JPH10291855A - 圧電磁器組成物及びその製造方法 - Google Patents
圧電磁器組成物及びその製造方法Info
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- JPH10291855A JPH10291855A JP10445397A JP10445397A JPH10291855A JP H10291855 A JPH10291855 A JP H10291855A JP 10445397 A JP10445397 A JP 10445397A JP 10445397 A JP10445397 A JP 10445397A JP H10291855 A JPH10291855 A JP H10291855A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 厚み縦振動の３倍波共振とすべり振動の基本
波共振との両方に利用でき、広い周波数範囲での共振子
に使用できる圧電磁器組成物を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 （化１）を主成分とし、副成分としてＣ
ｕＯかつＭｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器
組成物。 【化１】
波共振との両方に利用でき、広い周波数範囲での共振子
に使用できる圧電磁器組成物を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 （化１）を主成分とし、副成分としてＣ
ｕＯかつＭｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器
組成物。 【化１】
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフィルタや発振子な
どの共振子に用いられる圧電磁器組成物及びその製造方
法に関するものである。
どの共振子に用いられる圧電磁器組成物及びその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の電子部品の小型化、高性能化の要
求は高く、そこで使われる電子部品用材料に対しても小
型化、高品質化の厳しい要求基準が掲げられる。高周波
発振子で用いられる圧電磁器組成物については、従来よ
り小型化に有利な３倍波共振が適用できるＰｂＴｉＯ3
系材料でＰｂの一部をＬａで置換したチタン酸鉛やさら
に添加物を加えた材料系が主に使われてきた。特開昭５
７−４７７６８号公報、特開昭５７−４７７６９号公報
などによれば、温度特性改善のための各種添加物を加え
た材料系が提案、使用されている。
求は高く、そこで使われる電子部品用材料に対しても小
型化、高品質化の厳しい要求基準が掲げられる。高周波
発振子で用いられる圧電磁器組成物については、従来よ
り小型化に有利な３倍波共振が適用できるＰｂＴｉＯ3
系材料でＰｂの一部をＬａで置換したチタン酸鉛やさら
に添加物を加えた材料系が主に使われてきた。特開昭５
７−４７７６８号公報、特開昭５７−４７７６９号公報
などによれば、温度特性改善のための各種添加物を加え
た材料系が提案、使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】圧電磁器組成物の焼結
体の結晶粒径は、共振のダイナミックレンジに大きな影
響を及ぼす。結晶粒径を小さくすることにより、周波数
での共振のダイナミックレンジをより大きくすることが
できる。しかし、従来の組成では焼結性に問題があり結
晶粒径が小さすぎ不揃いになる傾向があった。そのため
特に２０ＭHz以下の発振子に用いた場合、厚み縦振動の
３倍波共振と同時に５倍波共振のダイナミックレンジも
大きくなり、不必要な５倍波共振で発振してしまうとい
う問題点を有していた。さらに従来の組成では焼結反応
の均一性に問題があり、すべり振動の基本波における共
振周波数の温度特性が悪く、すべり振動の基本波共振を
用いた発振子への展開が出来ないという問題点も有して
いた。
体の結晶粒径は、共振のダイナミックレンジに大きな影
響を及ぼす。結晶粒径を小さくすることにより、周波数
での共振のダイナミックレンジをより大きくすることが
できる。しかし、従来の組成では焼結性に問題があり結
晶粒径が小さすぎ不揃いになる傾向があった。そのため
特に２０ＭHz以下の発振子に用いた場合、厚み縦振動の
３倍波共振と同時に５倍波共振のダイナミックレンジも
大きくなり、不必要な５倍波共振で発振してしまうとい
う問題点を有していた。さらに従来の組成では焼結反応
の均一性に問題があり、すべり振動の基本波における共
振周波数の温度特性が悪く、すべり振動の基本波共振を
用いた発振子への展開が出来ないという問題点も有して
いた。
【０００４】そこで本発明は、厚み縦振動の３倍波共振
とすべり振動の基本波共振との両方に利用でき、広い周
波数範囲での共振子に使用できる圧電磁器組成物を提供
することを目的とするものである。
とすべり振動の基本波共振との両方に利用でき、広い周
波数範囲での共振子に使用できる圧電磁器組成物を提供
することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電磁器組成物は、（化３）を主成分とし、
副成分としてＣｕＯかつＭｎＯ2を含有したことを特徴
とするものであり、焼結性と焼結反応の均一性が向上
し、使用する周波数に適した結晶粒径の圧電磁器組成物
を得ることができる。
に本発明の圧電磁器組成物は、（化３）を主成分とし、
副成分としてＣｕＯかつＭｎＯ2を含有したことを特徴
とするものであり、焼結性と焼結反応の均一性が向上
し、使用する周波数に適した結晶粒径の圧電磁器組成物
を得ることができる。
【０００６】
【化３】
【０００７】その結果、厚み縦振動において発振周波数
が３倍共振から５倍共振へ移ることがなく、すべり振動
においては基本波の共振周波数の温度特性が良好な高信
頼性の共振子に適した圧電磁器組成物を得ることができ
る。
が３倍共振から５倍共振へ移ることがなく、すべり振動
においては基本波の共振周波数の温度特性が良好な高信
頼性の共振子に適した圧電磁器組成物を得ることができ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、（化４）を主成分とし、副成分としてＣｕＯかつＭ
ｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器組成物であ
り、焼結性を高めるという作用を有する。
は、（化４）を主成分とし、副成分としてＣｕＯかつＭ
ｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器組成物であ
り、焼結性を高めるという作用を有する。
【０００９】
【化４】
【００１０】請求項２に記載の発明は、副成分ＣｕＯの
含有量を主成分１モルの重量に対して０．０５〜２．５
重量％とし、かつＭｎＯ2の含有量を前記主成分１モル
の重量に対して０．０５〜２．０重量％とすることを特
徴とする請求項１に記載の圧電磁器組成物であり、焼結
性に優れ、厚み縦振動において発振周波数が３倍共振か
ら５倍共振へ移ることなく、すべり振動においては基本
波の共振周波数の温度特性を良好にすることができると
いう作用を有する。
含有量を主成分１モルの重量に対して０．０５〜２．５
重量％とし、かつＭｎＯ2の含有量を前記主成分１モル
の重量に対して０．０５〜２．０重量％とすることを特
徴とする請求項１に記載の圧電磁器組成物であり、焼結
性に優れ、厚み縦振動において発振周波数が３倍共振か
ら５倍共振へ移ることなく、すべり振動においては基本
波の共振周波数の温度特性を良好にすることができると
いう作用を有する。
【００１１】請求項３に記載の発明は、副成分としてさ
らに、ＺｒＯ2を含有したことを特徴とする請求項１あ
るいは請求項２に記載の圧電磁器組成物であり、焼結体
の結晶粒径を制御できるという作用を有する。
らに、ＺｒＯ2を含有したことを特徴とする請求項１あ
るいは請求項２に記載の圧電磁器組成物であり、焼結体
の結晶粒径を制御できるという作用を有する。
【００１２】請求項４に記載の発明は、ＺｒＯ2の含有
量を主成分１モルの重量に対して０〜５．０重量％（０
重量％を除く）とすることを特徴とする請求項３に記載
の圧電磁器組成物であり、焼結体の結晶粒径を１〜３μ
ｍの間で任意の大きさに制御することができるという作
用を有する。
量を主成分１モルの重量に対して０〜５．０重量％（０
重量％を除く）とすることを特徴とする請求項３に記載
の圧電磁器組成物であり、焼結体の結晶粒径を１〜３μ
ｍの間で任意の大きさに制御することができるという作
用を有する。
【００１３】請求項５に記載の発明は、主成分が（化
４）の組成となるようにＰｂ，Ｔｉ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍ
の化合物の原料粉末と副成分としてＭｎの化合物の原料
粉末とを混合して混合物を得る第１の工程と、次にこの
混合物を仮焼して仮焼粉を得る第２の工程と、次にこの
仮焼粉に副成分としてＣｕの化合物の原料粉末を添加し
たのち粉砕して粉砕粉を得る第３の工程と、次にこの粉
砕粉を成形して成形体を得る第４の工程と、次にこの成
形体を焼成して焼成体を得る第５の工程とを備えた圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結性向上の効果を高め
るという作用を有する。
４）の組成となるようにＰｂ，Ｔｉ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍ
の化合物の原料粉末と副成分としてＭｎの化合物の原料
粉末とを混合して混合物を得る第１の工程と、次にこの
混合物を仮焼して仮焼粉を得る第２の工程と、次にこの
仮焼粉に副成分としてＣｕの化合物の原料粉末を添加し
たのち粉砕して粉砕粉を得る第３の工程と、次にこの粉
砕粉を成形して成形体を得る第４の工程と、次にこの成
形体を焼成して焼成体を得る第５の工程とを備えた圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結性向上の効果を高め
るという作用を有する。
【００１４】請求項６に記載の発明は、第１の工程にお
いて、副成分Ｍｎの化合物の添加量をＭｎＯ2に換算
し、前記主成分１モルの重量に対して０．０５〜２．０
重量％とし、第３の工程においてＣｕの化合物の添加量
をＣｕＯに換算し、前記主成分に対して０．０５〜２．
５重量％とすることを特徴とする請求項５に記載の圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結性に優れ、厚み縦振
動において発振周波数が３倍共振から５倍共振へ移るこ
となく、すべり振動においては基本波の共振周波数の温
度特性を良好にすることができるという作用を有する。
いて、副成分Ｍｎの化合物の添加量をＭｎＯ2に換算
し、前記主成分１モルの重量に対して０．０５〜２．０
重量％とし、第３の工程においてＣｕの化合物の添加量
をＣｕＯに換算し、前記主成分に対して０．０５〜２．
５重量％とすることを特徴とする請求項５に記載の圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結性に優れ、厚み縦振
動において発振周波数が３倍共振から５倍共振へ移るこ
となく、すべり振動においては基本波の共振周波数の温
度特性を良好にすることができるという作用を有する。
【００１５】請求項７に記載の発明は、第１の工程にお
いて副成分としてＺｒの化合物の原料粉末を添加するこ
とを特徴とする請求項５あるいは請求項６に記載の圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結体の結晶粒径を制御
できるという作用を有する。
いて副成分としてＺｒの化合物の原料粉末を添加するこ
とを特徴とする請求項５あるいは請求項６に記載の圧電
磁器組成物の製造方法であり、焼結体の結晶粒径を制御
できるという作用を有する。
【００１６】請求項８に記載の発明は、Ｚｒの化合物の
添加量をＺｒＯ2に換算し、主成分１モルの重量に対し
て０〜５．０重量％（０重量％を除く）とすることを特
徴とする請求項７に記載の圧電磁器組成物の製造方法で
あり、焼結体の結晶粒径を１〜３μｍの間で任意の大き
さに制御することができるという作用を有する。
添加量をＺｒＯ2に換算し、主成分１モルの重量に対し
て０〜５．０重量％（０重量％を除く）とすることを特
徴とする請求項７に記載の圧電磁器組成物の製造方法で
あり、焼結体の結晶粒径を１〜３μｍの間で任意の大き
さに制御することができるという作用を有する。
【００１７】請求項９に記載の発明は、第１の工程にお
いて、原料粉末の平均粒径が３μｍ以下のものを用いる
ことを特徴とする請求項５〜請求項８のいずれか一つに
記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、均一な焼結反
応を起こすことができるという作用を有する。
いて、原料粉末の平均粒径が３μｍ以下のものを用いる
ことを特徴とする請求項５〜請求項８のいずれか一つに
記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、均一な焼結反
応を起こすことができるという作用を有する。
【００１８】請求項１０に記載の発明は、第１の工程に
おいて、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍの化合物として水酸化物を用
いることを特徴とする請求項５〜請求項９のいずれか一
つに記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、吸水性が
低く、環境変化に対して安定した原料粉末を用いること
で、均一な焼結反応を起こすことができるという作用を
有する。
おいて、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍの化合物として水酸化物を用
いることを特徴とする請求項５〜請求項９のいずれか一
つに記載の圧電磁器組成物の製造方法であり、吸水性が
低く、環境変化に対して安定した原料粉末を用いること
で、均一な焼結反応を起こすことができるという作用を
有する。
【００１９】請求項１１に記載の発明は、第５の工程に
おいて、酸素分圧８０％以上の雰囲気中で焼成すること
を特徴とする請求項５〜請求項１０のいずれか一つに記
載の圧電磁器組成物の製造方法であり、欠陥生成を抑制
することで緻密な焼結体を得ることができるという作用
を有する。
おいて、酸素分圧８０％以上の雰囲気中で焼成すること
を特徴とする請求項５〜請求項１０のいずれか一つに記
載の圧電磁器組成物の製造方法であり、欠陥生成を抑制
することで緻密な焼結体を得ることができるという作用
を有する。
【００２０】以下、本発明の一実施の形態について説明
する。 （実施の形態１）原料として化学的に純度９９％以上で
平均粒径が３μｍ以下のＰｂＯ，ＴｉＯ 2，Ｎｄ（ＯＨ)
3，Ｐｒ（ＯＨ)3，Ｓｍ（ＯＨ)3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2を
用いて、うち主成分が（化５）で表され、副成分として
ＭｎＯ2の添加量を０．０５〜２．０重量％、ＺｒＯ2の
添加量を０〜５．０重量％の範囲内で秤量し、配合して
ボールミルで混合した。
する。 （実施の形態１）原料として化学的に純度９９％以上で
平均粒径が３μｍ以下のＰｂＯ，ＴｉＯ 2，Ｎｄ（ＯＨ)
3，Ｐｒ（ＯＨ)3，Ｓｍ（ＯＨ)3，ＭｎＯ2，ＺｒＯ2を
用いて、うち主成分が（化５）で表され、副成分として
ＭｎＯ2の添加量を０．０５〜２．０重量％、ＺｒＯ2の
添加量を０〜５．０重量％の範囲内で秤量し、配合して
ボールミルで混合した。
【００２１】
【化５】
【００２２】次にこの混合粉末粉を９００℃で仮焼し、
この仮焼粉に化学的に純度９９％以上で平均粒径３μｍ
以下のＣｕＯを０．０５〜２．５重量％の範囲内で添加
しボールミルで粉砕した。このようにして得られた粉砕
粉を１０００kg／cm2の圧力で成形し、酸素分圧８０％
以上の雰囲気中で１０００〜１２００℃の温度で焼成し
た。
この仮焼粉に化学的に純度９９％以上で平均粒径３μｍ
以下のＣｕＯを０．０５〜２．５重量％の範囲内で添加
しボールミルで粉砕した。このようにして得られた粉砕
粉を１０００kg／cm2の圧力で成形し、酸素分圧８０％
以上の雰囲気中で１０００〜１２００℃の温度で焼成し
た。
【００２３】得られた焼結体を直径１５mm、厚さ０．５
mmの円板に加工し、両面に銀電極を形成した。この試料
を１００℃のシリコンオイル中で、９ｋＶ／mm、３０分
の条件で分極処理を行った。こののち試料を、２０ＭHz
において３倍共振するための最適厚みに両面研磨し、直
径１〜２mmの閉じ込め電極を円板中央部に形成し、厚み
縦振動の３倍共振と５倍共振での各々のダイナミックレ
ンジを分極後２４〜３６時間を経てから測定した。その
結果、厚み縦振動の３倍共振時のダイナミックレンジが
大きく５倍共振時のダイナミックレンジが抑制された状
態であり、発振周波数が３倍共振から５倍共振へ移るこ
とのない高信頼性の共振子を実現していることを確認し
た。
mmの円板に加工し、両面に銀電極を形成した。この試料
を１００℃のシリコンオイル中で、９ｋＶ／mm、３０分
の条件で分極処理を行った。こののち試料を、２０ＭHz
において３倍共振するための最適厚みに両面研磨し、直
径１〜２mmの閉じ込め電極を円板中央部に形成し、厚み
縦振動の３倍共振と５倍共振での各々のダイナミックレ
ンジを分極後２４〜３６時間を経てから測定した。その
結果、厚み縦振動の３倍共振時のダイナミックレンジが
大きく５倍共振時のダイナミックレンジが抑制された状
態であり、発振周波数が３倍共振から５倍共振へ移るこ
とのない高信頼性の共振子を実現していることを確認し
た。
【００２４】さらに得られた焼結体を縦横２０mm、厚さ
５mmの角板に加工し、両面に銀電極を形成した。この試
料を１００℃のシリコンオイル中で、７ｋＶ／mm、３０
分の条件で分極処理を行った。こののち試料を１０ＭHz
においてすべり基本振動するための最適厚みに分極方向
と同一方向に切断し、重なり幅１mmの重なり電極を形成
したのち幅１mmに切断した。分極後２４〜３６時間経て
から、すべり基本振動のダイナミックレンジと共振周波
数の温度特性について測定を行った。その結果、ダイナ
ミックレンジが十分大きく、温度特性が−２０〜８０℃
の範囲で±０．５％以内に収まり、高信頼性のすべり振
動の基本波共振子を実現していることを確認した。次に
焼結体を電子顕微鏡にて観察し、結晶粒度と欠陥の状態
を観察した。平均粒径は１〜３μｍ程度の粒度の揃った
均一な状態で欠陥の少ない緻密な焼結体であることを確
認した。
５mmの角板に加工し、両面に銀電極を形成した。この試
料を１００℃のシリコンオイル中で、７ｋＶ／mm、３０
分の条件で分極処理を行った。こののち試料を１０ＭHz
においてすべり基本振動するための最適厚みに分極方向
と同一方向に切断し、重なり幅１mmの重なり電極を形成
したのち幅１mmに切断した。分極後２４〜３６時間経て
から、すべり基本振動のダイナミックレンジと共振周波
数の温度特性について測定を行った。その結果、ダイナ
ミックレンジが十分大きく、温度特性が−２０〜８０℃
の範囲で±０．５％以内に収まり、高信頼性のすべり振
動の基本波共振子を実現していることを確認した。次に
焼結体を電子顕微鏡にて観察し、結晶粒度と欠陥の状態
を観察した。平均粒径は１〜３μｍ程度の粒度の揃った
均一な状態で欠陥の少ない緻密な焼結体であることを確
認した。
【００２５】尚、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍの含有量ｘが０．０
１未満であると焼結性が悪く、０．４０を越えると焼結
体の緻密度が低下し厚み縦振動のダイナミックレンジが
得られない。また、特に厚み縦振動の３倍共振時のダイ
ナミックレンジを十分に大きく５倍共振時のダイナミッ
クレンジを十分抑制するには０．０１≦ｘ≦０．１０の
範囲内にすることが好ましい。次にＣｕＯが０．０５重
量％より少ない場合は焼結性が悪く、２．５重量％を越
えると上記主成分に固溶しきれず析出するため焼結体の
緻密性が劣化し、共振しなくなる。さらに、ＭｎＯ2が
０．０５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、厚み縦
振動の３倍、５倍共振ともにダイナミックレンジが小さ
く、２．０重量％を越えると焼結体の緻密性が低下し、
共振しなくなる。ＺｒＯ2を５．０重量％を越えると結
晶粒径の粒成長が進み、厚み縦振動の３倍、５倍共振と
もにダイナミックレンジが劣化するため好ましくない。
次に、副成分ＣｕＯを混合時に添加すると、仮焼の際に
ＣｕＯが主成分と反応してしまうために、焼結時に液相
が結晶粒界に存在し難くなり、焼結性向上の効果が薄れ
てしまう。さらに、原料粉末の平均粒径が３μｍより大
きいと焼結反応が不均一となり、結晶粒度にばらつきが
生じ、すべり振動の基本波における共振周波数の温度特
性が大きくなるため好ましくない。また原料粉末の平均
粒径を１μｍ以下のものを用いると、すべりの振動の基
本波における共振周波数の温度特性が−２０〜８０℃の
範囲で±０．３％以内に収まり信頼性が高く好ましい。
さらに、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍの化合物として酸化物を使う
と、原料粉末の吸水性が高く環境変化に対して不安定な
副成分を用いることとなり、均一な焼結反応を起こすの
に問題が残る。焼成工程においては、酸素分圧を８０％
より少ない場合は密度も低く、焼結体内部に気孔や欠陥
を有し共振特性のばらつきを発生する原因を内在してい
る状態となり信頼性に欠ける。
１未満であると焼結性が悪く、０．４０を越えると焼結
体の緻密度が低下し厚み縦振動のダイナミックレンジが
得られない。また、特に厚み縦振動の３倍共振時のダイ
ナミックレンジを十分に大きく５倍共振時のダイナミッ
クレンジを十分抑制するには０．０１≦ｘ≦０．１０の
範囲内にすることが好ましい。次にＣｕＯが０．０５重
量％より少ない場合は焼結性が悪く、２．５重量％を越
えると上記主成分に固溶しきれず析出するため焼結体の
緻密性が劣化し、共振しなくなる。さらに、ＭｎＯ2が
０．０５重量％より少ない場合は焼結性が悪く、厚み縦
振動の３倍、５倍共振ともにダイナミックレンジが小さ
く、２．０重量％を越えると焼結体の緻密性が低下し、
共振しなくなる。ＺｒＯ2を５．０重量％を越えると結
晶粒径の粒成長が進み、厚み縦振動の３倍、５倍共振と
もにダイナミックレンジが劣化するため好ましくない。
次に、副成分ＣｕＯを混合時に添加すると、仮焼の際に
ＣｕＯが主成分と反応してしまうために、焼結時に液相
が結晶粒界に存在し難くなり、焼結性向上の効果が薄れ
てしまう。さらに、原料粉末の平均粒径が３μｍより大
きいと焼結反応が不均一となり、結晶粒度にばらつきが
生じ、すべり振動の基本波における共振周波数の温度特
性が大きくなるため好ましくない。また原料粉末の平均
粒径を１μｍ以下のものを用いると、すべりの振動の基
本波における共振周波数の温度特性が−２０〜８０℃の
範囲で±０．３％以内に収まり信頼性が高く好ましい。
さらに、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍの化合物として酸化物を使う
と、原料粉末の吸水性が高く環境変化に対して不安定な
副成分を用いることとなり、均一な焼結反応を起こすの
に問題が残る。焼成工程においては、酸素分圧を８０％
より少ない場合は密度も低く、焼結体内部に気孔や欠陥
を有し共振特性のばらつきを発生する原因を内在してい
る状態となり信頼性に欠ける。
【００２６】また、上記圧電磁器組成物の組成について
は、領域のすべてにおいて本発明は有効である。さらに
上記圧電磁器組成物の製造方法については、上記圧電磁
器組成物の組成領域のすべてにおいて本発明は有効であ
る。
は、領域のすべてにおいて本発明は有効である。さらに
上記圧電磁器組成物の製造方法については、上記圧電磁
器組成物の組成領域のすべてにおいて本発明は有効であ
る。
【００２７】
【発明の効果】以上本発明によると、焼結性と焼結反応
の均一性が向上し、発振周波数が３倍共振から５倍共振
へ移ることのない厚み縦振動の３倍波共振と、基本波の
共振周波数の温度特性が良好なすべり振動の基本波共振
との両方に利用でき、広い周波数範囲での共振子に使用
できる圧電磁器組成物を提供することができる。
の均一性が向上し、発振周波数が３倍共振から５倍共振
へ移ることのない厚み縦振動の３倍波共振と、基本波の
共振周波数の温度特性が良好なすべり振動の基本波共振
との両方に利用でき、広い周波数範囲での共振子に使用
できる圧電磁器組成物を提供することができる。
Claims (11)
- 【請求項１】 （化１）を主成分とし、副成分としてＣ
ｕＯとＭｎＯ2を含有したことを特徴とする圧電磁器組
成物。 【化１】 - 【請求項２】 副成分ＣｕＯの含有量は主成分１モルの
重量に対して０．０５〜２．５重量％、ＭｎＯ2の含有
量は前記主成分１モルの重量に対して０．０５〜２．０
重量％であることを特徴とする請求項１に記載の圧電磁
器組成物。 - 【請求項３】 副成分としてさらに、ＺｒＯ2を含有し
たことを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の
圧電磁器組成物。 - 【請求項４】 ＺｒＯ2の含有量は、主成分１モルの重
量に対して０〜５．０重量％（０重量％を除く）である
ことを特徴とする請求項３に記載の圧電磁器組成物。 - 【請求項５】 主成分が（化２）の組成となるようにＰ
ｂ，Ｔｉ，Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓｍの化合物の原料粉末と副成
分としてＭｎの化合物の原料粉末とを混合して混合物を
得る第１の工程と、次にこの混合物を仮焼して仮焼粉を
得る第２の工程と、次にこの仮焼粉に副成分としてＣｕ
の化合物の原料粉末を添加したのち粉砕して粉砕粉を得
る第３の工程と、次にこの粉砕粉を成形して成形体を得
る第４の工程と、次にこの成形体を焼成して焼成体を得
る第５の工程とを備えた圧電磁器組成物の製造方法。 【化２】 - 【請求項６】 第１の工程において、副成分Ｍｎの化合
物の添加量は、ＭｎＯ 2に換算し、前記主成分１モルの
重量に対して０．０５〜２．０重量％、第３の工程にお
いてＣｕの化合物の添加量はＣｕＯに換算し、前記主成
分に対して０．０５〜２．５重量％であることを特徴と
する請求項５に記載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項７】 第１の工程において副成分としてＺｒの
化合物の原料粉末を添加することを特徴とする請求項５
あるいは請求項６に記載の圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項８】 Ｚｒの化合物の添加量はＺｒＯ2に換算
し、主成分１モルの重量に対して０〜５．０重量％（０
重量％を除く）であることを特徴とする請求項７に記載
の圧電磁器組成物の製造方法。 - 【請求項９】 第１の工程において、原料粉末の平均粒
径が３μｍ以下のものを用いることを特徴とする請求項
５〜請求項８のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物の
製造方法。 - 【請求項１０】 第１の工程において、Ｎｄ，Ｐｒ，Ｓ
ｍの化合物として水酸化物を用いることを特徴とする請
求項５〜請求項９のいずれか一つに記載の圧電磁器組成
物の製造方法。 - 【請求項１１】 第５の工程において、酸素分圧８０％
以上の雰囲気中で焼成することを特徴とする請求項５〜
請求項１０のいずれか一つに記載の圧電磁器組成物の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10445397A JPH10291855A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10445397A JPH10291855A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10291855A true JPH10291855A (ja) | 1998-11-04 |
Family
ID=14381048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10445397A Pending JPH10291855A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10291855A (ja) |
-
1997
- 1997-04-22 JP JP10445397A patent/JPH10291855A/ja active Pending
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