprechend gesteigerte Längenauflösung.
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Aufgrund der versenkten Anordnung der Meßkörper 3 innerhalb des Stufenendmaßes
und aufgrund der unter Umständen recht breiten Querabmessung des Tragkörpers des
Stufenendmaßes muß die Kugel 16 relativ lang abkragen gehaltert sein,und es müssen
außerdem die beiden-
Planspiegel 14 einen entsprechend großen gegenseitigen
Querabstand mit großer Durcjilaßbreite aufweisen. Sie sind zu diesem Zweck in einer
U- bzw. Y-förmigen Brille 15 gehaltert.
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Damit die Lage der Kugel 1G gegenüber der durch die reflektierenden
Flächen der Planspiegel 14 definierten Ebene jederzeit möglichst genau bestimmt
werden kann, ist der die Kugel 16 halternde Stift 23 bzw. 23' (Figur 6) starr an
der Brille 15 befestigt. Um die Durchbiegung des Taststiftes möglichst gering zu
halten, ist dieser bei dritt in den Figuren 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel
von einem Pyramidenstumpf 22 gehaltert, dessen Querschnittsabmessungen wesentlich
größer sind als der Kugeldurchmesser. Dadurch kann der Taststift 23 sehr kurz gehalten
werden, wodurch dessen durch die Antastkraft bedingte Durchbiegung besonders klein
ist.
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Für viele Anwendungen reicht zwar die Verwendung eines einfachen handelsüblichen
rasts tiftes 23' entsprechender Länge aus. iqir eilen Taststift aus Stahl von beispielsweise
4 rim Durchmesser und 60 mm Länge beträgt diese Taststiftbiegung an der Kugel noch
ca. 2,5 µm/0,1 N, so daß z.B. eine )raftreproduzierbarkeit von 1% nur noch in den
Korrekturwert mit ca. 0,025 µm eingeht. In der Kombinatioii von Pyramidenstumpf
22 und Taststift 23 liii t bei -spielsweise titer 6 nitii Taststiftlänge kamin die
Rest-Verbiegung von 0,025 µm/0,1 N schon bei geringen Anspriichen an die Kraft-Reproduzierbarkeit
vernachlässigt werden. Die Pyramidenbreite kann sich an der Schlitzbreite des Stufedendmaßes
orientieren, seine Basislänge an der Wands@ärke der Brille 15. Durch die nach
vorne
und hinten schrägen Flächen bleibt dennoch die Einsicht in die Antastzone für den
Bedienungsmann möglich. Es wird zugleich ein Maximum an Steifigkeit erreicht trotz
relativ großer erforderlicher Gesamtlänge aus Pyramidenstumpf 22 und Taststift 23.
Zur Vermeidung gekröpfter Kugelhalterungen, Taststifte oder dergleichen - diese
wären im Biegeverhalten weniger genau reproduzierbar und nach den gegenüberliegenden
Biegerichtungen unsymmetrisch - ist die Kugel 16 etwa mittig in Queransicht (Figur
3) an der Brille befestigt; die Planspiegel 14 sind in eine Aufnahmebohrung 24 mit
Absatz in die Wandstärke der Brille eingelassen, wodurch eine lagesichere und geschützte
Halterung zustandekommt. Die reflektierenden Flächen der Planspiegel liegen gleich
mit dem Kugel mittelpunkt. Die Erstreckung des Antastorganes in mechanischer und
optischer Hinsicht ist damit in Richtung der Hauptmeßachse 12 auf ds geringstmögliche
Maß reduziert und somit auch die dadurch verursachten temperaturbe dingten Maßänderungen.
Um die zu vermessende Fläche definiert antasten zu können, ist die aus Brille 15
mit Planspiegeln 14 und aus starr daran befestigter Kugel 15 bestehende Einheit
in Richtung der Hauptmeßachse 12 nachgiebig aber spielfrei gehaltert. Und zwar ist
ein Paar von Blattfeder-Gelenkparallelogrammen vorgesehen, die aus insgesamt vier
Blattfedern 17 gebildet sind, auf denen Aussteifungen 19 befestigt sind, so daß
in der Nähe der endseitigen Einspannstellen der Blattfedern Federgelenke 18 gebildet
werden. Diese erlauben eine spiel-und nahezu reibungsfreie bewegliche Halterung
der oben angesprochenen Einheit. Die beiden Blattfeder-Gelenkparallelogramme erstrecken
sich zwiscllen einer oberen (21) und ei tier unteren llaltelatto 2() , all welcher
die Brille 15 festgesehraubt ist. Die ebere Halteplatte 21
ist
mittelbar über die bereits erwähnte Hubeinrichtung 11 an dem Schlitten 10 gehalten.
Zwischen der oberen (21) und der unteren Halteplatte 20 bzw. der Brille 15 ist eine
mit ihrer Wirkrichtung parallel zur Hauptmeßachse 12 liegende Krafterzeugungseinrichtung
25 angebracht, die wahlweise in der einen oder anderen Richtung und hinsichtlich
der Stärke-stufenlos beaufschlagbar ist. Sie liegt mittig zwischen den beiden Blattfeder-Gelenkparallelogrammen,
so daß keine Verkantungskräfte in die elastische Aufhängung der Brillenhalterung
hineingetragen werden. Zur Versteifung der nachgiebigen Halterung gegen Torsionskräfte
- diese würden ein gegensinniges Pendeln der beiden Planspiegel 14 hervorrufen -
können die beiden Blattfeder-Gelenkparallelogramme auch durch ein einziges Gelenkfeder-Parallelogramm
ersetzt werden, dessen Blattfedern so breit sind wie die beiden Haltepiatten 20
und 21 sich in Figur 4 darstellen. Die Krafterzeugungseinrichtung 25 ist beim dargestellten
Ausführungsbeispiel als Elektromagnet mit einem stabförmigen der unteren Halteplatte
20 bzw. der Brille 15 fest zugeordncten Permanentmagneten 26 und einer konzentrisch
darum herum angeordneten der obere Haltoplatte 21 fest zugeordneten Spule 27 ausgebildet.
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Mit der Krafterzeugungseinrichtung kann die Kugel 16 mit definierter
Kraft an die jeweils zu vermessende Fläche angedrückt werden. Aufgrund einer präzisen
Fertigung der Krafterzeugungseinrichtung kann die Andrückkraft sehr genau reproduziert
werden* so daß die beim Antasten entstehenden Bauteildeformationen mit entsprecltender
Genauigkeit ebenfalls reproduziert werden und aus dem Meßergebnis horausgerechnet
werden können. Zwar ist der Verschiebeweg der unteren Halto-
platte
20 gegenüber der oberen Halteplatte 21 beim Antasten unterschiedlich - dies hängt
von der jeweiligen Position beim Absenken der Meßkugel zwischen die Meßkörper 3
hinein ab. Je nach Verschiebeweg bzw.
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Deformation des Blattfeder-Gelenkparallelogramms erzeugt dieses eine
mehr oder weniger großo Rückstellkraft, die der von der Krafterzeugungseinrichtung
aufgebrachten Kraft entgegenwirkt. Aufgrund eines zwischen den beiden Halteplatten
20 und 21 eingebrachten Weggebers 28 kann jedoch dieser Verschiebeweg und somit
auch die entsprechende Rückstellkraft gemessen bzw. errechnet werden; diese so ermittelte
Rückstellkraft muß der an der Krafterzeugungseinrichtung 25 aufgebrachten Andrückkraft
zugeschlagen werden. Auf diese Weise läßt sich trotz unterschiedlicher Auslenkung
der Blattfeder-Gelenkparallelogramme mit hoher Genauiglceit; eine gleichbleibende
Antastkraft reproduzieren. Bein dargestellten Ausführungsbeispiel besteht der mit
seiner Meßempfindlichkeit parallel zur Hauptmeßachse 12 ausgerichtete induktive
Weggeber aus einer mit der oberen lIalteplatte 21 fest verbundenen Spule 30 und
aus einem der Brille 15 bzw. der unteren Halteplatte 20 fest zugeordneten in der
Spule konzentrisch beweglichen Kern 29 aus ferromagnetischem Material. Derartige
Weggeber sind bei geringen Betätigungskräften und großem Proportionalitätsbereich
hoch auflösetid. Bs sei an dieser Stelle nochmal darauf hingewiesen, daß der Verschiebeweg,
der von der Kugel 16 bis zur Antastung an der Meßfläche durchfahren wircl, nicht;
mit in das interferometr@sch festgestellte Längenmeßergebnis eingeht. Viel-
mehr.dient
der Weggeber 28 - wie gesagt - lediglich der Ermittlung der Verschiebekraft der
Blattfeder-Gelenkparallelogramme und somit zur genauen Reproduzierung der Antastkraft
mittels der Krafterzeugungseinrichtung 25 sowie zur automatischen Erkennung des
Annäherungs- bzw. kierührungs zustandes zu den Meßflächen und zur Steuerung, Abschaltung
und gegebenenfalls Klemmung des Vorschubes für den Schlitten 10.
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Um Schwingungen innerhalb der beweglichen Führung der unteren Halteplatte
20 von der Brille 15 fernzuhalten und um auch für eine sanfte Bewegung beim Antasten
zu sorgen, ist ferner zwischen den beiden Halteplatten 20 und 21 noch eine Dämpfungseinrichtung
31 angeordnet, die ebenfalls mit ihrer Wirkrichtung parallel zur Hauptmeßachse 12
ausgerichtet ist.
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Diese ist beim dargestellten Ausführungsbeispiel als elektrodynamische
Bremse ausgetildet; sie besteht aus einem im wesentlichen U-förmigen Permanentmagneten
32 mit im Abstand einander gegenüberstehenden Magnetpolen und aus einer dazwischen
angeordneten Scheibe 33 aus elektrisch gut leitendem Werkstoff, beispielsweise aus
Aluminium. Durch geeignete Lamellierung der Scheibe kann die Dämpfungswirkung in
bekannter Weise noch gesteigert werden.
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An sich könnte die Halterung der Brille 15 und der Kugel 16 - umfassend
die Teile unterhalb der oberen Halteplatte 21 in den Figuren 3 und 4 - in diesem
Umfang in ein Mehrkoordinaten-Meßgerät eingesetzt werden, dessen Meßpinole dreidimensional
beweglich ist. Der Querhub zum Umfahren der Meßkörper 3 müßte dann von der Pinole
aufgebracht werden. um jedoch möglichst wenig bewegliche Glieder jnneritalb der
Lnterferometer-Langen-
meß«inrichtung zu haben - bei Verwendung
von Mehrkoordinaten-Meßgeräten könnten zwei Hauptachsen zueinander verriegelt sein
- ist die bereits erwähnte Hubeinrichtung 11 oberhalb der oberen Halteplatte 21
vorgesehen. Mit ihr kann ein definierter Hub H in der Richtung quer zur Hauptmeßachse
12 ausgefQlrt werden dieser Hub H ist größer als der Kugeldurchmesser, so daß die
Meßkörper sicher umfahren werden können und trotzdem weit genug vom Rand weg die
Meßkörper angetastet werden können. Aufgrund des gleichbleibend großen Vertikalhubes
erfolgt die Antastung der verschiedenen Meßflächen stets in der gleichen Höhenlage.
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Die Hubeinrichtung ist im Prinsip ähnlich aufgebaut, wie die zuvor
beschriebene bewegliche Halterung der Brille 15, nämlich aus zwei vertikal stehenden
Halteplatten 39 und 40, die durch ein Paar von Blattfeder Gelenkparallelogrammen
vertikalbeweglich miteinander verbunden bzw. zueinander zwangsgeführt sind. Die
rechte, bewegliche Halteplatte 39 ist über insgesamt vier Blattfedern 34 mit der
linken feststehenden Halteplatte 40 verbunden. Anstelle der insgesamt vier Blattfedern
könnten ebenfalls zwei durchgehend breite Blattfedern vorgesehen sein; dadurcil
würde eine Pendelneigung der Aufhängung reduziert werden. Die linke feststehende
Halteplatte ko ist über ein Zwischenstück 42 an einem Haltewinkel 41 befestigt,
der seinerseits am unteren Ende der Pinole einer Meßmaschine angeschraubt oder angeklemmt
werden kann. Zum Ausgleich des Gewichtes der Halterung 13 und der Brille 15 und
der daran befestigten Teile und zur Entlastung der Blattfodern 34 von dinsem Gewicht
ist die Halterung 1@ über entspre-
chende Haltefedern 43 an das
Zwischenstück 42 angehängt.
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Um die jeweiligen Endlagen der Hubeinrichtung 11 genau reproduzierbar
anfahren zu können, ist eine überdrückbare Rastsicherung 35 zwischen den zueinander
beweglichen Hauptteilen der Hubeinrichtung vorgesehen. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel
ist zu diesem Zweck in der rechten beweglichen Halteplatte 39 ein federbelasteter
keilförmiger Rastkörper gelagert, der quer zur Hubrichtung ausweichen kann. Er arbeitet
mit zwei entsprechenden Rastvertiefungen zusammen, die in der einen Seitenfläche
des Zwischenstücks 42 eingearbeitet sind.
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Der Abstand dieser beiden Rastvertiefungen entspricht gerade dem Hub
H der Hubeinrichtung.
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cc Um die Hubeinrichtung auch ohne manuelle Einwirkung betätigen zu
können, ist auch noch ein Hubantrieb vorgesehen. Dieser ist beim dargestellten Ausführungsbeispiel
in Form einer elektromotorisch antreibbaren Gewindespindel 37 ausgebildet, die in
eine Mutter 38 eingreift. Die Gewindespindel 37 kann von einem Elektromotor 36 mit
einem daran angeflanschten Reduziergetriebe langsam und in vorwählbarer Drehrichtung
angetrieben werden. Der Motor 36 ist an der beweglichen Halteplatte 39 befestigt.
Spindel und Mutter sowie deren Lagerung bedürfen keiner besonderen Genauigkeit;
diese wird allein durch die Rast sicherung sichergestellt. Eine Querbeweglichkeit
der Mutter ist zum Ausgleich der bogenfcirmigen Bewegung der beweglichen Halteplatte
erforderlich. Außer dem dargestellten elektromoterischen Gewi.ndetr ich sind selbstverständlich
auch andere Antriebsarten, beispielsweise gedämpfte Eloktromagneten oder fluidische
Antriobe denkbar. Auch kinematische
Umkehrungen des dargestellten
Gewindetriebes mit angetriebener Mutter und feststehender Spindel oder mit Anordnung
des Antriebes am feststehenden Zwischenstück sind ohne weiteres denkbar. Durch einen
solchen Hubantrieb läßt sich die Messung bzw. das Umfahren der Meßkörper 3 vorprogrammieren,
wodurch der Meßvorgang noch rascher ablaufen kann.
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- L e e r s e i t e -