JP2002196053A - Ic測定装置 - Google Patents

Ic測定装置

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JP2002196053A
JP2002196053A JP2000393841A JP2000393841A JP2002196053A JP 2002196053 A JP2002196053 A JP 2002196053A JP 2000393841 A JP2000393841 A JP 2000393841A JP 2000393841 A JP2000393841 A JP 2000393841A JP 2002196053 A JP2002196053 A JP 2002196053A
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Akira Hotta
明 堀田
Chitomi Terayama
千富 寺山
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定ICの出力タイミングSKEWを測定
するのに時間がかからないIC測定装置を提供する。 【解決手段】 IC測定装置に、テストサイクルに同期
したストローブパルス(S21)を出力するタイミング
ジェネレータと、ストローブパルス(S21)を、順
次、遅延させ、それぞれのエッジの時刻が異なる、複数
のストローブパルスを出力する遅延手段(BUF1〜
4)と、複数のストローブパルスに基づいて、1つのテ
ストサイクル内の複数の時刻におけるデータストローブ
またはデータの状態を保持する保持手段(FF1〜5)
と、複数の時刻におけるデータストローブまたはデータ
の状態に基づいて、データストローブまたはデータの状
態が変化するタイミングを検出する検出手段とを設け
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC(特にデータ
ストローブ付きIC)を試験するIC測定装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来のIC測定装置の構成を示
すブロック図であり、図6は、このIC測定装置の動作
を示すタイミングチャートである。まず、IC測定装置
(A1)は被測定IC(B1)にクロック(CK1)を
供給し、このクロック(CK1)の周期であるテストサ
イクル(TC1)に同期するように、被測定IC(B
1)を動作させる。
【0003】被測定IC(B1)から出力されたデータ
ストローブ(DCK1)の出力タイミングは、IC測定
装置(A1)の電圧比較器(V11)を介して論理比較
器(CMP11)内のエッヂサーチ回路(E11)に入
力される。エッヂサーチ回路(E11)は、タイミング
ジェネレータ(TG11)から出力されるストローブパ
ルス(S11)のタイミングで、データストローブ(D
CK1)をラッチする。タイミングジェネレータ(TG
11)から出力されるストローブパルス(S11)のエ
ッジのタイミングは、時刻T21〜T22の範囲内で、
テストサイクル(TC1)毎に、n回変化させられる。
すなわち、n回の変化のためには、テストサイクル(T
C1)のnサイクル分の時間が必要になる。
【0004】論理比較器(CMP11)は、ストローブ
パルス(S11)のエッジのタイミングで、データスト
ローブ(DCK1)の状態をラッチし、期待値(K1
1)と比較する。すなわち、n回、ストローブパルス
(S11)のエッジのタイミングを変化させつつ、デー
タストローブ(DCK1)の状態をラッチし、期待値
(K11)と比較する。これにより、データストローブ
(DCK1)のエッジが出力されるタイミング、すなわ
ちクロック(CK1)の立ち上がりエッジが出力される
時刻T11から、データストローブ(DCK1)のエッ
ジが出力されるまでの時間を検出する。この検出結果か
ら、データストローブ(DCK1)のSKEW値を計算
する。
【0005】同様に、データ(D11)のエッジが出力
されるタイミングを、論理比較器(CMP12)によっ
て検出し、この検出結果から、データ(D11)のSK
EW値を計算する。
【0006】そして、上記の2つのSKEW値の差を求
め、被測定IC(B1)のPASS/FAIL判定を行
う。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術で
は、データストローブ(DCK1)のエッジが出力され
るタイミングを検出するために、ストローブパルス(S
11)のエッジのタイミングでデータストローブ(DC
K1)の状態をラッチし、期待値(K11)と比較する
動作をn回繰り返さなければならない。
【0008】同様に、データ(D11)のエッジが出力
されるタイミングを検出するために、ストローブパルス
(S12)のエッジのタイミングでデータ(D11)の
状態をラッチし、期待値(K12)と比較する動作をn
回繰り返さなければならない。
【0009】さらに、被測定IC(B1)から出力され
るデータが、データ(D11)のみではなく、データ
(D11)、データ(D12)、…のように複数ある場
合には、それぞれのデータのタイミングを検出するため
に、上述したn回繰り返される比較動作を、さらにデー
タの数だけ繰り返さなければならない。すなわち、デー
タの数がkである場合には、上述したラッチおよび比較
の動作を、k×n回繰り返さなければならない。
【0010】すなわち、上述した従来技術には、被測定
IC(B1)が出力する被測定データ(データストロー
ブまたはデータ)のタイミングを測定するのに時間がか
かるという問題がある。
【0011】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたもので、被測定IC(B1)が出力する被測定デ
ータ(データストローブまたはデータ)のタイミングを
測定するのに時間がかからないIC測定装置を提供する
ものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、被測定ICから出力されるデータストローブまたは
データの状態が変化するタイミングを測定するIC測定
装置において、このIC測定装置のテストサイクルに同
期したストローブパルスを出力するタイミングジェネレ
ータと、このタイミングジェネレータが出力したストロ
ーブパルスを、順次、遅延させ、それぞれのエッジの時
刻が異なる、複数のストローブパルスを出力する遅延手
段と、この遅延手段が出力した、複数のストローブパル
スに基づいて、1つのテストサイクル内の複数の時刻に
おけるデータストローブまたはデータの状態を保持する
保持手段と、この保持手段に保持された、複数の時刻に
おけるデータストローブまたはデータの状態に基づい
て、データストローブまたはデータの状態が変化するタ
イミングを検出する検出手段とを有することを特徴とす
るIC測定装置である。
【0013】請求項2に記載の発明は、前記遅延手段
は、縦続接続された複数のバッファによって構成され、
前記保持手段は、前記複数のバッファがそれぞれ出力す
る、複数のストローブパルスを、それぞれのクロック入
力端子に入力する複数のフリップフロップによって構成
されていることを特徴とする請求項1に記載のIC測定
装置である。
【0014】請求項3に記載の発明は、前記保持手段
は、1つのテストサイクル内の複数の時刻におけるデー
タストローブの状態を保持する第1の保持手段と、1つ
のテストサイクル内の複数の時刻におけるデータの状態
を保持する第2の保持手段とを有することを特徴とする
請求項1または2に記載のIC測定装置である。
【0015】請求項4に記載の発明は、前記第1の保持
手段に保持された、1つのテストサイクル内の複数の時
刻におけるデータストローブの状態と、前記第2の保持
手段に保持された、1つのテストサイクル内の複数の時
刻におけるデータの状態とに基づいて、データストロー
ブを基準とした、データの出力タイミングを算出する算
出手段を有することを特徴とする請求項3に記載のIC
測定装置である。
【0016】請求項5に記載の発明は、前記算出手段
は、前記第1の保持手段に保持された、1つのテストサ
イクル内の複数の時刻におけるデータストローブの状態
と、前記第2の保持手段に保持された、1つのテストサ
イクル内の複数の時刻におけるデータの状態との排他的
論理和をとることにより、データストローブを基準とし
た、データの出力タイミングを算出することを特徴とす
る請求項4に記載のIC測定装置である。
【0017】請求項6に記載の発明は、前記第1の保持
手段と、第2の保持手段とには、同一時刻にストローブ
パルスが入力されることを特徴とする請求項3から5の
いずれかに記載のIC測定装置である。
【0018】本発明によれば、タイミングジェネレータ
からストローブパルスが1パルス出力されると、複数
(m)のタイミングにおいて被測定データ(データスト
ローブまたはデータ)の状態が検出され、検出結果がm
ビットのSKEWデータとして出力されるので、1パル
スのストローブパルスを含む1テストサイクルで、被測
定データのエッジのタイミングが検出される。
【0019】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態にお
けるIC測定装置(A2)の構成を示すブロック図であ
る。IC測定装置(A2)が、被測定IC(B2)にク
ロック(CK2)を送ると、被測定IC(B2)は、デ
ータストローブ(DCK2)、データ(D21)、デー
タ(D22)、…を出力する。被測定IC(B2)から
出力されたデータストローブ(DCK2)、データ(D
21)、データ(D22)、…は、再度、IC測定装置
(A2)に入力される。
【0020】被測定IC(B2)から出力されたデータ
ストローブ(DCK2)は、IC測定装置(A2)内の
電圧比較器(V21)を介して、論理比較器(CMP2
1)内のSKEW測定回路(SK21)に入力される。
このSKEW測定回路(SK21)には、タイミングジ
ェネレータ(TG21)が出力するストローブパルス
(S21)も入力される。そして、このSKEW測定回
路(SK21)は、5ビットのSKEWデータを論理比
較器(CMP21)を介してCPU(C2)へ送る。論
理比較器(CMP21)は、期待値パターン(K21)
を入力し、PASS/FAIL判定を出力する。
【0021】被測定IC(B2)から出力されたデータ
(D21)は、IC測定装置(A2)内の電圧比較器
(V22)を介して、論理比較器(CMP22)内のS
KEW測定回路(SK22)に入力される。このSKE
W測定回路(SK22)には、タイミングジェネレータ
(TG22)が出力するストローブパルス(S22)も
入力される。そして、このSKEW測定回路(SK2
2)は、5ビットのSKEWデータを論理比較器(CM
P22)を介してCPU(C2)へ送る。論理比較器
(CMP22)は、期待値パターン(K22)を入力
し、PASS/FAIL判定を出力する。
【0022】被測定IC(B2)から出力されたデータ
(D22)は、IC測定装置(A2)内の電圧比較器
(V23)を介して、論理比較器(CMP23)内のS
KEW測定回路(SK23)に入力される。このSKE
W測定回路(SK23)には、タイミングジェネレータ
(TG23)が出力するストローブパルス(S23)も
入力される。そして、このSKEW測定回路(SK2
3)は、5ビットのSKEWデータを論理比較器(CM
P22)を介してCPU(C2)へ送る。論理比較器
(CMP22)は、期待値パターン(K22)を入力
し、PASS/FAIL判定を出力する。
【0023】図2は、IC測定装置(A2)内のSKE
W測定回路(SK21)の内部構成を示す回路図であ
る。なお、SKEW測定回路(SK22)、SKEW測
定回路(SK23)、…の内部構成も、SKEW測定回
路(SK21)の内部構成と同一なので、これらの説明
は省略する。
【0024】SKEW測定回路(SK21)に入力され
たストローブパルス(S21)は、フリップフロップ
(FF1)のクロック入力端子に入力されると共に、バ
ッファ(BUF1)に入力される。バッファ(BUF
1)の出力は、フリップフロップ(FF2)のクロック
入力端子に入力されると共に、バッファ(BUF2)に
入力される。同様に、バッファ(BUF2)の出力は、
フリップフロップ(FF3)に入力されると共に、バッ
ファ(BUF3)に入力され、バッファ(BUF3)の
出力は、フリップフロップ(FF4)に入力されると共
に、バッファ(BUF4)に入力される。バッファ(B
UF4)の出力は、フリップフロップ(FF5)に入力
される。
【0025】また、SKEW測定回路(SK21)に入
力されたデータストローブ(DCK2)は、5つのフリ
ップフロップ(FF1〜FF5)のデータ入力端子に共
通に入力される。5つのフリップフロップ(FF1〜F
F5)のデータ出力端子からは、5ビットのSKEWデ
ータが出力される。すなわち、フリップフロップ(FF
1)のデータ出力端子からは、SKEWデータ(SKD
1)が出力され、フリップフロップ(FF2)のデータ
出力端子からは、SKEWデータ(SKD2)が出力さ
れ、以下同様に、フリップフロップ(FF3)からSK
EWデータ(SKD3)が出力され、フリップフロップ
(FF4)からSKEWデータ(SKD4)が出力さ
れ、フリップフロップ(FF5)からSKEWデータ
(SKD5)が出力される。
【0026】図3は、本実施形態におけるIC測定装置
(A2)の動作を示すタイミングチャートである。IC
測定装置(A2)が、被測定IC(B2)にクロック
(CK2)を送ると、被測定IC(B2)は、データス
トローブ(DCK2)、データ(D21)、データ(D
22)、…を出力する。出力されたデータストローブ
(DCK2)、データ(D21)、データ(D22)、
…が、再度、IC測定装置(A2)に入力される。デー
タストローブ(DCK2)、データ(D21)、データ
(D22)、…の立ち上がりエッジが出力されるタイミ
ングは、テストサイクル(TC2)内、すなわち時刻T
31〜T32の間で変化する。
【0027】まず、データストローブ(DCK2)のタ
イミングが測定される動作を説明する。被測定IC(B
2)から出力されたデータストローブ(DCK2)は、
IC測定装置(A2)内の電圧比較器(V21)を介し
て、論理比較器(CMP21)内のSKEW測定回路
(SK21)に取り込まれる。
【0028】タイミングジェネレータ(TG21)から
出力され、SKEW測定回路(SK21)に入力される
ストローブパルス(S21)の立ち上がりエッジのタイ
ミングは、テストサイクル(TC2)内の時刻T41に
設定される。
【0029】SKEW測定回路(SK21)に入力され
たストローブパルス(S21)は、図2に示したフリッ
プフロップ(FF1)のクロック入力端子に入力される
と共に、バッファ(BUF1)に入力される。バッファ
(BUF1)の出力は、フリップフロップ(FF2)の
クロック入力端子に入力されると共に、バッファ(BU
F2)に入力される。同様に、バッファ(BUF2)の
出力は、フリップフロップ(FF3)に入力されると共
に、バッファ(BUF3)に入力され、バッファ(BU
F3)の出力は、フリップフロップ(FF4)に入力さ
れると共に、バッファ(BUF4)に入力される。バッ
ファ(BUF4)の出力は、フリップフロップ(FF
5)に入力される。
【0030】バッファ(BUF1)、バッファ(BUF
2)、バッファ(BUF3)、バッファ(BUF4)の
信号伝達における遅延時間は、いずれも等しい。また、
これらのバッファ間の配線も、それぞれ等しい配線遅延
時間をもつ。従って、バッファ(BUF1)に入力され
たストローブパルス(S21)は、バッファ(BUF
1)からバッファ(BUF4)へ伝達される過程で、順
次、遅延してゆく。従って、バッファ(BUF1)から
フリップフロップ(FF2)のクロック入力端子に送ら
れるストローブパルスのタイミングは、時刻T41から
わずかに遅れた時刻T42となり、バッファ(BUF
2)からフリップフロップ(FF3)に送られるストロ
ーブパルスのタイミングは、さらに遅れた時刻T43と
なり、バッファ(BUF3)からフリップフロップ(F
F4)に送られるストローブパルスのタイミングは、さ
らに遅れた時刻T44となり、バッファ(BUF4)か
らフリップフロップ(FF5)に送られるストローブパ
ルスのタイミングは、さらに遅れた時刻T45となる。
【0031】従って、各フリップフロップは、それぞ
れ、わずかに異なるタイミングでデータストローブ(D
CK2)を保持する。すなわち、フリップフロップ(F
F1)は、時刻T41にデータストローブ(DCK2)
を保持し、フリップフロップ(FF2)は時刻T42に
保持し、フリップフロップ(FF3)は時刻T43に保
持し、フリップフロップ(FF4)は時刻T44に保持
し、フリップフロップ(FF5)は時刻T45に保持す
る。そして、これらの保持された値が、5ビットのSK
EWデータSKD1〜5とされ、論理比較器(CMP2
1)を介して、CPU(C2)に送られる。
【0032】論理比較器(CMP21)は、5ビットの
SKEWデータSKD1〜5から、データストローブ
(DCK1)のエッジが出力されたタイミングを検出
し、また、5ビットのSKEWデータSKD1〜5と、
期待値パターン(K21)とを比較する。
【0033】データ(D21)、データ(D22)、…
のタイミングが測定される動作も、上述したデータスト
ローブ(DCK2)のタイミングが測定される動作と同
様である。
【0034】図4は、測定されたSKEWデータSKD
1〜5と、これらのSKEWデータSKD1〜5から、
CPU(C2)が算出するデータとの一例を示す図であ
る。すなわち、CPU(C2)は、データストローブ
(DCK2)を基準にしたSKEW値を算出する。すな
わち、CPU(C2)は、同一のストローブパルスのタ
イミングで保持されたSKEWデータどうし、例えば、
データストローブ(DCK2)のSKEWデータと、デ
ータ(D21)のSKEWデータとの排他的論理和(E
OR)をとり、Hレベルとなるビットの数から、データ
ストローブ(DCK2)を基準にしたSKEW値を算出
する。
【0035】例えば、データストローブ(DCK2)の
SKEWデータと、データ(D22)のSKEWデータ
との排他的論理和(EOR)の結果を見ると、Hレベル
となるビットの数は1ビットであり、このビットは、時
刻T43から時刻T44までの時間に相当している。従
って、この時間を、データストローブ(DCK2)を基
準にしたSKEW値とすればよい。
【0036】なお、測定されたSKEWデータから、ス
トローブパルス(S21等)の立ち上がりエッジの時刻
T41を基準にしたタイミングを算出することも可能で
ある。
【0037】また、ストローブパルスS21、S22、
S23、…のタイミングを一致させれば、データストロ
ーブDCK2およびデータD21、D22、…のタイミ
ングを同時に検出することができる。
【0038】
【発明の効果】本発明によれば、被測定IC(特にデー
タストローブ付きIC)が出力する被測定データ(デー
タストローブまたはデータ)のタイミングを測定する際
に、1つのテストサイクル内の複数の時刻における被測
定データの状態を、1テストサイクルの期間内で検出す
ることができるので、被測定データのタイミングを高速
で測定することができ、測定時間を大幅に短縮すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態におけるIC測定装置
(A2)の構成を示すブロック図である。
【図2】 IC測定装置(A2)内のSKEW測定回路
(SK21)の内部構成を示す回路図である。
【図3】 本発明の一実施形態におけるIC測定装置
(A2)の動作を示すタイミングチャートである。
【図4】 測定されたSKEWデータと、これらのSK
EWデータから算出されるデータとの一例を示す図であ
る。
【図5】 従来のIC測定装置の構成を示すブロック図
である。
【図6】 従来のIC測定装置の動作を示すタイミング
チャートである。
【符号の説明】
A1、A2 IC測定装置 B1、B2 被測定IC C1、C2 CPU TG11〜13、TG21〜23 タイミングジェネレ
ータ S11〜13、S21〜23 ストローブパルス CMP11〜13、CMP21〜23 論理比較器 E11〜13 エッヂサーチ回路 SK21〜23 SKEW測定回路 SKD1〜5 SKEWデータ K11〜13 期待値 K21〜23 期待値パターン V11〜13、V21〜23 電圧比較器 CK1、2 クロック DCK1、2 データストローブ D11、12、21、22 データ FF1〜5 フリップフロップ(保持手段) BUF1〜4 バッファ(遅延手段)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定ICから出力されるデータストロ
    ーブまたはデータの状態が変化するタイミングを測定す
    るIC測定装置において、 このIC測定装置のテストサイクルに同期したストロー
    ブパルスを出力するタイミングジェネレータと、 このタイミングジェネレータが出力したストローブパル
    スを、順次、遅延させ、それぞれのエッジの時刻が異な
    る、複数のストローブパルスを出力する遅延手段と、 この遅延手段が出力した、複数のストローブパルスに基
    づいて、1つのテストサイクル内の複数の時刻における
    データストローブまたはデータの状態を保持する保持手
    段と、 この保持手段に保持された、複数の時刻におけるデータ
    ストローブまたはデータの状態に基づいて、データスト
    ローブまたはデータの状態が変化するタイミングを検出
    する検出手段とを有することを特徴とするIC測定装
    置。
  2. 【請求項2】 前記遅延手段は、縦続接続された複数の
    バッファによって構成され、 前記保持手段は、前記複数のバッファがそれぞれ出力す
    る、複数のストローブパルスを、それぞれのクロック入
    力端子に入力する複数のフリップフロップによって構成
    されていることを特徴とする請求項1に記載のIC測定
    装置。
  3. 【請求項3】 前記保持手段は、 1つのテストサイクル内の複数の時刻におけるデータス
    トローブの状態を保持する第1の保持手段と、 1つのテストサイクル内の複数の時刻におけるデータの
    状態を保持する第2の保持手段とを有することを特徴と
    する請求項1または2に記載のIC測定装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の保持手段に保持された、1つ
    のテストサイクル内の複数の時刻におけるデータストロ
    ーブの状態と、前記第2の保持手段に保持された、1つ
    のテストサイクル内の複数の時刻におけるデータの状態
    とに基づいて、データストローブを基準とした、データ
    の出力タイミングを算出する算出手段を有することを特
    徴とする請求項3に記載のIC測定装置。
  5. 【請求項5】 前記算出手段は、前記第1の保持手段に
    保持された、1つのテストサイクル内の複数の時刻にお
    けるデータストローブの状態と、前記第2の保持手段に
    保持された、1つのテストサイクル内の複数の時刻にお
    けるデータの状態との排他的論理和をとることにより、
    データストローブを基準とした、データの出力タイミン
    グを算出することを特徴とする請求項4に記載のIC測
    定装置。
  6. 【請求項6】 前記第1の保持手段と、第2の保持手段
    とには、同一時刻にストローブパルスが入力されること
    を特徴とする請求項3から5のいずれかに記載のIC測
    定装置。
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