JP2002234747A - 半球ドーム状石英ガラス製品の製造方法と製造装置 - Google Patents
半球ドーム状石英ガラス製品の製造方法と製造装置Info
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- C03B2215/05—Press-mould die materials
- C03B2215/07—Ceramic or cermets
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- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】半球ドーム状の石英ガラス製品は、小型品につ
いては石英ガラス管を丸く封じて製造するのでチャンバ
ーの頂部の肉厚が薄くなる傾向があり、一方大型品につ
いては、研削や摺り加工の工数が膨大なものとなり、製
造コストと品質の両面で製造方法の改善が望まれてい
る。 【解決手段】本発明における第一の解決手段は、カーボ
ン下型のみにて成形するものであり、カーボン下型の全
面少なくとも底面付近に細い貫通孔を適当数量明けるか
或いはカーボン下型の材質を多孔質体を採用することに
より成形途中でカーボン下型底部の雰囲気ガスが閉じ込
められる現象を排除し精度よい球面形状を形成すること
が可能となる。第二の解決手段は、円状に切抜加工した
石英ガラス平板をカーボン下型に置き、不活性雰囲気中
で軟化温度以上に加熱した後、成形室にカーボン下型毎
自動的に移送した後、例えばエアーシリンダーによりカ
ーボン上型を所定圧力にて圧下させて押圧成形すること
により、生産性よく連続的に成形するものである。
いては石英ガラス管を丸く封じて製造するのでチャンバ
ーの頂部の肉厚が薄くなる傾向があり、一方大型品につ
いては、研削や摺り加工の工数が膨大なものとなり、製
造コストと品質の両面で製造方法の改善が望まれてい
る。 【解決手段】本発明における第一の解決手段は、カーボ
ン下型のみにて成形するものであり、カーボン下型の全
面少なくとも底面付近に細い貫通孔を適当数量明けるか
或いはカーボン下型の材質を多孔質体を採用することに
より成形途中でカーボン下型底部の雰囲気ガスが閉じ込
められる現象を排除し精度よい球面形状を形成すること
が可能となる。第二の解決手段は、円状に切抜加工した
石英ガラス平板をカーボン下型に置き、不活性雰囲気中
で軟化温度以上に加熱した後、成形室にカーボン下型毎
自動的に移送した後、例えばエアーシリンダーによりカ
ーボン上型を所定圧力にて圧下させて押圧成形すること
により、生産性よく連続的に成形するものである。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、半導体製造等に使用さ
れるプラズマエッチング装置において使用せられる透明
石英ガラス製の半球ドーム状チャンバーをその一例とす
る半球状の石英ガラス製品を製造するに際して、素材と
する半球ドーム状石英ガラス製品を成形加工により製造
することに関する。 【０００２】 【従来の技術】シリコン半導体の製造工程において、シ
リコン基板上に形成される酸化シリコン膜や金属膜を選
択的にエッチングする場合、励起源としてプラズマとし
てエッチングする方式が広く普及している。 【０００３】この場合、半球状の透明石英ガラス製のチ
ャンバーが広く用いられる。 【０００４】半球状の透明石英製チャンバーの製造方法
としては、現在主に以下の２つの方法が一般的である。 【０００５】第一の方法は、目的とする半球状チャンバ
ーの曲率同程度の曲率を有する石英ガラス管の先端を酸
水素バーナーにて丸く封じ、丸く封じた先端部を切り出
し、必要に応じて内面外面を研削ないしは遊離砥粒によ
り摺り加工を行い半透明の半球状チャンバーを得た後、
さらに酸水素バーナーにて表面を加熱することにより透
明のチャンバーを得る方法である。 【０００６】第二の方法は、あらかじめ所望の曲率に成
形した小サイズの石英ガラス板を同じく所望の曲率に球
面加工したカーボン台に配置して酸水素バーナーにて小
サイズの石英ガラス板同士を溶接して概略球面形状品を
形成後、内面外面を研削ないしは遊離砥粒により摺り加
工することにより半透明の半球状チャンバーを得た後、
さらに酸水素バーナーにて表面を加熱することにより透
明のチャンバーを得る方法である。 【０００７】曲率の小さい小型品では前者、曲率の大き
い大型品例えば１２インチウェハー処理用では後者の方
法に依る場合が一般的である。 【０００８】 【解決すべき課題】上記のように従来の方法では、小型
品においては、石英ガラス管を丸く封じて製造するので
チャンバーの頂部の肉厚が薄くなる傾向があり、大型品
においては、研削や摺り加工の工数が膨大なものとな
り、製造コストと品質の両面で製造方法の改善が望まれ
ている。 【０００９】低コストの製造方法については実は開発が
されており、半球状の石英ガラス製品を成形する方法に
ついてはすでに特許も出願されている。例えば、特開平
８−２９５５２２においては、図１のように雌型１上に
石英ガラス円板２を載せ、さらにその上に雄型３を載せ
て温度を上げることで押圧成形されるとしている。 【００１０】しかしながら、特開平８−２９５５２２に
示されている実施例では、石英ガラス円板２の上に半球
状の雄型３を載せた状態でセットする為、成形前の状態
は不安定であり、成形後製品を取り出すにはまず雄型を
外す必要があることもあり生産性は低いものと思われ、
実用的ではない。 【００１１】 【課題を解決するための手段】以上のような課題を解決
するため、成形により半球ドーム状の石英ガラス製品を
低コストで製造する実用的な方法が本発明である。 【００１２】以下に示す２つの方法により、低コストで
製造する実用的な方法が実現できる。 【００１３】第一の方法は、上型を用いず、下型に石英
ガラス板が自重のみで変形して所望の形状を実現する考
え方であり概略図を図２に示す。 【００１４】本発明は、あらかじめ円状に切り抜き加工
された石英ガラス平板４を、所望の半球ドーム状の石英
ガラス製品の外面曲率に等しい内面曲率を有するカーボ
ン下型５の内面にふたをするように置き、電気炉６にて
不活性雰囲気中で軟化温度以上に加熱することにより半
球ドーム状の石英ガラス製品の製造方法に関する課題が
解決できる。 【００１５】すなわち、従来の方法において大型品にお
いて課題であった後工程である研削・摺り加工の負荷が
大幅に軽減され、小型品において課題であった頂部の肉
厚が薄くなる現象も解決できる。加えて特開平８−２９
５５２２において指摘した成形前の雄型がセットされた
状態におけるような不安定な状況も現出しない。 【００１６】この際、石英ガラス平板４は、電気炉６中
にて加熱されるに従い、粘性が低下し、カーボン下型５
の内面をしだいに垂れるようにしてカーボン下型５の内
面に沿って変形が進行し、球状を呈する。 【００１７】さらに温度を上げ続けると、さらにガラス
の粘性は低下し重力によりガラスが流動化するため、得
られた半球状の底面側は肉が厚くなり、逆に上側は肉が
薄くなる現象が認められる。 【００１８】また、加熱温度が低いと、図３のようにガ
ラスの粘性は大きいままのためカーボン型に十分沿わず
所望の曲率や形状が得られない。 【００１９】この場合は、カーボン下型７と接触してい
る石英ガラス平板７の外縁部から変形をうけ早期に上側
で石英ガラス平板７がカーボン下型８に沿うことであた
かも石英ガラス平板７によってカーボン下型８にフタが
されたかの如くの効果を示し、成形途中にてカーボン下
型８の底部に雰囲気ガス９が閉じ込められて、その後温
度を上げても石英ガラス平板７を挟んで圧力が拮抗し、
石英ガラス平板７の自重によって底面まで等しくカーボ
ン下型８の内面に沿った成形は困難となる。 【００２０】そこで、本発明は、カーボン下型の全面少
なくとも底面付近に細い貫通孔を適当数量明けるか或い
はカーボン下型の材質を多孔質体を採用することにより
成形途中でカーボン下型底部の雰囲気ガスが閉じ込めら
れる現象を回避しようとするものである。 【００２１】図４のように、全面或いは少なくとも底面
付近に細い貫通孔を適当数量明けたカーボン下型を用い
た場合、成形温度によっては、成形された半球ドーム状
の石英ガラス製品の外面に貫通孔に相当する突起が生ず
る場合があるが、製品厚さの均一性を重視すれば成形温
度はやや低めに設定する必要があるため突起高さは許容
範囲に収まる場合が多く、また球面の仕上げのために研
削ないしは砥粒による摺り加工を行う場合には、上記突
起は除去されるので品質上支障はない。 【００２２】第二の方法は、所望の半球ドーム状の石英
ガラス製品の外面曲率に等しい内面曲率を有するカーボ
ン下型１４の内面に、あらかじめ円状に切り抜き加工さ
れた石英ガラス平板１３を置き、電気炉加熱室１５にて
不活性雰囲気中で軟化温度以上に加熱した後、連続的に
隣接しかつ不活性雰囲気で満たされたる成形室１６内に
カーボン型共々自動的に移送した後、該成形室上部より
例えばエアーシリンダー１７により所定圧力にて押圧成
形することにより、効率よく成形するという方法であり
概略断面図を図５に示す。 【００２３】この場合、積極的に押圧するため成形途中
の石英ガラス平板１３とカーボン下型１４の間に閉じこ
められた雰囲気ガスは押圧により容易に排除されるため
貫通孔等をカーボン下型に明ける必要は必ずしもない。 【００２４】この第二の方法では、押圧成形後速やかに
成形室より製品を移動させるため連続的に生産すること
が可能であり、図５にあるように加熱室１５の手前には
前室１８を設けるとともに成形室１６の後に後室１９を
設けて、搬送機構を付加することにより、円滑かつ迅速
な生産が保証されるのに加えて、前室１８及び後室１９
も不活性ガス雰囲気とすることにより加熱室１５及び成
形室１６に外気が侵入することを抑制することで、炉体
を構成するカーボン部品等、並びに下型、上型の損耗を
抑制する効果を有する。 【００２５】 【実施例】半球状の石英ガラス製品の製造方法は図２に
示すようにカーボン下型５にあらかじめ円形に切り抜き
加工した石英ガラス円板４を蓋をするようにセットし、
電気炉６に入れて所定条件に従って加熱冷却する。 【００２６】カーボン下型５としては直径３ｍｍの貫通
孔を該カーボン下型底部近傍に合計１０ヶ所設けたるカ
ーボン下型及び比較のため貫通孔を設けない同一寸法の
カーボン下型の２種類について実施している。 【００２７】本実施例では、石英ガラス板は東芝セラミ
ックス株式会社製溶融石英ガラスＴ−１０３０相当品の
厚さ６ｍｍの石英ガラス板を日平トヤマ株式会社製レー
ザー加工機にて直径３４０ｍｍで抜き加工したものを使
用した。 【００２８】本実施例で使用した電気炉の基本仕様は表
１の通りである。 【００２９】 【表１】【００３０】本実施例で使用したカーボン下型は、内面
曲率が１７５ｍｍで材質は高純度カーボンである。 【００３１】本実施例での成形条件及び成形結果は表２
の通りである。 【００３２】 【表２】 【００３３】 【発明の効果】半球ドーム状の透明石英ガラス製品の製
造方法として従来は、石英ガラス管の先端を酸水素バー
ナーにて丸く封じてこれを切り出し内面外面を研削ない
しは摺り加工するか、或いは小サイズの石英ガラス板を
互いに貼り合わせ溶接後、内面外面を研削ないしは摺り
加工を行うか、或いは特開平８−２９５５２２にあるよ
うに雌型上に石英ガラス板を置きさらに雄型を置いて全
体を加熱する方法がとられていたのに対して、本発明に
おいては上型を用いず下型のみでの成形を可能にしてい
る。また本発明においては上型をエアーシリンダー等に
て積極的に押圧成形することによって連続的な生産を可
能にし、生産性は大幅に向上される。なお、ここでいう
上型及び下型とは、特開平８−２９５５２２にあるとこ
ろの雄型及び雌型に相当するものである。
れるプラズマエッチング装置において使用せられる透明
石英ガラス製の半球ドーム状チャンバーをその一例とす
る半球状の石英ガラス製品を製造するに際して、素材と
する半球ドーム状石英ガラス製品を成形加工により製造
することに関する。 【０００２】 【従来の技術】シリコン半導体の製造工程において、シ
リコン基板上に形成される酸化シリコン膜や金属膜を選
択的にエッチングする場合、励起源としてプラズマとし
てエッチングする方式が広く普及している。 【０００３】この場合、半球状の透明石英ガラス製のチ
ャンバーが広く用いられる。 【０００４】半球状の透明石英製チャンバーの製造方法
としては、現在主に以下の２つの方法が一般的である。 【０００５】第一の方法は、目的とする半球状チャンバ
ーの曲率同程度の曲率を有する石英ガラス管の先端を酸
水素バーナーにて丸く封じ、丸く封じた先端部を切り出
し、必要に応じて内面外面を研削ないしは遊離砥粒によ
り摺り加工を行い半透明の半球状チャンバーを得た後、
さらに酸水素バーナーにて表面を加熱することにより透
明のチャンバーを得る方法である。 【０００６】第二の方法は、あらかじめ所望の曲率に成
形した小サイズの石英ガラス板を同じく所望の曲率に球
面加工したカーボン台に配置して酸水素バーナーにて小
サイズの石英ガラス板同士を溶接して概略球面形状品を
形成後、内面外面を研削ないしは遊離砥粒により摺り加
工することにより半透明の半球状チャンバーを得た後、
さらに酸水素バーナーにて表面を加熱することにより透
明のチャンバーを得る方法である。 【０００７】曲率の小さい小型品では前者、曲率の大き
い大型品例えば１２インチウェハー処理用では後者の方
法に依る場合が一般的である。 【０００８】 【解決すべき課題】上記のように従来の方法では、小型
品においては、石英ガラス管を丸く封じて製造するので
チャンバーの頂部の肉厚が薄くなる傾向があり、大型品
においては、研削や摺り加工の工数が膨大なものとな
り、製造コストと品質の両面で製造方法の改善が望まれ
ている。 【０００９】低コストの製造方法については実は開発が
されており、半球状の石英ガラス製品を成形する方法に
ついてはすでに特許も出願されている。例えば、特開平
８−２９５５２２においては、図１のように雌型１上に
石英ガラス円板２を載せ、さらにその上に雄型３を載せ
て温度を上げることで押圧成形されるとしている。 【００１０】しかしながら、特開平８−２９５５２２に
示されている実施例では、石英ガラス円板２の上に半球
状の雄型３を載せた状態でセットする為、成形前の状態
は不安定であり、成形後製品を取り出すにはまず雄型を
外す必要があることもあり生産性は低いものと思われ、
実用的ではない。 【００１１】 【課題を解決するための手段】以上のような課題を解決
するため、成形により半球ドーム状の石英ガラス製品を
低コストで製造する実用的な方法が本発明である。 【００１２】以下に示す２つの方法により、低コストで
製造する実用的な方法が実現できる。 【００１３】第一の方法は、上型を用いず、下型に石英
ガラス板が自重のみで変形して所望の形状を実現する考
え方であり概略図を図２に示す。 【００１４】本発明は、あらかじめ円状に切り抜き加工
された石英ガラス平板４を、所望の半球ドーム状の石英
ガラス製品の外面曲率に等しい内面曲率を有するカーボ
ン下型５の内面にふたをするように置き、電気炉６にて
不活性雰囲気中で軟化温度以上に加熱することにより半
球ドーム状の石英ガラス製品の製造方法に関する課題が
解決できる。 【００１５】すなわち、従来の方法において大型品にお
いて課題であった後工程である研削・摺り加工の負荷が
大幅に軽減され、小型品において課題であった頂部の肉
厚が薄くなる現象も解決できる。加えて特開平８−２９
５５２２において指摘した成形前の雄型がセットされた
状態におけるような不安定な状況も現出しない。 【００１６】この際、石英ガラス平板４は、電気炉６中
にて加熱されるに従い、粘性が低下し、カーボン下型５
の内面をしだいに垂れるようにしてカーボン下型５の内
面に沿って変形が進行し、球状を呈する。 【００１７】さらに温度を上げ続けると、さらにガラス
の粘性は低下し重力によりガラスが流動化するため、得
られた半球状の底面側は肉が厚くなり、逆に上側は肉が
薄くなる現象が認められる。 【００１８】また、加熱温度が低いと、図３のようにガ
ラスの粘性は大きいままのためカーボン型に十分沿わず
所望の曲率や形状が得られない。 【００１９】この場合は、カーボン下型７と接触してい
る石英ガラス平板７の外縁部から変形をうけ早期に上側
で石英ガラス平板７がカーボン下型８に沿うことであた
かも石英ガラス平板７によってカーボン下型８にフタが
されたかの如くの効果を示し、成形途中にてカーボン下
型８の底部に雰囲気ガス９が閉じ込められて、その後温
度を上げても石英ガラス平板７を挟んで圧力が拮抗し、
石英ガラス平板７の自重によって底面まで等しくカーボ
ン下型８の内面に沿った成形は困難となる。 【００２０】そこで、本発明は、カーボン下型の全面少
なくとも底面付近に細い貫通孔を適当数量明けるか或い
はカーボン下型の材質を多孔質体を採用することにより
成形途中でカーボン下型底部の雰囲気ガスが閉じ込めら
れる現象を回避しようとするものである。 【００２１】図４のように、全面或いは少なくとも底面
付近に細い貫通孔を適当数量明けたカーボン下型を用い
た場合、成形温度によっては、成形された半球ドーム状
の石英ガラス製品の外面に貫通孔に相当する突起が生ず
る場合があるが、製品厚さの均一性を重視すれば成形温
度はやや低めに設定する必要があるため突起高さは許容
範囲に収まる場合が多く、また球面の仕上げのために研
削ないしは砥粒による摺り加工を行う場合には、上記突
起は除去されるので品質上支障はない。 【００２２】第二の方法は、所望の半球ドーム状の石英
ガラス製品の外面曲率に等しい内面曲率を有するカーボ
ン下型１４の内面に、あらかじめ円状に切り抜き加工さ
れた石英ガラス平板１３を置き、電気炉加熱室１５にて
不活性雰囲気中で軟化温度以上に加熱した後、連続的に
隣接しかつ不活性雰囲気で満たされたる成形室１６内に
カーボン型共々自動的に移送した後、該成形室上部より
例えばエアーシリンダー１７により所定圧力にて押圧成
形することにより、効率よく成形するという方法であり
概略断面図を図５に示す。 【００２３】この場合、積極的に押圧するため成形途中
の石英ガラス平板１３とカーボン下型１４の間に閉じこ
められた雰囲気ガスは押圧により容易に排除されるため
貫通孔等をカーボン下型に明ける必要は必ずしもない。 【００２４】この第二の方法では、押圧成形後速やかに
成形室より製品を移動させるため連続的に生産すること
が可能であり、図５にあるように加熱室１５の手前には
前室１８を設けるとともに成形室１６の後に後室１９を
設けて、搬送機構を付加することにより、円滑かつ迅速
な生産が保証されるのに加えて、前室１８及び後室１９
も不活性ガス雰囲気とすることにより加熱室１５及び成
形室１６に外気が侵入することを抑制することで、炉体
を構成するカーボン部品等、並びに下型、上型の損耗を
抑制する効果を有する。 【００２５】 【実施例】半球状の石英ガラス製品の製造方法は図２に
示すようにカーボン下型５にあらかじめ円形に切り抜き
加工した石英ガラス円板４を蓋をするようにセットし、
電気炉６に入れて所定条件に従って加熱冷却する。 【００２６】カーボン下型５としては直径３ｍｍの貫通
孔を該カーボン下型底部近傍に合計１０ヶ所設けたるカ
ーボン下型及び比較のため貫通孔を設けない同一寸法の
カーボン下型の２種類について実施している。 【００２７】本実施例では、石英ガラス板は東芝セラミ
ックス株式会社製溶融石英ガラスＴ−１０３０相当品の
厚さ６ｍｍの石英ガラス板を日平トヤマ株式会社製レー
ザー加工機にて直径３４０ｍｍで抜き加工したものを使
用した。 【００２８】本実施例で使用した電気炉の基本仕様は表
１の通りである。 【００２９】 【表１】【００３０】本実施例で使用したカーボン下型は、内面
曲率が１７５ｍｍで材質は高純度カーボンである。 【００３１】本実施例での成形条件及び成形結果は表２
の通りである。 【００３２】 【表２】 【００３３】 【発明の効果】半球ドーム状の透明石英ガラス製品の製
造方法として従来は、石英ガラス管の先端を酸水素バー
ナーにて丸く封じてこれを切り出し内面外面を研削ない
しは摺り加工するか、或いは小サイズの石英ガラス板を
互いに貼り合わせ溶接後、内面外面を研削ないしは摺り
加工を行うか、或いは特開平８−２９５５２２にあるよ
うに雌型上に石英ガラス板を置きさらに雄型を置いて全
体を加熱する方法がとられていたのに対して、本発明に
おいては上型を用いず下型のみでの成形を可能にしてい
る。また本発明においては上型をエアーシリンダー等に
て積極的に押圧成形することによって連続的な生産を可
能にし、生産性は大幅に向上される。なお、ここでいう
上型及び下型とは、特開平８−２９５５２２にあるとこ
ろの雄型及び雌型に相当するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】特開平８−２９５５２２に示されている半球状
石英ガラス製品の成形方法の図。 【図２】上型を用いず下型に石英ガラス板が自重のみで
変形して所望の形状を実現する成形方法の図。 【図３】 【図２】による成型方法において、カーボン下型に貫通
孔加工を施さない場合の成型状況の一例。 【図４】 【図２】による成型方法において、全面或いは少なくと
も底面付近に細い貫通孔を明けたカーボン下型の一例。 【図５】石英ガラス製品を押圧成形により連続的に製造
するための製造装置の断面図。 【符号の説明】 １ 雌型 ２ 石英ガラス円板 ３ 雄型 ４ 石英ガラス平板 ５ カーボン下型 ６ 電気炉 ７ 石英ガラス平板 ８ カーボン下型 ９ 閉じこめられた雰囲気ガス １０ 石英ガラス平板 １１ カーボン下型 １２ 細い貫通孔 １３ 石英ガラス平板 １４ カーボン下型 １５ 加熱室 １６ 成形室 １７ エアーシリンダー １８ 前室 １９ 後室 ２０ カーボンベース板 ２１ 断熱扉 ２２ カーボン上型 ２３ 窒素ガス ２４ 加熱ヒーター
石英ガラス製品の成形方法の図。 【図２】上型を用いず下型に石英ガラス板が自重のみで
変形して所望の形状を実現する成形方法の図。 【図３】 【図２】による成型方法において、カーボン下型に貫通
孔加工を施さない場合の成型状況の一例。 【図４】 【図２】による成型方法において、全面或いは少なくと
も底面付近に細い貫通孔を明けたカーボン下型の一例。 【図５】石英ガラス製品を押圧成形により連続的に製造
するための製造装置の断面図。 【符号の説明】 １ 雌型 ２ 石英ガラス円板 ３ 雄型 ４ 石英ガラス平板 ５ カーボン下型 ６ 電気炉 ７ 石英ガラス平板 ８ カーボン下型 ９ 閉じこめられた雰囲気ガス １０ 石英ガラス平板 １１ カーボン下型 １２ 細い貫通孔 １３ 石英ガラス平板 １４ カーボン下型 １５ 加熱室 １６ 成形室 １７ エアーシリンダー １８ 前室 １９ 後室 ２０ カーボンベース板 ２１ 断熱扉 ２２ カーボン上型 ２３ 窒素ガス ２４ 加熱ヒーター
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】円状に切り抜き加工されたる石英ガラス平
板を、内面を半球状にくり抜き加工したるカーボン下型
にフタをするように置き、電気炉中にて不活性ガス雰囲
気のもとで軟化温度以上に加熱することにより得られる
半球ドーム状の石英ガラス製品。 【請求項２】 【請求項１】におけるカーボン下型においては、目的と
する半球ドーム状石英ガラス製品の外径球面曲率に一致
する曲率寸法を内面に有し、但しカーボン下型入口部に
おける内面直径は少なくとも加工素材たる円状に切り抜
き加工したる石英ガラス平板の直径よりは大きいことを
特徴とするが、但しカーボン下型の内面曲率は全領域に
わたって同一である必要はなく複数の異なる曲率部分が
滑らかなるつなぎ部分にて連続する内面を有する場合も
あることを特徴とするカーボン型。 【請求項３】 【請求項１】におけるカーボン下型において、該カーボ
ン下型の全面或いはその一部に望むらくは直径３ｍｍ以
下の貫通孔を適量個数あけるか、或いは該カーボン下型
全面或いはその一部が多孔質材料からなることにより、
円状に切り抜き加工したる石英ガラス板の加熱軟化時に
該石英ガラス板とカーボン下型内面間に雰囲気ガスが封
じ込まれることなくカーボン下型内面曲率寸法と同一の
外径曲率寸法を有する半球ドーム状石英ガラス製品が加
工できることを特徴とするカーボン型。 【請求項４】 【請求項１】において、平均加熱速度１００℃／分ない
しはそれ以上の加熱能力を有する電気炉にて窒素ガス等
の不活性ガス雰囲気中で１５５０℃ないしは２０００℃
に加熱し、最高加熱温度到達後０ないし５分程度保持し
た後炉冷することで目的とする外面曲率寸法に加工する
ことを特徴とする半球ドーム状の石英ガラス製品。 【請求項５】 【請求項１】における如く石英ガラス円板をカーボン下
型内面に置き、電気炉にて不活性ガス雰囲気中で軟化温
度以上に加熱した後、該電気炉と連続的に隣接しかつ不
活性ガス雰囲気で満たされたる成形室内部にカーボン下
型共々自動的に移送した後、該成形室内の上部に設備し
たるエアーシリンダー等の押圧手段によりこれに取り付
けたるカーボン上型にて所定圧力にて押圧成形すること
を特徴とする半球ドーム状の石英ガラス製品及び該半球
ドーム状の石英ガラス製品を成形する装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001073115A JP2002234747A (ja) | 2001-02-06 | 2001-02-06 | 半球ドーム状石英ガラス製品の製造方法と製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001073115A JP2002234747A (ja) | 2001-02-06 | 2001-02-06 | 半球ドーム状石英ガラス製品の製造方法と製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002234747A true JP2002234747A (ja) | 2002-08-23 |
Family
ID=18930588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001073115A Pending JP2002234747A (ja) | 2001-02-06 | 2001-02-06 | 半球ドーム状石英ガラス製品の製造方法と製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002234747A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100845492B1 (ko) | 2007-02-15 | 2008-07-11 | (주)엔케이산기 | 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치 |
-
2001
- 2001-02-06 JP JP2001073115A patent/JP2002234747A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100845492B1 (ko) | 2007-02-15 | 2008-07-11 | (주)엔케이산기 | 대형 석영돔의 몰드 성형후 냉각시 파손방지장치 |
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