JP2002237193A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents

不揮発性半導体記憶装置

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JP2002237193A
JP2002237193A JP2001034864A JP2001034864A JP2002237193A JP 2002237193 A JP2002237193 A JP 2002237193A JP 2001034864 A JP2001034864 A JP 2001034864A JP 2001034864 A JP2001034864 A JP 2001034864A JP 2002237193 A JP2002237193 A JP 2002237193A
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Japan
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transistor
node
semiconductor memory
power supply
memory device
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JP2001034864A
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Yoshihide Kai
芳英 甲斐
Atsushi Oba
敦 大庭
Isao Nojiri
勲 野尻
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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    • G11CSTATIC STORES
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    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/26Sensing or reading circuits; Data output circuits
    • G11C16/28Sensing or reading circuits; Data output circuits using differential sensing or reference cells, e.g. dummy cells
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/26Sensing or reading circuits; Data output circuits

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 消費電流の低減、高速動作、高精度を保証す
る不揮発性半導体記憶装置を提供する。 【解決手段】 本発明の不揮発性半導体記憶装置ではメ
モリセルのデータを読み出すためのカレントミラーに対
し、ダイオード接続されるトランジスタM6とカットト
ランジスタM7とを設ける。トランジスタM6によりプ
リチャージ電圧を電源電圧より低くする。トランジスタ
M7により消費電流を低減する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、不揮発性半導体
記憶装置に関し、より特定的には不揮発性メモリセルの
データ読出のための構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の不揮発性半導体記憶装置における
センスアンプ構成について説明する。図14を参照し
て、不揮発性メモリセルMCは、YゲートM5(NMO
Sトランジスタ)を介して検出部50に接続される。
【0003】検出部50は、NMOSトランジスタM
2、インバータI1、PMOSトランジスタM1および
M3、ならびにNMOSダイオードM4を含む。
【0004】インバータI1は、ビット線BLの信号を
反転する。トランジスタM2は、ノードN1とビット線
BLとの間に接続され、ゲートにインバータI1の出力
を受ける。
【0005】トランジスタM1は、電源ノードVccと
ノードN1との間に接続され、ゲートがノードN1と接
続される。トランジスタM3は、電源ノードVccと出
力ノードN2との間に接続され、ゲートがノードN1と
接続される。トランジスタM1およびM3は、カレント
ミラーを構成する。
【0006】NMOSダイオードM4は、ノードN2と
接地電圧を受ける接地電源ノードGNDとの間に接続さ
れる。トランジスタM3を介して流れる検出電流は、N
MOSダイオードM4により電圧に変換される。
【0007】ワード線WLが選択され、ゲート信号YG
によりYゲートM5が閉じると、検出部50により、メ
モリセルMCの電流が検出され、さらに検出電流が電圧
に変換される。検出されたデータ(電圧)は、ノードN
2から出力される。これにより、メモリセルのデータ値
が確定する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記センスアン
プ構成では、ビット線のプリチャージ(充電)期間中ノ
ードN1が0Vと電源電圧Vccとの中間電圧になるた
めトランジスタM3がオンした状態になる。したがっ
て、トランジスタM3およびM4を介して電源ノードV
ccから接地電源ノードGNDに電流が流れるため消費
電流が増大してしまう。
【0009】このようなセンスアンプ構成の改良例とし
て、図15に示すセンスアンプ構成がある。図15にお
いては、ノードN1と電源ノードVccとの間にカット
トランジスタ(PMOSトランジスタ)M6´が接続さ
れている。トランジスタM6´は、制御信号PCに応じ
てオン/オフする。ビット線のプリチャージ期間中、制
御信号PCを“L”にすることで、トランジスタM6´
がオンしノードN1が電源電圧レベルVccになる。ト
ランジスタM6をオンさせると、トランジスタM3がオ
フする。したがって、トランジスタM3およびM4を介
して電流が流れなくなるため、プリチャージ期間での消
費電流を低減することができる。
【0010】しかしながら、プリチャージが完了し制御
信号PCを電源電圧レベルVccにしてトランジスタM
6をオフした後、メモリセルMCが電流を流す状態(記
憶状態)でメモリセルのデータを読出す場合を考える。
このような場合、ノードN1の電圧が電源電圧Vccか
ら読出データが確定する電圧Vsenseになるまでに
時間がかかる。
【0011】したがって、上記センスアンプ構成のみで
は、高速なデータ読出しを行うことはできない。また、
上記センスアンプ構成のみでは、高精度のデータ読出動
作は保証されない。
【0012】そこで本発明は、かかる問題を解決するた
めなされたものであり、その目的は、消費電流の低減、
高速動作、高精度の読出しを可能とする不揮発性半導体
記憶装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】この発明のある局面によ
る不揮発性半導体記憶装置は、不揮発性のメモリセル
と、メモリセル対応のワード線と、メモリセル対応のビ
ット線と、ビット線と接続され、メモリセルの記憶デー
タを検出するための検出部とを備える。検出部は、各々
が電源電圧ノードと接続される、メモリセルの電流を検
出するための第1および第2トランジスタを含むカレン
トミラーと、電源電圧ノードと、第1および第2トラン
ジスタのゲートとの間にダイオード接続されるトランジ
スタと、カレントミラーにより検出された電流を電圧に
変換する電流電圧変換素子とを含む。
【0014】好ましくは、ダイオード接続されるトラン
ジスタにより、第1および第2トランジスタのゲート
は、電源電圧より低い電圧にプリチャージされる。
【0015】特に、検出部は、ダイオード接続されるト
ランジスタと電源電圧ノードとの間に接続されるカット
トランジスタをさらに含む。
【0016】特に、検出部は、第1および第2トランジ
スタのゲートと電源電圧ノードとの間に接続されるバイ
パストランジスタをさらに含む。
【0017】好ましくは、検出部は、ダイオード接続さ
れるトランジスタと電源電圧ノードとの間に接続される
カットトランジスタと、第1および第2トランジスタの
ゲートと電源電圧ノードとの間に接続されるバイパスト
ランジスタとをさらに含み、ビット線のプリチャージ時
間を短縮するようにカットトランジスタと前記バイパス
トランジスタとをオン/オフさせる。
【0018】特に、ビット線のプリチャージ時におい
て、カットトランジスタとバイパストランジスタとをオ
ンした後、カットトランジスタをバイパストランジスタ
より速くオフさせる。
【0019】好ましくは、電流電圧変換素子は、第2ト
ランジスタと記憶データを出力する出力ノードで接続さ
れる。検出部は、電源電圧ノードと第2トランジスタと
の間に接続されるカットトランジスタをさらに含む。も
しくは、検出部は、電流電圧変換素子と接地電源ノード
との間に接続されるカットトランジスタをさらに含む。
【0020】不揮発性のメモリセルと、メモリセル対応
の第1ビット線と、不揮発性のリファレンスセルと、リ
ファレンスセル対応の第2ビット線と、第1カレントミ
ラーを含み、第1ビット線を介してメモリセルの記憶デ
ータを検出するための第1検出部と、第2カレントミラ
ーを含み、第2ビット線を介してリファレンスセルの記
憶データを検出するための第2検出部と、第1検出部の
出力と第2検出部の出力との差を検出することにより前
記メモリセルの記憶データを確定する差動アンプ部とを
備える。第1ビット線と前記第2ビット線とのプリチャ
ージ期間とが異なるように、第1検出部と第2検出部と
は、異なるタイミングで動作する。
【0021】好ましくは、第2カレントミラーの動作期
間は、第1カレントミラーの動作期間より短い。
【0022】特に、第1カレントミラーは、第1および
第2トランジスタを含み、第2カレントミラーは、第3
および第4トランジスタを含む。第1検出部は、第1お
よび第2トランジスタのゲートと第1電源電圧ノードと
の間に接続される第5トランジスタをさらに含み、第3
および第4トランジスタのゲートと第2電源電圧ノード
との間に接続される第6トランジスタをさらに含む。
【0023】好ましくは、差動アンプ部は、第1カレン
トミラーの動作開始タイミングと第2カレントミラーの
動作開始タイミングとの間で動作を開始する。
【0024】特に、差動アンプ部は、第1および第2検
出部の出力の差を出力する差動アンプ回路と、差動アン
プ回路の出力ノードと接続され、メモリセルのデータを
出力するための出力ノードと、出力ノードに接続され、
出力ノードの初期状態を所定の電位に設定するための設
定回路とを含む。初期状態とは、所定の第2カレントミ
ラーが第1カレントミラーよりも先に動作したときに得
られる出力ノードの状態である。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態による
不揮発性半導体記憶装置について図を用いて説明する。
以下において同一または相当部分には同一記号を付しそ
の説明を省略する。
【0026】[第1の実施の形態]第1の実施の形態に
よる不揮発性半導体記憶装置のセンスアンプ構成につい
て、図1を用いて説明する。
【0027】図1を参照して、メモリセルMCは、Yゲ
ート(NMOSトランジスタ)M5を介して検出部10
に接続される。検出部10は、NMOSトランジスタM
2、インバータI1、ならびにPMOSトランジスタM
1およびM3を含む。
【0028】インバータI1は、ビット線BLの信号を
反転する。トランジスタM2は、ノードN1とビット線
BLとの間に接続され、ゲートにインバータI1の出力
を受ける。
【0029】トランジスタM1は、電源ノードVccと
ノードN1との間に接続され、ゲートがノードN1と接
続される。トランジスタM3は、電源ノードVccと出
力ノードN2との間に接続され、ゲートがノードN1と
接続される。
【0030】検出部10はさらに、PMOSトランジス
タM6およびPMOSトランジスタ(カットトランジス
タ)M7、ならびにNMOSダイオードM4を含む。
【0031】トランジスタM6は、ノードN1にダイオ
ード接続される。トランジスタM7は、電源ノードVc
cとトランジスタM6との間に接続され、制御信号PC
2に応じて、電源ノードVccとトランジスタM6との
間の電流経路をカットする。
【0032】NMOSダイオードM4は、ノードN2と
接地電圧を受けるノードGNDとの間に接続される。ト
ランジスタM3を介して流れる検出電流は、NMOSダ
イオードM4により電圧に変換される。
【0033】ワード線WLが選択され、ゲート信号YG
によりYゲートM5が閉じると、検出部10により、メ
モリセルMCの電流が検出され、さらに検出電流が電圧
に変換される。検出されたデータ(電圧)は、ノードN
2から出力される。これにより、メモリセルのデータ値
が確定する。
【0034】センス動作前にビット線をプリチャージす
る際に制御信号PC2を“L”にする。トランジスタM
7がオンする。これにより、トランジスタM6を介して
ノードN1を充電(プリチャージ)する。
【0035】トランジスタM6のしきい値をVthとす
ると、プリチャージ時におけるノードN1の到達電圧は
およそ(Vcc−Vth)となる。
【0036】続いて、制御信号PC2を“H”にして、
プリチャージを完了させ読出しを開始させる(時刻t
1)。このとき、メモリセルMCが、“ON”する場
合、ビット線BLおよびノードN1の電位が下がる。
【0037】ノードN1がある電位Vsenseより下
がったとき、読出データが確定されるとする。
【0038】第1の実施の形態による不揮発性半導体記
憶装置1000の全体構成の一例を、図2に示す。不揮
発性半導体記憶装置1000は、図2に示すように、行
列状に配置される複数のメモリセルMC、行方向に配置
されるワード線WL0,WL1,WL2,…および列方
向に配置されるビット線BL0,BL1,BL2,…を
含むメモリセルアレイMA、アドレスピンADDから外
部アドレス信号を受けるアドレスバッファ100、制御
ピンから外部制御信号(チップイネーブル信号CE♯、
アウトプットイネーブル信号OE♯、ライトイネーブル
信号WE♯等)を受けて内部回路の動作を制御する内部
制御信号を出力する制御回路101、アドレスバッファ
100の出力する内部ロウアドレスをデコードしてメモ
リセルアレイMAの行を選択する行デコーダ102、ア
ドレスバッファ100の出力する内部コラムアドレスを
デコードしてメモリセルアレイMAの列を選択するため
の列デコーダ103、ならびにビット線に対応して設け
られ列デコーダ103の出力によりオンするYゲートY
Gを含む。
【0039】不揮発性半導体記憶装置1000はさら
に、データ入出力ピンDQからデータを受け、またはメ
モリセルアレイMAから読出したデータをデータ入出力
ピンDQに出力するための入出力回路104、およびメ
モリセルからの読出電流を検出して読出データを確定す
るためのセンスアンプ105を含む。上記した検出部1
0およびNMOSダイオードM4は、センスアンプ10
5に含まれる。
【0040】不揮発性半導体記憶装置1000の動作に
ついて、図3を用いて説明する。時刻t10〜t14
が、データの読出期間である。時刻t10で制御信号C
E♯,OE♯がLレベルになる。時刻t10,t11,
t12,t13でアドレスピンADDから選択アドレス
が入力される。ワード線WLおよびYゲートYGの選択
に応じて、メモリセルのデータが外部に出力される。
【0041】ここで、図15に示す従来の構成と、第1
の実施の形態による構成とでの読出時間の差について、
図4を用いて説明する。図4を参照して、Aは、ノード
N1を電源電圧レベルVccにまでプリチャージした場
合(図15に対応)における読出時のノードN1の変化
を、Bは、第1の実施の形態によりノードN1を(Vc
c−Vth)までプリチャージした場合における読出時
のノードN1の変化をそれぞれ表している。
【0042】従来の構成では(A)、ノードN1は、セ
ンス動作開始前に電源電圧レベルVccになる。そし
て、読出開始(時刻t1)とともに、ノードN1の電圧
が低下していく。一方、第1の実施の形態による構成で
は(B)、ノードN1は、センス動作開始前に(Vcc
−Vth)レベルになる。Bのほうが、Aよりもプリチ
ャージ時の到達電圧が電圧Vsenseにより近い。
【0043】したがって、ノードN1の電圧が読出デー
タが確定するための電圧Vsenseを横切る時間は、
Bの方がAよりも速い。したがって、第1の実施の形態
による構成を用いることにより、データを高速に読出す
ことができる。
【0044】[第2の実施の形態]第2の実施の形態に
よる不揮発性半導体記憶装置のセンスアンプ構成につい
て、図5を用いて説明する。
【0045】図5を参照して、メモリセルMCは、Yゲ
ートM5を介して検出部12に接続される。検出部12
は、NMOSトランジスタM2、インバータI1、トラ
ンジスタM1およびM3、およびNMOSダイオードM
4を含む。
【0046】検出部12はさらに、PMOSトランジス
タM6、PMOSトランジスタ(カットトランジスタ)
M7およびPMOSトランジスタ(バイパストランジス
タ)M8を含む。
【0047】トランジスタM6は、ノードN1にダイオ
ード接続される。トランジスタM7は、電源ノードVc
cとトランジスタM6との間に接続され、制御信号PC
2に応じて、電源VccとトランジスタM6との間の経
路をカットする。
【0048】トランジスタM8は、電源ノードVccと
ノードN1との間に接続され、ゲートに制御信号PC1
に応じてオン/オフする。
【0049】トランジスタM3を介して流れる検出電流
は、NMOSダイオードM4で電圧に変換される。検出
されたデータ(電圧)は、ノードN2から出力される。
【0050】センス動作前にビット線をプリチャージす
る際に制御信号PC2を“L”にする。トランジスタM
7がオンする。トランジスタM6を介してノードN1を
プリチャージする。これにより、第1の実施の形態と同
様、高速なデータ読出しが可能になる。
【0051】同じく、センス動作前にビット線をプリチ
ャージする際に制御信号PC1を“L”にする。トラン
ジスタM8がオンする。トランジスタM8を介してノー
ドN1をVccレベルにプリチャージする。ノードN1
がVccレベルになると、トランジスタM3がオフし、
トランジスタM3およびM4を電流が流れなくなる。こ
れにより、ビット線のプリチャージ期間における消費電
流を低減できる。
【0052】[第3の実施の形態]第3の実施の形態で
は、第2の実施の形態による不揮発性半導体記憶装置の
制御手法の一例について説明する。図6は、制御信号P
C1およびPC2のタイミングを、図7はノードN1の
電位の変化をそれぞれ示している。
【0053】図6を参照して、時刻t1〜t2で制御信
号PC1およびPC2を“L”にして、ノードN1をト
ランジスタM6およびM8を用いてプリチャージする。
期間(t2‐t1)は、ノードN1が(Vcc−Vt
h)を超えない範囲とする。
【0054】時刻t2〜t3で、制御信号PC1のみを
“H”にする。ノードN1をトランジスタM6でプリチ
ャージする。時刻t3で制御信号PC2を“H”にし
て、プリチャージを完了する。
【0055】図7を参照して、プリチャージ時における
ノードN1の電位の変化について説明する。図7におい
て、Cは、第3の実施の形態によるノードN1の電位の
変化を、Dは、第1の実施の形態によるノードN1の電
位の変化を表している。
【0056】第3の実施の形態では、時刻t1〜t2の
間に、トランジスタM8およびM6によってノードN1
のプリチャージを加速している。したがって、ノードN
1が所望の到達電圧(Vcc−Vth)になるまでの時
間が大幅に短縮される。この結果、より高速なデータの
読出しを実現することが可能になる。
【0057】[第4の実施の形態]第4の実施の形態に
よる不揮発性半導体記憶装置のセンスアンプ構成につい
て、図8を用いて説明する。
【0058】図8を参照して、メモリセルMCは、Yゲ
ートM5を介して検出部14に接続される。検出部14
は、NMOSトランジスタM2、インバータI1、PM
OSトランジスタM1,M3,M6,M7,M9、およ
びNMOSダイオードM4を含む。
【0059】トランジスタM1は、電源ノードVccと
ノードN1との間に接続され、トランジスタM3は、ト
ランジスタM9と出力ノードN2との間に接続される。
【0060】トランジスタ(カットトランジスタ)M9
は、制御信号CUTに応じて、電源ノードVccからト
ランジスタM3への電流経路を遮断する。
【0061】トランジスタM6は、ノードN1にダイオ
ード接続される。トランジスタ(カットトランジスタ)
M7は、電源ノードVccとトランジスタM6との間に
接続され、制御信号PC2に応じて、電源Vccとトラ
ンジスタM6との間の電流経路をカットする。
【0062】トランジスタM3を介して流れる検出電流
は、NMOSダイオードM4で電圧に変換される。検出
されたデータ(電圧)は、ノードN2から出力される。
【0063】センス動作前にビット線をプリチャージす
る際に制御信号PC2を“L”にする。トランジスタM
7がオンする。トランジスタM6を介してノードN1を
プリチャージする。これにより、第1の実施の形態と同
様、高速なデータ読出しが可能になる。
【0064】同じく、センス動作前にビット線をプリチ
ャージする際に制御信号CUTを“H”にする。トラン
ジスタM9がオフする。トランジスタM3およびM4を
通過する電流が無くなる。この結果、プリチャージ期間
中の消費電流が低減できる。
【0065】[第5の実施の形態]第5の実施の形態に
よる不揮発性半導体記憶装置のセンスアンプ構成につい
て、図9を用いて説明する。
【0066】図9を参照して、メモリセルMCは、Yゲ
ートM5を介して検出部16に接続される。検出部16
は、NMOSトランジスタM2、インバータI1、トラ
ンジスタM1,M3、PMOSトランジスタM6,M
7、NMOSトランジスタM10、およびNMOSダイ
オードM4を含む。
【0067】トランジスタM7は、制御信号PC2に応
じて、ノードN1にダイオード接続されるトランジスタ
M6と電源ノードVccとの間の電流の流れを制御す
る。
【0068】ノードN2と接地電圧を受けるノードGN
Dとの間には、検出電流を電圧に変換するNMOSダイ
オードM4とNMOSトランジスタ(カットトランジス
タ)M10とを接続する。トランジスタM10は、制御
信号CUTを反転した制御信号/CUTに応じて電流経
路を遮断する。
【0069】センス動作前にビット線をプリチャージす
る際に制御信号/CUTを“L”にする。トランジスタ
M10がオフするため、トランジスタM3およびM4を
通過する電流が無くなる。この結果、プリチャージ期間
中の消費電流が低減できる。
【0070】[第6の実施の形態]第6の実施の形態に
よる不揮発性半導体記憶装置のセンスアンプ構成につい
て、図10を用いて説明する。
【0071】図10を参照して、第6の実施の形態によ
る不揮発性半導体記憶装置は、メモリセル(データセ
ル)側に配置される検出部30、リファレンスセル側に
配置される検出部32、および差動アンプ部34を含
む。
【0072】メモリセルMC1は、Yゲート(NMOS
トランジスタ)YG1を介して検出部30に接続され
る。
【0073】検出部30は、NMOSトランジスタM2
a、インバータI1a、PMOSトランジスタM1aお
よびM3a、ならびにNMOSダイオードM4aを含
む。
【0074】インバータI1aの入力ノードは、メモリ
セルMC1のビット線BLARYと接続される。トラン
ジスタM2aは、ノードN1aとビット線BLARYと
の間に接続され、ゲートにインバータI1aの出力を受
ける。トランジスタM1aは、電源ノードVccとノー
ドN1aとの間に接続され、ゲートがノードN1aと接
続される。トランジスタM3aは、電源ノードVccと
出力ノードSENSEARYとの間に接続され、ゲート
がノードN1aと接続される。トランジスタM1aおよ
びM3aは、カレントミラーを構成する。
【0075】NMOSダイオードM4aは、接地電源ノ
ードGNDと出力ノードSENSEARYとの間に接続
さる。トランジスタM3aを介して流れる検出電流は、
NMOSダイオードM4aにより電圧に変換される。
【0076】検出部30はさらに、PMOSトランジス
タ(カットトランジスタ)M7aを含む。トランジスタ
M7aは、電源ノードVccとノードN1aとの間に接
続される。トランジスタM7aは、制御信号PCARY
に応答してオン/オフする。
【0077】リファレンスセルMC2は、Yゲート(N
MOSトランジスタ)YG2を介して検出部32に接続
される。
【0078】検出部32は、NMOSトランジスタM2
b、インバータI1b、PMOSトランジスタM1bお
よびM3b、ならびにNMOSダイオードM4bを含
む。
【0079】インバータI1bの入力ノードは、リファ
レンスセルMC2のビット線BLREFと接続される。
トランジスタM2bは、ノードN1bとビット線BLR
EFとの間に接続され、ゲートにインバータI1bの出
力を受ける。トランジスタM1bは、電源ノードVcc
とノードN1bとの間に接続され、ゲートがノードN1
bと接続される。トランジスタM3bは、電源ノードV
ccと出力ノードSENSEREFとの間に接続され、
ゲートがノードN1bと接続される。トランジスタM1
bおよびM3bは、カレントミラーを構成する。
【0080】NMOSダイオードM4bは、接地電源ノ
ードGNDと出力ノードSENSEREFとの間に接続
さる。トランジスタM3bを介して流れる検出電流は、
NMOSダイオードM4bにより電圧に変換される。
【0081】検出部32はさらに、PMOSトランジス
タ(カットトランジスタ)M7bを含む。トランジスタ
M7bは、電源ノードVccとノードN1bとの間に接
続される。トランジスタM7bは、制御信号PCREF
に応答してオン/オフする。
【0082】ワード線WLARLが選択され、ゲート信
号YGARLによりYゲートYG1が閉じると、検出部
30により、メモリセルMC1の電流が検出され、さら
に検出電流が電圧に変換される。検出されたデータ(電
圧)は、ノードSENSEARYから出力される。
【0083】ワード線WLREFが選択され、ゲート信
号YGREFによりYゲートYG2が閉じると、検出部
32により、リファレンスセルMC2の電流が検出さ
れ、さらに検出電流が電圧に変換される。検出されたデ
ータ(電圧)は、ノードSENSEREFから出力され
る。
【0084】差動アンプ部34は、差動アンプ回路3
6、インバータI3、NMOSトランジスタM19,M
20,M22、PMOSトランジスタM21を含む。
【0085】差動アンプ回路36は、PMOSトランジ
スタM13,M15,M17およびNMOSトランジス
タM14,M16,M18を含む。トランジスタM14
は、ノードN3とノードN4との間に接続され、ゲート
がノードSENSEARYと接続される。トランジスタ
M18は、ノードDIFとノードN4との間に接続さ
れ、ゲートがノードSENSEREFと接続される。ノ
ードN4と接地電源ノードGNDとの間にはゲートに制
御信号IREFを受けるトランジスタM16が接続され
る。
【0086】トランジスタ15は、電源ノードVccと
ノードN3との間に接続され、トランジスタM17は、
電源ノードVccとノードDIFとの間に接続される。
トランジスタ15および17のゲートは、ノードN3と
接続される。
【0087】トランジスタM13は、電源ノードVcc
とノートN3との間に接続され、ゲートに制御信号LO
GIREFを受ける。トランジスタM13は、制御信号
LOGIREFに応じてオン/オフする。
【0088】インバータI3は、制御信号LOGIRE
Fを反転する。トランジスタM19は、ノードDIFと
接地電源ノードGNDとの間に接続され、ゲートにイン
バータI3の出力を受ける。制御信号LOGIREFに
応じて、ノードDIFが接地電圧レベルGNDになる。
【0089】トランジスタM21は、電源ノードVcc
と出力ノードSAOUTとの間に接続され、ゲートにノ
ードDIFの信号を受ける。トランジスタM22は、出
力ノードSAOUTとトランジスタM20との間に接続
され、ゲートにノードDIFの信号を受ける。トランジ
スタM20は、トランジスタM22と接地電源ノードG
NDとの間に接続され、ゲートに制御信号LOGIRE
Fを受ける。
【0090】第6の実施の形態による不揮発性半導体記
憶装置2000の全体構成の概要について、図11を用
いて説明する。第6の実施の形態による不揮発性半導体
記憶装置2000は、図11に示すように、行列状に配
置される複数のメモリセルMC、行方向に配置されるワ
ード線WL0,WL1,WL2,…および列方向に配置
されるビット線BL0,BL1,BL2,…を含むメモ
リセルアレイMA、アドレスピンADDから外部アドレ
ス信号を受けるアドレスバッファ100、制御ピンから
外部制御信号(チップイネーブル信号CE♯、アウトプ
ットイネーブル信号OE♯、ライトイネーブル信号WE
♯等)を受けて内部回路の動作を制御する内部制御信号
を出力する制御回路101、アドレスバッファ100の
出力する内部ロウアドレスをデコードしてメモリセルア
レイMAの行を選択する行デコーダ102、アドレスバ
ッファ100の出力する内部コラムアドレスをデコード
してメモリセルアレイMAの列を選択するための列デコ
ーダ103、ならびにビット線に対応して設けられ列デ
コーダ103の出力によりオンするYゲートYGを含
む。
【0091】不揮発性半導体記憶装置1000はさら
に、データ入出力ピンDQからデータを受け、またはメ
モリセルアレイMAから読出したデータをデータ入出力
ピンDQに出力するための入出力回路104、およびメ
モリセルの読出データを確定するためのセンスアンプ2
05、リファレンスセルRMC、リファレンスセルRM
C対応のワード線WLR、リファレンスセルRMC対応
のビット線BL、リファレンスセル対応のビット線BL
とセンスアンプ205とを接続するためのYゲートYG
R、およびYゲートYGRおよびワード線WLRの選択
を制御する制御回路206を含む。
【0092】不揮発性半導体記憶装置2000の動作の
概要について、図12を用いて説明する。時刻t10〜
t14が、データの読出期間である。時刻t10で制御
信号CE♯,OE♯がLレベルになる。時刻t10,t
11,t12,t13でアドレスピンADDから選択ア
ドレスが入力される。データセル側のワード線WLおよ
びYゲートYGの選択、ならびにリファレンスセル側の
ワード線WLRおよびYゲートYGRの選択に応じて、
メモリセルのデータが外部に出力される。
【0093】次に、第6の実施の形態による不揮発性半
導体記憶装置の制御手法について、図13を用いて説明
する。時刻tAにおいて、ワード線WLREFおよびW
LARYを立ち上げ、YゲートYGREFおよびYGA
RYをオンする。
【0094】時刻tAにおいて、制御信号PCREFと
PCARYとを“L”レベルにして、リファレンス側の
ビット線BLREFとデータセル側のビット線BLAR
Yとのプリチャージを開始する。
【0095】時刻tBにおいて、制御信号PCREFを
“H”レベルにして、ビット線BLREFのプリチャー
ジを終了させ、リファレンス側の検出部32を動作させ
る。制御信号PCARYは、Lレベルのままである。
【0096】時刻tBからある期間経った時刻tCにお
いて、制御信号IREF,LOGIREFを“H”レベ
ルにして、差動アンプ部34を動作させる。
【0097】時刻tDにおいて、制御信号PCARYを
“H”レベルにして、ビット線BLARYのプリチャー
ジを終了させ、データセル側の検出部30を動作させ
る。
【0098】一般的に、リファレンスセルは、データセ
ルが含まれるメモリセルアレイほどに大きなアレイ内に
存在しない。したがって、リファレンスセル対応のビッ
ト線の負荷は、データセル対応のビット線の負荷に比べ
て小さい。このため、リファレンスセル対応のビット線
へのプリチャージ期間は、データセル対応のビット線へ
のプリチャージ期間より短くてもよい。
【0099】そこで、第6の実施の形態では、リファレ
ンス側のビット線のプリチャージ期間を短くする。これ
により、リファレンス側のデータを先に確定させること
により、スイッチングによる読出データの変化を防止す
ることができる。
【0100】また、第6の実施の形態では、差動アンプ
部34の動作タイミングをリファレンス側カレントミラ
ー動作の開始タイミング(tB)とデータセル側カレン
トミラー動作の開始タイミング(tD)との間(tC)
とする。
【0101】時刻tBとtCとの間では、ノードDIF
はトランジスタM19により接地電位レベルGNDであ
り、時刻tCとtDとの間ではノードDIFはトランジ
スタM16とM18とにより接地電位レベルGNDにな
る。
【0102】したがって、時刻tCの前後では、ノード
DIFは接地電位の状態を保つのでスイッチングによる
余計な電圧変化を防ぐことができる。
【0103】このように第6の実施の形態によるとセン
スアンプ構成において動作タイミングを調整することに
より消費電流を低減することが可能になる。
【0104】[第7の実施の形態]第7の実施の形態に
よる不揮発性半導体記憶装置のセンスアンプ構成につい
て説明する。第7の実施の形態による不揮発性半導体記
憶装置の構成は、第6の実施の形態と同じである。
【0105】第7の実施の形態では、差動アンプ部34
によるセンス動作において、差動アンプの初期状態を、
リファレンス側の検出部32がデータセル側の検出部3
0より先に動作したときと同じとする。
【0106】図10,図13を参照して、リファレンス
側の検出部32がデータセル側の検出部30より先に動
作したとき、ノードDIFは、トランジスタM16、M
18によって接地電位レベルGNDにある(状態Xとす
る)。第7の実施の形態においては、リファレンス側検
出部32およびデータセル側検出部30がともに動作し
ていない時刻tA以前または時刻tE以降においても、
ノードDIFを接地電位GND(状態X)となるように
ノードDIFの電位を制御する。具体的には、トランジ
スタM19により、ノードDIFの電位を制御する。
【0107】これにより、時刻tDでデータセル側の検
出部30が動作して差動センスするとき以外はノードD
IFは接地電位レベルGNDであり、出力SAOUTは
“H”レベル(一定)にある。したがって、スイッチン
グによる余計な電圧変化がなく消費電流を低減させ、無
駄なアクセスタイムを生じないようにすることができ
る。
【0108】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【0109】
【発明の効果】以上のように、本発明による不揮発性半
導体記憶装置によれば、ダイオード接続されるトランジ
スタによりビット線をプリチャージすることで、データ
の読出し時間を短縮することができる。また、カットト
ランジスタを備えることで、消費電流を低減することが
できる。
【0110】また、本発明による不揮発性半導体記憶装
置によれば、差動アンプによりデータセルとリファレン
スセルとのデータの差を検出する際、ビット線間のプリ
チャージ期間に差を設けてリファレンス側のデータを先
に確定させる。これにより、スイッチングによる消費電
流の増大を防ぎ、高速に正確なデータを読出すことがで
きる。
【0111】また、差動アンプを、データセル側のカレ
ントミラーの動作開始タイミングとリファレンス側のカ
レントミラーの動作開始タイミングとの間で動作させ
る。これにより、スイッチングによる消費電流の増大を
防ぐことができる。
【0112】また、本発明による不揮発性半導体記憶装
置によれば、差動アンプの出力ノードの初期状態を制御
することにより、出力ノードの無駄な電圧変化を抑える
ことができる。これにより、消費電流の低減および高速
動作が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置のセンスアンプ構成について説明するための図であ
る。
【図2】 第1の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置1000の全体構成の一例を示す図である。
【図3】 第1の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置1000の動作の概要について説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図4】 第1の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置の読出速度について説明するための図である。
【図5】 第2の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置のセンスアンプ構成について説明するための図であ
る。
【図6】 第3の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置の制御について説明するためのタイミングチャート
である。
【図7】 第3の実施の形態における不揮発性半導体記
憶装置の読出速度について説明するための図である。
【図8】 第4の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置のセンスアンプ構成について説明するための図であ
る。
【図9】 第5の実施の形態による不揮発性半導体記憶
装置のセンスアンプ構成について説明するための図であ
る。
【図10】 第6の実施の形態による不揮発性半導体記
憶装置のセンスアンプ構成について説明するための図で
ある。
【図11】 第6の実施の形態による不揮発性半導体記
憶装置2000の全体構成の一例を示す図である。
【図12】 第6の実施の形態による不揮発性半導体記
憶装置2000の動作の概要について説明するためのタ
イミングチャートである。
【図13】 第6の実施の形態による不揮発性半導体記
憶装置の制御について説明するためのタイミングチャー
トである。
【図14】 従来の不揮発性半導体記憶装置のセンスア
ンプ構成の一例について説明するための図である。
【図15】 従来の不揮発性半導体記憶装置のセンスア
ンプ構成の一例について説明するための図である。
【符号の説明】
10,12,14,16,30,32 検出部、34
差動アンプ部、36差動アンプ回路、100 アドレス
バッファ、101,206 制御回路、102 行デコ
ーダ、103 列デコーダ、104 入出力回路、10
5,205センスアンプ、YG,M5 Yゲート、M
C,MC1 メモリセル、MC2,RMC リファレン
スセル、MA メモリセルアレイ、1000,2000
不揮発性半導体記憶装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野尻 勲 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 5B025 AA03 AB01 AC01 AD06 AD11 AE05 AE06 AE08

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 不揮発性のメモリセルと、 前記メモリセル対応のワード線と、 前記メモリセル対応のビット線と、 前記ビット線と接続され、前記メモリセルの記憶データ
    を検出するための検出部とを備え、 前記検出部は、 各々が電源電圧ノードと接続される、前記メモリセルの
    電流を検出するための第1および第2トランジスタを含
    むカレントミラーと、 前記電源電圧ノードと、前記第1および第2トランジス
    タのゲートとの間にダイオード接続されるトランジスタ
    と、 前記カレントミラーにより検出された電流を電圧に変換
    する電流電圧変換素子とを含む、不揮発性半導体記憶装
    置。
  2. 【請求項2】 前記ダイオード接続されるトランジスタ
    により、前記第1および第2トランジスタのゲートは、
    電源電圧より低い電圧にプリチャージされる、請求項1
    に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記検出部は、 前記ダイオード接続されるトランジスタと前記電源電圧
    ノードとの間に接続されるカットトランジスタをさらに
    含む、請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記検出部は、 前記第1および第2トランジスタのゲートと前記電源電
    圧ノードとの間に接続されるバイパストランジスタをさ
    らに含む、請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記検出部は、 前記ダイオード接続されるトランジスタと前記電源電圧
    ノードとの間に接続されるカットトランジスタと、 前記第1および第2トランジスタのゲートと前記電源電
    圧ノードとの間に接続されるバイパストランジスタとを
    さらに含み、 前記ビット線のプリチャージ時間を短縮するように前記
    カットトランジスタと前記バイパストランジスタとをオ
    ン/オフさせる、請求項2に記載の不揮発性半導体記憶
    装置。
  6. 【請求項6】 前記ビット線のプリチャージ時におい
    て、前記カットトランジスタと前記バイパストランジス
    タとをオンした後、前記カットトランジスタを前記バイ
    パストランジスタより速くオフさせる、請求項5に記載
    の不揮発性半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 前記電流電圧変換素子は、前記第2トラ
    ンジスタと前記記憶データを出力する出力ノードで接続
    され、 前記検出部は、 前記電源電圧ノードと前記第2トランジスタとの間に接
    続されるカットトランジスタをさらに含む、請求項2に
    記載の不揮発性半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記電流電圧変換素子は、前記第2トラ
    ンジスタと前記記憶データを出力する出力ノードで接続
    され、 前記検出部は、 前記電流電圧変換素子と接地電源ノードとの間に接続さ
    れるカットトランジスタをさらに含む、請求項2に記載
    の不揮発性半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 不揮発性のメモリセルと、 前記メモリセル対応の第1ビット線と、 不揮発性のリファレンスセルと、 前記リファレンスセル対応の第2ビット線と、 第1カレントミラーを含み、前記第1ビット線を介して
    前記メモリセルの記憶データを検出するための第1検出
    部と、 第2カレントミラーを含み、前記第2ビット線を介して
    前記リファレンスセルの記憶データを検出するための第
    2検出部と、 前記第1検出部の出力と前記第2検出部の出力との差を
    検出することにより前記メモリセルの記憶データを確定
    する差動アンプ部とを備え、 前記第1ビット線と前記第2ビット線とのプリチャージ
    期間とが異なるように、前記第1検出部と前記第2検出
    部とを異なるタイミングで動作させる、不揮発性半導体
    記憶装置。
  10. 【請求項10】 前記第2カレントミラーの動作期間
    は、前記第1カレントミラーの動作期間より短い、請求
    項9に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 前記第1カレントミラーは、 第1および第2トランジスタを含み、 前記第2カレントミラーは、 第3および第4トランジスタを含み、 前記第1検出部は、 前記第1および第2トランジスタのゲートと第1電源電
    圧ノードとの間に接続される第5トランジスタをさらに
    含み、 前記第3および第4トランジスタのゲートと第2電源電
    圧ノードとの間に接続される第6トランジスタをさらに
    含む、請求項10に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 前記差動アンプ部は、 前記第1カレントミラーの動作開始タイミングと前記第
    2カレントミラーの動作開始タイミングとの間で動作を
    開始する、請求項10に記載の不揮発性半導体記憶装
    置。
  13. 【請求項13】 前記差動アンプ部は、 前記第1および第2検出部の出力の差を出力する差動ア
    ンプ回路と、 前記差動アンプ回路の出力ノードと接続され、前記メモ
    リセルの記憶データを出力するための出力ノードと、 前記出力ノードに接続され、前記出力ノードの初期状態
    を所定の電位に設定するための設定回路とを含む、請求
    項9に記載の不揮発性半導体記憶装置。
  14. 【請求項14】 前記初期状態とは、前記所定の前記第
    2カレントミラーが前記第1カレントミラーよりも先に
    動作したときに得られる前記出力ノードの状態である、
    請求項13に記載の不揮発性半導体記憶装置。
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