JP2002287029A - 投影光学系およびこれを用いた投影露光装置 - Google Patents
投影光学系およびこれを用いた投影露光装置Info
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学系が絞りを中心とした対称形状に形成さ
れ、倍率調整の際には、絞りの前後の対応位置に配され
たパワーの小さい単一レンズのペアを同一方向に同一距
離だけ移動させることで、結像倍率のずれを補正する調
整や、基板の伸縮等に応じた結像倍率の調整を、収差を
良好に保ちつつ、簡易かつ良好に行う。 【構成】 マスクパターンをワーク上に投影する投影光
学系において、物体側から順に、光束をテレセントリッ
クとするための正の第１レンズ群Ｇ１、倍率調整用のパ
ワーの弱い正の第２レンズ群Ｇ２、主たる結像性能の調
整を担っている第３レンズ群Ｇ３、絞り１、主たる結像
性能の調整を担っている第４レンズ群Ｇ４、倍率調整用
のパワーの弱い正の第５レンズ群Ｇ５、光束をテレセン
トリックとするための正の第６レンズ群Ｇ６が配列され
てなり、レンズ系全体として、絞り１を挟んで対称形状
とされている。
れ、倍率調整の際には、絞りの前後の対応位置に配され
たパワーの小さい単一レンズのペアを同一方向に同一距
離だけ移動させることで、結像倍率のずれを補正する調
整や、基板の伸縮等に応じた結像倍率の調整を、収差を
良好に保ちつつ、簡易かつ良好に行う。 【構成】 マスクパターンをワーク上に投影する投影光
学系において、物体側から順に、光束をテレセントリッ
クとするための正の第１レンズ群Ｇ１、倍率調整用のパ
ワーの弱い正の第２レンズ群Ｇ２、主たる結像性能の調
整を担っている第３レンズ群Ｇ３、絞り１、主たる結像
性能の調整を担っている第４レンズ群Ｇ４、倍率調整用
のパワーの弱い正の第５レンズ群Ｇ５、光束をテレセン
トリックとするための正の第６レンズ群Ｇ６が配列され
てなり、レンズ系全体として、絞り１を挟んで対称形状
とされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、投影光学系および
投影露光装置に関し、特に、プリント基板の作製等に用
いられる投影光学系および投影露光装置に関するもので
ある。
投影露光装置に関し、特に、プリント基板の作製等に用
いられる投影光学系および投影露光装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来より、プリント基板を作製する際等
において、原稿上のパターンをワーク上に投影するため
の投影光学系および投影露光装置が知られている。その
うち、特許第３０２６６４８号公報には、レンズ系が絞
りを挟んで対称形状に配置され、物体側および像側の光
束が略テレセントリックとされた等倍投影レンズが開示
されている。
において、原稿上のパターンをワーク上に投影するため
の投影光学系および投影露光装置が知られている。その
うち、特許第３０２６６４８号公報には、レンズ系が絞
りを挟んで対称形状に配置され、物体側および像側の光
束が略テレセントリックとされた等倍投影レンズが開示
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】レンズ系が絞りに対し
て完全に対称形状であれば等倍結像とされることになる
が、一般には、構成部品の製造誤差等により、レンズ系
を完全な対称形状に作製することは困難であり、この結
果、結像倍率が僅かながら等倍からずれてしまう。した
がって、このずれを個々のレンズ系毎に補正する必要が
生じる。
て完全に対称形状であれば等倍結像とされることになる
が、一般には、構成部品の製造誤差等により、レンズ系
を完全な対称形状に作製することは困難であり、この結
果、結像倍率が僅かながら等倍からずれてしまう。した
がって、このずれを個々のレンズ系毎に補正する必要が
生じる。
【０００４】また、同一基板上に複数のパターンを露光
させるときには像を正確に重ね合わせなければならず、
温度変化等に伴って伸縮する基板に応じ、露光時におい
て微妙な倍率の調整が必要になる。
させるときには像を正確に重ね合わせなければならず、
温度変化等に伴って伸縮する基板に応じ、露光時におい
て微妙な倍率の調整が必要になる。
【０００５】一般に、レンズ系の結像倍率を変化させる
ためにはレンズ系全体を光軸方向に移動させればよい
が、上述したような投影レンズ系では、物体側、像側と
もに略テレセントリックとされているため、レンズ系全
体を光軸方向に移動させても倍率を変化させることがで
きない。
ためにはレンズ系全体を光軸方向に移動させればよい
が、上述したような投影レンズ系では、物体側、像側と
もに略テレセントリックとされているため、レンズ系全
体を光軸方向に移動させても倍率を変化させることがで
きない。
【０００６】本発明は、絞りに対して対称形状に配置さ
れ、物体側および像側がともに略テレセントリックとさ
れた投影光学系および投影露光装置において、構成部品
の製造誤差により生じた結像倍率のずれを補正する調整
や、温度変化等に伴う基板の伸縮に応じた結像倍率の調
整を、収差を良好に保ちつつ、簡易かつ良好に行い得る
投影光学系および投影露光装置を提供することを目的と
するものである。
れ、物体側および像側がともに略テレセントリックとさ
れた投影光学系および投影露光装置において、構成部品
の製造誤差により生じた結像倍率のずれを補正する調整
や、温度変化等に伴う基板の伸縮に応じた結像倍率の調
整を、収差を良好に保ちつつ、簡易かつ良好に行い得る
投影光学系および投影露光装置を提供することを目的と
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の投影光学
系は、第１、第２および第３のレンズ群からなる前群
と、第４、第５および第６のレンズ群からなる後群とが
絞りを挟んで略対称形状に配置され、前記第１および前
記第６の各レンズ群はテレセントリック光学系として機
能し、前記第２および前記第５の各レンズ群は倍率調整
機能を有する光学系とされ、前記第３および前記第４の
各レンズ群は主たる結像光学系とされてなることを特徴
とするものである。ここでいう、主たる結像光学系と
は、主に収差補正に寄与している光学系のことである。
系は、第１、第２および第３のレンズ群からなる前群
と、第４、第５および第６のレンズ群からなる後群とが
絞りを挟んで略対称形状に配置され、前記第１および前
記第６の各レンズ群はテレセントリック光学系として機
能し、前記第２および前記第５の各レンズ群は倍率調整
機能を有する光学系とされ、前記第３および前記第４の
各レンズ群は主たる結像光学系とされてなることを特徴
とするものである。ここでいう、主たる結像光学系と
は、主に収差補正に寄与している光学系のことである。
【０００８】本発明の第２の投影光学系は、物体側から
順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、弱いパワー
の第２レンズ群と、正または負の第３レンズ群と、絞り
と、正または負の第４レンズ群と、弱いパワーの第５レ
ンズ群と、正の屈折力を有する第６レンズ群とが配列さ
れてなり、これら第１から第６のレンズ群が前記絞りを
中心として略対称形状をなすように構成されてなること
を特徴とするものである。
順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、弱いパワー
の第２レンズ群と、正または負の第３レンズ群と、絞り
と、正または負の第４レンズ群と、弱いパワーの第５レ
ンズ群と、正の屈折力を有する第６レンズ群とが配列さ
れてなり、これら第１から第６のレンズ群が前記絞りを
中心として略対称形状をなすように構成されてなること
を特徴とするものである。
【０００９】また、この第２の投影光学系は、物体側お
よび像側の光束が略テレセントリックとされていること
が好ましい。また、上記第１および第２の投影光学系に
おいて、前記第２レンズ群と前記第５レンズ群を光軸の
同一方向に同一距離だけ移動させることで結像倍率を変
化させるように構成することが好ましい。また、前記第
２レンズ群と前記第５レンズ群は各々１枚の正レンズま
たは各々1枚の負レンズからなることが好ましい。
よび像側の光束が略テレセントリックとされていること
が好ましい。また、上記第１および第２の投影光学系に
おいて、前記第２レンズ群と前記第５レンズ群を光軸の
同一方向に同一距離だけ移動させることで結像倍率を変
化させるように構成することが好ましい。また、前記第
２レンズ群と前記第５レンズ群は各々１枚の正レンズま
たは各々1枚の負レンズからなることが好ましい。
【００１０】また、前記第２レンズ群の焦点距離を
ｆ２、前記第１、２、３の各レンズ群の合成焦点距離を
ｆｆとしたとき、下記の条件式（１）または（２）を満
足することが好ましい。 ５．５＜ｆ２ ／ｆｆ＜８．５ ………（１） −６．０＜ｆ２ ／ｆｆ＜−４．０ ………（２）
ｆ２、前記第１、２、３の各レンズ群の合成焦点距離を
ｆｆとしたとき、下記の条件式（１）または（２）を満
足することが好ましい。 ５．５＜ｆ２ ／ｆｆ＜８．５ ………（１） −６．０＜ｆ２ ／ｆｆ＜−４．０ ………（２）
【００１１】また、本発明の投影露光装置は、上記いず
れかの投影光学系を用いて、照明光学系により照明され
た原稿側のパターンをワーク上に投影して露光するよう
に構成されていることを特徴とするものである。
れかの投影光学系を用いて、照明光学系により照明され
た原稿側のパターンをワーク上に投影して露光するよう
に構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。なお、以下４つの実施例につい
て具体的に説明するが、各実施例の説明において同一の
要素には同一の符号を付し、重複する説明については省
略する。
図面を用いて説明する。なお、以下４つの実施例につい
て具体的に説明するが、各実施例の説明において同一の
要素には同一の符号を付し、重複する説明については省
略する。
【００１３】
【実施例】＜実施例１＞図１は、実施例１の投影光学系
の基本構成を示すものである。
の基本構成を示すものである。
【００１４】この実施例１の投影光学系は、図１に示す
ように、物体側から順に、光束をテレセントリックとす
るための正の第１レンズ群Ｇ１、倍率調整用のパワーの
弱い正の第２レンズ群Ｇ２、結像機能を有する（収差補
正に寄与する）第３レンズ群Ｇ３、絞り１、結像機能を
有する（収差補正に寄与する）第４レンズ群Ｇ４、倍率
調整用のパワーの弱い正の第５レンズ群Ｇ５、光束をテ
レセントリックとするための正の第６レンズ群Ｇ６、が
配列されてなり、レンズ系全体として、絞り１を挟んで
対称形状とされている。
ように、物体側から順に、光束をテレセントリックとす
るための正の第１レンズ群Ｇ１、倍率調整用のパワーの
弱い正の第２レンズ群Ｇ２、結像機能を有する（収差補
正に寄与する）第３レンズ群Ｇ３、絞り１、結像機能を
有する（収差補正に寄与する）第４レンズ群Ｇ４、倍率
調整用のパワーの弱い正の第５レンズ群Ｇ５、光束をテ
レセントリックとするための正の第６レンズ群Ｇ６、が
配列されてなり、レンズ系全体として、絞り１を挟んで
対称形状とされている。
【００１５】また、上記第１レンズ群Ｇ１は、物体側か
ら順に、像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズから
なる第１レンズＬ１および物体側に強い曲率の面を向け
た両凸レンズからなる第２レンズＬ２からなる。上記第
２レンズ群Ｇ２は、光軸方向に移動可能な1枚の両凸レ
ンズからなる第３レンズＬ３のみからなる。上記第３レ
ンズ群Ｇ３は、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレ
ンズからなる第４レンズＬ４および第５レンズＬ５、な
らびに物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズから
なる第６レンズＬ６からなる。
ら順に、像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズから
なる第１レンズＬ１および物体側に強い曲率の面を向け
た両凸レンズからなる第２レンズＬ２からなる。上記第
２レンズ群Ｇ２は、光軸方向に移動可能な1枚の両凸レ
ンズからなる第３レンズＬ３のみからなる。上記第３レ
ンズ群Ｇ３は、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレ
ンズからなる第４レンズＬ４および第５レンズＬ５、な
らびに物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズから
なる第６レンズＬ６からなる。
【００１６】また、上記第４レンズ群Ｇ４は、像側に凸
面を向けた負のメニスカスレンズからなる第７レンズＬ
７、ならびに像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ
からなる第８レンズＬ８および第９レンズＬ９からな
る。上記第５レンズ群Ｇ５は、光軸方向に移動可能な1
枚の両凸レンズからなる第１０レンズＬ１０のみからな
る。上記第６レンズ群Ｇ６は、物体側から順に、像側に
強い曲率の面を向けた両凸レンズからなる第１１レンズ
Ｌ１１および物体側に凸面を向けた正のメニスカスレン
ズからなる第１２レンズＬ１２からなる。
面を向けた負のメニスカスレンズからなる第７レンズＬ
７、ならびに像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ
からなる第８レンズＬ８および第９レンズＬ９からな
る。上記第５レンズ群Ｇ５は、光軸方向に移動可能な1
枚の両凸レンズからなる第１０レンズＬ１０のみからな
る。上記第６レンズ群Ｇ６は、物体側から順に、像側に
強い曲率の面を向けた両凸レンズからなる第１１レンズ
Ｌ１１および物体側に凸面を向けた正のメニスカスレン
ズからなる第１２レンズＬ１２からなる。
【００１７】また、上述したように、第１レンズ群Ｇ１
および第６レンズ群Ｇ６はテレセントリック機能を有
し、この光学系の物体側および像側の光束が略テレセン
トリックとされている。また、上記倍率調整機能を有す
る第２レンズ群Ｇ２と第５レンズ群Ｇ５は光軸方向に同
一距離だけ一体的に移動させることができるようになっ
ており、これにより結像倍率を変化させることが可能と
なる。
および第６レンズ群Ｇ６はテレセントリック機能を有
し、この光学系の物体側および像側の光束が略テレセン
トリックとされている。また、上記倍率調整機能を有す
る第２レンズ群Ｇ２と第５レンズ群Ｇ５は光軸方向に同
一距離だけ一体的に移動させることができるようになっ
ており、これにより結像倍率を変化させることが可能と
なる。
【００１８】このように、倍率調整の際には、パワーの
小さい単一レンズのペアを同一方向に同一距離だけ移動
させることにより行っているので、収差の変動を最小限
にとどめながら、倍率を変化させることができる。さら
に、移動させるレンズ枚数が少ないことから、比較的小
さな駆動力で倍率調整を行うことができる。
小さい単一レンズのペアを同一方向に同一距離だけ移動
させることにより行っているので、収差の変動を最小限
にとどめながら、倍率を変化させることができる。さら
に、移動させるレンズ枚数が少ないことから、比較的小
さな駆動力で倍率調整を行うことができる。
【００１９】さらに、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ
２、前記第１、２、３の各レンズ群の合成焦点距離をｆ
ｆとしたとき、下記の条件式（１）を満足する。 ５．５＜ｆ２ ／ｆｆ＜８．５ ………（１） 上記条件式（１）の下限を下回ると、第２レンズ群Ｇ１
の正のパワーが強くなり、レンズのわずかな移動量で倍
率の変化が大きくなるため、必要な位置精度が高くなり
過ぎてしまう。
２、前記第１、２、３の各レンズ群の合成焦点距離をｆ
ｆとしたとき、下記の条件式（１）を満足する。 ５．５＜ｆ２ ／ｆｆ＜８．５ ………（１） 上記条件式（１）の下限を下回ると、第２レンズ群Ｇ１
の正のパワーが強くなり、レンズのわずかな移動量で倍
率の変化が大きくなるため、必要な位置精度が高くなり
過ぎてしまう。
【００２０】一方、その上限を上回ると、第２レンズ群
Ｇ１の正のパワーが弱くなり、位置精度は緩和される
が、倍率を変化させるのに必要なレンズの移動量が大き
くなってしまうため、機構の設計が難しくなる。
Ｇ１の正のパワーが弱くなり、位置精度は緩和される
が、倍率を変化させるのに必要なレンズの移動量が大き
くなってしまうため、機構の設計が難しくなる。
【００２１】次に、この実施例１における各レンズ面の
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表１に示す。
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表１に示す。
【００２２】ただし、この表１および後述する表２、
３、４において、各記号Ｒ、Ｄ、Ｎに対応させた数字は
物体側から順次増加するようになっている。
３、４において、各記号Ｒ、Ｄ、Ｎに対応させた数字は
物体側から順次増加するようになっている。
【００２３】
【表１】
【００２４】また、表１の下段には実施例１における、
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（１）に対応する数値を示す。
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（１）に対応する数値を示す。
【００２５】図３、４、５は実施例１の投影光学系の撮
影倍率（×0.997）、（×1.0）および（×1.003）にお
ける諸収差（球面収差、非点収差、ディストーションお
よび横収差）を示す収差図である。なお、各非点収差図
には、サジタル像面およびタンジェンシャル像面に対す
る収差が示されている（以下の図面についても同じ）。
この図３、４、５から明らかなように、実施例１のズー
ムレンズによれば等倍付近において倍率調整した場合に
もその倍率調整範囲に亘って良好な収差補正がなされ
る。
影倍率（×0.997）、（×1.0）および（×1.003）にお
ける諸収差（球面収差、非点収差、ディストーションお
よび横収差）を示す収差図である。なお、各非点収差図
には、サジタル像面およびタンジェンシャル像面に対す
る収差が示されている（以下の図面についても同じ）。
この図３、４、５から明らかなように、実施例１のズー
ムレンズによれば等倍付近において倍率調整した場合に
もその倍率調整範囲に亘って良好な収差補正がなされ
る。
【００２６】＜実施例２＞次に、実施例２の投影光学系
について説明する。この実施例２の投影光学系は、上記
実施例１の投影光学系とほぼ同様の構成とされている。
について説明する。この実施例２の投影光学系は、上記
実施例１の投影光学系とほぼ同様の構成とされている。
【００２７】次に、この実施例２における各レンズ面の
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表２に示す。
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表２に示す。
【００２８】
【表２】
【００２９】また、表２の下段には実施例２における、
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（１）に対応する数値を示す。
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（１）に対応する数値を示す。
【００３０】図６、７、８は実施例２の投影光学系の撮
影倍率（×0.997）、（×1.0）および（×1.003）にお
ける諸収差（球面収差、非点収差、ディストーションお
よび横収差）を示す収差図である。なお、各非点収差図
には、サジタル像面およびタンジェンシャル像面に対す
る収差が示されている。この図６、７、８から明らかな
ように、実施例２のズームレンズによれば等倍付近にお
いて倍率調整した場合にもその倍率調整範囲に亘って良
好な収差補正がなされている。
影倍率（×0.997）、（×1.0）および（×1.003）にお
ける諸収差（球面収差、非点収差、ディストーションお
よび横収差）を示す収差図である。なお、各非点収差図
には、サジタル像面およびタンジェンシャル像面に対す
る収差が示されている。この図６、７、８から明らかな
ように、実施例２のズームレンズによれば等倍付近にお
いて倍率調整した場合にもその倍率調整範囲に亘って良
好な収差補正がなされている。
【００３１】＜実施例３＞次に、実施例３の投影光学系
について説明する。
について説明する。
【００３２】この実施例３の投影光学系は、図２に示す
ように、上記実施例１の投影光学系とほぼ同様の6群１
２枚構成とされているが、倍率調整機能を有する第２レ
ンズ群Ｇ２と第５レンズ群Ｇ５が各々単一の両凹レンズ
Ｌ３、Ｌ１０から構成されており、上記第１レンズ群Ｇ
１が、物体側から順に、像側に強い曲率の面を向けた両
凸レンズからなる第１レンズＬ１および物体側に凸面を
向けた正のメニスカスレンズからなる第２レンズＬ２か
らなり、上記第６レンズ群Ｇ６が、物体側から順に、像
側に凸面を向けた正のメニスカスレンズからなる第１１
レンズＬ１１および物体側に強い曲率の面を向けた両凸
レンズからなる第１２レンズＬ１２からなる点で異なっ
ている。
ように、上記実施例１の投影光学系とほぼ同様の6群１
２枚構成とされているが、倍率調整機能を有する第２レ
ンズ群Ｇ２と第５レンズ群Ｇ５が各々単一の両凹レンズ
Ｌ３、Ｌ１０から構成されており、上記第１レンズ群Ｇ
１が、物体側から順に、像側に強い曲率の面を向けた両
凸レンズからなる第１レンズＬ１および物体側に凸面を
向けた正のメニスカスレンズからなる第２レンズＬ２か
らなり、上記第６レンズ群Ｇ６が、物体側から順に、像
側に凸面を向けた正のメニスカスレンズからなる第１１
レンズＬ１１および物体側に強い曲率の面を向けた両凸
レンズからなる第１２レンズＬ１２からなる点で異なっ
ている。
【００３３】次に、この実施例３における各レンズ面の
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表３に示す。
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表３に示す。
【００３４】
【表３】
【００３５】また、表３の下段には実施例３における、
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（２）に対応する数値を示す。
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（２）に対応する数値を示す。
【００３６】図９、１０、１１は実施例３の投影光学系
の撮影倍率（×0.995）、（×1.0）および（×1.005）
における諸収差（球面収差、非点収差、ディストーショ
ンおよび横収差）を示す収差図である。なお、各非点収
差図には、サジタル像面およびタンジェンシャル像面に
対する収差が示されている。この図９、１０、１１から
明らかなように、実施例３の投影光学系によれば等倍付
近において倍率調整した場合にもその倍率調整範囲に亘
って良好な収差補正がなされている。
の撮影倍率（×0.995）、（×1.0）および（×1.005）
における諸収差（球面収差、非点収差、ディストーショ
ンおよび横収差）を示す収差図である。なお、各非点収
差図には、サジタル像面およびタンジェンシャル像面に
対する収差が示されている。この図９、１０、１１から
明らかなように、実施例３の投影光学系によれば等倍付
近において倍率調整した場合にもその倍率調整範囲に亘
って良好な収差補正がなされている。
【００３７】＜実施例４＞次に、実施例４の投影光学系
について説明する。この実施例４の投影光学系は、上記
実施例３の投影光学系とほぼ同様の構成とされている。
について説明する。この実施例４の投影光学系は、上記
実施例３の投影光学系とほぼ同様の構成とされている。
【００３８】次に、この実施例４における各レンズ面の
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表４に示す。
曲率半径Ｒ、各レンズの中心厚および各レンズ間の空気
間隔Ｄ、各レンズの入射光波長λ（＝404.66ｎｍ）にお
ける屈折率Ｎを下記表４に示す。
【００３９】
【表４】
【００４０】また、表４の下段には実施例４における、
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（２）に対応する数値を示す。
ＦＮｏ．、全系の焦点距離ｆ´、第１、２、３の各レン
ズ群の合成焦点距離ｆｆ、第２レンズ群の焦点距離
ｆ２、上記条件式（２）に対応する数値を示す。
【００４１】図１２、１３、１４は実施例４の投影光学
系の撮影倍率（×0.995）、（×1.0）および（×1.00
5）における諸収差（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）を示す収差図である。なお、各非
点収差図には、サジタル像面およびタンジェンシャル像
面に対する収差が示されている。この図１２、１３、１
４から明らかなように、実施例４のズームレンズによれ
ば等倍付近において倍率調整した場合にもその倍率調整
範囲に亘って良好な収差補正がなされている。
系の撮影倍率（×0.995）、（×1.0）および（×1.00
5）における諸収差（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）を示す収差図である。なお、各非
点収差図には、サジタル像面およびタンジェンシャル像
面に対する収差が示されている。この図１２、１３、１
４から明らかなように、実施例４のズームレンズによれ
ば等倍付近において倍率調整した場合にもその倍率調整
範囲に亘って良好な収差補正がなされている。
【００４２】図１５は上記実施形態の投影光学系を搭載
した投影露光装置を示す概略図である。この投影露光装
置は、例えばマスクパターン１３に照明光を照射する光
源および照明光学系１２と、該マスクパターン１３の像
が投影されて、露光されるプリント基板等のワーク１４
と、上記実施形態の投影光学系１１と、ワーク１４上の
マスクパターン１３の像の大きさに基づいて、結像倍率
を検出する結像倍率検出手段２１と、この検出された結
像倍率に応じて、前記投影光学系１１の第２レンズ群Ｇ
２と第５レンズ群Ｇ５を光軸方向に同一距離だけ一体的
に移動させる駆動手段２２を備えている。
した投影露光装置を示す概略図である。この投影露光装
置は、例えばマスクパターン１３に照明光を照射する光
源および照明光学系１２と、該マスクパターン１３の像
が投影されて、露光されるプリント基板等のワーク１４
と、上記実施形態の投影光学系１１と、ワーク１４上の
マスクパターン１３の像の大きさに基づいて、結像倍率
を検出する結像倍率検出手段２１と、この検出された結
像倍率に応じて、前記投影光学系１１の第２レンズ群Ｇ
２と第５レンズ群Ｇ５を光軸方向に同一距離だけ一体的
に移動させる駆動手段２２を備えている。
【００４３】このように、本実施形態に係る投影露光装
置は、自動的に結像倍率を検出し、この検出結果に基づ
いて所定の倍率が維持されるように第２レンズ群Ｇ２と
第５レンズ群Ｇ５の配設位置が調整されるように構成さ
れているので、構成部品の製造誤差により生じた結像倍
率のずれを補正する調整や、温度変化等に伴うワーク１
４の伸縮に応じた結像倍率の調整を、簡易かつ良好に行
うことができる。
置は、自動的に結像倍率を検出し、この検出結果に基づ
いて所定の倍率が維持されるように第２レンズ群Ｇ２と
第５レンズ群Ｇ５の配設位置が調整されるように構成さ
れているので、構成部品の製造誤差により生じた結像倍
率のずれを補正する調整や、温度変化等に伴うワーク１
４の伸縮に応じた結像倍率の調整を、簡易かつ良好に行
うことができる。
【００４４】なお、本発明の投影光学系および投影露光
装置としては上記実施形態のものに限られるものではな
く、例えば各レンズ群を構成するレンズの枚数および形
状は適宜選択し得る。
装置としては上記実施形態のものに限られるものではな
く、例えば各レンズ群を構成するレンズの枚数および形
状は適宜選択し得る。
【００４５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の投影光学
系および投影露光装置によれば、光学系が絞りを中心と
した対称形状に形成され、倍率調整の際には、絞りの前
後の対応位置に配されたパワーの小さい単一レンズのペ
アを同一方向に同一距離だけ移動させることにより行っ
ているので、倍率を調整する際において、収差の変動を
最小限にとどめることができる。
系および投影露光装置によれば、光学系が絞りを中心と
した対称形状に形成され、倍率調整の際には、絞りの前
後の対応位置に配されたパワーの小さい単一レンズのペ
アを同一方向に同一距離だけ移動させることにより行っ
ているので、倍率を調整する際において、収差の変動を
最小限にとどめることができる。
【００４６】これにより、構成部品の製造誤差により生
じた結像倍率のずれを補正する調整や、温度変化等に伴
う基板の伸縮に応じた結像倍率の調整を、収差を良好に
保ちつつ、簡易かつ良好に行うことができる。
じた結像倍率のずれを補正する調整や、温度変化等に伴
う基板の伸縮に応じた結像倍率の調整を、収差を良好に
保ちつつ、簡易かつ良好に行うことができる。
【図１】実施例１に係る投影光学系のレンズ構成図
【図２】実施例３に係る投影光学系のレンズ構成図
【図３】実施例１に係る投影光学系の倍率×１．０にお
ける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーション
および横収差）
ける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーション
および横収差）
【図４】実施例１に係る投影光学系の倍率×０．９９７
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
【図５】実施例１に係る投影光学系の倍率×１．００３
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
【図６】実施例２に係る投影光学系の倍率×１．０にお
ける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーション
および横収差）
ける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーション
および横収差）
【図７】実施例２に係る投影光学系の倍率×０．９９７
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
【図８】実施例２に係る投影光学系の倍率×１．００３
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
における各収差図（球面収差、非点収差、ディストーシ
ョンおよび横収差）
【図９】実施例３に係る投影光学系の倍率×１．０にお
ける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーション
および横収差）
ける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーション
および横収差）
【図１０】実施例３に係る投影光学系の倍率×０．９９
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
【図１１】実施例３に係る投影光学系の倍率×１．００
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
【図１２】実施例４に係る投影光学系の倍率×１．０に
おける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーショ
ンおよび横収差）
おける各収差図（球面収差、非点収差、ディストーショ
ンおよび横収差）
【図１３】実施例４に係る投影光学系の倍率×０．９９
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
【図１４】実施例４に係る投影光学系の倍率×１．００
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
５における各収差図（球面収差、非点収差、ディストー
ションおよび横収差）
【図１５】本発明の実施形態に係る投影露光装置の概略
図
図
Ｌ１〜Ｌ１２ レンズ Ｒ１〜Ｒ２５ レンズ面等の曲率半径 Ｄ１〜Ｄ２４ レンズ面間隔（レンズ厚） Ｘ 光軸 １ 絞り １１ 投影光学系 １２ 光源および照明光学系 １３ マスクパターン １４ ワーク ２１ 結像倍率検出手段 ２２ 駆動手段
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H087 KA06 MA14 MA15 NA02 PA12 PA17 PB12 QA02 QA03 QA06 QA07 QA12 QA14 QA21 QA25 QA26 QA32 QA34 QA41 QA45 QA46 RA32 SA57 SA63 SA66 SA72 SB03 SB12 SB24 SB34 SB42 2H097 GB00 LA09
Claims (9)
- 【請求項１】 第１、第２および第３のレンズ群からな
る前群と、第４、第５および第６のレンズ群からなる後
群とが絞りを挟んで略対称形状に配置され、前記第１お
よび第６の各レンズ群はテレセントリック光学系として
機能し、前記第２および第５の各レンズ群は倍率調整機
能を有する光学系とされ、前記第３および前記第４の各
レンズ群は主たる結像光学系とされてなることを特徴と
する投影光学系。 - 【請求項２】 物体側から順に、正の屈折力を有する第
１レンズ群と、弱いパワーの第２レンズ群と、正または
負の第３レンズ群と、絞りと、正または負の第４レンズ
群と、弱いパワーの第５レンズ群と、正の屈折力を有す
る第６レンズ群とが配列されてなり、これら第１から第
６のレンズ群が前記絞りを中心として略対称形状をなす
ように構成されるとともに、倍率調整時に、前記第２レ
ンズ群と前記第５レンズ群が光軸方向に移動するように
構成されてなることを特徴とする投影光学系。 - 【請求項３】 物体側および像側の光束が略テレセント
リックとされていることを特徴とする請求項２記載の投
影光学系。 - 【請求項４】 前記第２レンズ群と前記第５レンズ群を
光軸の同一方向に同一距離だけ移動させることで結像倍
率を変化させるようにしたことを特徴とする請求項１〜
３のうちいずれか１項記載の投影光学系。 - 【請求項５】 前記第２レンズ群と前記第５レンズ群は
各々１枚の正レンズからなることを特徴とする請求項４
記載の投影光学系。 - 【請求項６】 前記第２レンズ群と前記第５レンズ群は
各々１枚の負レンズからなることを特徴とする請求項４
記載の投影光学系。 - 【請求項７】 前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２、前
記第１、２、３の各レンズ群の合成焦点距離をｆｆとし
たとき、下記の条件式（１）を満足することを特徴とす
る請求項５記載の投影光学系。 ５．５＜ｆ２ ／ｆｆ＜８．５ ………（１） - 【請求項８】 前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２、前
記第１、２、３の各レンズ群の合成焦点距離をｆｆとし
たとき、下記の条件式（２）を満足することを特徴とす
る請求項６記載の投影光学系。 −６．０＜ｆ２ ／ｆｆ＜−４．０ ………（２） - 【請求項９】 請求項１〜８のうちいずれか１項記載の
投影光学系を用いて、照明光学系により照明された原稿
側のパターンをワーク上に投影して露光するように構成
されていることを特徴とする投影露光装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001092001A JP2002287029A (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | 投影光学系およびこれを用いた投影露光装置 |
| US10/101,069 US6816236B2 (en) | 2001-03-28 | 2002-03-20 | Projection optical system and projection and light exposure apparatus using it |
| US10/902,954 US6903804B2 (en) | 2001-03-28 | 2004-08-02 | Projection optical system and projection and light exposure apparatus using it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001092001A JP2002287029A (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | 投影光学系およびこれを用いた投影露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002287029A true JP2002287029A (ja) | 2002-10-03 |
| JP2002287029A5 JP2002287029A5 (ja) | 2008-04-03 |
Family
ID=18946533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001092001A Abandoned JP2002287029A (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | 投影光学系およびこれを用いた投影露光装置 |
Country Status (2)
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|---|---|
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| JP (1) | JP2002287029A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8451542B2 (en) | 2010-07-15 | 2013-05-28 | Panasonic Corporation | Zoom lens system, interchangeable lens apparatus and camera system |
| CN105259740A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-01-20 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜 |
| CN108802965A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-11-13 | 桂林电子科技大学 | 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统 |
| CN110927941A (zh) * | 2018-09-19 | 2020-03-27 | 精工爱普生株式会社 | 投射光学系统及投射型图像显示装置 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10328094B4 (de) * | 2003-06-20 | 2006-04-06 | Jos. Schneider Optische Werke Gmbh | Hoch geöffnetes Projektionsobjektiv |
| DE102005024290A1 (de) * | 2005-05-27 | 2006-11-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Abbildungssystem, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage |
| CN100456074C (zh) * | 2007-03-27 | 2009-01-28 | 上海微电子装备有限公司 | 一种对称式双远心投影光学系统 |
| DE102007022895B9 (de) * | 2007-05-14 | 2013-11-21 | Erich Thallner | Vorrichtung zum Übertragen von in einer Maske vorgesehenen Strukturen auf ein Substrat |
| CN100547448C (zh) * | 2007-11-21 | 2009-10-07 | 上海微电子装备有限公司 | 一种投影光学系统及投影曝光装置 |
| KR101553835B1 (ko) * | 2008-12-17 | 2015-09-17 | 삼성전자주식회사 | 대구경 표준 렌즈 |
| CN102200624B (zh) * | 2010-03-23 | 2013-05-22 | 上海微电子装备有限公司 | 光刻投影物镜 |
| DE102010026171A1 (de) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | Carl Zeiss Surgical Gmbh | Digitales Mikroskopiesystem |
| CN104111534B (zh) * | 2014-08-07 | 2016-07-06 | 张家港鹏博光电科技有限公司 | 一种对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法 |
| CN104199173B (zh) * | 2014-09-19 | 2017-06-13 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种单倍率对称式投影曝光物镜 |
| EP3067857A1 (en) * | 2015-03-13 | 2016-09-14 | Thomson Licensing | Method and device for processing a peripheral image |
| CN109991816B (zh) * | 2017-12-29 | 2020-06-16 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种投影物镜光学系统及光刻机 |
| CN110764224B (zh) * | 2018-07-27 | 2020-12-18 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种光刻投影物镜 |
| CN111142337B (zh) * | 2018-11-06 | 2021-04-02 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种投影物镜及曝光系统 |
| JP2021020249A (ja) * | 2019-07-30 | 2021-02-18 | 株式会社リコー | レーザユニットおよびレーザマーカおよびレーザ印字システム |
| CN110865452B (zh) * | 2019-09-29 | 2021-10-15 | 凯迈（洛阳）测控有限公司 | 一种机载中波制冷红外连续变焦光学系统 |
| CN116009222B (zh) * | 2023-02-27 | 2023-06-20 | 杭州光铭光电科技有限公司 | 一种4k双远心机器视觉光学成像系统 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4997265A (en) * | 1988-10-14 | 1991-03-05 | Ricoh Company, Ltd. | Zoom lens for variable power copying apparatus |
| JPH0326648A (ja) | 1989-06-25 | 1991-02-05 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | フィルムの連続処理方法におけるフィルムの脱ピン方法 |
| JP3026648B2 (ja) | 1991-05-09 | 2000-03-27 | 旭光学工業株式会社 | 等倍投影レンズ |
| US5313330A (en) * | 1992-08-31 | 1994-05-17 | U.S. Precision Lens Incorporated | Zoom projection lens systems |
| JPH0868941A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Nikon Corp | 高倍率ズームレンズ |
| JPH116957A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Nikon Corp | 投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法 |
| US6055114A (en) * | 1997-06-18 | 2000-04-25 | Nikon Corporation | Zoom lens optical system |
| JP2000356741A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-26 | Canon Inc | 投影光学系 |
| JP2001091828A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-06 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 画像読取用レンズおよび画像読取装置 |
| JP4101992B2 (ja) * | 1999-11-24 | 2008-06-18 | オリンパス株式会社 | 小型高変倍広角ズームレンズ |
-
2001
- 2001-03-28 JP JP2001092001A patent/JP2002287029A/ja not_active Abandoned
-
2002
- 2002-03-20 US US10/101,069 patent/US6816236B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-08-02 US US10/902,954 patent/US6903804B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8451542B2 (en) | 2010-07-15 | 2013-05-28 | Panasonic Corporation | Zoom lens system, interchangeable lens apparatus and camera system |
| CN105259740A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-01-20 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜 |
| CN108802965A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-11-13 | 桂林电子科技大学 | 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统 |
| CN110927941A (zh) * | 2018-09-19 | 2020-03-27 | 精工爱普生株式会社 | 投射光学系统及投射型图像显示装置 |
| CN110927941B (zh) * | 2018-09-19 | 2021-09-24 | 精工爱普生株式会社 | 投射光学系统及投射型图像显示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US6903804B2 (en) | 2005-06-07 |
| US20020191169A1 (en) | 2002-12-19 |
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