JP2002226265A - 圧電磁器組成物および圧電共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】共振周波数と反共振周波数の間およびその近傍
の周波数で移相歪みが発生せず、厚み滑り振動や厚み縦
振動の基本波振動等のＰ／Ｖを大きくできるとともに、
−２０℃〜＋８０℃の温度範囲で発振周波数の温度安定
性に優れた非鉛系の圧電磁器組成物および圧電共振子を
提供する。 【解決手段】金属元素として少なくともＢｉおよびＴｉ
を含有するとともに、モル比による組成式をＡ₂Ｂｉ₄Ｔ
ｉ₅Ｏ₁₈（ＡはＳｒ、Ｃａ、（Ｂｉ_0.5Ｎａ_0.5）、（Ｂ
ｉ_0.5Ｌｉ_0.5）および（Ｂｉ_0.5Ｋ_0.5）のうち少なくと
も２種以上）で表わされる主成分と、該主成分１００重
量部に対してＭｎをＭｎＯ₂換算で０．０５〜１重量部
含有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電磁器組成物お
よび圧電共振子に関し、例えば、共振子、超音波振動
子、超音波モータ、あるいは加速度センサ、ノッキング
センサ、およびＡＥセンサ等の圧電センサなどに適し、
特に、厚み滑り振動の基本波振動を利用したエネルギ一
閉じ込め型発振子の高周波発振子用として好適に用いら
れる圧電磁器および圧電共振子に関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来から、圧電磁器を利用した製品として
は、例えば、フィルタ、圧電共振子（以下、発振子を含
む概念である）、超音波振動子、超音波モータ、圧電セ
ンサ等がある。

【０００３】ここで、発振子は、マイコンの基準信号発
振用として、例えば、コルピッツ発振回路等の発振回路
に組み込まれて利用される。図１はコルピッツ発振回路
を基本とした回路構成においてインダクタＬの部分を圧
電発振子に置き換えたピアス発振回路を示すものであ
る。このピアス発振回路は、コンデンサ１１、１２と、
抵抗１３と、インバータ１４および発振子１５により構
成されている。そして、この発振回路において、発振信
号を発生するには、以下の発振条件を満足する必要があ
る。

【０００４】即ち、インバータ１４と抵抗１３からなる
増幅回路における増幅率をα、移相量をθ₁とし、ま
た、発振子１５とコンデンサ１１、１２からなる帰還回
路における帰還率をβ、移相量をθ₂としたとき、ルー
プゲインがα×β≧１であり、かつ、移相量がθ₁＋θ₂
＝３６０゜×ｎ（但しｎ＝１，２，…）であることが必
要となる。

【０００５】一般的に抵抗１３およびインバータ１４か
らなる増幅回路は、マイコンに内蔵されている。誤発振
や不発振を起さない、安定した発振を得るためにはルー
プゲインを大きくしなければならない。ループゲインを
大きくするには、帰還率βのゲインを決定する、発振子
のＰ／Ｖ、すなわち共振インピーダンスＲ₀および反共
振インピーダンスＲ_aの差を大きくする事が必要とな
る。なお、Ｐ／Ｖは２０×Ｌｏｇ（Ｒ_a／Ｒ₀）の値とし
て定義される。

【０００６】また、移相量の条件を満足させるために
は、共振周波数と反共振周波数の間およびその近傍の周
波数で、移相が約−９０゜から約＋９０゜まで移相反転
し、且つ共振周波数と反共振周波数の間およびその近傍
にスプリアス振動による移相歪みが発生しないことも重
要となる。

【０００７】従来、圧電性が高く、例えば高いＰ／Ｖが
得られるＰＺＴ、ＰＴ系材料が使用されていた。しかし
ながら、ＰＺＴ、ＰＴ系材料には鉛が自重の約６０％の
割合で含有されているため、酸性雨により鉛の溶出が起
こり環境汚染を招く危険性が指摘されている。そこで、
鉛を含有しない圧電材料への高い期待が寄せられてい
る。鉛を含有しないビスマス層状化合物を主体とする材
料系においては、ＰＺＴ、ＰＴ系材料と比較して機械的
品質係数（Ｑｍ）が比較的高いという特徴があり、発振
子用の非鉛圧電材料としての応用が可能である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
鉛を含有しないビスマス層状化合物を主体とする圧電磁
器組成物では、共振子として用いる場合、充分なＰ／Ｖ
が得られられないばかりか、加工性が悪くチッピング
（共振子用磁器エッジの欠け）により共振周波数と反共
振周波数の間にスプリアス振動に伴う移相歪みが発生
し、移相の条件を満足しないことから不発振や安定した
発振が得られない問題があった。

【０００９】また共振周波数の温度変化率が±５０００
ｐｐｍよりも大きく、電子機器から要求される温度特性
に対する周波数の許容公差±５０００ｐｐｍ以内の精度
には対応できないという問題があった。

【００１０】従って、本発明は、共振周波数と反共振周
波数の間およびその近傍の周波数で移相歪みが発生せ
ず、厚み滑り振動や厚み縦振動の基本波振動等のＰ／Ｖ
を大きくできるとともに、−２０℃〜＋８０℃の温度範
囲で発振周波数の温度安定性に優れた非鉛系の圧電磁器
組成物および圧電共振子を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の圧電磁器は、金
属元素として少なくともＢｉおよびＴｉを含有するとと
もに、モル比による組成式をＡ₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈ ＡはＳｒ、Ｃａ、（Ｂｉ_0.5Ｎａ_0.5）、（Ｂｉ_0.5Ｌｉ
_0.5）および（Ｂｉ_{0. 5}Ｋ_0.5）のうち少なくとも２種以
上で表わされる主成分と、該主成分１００重量部に対し
てＭｎをＭｎＯ₂換算で０．０５〜１重量部含有するも
のである。

【００１２】このような圧電磁器組成物からなる圧電磁
器を用いて圧電共振子を作製した場合、共振周波数と反
共振周波数の間およびその近傍の周波数で移相歪みが発
生せず、特に厚み滑りや厚み縦の基本波および３次オー
バートーン振動でのＰ／Ｖ値を大きくすることができ
る。例えば、厚み滑り基本波振動の−２０〜８０℃にお
ける共振周波数の温度変化率が±５０００ｐｐｍ以内と
なり、かつ共振インピーダンスＲ₀と反共振インピーダ
ンスＲ_aとした時、２０×Ｌｏｇ（Ｒ_a／Ｒ₀）で表され
るＰ／Ｖが５５ｄＢ以上とすることができる。また、キ
ュリー温度を３００℃以上に向上させることもできる。

【００１３】従来、ＳｒＢｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈系のビスマス層
状化合物は圧電特性が小さいことが知られていたが、本
発明では、例えば、Ｓｒの一部をＣａで所定量置換し、
ビスマス層状化合物中に固溶させることにより優れた圧
電特性を示すことを見いだし、本発明に至ったのであ
る。特に、ＳｒＢｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈系のビスマス層状化合物
はキュリー温度が３００以下と低く表面実装に対応する
電子部品には使用できないという問題があったが、本発
明では、Ｓｒの一部をＣａに置換することによりキュリ
ー温度を向上させ、３００℃以上のキュリー温度とする
こともできることを見出し、本発明に至ったのである。

【００１４】本発明の圧電磁器組成物では、主成分が、
モル比による組成式を（Ｓｒ_1-xＣａ_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ
₁₈と表したとき、０．０５≦ｘ≦０．８を満足するとと
もに、主成分１００重量部に対してＭｎをＭｎＯ₂換算
で０．２〜０．７重量部含有することが望ましい。これ
により、特に厚み滑り基本波振動のＰ／Ｖをさらに大き
くできる。

【００１５】本発明の圧電共振子は、上記圧電磁器組成
物からなる圧電磁器の両主面に電極を形成してなるもの
である。このような圧電共振子では、上記したように、
Ｂｉ層状化合物からなる非鉛圧電磁器を用いた圧電共振
子、例えば、厚み滑り基本波振動を適用した発振子では
Ｐ／Ｖが大きくなることから発振余裕度が高まり、且つ
共振周波数と反共振周波数の間およびその近傍の周波数
で移相歪みが発生しないことから安定した発振が得られ
るとともに、発振周波数の温度安定性に優れた高精度な
発振が得られ、２〜２０ＭＨｚの周波数に適応できる発
振子を得ることができる。さらに、例えば、筐体状ケー
ス内に上記圧電共振子を内蔵した表面実装部品を基板上
に半田等で表面実装する場合にも、圧電共振子の特性が
劣化することもない。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の圧電磁器組成物は、金属
元素として少なくともＢｉおよびＴｉを含有するＢｉ層
状化合物であって、モル比による組成式をＡ₂Ｂｉ₄Ｔｉ
₅Ｏ₁₈（ＡはＳｒ、Ｃａ、（Ｂｉ_0.5Ｎａ_0.5）、（Ｂｉ
_0.5Ｌｉ_0.5）および（Ｂｉ_0.5Ｋ_0.5）のうち少なくとも
２種以上）と表わされる主成分と、該主成分１００重量
部に対してＭｎをＭｎＯ₂換算で０．０５〜１重量部含
有するものである。

【００１７】上記組成式において、Ａの種類をＳｒ、Ｃ
ａ、（Ｂｉ_0.5Ｎａ_0.5）、（Ｂｉ_{0. 5}Ｌｉ_0.5）および
（Ｂｉ_0.5Ｋ_0.5）のうち少なくとも２種以上を満足する
としたのは、これによりＰ／Ｖを５５ｄＢより大きくす
ることができるからである。

【００１８】特に、本発明の圧電磁器組成物のモル比に
よる組成式を、（Ａ１_1-xＡ２_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈と表
したとき、Ａ１がＳｒで、Ａ２がＣａ、（Ｂｉ_0.5Ｎａ
_0.5）、（Ｂｉ_0.5Ｌｉ_0.5）および（Ｂｉ_0.5Ｋ_0.5）の
うち少なくとも１種以上であることが、Ｐ／Ｖを向上す
るという点から望ましい。この場合には、０＜ｘ≦０．
８を満足することが望ましい。

【００１９】ｘを０＜ｘ≦０．８の範囲に設定した理由
は、ｘが０．８より多い場合には、厚み滑り振動のＰ／
Ｖが低くなる傾向があるからである。一方、ｘが０の
時、加工時にチッピングが起こり易く共振周波数と反共
振周波数の間で移相が約−９０゜から約＋９０゜に移相
反転した周波数帯域において、１０゜を超える移相リッ
プルが発生し易く、発振条件が満足しなくなり発振停止
がおこり易くなるためである。

【００２０】（Ａ１_1-xＡ２_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈と表し
たときのｘは、厚み滑り振動のＰ／Ｖを大きくし、移相
歪みの発生を抑制するという点から、０．０５≦ｘ≦
０．７、特には０．３≦ｘ≦０．７であることが望まし
い。

【００２１】さらに、本発明では、上記主成分１００重
量部に対して、ＭｎをＭｎＯ₂換算で０．０５〜１重量
部含有することが望ましい。Ｍｎを含有せしめることに
より、Ｐ／Ｖを大きく向上できるが、ＭｎＯ₂含有量が
主成分ｌ００重量部に対してｌ重量部よりも多くなると
体積固有抵抗値が下がり、分極時に電流が流れ充分な分
極ができず厚み滑り振動のＰ／Ｖが低くなるからであ
る。一方、０．０５重量部よりも少なくなると、Ｐ／Ｖ
が低下し、移相歪みが出やすくなるからである。

【００２２】Ｍｎは、焼結性を高め、Ｐ／Ｖを大きくす
ると言う理由から、主成分１００重量部に対して、Ｍｎ
Ｏ₂換算で０．２〜０．７重量部含有することが望まし
い。

【００２３】本発明では、主成分のモル比による組成式
を（Ｓｒ_1-xＣａ_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ_{1 8}と表わされるもの
が望ましい。即ち、上記した組成式においてＡ１がＳｒ
で、Ａ２がＣａの場合である。この時には、Ｐ／Ｖを大
きくすると言う理由から、０．０５≦ｘ≦０．８を満足
することが望ましい。

【００２４】これは、Ｃａによる適量置換により、Ｐ／
Ｖが６０ｄＢを超える大きな値を得ながら、特に発振周
波数の温度変化率を±３０００ｐｐｍ以内に減少できる
からである。また、キュリー温度を３００℃以上とする
こともできるからである。

【００２５】一方、ｘが０．０５よりも小さい場合には
Ｐ／Ｖが小さくなる傾向にあり、０．８よりも大きい場
合にはＰ／Ｖが小さくなるとともに移相歪みが出やすく
なる傾向があるからである。

【００２６】組成式が（Ｓｒ_1-xＣａ_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ
₁₈と表わされる場合、Ｐ／Ｖを大きくし、発振周波数の
温度変化率を小さくし、キュリー温度を３００℃以上に
するという点から、０．３≦ｘ≦０．８、ＭｎＯ₂含有
量が０．２〜０．７であることが望ましい。

【００２７】本発明の圧電磁器組成物からなる圧電磁器
は、粉砕時のＺｒＯ₂ボールからＺｒ等が混入する場合
もあるが、微量であれば特性上問題ない。

【００２８】本発明の圧電磁器組成物からなる圧電磁器
は、実質的に、一般式がＡ₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈で表わされ
るＢｉ層状化合物、特には（Ｓｒ_1-xＣａ_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ
₅Ｏ₁₈と表わされるＢｉ層状化合物からなる結晶相で構
成されており、Ｍｎは前記Ｂｉ層状化合物に殆ど固溶す
るが、ごくわずかＭｎ化合物の結晶として粒界に析出す
る場合がある。

【００２９】また、本発明の圧電磁器組成物は、一般式
がＡ₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈で表わされ、Ｍｎが固溶したＢｉ
層状化合物からなる結晶相で構成されることが望ましい
が、その他に、パイロクロア相、ペロブスカイト相、構
造の異なるＢｉ層状化合物がごくわずか存在することも
あるが、微量であれば特性上問題ない。

【００３０】本発明の圧電磁器組成物からなる圧電磁器
は、例えば、原料として、ＳｒＣＯ ₃、ＣａＣＯ₃、Ｂｉ
₂Ｏ₃、ＭｎＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｎａ₂ＣＯ₃、Ｋ₂ＣＯ₃、Ｌｉ
₂ＣＯ₃からなる各種酸化物或いはその塩を用いることが
できる。原料はこれに限定されず、焼成により酸化物を
生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を用いても良い。

【００３１】これらの原料を上記した組成となるように
秤量し、混合後の平均粒度分布（Ｄ ₅₀）が０．２〜１μ
ｍの範囲になるように粉砕し、この混合物を７５０〜１
０５０℃で仮焼し、所定の有機バインダを加え湿式混合
し造粒する。このようにして得られた粉体を、公知のプ
レス成形等により所定形状に成形し、大気中等の酸化性
雰囲気において１０００〜１３００℃の温度範囲で２〜
５時間焼成し、圧電磁器が得られる。

【００３２】本発明の圧電磁器組成物からなる圧電磁器
は、図１に示すようなピアス発振回路の発振子の圧電磁
器として最適であるが、それ以外の圧電共振子、超音波
振動子、超音波モータおよび加速度センサ、ノッキング
センサ、ＡＥセンサ等の圧電センサなどに最適であり、
特に厚み滑り振動の基本波振動を利用する高周波用とし
て最適な圧電磁器である。

【００３３】図２に本発明の圧電共振子を用いた発振子
を示す。この発振子は、上記した圧電磁器１の両面に電
極２、３を形成して構成されている。このような圧電共
振子では、厚み滑り振動における基本波のＰ／Ｖを高く
でき、発振余裕度が高まり、共振周波数と反共振周波数
の間及びその近傍の周波数で移相歪みが発生しないこと
から安定した発振が得られ、さらに発振周波数の温度安
定性に優れた高精度な発振が得られ、特に２〜２０ＭＨ
ｚの周波数に適応できる圧電発振子を得ることができ
る。

【００３４】また、本発明の圧電磁器組成物はキュリー
温度が高いため、例えば、筐体状ケース内に上記圧電共
振子を内蔵した表面実装部品を基板上に半田等で表面実
装する場合にも、圧電共振子の特性が劣化することもな
い。

【００３５】

【実施例】まず、出発原料として純度９９．９％のＳｒ
ＣＯ₃粉末、ＣａＣＯ₃粉末、Ｂｉ ₂Ｏ₃粉末、ＭｎＯ₂粉
末、ＴｉＯ₂粉末、Ｎａ₂ＣＯ₃粉末、Ｋ₂ＣＯ₃粉末、Ｌ
ｉ₂ＣＯ₃粉末を、モル比による組成式を（Ａ１_1-xＡ
２_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈と表したとき、Ａ１、Ａ２、ｘが
表１に示す元素、値の主成分と、該主成分１００重量部
に対してＭｎをＭｎＯ₂換算で表１に示すような重量部
となるように秤量混合し、純度９９．９％のジルコニア
ボール、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と共に５０
０ｍｌポリポットに投入し、１６時間回転ミルにて混合
した。

【００３６】混合後のスラリ−を大気中にて乾燥し、＃
４０メッシュを通し、その後、大気中９５０℃、３時間
保持して仮焼し、この合成粉末を純度９９．９％のＺｒ
Ｏ₂ボールとイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と共に
５００ｍｌポリポットに投入し、２０時間粉砕して評価
粉末を得た。

【００３７】この粉末に適量の有機バインダーを添加し
て造粒し、金型プレスにて１５０ＭＰａで長さ２５ｍ
ｍ、幅３８ｍｍ、厚みｌ．０ｍｍの板状に成形し、大気
中において１１６０℃の温度で３時間本焼成し圧電磁器
を得た。

【００３８】この圧電磁器について、ｘ線回折測定を行
って結晶相を確認したところ、本発明の組成の圧電磁器
は、一般式が（Ａ１_1-xＡ２_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈で表わ
され、Ｍｎが固溶した結晶相から構成されていた。

【００３９】その後、長さ６ｍｍ、幅３０ｍｍに加工
し、長さ方向に分極するための端面電極を形成し分極処
理を施した。その後、分極用電極を除去し、厚み０．１
７ｍｍに加工した。その後、長さ６ｍｍと幅３０ｍｍか
らなる面の両面にＣｒ−Ａｇを蒸着し、電極と磁器との
密着強度を高めるために２００℃で１２時間のアニール
処理を施した。

【００４０】その後、図２に示す電極構造となるよう
に、無電極に相当する部位の電極をエッチングで除去
し、長さ４．４５ｍｍ（Ｌ）、幅０．９ｍｍ（Ｗ）、厚
み０．１７ｍｍ（Ｈ）形状にダイシングソーやワイヤー
ソーを用いて加工し、８ＭＨｚ発振に相当する厚み滑り
振動の基本波振動用発振子を得た。

【００４１】発振子の特性は、インピーダンスアナライ
ザによリインピーダンス波形を測定し、厚み滑り振動の
基本波振動でのＰ／ＶをＰ／Ｖ＝２０×Ｌｏｇ（Ｒ_a／
Ｒ₀）の式により算出した（但し、Ｒ_a：反共振インピー
ダンス、Ｒ₀：共振インピーダンス）。

【００４２】さらにインピーダンス波形より、共振周波
数と反共振周波数の間で移相が約−９０゜から約＋９０
゜に移相反転した後の約＋９０゜の移相からなる周波数
帯域において、１０゜を超える移相歪みが発生するか否
かを調査した。移相歪みの評価は、移相歪み＝｜最大移
相値−最大値から局所的に変化した移相値｜により求
め、共振子１００個中５個以上において１０゜を超える
移相リップルが発生した場合においては×、それ以下の
場合は○とした。

【００４３】さらに、発振周波数の温度変化率は、２５
℃の発振周波数を基準にして、−２０℃もしくは＋８０
℃での発振周波数の変化を以下の式により算出した。

【００４４】Ｆｏｓｃ変化率（ｐｐｍ）＝｛（Ｆｏｓｃ
（ｄｒｉｆｔ）一Ｆｏｓｃ（２５））／Ｆｏｓｃ（２
５）｝×１００、但し、Ｆｏｓｃ（ｄｒｉｆｔ）は、−
２０℃もしくは＋８０℃での発振周波数であり、Ｆｏｓ
ｃ（２５）は２５℃での発振周波数である。これらの結
果を表１に示す。

【００４５】

【表１】

【００４６】表１から明らかなように、本発明の範囲内
の試料は、厚み滑り振動の基本波振動のＰ／Ｖ値を５５
ｄＢ以上と大きくでき、且つ移相歪みの発生が起こりに
くいことから安定した発振を得ることができ、さらに、
発振周波数の温度変化率が±５０００ｐｐｍ以内となり
小さく、しかもキュリー温度を３００℃以上とできるい
ことが判る。

【００４７】特に、Ａ１としてＳｒ、Ａ２としてＣａを
用い、ｘが０．０５〜０．８、Ｍｎ含有量を０．２〜
０．７重量部とすることにより、高いＰ／Ｖ値を維持し
た状態、特に６０ｄＢ以上を維持し、発振周波数の温度
変化率が±３０００ｐｐｍ以内と小さくできることが判
る。

【００４８】また、Ｍｎを含有しない比較例の試料Ｎ
ｏ．８の場合には焼結体の密度が低く、Ｐ／Ｖ値が３２
ｄＢと小さいことが判る。一方、Ｍｎ量が１．１重量部
の場合にはＰ／Ｖ値が４５ｄＢと小さいことが判る。

【００４９】また、ｘの値が０の試料Ｎｏ．１の場合、
試作した発振子１００個中５個を上回る発振子において
１０゜を上回る移相歪みが発生したことから、安定した
発振が得られられないことが判る。

【００５０】また、ＳｒとＣａを複合化した試料Ｎｏ．
４の場合、ａの値が０．５でＰ／Ｖが７５ｄＢと大きな
値を有しながら、−２０〜８０℃の発振周波数の温度変
化率が±３０００ｐｐｍ以内と優れた温度特性を有し発
振子として最も好ましい特性となる。

【００５１】このように、本発明の圧電磁器において
は、特に、厚み滑り振動の基本波振動のＰ／Ｖを大きく
するとともに、共振周波数と反共振周波数の間におい
て、１０゜を超える移相リップルの発生を著しく少なく
でき、さらに、−２０℃〜８０℃での発振周波数の温度
変化率を±５０００ｐｐｍ以内と小さくすることがで
き、安定した発振子として使用することができ、しかも
キュリー温度を３００℃以上とできることが判る。

【００５２】図３に試料Ｎｏ．４のインピーダンス特性
を、図４に発振周波数の温度変化率を、図５に試料Ｎ
ｏ．４のｘ線回折測定結果を示す。本発明の組成の圧電
磁器は、図５に示すように、一般式が（Ｓｒ_1-xＣａ_x）
₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈で表わされた結晶相からなり、Ｍｎの
ピークが存在しないことにより、Ｍｎが固溶した上記結
晶相から構成されていることが判る。

【００５３】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の圧電磁器
組成物では、厚み滑り振動の基本波振動のＰ／Ｖ値を大
きくしながら、共振周波数と反共振周波数の間で１０゜
を超える移相歪みが発生せず、共振周波数の温度変化率
が小さく、しかもキュリー温度が高く、これにより、発
振子を構成した場合、発振余裕度が高まり安定した発振
と、発振周波数の温度安定性に優れた高精度な発振特性
が得られ、厚み滑り振動の基本波振動を用いた２〜２０
ＭＨｚ発振子用素子として好適な発振子を得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】コルピッツ型発振回路を原型としたピアス発振
回路を示した概略図である。

【図２】８ＭＨｚ用発振子の概略図である。

【図３】試料Ｎｏ．４のインピーダンス特性を示すグラ
フである。

【図４】試料Ｎｏ．４の発振周波数の温度変化率を示す
グラフである。

【図５】試料Ｎｏ．４のｘ線回折測定結果を示す図であ
る。

【符号の説明】

ｌ・・・圧電磁器 ２、３・・・電極

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属元素として少なくともＢｉおよびＴｉ
   を含有するとともに、モル比による組成式が Ａ₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈ ＡはＳｒ、Ｃａ、（Ｂｉ_0.5Ｎａ_0.5）、（Ｂｉ_0.5Ｌｉ
   _0.5）および（Ｂｉ_0.5Ｋ_0.5）のうち少なくとも２種以
   上で表わされる主成分と、該主成分１００重量部に対し
   てＭｎをＭｎＯ₂換算で０．０５〜１重量部含有するこ
   とを特徴とする圧電磁器組成物。
2. 【請求項２】主成分が、モル比による組成式を （Ｓｒ_1-xＣａ_x）₂Ｂｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₈ と表したとき、 ０．０５≦ｘ≦０．８ を満足するとともに、主成分１００重量部に対してＭｎ
   をＭｎＯ₂換算で０．２〜０．７重量部含有することを
   特徴とする請求項１記載の圧電磁器組成物。
3. 【請求項３】請求項１または２記載の圧電磁器組成物か
   らなる圧電磁器の両主面に、電極を形成してなることを
   特徴とする圧電共振子。