DE3546889C2 - Tastervorrichtung für Oberflächen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Tastervorrichtung für Oberflächen gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1.

Insbesondere betrifft die Erfindung eine Tastervorrichtung, die sicher und genau der Oberfläche eines Werkstückes fol­ gen kann und den Oberflächenverlauf dabei mißt.

Im Stand der Technik ist ein Meßsystem zur Erfassung der Oberfläche bekannt, das als Kontakttyp ausgelegt ist und dem Oberflächenprofil eines Werkstückes kontinuierlich und permanent folgt und dieses Profil erfaßt bzw. mißt. Ein derart bekanntes Meßsystem weist einen Meßkopf für das Oberflächenprofil auf, der an einer dreidimensionalen CNC-Meßvorrichtung oder dergleichen angebracht ist. Bei diesem Meßsystem wird die Kontaktsonde auf der Oberfläche des Werkstückes bewegt. Die Koordinaten in den drei Richtungen werden bei der Bewegung der Kontaktsonde ermittelt und auf diese Weise das Profil des Werkstückes bestimmt. Diese Art ist für die Vermessung von Werkstücken geeignet, die kom­ plizierte Formen und Strukturen aufweisen.

Eine vorausgehend erwähnte Tastervorrichtung ist beispiels­ weise in der US-PS 3 869 799 beschrieben. Diese Tastervor­ richtung weist einen Detektorstift auf, der in drei axialen Richtungen bewegbar ist. Dadurch, daß man den Detektorstift dazu zwingt, der Oberfläche des Werkstückes zu folgen, wird das Oberflächenprofil des entsprechenden Werkstückes abge­ tastet bzw. erfaßt. Bei Tastvorrichtungen dieses Typs steht die Kontaktsonde stets in Berührung mit dem Werkstück.

Mittels der Berechnung der erfaßten Verschiebung des Tast­ kopfes bzw. der Berührungssonde und der Bewegung der Tast­ vorrichtung selbst, werden die gewünschten Koordinaten der Oberfläche des Werkstückes erhalten. Alternativ dazu kann auch die Bewegung der Tastvorrichtung selbst gesteuert wer­ den, während die Verschiebung des Tastkopfes konstant ge­ halten wird. Aus den Koordinaten der bewegten bzw. verscho­ benen Tastvorrichtung können die Oberflächenkoordinaten aufgezeichnet und ermittelt werden. Auf alle Fälle steht die Sonde bzw. der Fühler immer unter einem vorgegebenen Druck in Kontakt und Berührung mit dem Werkstück. Aus die­ sem Grund muß die Sonde sicher, relativ zu einer Basis bzw. ihrem Gehäuse gehalten werden und zwar derart, daß der Druck bzw. die Kraft auf die Sonde in allen Richtungen kon­ stant bleibt. Ein derartiger beständiger oder konstanter Druck kann nur dann erreicht werden, wenn die Reibungswi­ derstände auf verschiedene unterschiedliche Teile oder die Hysterese-Eigenschaften von Federn und dergleichen weitest­ gehend reduziert werden.

Die vorausgehend genannte Tastervorrichtung weist Verschie­ beeinrichtungen auf, die aus je zwei parallel und vertikal angeordneten Platten bestehen. Die Platten können der Ver­ schiebung des Meßfühlers durch eine Auslenkung um Drehach­ sen an ihren Längskanten folgen. Obwohl diese Drehbewegung stets eine Verschiebung in zwei Koordinatenrichtungen dar­ stellt, wird jeweils nur die Verschiebung in einer Koordi­ natenrichtung gemessen. Durch die Vernachlässigung der zweiten Verschiebungskomponente wird das Meßergebnis un­ genau.

Eine Tastvorrichtung zur Vermessung von Oberflächen ist weiterhin aus der EP 0 106 033 bekannt. Der Tastkopf ist bei dieser Tastvorrichtung in einer X- und einer Y-Richtung verschiebbar kugelgelagert.

Zur Lagefestlegung des Nullpunktes des Tastkopfes sind die Laufflächen der Kugeln kegelig ausgebildet. Durch diese ke­ gelige Ausführung der Laufflächen in X- und Y-Richtung wird jedoch der Meßwert senkrecht zur X-Y-Ebene verfälscht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Tastervorrichtung zu schaffen, bei der die Koordinaten ei­ ner zu messenden Oberfläche in einem Kartesischen Koordina­ tensystem mit einer hohen Genauigkeit bestimmt werden können und bei der zudem der Meßfühler nahezu reibungsfrei räumlich verschiebbar ist.

Tatsächlich dient die Basis als Lager, das durch Stütz­ schenkel an einem Basis- oder Gehäuseblock angebracht oder aufgehängt ist. Die Gleiteinrichtung in Z-Achse ist an dieser Lagerung so angebracht, daß sie vertikal bewegbar ist. Die Gleiteinrichtung in Z-Achse steht wiederum in Eingriff mit den Gleiteinrichtungen in Y- und X-Achse, wobei dies über Gleitnuteneinrichtung erfolgt, die zwischen jeder benachbarten Gleiteinrichtung vorgesehen sind. Aufgrund dieser Anordnung können die Gleiteinrichtungen in X- und Y-Achse senkrecht zueinander bewegt bzw. verfahren werden. Die unterste Gleiteinrichtung in X-Achse ist fest oder sogar starr mit einem Meßkopf bzw. einem Meßfühler verbunden, der zur Berührung des zu messenden Werkstückes ausgelegt ist.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist des weiteren durch Luftlager gekennzeichnet, die zwischen benachbarten Gleitflächen durch Einleitung von Druckluft dazwischen ge­ bildet werden. Auf diese Weise kann jede der Gleiteinrich­ tungen ohne Reibungsverluste und mit einer hervorragenden Präzision bei der Rückführung in die Ausgangslage schwim­ mend gelagert bzw. abgestützt werden. Statt Druckluft kann auch ein anderes unter Druck stehendes Medium verwendet werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines schematischen Ausführungsbeispieles noch näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein bevorzugtes Aus­ führungsbeispiel einer Tastervorrichtung;

Fig. 2 einen Querschnitt längs der Linie II-II nach Fig. 1 und

Fig. 3 einen Querschnitt längs der Linie III-III nach Fig. 2.

In den Zeichnungen ist eine Tastervorrichtung für die Er­ fassung von Oberflächen gezeigt, die auch als Konturfolge­ einrichtung bezeichnet werden kann, und die einen Sockel­ block bzw. Gehäuseblock 10 aufweist, dessen oberster Be­ reich an einer Tastkopfhalterung einer hinreichend be­ kannten dreidimensionalen CNC-Meßvorrichtung (nicht darge­ stellt) befestigt ist. Die Tastervorrichtung kann sowohl manuell oder automatisch in jegliche Koordinatenposition durch die dreidimensionale Meßvorrichtung bewegt werden.

An dem Gehäuseblock 10 ist über Befestigungsschenkel 12 und 14 ein Basiselement 16 fest bzw. starr angebracht. Das Basiselement 16 ist zweckmäßigerweise in Art eines vierecki­ gen hohlen Führungszylinders ausgelegt. Die Befestigung ist derart, daß ein Meßfühler 24 über eine Gleiteinrichtung 18 in der Z-Achse, eine Gleiteinrichtung 20 in der Y-Achse und eine Gleiteinrichtung 22 in der X-Achse in allen Rich­ tungen bewegbar geführt bzw. getragen wird.

Wie es am besten in der Fig. 3 erkennbar ist, ist das Basis­ element 16 in der Gestalt einer hohlen quadratförmigen Hülse mit einer inneren Peripheriefläche 16a ausgebildet, wobei der Gleitschaft 18a, der in Z-Achse Säulenform auf­ weist und im Querschnitt etwa quadratisch ist, der Gleit­ einrichtung 18 in Richtung der Z-Achse in der Vertikalrich­ tung (Z-Achse) verschiebbar vorgesehen ist.

Gemäß Fig. 2 hat die Gleiteinrichtung 18 für die Z-Achse ei­ nen kolbenartigen Schaft 18b, der von einer Gleitnut 20a in Richtung der Y-Achse in der Gleiteinrichtung 20 in der Richtung der Y-Achse umfaßt wird bzw. mit dieser Nut in Eingriff steht. Auf diese Weise kann die Gleiteinrichtung 20 relativ zur Gleiteinrichtung 18 für die Richtung der Z-Achse in Richtung der Y-Achse frei verschoben werden.

Wie in Fig. 1 dargestellt ist, weist auch die Gleiteinrich­ tung 20 in Richtung der Y-Achse eine Gleitnut 20b auf, die in Gleiteingriff mit dem Gleitschaft 22a in/an der Gleit­ einrichtung 22 für die X-Achse steht. Hieraus resultiert, daß die Gleiteinrichtung 22 für die X-Achse in Richtung der X-Achse frei verschiebbar ist relativ zur Gleiteinrichtung 20 für die Y-Achse.

Die Gleiteinrichtungen 18, 20 und 22 sind relativ zum Ba­ siselement 16 vorgesehen und insbesondere relativ dazu auf­ gehängt. Wie in Fig. 1 dargestellt, erstrecken sich Ansätze 26 und 28 von gegenüberliegenden Seiten des Führungsschaf­ tes 18b an der Gleiteinrichtung 18 für die Z-Achse nach außen, um eine Anbindung für Federn zu schaffen. Jeder die­ ser Ansätze 26 und 28 steht in Eingriff mit dem unteren En­ de einer Trag- oder Aufhängefeder 30 oder 32. Die oberen Enden der Tragfedern 30 und 32 sind fest mit dem Gehäuse­ block 10 verbunden. Durch diese Maßnahmen ist die gesamte Gleiteinrichtung derart ausgestaltet, daß ihr gesamtes Ge­ wicht einschließlich des Meßfühlers 24 in einer Position gehalten wird, die aufgrund der von den Aufhängefedern 30 und 32 herrührenden Kräfte und Zugspannungen eine Gleichge­ wichtslage darstellt. Das obere Ende von jeder Aufhängefe­ der 30 und 32 ist über eine Federhalterung 34 bzw. 36 fest mit einer Einstellscheibe 38 für die Federposition verbun­ den. Aufgrund einer Vertikalverschiebung der Einstellschei­ be 38 kann die Gruppe der Gleiteinrichtungen, die an den Aufhängefedern 30 und 32 getragen wird, im Hinblick auf die genaue Position eingestellt werden. Genauer betrachtet weist die Einstellscheibe 38 eine Muttereinrichtung 38a auf, die auf einem mit einem Außengewinde versehenen Schaft 40 gedreht ist, der wiederum im Gehäuseblock 10 drehbar ge­ lagert ist. Durch Drehen des Schaftes 40 kann die Einstell­ scheibe 38 in vertikaler Richtung bewegt werden. Es wird darauf hingewiesen, daß die Einstellscheibe 38 nicht zusam­ men mit dem mit Außengewinde versehenen Schaft 40 gedreht wird, da die Einstellscheibe 38 mittels eines Arretierstif­ tes 42 gegen Verdrehung relativ zum Schaft 40 festgelegt ist.

Im dargestellen Ausführungsbeispiel weist der Schaft 40 ein Kegelrad 44 auf, das darauf rotationsfest befestigt ist. Dieses Kegelrad 44 steht in Eingriff mit einem anderen Ke­ gelrad 46, das auf einer Antriebswelle 48 vorgesehen ist, die von extern mit einem geeigneten Mittel (nicht darge­ stellt) in Rotationsbewegung versetzt werden kann. Die Sei­ tenwandung des Gehäuseblockes 10 weist ein Zugriffsloch 10a auf, durch das ein geeignetes Werkzeug, wie z. B. ein Schraubenzieher in den Gehäuseblock 10 eingeführt werden kann, um die Antriebswelle 48 in Rotation zu versetzen oder zumindest geringfügig zu verdrehen.

Die Gruppe der Gleiteinrichtungen ist in der vorbeschriebe­ nen Weise durch die Aufhängefedern 30 und 32 zur Festlegung ihrer Ausgangs- oder Bezugsposition im Hinblick auf die vertikale Richtung (oder Z-Achse) angeordnet und insbeson­ dere aufgehängt.

Darüber hinaus ist eine Rückholfeder 50 vorgesehen, die zur Festlegung einer anderen Ausgangs- oder Bezugsposition in der X-, Y-Achsenebene bestimmt ist. Diese Rückhol- oder Rückzugsfeder 50 kann die Form eines Drahtes mit kreisför­ migem Querschnitt haben, dessen unteres Ende über einen insbesondere konischen Spannzapfen 52 mit der Gleitein­ richtung 22 für die X-Achse starr oder fest verbunden ist. Der Spannzapfen 52 kann die Rückholfeder 50 durch die Ro­ tationsbewegung einer Spannschraube 54 darauf mindestens kraftschlüssig erfassen.

Das obere Ende der Rückholfeder 50 ist vertikal bewegbar und relativ zum Basiselement 16 geführt und abgestützt. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist das obere Ende der Rückholfeder 50 gleitend in einem Lager 56 geführt, das fest mit dem Gleitschaft 18a für die Z-Achse verbunden ist, wobei der Gleitschaft 18a wiederum vertikal gleitbar inner­ halb des Basiselementes 16 geführt ist und nicht direkt von dem Basiselement 16 abgestützt wird. Mit anderen Worten ist das obere Ende der Rückholfeder 50 fest mit einem Gleit­ schaft 50 verbunden, der wiederum gleitend in Richtung der Z-Achse innerhalb des Lagers 56 gehalten ist.

Auf diese Weise wird das obere Ende der Rückholfeder 50 in seiner Bezugsposition in der Ebene der X-, Y-Achse festge­ legt. Andererseits erzeugt das andere Ende der Rückholfeder 50 eine Rückholkraft in allen Richtungen relativ zur Bewe­ gung des Meßfühlers 24 in der Ebene der X-, Y-Achse, da dieses andere Ende der Rückholfeder 50 fest verbunden mit der Gleiteinrichtung 22 für die X-Achse vorgesehen ist. Auf diese Weise kann die Ausgangs- oder Bezugsposition in der Ebene der X-, Y-Achse genau festgelegt werden.

Aufgrund der Gleitmöglichkeit des Gleitschaftes 58 inner­ halb des Lagers 56 in Richtung der Z-Achse, kann eine ver­ tikale Verschiebung des Gleitschaftes 58 sogar dann absor­ biert bzw. eliminiert und aufgenommen werden, wenn seine Position durch eine Bewegung des Gleitschaftes 58 in der Ebene der X-, Y-Achse verändert wird.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel können die Eigenschaf­ ten der Rückholfeder 50 dadurch verändert werden, daß die genaue Lokalisation der Rückholfeder 50, die vom Spannzap­ fen 52 erfaßt wird, verändert wird. Aufgrund der gleitenden Führung des oberen Endes der Rückholfeder 50 in Richtung der Z-Achse, kann die vorstehend erwähnte Veränderung rela­ tiv leicht durchgeführt werden.

Anhand der vorausgehenden Beschreibung wird verständlich, daß eine einzige Ausgangsposition für die Gruppe der Gleit­ einrichtungen in X-, Y- und Z-Achse festlegbar ist und daß der Meßfühler 24 in X-, Y- und Z-Richtung in einem Gleich­ gewichtszustand bzw. unter ausgeglichenen Druck- und Kraft­ verhältnissen bewegt werden kann.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Meßfühler 24 demontierbar mit einem Fühlerhalter 60 verbunden. Der Fühlerhalter 60 wiederum ist über ein Vibrations- oder Schwingungselement 62 mit der Gleiteinrichtung 22 für die X-Achse verbunden. Das Schwingungselement 62, das auch eine separate Einrichtung sein kann, ist fest zwischen dem Fühlerhalter 60 und einem Schwingungshalter 64 angebracht. Als Schwingungselement 62 wird eines vom elektrostriktiven Typ verwendet, das mechanisch mit sehr kleiner Amplitude in Schwingung versetzbar ist. Als Ergebnis davon steht der Meßfühler 24 während einer Vibrationsbewegung in Berührung mit der Oberfläche eines Werkstückes (nicht dargestellt). Folglich kann die Kontaktreibung zwischen dem Meßfühler 24 und der Oberfläche des Werkstückes so stark reduziert wer­ den, daß die Folgefähigkeit des Meßfühlers 24 entsprechend den Konturen der Oberfläche noch verbessert wird.

Um die Verschiebung jeder Gleiteinrichtung 18, 20 und 22 aus der Ausgangs- oder Bezugslage zu erfassen, ist eine Skala für jede Gleiteinrichtung vorgesehen. Die Skala wird dazu verwendet, um die Bewegung bzw. Verschiebung jeder Gleiteinrichtung mittels eines optischen Sensors festzu­ stellen.

Die Z-Achsenskala 66 erstreckt sich aufwärts von der Gleit­ einrichtung 18 für die Z-Achse und ist gegenüber einem Sen­ sor 68 für die Z-Achse am Basiselement 16 angeordnet. Eine Verschiebung des Meßfühlers 24 in Richtung der Z-Achse kann deshalb aufgrund der relativen Bewegung bzw. Verschiebung der Z-Achsenskala 66 und des Sensors 68 festgestellt wer­ den.

Entsprechend der Darstellung nach Fig. 2 ist eine Y-Achsen­ skala 70 auf der Gleiteinrichtung 20 für die Y-Achse ange­ bracht und gegenüber einem Sensor 72 für die Y-Achse, der an der Gleiteinrichtung 18 für die Z-Achse vorgesehen ist, angebracht. Die Y-Achsenskala 70 wirkt mit dem Sensor 72 für die Y-Achse zusammen, um die Bewegung der Gleiteinrich­ tung 20 in Richtung der Y-Achse festzustellen.

In ähnlicher Weise ist, wie in Fig. 1 dargestellt, eine X-Achsenskala 74 vorgesehen, die mit einem Sensor 76 für die X-Achse zusammenwirkt, um eine Verschiebung oder Bewe­ gung der Gleiteinrichtung für die X-Achse relativ zur Gleiteinrichtung 20 für die Y-Achse zu detektieren.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel kann die Bewegung bzw. Verschiebung in jede beliebige ausgewählte Richtung dadurch blockiert werden, daß ein Anschlagstift, der von einem So­ lenoiden betrieben wird, gegen ein korrespondierendes Teil gedrückt wird, um eine Bewegung zu unterbinden.

Wie in den Fig. 2 und 3 dargestellt ist, wird die Blockie­ rung einer Bewegung der Z-Achse durch das Zusammenwirken zwischen einer Nut 18c an der Gleiteinrichtung 18 für die Z-Achse und einer entsprechenden Nut 16c an dem Basisele­ ment 16 realisiert. Ein Stoppstift 78 ist unter Beauf­ schlagung durch einen Solenoiden 80 zu einer Bewegung in die Nuten 16c und 18c vorgesehen. Sofern der Solenoid 80 in Betrieb gesetzt wird, wird der Stoppstift 78 in die Nuten 18c und 16c hineinbewegt, wodurch eine Bewegung der Gleit­ einrichtung 18 für die Z-Achse blockiert wird.

In ähnlicher Weise kann eine Bewegung der Gleiteinrichtung 20 für die Y-Achse dadurch blockiert werden, daß ein Stopp­ stift 84 durch einen Solenoiden 82 in Nuten 20d und 18d hineinbewegt wird, die in der Gleiteinrichtung 20 für die Y-Achse bzw. in der Gleiteinrichtung 18 für die Z-Achse ausgebildet sind.

Ganz ähnlich kann auch eine Bewegung der Gleiteinrichtung 22 für die X-Achse dadurch blockiert werden, daß ein Stopp­ stift 88 über einen Solenoiden 86 in Aussparungen oder Nu­ ten 22e und 20e hineinbewegt wird, die in den entsprechen­ den Gleiteinrichtungen 22 und 20 für die entsprechenden Achsen ausgebildet sind.

Zur Reduzierung der Reibungskräfte zwischen sich berühren­ den oder nahezu berührenden Flächen benachbarter Gleitein­ richtungen wird erfindungsgemäß Druckluft auf die Gleit­ flächen 16a, 20a und 20b der entsprechenden Gleiteinrich­ tungen 18, 20 und 22 geführt.

Der Gehäuseblock 10 weist hierzu einen darin ausgebildeten Verteiler 90 für die Druckluft auf, der mit Druckluft von einem externen Kompressor (nicht dargestellt) versorgt wird (vgl. Fig. 2). Diese Druckluft wird den entsprechenden Gleitflächen über Leitungen 92 und 94 zugeführt, um auf den Gleitflächen Luftlager zu bilden.

Um die Gleitfläche 16a in Richtung der Z-Achse mit Druck­ luft zu versorgen, ist die Leitung 92 mit einer Rille für die Luft (nicht dargestellt) in dem Basiselement 16 verbun­ den, wobei dies über eine Leitungsöffnung 96 erfolgt. Hier­ durch kommuniziert die Leitung 92 mit einer Vielzahl klei­ ner Öffnungen (nicht dargestellt) auf der Gleitfläche 16a. Die unter Druck stehende Luft wird über diese kleinen Öff­ nungen ausgeblasen, um ein Luftlager zu bilden, über das der Gleitschaft 18a schwimmend innerhalb des Basiselementes 16 geführt werden kann.

Andererseits wird unter Druck stehende Luft über die Lei­ tung 94 von einem Eintrittsbereich 98 auf die Gleiteinrich­ tung 20 für die Y-Achse geleitet und anschließend zu einer Vielzahl ähnlicher kleiner Öffnungen über die Gleitnut 20a für die Y-Achse, über die Gleitnut 20 und eine zusätzliche Rille bzw. Ausnehmung für Luft (nicht dargestellt). Die un­ ter Druck stehende Luft wird durch diese Öffnungen unter Bildung von Luftpolstern ausgeblasen, wodurch die Gleit­ einrichtungen 20 und 22 für die Y-, X-Achsen schwimmend geführt sind.

Auf diese Weise kann die Reibung zwischen benachbarten Gleiteinrichtungen um ein Höchstmaß reduziert werden und die Rückkehreigenschaft der Gleiteinrichtung in ihrer Aus­ gangslage erheblich verbessert werden.

Im Ausführungsbeispiel weist der Gehäuseblock 10 Vor­ verstärker 99, 100 und 102 zur zunehmenden bzw. schrittwei­ sen Verstärkung elektrischer Signale von den Sensoren 68, 72 und 76 auf, wobei Obersignale oder höherwertige Signale in den elektrischen Kenndaten herausgeholt und abgerufen werden können.

Wie vorausgehend dargelegt, schafft die Erfindung eine Ta­ stervorrichtung, die insbesondere für automatische Meßme­ thoden und ähnliche Methoden für die Oberflächenerfassung von Werkstücken geeignet ist.

Die Tastervorrichtung weist dabei einen stabilisierten Berührungsdruck oder Bewegungsdruck in allen drei Achsrich­ tungen auf. Die Tastervorrichtung und insbesondere der Meßfühler kann sehr einfach und leicht in seine Ausgangs- oder Bezugslage zurückgeführt werden und ist im Hinblick auf die Folge- und Anpassungsfähigkeit an Konturen der Oberfläche und im Hinblick auf seine Präzision wesentlich verbessert.

Claims (5)

1. Tastervorrichtung zur Erfassung von Oberflächen mit ei­ nem Meßfühler, der über Verschiebeeinrichtungen in X-, Y- und Z-Richtung eines kartesischen Koordinatensystems verschiebbar an einer Basis angebracht ist, wobei eine erste Verschiebeeinrichtung im wesentlichen vertikal zur Basis in Z-Richtung verschiebbar gelagert ist, auf dieser ersten eine zweite Verschiebeeinrichtung ver­ schieblich gelagert ist, die wiederum eine dritte dar­ auf verschieblich gelagerte Verschiebeeinrichtung auf­ nimmt, an welcher der Meßfühler befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebeein­ richtungen als Gleiteinrichtungen (18, 20, 22) mit Gleitflächen ausgebildet sind, daß die Gleiteinrichtun­ gen (18, 20, 22) senkrecht zueinander in ausschließlich einer Achsrichtung frei verschiebbar sind, daß der Meßfühler (24) über die Gleiteinrichtung (18) in Z-Richtung, die Gleiteinrichtung (20) in Y-Richtung und die Gleiteinrichtung (22) in X-Richtung geführt ist, und daß die Gleitflächen der Gleiteinrichtungen (18, 20, 22) Luftlager aufweisen.

2. Tastervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleiteinrichtungen (18, 20, 22) Nuten aufwei­ sen, in welche zur Blockierung der Gleitbewegung ein Anschlagstift (78, 84, 88) einfahrbar ist.

3. Tastervorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlagstift (78, 84, 88) durch einen Solenoiden (80, 82, 86) betätigbar ist.

4. Tastervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Schwingungselement (63) vorgesehen ist.

5. Tastervorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingungselement (62) von einem elektrostrik­ tiven Typ ist.