KR20180018319A - 화학 기계적 연마 패드 제조용 자동 캐치 장치 및 방법 - Google Patents

화학 기계적 연마 패드 제조용 자동 캐치 장치 및 방법 Download PDF

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KR20180018319A
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Abstract

본 발명은 기판의 화학 기계적 평탄화를 위한 연마 패드를 만들기 위해 경화성 유체 스트림을 혼합하고 개방된 몰드 안에 분배하여 몰드를 채우기 위한 장치를 제공한다. 상기 장치는 (i) 상기 몰드가 채워진 때 상기 경화성 유체 스트림을 절단하도록 그리고 상기 경화성 유체 스트림을 절단 한 후 상기 액츄에이터 프레임으로부터 해제되도록 구성되고, 그리고 액츄에이터 프레임에 해제가능하게 장착되는 한 세트의 2개의 플레이트들, 및 (ii) 개방된 몰드 안으로 상기 스트림의 연속적인 붓기를 위한 분배기 유닛이 장착되는 상기 액츄에이터 프레임을 포함하고, 그리고 상기 장치는 상기 몰드가 채워진 후 연속적인 붓기 동안, 예를 들어 상기 액츄에이터 프레임 및 상기 분배기 유닛을 들어 올림으로써, 상기 액츄에이터로부터 상기 해제된 플레이트의 제거를 가능하게 하도록 구성되고, 이로써 플레이트를 캐치하도록 상기 몰드 위에 용기를 놓을 수 있다.

Description

화학 기계적 연마 패드 제조용 자동 캐치 장치 및 방법{AUTO CATCH APPARATUS AND METHOD OF USE IN MAKING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PADS}
본 발명은 기판의 화학 기계적 평탄화를 위한 연마 패드를 제조하기 위해 경화성 유체 스트림을 혼합하고 그리고 몰드 안으로 분배하기 위한 장치들에 관한 것으로서, 상기 장치는 (i) 상기 몰드가 채워진 때 상기 경화성 유체 스트림을 절단하도록 그리고 상기 경화성 유체 스트림을 절단 한 후 상기 액츄에이터 프레임으로부터 해제되도록 구성되고, 그리고 액츄에이터 프레임에 해제가능하게 장착되는 한 세트의 플레이트들, 및 (ii) 개방된 몰드 안으로 상기 경화성 유체 스트림의 연속적인 붓기를 위한 분배기 유닛이 장착되는 상기 액츄에이터 프레임을 포함하고, 그리고 상기 연속적인 붓기 및 새로운 몰드 안으로 후속하는 붓기 동안에 액츄에이터로부터 해제된 플레이트의 제거를 가능하게 하도록 구성되는, 장치들에 관한 것이고, 또한 이 장치들을 사용하는 방법에 관한 것이다.
화학 기계적 평탄화에 사용을 위한 연마 패드의 제조는, 예를 들어 펌핑에 의해서 우레탄 성형 혼합물의 몰드 안으로의 붓기 단계를 포함하고, 다음으로 경화된 폴리우레탄을 몰드의 표면에 평행한 방향으로 디몰딩(demolding)하고 절단하여, 예를 들어 스카이빙(skiving)함으로써 그리고 다음으로 결과적인 층을, 예를 들어 그라인딩, 라우팅 또는 엠보싱함으로써 형상지움으로써 소정의 두께를 갖는 층을 형성한다. 이러한 몰딩을 형성하는 기존의 알려진 방법은 각각의 몰드의 채움 후에 사용자가 수동으로 우레탄 형성 혼합물의 붓기를 중지시키는 것을 요구했다. 이것은, 사용자가 붓기 노즐을 몰드 안의 재료("케이크")와 어떠한 접촉도 하지 않으면서 몰드 표면에 매우 근접하게 유지하는 한편 빠르게 우레탄 형성 혼합물의 붓기 스트림 아래에 작은 용기를 삽입해야 했고; 다음으로 몰드의 채움 후에 붓기가 중지될 때 까지 붓기가 계속될 때 사용자가 노즐을 올리고 그리고 더 큰 용기, 예를 들어 버킷을 그 아래에 가져와 우레탄 형성 혼합물을 캡쳐해야 했다는 점을 의미한다. 수동 프로세스는 작업자 또는 용기가 케이크와 접촉될 때 결함을 유발하였고; 예를 들어, 유체 재료의 스트림 아래에 작은 용기를 슬라이딩시키는 행위는 반대 측의 몰드의 상부 상에 불균일하게 재료의 적은 양의 증착으로 공통적으로 귀결되고, 이 반대 측부로부터 용기가 사용자에 의해서 삽입되어 슬라이딩 결함을 유발한다. 요구되는 기술을 제외하고, 작업은 우레탄 형성 혼합물이 부어지는 동안에 케이크 바로 위에 위치되도록 하고, 따라서 사용자를 튀김 및 증기 위험에 노출 시킨다. 또한, 원료 비용을 절약하기 위해서, 우레탄 형성 혼합물의 펌핑은 각각의 몰드의 채움 후에 정지되어야하며, 더 낮은 수율 및 원료 낭비로 이어진다.
Chengzhong에게 주어진 중국 특허 공개 번호 CN 204249185 U은 실용신안에서 미경화된 우레탄 폼이 이미 채워진 몰드 상에 또는 안으로 떨어지거나 또는 흘려지는 것을 방지하도록 몰딩 프로세스에서 미경화된 우레탄 폼을 수집하기 위한 폐기물 수집 장치를 개시한다. Chengzhong 장치는 몰드가 채워진 후에 분배기가 몰드 안으로 폼 재료를 떨어뜨리는 것을 방지하도록 분배기 또는 몰드 채움 장치를 따라서 몰드 바로 위에 안착된 병진운동 빔 상에 회전가능하게 장착된 원형 폐기물 수집 플레이트를 포함한다. Chengzhong 장치는 수집 박스 안으로 그리고 플레이트로부터 수집된 폼을 스크랩핑하는 블레이드를 갖는다. Chengzhong은 연속적인 몰드들 안으로 연속적인 붓기를 가능하게 하는 어떠한 해결책 또는 연속적인 몰딩 방법을 개시하지 못한다.
본 발명은 슬라이딩 결함과 같은 임의의 결함이 형성됨 없이 화학 기계적 연마 패드를 형성하는데 사용하기 위한 케이크를 만드는 연속적인 몰딩 방법을 가능하게 하기 위해서 시도한다.
1. 본 발명에 따르면, 반도체 및 렌즈와 같은 기판의 화학 기계적 평탄화를 위한 연마 패드를 만들기 위해 경화성 유체 스트림(stream)을, 바람직하게는 폼 형태로 혼합하고 개방된 몰드 안에 분배하여 몰드를 채우기 위한 장치들은, (i) 액츄에이터 프레임에 해제가능하게 부착되고, 상기 몰드가 채워진 때 상기 경화성 유체 스트림을 절단하고 그리고 상기 경화성 유체 스트림을 절단 한 후 상기 액츄에이터 프레임으로부터 해제되도록 구성되는 한 세트의 2개의 플레이트들, 및 (ii) 개방된 몰드 안으로 경화성 유체 스트림의 연속적인 붓기를 위한 분배기 유닛이 장착되는 상기 액츄에이터 프레임을 포함하며, 상기 장치, 상기 (ii) 분배기 유닛, 또는 상기 (ii) 분배기 유닛과 상기 액츄에이터 프레임은 몰드가 채워진 후 연속적인 붓기 동안에 상기 액츄에이터로부터 해제된 플레이트의 제거를 가능하게 하도록 구성되고, 그리고 상기 장치들을 이동시키는 하나 이상의 액츄에이터 유닛의 사용에 의해서와 같이, 플레이트를 캐치하도록 사용자가 몰드 위에 용기를 배치하는 것이 가능하게 충분한 거리로 상기 액츄에이터 프레임 및 상기 (ii) 분배기 유닛을 들어 올림으로써와 같이, 새로운 몰드 안으로 후속 붓기를 가능하게 하도록 구성된다.
2. 위 본 발명의 항목 1에서와 같은 장치에 따르면, 상기 (i) 한 세트의 플레이트는 캐치 플레이트(catch plate) 및 슬링 플레이트(sling plate)를 포함하고, 상기 몰드가 채워지면, 상기 캐치 플레이트는 상기 몰드의 표면의 2.54 cm 또는 바람직하게는, 1 cm 이내에 경화성 유체 스트림 바로 아래로 이동되고 그리고 슬링 플레이트는 상기 경화성 유체 스트림 바로 아래로 이동되는 상기 캐치 플레이트의 부분 아래로 상기 캐치 플레이트 반대쪽의 상기 경화성 유체 스트림의 측부로부터 이동되어 상기 캐치 플레이트에 의해서 매달리거나 또는 튀기는 임의의 경화성 유체 스트림을 캐치한다.
3. 위 본 발명의 항목 1 또는 2 중 어느 하나에서와 같은 장치들에 따르면, 상기 액츄에이터 프레임에는 (i) 한 세트의 플레이트의 이동을 제어하기 위한 하나 이상의 암이 장착되고, 상기 액츄에이터 프레임에는 한 세트의 플레이트, 바람직하게는, (i) 한 세트의 2개의 플레이트들 및 2개의 암들, 예를 들어 캐치 암에 해제가능하게 부착된 캐치 암(catch arm) 및 슬링 암(sling arm)에 해제가능하게 부착된 슬링 플레이트가 해제가능하게 부착된다.
4. 위 본 발명의 항목 3에서와 같은 장치에 따르면, 한 세트의 2개의 플레이트들, 즉 캐치 플레이트 및 슬링 플레이트를 포함하며, 각각의 플레이트는 반대 단부에서 액츄에이터 유닛에 각각 부착되는 암, 즉 캐치 암 및 슬링 암에 해제가능하게 부착되고, 암 각각은 상기 2개의 플레이트들 사이에 갭을 열어 상기 경화성 유체 스트림이 상기 (ii) 분배기 유닛으로부터 유동되는 것을 허여하고 몰드가 채워지는 동안 개방된 채로 유지하도록, 그리고 상기 몰드가 채워지면, 폐쇄하고 그리고 상기 몰드 안으로의 상기 경화성 유체 스트림을 절단하여 상기 캐치 플레이트 및 상기 슬링 플레이트 각각의 일부분이 바람직하게는 상기 경화성 유체 스트림의 위치에서 서로 겹치도록 아치형의 방식으로 이동되며, 상기 캐치 플레이트의 겹쳐지는 부분은 상기 슬링 플레이트의 겹쳐지는 부분 안으로 슬라이딩 가능하게 맞춰진다.
5. 위 본 발명의 항목 3 또는 항목 4에 따르면, 상기 캐치 암 및 상기 슬링 암 각각은 좌측 손 암이 상기 액츄에이터 프레임의 우측 손 측에 부착되고 우측 손 암이 상기 액츄에이터 프레임의 좌측 손 측에 부착되는 상태로, 상기 액츄에이터 프레임에 부착되어 암들 자체가 서로 어느 지점에서도 접촉되지 않거나 간섭하지 않는다.
6. 위 본 발명의 항목 1, 2, 3, 4 또는 5 중 어느 하나에서와 같은 장치에 따르면, 상기 (i) 한 세트의 플레이트들의 각각의 플레이트는, 각각의 플레이트의 적어도 일 부분이 슬라이딩되어 들어가는 플레이트 하우징 및 스프링 로딩형 롤러 또는 클립을 포함하는 롤러 액츄에이터에 의해서 상기 액츄에이터 프레임으로부터 해제되고, 이에 의해서 상기 롤러 또는 클립은 상기 롤러 또는 클립과 상기 플레이트 하우징 사이의 위치에 상기 플레이트를 유지하고 그리고 상기 롤러 액츄에이터는 상기 플레이트 하우징으로부터 멀어지게 상기 롤러 또는 클립을 들어올림으로써 그리고 상기 플레이트가 상기 장치로부터 멀리 떨어지게 함으로써 각각의 플레이트를 해제한다.
7. 위 본 발명의 항목 6에서와 같은 장치에 따르면, 롤러 액츄에이터는 각각의 암의 단부에 위치되고 그리고 각각의 롤러 액츄에이터는 각각의 암의 단부로부터 각각의 플레이트를 해제한다.
8. 위 본 발명의 항목 1, 2, 3, 4, 5, 6 또는 7 중 어느 하나에서와 같은 장치들에 따르면, 상기 (i) 한 세트의 플레이트들의 각각의 플레이트는 1회용 또는 재활용가능한 재료, 예를 들어, 종이, 대나무, 폴리에스터, 예컨대 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (PET) 또는 폴리올레핀, 예컨대 저밀도 폴리에틸렌 (LDPE)으로 만들어진다.
9. 위 항목 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 또는 8 중 어느 하나에서와 같은 장치에 따르면, 상기 장치는 (ii) 분배기 유닛 또는 상기 분배기 유닛과 상기 액츄에이터 프레임을 상기 몰드 표면으로부터 위로 그리고 멀어지게 이동시켜 사용자로 하여금 또는 로봇으로 하여금 상기 경화성 유체 스트림 아래에 용기를 배치하는 것을 가능하게 하여 상기 (i) 한 세트의 플레이트가 해제될 때 이들을 캐치하도록 구성되고 그리고 새로운 몰드가 상기 (ii) 분배기 유닛 아래에 위치되고 새로운 (i) 한 세트의 플레이트들이 상기 액츄에이터 프레임에 부착되는 동안 상기 경화성 유체 스트림을 캐치하도록 구성되는 하나 이상의 액츄에이터 유닛, 바람직하게는 2개의 액츄에이터 유닛을 더 포함하며, 상기 하나 이상의 액츄에이터는 상기 (ii) 분배기 유닛 및 상기 액츄에이터 프레임을 새로운 몰드 안으로 상기 경화성 유체 스트림을 붓는 위치로 낮추도록 더 구성된다.
10. 위 항목 9에서와 같은 본 발명의 장치들에 따르면, 상기 하나 이상의 액츄에이터 유닛은 프로그램된 운동을 가능하게 하는 기계적 연결부를 갖는 프로그램가능한 전자 액츄에이터, 예를 들어 로봇, 바람직하게는 XYZ 축선방향 운동 및 회전 운동이 가능한 6 축선 암을 갖는 로봇, 기어 피동식 액츄에이터, 예컨대 자동화된 Z 축선 볼 스크류, 및 공압 액츄에이터, 예컨대 공압 리프터 또는 실린더, 바람직하게는 하나 또는 2개의 전자적으로 프로그램된 로봇으로부터 선택될 수 있다.
11. 본 발명의 다른 양태에 따르면, 위 항목 1 내지 10 중 어느 하나에서와 같은 본 발명의 장치들을 사용하는 방법은 케이크를 형성하도록 몰드 안으로 상기 (ii) 분배기 유닛으로부터 경화성 유체 스트림을 계속적으로 혼합하고 붓는 단계 및 전체 케이크의 전체 손실 또는 결함을 회피하도록 케이크의 상부표면에 근접하게 그리고 상기 (i) 한 세트의 플레이트들을 사용하여 깨끗하게 경화성 유체 스트림을 절단하는 단계를 포함한다.
12. 위 항목 11에서와 같은 본 발명의 방법에 따르면, 상기 방법은, 상기 (i) 한 세트의 플레이트들이 상기 액츄에이터 프레임으로부터, 바람직하게는 각각의 플레이트가 해제가능하게 부착되는 암으로부터 해제될 때 상기 (i) 한 세트의 플레이트들을 캐칭하고 상기 경화성 유체 스트림이 절단될 때 이를 캐칭하는 단계를 더 포함하며, 상기 캐칭하는 단계는 상기 (ii) 분배기 유닛 또는 상기 액츄에이터 프레임 및 상기 (ii) 분배기 유닛을 사용자가 상기 몰드의 표면을 접촉하지 않으면서 상기 플레이트를 캐치하도록 상기 몰드 위에 용기를 위치시키기에 충분한 거리로 들어 올리는 단계 및 상기 한 세트의 플레이트 아래에 그리고 상기 경화성 유체 스트림의 아래에 상기 한 세트의 플레이트들 및 상기 경화성 유체 스트림을 절단한 후 그리고 새로운 몰드가 상기 (ii) 분배기 유닛 아래에 배치되기 전에 상기 (ii) 분배기 유닛으로부터 유동되는 상기 경화성 유체 스트림의 양을 유지하기에 충분히 큰 용기를 배치하는 단계를 포함한다.
13. 위 항목 11에서와 같은 본 발명의 방법에 따르면, 상기 방법은 상기 (ii) 분배기 유닛 아래에 새로운 몰드를 배치하는 단계 및 상기 액츄에이터 프레임 상에, 바람직하게는 상기 액츄에이터 유닛에 부착되는 암의 단부 각각에 새로운 (i) 한 세트의 플레이트들을 해제가능하게 부착하는 단계를 더 포함한다.
14. 위 13에서와 같은 본 발명의 방법에 따르면, 계속적으로 붓는 단계는 상기 몰드가 채워지고 새로운 (i) 한 세트의 플레이트들이 상기 액츄에이터 유닛에 부착된 후 상기 (ii) 분배기 유닛 아래에 새로운 몰드를 배치하도록 몰드를 위한 자동화된 컨베이어로 동기적으로 자동화된다.
달리 표시되지 않으면, 온도 및 압력 조건은 주위 온도 및 표준 압력이다. 언급되는 모든 범위는 경계를 포함하고 결합가능하다.
달리 명시되지 않으면, 괄호를 포함하는 어떠한 용어도 대안적으로 괄호가 존재하지 않는 것과 같은 전체 용어 및 괄호 없는 용어, 그리고 각각의 대안의 조합을 가리킨다. 따라서, 용어 "(폴리)이소시아네이트"는 이소시아네이트, 폴리이소시아네이트, 또는 이들의 혼합물을 가리킨다.
모든 범위는 경계를 포함하고 결합가능하다. 예를 들어, 용어 "50 내지 3000 cPs의 범위, 또는 100 cPs 이상"은 50 내지 100 cPs, 50 내지 3000 cPs 및 100 내지 3000 cPs 각각을 포함할 수 있다.
여기서 사용될 때, 용어 "액츄에이터"는 전자적으로, 공압적으로, 예컨대 실린더에 대한 기계적 연결부를 통해서, 그리고/또는 이것이 연결되는 다른 것의 운동을 기계적으로 제어하는 장치를 가리킨다.
여기서 사용될 때, 용어 "ASTM"은 ASTM International, West Conshohocken, PA의 공개물을 가리킨다.
여기서 사용될 때, 용어 "폴리이소시아네이트"는, 블록이소시아네이트기를 포함하여, 3개 이상의 이소시아네이트기를 갖는 분자를 함유하는 임의의 이소시아네이트기를 의미한다.
여기서 사용될 때, 용어 "폴리이소시아네이트 예비중합체"는, 디아민, 디올, 트리올, 및 폴리올과 같은 2개 이상의 활성 수소기를 함유하는 활성 수소 함유 화합물과 과잉의 디이소시아네이트 또는 폴리이소시아네이트의 반응 생성물인 분자를 함유하는 임의의 이소시아네이트기를 의미한다.
여기서 사용될 때, 용어 "충분한 거리"는 한 편으로 (ii) 분배기 유닛과 액츄에이터 프레임, 다른 한편으로 (i) 한 세트의 플레이트를 캐치하는 몰드의 상부 표면과 연속적으로 부어지는 경화성 유체 스트림 사이에 배치되는 용기의 높이보다 적어도 2 cm 또는 더 바람직하게는 적어도 4 cm 더 큰 거리를 가리킨다.
여기서 사용될 때, 달리 명시되지 않으면, 용어 “wt.% NCO”는 주어진 NCO기 또는 블록킹화된 NCO기 함유 생성물을 위한 스펙 시트(spec sheet) 또는 MSDS 상에 보고된 바와 같은 양을 가리킨다.
여기서 사용될 때, 용어 "wt.%"는 중량 퍼센트를 나타낸다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 일 실시형태를 도시하며, 다른 것들 중에서, 한 세트의 플레이트들을 위한 액츄에이터 프레임을 도시한다.
도 2는 도 1에 도시되는 바와 같은 본 발명의 장치의 2개의 암들을 도시하며, 한 세트의 2개의 플레이트들과 각각의 플레이트용 암의 사시도를 도시하고, 암은 경화성 유체 스트림을 절단하기 위한 플레이트를 해제가능하게 부착한다.
본 발명자는, 경화성 유체 스트림의 연속적인 분배를 가능하게 하여 화학 기계적 연마 패드를 만들기 위해서 사용되는 별개의 몰드들의 충진(filling) 사이에 그리고 이 동안에 연마 패드를 만드는 장치를 발견하였다. 본 발명의 장치에서 한 세트의 플레이트들은 재료를 유지(holding)하였던 한 쌍의 플레이트가 용기 안으로 떨어지게끔 용기 또는 수집기, 예를 들어 버킷(bucket)이 경화성 유체 스트림의 유동 아래 놓이기에 충분히 긴 시간 동안 경화성 유체 스트림을 유지할 것이다. 본 발명의 장치가, 사용자가 다른 몰드를 채우도록 경화성 유체 스트림을 계속 붓는 것을 허여하는 한편 슬링 결함을 포함하여 몰드 결함을 제거하는 것을 돕는다. 펌프를 중지시킴으로써 유동을 중지시키는 한편, 유동을 재-안정화시키기 위해서 몇 초 그리고 일 분까지 걸리며 버려지는 원료로 귀결된다. 경화성 유체 스트림의 연속적인 배달을 가능하게 함으로써, 본 발명자는, 각각의 몰드가 채워진 후, 즉 각각의 케이크가 부어진 후, 혼합 및 몰딩 장치를 퍼지하지 않아도 됨으로써 원료 비용을 절약할 수 있다는 것을 발견하였다.
본 발명의 장치는 몰드 (케이크)의 표면의 2.54 cm 내 또는 바람직하게는 1cm 내의 전방 단부에서 서로 결합되는 아치형 방식으로 이동시킴으로써, 그리고 몰드로의 경화성 유체 스트림의 유동을 깨끗하게 중지시키도록 경화성 유체 스트림을 슬라이싱하거나 절단함으로써, 2개의 플레이트로 가장 잘 작동된다. 장치는 다음으로 플레이트를 들어올리고 그리고 용기 안으로 플레이트를 해제하고, 예를 들어 버킷 또는 용기는, 다음 몰드가 도착하고 버킷이 제거(다음으로 다음 몰드 또는 케이크가 부어진다)될 때까지 경화성 유체 스트림이 계속적으로 유동되는 동안 제 위치에 유지된다. 한 세트의 (2개의) 플레이트들이 없다면, 다음 개방 몰드가 스트림 아래에 놓일 때까지 용기 버킷을 경화성 유체 스트림 아래에 위치시켜야 할 것이다. 용기는 케이크에 손상을 줄 수도 있다.
(i) 한 세트의 플레이트들은 1회용이거나 재사용가능하다.
장치는 (i) 한 세트의 플레이트들의 플레이트들 각각이 하우징 상의 위치에 클립되거나 스냅되는 것을 허여하는 플레이트 유지/해제 하우징을 상기 장치에 포함시킴으로써 새로운 몰드 안으로 상기 경화성 유체 스트림의 붓기를 허여하도록 구성된다. 사용 중에, 상기 장치를 채워진 몰드로부터 멀리 들어 올리고, 그리고 장치는 액츄에이터 유닛으로부터 (i) 한 세트의 플레이트를 해제한다. 일단 구 플레이트가 해제되면, 새로운 플레이트가 위치에 클립될 수 있고, 그리고 장치는 새로운 몰드의 표면 바로 위에 (ii)분배기 유닛과 함께 위치될 수 있고 그리고 플레이트는 (ii)분배기 유닛이 새로운 몰드를 채우는 것을 허여하도록 위치될 수 있다.
도 1에 도시되는 바와 같이, 액츄에이터 프레임(1)은 2개의 암, 즉 캐치 암(2) 및 슬링 암(6)에 연결되고 그리고 이들을 제어한다. 캐치 암(2)은, 액츄에이터 프레임(1)에 대한 연결부로부터 원위 단부에서 플레이트 유지/해제 하우징(3)에 연결되며, 여기에 캐치 플레이트(4)가 해제가능하게 부착된다. 슬링 암(6)은 액츄에이터 프레임(1)에 대한 연결부로부터 원위 단부에서 플레이트 유지/해제 하우징(11)에 연결되며, 여기에 슬링 플레이트(5)가 해제가능하게 부착된다. 액츄에이터 프레임(1)은, 캐치 플레이트(4) 및 슬링 플레이트(5)가 노즐(7), 즉 분배기 유닛으로부터 오는 경화성 유체 스트림(8)을 절단하는 폐쇄 위치에서 도시된다. 사용시, 액츄에이터 프레임(1)은, 캐치 플레이트(4)와 슬링 플레이트(5) 사이에 갭이 존재하여 경화성 유체 스트림(8)이 노즐(7)로부터 방해받지 않으면서 아래의 몰드(미도시) 안으로 유동되는 것을 가능하게 하도록 캐치 암(2) 및 슬링 암(6)을 유지한다. 몰드가 채워진 때, 액츄에이터 프레임(1)의 슬링 암(6) 및 캐치 암(2) 각각이 이동되어 이들 사이의 임의의 갭을 닫아, 캐치 플레이트(4)가 경화성 유체 스트림(8)을 캐치하도록 상측에서 종료되는 한편 슬링 플레이트(5)가 하측에서 종료되어 아래의 몰드(미도시)의 내용물 상으로 경화가능한 유체 스트림(8)의 슬링 또는 스프래싱(splashing)을 방지한다. 좀 더 구체적으로, 슬링 암(6)은 원호형 방식으로 반시계방향으로 이동되고 그리고 캐치 암(2)은 원호형 방식으로 시계방향으로 이동되어 캐치 플레이트(4)와 슬링 플레이트(5) 사이의 갭을 닫는다.
좌측 손 암이 액츄에이터 프레임의 우측 손 측부에 부착되고 그리고 우측 손 암이 액츄에이터 프레임의 좌측 손 측부에 고정되는 본 발명의 액츄에이터 프레임에서의 암들의 위치결정에 의해 암들은 서로를 접촉하지 않는다. 이 위치결정은 암들이 한 세트의 플레이트들을 폐쇄하여 이들이 경화성 유체 스트림의 위치에서 사이에 최소 공간으로 또는 공간이 없이 서로 중첩되도록 정확한 스윙 각도를 가능하게 한다. 예를 들어, 도 1에 도시되는 바와 같이, 암(캐치 암(2) 및 슬링 암(6))은 액츄에이터 프레임(1)의 반대 측부에 장착되며, 수직 중심 라인(미도시)으로서 경화성 유체 스트림(8)의 유동 축선을 사용하며; 캐치 암(2) 및 슬링 암(6)이 폐쇄된 위치에 있을 때, 캐치 플레이트(4) 및 슬링 플레이트(5)는 이들의 겹쳐지는 단부 사이에 어떠한 공간도 없이 겹쳐진다.
도 1에 도시되는 바와 같이, 플레이트 유지/해제 하우징(3)은 롤러 액츄에이터(9) 상에 장착되는 스프링 로딩형 롤러를 포함한다. 사용 중에, 롤러 액츄에이터(9)는 롤러와 플레이트 하우징(3) 사이의 적소에 캐치 플레이트(4)를 유지하고; 롤러 액츄에이터는 플레이트로부터 롤러를 멀리 후퇴시킴으로서 그리고 캐치 플레이트(4)가 장치로부터 멀어져 떨어지게 함으로써 캐치 플레이트(4)를 해제한다. 슬링 암(6) 상의 다른 하나의 동일한 플레이트 유지/해제 하우징(11)은, 롤러와 플레이트 하우징(11) 사이의 적소에 슬링 플레이트(5)를 유지하는 롤러 액츄에이터(10)를 포함하고; 롤러 액츄에이터는 플레이트로부터 멀리 롤러를 후퇴시킴으로써 슬링 플레이트(5)를 해제한다. 장치의 사용 중에, 액츄에이터 프레임(1) 또는 액츄에이터 프레임(1)을 유지하는 로봇이 몰드 표면으로부터 들어 올려지는 한편 다른 액츄에이터 또는 로봇(미도시)이 몰드 표면으로부터 노즐(7)을 들어 올려 사용자 또는 또 다른 액츄에이터가 캐치 플레이트(4)와 슬링 플레이트(5) 양자 아래에 적합한 용기(미도시)를 배치할 수 있도록 하고, 이는 따라서 캐치 플레이트(4) 및 슬링 플레이트(5)가 장치로부터 제거되는 것을 허여한다. 사용 중, 캐치 플레이트(4)와 슬링 플레이트(5)는 하나의 단일 컨테이너 안으로 동시에 해제된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 캐치 플레이트(4)(도 1) 상의 플레이트 유지/해제 하우징(3)(도 1)은 롤러 액츄에이터(9)를 포함한다. 슬링 플레이트(5)(도 1) 상의 플레이트 유지/해제 하우징(11)(도 1)은 롤러 액츄에이터(10)(도 1)를 포함한다. 도 2에 도시된 메커니즘에서, 롤러들은 스프링 로딩형 에어 실린더로 플레이트를 핀치한다. 실린더는 롤러를 안으로 그리고 밖으로 이동시켜 플레이트들이 해제되는 것을 허여하는 한편 스프링은 플레이트를 아래로 가압하여 핀칭하고 그리고 이들을 제자리에 유지한다.
액츄에이터 프레임에 부착된 암들 각각, 바람직하게는 캐치 암 및 슬링 암은, 하나의 기어를 갖는 스터드 또는 축에 장착되거나 또는 편심 장착되고 이는 이들을 기어에 연결하거나 또는 편심의 경우에, 롤러에 연결한다. 액츄에이터 프레임 상에서 유닛을 보는 것과 같은 위치에서, 슬링 암은 시계방향으로 이동되어 개방되고 그리고 반시계방향으로 이동되어 폐쇄되고, 그리고 캐치 암은 반시계방향으로 이동되어 개방되고 그리고 시계방향으로 이동되어 폐쇄된다.
바람직하게는, 액츄에이터 프레임에 부착되는 암은 전기 구동식 로터리 액츄에이터 또는 및/또는 로봇 액츄에이션, 예를 들어 6-축 전자적으로 제어되는 로봇에 의해서 이동될 수 있으며, 여기서 6번째 축선은 한 세트의 기어를 구동하여 더욱 제어되고 그리고 프로그램가능한 가속 및 감속 운동을 제공한다.
여기서 사용될 때, 용어 "축선"은 로봇에서 페이스플레이트를 지칭하고, 이 로봇이 축선방향으로 회전될 수 있는 이 위의 부착 마운트를 갖는다. 예를 들어, 6 축선 로봇은 6개의 이러한 페이스플레이트를 갖는다.
한 세트의 플레이트 중 각각의 플레이트는 플레이트 하우징 안으로 (경화가능한 유체 스트림으로부터 먼) 일 단부에서 슬라이딩가능하게 장착되도록 정형화된다. 플레이트 하우징은 플랜지를 포함하고, 이 플랜지에 대해서 롤러 액츄에이터가 가압하여 플레이트를 위한 클립 또는 홀더를 형성할 수 있다.
한 세트의 플레이트에서 각각의 플레이트는 1회용이거나 또는 재활용가능하고 그리고 종이, 대나무, 나무, 나무 복합물 또는 재활용가능한 플라스틱, 예를 들어 저밀도 폴리에틸렌(LDPE) 또는 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (PET)로 만들어질 수도 있다.
한 세트의 플레이트를 캐치하기 위한 용기는 모든 플레이트 및, 스트림이 잘린 시간부터 새로운 몰드가 (ii) 분배기 유닛 아래에 있고 새로운 세트의 플레이트가 액츄에이터 프레임 또는 이의 암들에 부착될 때까지 부어지는 경화성 유체 스트림의 양을 유지하기에 충분히 큰 임의의 것일 수 있다.
(ii) 분배기 유닛 및 액츄에이터 프레임을 위한 하나 이상의 액츄에이터를 포함하는 본 발명의 장치들을 이동시키는 액츄에이터 유닛은 프로그램된 운동을 가능하게 하는 기계적 연결부, 예를 들어 로봇, 바람직하게는 XYZ 축선방향 운동 및 회전 운동이 가능한 6 축선 암을 갖는 로봇, 기어 피동식 액츄에이터 그리고 공압 액츄에이터, 예를 들어 공압 실린더, 바람직하게는 전자적으로 프로그램된 로봇으로부터 선택될 수 있다.
바람직하게는, 분배기 유닛 및, 한 세트의 플레이트를 이동시키는 작동 유닛을 들어 올리고 낮추는 액츄에이터 유닛은 로봇을 포함한다. 예를 들어, 하나의 로봇은 분배기 유닛을 들어 올리고 낮추는 한편, 다른 로봇은 액츄에이션 유닛을 들어 올리고 낮춘다.
좀 더 바람직하게는, 제3 로봇은 일단 한 세트의 플레이트 아래에 용기의 삽입을 허여하도록 분배기 유닛 및 액츄에이터 프레임이 몰드 표면으로부터 멀어지도록 올려지면 한 세트의 플레이트 아래에 용기를 이동시킨다.
공간을 절약하기 위해서, 롤러 액츄에이터뿐만 아니라 본 발명의 하나 이상의 액츄에이터 유닛은 바람직하게는 전자적으로 프로그램가능한 액츄에이터를 포함한다.
본 발명의 롤러 액츄에이터는 (i) 한 세트의 플레이트의 각각의 플레이트를 제 위치에 유지하고 (i) 한 세트의 플레이트의 각각의 플레이트를 제 위치에 유지하는 롤러 또는 클립을 이동시켜 플레이트를 해제한다.
본 발명의 장치는 연마 패드를 만들기 위해서 경화성 유체 스트림의 다양한 부분의 분배 및 혼합 또는 형성, 및 저장을 위한 장비와 함께 사용되고; 그리고 이 장치는 분배기 장비 구체적으로, 예를 들어 (i)분배기 유닛의 출구에 위치되고 여기에 연결된다.
본 발명에서 사용을 위한 경화성 유체 스트림을 형성하기 위한 적합한 혼합 장치들은 경화성 유체 스트림의 하나 이상의 부분의 각각을 위한 저장 탱크, 혼합 탱크 및 분배 장치, 예를 들어, 개방된 몰드 안으로 경화성 유체 스트림을 분배하기 위한 개구, 예를 들어 노즐 또는 출구를 포함하는 유체 혼합물을 위한 밸브식 투입부를 포함할 수도 있다. 경화성 유체 스트림을 형성하기 위한 적합한 장치는, 예를 들어 Kolesar 등에게 주어진 미국 특허 번호 7,275,928 B2에서 찾아질 수도 있다.
혼합 장치는 임의의 상류 저장 탱크 또는 혼합 탱크에 연결되는 하나 이상의 가스 유입구, 바람직하게는 공기 또는 산소를 포함할 수 있다. 모든 가스 유입구는 단일 가스 소스에 다시 연결될 수 있다. 혼합 탱크는, 예를 들어, 소정 부피 비중(bulk density)을 갖는 경화성 유체 스트림을 형성하기 위해서 그리고 유체 예비-혼합물로서 소정 또는 설정된 비율로 저장 탱크들로부터 유체 재료의 하나 이상의 부분을 별개로 수용하기 위한 예비혼합물 준비(premix prep) 탱크일 수도 있다.
바람직하게는, 저장 탱크는 유체 폴리머 또는 레진, 예를 들어 폴리이소시아네이트, 및 유체 경화제, 예컨대 방향족 디아민 또는 트리아민을 위한 별개의 탱크를 포함한다.
더욱 바람직하게는, 저장 탱크는, 유체 폴리머 또는 레진을 위한, 마이크로구형체 또는 기공 형성 성분을 위한, 그리고 유체 경화제를 위한 별개의 탱크들을 포함한다.
바람직하게는, 마이크로구형체 또는 기공 형성 성분은, 유동화 가스 공급원, 예컨대 공기 또는 산소에 가스 유입구 라인을 통해서 연결되는 플레넘 위로 제공되는 다공성 멤브레인을 포함하는 유동화 호퍼에 저장되며, 마이크로구형체 또는 기공 형성 성분은 유동화되고 이로써 이들의 부피 비중은 감소된다.
적합한 유동화 호퍼의 예시가, 예를 들어 Koetas 등에게 주어진 미국 특허 번호 7,396,497 B2에서 찾아질 수도 있다.
폴리우레탄 및 충전제, 예를 들면 폴리이소시아네이트 예비중합체 및 마이크로구형체와 같은 혼합 시 반응하지 않는 다수의 재료로부터 경화성 유체 스트림을 형성하기 위해서 사용될 때, 이러한 재료는 소정의 부피 비중을 갖는 유체 예비-혼합물을 형성하도록 혼합될 수도 있다. 이러한 경우에, 본 발명의 혼합 장치들은 유체 예비-혼합물을 위한 탱크 및 예비 혼합물 준비 탱크에 유체 예비-혼합물을 재순환시키기 위한 그리고 유체 예비-혼합물이 균질하게 혼합될 때까지 이것이 몰딩을 위한 소정의 그리고 부피 비중, 예를 들어 0.5 내지 1.2 g/cm3을 가질 때까지 혼합시키기 위한 재순환 루프를 더 포함할 수도 있다.
바람직하게는, 혼합 장치들은 유체 폴리머 또는 레진 탱크, 마이크로구형체 또는 기공 형성 성분를 위한 탱크, 및 하나 이상의 경화제를 위한 탱크, 및 폴리머 예비-혼합물을 형성하도록 유체 폴리머 또는 레진 및 마이크로구형체 또는 기공 형성 성분을 혼합하기 위한 재순환 루프 및 이로부터 하류에, 경화성 유체 스트림을 형성하도록 폴리머 예비-혼합물과 하나 이상의 경화제를 혼합하기 위한 예비혼합 가동(premix run) 탱크를 포함하는 예비혼합물 준비 탱크를 포함한다. 예비 혼합물 가동 탱크는 개방된 몰드 안으로 경화성 유체 스트림을 분배하기 위한 개구의 바로 상류에 위치된다.
바람직하게는, 경화성 유체 스트림 내 미말동반된 가스 및 이로부터 기인되는 몰딩된 제품의 어떠한 포함된 결함을 최소화하기 위해서, 혼합 장치들은 혼합 탱크의 하류에 혼합 탱크의 내용물을 수용하고 그리고 몰드 안으로 결과적인 경화성 유체 스트림을 분배하도록 구성되는 혼합 헤드 조립체를 포함한다.
적합한 혼합 헤드 조립체의 예시는, 예를 들어 Esbenshade 등에게 주어진 미국 특허 번호 7,947,098 B2에서 찾아질 수도 있다.
본 발명의 장치들은 분배기 유닛 및 액츄에이터 프레임을 포함한다.
본 발명의 장치들은 화학 기계적 패드를 몰딩하기 위해서 사용되는 경화성 유체 스트림을 다룬다. 본 발명에 따른 경화성 유체 스트림의 예시는 마이크로구형체 부분을 함유하는 우레탄 부분, 또는 경화제 부분 및 폴리머 마이크로구형체 부분을 수용하는 우레탄 부분일 수도 있다. 우레탄 부분이 경화제 부분을 함유하는 경우에, 2개의 부분의 조합물은 즉시 사용되고 그리고 이들 2개의 부분은 몰드를 채우고 경화되기 전에 바로 조합된다.
우레탄 부분은 과잉 몰수의 이소시아네이트기 함유 반응물에서 디이소시아네이트와 많은 몰수의 하이드록실기를 갖는 일 종 이상의 예비중합체 폴리올의 반응 생성물인 일 종 이상의 이소시아네이트 말단화된 우레탄 예비중합체를 포함할 수도 있고; 여기서 상기 이소시아네이트 말단화된 우레탄 예비중합체는 2 내지 12 wt% 미반응된 이소시아네이트 (NCO)기를 갖는다.
적합한 이소시아네이트 화합물은 지방족, 방향족 및 지환족 디이소시아네이트, 예컨대 2,4-톨루엔 디이소시아네이트; 2,6-톨루엔 디이소시아네이트; 4,4'-디페닐메탄 디이소시아네이트; 나프탈렌-1,5-디이소시아네이트; 톨루이딘 디이소시아네이트; 파라-페닐렌 디이소시아네이트; 크실릴렌 디이소시아네이트; 이소포론 디이소시아네이트; 헥사메틸렌 디이소시아네이트; 4,4'-디사이클로헥실메탄 디이소시아네이트; 사이클로헥산디이소시아네이트; 및, 이들의 혼합물로부터 선택된 것들이다.
적합한 예비중합체 폴리올은 디올, 폴리올, 폴리올 디올, 이들의 코폴리머 및 이들의 혼합물로 구성되는 그룹으로부터 선택된다.
바람직하게는, 예비중합체 폴리올은 폴리에테르 폴리올 (예를 들면, 폴리(옥시테트라메틸렌)글리콜, 폴리(옥시프로필렌)글리콜 및 이들의 혼합물); 폴리카보네이트 폴리올; 폴리에스테르 폴리올; 폴리카프로락톤 폴리올; 이들의 혼합물; 및, 이들과 에틸렌 글리콜; 1,2-프로필렌 글리콜; 1,3-프로필렌 글리콜; 1,2-부탄디올; 1,3-부탄디올; 2-메틸-1,3-프로판디올; 1,4-부탄디올; 네오펜틸 글리콜; 1,5-펜탄디올; 3-메틸-1,5-펜탄디올; 1,6-헥산디올; 디에틸렌 글리콜; 디프로필렌 글리콜; 및, 트리프로필렌 글리콜로 구성된 그룹으로부터 선택된 일 종 이상의 저분자량 폴리올과의 혼합물로부터 선택된다.
좀 더 바람직하게는, 예비중합체 폴리올은 폴리테트라메틸렌 에테르 글리콜 (PTMEG); 에스테르기 함유 폴리올(예컨대 에틸렌 아디페이트, 부틸렌 아디페이트); 폴리프로필렌 에테르 글리콜 (PPG); 폴리카프로락톤 폴리올; 이들의 코폴리머; 및, 이들의 혼합물로 구성된 그룹으로부터 선택된다. 가장 바람직하게는, 예비중합체 폴리올은 PTMEG 및 PPG로부터 선택된다.
바람직하게는, 본 발명의 이소시아네이트 말단화된 우레탄 예비중합체는 2개의 이소시아네이트기를 함유하는 선형 폴리이소시안트 예비중합체이다.
바람직하게는, 본 발명의 방법에서 사용되는 이소시아네이트 말단화된 우레탄 예비중합체는 2 내지 10 wt% (더욱 더 바람직하게는 4 내지 8 wt%; 가장 바람직하게는 5 내지 7 wt%)의 미반응된 이소시아네이트 (NCO)기를 갖는다.
경화제 부분은 방향족 디아민 또는 다른 다작용성 아민, 예컨대 방향족 디아민, 예를 들면, 4,4'-메틸렌비스-o-클로로아닐린 ("MbOCA"); 4,4'-메틸렌비스-(3-클로로-2,6-디에틸아닐린) ("MCDEA"); 디메틸티오톨루엔디아민; 트리메틸렌글리콜 디-p-아미노벤조에이트; 폴리테트라메틸렌옥사이드 디-p-아미노벤조에이트; 폴리테트라메틸렌옥사이드 모노-p-아미노벤조에이트; 폴리프로필렌옥사이드 디-p-아미노벤조에이트; 폴리프로필렌옥사이드 모노-p-아미노벤조에이트; 1,2-비스(2-아미노페닐티오)에탄; 4,4'-메틸렌비스-아닐린; 디에틸톨루엔디아민; 5-tert-부틸-2,4-톨루엔디아민; 3-tert-부틸-2,6-톨루엔디아민; 5-tert-아밀-2,4-톨루엔디아민; 및 3-tert-아밀-2,6-톨루엔디아민 및 클로로톨루엔디아민을 포함할 수도 있다.
마이크로구형체 파트는 폴리머 마이크로구형체 또는 기공 형성 성분, 예를 들면, 갇힌 가스 버블, 중공 코어 폴리머 물질, 예컨대 폴리머 마이크로구형체, 액체 충전된 중공 코어 폴리머 물질, 예컨대 유체 충전된 폴리머 마이크로구형체, 수용성 물질 및 불용성 상 물질 (예를 들면, 광유)을 포함할 수도 있다. 바람직하게는, 마이크로구형체는 경화성 유체 스트림을 통해서 균일하게 분포되는 중공 코어 폴리머 물질을 포함한다.
바람직하게는, 마이크로구형체는 150 μm 미만(더 바람직하게는 100 μm 미만; 가장 바람직하게는 5 내지 50 μm)의 중량 평균 직경을 갖는다.
바람직하게는, 복수의 미세요소는 폴리아크릴로니트릴 또는 폴리아크릴로니트릴 코폴리머 중 어느 하나의 쉘 벽을 갖는 폴리머 마이크로구형체(예를 들면,네덜란드 암스테르담 , Akzo Nobel의 Expancel™ 비드)를 포함한다.
본 발명에 따르면, 마이크로구형체는 0 내지 50 vol.% 다공도, 또는 바람직하게는, 5 내지 35 vol.% 다공도로 경화성 유체 스트림 안으로 포함된다.
본 발명의 생성물 화학 기계적 연마 패드는 ASTM D1622-08 (2008)에 따라 측정되는 바와 같이 0.6 g/cm3 이상의 밀도를 보인다. 따라서, 본 발명의 생성물 화학 기계적 연마 패드는 ASTM D1622-08 (2008)에 따라 측정되는 바와 같이 0.6 내지 1.2 g/cm3, 또는, 바람직하게는, 0.7 내지 1.1 g/cm3, 또는, 더 바람직하게는, 0.75 내지 1.0 g/cm3 의 밀도를 보인다.
본 발명의 화학 기계적 연마 패드는 서빙 층(subbing layer), 예를 들어 폴리머 또는 수지 처리된 부직포 상에 적층될 수도 있다.
본 발명에 따라 경화성 유체 스트림의 연속적인 붓기를 가능하게 하기 위해서, 본 발명의 장치를 사용하는 방법은 케이크를 형성하도록 몰드 안으로 (i)분배기 유닛으로부터 경화성 유체 스트림을 계속적으로 혼합하고 붓는 단계 및 전체 케이크의 전체 손실 또는 결함을 회피하도록 케이크의 상부표면의 2.54 cm 또는 바람직하게는, 1 cm 이하 내와 같이 근접하고 그리고 깨끗하게 경화성 유체 스트림을 절단하는 단계를 포함한다.
본 발명의 방법에 있어서, 이 계속적인 붓기 프로세스는 몰드를 위한 자동화된 컨베이어와 함께 자동화 될 수도 있다.
실시예
수직으로 배치된 분배기 유닛을 통해서 둥근 케이크 형상의 몰드 안으로 부어지고 그리고 혼합되는 마이크로구형체 폴리머 충전된 일 성분 폴리우레탄을 사용하여 본 발명의 계속적인 프로세스로 몰딩 시도가 행해졌다. 실시예 1(본 발명) 및 비교예 2 각각은 전체 5개의 몰드(케이크)에 대해서 계속되었다.
실시예 1에서, 도 1에 도시되는 바와 같은 본 발명의 장치가 사용되었고, 각각의 몰드가 채워진 후 그리고 다음 몰드 안으로의 붓기 단계가 시작되기 전에 부어진 마이크로구형체 폴리머 충전된 폴리우레탄, 및 2개의 한 세트의 플레이트들, 즉 캐치 플레이트 및 슬링 플레이트를 캐치하도록 분배기 유닛 아래에 3.785 L 버킷을 사람이 삽입한다. 또한, 실시예 1에서, 장치는 분배기 유닛을 올리고 그리고 내리는 자동화된 Z 축선 볼 스크류 및 몰드 외부에 있는 액츄에이터 유닛에 부착되었다.
비교예 2에서, 분배기 유닛 및 액츄에이터 유닛은 어떠한 오버플로우에 대해서 각각의 케이크 후에 3.785 L 버킷 안으로 배수를 가능하게 하는 고정된 위치에 모든 축선이 있는 로봇에 의해서 이동되었다. 이 버킷으로의 이동 전에 유동 마이크로구형체 폴리머 충전된 폴리우레탄이 멈춰야 했다.
실시예 1의 5개의 몰드는 비교예 2에서 몰드를 채우기 위해서 걸린 시간보다 14% 적은 시간에 채워졌다. 또한, 5개의 몰드를 만드는 과정에서, 실시예 1에서 몰드들의 붓기 사이에 낭비되는 마이크로구형체 폴리머 충전된 폴리우레탄의 양은 비교예 2에서 낭비되는 양보다 50% 적었다. 실시예 1에서, 생성된 몰드는 비록 분배 및 몰딩 프로세스가 계속적이었지만, 슬링 결함을 갖지 않았다.

Claims (10)

  1. 기판의 화학 기계적 평탄화를 위한 연마 패드를 만들기 위해 경화성 유체 스트림을 혼합하고 개방된 몰드를 충진하도록 상기 몰드 안으로 분배하기 위한 장치에 있어서, (i) 액츄에이터 프레임에 해제가능하게 부착되고, 상기 몰드가 채워진 때 상기 경화성 유체 스트림을 절단하고 그리고 상기 경화성 유체 스트림을 절단 한 후 상기 액츄에이터 프레임으로부터 해제되도록 구성되는 한 세트의 2개의 플레이트들, 및 (ii) 개방된 몰드 안으로 상기 경화성 유체 스트림의 연속적인 붓기를 위한 분배기 유닛이 장착되는 상기 액츄에이터 프레임을 포함하고, 상기 장치는 상기 연속적인 붓기 동안 그리고 상기 몰드가 채워진 후에 상기 액츄에이터로부터 상기 해제된 플레이트의 제거를 가능하게 하도록 구성되는, 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 (i) 한 세트의 플레이트들은 캐치(catch) 플레이트 및 슬링(sling) 플레이트를 포함하고, 상기 몰드가 채워지면, 상기 캐치 플레이트가 상기 몰드의 표면의 2.54 cm 내에서 상기 경화성 유체 스트림 바로 아래로 이동되고, 그리고 상기 경화성 유체 스트림 바로 아래로 이동되는 상기 캐치 플레이트의 부분 아래로 상기 캐치 플레이트 반대쪽의 상기 경화성 유체 스트림의 측부로부터 이동되어 상기 캐치 플레이트에 의해서 매달리거나 또는 튀기는 임의의 경화성 유체 스트림을 캐치하는, 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 액츄에이터 프레임에는 상기 (i) 한 세트의 2개의 플레이트들의 운동을 제어하기 위한 한 세트의 2개의 암들이 장착되고, 상기 플레이트는 캐치 암에 해제가능하게 연결되는 캐치 플레이트 및 슬링 암에 해제가능하게 부착되는 슬링 플레이트인, 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 (i) 한 세트의 2개의 플레이트들, 즉 상기 캐치 플레이트 및 상기 슬링 플레이트를 포함하고, 각각의 플레이트는 반대 단부에서 상기 액츄에이터 유닛에 부착되는 암에 해제가능하게 부착되고, 상기 암 각각은, 상기 (ii) 분배기 유닛으로부터 상기 경화성 유체 스트림의 흐름을 허여하게끔 상기 2개의 플레이트들 사이의 갭을 열고 그리고 몰드가 채워지는 동안 개방된 상태로 남아 있도록, 그리고 상기 몰드가 채워진 때 닫히고, 상기 몰드 안으로 상기 경화성 유체 스트림의 유동을 절단하도록 아치형 방식으로 이동되어, 상기 캐치 플레이트 및 상기 슬링 플레이트 각각의 부분이 상기 경화성 유체 스트림의 위치에서 서로 겹치는, 장치.
  5. 청구항 3에 있어서, 상기 캐치 암 및 상기 슬링 암 각각은, 상기 암들이 어느 지점에서도 서로 접촉하거나 간섭하지 않도록, 상기 좌측 손 암이 상기 액츄에이터 프레임의 우측 손 측에 부착되고 상기 우측 손 암이 상기 액츄에이터 프레임의 좌측 손 측에 부착되는 상태로, 상기 액츄에이터 프레임에 부착되는, 장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 (i) 한 세트의 플레이트들의 각각의 플레이트는, 각각의 플레이트의 적어도 일 부분이 슬라이딩되어 들어가는 플레이트 하우징 및 스프링 로딩형 롤러 또는 클립을 포함하는 롤러 액츄에이터에 의해서 상기 액츄에이터 프레임으로부터 해제되고, 이에 의해서 상기 롤러 또는 클립은 상기 롤러 또는 클립과 상기 플레이트 하우징 사이의 적소에 상기 플레이트를 유지하고 그리고 상기 롤러 액츄에이터는 상기 플레이트 하우징으로부터 멀어지게 상기 롤러 또는 클립을 들어올림으로써 그리고 상기 플레이트가 상기 장치로부터 멀리 떨어지게 함으로써 각각의 플레이트를 해제하는, 장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 (i) 한 세트의 플레이트들 각각의 플레이트는 1회용 또는 재활용가능한 재료, 예를 들어, 종이, 대나무, 폴리에스터, 예컨대 폴리에틸렌 테레프탈레이트 (PET) 또는 폴리올레핀, 예컨대 저밀도 폴리에틸렌 (LDPE)으로 만들어지는, 장치.
  8. 청구항 1에 있어서, (ii) 분배기 유닛 또는 상기 분배기 유닛과 상기 액츄에이터 프레임 둘 다를 상기 몰드 표면으로부터 위로 그리고 멀어지게 이동시켜 사용자로 하여금 또는 로봇으로 하여금 상기 경화성 유체 스트림 아래에 용기를 배치하는 것을 가능하게 하여 상기 (i) 한 세트의 플레이트들이 해제될 때 이들을 캐치하도록 구성되고 그리고 새로운 몰드가 상기 (ii) 분배기 유닛 아래에 위치되고 새로운 (i) 한 세트의 플레이트들이 상기 액츄에이터 프레임에 부착되는 동안 상기 경화성 유체 스트림을 캐치하도록 구성되고, 상기 하나 이상의 액츄에이터는 상기 (ii) 분배기 유닛 및 상기 액츄에이터 프레임을 상기 새로운 몰드 안으로 상기 경화성 유체 스트림을 붓는 위치로 낮추도록 더 구성되는 장치.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 하나 이상의 액츄에이터 유닛 각각은 프로그래밍된 운동을 가능하게 하는 기계적 연결부를 갖는 프로그래밍가능한 전자 액츄에이터, 기어 피동 액츄에이터, 및 압축공기 액츄에이터로부터 선택되는, 장치.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 하나 이상의 액츄에이터 유닛 각각은, 상기 프로그램된 운동을 가능하게 하는 기계적 연결부를 갖는 프로그램가능한 전자 로봇인, 장치.

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11897079B2 (en) 2019-08-13 2024-02-13 Applied Materials, Inc. Low-temperature metal CMP for minimizing dishing and corrosion, and improving pad asperity
TW202129731A (zh) * 2019-08-13 2021-08-01 美商應用材料股份有限公司 Cmp溫度控制的裝置及方法
CN113172559A (zh) * 2021-05-06 2021-07-27 重庆市腾龙磨料磨具有限公司 一种用于砂轮自动加工设备的磨料摊平装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10500073A (ja) * 1994-05-18 1998-01-06 アイサ オートマシオン アンデュストリエル ソシエテ アノニム 合成樹脂から中空体を製造するための方法及び装置
JP2002192538A (ja) * 2000-12-27 2002-07-10 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 半導体研磨用ポリウレタン研磨パッドを製造する方法
JP2002226537A (ja) * 2001-02-01 2002-08-14 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置
US20050087320A1 (en) * 1998-03-31 2005-04-28 Takata Corporation Fine die cast metallic parts
US20080145544A1 (en) * 2005-02-04 2008-06-19 Martin Schamberg Method and Device for Producing Polyurethane Foam Slab Stock
JP2008137355A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 樹脂成形体の製造装置、樹脂成形体形成用原液の収容タンク及び樹脂成形体の製造方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3434697A (en) * 1967-07-12 1969-03-25 A & R Meats Inc Mixing machine
JP3628979B2 (ja) * 2000-08-25 2005-03-16 西川化成株式会社 表皮材付成形体の開口部形成方法
US20060189269A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-24 Roy Pradip K Customized polishing pads for CMP and methods of fabrication and use thereof
US7396497B2 (en) 2004-09-30 2008-07-08 Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. Method of forming a polishing pad having reduced striations
US7275928B2 (en) 2004-11-23 2007-10-02 Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. Apparatus for forming a striation reduced chemical mechanical polishing pad
ITRM20060499A1 (it) * 2006-09-20 2008-03-21 Sipa Societa Industrializzazione E Progettazione Asta di otturazione
KR100893670B1 (ko) * 2007-08-10 2009-04-20 주식회사 케이씨텍 노즐 세정장치 및 세정방법
DE102008048740B4 (de) * 2008-09-24 2018-03-01 Kraussmaffei Technologies Gmbh Angussvorrichtung zum Befüllen unterschiedlicher Formkavitäten mit einem Mischkopf
US7947098B2 (en) 2009-04-27 2011-05-24 Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. Method for manufacturing chemical mechanical polishing pad polishing layers having reduced gas inclusion defects
JP5747849B2 (ja) * 2012-03-26 2015-07-15 東レ株式会社 ゲートバルブおよびゲートバルブの製造方法
CN202702476U (zh) * 2012-08-29 2013-01-30 浙江三田滤清器有限公司 一种pu胶浇注流水线
EP3004435B1 (en) * 2013-06-05 2018-08-08 Markforged, Inc. Methods for fiber reinforced additive manufacturing
CN204354393U (zh) * 2014-11-13 2015-05-27 天津鑫嘉时代科技有限公司 注塑机喷嘴
CN204249185U (zh) 2014-11-17 2015-04-08 吴呈仲 一种聚氨酯浇注设备废余料收集装置
CN205097556U (zh) * 2015-10-27 2016-03-23 大连理工大学 一种热塑性颗粒材料的熔融挤出装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10500073A (ja) * 1994-05-18 1998-01-06 アイサ オートマシオン アンデュストリエル ソシエテ アノニム 合成樹脂から中空体を製造するための方法及び装置
US20050087320A1 (en) * 1998-03-31 2005-04-28 Takata Corporation Fine die cast metallic parts
JP2002192538A (ja) * 2000-12-27 2002-07-10 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 半導体研磨用ポリウレタン研磨パッドを製造する方法
JP2002226537A (ja) * 2001-02-01 2002-08-14 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 研磨パッド用ポリウレタン発泡体の製造装置
US20080145544A1 (en) * 2005-02-04 2008-06-19 Martin Schamberg Method and Device for Producing Polyurethane Foam Slab Stock
JP2008137355A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 樹脂成形体の製造装置、樹脂成形体形成用原液の収容タンク及び樹脂成形体の製造方法

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