JP2002226537A - 研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置 - Google Patents
研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 中空バルーンを用いない方法で均一で比重の
ばらつきの小さなポリウレタン発泡体を製造することの
できる研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置を提
供すること。 【解決手段】 プレポリマーと製泡剤が投入されるタン
ク１と、タンク内に投入されたプレポリマーと製泡剤と
硬化剤とを泡立て混合するミキサー２とを備え、ミキサ
ーが、垂直方向に回転軸芯を有する第１ミキサー羽根１
１と第２ミキサー羽根２１とを備え、第１ミキサー羽根
１１と第２ミキサー羽根２１とは互いにかみ合うように
逆方向に回転し、かつ、互いの羽根が干渉しないように
構成されている。
ばらつきの小さなポリウレタン発泡体を製造することの
できる研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置を提
供すること。 【解決手段】 プレポリマーと製泡剤が投入されるタン
ク１と、タンク内に投入されたプレポリマーと製泡剤と
硬化剤とを泡立て混合するミキサー２とを備え、ミキサ
ーが、垂直方向に回転軸芯を有する第１ミキサー羽根１
１と第２ミキサー羽根２１とを備え、第１ミキサー羽根
１１と第２ミキサー羽根２１とは互いにかみ合うように
逆方向に回転し、かつ、互いの羽根が干渉しないように
構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨パッド用ポリ
ウレタン発泡体の製造装置に関する。
ウレタン発泡体の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板上の配線形成面を効率よく、
かつ、高精度に平滑化する研磨方法としてＣＭＰ（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉ
ｎｇ）法が採用されている。これは、化学的な作用と機
械的な作用を組み合わせた研磨方法であり、半導体基板
（ウェハ表面）を広い範囲にわたって平坦化することが
可能である。
かつ、高精度に平滑化する研磨方法としてＣＭＰ（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉ
ｎｇ）法が採用されている。これは、化学的な作用と機
械的な作用を組み合わせた研磨方法であり、半導体基板
（ウェハ表面）を広い範囲にわたって平坦化することが
可能である。
【０００３】このＣＭＰ法で用いられる研磨パッドには
ポリウレタン発泡体により形成されるものがあり、表面
に細かな凹部を形成し研磨スラリーを保持することがで
きるようになっている。
ポリウレタン発泡体により形成されるものがあり、表面
に細かな凹部を形成し研磨スラリーを保持することがで
きるようになっている。
【０００４】かかる研磨パッド用のポリウレタン発泡体
の製造方法の公知技術として、特開平１１−３２２８７
７号公報に開示される製造方法がある。この製造方法
は、イソシアネート末端プレポリマーと活性水素含有化
合物の２液を混合撹拌するに際し、未発泡の加熱膨張性
微小中空球体（中空バルーン）を前記プレポリマー又は
活性水素含有化合物の一方に添加混合しておき、２液反
応硬化の際に放出される反応熱及び外部からの加熱によ
って、未発泡の加熱膨張性微小中空球体をウレタン成形
物中で微発泡させ、成形物中に加熱膨張した微笑中空球
体を含有させるようにしたものである。
の製造方法の公知技術として、特開平１１−３２２８７
７号公報に開示される製造方法がある。この製造方法
は、イソシアネート末端プレポリマーと活性水素含有化
合物の２液を混合撹拌するに際し、未発泡の加熱膨張性
微小中空球体（中空バルーン）を前記プレポリマー又は
活性水素含有化合物の一方に添加混合しておき、２液反
応硬化の際に放出される反応熱及び外部からの加熱によ
って、未発泡の加熱膨張性微小中空球体をウレタン成形
物中で微発泡させ、成形物中に加熱膨張した微笑中空球
体を含有させるようにしたものである。
【０００５】また、別の公知技術として、特表平８−５
００６２２号公報に開示される製造方法がある。この製
造方法は、イソシアネート末端プレポリマーと活性水素
含有化合物（ＭＢＯＣＡ）と同時に、既膨張の微小中空
体を特殊なミキサーで短い反応時間で微小中空体をなじ
ませ、均一に分散混合するものである。
００６２２号公報に開示される製造方法がある。この製
造方法は、イソシアネート末端プレポリマーと活性水素
含有化合物（ＭＢＯＣＡ）と同時に、既膨張の微小中空
体を特殊なミキサーで短い反応時間で微小中空体をなじ
ませ、均一に分散混合するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
既膨張タイプの中空バルーンは、比重が０．０４ｇ／ｃ
ｍ3 程度の粉体であり、この状態でウレタン液となじま
せて均一に混合させることは困難である。その理由は、
反応液と中空バルーンの密度差が大きいため、硬化中に
中空バルーンが浮き上がり、 均一なものを作ることが
難しいからである。このような膨張タイプの中空バルー
ンは、膨張前の段階で孔のあいたス抜けバルーンが含ま
れ、更に膨張行程で配管等に付着して堆積し熱により焼
けて硬く異物化したゴミが含まれる。このような硬くな
った異物がウレタン中に残ると、研磨工程でスクラッチ
の原因となり大きな問題となっている。このように、中
空バルーンを用いてポリウレタン発泡体を製造すると、
弊害が生じる。
既膨張タイプの中空バルーンは、比重が０．０４ｇ／ｃ
ｍ3 程度の粉体であり、この状態でウレタン液となじま
せて均一に混合させることは困難である。その理由は、
反応液と中空バルーンの密度差が大きいため、硬化中に
中空バルーンが浮き上がり、 均一なものを作ることが
難しいからである。このような膨張タイプの中空バルー
ンは、膨張前の段階で孔のあいたス抜けバルーンが含ま
れ、更に膨張行程で配管等に付着して堆積し熱により焼
けて硬く異物化したゴミが含まれる。このような硬くな
った異物がウレタン中に残ると、研磨工程でスクラッチ
の原因となり大きな問題となっている。このように、中
空バルーンを用いてポリウレタン発泡体を製造すると、
弊害が生じる。
【０００７】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、その課題は、中空バルーンを用いない方法で均一
で比重のばらつきの小さなポリウレタン発泡体を製造す
ることのできる研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造
装置を提供することである。
あり、その課題は、中空バルーンを用いない方法で均一
で比重のばらつきの小さなポリウレタン発泡体を製造す
ることのできる研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造
装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明に係る研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装
置は、ポリウレタン発泡体形成用組成物が投入されるタ
ンクと、前記タンク内に投入された前記組成物を泡立て
混合するミキサーとを備え、前記ミキサーが、垂直方向
に回転軸芯を有する第１ミキサー羽根と第２ミキサー羽
根とを備え、前記第１ミキサー羽根と前記第２ミキサー
羽根とは互いにかみ合うように逆方向に回転し、かつ、
互いの羽根が干渉しないように構成されていることを特
徴とするものである。
本発明に係る研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装
置は、ポリウレタン発泡体形成用組成物が投入されるタ
ンクと、前記タンク内に投入された前記組成物を泡立て
混合するミキサーとを備え、前記ミキサーが、垂直方向
に回転軸芯を有する第１ミキサー羽根と第２ミキサー羽
根とを備え、前記第１ミキサー羽根と前記第２ミキサー
羽根とは互いにかみ合うように逆方向に回転し、かつ、
互いの羽根が干渉しないように構成されていることを特
徴とするものである。
【０００９】この構成によれば、タンク内にポリウレタ
ン発泡体形成用組成物（例えば、プレポリマーと製泡剤
と硬化剤）を同時にあるいは適宜の順序で投入し、ミキ
サーにより泡立て混合する。これにより、空気等の気体
を強制的に巻き込ませて微細化し、発泡させることがで
きる。タンクに投入するプレポリマー等の量や撹拌時間
を適切に制御することにより、均一で比重ばらつきの少
ないポリウレタン発泡体を得ることができることを本発
明者らは見出した。
ン発泡体形成用組成物（例えば、プレポリマーと製泡剤
と硬化剤）を同時にあるいは適宜の順序で投入し、ミキ
サーにより泡立て混合する。これにより、空気等の気体
を強制的に巻き込ませて微細化し、発泡させることがで
きる。タンクに投入するプレポリマー等の量や撹拌時間
を適切に制御することにより、均一で比重ばらつきの少
ないポリウレタン発泡体を得ることができることを本発
明者らは見出した。
【００１０】ミキサーの構成としては、垂直方向に回転
軸芯を有する第１・第２ミキサー羽根を設けて、これら
を互いに逆回転させることにより、均一に泡立て混合す
ることができる。第１・第２ミキサー羽根の形状につい
ては、泡立て混合を行うに適した形状を採用すればよ
い。
軸芯を有する第１・第２ミキサー羽根を設けて、これら
を互いに逆回転させることにより、均一に泡立て混合す
ることができる。第１・第２ミキサー羽根の形状につい
ては、泡立て混合を行うに適した形状を採用すればよ
い。
【００１１】本発明の好適な実施形態として、 前記第
１・第２ミキサー羽根は複数枚の羽根部分により構成さ
れるものがあげられる。
１・第２ミキサー羽根は複数枚の羽根部分により構成さ
れるものがあげられる。
【００１２】第１・第２ミキサー羽根は複数枚の羽根部
分により構成され、この羽根部分が回転することにより
泡立て混合を行うことができる。羽根部分は少なくとも
２枚あればよい。
分により構成され、この羽根部分が回転することにより
泡立て混合を行うことができる。羽根部分は少なくとも
２枚あればよい。
【００１３】本発明の更に別の好適な実施形態として、
前記第１・第２ミキサー羽根を液面から引き上げたと
きに、前記羽根部分に沿って液が下方に流れ落ちるよう
に、前記羽根部分の形状が形成されているものあげられ
る。
前記第１・第２ミキサー羽根を液面から引き上げたと
きに、前記羽根部分に沿って液が下方に流れ落ちるよう
に、前記羽根部分の形状が形成されているものあげられ
る。
【００１４】混合工程が終了すると、ミキサー羽根は液
面上部に引き上げられるが、この引き上げのときにミキ
サー羽根に付着している液体が、液面上にぼた落ちする
とエアーボイドが発生し品質不良の原因となる。そこ
で、羽根部分に沿って液が下方に流れ落ちるようにすれ
ば、液はスムーズに液面へと流れていくために、エアー
ボイドの発生を防ぐことができる。
面上部に引き上げられるが、この引き上げのときにミキ
サー羽根に付着している液体が、液面上にぼた落ちする
とエアーボイドが発生し品質不良の原因となる。そこ
で、羽根部分に沿って液が下方に流れ落ちるようにすれ
ば、液はスムーズに液面へと流れていくために、エアー
ボイドの発生を防ぐことができる。
【００１５】本発明の更に別の好適な実施形態として、
前記タンクの底部に金型を設け、前記底部から前記金
型へと混合液を注入できるように構成したものがあげら
れる。
前記タンクの底部に金型を設け、前記底部から前記金
型へと混合液を注入できるように構成したものがあげら
れる。
【００１６】タンクの底部に金型を設けて、タンクの底
部から混合液を金型へ注入する構成を採用することによ
り、混合液をスムーズに金型へ供給することができ、エ
アーボイドの発生等の不具合を防止することができる。
部から混合液を金型へ注入する構成を採用することによ
り、混合液をスムーズに金型へ供給することができ、エ
アーボイドの発生等の不具合を防止することができる。
【００１７】なお、本発明の製造装置を使用して微細気
泡ポリウレタン発泡体を製造する方法としては次の２つ
があげられる。
泡ポリウレタン発泡体を製造する方法としては次の２つ
があげられる。
【００１８】（１）プレポリマー法 イソシアネート基含有化合物を含む第１成分と活性水素
基含有化合物を含む第２成分を混合させて微細気泡ポリ
ウレタン発泡体を製造する方法であって、前記第１成分
もしくは前記第２成分の少なくとも一方に水酸基を有し
ないシリコン系ノニオン界面活性剤を添加し、前記界面
活性剤を添加した成分を非反応性気体と攪拌して前記非
反応性気体、好ましくは空気を微細気泡として分散させ
て気泡分散液とし、前記気泡分散液に残りの成分を混合
して硬化させる製造方法である。
基含有化合物を含む第２成分を混合させて微細気泡ポリ
ウレタン発泡体を製造する方法であって、前記第１成分
もしくは前記第２成分の少なくとも一方に水酸基を有し
ないシリコン系ノニオン界面活性剤を添加し、前記界面
活性剤を添加した成分を非反応性気体と攪拌して前記非
反応性気体、好ましくは空気を微細気泡として分散させ
て気泡分散液とし、前記気泡分散液に残りの成分を混合
して硬化させる製造方法である。
【００１９】この方法は、具体的には、第１成分として
イソシアネート基末端のイソシアネートプレポリマーを
使用し、これを気泡分散液とした後に第２成分としてＭ
ＢＯＣＡ等の鎖延長剤で架橋させる方法、又は第２成分
として水酸基末端のプレポリマーを使用し、これを気泡
分散液とした後に第１成分として、ジフェニルメタンジ
イソシアネート等のイソシアネート化合物で架橋させる
方法である。
イソシアネート基末端のイソシアネートプレポリマーを
使用し、これを気泡分散液とした後に第２成分としてＭ
ＢＯＣＡ等の鎖延長剤で架橋させる方法、又は第２成分
として水酸基末端のプレポリマーを使用し、これを気泡
分散液とした後に第１成分として、ジフェニルメタンジ
イソシアネート等のイソシアネート化合物で架橋させる
方法である。
【００２０】（２）ワンショット法 イソシアネート基含有化合物を含む第１成分と活性水素
基含有化合物を含む第２成分を混合させて微細気泡ポリ
ウレタン発泡体を製造する方法であって、前記第１成分
もしくは前記第２成分の少なくとも一方に水酸基を有し
ないシリコン系ノニオン界面活性剤を添加し、前記第１
成分と第２成分を非反応性気体、好ましくは空気と混
合、攪拌し、前記非反応性気体を微細気泡として分散さ
せて気泡分散液とし、前記気泡分散液を硬化させる製造
方法である。
基含有化合物を含む第２成分を混合させて微細気泡ポリ
ウレタン発泡体を製造する方法であって、前記第１成分
もしくは前記第２成分の少なくとも一方に水酸基を有し
ないシリコン系ノニオン界面活性剤を添加し、前記第１
成分と第２成分を非反応性気体、好ましくは空気と混
合、攪拌し、前記非反応性気体を微細気泡として分散さ
せて気泡分散液とし、前記気泡分散液を硬化させる製造
方法である。
【００２１】ポリウレタンを構成するポリオール化合物
と鎖延長剤、及びポリイソシアネート化合物を混合して
気泡分散液とし、そのまま反応、硬化させる方法であ
る。
と鎖延長剤、及びポリイソシアネート化合物を混合して
気泡分散液とし、そのまま反応、硬化させる方法であ
る。
【００２２】界面活性剤の添加量は、第１成分と第２成
分の合計量に対して１〜２０重量％であることが好まし
い。
分の合計量に対して１〜２０重量％であることが好まし
い。
【００２３】
【発明の実施の形態】本発明による研磨パッド用ポリウ
レタン発泡体の製造装置の好適な実施形態を図面を用い
て説明する。図１は、製造装置の外観構成を示す側面図
である。図２は、製造装置の構成を示す平面図である。
この製造装置は、プレポリマーと製泡剤と溶解した活性
水素含有化合物ををタンクに投入して泡立て混合するこ
とによりポリウレタン発泡体を得ようとするものであ
る。
レタン発泡体の製造装置の好適な実施形態を図面を用い
て説明する。図１は、製造装置の外観構成を示す側面図
である。図２は、製造装置の構成を示す平面図である。
この製造装置は、プレポリマーと製泡剤と溶解した活性
水素含有化合物ををタンクに投入して泡立て混合するこ
とによりポリウレタン発泡体を得ようとするものであ
る。
【００２４】この装置は、混合液を作るためのタンク１
と、タンク内の液体を泡立て混合するためのミキサー２
と、混合工程の終了した液体を注入する金型３とを備え
ている。
と、タンク内の液体を泡立て混合するためのミキサー２
と、混合工程の終了した液体を注入する金型３とを備え
ている。
【００２５】ミキサー２を上下動させるためのガイド支
柱５が設けられており、ミキサー２を吊り下げるチェー
ン４とバランサー６が設けられている。ハンドル（不図
示）を操作することにより、ミキサー２を上下動させる
ことができる。タンク１も別の支柱に平面視で略Ｃ字形
の支持腕８により取り付け支持されている。金型３は、
支持台１０の上に搭載される形で支持されており、図１
の紙面に垂直な方向にスライド移動可能である。
柱５が設けられており、ミキサー２を吊り下げるチェー
ン４とバランサー６が設けられている。ハンドル（不図
示）を操作することにより、ミキサー２を上下動させる
ことができる。タンク１も別の支柱に平面視で略Ｃ字形
の支持腕８により取り付け支持されている。金型３は、
支持台１０の上に搭載される形で支持されており、図１
の紙面に垂直な方向にスライド移動可能である。
【００２６】次にミキサー２の構成について詳細に説明
する。図３は、ミキサーの構成を示す側面図、図４はミ
キサーの構成を示す平面図である。このミキサー２は２
軸タイプのミキサーであり、第１ミキサー羽根１１と第
２ミキサー羽根２１とを備えている。第１・第２ミキサ
ー羽根１１，２１は、それぞれ回転軸１２，２２を有し
ており、図４に示すように、平面視で第１ミキサー羽根
１１は反時計方向に回転し、第２ミキサー羽根２１は時
計方向に回転する。各ミキサー羽根１１，２１は、円周
方向に沿って等間隔（９０゜ピッチ）で配置された羽根
部分を備えており。第１ミキサー羽根１１の羽根部分と
第２ミキサー羽根２１の羽根部分とはかみ合うように回
転し、また、図４に示すように位相が４５゜ずれた状態
で回転するのでお互いに干渉しないように回転すること
ができる。なお、図例では羽根部分は４つあるが、少な
くとも２つあれば撹拌することが可能である。
する。図３は、ミキサーの構成を示す側面図、図４はミ
キサーの構成を示す平面図である。このミキサー２は２
軸タイプのミキサーであり、第１ミキサー羽根１１と第
２ミキサー羽根２１とを備えている。第１・第２ミキサ
ー羽根１１，２１は、それぞれ回転軸１２，２２を有し
ており、図４に示すように、平面視で第１ミキサー羽根
１１は反時計方向に回転し、第２ミキサー羽根２１は時
計方向に回転する。各ミキサー羽根１１，２１は、円周
方向に沿って等間隔（９０゜ピッチ）で配置された羽根
部分を備えており。第１ミキサー羽根１１の羽根部分と
第２ミキサー羽根２１の羽根部分とはかみ合うように回
転し、また、図４に示すように位相が４５゜ずれた状態
で回転するのでお互いに干渉しないように回転すること
ができる。なお、図例では羽根部分は４つあるが、少な
くとも２つあれば撹拌することが可能である。
【００２７】各羽根部分の形状は同じであり、図３に示
すように、円弧状、又は、楕円弧状、又は、任意のなめ
らかな曲面形状を有している。
すように、円弧状、又は、楕円弧状、又は、任意のなめ
らかな曲面形状を有している。
【００２８】タンク１の形状としては、各ミキサー羽根
１１，２１の外径の数倍程度の直径とするのが好まし
く、高さはミキサーによる混合時に液がオーバーフロー
しない程度とするのが好ましい。成形するブロックの大
きさが７００（ｍｍ）×１５００（ｍｍ）×３０（ｍ
ｍ）とすれば、必要なタンク１の体積（容量）は３１．
５Ｌ（リットル）となる。
１１，２１の外径の数倍程度の直径とするのが好まし
く、高さはミキサーによる混合時に液がオーバーフロー
しない程度とするのが好ましい。成形するブロックの大
きさが７００（ｍｍ）×１５００（ｍｍ）×３０（ｍ
ｍ）とすれば、必要なタンク１の体積（容量）は３１．
５Ｌ（リットル）となる。
【００２９】ミキサー２による撹拌混合が終了すると、
混合液の中にあるミキサー羽根１１，２１を混合液から
引き上げる必要があるが、このときにミキサー羽根１
１，２１に付着している液が液面にぼた落ちせず、羽根
部分の形状を伝わって流れ落ちるようにしている。
混合液の中にあるミキサー羽根１１，２１を混合液から
引き上げる必要があるが、このときにミキサー羽根１
１，２１に付着している液が液面にぼた落ちせず、羽根
部分の形状を伝わって流れ落ちるようにしている。
【００３０】＜製造工程について＞次に、上記製造装置
によるポリウレタン発泡体の製造工程について説明す
る。このポリウレタン発泡体は、ＣＭＰ研磨パッド用に
用いられるものであり、均一な材質と成形品の比重差の
ばらつきの少ないことが要求される。
によるポリウレタン発泡体の製造工程について説明す
る。このポリウレタン発泡体は、ＣＭＰ研磨パッド用に
用いられるものであり、均一な材質と成形品の比重差の
ばらつきの少ないことが要求される。
【００３１】基準配合は、イソシアネート末端プレポリ
マーとしてアジプレンＬ−３２５（ユニロイヤル製）を
１００部（７０℃）に対して、製泡剤（界面活性剤）と
してＳＨ−１９２（東レ・ダウコーニング・シリコン社
製）を１〜２０部、活性水素含有化合物としてメチレン
・ビス（Ｏ−クロルアニリン）（ＭＢＯＣＡ）（イハラ
ケミカル社製）を２６部（１２０℃）である。
マーとしてアジプレンＬ−３２５（ユニロイヤル製）を
１００部（７０℃）に対して、製泡剤（界面活性剤）と
してＳＨ−１９２（東レ・ダウコーニング・シリコン社
製）を１〜２０部、活性水素含有化合物としてメチレン
・ビス（Ｏ−クロルアニリン）（ＭＢＯＣＡ）（イハラ
ケミカル社製）を２６部（１２０℃）である。
【００３２】所定量のアジプレンＬ−３２５とＳＨ−１
９２と溶解したＭＢＯＣＡをタンク１に投入し、ミキサ
ー２により撹拌混合（泡立て混合）する。各ミキサー羽
根１１，２１の回転数は、５００〜３０００ｒｐｍが好
ましい。混合時間は、数分程度が好ましい。この撹拌に
より、空気を混合液内部に巻き込むことができる。
９２と溶解したＭＢＯＣＡをタンク１に投入し、ミキサ
ー２により撹拌混合（泡立て混合）する。各ミキサー羽
根１１，２１の回転数は、５００〜３０００ｒｐｍが好
ましい。混合時間は、数分程度が好ましい。この撹拌に
より、空気を混合液内部に巻き込むことができる。
【００３３】なお、アジプレンＬ−３２５とＳＨ−１９
２とＭＢＯＣＡをタンク１に投入する順序であるが、こ
れらを同時に投入してもよいし、これらのうちのいくつ
かを最初に投入して撹拌混合し、所定時間経過後に残り
を投入して撹拌混合するようにしてもよい。
２とＭＢＯＣＡをタンク１に投入する順序であるが、こ
れらを同時に投入してもよいし、これらのうちのいくつ
かを最初に投入して撹拌混合し、所定時間経過後に残り
を投入して撹拌混合するようにしてもよい。
【００３４】撹拌が終了すると、ミキサー羽根１１，２
１を液から引き上げる。このとき、ミキサー羽根１１，
２１に付着している液は、羽根部分の形状を伝わって下
に流れ落ちる。したがって、液のぼた落ちによるエアー
ボイドの発生を防ぐことができる。ミキサー羽根１１，
２１の引き上げ完了後、増粘開始直前に金型３に混合液
を流し込む。
１を液から引き上げる。このとき、ミキサー羽根１１，
２１に付着している液は、羽根部分の形状を伝わって下
に流れ落ちる。したがって、液のぼた落ちによるエアー
ボイドの発生を防ぐことができる。ミキサー羽根１１，
２１の引き上げ完了後、増粘開始直前に金型３に混合液
を流し込む。
【００３５】金型３に流し込むときの一般的な方法は、
タンク１を傾斜させて金型３に流し込む方法である。好
ましい方法は、タンク１の底部に弁（不図示）を設けて
おき、底部から金型３へと混合液を流し込む方法であ
る。後者の方が、エアーボイドが発生する可能性が少な
いので好ましい。
タンク１を傾斜させて金型３に流し込む方法である。好
ましい方法は、タンク１の底部に弁（不図示）を設けて
おき、底部から金型３へと混合液を流し込む方法であ
る。後者の方が、エアーボイドが発生する可能性が少な
いので好ましい。
【００３６】ポリウレタン発泡体を製造するときの比重
調整方法は次のように行う。タンク１内にセットしてあ
るミキサー羽根１１，２１の最上部の位置までのタンク
１の容積を１００としたときに、容積８０の位置まで液
を投入すれば、液比重１のときに、約０．８（ｇ／ｃｍ
3 ）のブロックを得ることができる。
調整方法は次のように行う。タンク１内にセットしてあ
るミキサー羽根１１，２１の最上部の位置までのタンク
１の容積を１００としたときに、容積８０の位置まで液
を投入すれば、液比重１のときに、約０．８（ｇ／ｃｍ
3 ）のブロックを得ることができる。
【００３７】以上のようにして得られるポリウレタン発
泡体の性状は、 比重・・・０．４〜０．９ｇ／ｃｍ3 硬度（ショアＤ）・・・３０〜６０ 平均セル径・・・３０〜 4０μｍ セル個数・・・・２００〜５００個／ｍｍ2 ＜実施例１＞アジプレンＬ−３２５を２４．１ｋｇ、製
泡剤ＳＨ−１９２を０．７３ｋｇ（約３部）、ＭＢＯＣ
Ａを６．３２ｋｇとした場合、比重０．８４５のブロッ
クを得ることができた。またこのとき、ショアＤ硬度は
５４であった。
泡体の性状は、 比重・・・０．４〜０．９ｇ／ｃｍ3 硬度（ショアＤ）・・・３０〜６０ 平均セル径・・・３０〜 4０μｍ セル個数・・・・２００〜５００個／ｍｍ2 ＜実施例１＞アジプレンＬ−３２５を２４．１ｋｇ、製
泡剤ＳＨ−１９２を０．７３ｋｇ（約３部）、ＭＢＯＣ
Ａを６．３２ｋｇとした場合、比重０．８４５のブロッ
クを得ることができた。またこのとき、ショアＤ硬度は
５４であった。
【００３８】＜実施例２＞アジプレンＬ−３２５を２
１．４ｋｇ、ＳＨ−１９２を０．８１ｋｇ（約４部）、
ＭＢＯＣＡを５．６ｋｇとした場合、比重０．７８１の
ブロックを得ることができた。このとき、ショアＤ硬度
は５１であった。
１．４ｋｇ、ＳＨ−１９２を０．８１ｋｇ（約４部）、
ＭＢＯＣＡを５．６ｋｇとした場合、比重０．７８１の
ブロックを得ることができた。このとき、ショアＤ硬度
は５１であった。
【００３９】＜別実施形態＞ミキサー羽根の形状につい
ては、本実施形態の形状に限定されるものではなく、本
発明の枠内で種々の変更が可能である。
ては、本実施形態の形状に限定されるものではなく、本
発明の枠内で種々の変更が可能である。
【００４０】製造されたポリウレタン発泡体はＣＭＰ研
磨パッドだけでなく、ガラス研磨用にも用いることがで
きる。
磨パッドだけでなく、ガラス研磨用にも用いることがで
きる。
【図１】研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置の
構成を示す側面図
構成を示す側面図
【図２】研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置の
構成を示す平面図
構成を示す平面図
【図３】ミキサーの構成を示す側面図
【図４】ミキサーの構成を示す平面図
１ タンク ２ ミキサー ３ 金型 １１ 第１ミキサー羽根 ２１ 第２ミキサー羽根
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F071 AA53 AF53 AH19 DA20 4J034 CA15 CC12 CC61 CC67 HA02 JA42 NA08 NA09 PA05 QB01 RA19
Claims (4)
- 【請求項１】 ポリウレタン発泡体形成用組成物が投入
されるタンクと、 前記タンク内に投入された前記組成物を泡立て混合する
ミキサーとを備え、 前記ミキサーが、垂直方向に回転軸芯を有する第１ミキ
サー羽根と第２ミキサー羽根とを備え、前記第１ミキサ
ー羽根と前記第２ミキサー羽根とは互いにかみ合うよう
に逆方向に回転し、かつ、互いの羽根が干渉しないよう
に構成されていることを特徴とする研磨パッド用ポリウ
レタン発泡体の製造装置。 - 【請求項２】 前記第１・第２ミキサー羽根は複数枚の
羽根部分により構成されることを特徴とする請求項１に
記載の研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置。 - 【請求項３】 前記第１・第２ミキサー羽根を液面から
引き上げたときに、前記羽根部分に沿って液が下方に流
れ落ちるように、前記羽根部分の形状が形成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨パッド用
ポリウレタン発泡体の製造装置。 - 【請求項４】 前記タンクの底部に金型を設け、前記底
部から前記金型へと混合液を注入できるように構成した
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の
研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置。
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|---|---|---|---|
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| US10/513,524 US7455799B2 (en) | 2001-02-01 | 2002-05-07 | Method of producing polishing pad-use polyurethane foam and polyurethane foam |
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|---|---|---|---|
| JP2001025343A JP3455187B2 (ja) | 2001-02-01 | 2001-02-01 | 研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置 |
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| JP2011517853A (ja) * | 2008-04-01 | 2011-06-16 | イノパッド，インコーポレイテッド | 空隙形成が制御された研磨パッド |
| WO2012147147A1 (ja) * | 2011-04-25 | 2012-11-01 | 東洋ゴム工業株式会社 | タンク、該タンクを用いた研磨パッドの製造方法 |
| KR20180018319A (ko) * | 2016-08-09 | 2018-02-21 | 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머티리얼스 씨엠피 홀딩스, 인코포레이티드 | 화학 기계적 연마 패드 제조용 자동 캐치 장치 및 방법 |
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| KR100949560B1 (ko) | 2005-05-17 | 2010-03-25 | 도요 고무 고교 가부시키가이샤 | 연마 패드 |
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| JP4884726B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2012-02-29 | 東洋ゴム工業株式会社 | 積層研磨パッドの製造方法 |
| JP4884725B2 (ja) | 2005-08-30 | 2012-02-29 | 東洋ゴム工業株式会社 | 研磨パッド |
| JP5031236B2 (ja) | 2006-01-10 | 2012-09-19 | 東洋ゴム工業株式会社 | 研磨パッド |
| WO2008026451A1 (en) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Polishing pad |
| JP5008927B2 (ja) | 2006-08-31 | 2012-08-22 | 東洋ゴム工業株式会社 | 研磨パッド |
| CN101511536A (zh) * | 2006-09-08 | 2009-08-19 | 东洋橡胶工业株式会社 | 抛光垫的制造方法 |
| WO2008029538A1 (fr) | 2006-09-08 | 2008-03-13 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Tampon à polir |
| SG177961A1 (en) * | 2007-01-15 | 2012-02-28 | Toyo Tire & Rubber Co | Polishing pad and method for producing the same |
| JP5078000B2 (ja) | 2007-03-28 | 2012-11-21 | 東洋ゴム工業株式会社 | 研磨パッド |
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| JP5453148B2 (ja) * | 2010-03-24 | 2014-03-26 | 東洋ゴム工業株式会社 | タンク、該タンクを用いた研磨パッドの製造方法 |
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| CN107416338B (zh) * | 2017-07-19 | 2019-04-12 | 浙江惠码科技有限公司 | 一种二维码瓶盖生产设备 |
| CN113999368B (zh) * | 2021-11-05 | 2022-11-11 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种聚氨酯抛光垫及其制备方法 |
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| DE2507727A1 (de) | 1975-02-22 | 1976-09-02 | Bayer Ag | Vorrichtung zum dosieren und mischen von fliessfaehigen reaktionskomponenten |
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| BR8701098A (pt) * | 1987-03-11 | 1988-09-13 | Brastemp Sa | Processo de preparacao de poliuretano rigido |
| JPH01259043A (ja) | 1987-12-26 | 1989-10-16 | Dainippon Ink & Chem Inc | 発泡シート |
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