CN108802965A - 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统 - Google Patents

基于机器视觉的高分辨率物方远心系统 Download PDF

Info

Publication number
CN108802965A
CN108802965A CN201810049827.XA CN201810049827A CN108802965A CN 108802965 A CN108802965 A CN 108802965A CN 201810049827 A CN201810049827 A CN 201810049827A CN 108802965 A CN108802965 A CN 108802965A
Authority
CN
China
Prior art keywords
positive lens
lens
distance
object space
telecentric system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810049827.XA
Other languages
English (en)
Inventor
金钊
高兴宇
萧泽新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guilin University of Electronic Technology
Original Assignee
Guilin University of Electronic Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guilin University of Electronic Technology filed Critical Guilin University of Electronic Technology
Priority to CN201810049827.XA priority Critical patent/CN108802965A/zh
Publication of CN108802965A publication Critical patent/CN108802965A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/001Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras
    • G02B13/0015Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras characterised by the lens design
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/06Panoramic objectives; So-called "sky lenses" including panoramic objectives having reflecting surfaces
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/22Telecentric objectives or lens systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公了基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,其特征是,包括从光线入射方向顺序排列的第一正透镜、第二正透镜、第一负透镜、光阑面、第二负透镜、第三正透镜和第四正透镜,所述各透镜、光阑面与物面中心同轴,第一正透镜的顶点到物面的距离为工作距离。这种物方远心系统能有效解决因调焦不准而造成的测量误差问题,并且拥有较大的景深,能够对锚夹片的待测区域进行更大范围的检测,其入瞳在无穷远处,满足远心系统设计要求。

Description

基于机器视觉的高分辨率物方远心系统
技术领域
本发明涉及光学成像技术中机器视觉检测设备,具体是一种基于机器视觉的 高分辨率物方远心系统。
背景技术
伴随着现代社会科学水平的进步,计算机技术与图像处理等算法的发展,机 器视觉技术有了飞速的提高和越发广泛的应用。而随着世界工业4.0的趋势和中 国制造2025计划的提出,机器视觉系统在我国的制造业中将会占有越来越重要 的地位。其中,对产品零件表面缺陷的检测,是机器视觉系统的重点应用之一。
然而,在现代工业生产中,对曲面零件的表面缺陷检测是其中的一个重点和 难点。由于曲面零件形状较为复杂,对其表面图像的获取往往具有一定难度,例 如锚夹片。
针对锚夹片这种形状复杂的曲面零件,传统的缺陷检测方法是依靠人眼。然 而仅凭人眼难以判别复杂背景图案上的缺陷,同时也无法完成高速生产在线检 测。因此,用“机器”来取代人眼,进行表面缺陷检测,已成为现代工业发展的 一个重要趋势。
2010年,桂林电子科技大学的湛滨洲针对锚夹片设计了一套基于机器视觉 的在线检测系统。根据对样品的检测,得到实际检测区域面积为31.2mm× 15.9mm,检测区域深度为7.2mm。另外根据仪器所占空间,物像共轭距在200mm 到500mm。该系统由成像光学系统,照明系统,图像传感器(CCD),PC机,控 制电路和执行部件等机构组成,可以对锚夹片工作面的缺陷进行实时在线检测。
但是,该检测系统的光学部分,仍然存在大量改进空间。其一,该系统的景 深刚刚达到检测标准的8mm,有待进一步提高;其二,在检测系统中,常会因视 差而影响测量精度,而用远心光路系统就可以消除视差对读数的影响。因此,设 计一款更大景深并且能够有效避免因调焦不准而造成误差的成像光学系统,即大 景深远心系统,具有重要的实用意义。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足,而提供一种基于机器视觉的高分辨率 物方远心系统。这种物方远心系统能有效解决因调焦不准而造成的测量误差问 题,并且拥有较大的景深,能够对锚夹片的待测区域进行更大范围的检测,其入 瞳在无穷远处,满足远心系统设计要求。
实现本发明目的的技术方案是:
基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,包括从光线入射方向顺序排列的第 一正透镜、第二正透镜、第一负透镜、光阑面、第二负透镜、第三正透镜和第四 正透镜,所述各透镜、光阑面与物面中心同轴,第一正透镜的顶点到物面的距离 为工作距离。
所述第一正透镜厚度为5.38mm、第二正透镜厚度为5.10mm、第一负透镜厚 度为1.63mm、第二负透镜厚度为7.50mm、第三正透镜厚度为7.50mm、第四正透 镜厚度为7.50mm。
所述第一正透镜到第二正透镜距离为0.52mm;第二正透镜到第一负透镜距 离为2.73mm;第一负透镜到光阑面距离为14.58mm;光阑到第二负透镜距离为 2.55mm;第二负透镜到第三正透镜距离为0.50mm;第三正透镜到第四正透镜距 离为12.30mm;第四正透镜到像面距离为20.69mm。
所述物方远心系统的物方视场为27mm×40mm,像方视场为6.4×4.8mm。
所述物方远心系统的工作距离为350mm,焦距f=53.5mm,数值孔径NA=0.004, 景深为12mm,畸变小于0.5%,这种系统较好地校正了各种像差,系统分辨率达 到87.5lp/mm,拥有较好的分辨能力。
这种系统仅用6片透镜组成,因此生产成本较低,在此基础上,还同时拥有 大视场,高分辨率,大景深和低畸变的优点,成像质量能够满足实际生产检测的 需求。
这种物方远心系统能有效解决因调焦不准而造成的测量误差问题,并且拥有 较大的景深,能够对锚夹片的待测区域进行更大范围的检测,其入瞳在无穷远处, 满足远心系统设计要求。
附图说明
图1为实施例的结构示意图;
图2为实施例中系统的初始结构示意图;
图3(为实施例中系统结构初始参数;
图4为实施例中优化后的物方远心光路结构图;
图5为实施例中系统的入瞳及出瞳图;
图6为实施例中优化后的光学系统赛德尔像差图;
图7为实施例系统的MTF曲线图;
图8为实施例系统的点列图;
图9为实施例系统场曲畸变图;
图10为实施例中后景深为6mm时的点列图;
图11为实施例中后景深为6mm时的MTF图;
图12为实施例中前景深为6mm时的点列图;
图13为实施例中前景深为6mm时的MTF图;
图14为实施例远心系统最终结构参数。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的内容作进一步的阐述,但不是对本发明的 限定。
实施例:
参照图1,基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,包括从光线入射方向顺 序排列的第一正透镜、第二正透镜、第一负透镜、光阑面、第二负透镜、第三正 透镜和第四正透镜,所述各透镜、光阑面与物面中心同轴,第一正透镜的顶点到 物面的距离为工作距离。
所述第一正透镜厚度为5.38mm、第二正透镜厚度为5.10mm、第一负透镜厚 度为1.63mm、第二负透镜厚度为7.50mm、第三正透镜厚度为7.50mm、第四正透 镜厚度为7.50mm。
所述第一正透镜到第二正透镜距离为0.52mm;第二正透镜到第一负透镜距 离为2.73mm;第一负透镜到光阑面距离为14.58mm;光阑到第二负透镜距离为 2.55mm;第二负透镜到第三正透镜距离为0.50mm;第三正透镜到第四正透镜距 离为12.30mm;第四正透镜到像面距离为20.69mm。
所述物方远心系统的物方视场为27mm×40mm,像方视场为6.4×4.8mm。
所述物方远心系统的工作距离为350mm,焦距f=53.5mm,数值孔径NA=0.004, 景深为12mm,畸变小于0.5%,这种系统较好地校正了各种像差,系统分辨率达 到87.5lp/mm,拥有较好的分辨能力。
具体地:
初始结构的构建:
首先,根据锚夹片被测区域尺寸与CCD的尺寸之比(选用6.4mm×4.8mm尺 寸的1/2CCD),得出光学系统的放大倍率为β=-0.160;再考虑到实际的工程需 要,设定物像共轭距为L=450mm,通过物镜焦距计算公式f'=βL/(β-1)2计算得 出光学系统焦距为f'=53.5mm。然后根据系统焦距和要求的放大倍率对光学系统 初始结构进行成比例缩放,最后再根据被测工件的大小设置物方视场,入瞳直径 和工作波长。
在对镜头优化设计的过程中,通常需要考虑几个主要问题:
1)合理的光学结构;
2)优化变量的设定。这需要将各个面的曲率半径,玻璃厚度和透镜之间的 间隙设为变量;
3)几何像差和传递函数的优化。
通过调整各个面的曲率半径,透镜厚度和透镜间的间隙,构建出光学系统的 初始结构,如图2所示。
初始结构的优化:
考虑到实际工程中对锚夹片表面缺陷检测的需要,光学系统需要有较高的分 辨率和较大的景深,同时,为了保证检测精度,对光学系统的畸变要求也比较高, 根据物方远心系统的定义,无论物体的位置在景深范围内发生什么变化,成像的 放大倍率也不会发生变化,因此需要严格控制物面各个视场的主光线与光轴平 行,确保光学系统的远心度。
综合考虑以上问题后,由于初始结构的光学性能满足不了以上条件,必须再 对系统的光学结构进行更进一步的优化,此时将初始结构中的双胶合结构改为双 分结构后进一步优化,将胶合面打开,从而增加了四个变量,两个曲率半径和两 个空气间隙,系统结构参数如图3所示,通过设置各面曲率半径和厚度为变量, 利用ZEMAX的自动优化函数,经过多循环优化调整后的最终结构如图4所示,
ZEMAX软件的入瞳距计算如图5所示,此时系统入瞳距为无穷远,满足远心系统 设计要求。
像质分析:
经过设计优化后,本实施例系统的焦距为53.5mm,物方视场为45mm,物方 数值孔径为0.004,物像共轭距为450mm,工作距离为350mm,系统长度为90mm。
由于实施例采用了近似对称结构,因此能较好的平衡各种垂轴像差。根据被 测工件的实际尺寸,选取的物方物高为0mm,15.65mm和22.35mm,分别对应0 视场,0.7视场和1视场,波长选取了可见光范围的F光(486nm),D光(587nm) 以及C光(656nm),主波长为587mm。
赛德尔像差分析图:
经过ZEMAX软件优化后的光学系统赛德尔像差图如图6所示。从图上可以看 出,系统除了有少许畸变以外,其余的像差都被控制在极小的范围之内。第4 个面的负像散较大,但是由于其他面的补偿,最终像面上各个像差都得到了较好 的平衡。
调制传递函数MTF图分析:
调制传递函数MTF是对光学系统成像质量进行综合评价的函数,它可以全面 反映光学系统的成像性质,图7所示为实施例系统的MTF曲线图,由图中曲线可 以看出,当截止频率设定为50lp/mm时基本可以达到0.2,虽然略有像散,但整 体来说仍然比较均匀,根据分辨率公式Δθ=1.22λ/D计算得出,系统的分辨率 可以达到87.5lp/mm,满足检测系统对高分辨率的要求。
点列图分析:
点列图是用几何光线追迹的方法来评价光学系统的成像质量,它表示来自点 目标的光线在像面上的交点的集中程度和弥散程度,因此,用点列图中点的密集 程度可以衡量系统成像质量的优劣,图8为系统的点列图,从图中可以看出,在 0.7视场和全视场略微有位置色差和彗差,但基本都集中在艾里斑的范围之内, 因此并不影响成像质量,从点列图上来看,系统的成像质量总体来说比较好,可 以满足设计的需求。
场曲畸变分析:
畸变与其他像差不同,仅由轴外物点的主光线光路决定,引起像的变形,但 并不影响成像的清晰度,然而在远心系统中,对畸变有着很高的要求,因此必须 将畸变控制在一定范围之内,如图9所示,由图上可以看出,系统的最大畸变为 0.5%,基本不影响成像质量,满足在线检测的需求。
景深分析:
锚夹片被测区域的表面性质,决定了光学系统需要有足够大的景深,至少需 要大于8mm,通过景深技术公式T=FCL2/(f'2+FCL)+FCL2/(f'2-FCL),式中F为光 圈数,C为容许弥散圆直径,L为工作距离计算得出,本实施例系统的景深为 11.86mm,满足设计需求的8mm最小值。
如图10、11所示,由图10和图11可以看出,当被测物体后移6mm时,点 列图中弥散斑仍然处于艾里斑范围之内,而MTF曲线虽略微有所下降,场曲略微 增大,但成像质量基本不受影响。
同样地,如图12、13所示,由图12和图13可以看出,当被测物体前移6mm 时,像质也依然不受影响。因此,可以得出结论,当被测物体的位置在12mm的 景深范围之内变化时,系统的成像效果依然可以满足设计需求,与理论计算的景 深值一致。

Claims (5)

1.基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,其特征是,包括从光线入射方向顺序排列的第一正透镜、第二正透镜、第一负透镜、光阑面、第二负透镜、第三正透镜和第四正透镜,所述各透镜、光阑面与物面中心同轴,第一正透镜的顶点到物面的距离为工作距离。
2.根据权利要求1所述的基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,其特征是,所述第一正透镜厚度为5.38mm、第二正透镜厚度为5.10mm、第一负透镜厚度为1.63mm、第二负透镜厚度为7.50mm、第三正透镜厚度为7.50mm、第四正透镜厚度为7.50mm。
3.根据权利要求1所述的基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,其特征是,所述第一正透镜到第二正透镜距离为0.52mm;第二正透镜到第一负透镜距离为2.73mm;第一负透镜到光阑面距离为14.58mm;光阑到第二负透镜距离为2.55mm;第二负透镜到第三正透镜距离为0.50mm;第三正透镜到第四正透镜距离为12.30mm;第四正透镜到像面距离为20.69mm。
4.根据权利要求1所述的基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,其特征是,所述物方远心系统的物方视场为27mm×40mm,像方视场为6.4×4.8mm。
5.根据权利要求1所述的基于机器视觉的高分辨率物方远心系统,其特征是,所述物方远心系统的工作距离为350mm,焦距f=53.5mm,数值孔径NA=0.004,景深为12mm,畸变小于0.5%。
CN201810049827.XA 2018-01-18 2018-01-18 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统 Pending CN108802965A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810049827.XA CN108802965A (zh) 2018-01-18 2018-01-18 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810049827.XA CN108802965A (zh) 2018-01-18 2018-01-18 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108802965A true CN108802965A (zh) 2018-11-13

Family

ID=64094653

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810049827.XA Pending CN108802965A (zh) 2018-01-18 2018-01-18 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108802965A (zh)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4908639A (en) * 1988-04-11 1990-03-13 Nikon Corporation Optical system having a variable out-of-focus state
JPH10307255A (ja) * 1997-05-08 1998-11-17 Nikon Corp 高解像結像レンズ系
JP2002122781A (ja) * 2000-10-18 2002-04-26 Nikon Engineering Co Ltd テレセントリック光学系及びそれを備えた投影露光装置
JP2002287029A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Fuji Photo Optical Co Ltd 投影光学系およびこれを用いた投影露光装置
JP2007192973A (ja) * 2006-01-18 2007-08-02 Nikon Corp テレセントリック対物レンズ
CN101900869A (zh) * 2009-05-25 2010-12-01 株式会社理光 成像透镜,照相机装置及携带信息终端装置
WO2013136670A1 (ja) * 2012-03-16 2013-09-19 株式会社ニコン 光学系、光学機器及び光学系の製造方法
CN106415352A (zh) * 2014-09-17 2017-02-15 大族激光科技产业集团股份有限公司 远心光学镜头
CN106680977A (zh) * 2017-03-14 2017-05-17 桂林电子科技大学 用于机器视觉检测的大视场长工作距无畸变复消色差镜头

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4908639A (en) * 1988-04-11 1990-03-13 Nikon Corporation Optical system having a variable out-of-focus state
JPH10307255A (ja) * 1997-05-08 1998-11-17 Nikon Corp 高解像結像レンズ系
JP2002122781A (ja) * 2000-10-18 2002-04-26 Nikon Engineering Co Ltd テレセントリック光学系及びそれを備えた投影露光装置
JP2002287029A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Fuji Photo Optical Co Ltd 投影光学系およびこれを用いた投影露光装置
JP2007192973A (ja) * 2006-01-18 2007-08-02 Nikon Corp テレセントリック対物レンズ
CN101900869A (zh) * 2009-05-25 2010-12-01 株式会社理光 成像透镜,照相机装置及携带信息终端装置
WO2013136670A1 (ja) * 2012-03-16 2013-09-19 株式会社ニコン 光学系、光学機器及び光学系の製造方法
CN104169774A (zh) * 2012-03-16 2014-11-26 株式会社尼康 光学系统、光学设备和用于制造光学系统的方法
CN106415352A (zh) * 2014-09-17 2017-02-15 大族激光科技产业集团股份有限公司 远心光学镜头
CN106680977A (zh) * 2017-03-14 2017-05-17 桂林电子科技大学 用于机器视觉检测的大视场长工作距无畸变复消色差镜头

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN209690601U (zh) 一种线阵镜头
CN102346291B (zh) 一种同轴双远心成像光学系统
JP2018515795A (ja) 透明基板を備えた薄膜の測定装置およびその測定方法
CN108594401A (zh) 一种大靶面定焦机器视觉线阵镜头
CN104360465A (zh) 一种变倍远心镜头
CN108563003A (zh) 远心镜头
CN108627956A (zh) 一种宽工作距离线扫机器视觉镜头
CN107589518A (zh) 光学镜头及具有该光学镜头的激光对中测量设备
CN106767675B (zh) 基于细光束的f-theta测量系统的优化方法
CN208314310U (zh) 一种大靶面定焦机器视觉线阵镜头
CN108710195A (zh) 大靶面机器视觉镜头的光学系统
CN108873274A (zh) 一种大视场双远心镜头
Zavyalov 3D hole inspection using lens with high field curvature
CN109239892B (zh) 一种固定倍率光学检像系统及其成像方法
WO2023098349A1 (zh) 一种光学镜片参数测量装置及方法
CN210862558U (zh) 一种机械零部件轮廓测量装置
CN108802965A (zh) 基于机器视觉的高分辨率物方远心系统
CN111735613A (zh) 四象限探测器镜头的光学质量检测系统
CN206960768U (zh) 一种超大视场的物像双侧远心光学系统
CN112946849B (zh) 一种远心光学系统镜头
JP2010055022A (ja) 累進屈折力レンズの光学性能評価方法
CN109471244B (zh) 一种基于机器视觉的大视场双远心镜头
CN208569170U (zh) 远心镜头
CN114185151A (zh) 一种具有长入瞳距的双波段像方远心扫描物镜
CN204188874U (zh) 一种变倍远心镜头

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination