JP2000001367A - 圧電磁器組成物及びその製造方法 - Google Patents
圧電磁器組成物及びその製造方法Info
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- JP2000001367A JP2000001367A JP16662198A JP16662198A JP2000001367A JP 2000001367 A JP2000001367 A JP 2000001367A JP 16662198 A JP16662198 A JP 16662198A JP 16662198 A JP16662198 A JP 16662198A JP 2000001367 A JP2000001367 A JP 2000001367A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルタや発振子などの共振子に用いる圧電
磁器組成物に係わり、共振させる周波数に応じた結晶粒
径の焼結体を、また広い周波数範囲の共振子に使用でき
る圧電磁器組成物を提供することを目的とする。 【解決手段】 （化１）を主成分とし、この主成分１モ
ルの重量を１００重量％とし、この主成分１００重量％
に対して、副成分としてＺｒＯ2を５．０重量％以下
（０重量％を除く）、かつＭｎＯ2を０．０５〜２．０
重量％の組成となるように調整した原料粉を混合、仮焼
した後、粉砕時に主成分１００重量％に対してＮｂ2Ｏ5
を０．０５〜２．５重量％、ＣｕＯを０〜２．５重量％
添加し、酸素分圧８０％以上の雰囲気中で焼成する。 【化１】
磁器組成物に係わり、共振させる周波数に応じた結晶粒
径の焼結体を、また広い周波数範囲の共振子に使用でき
る圧電磁器組成物を提供することを目的とする。 【解決手段】 （化１）を主成分とし、この主成分１モ
ルの重量を１００重量％とし、この主成分１００重量％
に対して、副成分としてＺｒＯ2を５．０重量％以下
（０重量％を除く）、かつＭｎＯ2を０．０５〜２．０
重量％の組成となるように調整した原料粉を混合、仮焼
した後、粉砕時に主成分１００重量％に対してＮｂ2Ｏ5
を０．０５〜２．５重量％、ＣｕＯを０〜２．５重量％
添加し、酸素分圧８０％以上の雰囲気中で焼成する。 【化１】
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフィルタや発振子な
どの共振子に用いられる圧電磁器組成物及びその製造方
法に関するものである。
どの共振子に用いられる圧電磁器組成物及びその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の電子部品の小型化、高性能化の要
求は高く、そこで使われる電子部品用材料に対しても小
型化、高品質化の厳しい要求基準が掲げられる。高周波
発振子で用いられる圧電磁器組成物については、従来よ
り小型化に有利な３倍波共振が適用できるＰｂＴｉＯ3
系材料でＰｂの一部をＬａで置換したチタン酸鉛や、さ
らに添加物を加えた材料系が主に使われてきた。特開昭
５７−４７７６８号公報、特開昭５７−４７７６９号公
報などによれば、温度特性改善のための各種添加物を加
えた材料系が提案、使用されている。
求は高く、そこで使われる電子部品用材料に対しても小
型化、高品質化の厳しい要求基準が掲げられる。高周波
発振子で用いられる圧電磁器組成物については、従来よ
り小型化に有利な３倍波共振が適用できるＰｂＴｉＯ3
系材料でＰｂの一部をＬａで置換したチタン酸鉛や、さ
らに添加物を加えた材料系が主に使われてきた。特開昭
５７−４７７６８号公報、特開昭５７−４７７６９号公
報などによれば、温度特性改善のための各種添加物を加
えた材料系が提案、使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】圧電磁器組成物の焼結
体の結晶粒径は、共振のダイナミックレンジに大きな影
響を及ぼす。結晶粒径を小さくすることにより、周波数
での共振のダイナミックレンジをより大きくすることが
できる。しかし、従来の組成では焼結性に問題があり結
晶粒径が小さすぎ不揃いになる傾向があった。そのため
特に２０ＭＨｚ以下の発振子に用いた場合、厚み縦振動
の３倍波共振と同時に５倍波共振のダイナミックレンジ
も大きくなり、不必要な５倍波共振で発振してしまうと
いう問題点を有していた。さらに従来の組成では焼結反
応の均一性に問題があり、すべり振動の基本波における
共振周波数の温度特性が悪く、すべり振動の基本波共振
を用いた発振子への展開が出来ないという問題点も有し
ていた。
体の結晶粒径は、共振のダイナミックレンジに大きな影
響を及ぼす。結晶粒径を小さくすることにより、周波数
での共振のダイナミックレンジをより大きくすることが
できる。しかし、従来の組成では焼結性に問題があり結
晶粒径が小さすぎ不揃いになる傾向があった。そのため
特に２０ＭＨｚ以下の発振子に用いた場合、厚み縦振動
の３倍波共振と同時に５倍波共振のダイナミックレンジ
も大きくなり、不必要な５倍波共振で発振してしまうと
いう問題点を有していた。さらに従来の組成では焼結反
応の均一性に問題があり、すべり振動の基本波における
共振周波数の温度特性が悪く、すべり振動の基本波共振
を用いた発振子への展開が出来ないという問題点も有し
ていた。
【０００４】そこで本発明は上記従来の問題点を解決す
るもので、厚み縦振動の３倍波共振とすべり振動の基本
波共振との両方に利用でき、広い周波数範囲での共振子
に使用できる圧電磁器組成物を提供することを目的とす
るものである。
るもので、厚み縦振動の３倍波共振とすべり振動の基本
波共振との両方に利用でき、広い周波数範囲での共振子
に使用できる圧電磁器組成物を提供することを目的とす
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、（化３）を主成分とし、副成分としてＮｂ
2Ｏ5とＭｎＯ2を含有したものであり、焼結性と焼結反
応の均一性が向上し、使用する周波数に適した結晶粒径
の焼結体を得ることができ、厚み縦振動において発振周
波数が３倍共振から５倍共振へ移ることがなく、すべり
振動においては基本波の共振周波数の温度特性が良好な
高信頼性の共振子に適した圧電磁器組成物を得ることが
できるものである。
に本発明は、（化３）を主成分とし、副成分としてＮｂ
2Ｏ5とＭｎＯ2を含有したものであり、焼結性と焼結反
応の均一性が向上し、使用する周波数に適した結晶粒径
の焼結体を得ることができ、厚み縦振動において発振周
波数が３倍共振から５倍共振へ移ることがなく、すべり
振動においては基本波の共振周波数の温度特性が良好な
高信頼性の共振子に適した圧電磁器組成物を得ることが
できるものである。
【０００６】
【化３】
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、（化３）を主成分とし、副成分としてＮｂ 2Ｏ5とＭ
ｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器組成物であ
り、焼結性の高いものである。
は、（化３）を主成分とし、副成分としてＮｂ 2Ｏ5とＭ
ｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器組成物であ
り、焼結性の高いものである。
【０００８】請求項２に記載の発明は、Ｐｂの２５原子
％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種以上で
置換したことを特徴とする請求項１に記載の圧電磁器組
成物であり、焼結性を高めるという作用を有する。
％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａのうち少なくとも一種以上で
置換したことを特徴とする請求項１に記載の圧電磁器組
成物であり、焼結性を高めるという作用を有する。
【０００９】請求項３に記載の発明は、主成分１モルの
重量を１００重量％としたとき、Ｎｂ2Ｏ5の含有量は、
０．０５〜２．５重量％、ＭｎＯ2の含有量は０．０５
〜２．０重量％であることを特徴とする請求項１あるい
は請求項２に記載の圧電磁器組成物であり、焼結性に優
れ、厚み縦振動において発振周波数が３倍共振から５倍
共振へ移ることなく、すべり振動においては基本波の共
振周波数の温度特性を良好にすることができるという作
用を有する。
重量を１００重量％としたとき、Ｎｂ2Ｏ5の含有量は、
０．０５〜２．５重量％、ＭｎＯ2の含有量は０．０５
〜２．０重量％であることを特徴とする請求項１あるい
は請求項２に記載の圧電磁器組成物であり、焼結性に優
れ、厚み縦振動において発振周波数が３倍共振から５倍
共振へ移ることなく、すべり振動においては基本波の共
振周波数の温度特性を良好にすることができるという作
用を有する。
【００１０】請求項４に記載の発明は、副成分としてさ
らに、ＺｒＯ2を含有したことを特徴とする請求項１か
ら請求項３のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物であ
り、焼結体の結晶粒径を制御できるという作用を有す
る。
らに、ＺｒＯ2を含有したことを特徴とする請求項１か
ら請求項３のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物であ
り、焼結体の結晶粒径を制御できるという作用を有す
る。
【００１１】請求項５に記載の発明は、ＺｒＯ2の含有
量は、主成分１モルの重量を１００重量％としたとき
０．５重量％以下（０重量％を除く）であることを特徴
とする請求項４に記載の圧電磁器組成物であり、焼結体
の結晶粒径を１〜３μｍの間で任意の大きさに制御する
ことができるという作用を有する。
量は、主成分１モルの重量を１００重量％としたとき
０．５重量％以下（０重量％を除く）であることを特徴
とする請求項４に記載の圧電磁器組成物であり、焼結体
の結晶粒径を１〜３μｍの間で任意の大きさに制御する
ことができるという作用を有する。
【００１２】請求項６に記載の発明は、副成分としてさ
らに、ＣｕＯを含有したことを特徴とする請求項１から
請求項５のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物であ
り、焼結性を高めるという作用を有する。
らに、ＣｕＯを含有したことを特徴とする請求項１から
請求項５のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物であ
り、焼結性を高めるという作用を有する。
【００１３】請求項７に記載の発明は、ＣｕＯの含有量
は、主成分１モルの重量を１００重量％としたとき２．
５重量％以下（０重量％を除く）であることを特徴とす
る請求項６に記載の圧電磁器組成物であり、焼結性を高
めるという作用を有する。
は、主成分１モルの重量を１００重量％としたとき２．
５重量％以下（０重量％を除く）であることを特徴とす
る請求項６に記載の圧電磁器組成物であり、焼結性を高
めるという作用を有する。
【００１４】請求項８に記載の発明は、主成分が（化
３）の組成となるような原料粉末と、副成分としてＭｎ
化合物の原料粉末とを混合した混合物を仮焼する第１の
工程と、次にこの仮焼粉に副成分としてＮｂ化合物の原
料粉末を混合した後再度仮焼する第２の工程と、次にこ
の仮焼粉を成形して成形体を得る第３の工程と、次にこ
の成形体を焼成する第４の工程を備えた圧電磁器組成物
の製造方法であり、焼結性向上の効果を高めるという作
用を有する。
３）の組成となるような原料粉末と、副成分としてＭｎ
化合物の原料粉末とを混合した混合物を仮焼する第１の
工程と、次にこの仮焼粉に副成分としてＮｂ化合物の原
料粉末を混合した後再度仮焼する第２の工程と、次にこ
の仮焼粉を成形して成形体を得る第３の工程と、次にこ
の成形体を焼成する第４の工程を備えた圧電磁器組成物
の製造方法であり、焼結性向上の効果を高めるという作
用を有する。
【００１５】請求項９に記載の発明は、第１の工程にお
いて、Ｍｎ化合物の添加量は、ＭｎＯ2に換算し、主成
分１モルの重量を１００重量％としたとき、０．０５〜
２．０重量％、第３の工程においてＮｂ化合物の添加量
は、Ｎｂ2Ｏ5に換算し、主成分１モルの重量を１００重
量％としたとき、０．０５〜２．５重量％であることを
特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物の製造方法
であり、焼結性に優れ、厚み縦振動において発振周波数
が３倍共振から５倍共振へ移ることなく、すべり振動に
おいては基本波の共振周波数の温度特性を良好にするこ
とができるという作用を有する。
いて、Ｍｎ化合物の添加量は、ＭｎＯ2に換算し、主成
分１モルの重量を１００重量％としたとき、０．０５〜
２．０重量％、第３の工程においてＮｂ化合物の添加量
は、Ｎｂ2Ｏ5に換算し、主成分１モルの重量を１００重
量％としたとき、０．０５〜２．５重量％であることを
特徴とする請求項８に記載の圧電磁器組成物の製造方法
であり、焼結性に優れ、厚み縦振動において発振周波数
が３倍共振から５倍共振へ移ることなく、すべり振動に
おいては基本波の共振周波数の温度特性を良好にするこ
とができるという作用を有する。
【００１６】請求項１０に記載の発明は、第１の工程に
おいて副成分としてＺｒの化合物の原料粉末を添加する
ことを特徴とする請求項８あるいは請求項９に記載の圧
電磁器組成物の製造方法であり、焼結体の結晶粒径を制
御できるという作用を有する。
おいて副成分としてＺｒの化合物の原料粉末を添加する
ことを特徴とする請求項８あるいは請求項９に記載の圧
電磁器組成物の製造方法であり、焼結体の結晶粒径を制
御できるという作用を有する。
【００１７】請求項１１に記載の発明は、Ｚｒの化合物
の添加量はＺｒＯ2に換算し、主成分１モルの重量を１
００重量％としたとき、５．０重量％以下（０重量％を
除く）であることを特徴とする請求項１０に記載の圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結体の結晶粒径を１〜
３μｍの間で任意の大きさに制御することができるとい
う作用を有する。
の添加量はＺｒＯ2に換算し、主成分１モルの重量を１
００重量％としたとき、５．０重量％以下（０重量％を
除く）であることを特徴とする請求項１０に記載の圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結体の結晶粒径を１〜
３μｍの間で任意の大きさに制御することができるとい
う作用を有する。
【００１８】請求項１２に記載の発明は、第２の工程に
おいて副成分としてＣｕの化合物の原料粉末を添加する
ことを特徴とする請求項８から請求項１１のいずれか一
つに記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、焼結性を
高めるという作用を有する。
おいて副成分としてＣｕの化合物の原料粉末を添加する
ことを特徴とする請求項８から請求項１１のいずれか一
つに記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、焼結性を
高めるという作用を有する。
【００１９】請求項１３に記載の発明は、Ｃｕの化合物
の添加量はＣｕＯに換算し、主成分１モルの重量を１０
０重量％としたとき、２．５重量％以下（０重量％を除
く）であることを特徴とする請求項１２に記載の圧電磁
器組成物の製造方法であり、焼結性を高めるという作用
を有する。
の添加量はＣｕＯに換算し、主成分１モルの重量を１０
０重量％としたとき、２．５重量％以下（０重量％を除
く）であることを特徴とする請求項１２に記載の圧電磁
器組成物の製造方法であり、焼結性を高めるという作用
を有する。
【００２０】請求項１４に記載の発明は、第１の工程に
おいて、原料粉末の平均粒径が３μｍ以下のものを用い
ることを特徴とする請求項８から請求項１３のいずれか
一つに記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、均一な
焼結反応を起こすことができるという作用を有する。
おいて、原料粉末の平均粒径が３μｍ以下のものを用い
ることを特徴とする請求項８から請求項１３のいずれか
一つに記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、均一な
焼結反応を起こすことができるという作用を有する。
【００２１】請求項１５に記載の発明は、第１の工程に
おいて、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの化合物として
水酸化物を用いることを特徴とする請求項８から請求項
１４のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物の製造方法
であり、吸水性が低く環境変化に対して安定した原料粉
末を用いることで、均一な焼結反応を起こすことができ
るという作用を有する。
おいて、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの化合物として
水酸化物を用いることを特徴とする請求項８から請求項
１４のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物の製造方法
であり、吸水性が低く環境変化に対して安定した原料粉
末を用いることで、均一な焼結反応を起こすことができ
るという作用を有する。
【００２２】請求項１６に記載の発明は、第４の工程に
おいて、酸素分圧８０％以上の雰囲気中で焼成すること
を特徴とする請求項８から請求項１５のいずれか一つに
記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、欠陥生成を抑
制することで緻密な焼結体を得ることができるという作
用を有する。
おいて、酸素分圧８０％以上の雰囲気中で焼成すること
を特徴とする請求項８から請求項１５のいずれか一つに
記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、欠陥生成を抑
制することで緻密な焼結体を得ることができるという作
用を有する。
【００２３】以下、本発明の一実施の形態について説明
する。 （実施の形態１）まず化学的に純度９９％以上で平均粒
径が３μｍ以下のＰｂＯ，ＴｉＯ2，Ｌａ（ＯＨ）3，Ｎ
ｄ（ＯＨ）3，Ｐｒ（ＯＨ）3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2，Ｃａ
ＣＯ3，ＳｒＣＯ3を用いて、（化４）においてＰｂの２
５原子％以下をＣａ，Ｓｒの内少なくとも一種以上で置
換したものが主成分となるように、またこの主成分１モ
ルの重量を１００重量％とし、副成分として主成分１０
０重量％に対して、ＭｎＯ2を０．０５〜１．０重量
％、ＺｒＯ2を０〜５．０重量（０重量％を除く）を添
加して、ボールミルで混合し、混合粉末を得た。
する。 （実施の形態１）まず化学的に純度９９％以上で平均粒
径が３μｍ以下のＰｂＯ，ＴｉＯ2，Ｌａ（ＯＨ）3，Ｎ
ｄ（ＯＨ）3，Ｐｒ（ＯＨ）3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2，Ｃａ
ＣＯ3，ＳｒＣＯ3を用いて、（化４）においてＰｂの２
５原子％以下をＣａ，Ｓｒの内少なくとも一種以上で置
換したものが主成分となるように、またこの主成分１モ
ルの重量を１００重量％とし、副成分として主成分１０
０重量％に対して、ＭｎＯ2を０．０５〜１．０重量
％、ＺｒＯ2を０〜５．０重量（０重量％を除く）を添
加して、ボールミルで混合し、混合粉末を得た。
【００２４】
【化４】
【００２５】次に、混合粉末粉を９５０℃で仮焼して第
一仮焼粉を得た後、この第一仮焼粉に化学的に純度９９
％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2Ｏ5を主成分１００
重量％に対して、０．０５〜２．５重量％の範囲内で添
加しボールミルで粉砕し、第一粉砕粉を得た。この第一
粉砕粉を８００℃で仮焼し、第二仮焼粉を得た後、この
第二仮焼粉をボールミルで粉砕し第二粉砕粉を得た。次
にこの第二粉砕粉を１０００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で成形
して成形体を得た後、この成形体を酸素分圧８０％以上
の雰囲気中で１０００〜１３００℃の温度で焼成し焼結
体を得た。
一仮焼粉を得た後、この第一仮焼粉に化学的に純度９９
％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2Ｏ5を主成分１００
重量％に対して、０．０５〜２．５重量％の範囲内で添
加しボールミルで粉砕し、第一粉砕粉を得た。この第一
粉砕粉を８００℃で仮焼し、第二仮焼粉を得た後、この
第二仮焼粉をボールミルで粉砕し第二粉砕粉を得た。次
にこの第二粉砕粉を１０００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で成形
して成形体を得た後、この成形体を酸素分圧８０％以上
の雰囲気中で１０００〜１３００℃の温度で焼成し焼結
体を得た。
【００２６】得られた焼結体を縦横２０ｍｍ、厚さ５ｍ
ｍの角板に加工し、両面に銀電極を形成した。これを１
００℃のシリコンオイル中で、５ｋＶ／ｍｍ、３０分の
条件で分極処理した。この後電極を形成した焼結体を１
０ＭＨｚにおいてすべり基本振動するための最適厚みに
分極方向と同一方向に切断し、重なり幅１ｍｍの重なり
電極を形成した後、幅１ｍｍに切断した。分極後２４〜
３６時間経てから、すべり基本振動のダイナミックレン
ジと共振周波数の温度特性について測定を行った。その
結果、ダイナミックレンジが十分大きく、温度特性が−
２０〜８０℃の範囲で±０．５％以内に収まり、高信頼
性のすべり振動の基本波共振子を実現していることを確
認した。次に焼結体を電子顕微鏡にて観察し、結晶粒度
と欠陥の状態を観察した。平均粒径は１〜３μｍ程度の
粒度の揃った均一な状態で欠陥の少ない緻密な焼結体で
あることを確認した。
ｍの角板に加工し、両面に銀電極を形成した。これを１
００℃のシリコンオイル中で、５ｋＶ／ｍｍ、３０分の
条件で分極処理した。この後電極を形成した焼結体を１
０ＭＨｚにおいてすべり基本振動するための最適厚みに
分極方向と同一方向に切断し、重なり幅１ｍｍの重なり
電極を形成した後、幅１ｍｍに切断した。分極後２４〜
３６時間経てから、すべり基本振動のダイナミックレン
ジと共振周波数の温度特性について測定を行った。その
結果、ダイナミックレンジが十分大きく、温度特性が−
２０〜８０℃の範囲で±０．５％以内に収まり、高信頼
性のすべり振動の基本波共振子を実現していることを確
認した。次に焼結体を電子顕微鏡にて観察し、結晶粒度
と欠陥の状態を観察した。平均粒径は１〜３μｍ程度の
粒度の揃った均一な状態で欠陥の少ない緻密な焼結体で
あることを確認した。
【００２７】本実施の形態で示したように主成分原料に
Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒを用いることで、すべり振動の共振周
波数の温度特性がより優れ、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒの含有量
ｘを０．０５≦ｘ≦０．２０の範囲内にすると、高いキ
ュリー点となり、耐熱性と温度特性の優れた高い信頼性
の共振子を実現できる。さらに、ＭｎＯ2の添加量が主
成分１００重量％に対し、０．０５〜１．０重量％では
すべり振動の基本波共振子に適したＱｍ値を得ることが
できる。また第一仮焼粉にＮｂ2Ｏ5を添加することで、
最初の原料混合時に添加するよりも効果的に粒子成長を
抑制し、抵抗値を下げることなく焼結性を高め、緻密な
焼結体を得ることができる。
Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒを用いることで、すべり振動の共振周
波数の温度特性がより優れ、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒの含有量
ｘを０．０５≦ｘ≦０．２０の範囲内にすると、高いキ
ュリー点となり、耐熱性と温度特性の優れた高い信頼性
の共振子を実現できる。さらに、ＭｎＯ2の添加量が主
成分１００重量％に対し、０．０５〜１．０重量％では
すべり振動の基本波共振子に適したＱｍ値を得ることが
できる。また第一仮焼粉にＮｂ2Ｏ5を添加することで、
最初の原料混合時に添加するよりも効果的に粒子成長を
抑制し、抵抗値を下げることなく焼結性を高め、緻密な
焼結体を得ることができる。
【００２８】なお、（化３）で示される主成分の原料が
Ｐｂ化合物と、Ｔｉ化合物と、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃ
ｅ，Ｓｍのうち少なくとも一種以上の化合物であっても
良く、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍのうち少なくとも
一種以上の含有量は０．０１≦ｘ≦０．４０の範囲にお
いて有効である。更にＰｂの２５原子％以下をＣａ，Ｓ
ｒ，Ｂａのうち少なくとも一種以上で置換しても有効で
ある。その場合は化学的に純度９９％以上で平均粒径３
μｍ以下のＣａＣＯ3，ＳｒＣＯ3，ＢａＣＣＯ3を出発
原料として用いることが好ましい。さらに第一仮焼粉に
化学的に純度９９％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2
Ｏ5とＣｕＯとを主成分１モルの重量を１００重量％と
した時、それぞれ０．０５〜２．５重量％、０〜２．５
重量％（０重量％を除く）添加しても同様の効果を得る
ことができる。
Ｐｂ化合物と、Ｔｉ化合物と、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃ
ｅ，Ｓｍのうち少なくとも一種以上の化合物であっても
良く、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍのうち少なくとも
一種以上の含有量は０．０１≦ｘ≦０．４０の範囲にお
いて有効である。更にＰｂの２５原子％以下をＣａ，Ｓ
ｒ，Ｂａのうち少なくとも一種以上で置換しても有効で
ある。その場合は化学的に純度９９％以上で平均粒径３
μｍ以下のＣａＣＯ3，ＳｒＣＯ3，ＢａＣＣＯ3を出発
原料として用いることが好ましい。さらに第一仮焼粉に
化学的に純度９９％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2
Ｏ5とＣｕＯとを主成分１モルの重量を１００重量％と
した時、それぞれ０．０５〜２．５重量％、０〜２．５
重量％（０重量％を除く）添加しても同様の効果を得る
ことができる。
【００２９】また、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの含
有量ｘが０．０１より少ないと焼結性が悪く、０．４０
より多いと焼結体の緻密性が低下し、すべり振動の基本
波共振にスプリアスが生じる。次にＮｂ2Ｏ5の添加量が
主成分１モルの重量を１００重量％としたとき、０．０
５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、Ｎｂ2Ｏ5とＣ
ｕＯのそれぞれの添加量が主成分１モルの重量を１００
重量％としたとき、２．５重量％を超えると上記主成分
に固溶しきれず析出するため、焼結体の緻密性が劣化し
共振しなくなる。さらにＭｎＯ2の添加量が主成分１モ
ルの重量を１００重量％としたとき、０．０５重量％よ
り少ない場合は焼結性が悪く、すべり振動の基本波共振
のダイナミックレンジが小さくなり、２．０重量％を超
えると焼結体の緻密性が低下し共振しなくなる。ＺｒＯ
2の添加量が主成分１モルの重量を１００重量％とした
とき、０．５重量％を超えると結晶粒径の粒成長が進
み、すべり振動の基本波共振が劣化するため好ましくな
い。次に、副成分Ｎｂ2Ｏ5を最初の原料混合時に添加す
ると、仮焼の際に主成分と反応してしまうために、焼結
時に液相が結晶粒界に存在し難くなり、焼結性向上の効
果が薄れてしまう。さらに、原料粉末の粒径が３μｍよ
り大きいと焼結反応が不均一となり、結晶粒径にばらつ
きが生じ、すべり振動の基本波における共振周波数の温
度特性が大きくなるため好ましくない。また原料粉末の
粒径が１μｍ以下のものを用いると、すべり振動の基本
波における共振周波数の温度特性が−２０〜８０℃の範
囲で±０．３％以内に収まり信頼性が高く好ましい。さ
らに、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの化合物として酸
化物を使うと、原料粉末の吸水性が高く環境変化に対し
て不安定な副成分を用いることとなり、均一な焼結反応
を起こすのに問題が残る。また焼成工程においては、酸
素分圧が８０％より低い場合は密度も低く、焼結体内部
に気孔や欠陥を有し共振特性のばらつきを発生する原因
を内在している状態となり信頼性に欠ける。
有量ｘが０．０１より少ないと焼結性が悪く、０．４０
より多いと焼結体の緻密性が低下し、すべり振動の基本
波共振にスプリアスが生じる。次にＮｂ2Ｏ5の添加量が
主成分１モルの重量を１００重量％としたとき、０．０
５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、Ｎｂ2Ｏ5とＣ
ｕＯのそれぞれの添加量が主成分１モルの重量を１００
重量％としたとき、２．５重量％を超えると上記主成分
に固溶しきれず析出するため、焼結体の緻密性が劣化し
共振しなくなる。さらにＭｎＯ2の添加量が主成分１モ
ルの重量を１００重量％としたとき、０．０５重量％よ
り少ない場合は焼結性が悪く、すべり振動の基本波共振
のダイナミックレンジが小さくなり、２．０重量％を超
えると焼結体の緻密性が低下し共振しなくなる。ＺｒＯ
2の添加量が主成分１モルの重量を１００重量％とした
とき、０．５重量％を超えると結晶粒径の粒成長が進
み、すべり振動の基本波共振が劣化するため好ましくな
い。次に、副成分Ｎｂ2Ｏ5を最初の原料混合時に添加す
ると、仮焼の際に主成分と反応してしまうために、焼結
時に液相が結晶粒界に存在し難くなり、焼結性向上の効
果が薄れてしまう。さらに、原料粉末の粒径が３μｍよ
り大きいと焼結反応が不均一となり、結晶粒径にばらつ
きが生じ、すべり振動の基本波における共振周波数の温
度特性が大きくなるため好ましくない。また原料粉末の
粒径が１μｍ以下のものを用いると、すべり振動の基本
波における共振周波数の温度特性が−２０〜８０℃の範
囲で±０．３％以内に収まり信頼性が高く好ましい。さ
らに、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの化合物として酸
化物を使うと、原料粉末の吸水性が高く環境変化に対し
て不安定な副成分を用いることとなり、均一な焼結反応
を起こすのに問題が残る。また焼成工程においては、酸
素分圧が８０％より低い場合は密度も低く、焼結体内部
に気孔や欠陥を有し共振特性のばらつきを発生する原因
を内在している状態となり信頼性に欠ける。
【００３０】なお、上記実施の形態ではすべり振動の基
本波での効果を述べたが、上記圧電磁器組成物の組成と
製造方法については、本発明の領域のすべてにおいて厚
み縦振動の３倍共振子でも有効である。
本波での効果を述べたが、上記圧電磁器組成物の組成と
製造方法については、本発明の領域のすべてにおいて厚
み縦振動の３倍共振子でも有効である。
【００３１】（実施の形態２）原料として化学的に純度
９９％以上で平均粒径が３μｍ以下のＰｂＯ，Ｔｉ
Ｏ 2，Ｌａ（ＯＨ）3，Ｎｄ（ＯＨ）3，Ｐｒ（ＯＨ）3，
Ｃｅ（ＯＨ）3，Ｓｍ（ＯＨ）3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2を準
備する。
９９％以上で平均粒径が３μｍ以下のＰｂＯ，Ｔｉ
Ｏ 2，Ｌａ（ＯＨ）3，Ｎｄ（ＯＨ）3，Ｐｒ（ＯＨ）3，
Ｃｅ（ＯＨ）3，Ｓｍ（ＯＨ）3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2を準
備する。
【００３２】まず化学的に純度９９％以上で平均粒径が
３μｍ以下のＰｂＯ，ＴｉＯ2，Ｌａ（ＯＨ）3，Ｎｄ
（ＯＨ）3，Ｐｒ（ＯＨ）3，Ｃｅ（ＯＨ）3，Ｓｍ（Ｏ
Ｈ）3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2，ＣａＣＯ3，ＳｒＣＯ3，Ｂ
ａＣＯ3を用いて、（化５）においてＰｂの２５原子％
以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａの内少なくとも一種以上で置換
したものが主成分となるように、またこの主成分１モル
の重量を１００重量％とし、副成分として１００重量％
に対して、ＭｎＯ2を０．０５〜１．０重量％、ＺｒＯ2
を０〜５．０重量％（０重量％を除く）を添加して、ボ
ールミルで混合し、混合粉末を得た。
３μｍ以下のＰｂＯ，ＴｉＯ2，Ｌａ（ＯＨ）3，Ｎｄ
（ＯＨ）3，Ｐｒ（ＯＨ）3，Ｃｅ（ＯＨ）3，Ｓｍ（Ｏ
Ｈ）3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2，ＣａＣＯ3，ＳｒＣＯ3，Ｂ
ａＣＯ3を用いて、（化５）においてＰｂの２５原子％
以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂａの内少なくとも一種以上で置換
したものが主成分となるように、またこの主成分１モル
の重量を１００重量％とし、副成分として１００重量％
に対して、ＭｎＯ2を０．０５〜１．０重量％、ＺｒＯ2
を０〜５．０重量％（０重量％を除く）を添加して、ボ
ールミルで混合し、混合粉末を得た。
【００３３】
【化５】
【００３４】次に、混合粉末粉を９５０℃で仮焼して第
一仮焼粉を得た後、この第一仮焼粉に化学的に純度９９
％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2Ｏ5とＣｕＯとを主
成分１００重量％に対してそれぞれ０．０５〜２．５重
量％の範囲内で添加し、ボールミルで粉砕し第一粉砕粉
を得た。この第一粉砕粉を１０００ｋｇ／ｃｍ2の圧力
で成形して成形体を得た後、この成形体を酸素分圧８０
％以上の雰囲気中で１０００〜１３００℃の温度で焼成
し焼結体を得た。
一仮焼粉を得た後、この第一仮焼粉に化学的に純度９９
％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2Ｏ5とＣｕＯとを主
成分１００重量％に対してそれぞれ０．０５〜２．５重
量％の範囲内で添加し、ボールミルで粉砕し第一粉砕粉
を得た。この第一粉砕粉を１０００ｋｇ／ｃｍ2の圧力
で成形して成形体を得た後、この成形体を酸素分圧８０
％以上の雰囲気中で１０００〜１３００℃の温度で焼成
し焼結体を得た。
【００３５】得られた焼結体を直径１５ｍｍ、厚さ０．
５ｍｍの円板に加工し、両面に銀電極を形成した。これ
を１２０℃のシリコンオイル中で、９ｋＶ／ｍｍ、３０
分の条件で分極処理を行った。この後電極を形成した焼
結体を、２０ＭＨｚにおいて３倍共振するための最適厚
みに両面研磨し、直径１〜２ｍｍの閉じ込め電極を円板
中央部に形成し、厚み縦振動の３倍共振と５倍共振で各
々のダイナミックレンジを分極後２４〜３６時間を経て
から測定した。その結果、厚み縦振動の３倍共振時のダ
イナミックレンジが大きく５倍共振時のダイナミックレ
ンジが抑制された状態であり、発振周波数が３倍共振か
ら５倍共振へ移ることのない高信頼性の共振子を実現し
ていることを確認した。
５ｍｍの円板に加工し、両面に銀電極を形成した。これ
を１２０℃のシリコンオイル中で、９ｋＶ／ｍｍ、３０
分の条件で分極処理を行った。この後電極を形成した焼
結体を、２０ＭＨｚにおいて３倍共振するための最適厚
みに両面研磨し、直径１〜２ｍｍの閉じ込め電極を円板
中央部に形成し、厚み縦振動の３倍共振と５倍共振で各
々のダイナミックレンジを分極後２４〜３６時間を経て
から測定した。その結果、厚み縦振動の３倍共振時のダ
イナミックレンジが大きく５倍共振時のダイナミックレ
ンジが抑制された状態であり、発振周波数が３倍共振か
ら５倍共振へ移ることのない高信頼性の共振子を実現し
ていることを確認した。
【００３６】本実施の形態で示したように主成分原料に
Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍを用いることで、厚み縦
振動の３倍共振特性がより優れ、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃ
ｅ，Ｓｍの含有量ｘを０．０５≦ｘ≦０．２０の範囲内
にすると、厚み縦振動の３倍共振のダイナミックレンジ
を十分に大きく、５倍共振のダイナミックレンジを十分
に抑制することができ、高い信頼性の共振子を実現でき
る。さらに、ＭｎＯ2の添加量が主成分１００重量％に
対し、０．０５〜１．０重量％では厚み縦振動の３倍共
振子に適したＱｍ値を得ることができる。また第一仮焼
粉にＮｂ2Ｏ5とＣｕＯを添加することで、最初の原料混
合時に添加するよりも効果的に粒子成長を抑制し、抵抗
値を下げることなく焼結性を高め、緻密な焼結体を得る
ことができる。
Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍを用いることで、厚み縦
振動の３倍共振特性がより優れ、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃ
ｅ，Ｓｍの含有量ｘを０．０５≦ｘ≦０．２０の範囲内
にすると、厚み縦振動の３倍共振のダイナミックレンジ
を十分に大きく、５倍共振のダイナミックレンジを十分
に抑制することができ、高い信頼性の共振子を実現でき
る。さらに、ＭｎＯ2の添加量が主成分１００重量％に
対し、０．０５〜１．０重量％では厚み縦振動の３倍共
振子に適したＱｍ値を得ることができる。また第一仮焼
粉にＮｂ2Ｏ5とＣｕＯを添加することで、最初の原料混
合時に添加するよりも効果的に粒子成長を抑制し、抵抗
値を下げることなく焼結性を高め、緻密な焼結体を得る
ことができる。
【００３７】なお、（化３）で示される主成分の原料が
Ｐｂ化合物と、Ｔｉ化合物と、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃ
ｅ，Ｓｍのうち少なくとも一種以上の化合物であっても
良く、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍのうち少なくとも
一種以上の含有量は０．０１≦ｘ≦０．４０の範囲にお
いて有効である。更にＰｂの２５原子％以下をＣａ，Ｓ
ｒ，Ｂａのうち少なくとも一種以上で置換しても有効で
ある。その場合は化学的に純度９９％以上で平均粒径３
μｍ以下のＣａＣＯ3，ＳｒＣＯ3，ＢａＣＣＯ3を出発
原料として用いることが好ましい。さらに第一仮焼粉に
化学的に純度９９％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2
Ｏ5とＣｕＯとを主成分１モルの重量を１００重量％と
した時、それぞれ０．０５〜２．５重量％、０〜２．５
重量％（０重量％を除く）添加しても同様の効果を得る
ことができる。
Ｐｂ化合物と、Ｔｉ化合物と、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃ
ｅ，Ｓｍのうち少なくとも一種以上の化合物であっても
良く、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍのうち少なくとも
一種以上の含有量は０．０１≦ｘ≦０．４０の範囲にお
いて有効である。更にＰｂの２５原子％以下をＣａ，Ｓ
ｒ，Ｂａのうち少なくとも一種以上で置換しても有効で
ある。その場合は化学的に純度９９％以上で平均粒径３
μｍ以下のＣａＣＯ3，ＳｒＣＯ3，ＢａＣＣＯ3を出発
原料として用いることが好ましい。さらに第一仮焼粉に
化学的に純度９９％以上で平均粒径３μｍ以下のＮｂ2
Ｏ5とＣｕＯとを主成分１モルの重量を１００重量％と
した時、それぞれ０．０５〜２．５重量％、０〜２．５
重量％（０重量％を除く）添加しても同様の効果を得る
ことができる。
【００３８】またＬａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの含有
量ｘが０．０１より少ないと焼結性が悪く、０．４０よ
り多いと焼結体の緻密性が低下し、厚み縦振動の３倍共
振のダイナミックレンジが得られない。次にＮｂ2Ｏ5の
添加量が主成分１モルの重量を１００重量％としたと
き、０．０５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、Ｎ
ｂ2Ｏ5とＣｕＯのそれぞれの添加量が主成分１モルの重
量を１００重量％としたとき、２．５重量％を超えると
上記主成分に固溶しきれず析出するため、焼結体の緻密
性が劣化し共振しなくなる。さらにＭｎＯ2の添加量が
主成分１モルの重量を１００重量％としたとき、０．０
５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、厚み縦振動の
３倍共振、５倍共振ともにダイナミックレンジが小さく
なり、２．０重量％を超えると焼結体の緻密性が低下し
共振しなくなる。ＺｒＯ2の添加量が主成分１モルの重
量を１００重量％としたとき、０．５重量％を超えると
結晶粒径の粒成長が進み、厚み縦振動の３倍、５倍共振
ともにダイナミックレンジが劣化するため好ましくな
い。次に、副成分Ｎｂ2Ｏ5とＣｕＯとを最初の原料混合
時に添加すると、仮焼の際に主成分と反応してしまうた
めに、焼結時に液相が結晶粒界に存在し難くなり、焼結
性向上の効果が薄れてしまう。さらに、原料粉末の粒径
が３μｍより大きいと焼結反応が不均一となり、結晶粒
径にばらつきが生じ、厚み縦振動の３倍共振にスプリア
スが発生するため好ましくない。また原料粉末の粒径が
１μｍ以下のものを用いると緻密性が高まり、厚み縦振
動の３倍共振のダイナミックレンジが十分大きくなり好
ましい。さらに、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの化合
物として酸化物を使うと、原料粉末の吸水性が高く環境
変化に対して不安定な副成分を用いることとなり、均一
な焼結反応を起こすのに問題が残る。焼成工程において
は、酸素分圧が８０％より低い場合は密度も低く、焼結
体内部に気孔や欠陥を有し共振特性のばらつきを発生す
る原因を内在している状態となり信頼性に欠ける。
量ｘが０．０１より少ないと焼結性が悪く、０．４０よ
り多いと焼結体の緻密性が低下し、厚み縦振動の３倍共
振のダイナミックレンジが得られない。次にＮｂ2Ｏ5の
添加量が主成分１モルの重量を１００重量％としたと
き、０．０５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、Ｎ
ｂ2Ｏ5とＣｕＯのそれぞれの添加量が主成分１モルの重
量を１００重量％としたとき、２．５重量％を超えると
上記主成分に固溶しきれず析出するため、焼結体の緻密
性が劣化し共振しなくなる。さらにＭｎＯ2の添加量が
主成分１モルの重量を１００重量％としたとき、０．０
５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、厚み縦振動の
３倍共振、５倍共振ともにダイナミックレンジが小さく
なり、２．０重量％を超えると焼結体の緻密性が低下し
共振しなくなる。ＺｒＯ2の添加量が主成分１モルの重
量を１００重量％としたとき、０．５重量％を超えると
結晶粒径の粒成長が進み、厚み縦振動の３倍、５倍共振
ともにダイナミックレンジが劣化するため好ましくな
い。次に、副成分Ｎｂ2Ｏ5とＣｕＯとを最初の原料混合
時に添加すると、仮焼の際に主成分と反応してしまうた
めに、焼結時に液相が結晶粒界に存在し難くなり、焼結
性向上の効果が薄れてしまう。さらに、原料粉末の粒径
が３μｍより大きいと焼結反応が不均一となり、結晶粒
径にばらつきが生じ、厚み縦振動の３倍共振にスプリア
スが発生するため好ましくない。また原料粉末の粒径が
１μｍ以下のものを用いると緻密性が高まり、厚み縦振
動の３倍共振のダイナミックレンジが十分大きくなり好
ましい。さらに、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｃｅ，Ｓｍの化合
物として酸化物を使うと、原料粉末の吸水性が高く環境
変化に対して不安定な副成分を用いることとなり、均一
な焼結反応を起こすのに問題が残る。焼成工程において
は、酸素分圧が８０％より低い場合は密度も低く、焼結
体内部に気孔や欠陥を有し共振特性のばらつきを発生す
る原因を内在している状態となり信頼性に欠ける。
【００３９】なお、上記実施の形態では厚み縦振動の３
倍共振の効果を述べたが、上記圧電磁器組成物の組成と
製造方法については、本発明の領域のすべてにおいてす
べり振動の基本共振子でも有効である。
倍共振の効果を述べたが、上記圧電磁器組成物の組成と
製造方法については、本発明の領域のすべてにおいてす
べり振動の基本共振子でも有効である。
【００４０】
【発明の効果】以上本発明によると、焼結性と焼結反応
の均一性が向上し、使用する周波数に適した結晶粒径の
焼結体を得ることができ、厚み縦振動において発振周波
数が３倍共振から５倍共振へ移ることがなく、すべり振
動においては基本波の共振周波数の温度特性が良好な高
信頼性の共振子に適した圧電磁器組成物を得ることがで
きるものである。
の均一性が向上し、使用する周波数に適した結晶粒径の
焼結体を得ることができ、厚み縦振動において発振周波
数が３倍共振から５倍共振へ移ることがなく、すべり振
動においては基本波の共振周波数の温度特性が良好な高
信頼性の共振子に適した圧電磁器組成物を得ることがで
きるものである。
Claims (16)
- 【請求項１】 （化１）を主成分とし、副成分としてＮ
ｂ2Ｏ5とＭｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器
組成物。 【化１】 - 【請求項２】 Ｐｂの２５原子％以下をＣａ，Ｓｒ，Ｂ
ａのうち少なくとも一種以上で置換したことを特徴とす
る請求項１に記載の圧電磁器組成物。 - 【請求項３】 主成分１モルの重量を１００重量％とし
たとき、Ｎｂ2Ｏ5の含有量は、０．０５〜２．５重量
％、ＭｎＯ2の含有量は０．０５〜２．０重量％である
ことを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の圧
電磁器組成物。 - 【請求項４】 副成分としてさらに、ＺｒＯ2を含有し
たことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一
つに記載の圧電磁器組成物。 - 【請求項５】 ＺｒＯ2の含有量は、主成分１モルの重
量を１００重量％としたとき０．５重量％以下（０重量
％を除く）であることを特徴とする請求項４に記載の圧
電磁器組成物。 - 【請求項６】 副成分としてさらに、ＣｕＯを含有した
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一つ
に記載の圧電磁器組成物。 - 【請求項７】 ＣｕＯの含有量は、主成分１モルの重量
を１００重量％としたとき２．５重量％以下（０重量％
を除く）であることを特徴とする請求項６に記載の圧電
磁器組成物。 - 【請求項８】 主成分が（化２）の組成となるような原
料粉末と、副成分としてＭｎ化合物の原料粉末とを混合
した混合物を仮焼する第１の工程と、次にこの仮焼粉に
副成分としてＮｂ化合物の原料粉末を混合した後再度仮
焼する第２の工程と、次にこの仮焼粉を成形して成形体
を得る第３の工程と、次にこの成形体を焼成する第４の
工程を備えた圧電磁器組成物の製造方法。 【化２】 - 【請求項９】 第１の工程において、Ｍｎ化合物の添加
量は、ＭｎＯ2に換算し、主成分１モルの重量を１００
重量％としたとき、０．０５〜２．０重量％、第３の工
程においてＮｂ化合物の添加量は、Ｎｂ2Ｏ5に換算し、
主成分１モルの重量を１００重量％としたとき、０．０
５〜２．５重量％であることを特徴とする請求項８に記
載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項１０】 第１の工程において副成分としてＺｒ
の化合物の原料粉末を添加することを特徴とする請求項
８あるいは請求項９に記載の圧電磁器組成物の製造方
法。 - 【請求項１１】 Ｚｒの化合物の添加量はＺｒＯ2に換
算し、主成分１モルの重量を１００重量％としたとき、
５．０重量％以下（０重量％を除く）であることを特徴
とする請求項１０に記載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項１２】 第２の工程において副成分としてＣｕ
の化合物の原料粉末を添加することを特徴とする請求項
８から請求項１１のいずれか一つに記載の圧電磁器組成
物の製造方法。 - 【請求項１３】 Ｃｕの化合物の添加量はＣｕＯに換算
し、主成分１モルの重量を１００重量％としたとき、
２．５重量％以下（０重量％を除く）であることを特徴
とする請求項１２に記載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項１４】 第１の工程において、原料粉末の平均
粒径が３μｍ以下のものを用いることを特徴とする請求
項８から請求項１３のいずれか一つに記載の圧電磁器組
成物の製造方法。 - 【請求項１５】 第１の工程において、Ｌａ，Ｎｄ，Ｐ
ｒ，Ｃｅ，Ｓｍの化合物として水酸化物を用いることを
特徴とする請求項８から請求項１４のいずれか一つに記
載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項１６】 第４の工程において、酸素分圧８０％
以上の雰囲気中で焼成することを特徴とする請求項８か
ら請求項１５のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16662198A JP2000001367A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16662198A JP2000001367A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000001367A true JP2000001367A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=15834696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16662198A Pending JP2000001367A (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000001367A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005029412A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物 |
| US7839060B2 (en) | 2007-10-18 | 2010-11-23 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition and oscillator |
| US8212457B2 (en) | 2010-03-23 | 2012-07-03 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition, piezoelectric element, and resonator |
-
1998
- 1998-06-15 JP JP16662198A patent/JP2000001367A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005029412A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物 |
| US7839060B2 (en) | 2007-10-18 | 2010-11-23 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition and oscillator |
| US8212457B2 (en) | 2010-03-23 | 2012-07-03 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition, piezoelectric element, and resonator |
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