JPH0587878A - データ取込み回路 - Google Patents

データ取込み回路

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JPH0587878A
JPH0587878A JP3251579A JP25157991A JPH0587878A JP H0587878 A JPH0587878 A JP H0587878A JP 3251579 A JP3251579 A JP 3251579A JP 25157991 A JP25157991 A JP 25157991A JP H0587878 A JPH0587878 A JP H0587878A
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JP
Japan
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output
strobe
data
latch
expected value
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Pending
Application number
JP3251579A
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English (en)
Inventor
Eiki Arasawa
永樹 荒沢
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 DUT(被試験装置)データと期待値を常に
確実に比較することができるデータ取込み回路を提供す
る。 【構成】 テストレート基準の交互遅延発生機能の2個
のストローブパルス発生器21と、これらストローブ発
生器の起動タイミング制御を行うコントローラ23と、
テストレート基準のパタンアドレス発生用パタンジェネ
レータ24と、パタンメモリ2からの期待値をストロー
ブパルス発生器21によりラッチする第1のラッチ2
7,28と、DUTからの出力データを保持する第2の
ラッチ30,31とを設け、ストローブパルス発生器2
1の出力パルスにより第1のラッチに期待値をレートを
こえて保持でき、ストローブパルス発生器21からのリ
タイミングパルスのタイミングの後、ディレイ設定用デ
ィレイ発生器32,33で第2のラッチにDUT出力デ
ータを保持し、これら第1及び第2のラッチ出力を比較
してDUTの試験を行うように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はデータ取込み回路に関
し、更に詳しくはLSIテスタにおけるDUT(被試験
装置)データ取込みと期待値との比較を行うデータ取込
み回路に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は従来のLSIテスタの構成例を示
すブロック図である。図において、破線で示す部分10
がLSIテスタである。11は、このLSIテスタで試
験されるDUT(例えばLSI)である。タイミングジ
ェネレータ1はテストレートを含む各種のタイミング信
号を発生すると共に、パタンメモリ2にアドレスを与え
ている。
【0003】3はパタンメモリ2から読み出されたデー
タをタイミングジェネレータ1から出力されるタイミン
グに従って、パルス化する。この波形整形回路3の出力
は、ドライバ4に入り、該ドライバ4は入力した試験デ
ータをDUT11に与える。DUT11は、この試験デ
ータを受けて所定の値のデータ(DUTデータ)を出力
する。
【0004】DUT11の出力データは、再びLSIテ
スタ10に入る。つまり、DUTデータはコンパレータ
5に入る。該コンパレータ5は、DUTデータを所定の
閾値と比較する。そして、該コンパレータ5の出力はフ
リップフロップ(F/F)6に入り、タイミングジェネ
レータ1からのラッチパルスによりラッチされる。
【0005】一方、パタンメモリ2からは、試験データ
と同時に期待値データも出力される。出力された期待値
は、ディレイ素子8に入って所定時間遅延された後、コ
ンパレータを構成するEXOR(排他的論理和)ゲート
7の一方の入力に入る。該EXORゲート7の他方の入
力には、F/F6の出力が入っている。ここで、パタン
メモリ2の期待値出力をディレイ素子8で遅延させてい
るのは、以下の理由による。
【0006】即ち、LSIテスタ10から出力された試
験データがDUT11に入り、DUT11の中をデータ
が通過して出てくるまで時間がかかるため、このDUT
11のディレイ(DUTディレイ)とタイミングをと
り、DUTデータが出力された時に、これと対応した期
待値と比較させるべくDUT11のディレイに相当する
時間だけ期待値も遅らせる必要があることと、ディレイ
の設定がユーザプログラマブルであり、レートを越える
ことがあるからである。このようにした、タイミングが
とられたDUTデータと期待値とは、EXORゲート7
で比較され、出力される。
【0007】図4は図3に示すシステムの動作を示すタ
イムチャートである。(a)はタイタミングジェネレー
タ1より一定周期で出力されるテストレート、(b)は
LSIテスタ10から試験データをDUT11に送り込
むタイミングを示すストローブ、(c)は入力された試
験データを出力するDUT11のDUTデータ出力、
(d)はパタンメモリ2から出力される期待値で、ディ
レイ素子8の出力を示している。(e)は比較のタイミ
ングを示している。比較する時には、DUTデータと期
待値とが確立されていなければならない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来装置で
は、テストサイクル毎に期待値を持ち、その値をパイプ
ライニング(レジスタを用いて順次遅延させていくこ
と)して、最初のサイクルでの比較か、次のサイクルで
の比較かを予めタイミング値を解析して知っておき、パ
イプライニングレジスタの段数を切替えてどのサイクル
で比較するかを選択していた。
【0009】この方式では、比較タイミングがサイクル
の境目にかかった時や、リアルタイミング切替えでタイ
ミングが変わると、データの変更と比較が重なるため、
比較時にDUTデータと期待値が確立されておらず、比
較が正確に行われなくなる。また、システムディレイを
補正するため、期待値データを保持するレジスタに多段
を要し、ハードウェアが大きくなるという問題がある。
【0010】また、タイミングを解析し、どのサイクル
での比較かを指定するメモリが必要となり、このメモリ
は高速性が要求されるため、コストアップとなる。更
に、パターンを記述する時、比較するのが何サイクル先
かを考えながら記述し、次サイクル比較を記述しなけれ
ばならない。また、従来のシュアードリソース方式(タ
イミングジェネレータを複数のデータ取込み回路で共用
する方式)では、タイミング系がどこに使用されている
か不明なので、特定のタイミングジェネレータをもつこ
とができないという問題があった。
【0011】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであって、いかなる時でもDUTデータと期待値を
常に確実に比較することができるデータ取込み回路を提
供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
本発明は、パーピン構造のテスタにおいて、テストレー
トを基準にして交互に遅延発生機能で構成されるストロ
ーブパルスを発生する2個のストローブパルス発生器
と、これらストローブ発生器の起動タイミング制御を行
うコントローラと、テストレートを基準としてパタンア
ドレスを発生するパタンジェネレータのアドレスで駆動
されるパタンメモリからの期待値を前記ストローブパル
ス発生器からのストローブパルスによりラッチする第1
のラッチと、DUTからの出力データを保持する第3の
ラッチとを設け、前記ストローブパルス発生器の出力パ
ルスにより前記第1のラッチに期待値をレートをこえて
保持することができ、前記ストローブパルス発生器から
のリタイミングパルスのタイミングの後、ディレイの細
かい設定を行うディレイ発生器の出力で前記第2のラッ
チにDUT出力データを保持し、これら第1及び第2の
ラッチ出力同志を比較することによりDUTの試験を行
うように構成したことを特徴としている。
【0013】
【作用】ストローブパルス発生器で出力されるストロー
ブパルスと、その前のパルスで期待値をラッチしておく
ようにする。前のパルスは、少くとも最小レートの1/
2の時間で発生する。この結果、ストローブパルスの発
生タイミングがどのように変化しても、常に期待値をラ
ッチすることができ、DUTデータと確実に比較できる
ようにすなる。
【0014】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図1は本発明の一実施例を示す回路図であ
る。図3と同一のものは、同一の符号を付して示す。図
において、21,22は交互にストローブパルスA,B
を発生するストローブパルス発生器、23はこれらスト
ローブパルス発生器21,22のタイミング制御を行う
コントローラである。ストローブ発生器21,22には
RTTC(Real Time Timing Con
rol)データが入力され、テストレートのエッジから
どれだけののタイミングでストローブパルスA,Bを発
生させるかを決定する。ストローブパルスA,Bは、前
記コントローラ23にタイミング制御信号としてフィー
ドバックされている。
【0015】24はコントローラ23にテストレートタ
イミングを与えると共に、パタンメモリ2にアドレスを
与えるパタンジェネレータである。25,26はコント
ローラ23からのタイミング信号に従って、パタンメモ
リ2から読出される期待値データを交互にラッチするラ
ッチである。これらラッチ25,26としては、例えば
Dタイプのフリップフロップが用いられる。
【0016】コントローラ23からのラッチパルスaは
ラッチ25,26に共通に入力されているが、コントロ
ーラ23からは、イネーブル信号b,cが交互にこれら
ラッチ25,26のイネーブル端子Eに入力されている
ため、期待値データは交互にラッチ25,26にラッチ
されることになる。
【0017】27,28はそれぞれ前記ラッチ25,2
6の出力をストロープパルス発生器21,22の出力パ
ルスA,Bで保持する第1のラッチである。29はDU
Tデータを所定の閾値と比較するコンパレータ、30,
31は該コンパレータ29の出力DUTからの出力デー
タを保持する第2のラッチである。該第2のラッチ3
0,31のラッチタイミングは、前記第1のラッチ2
7,28へのラッチタイミングより若干遅れたものとな
っている。
【0018】32,33は、それぞれストローブパルス
A,Bに微少ディレイを与えるためのディレイ素子で、
このディレイは可変できるようになっている。これらデ
ィレイ素子32,33の出力が、前記第2のラッチ3
0,31へのラッチパルスとなる。34,35はそれぞ
れ第1のラッチ27,28の出力(期待値)と、第2の
ラッチ30,31の出力(DUTデータ)とを比較する
EXORゲートである。
【0019】35はこれらEXORゲート34,35の
出力を切替えるマルチプレクサ(MUX)である。該M
UX36には、EXORゲート34,35の出力がパス
/ファイルデータとして入る。37はMUX36の出力
を格納するデータ取込メモリである。38は、ストロー
ブAパルス,Bパルスを受けるオアゲート、39は該オ
アゲート37の出力を受けてストローブAパルス,Bパ
ルスが出力される毎にMUX36の切替えを行うF/F
である。40は、ディレイ素子32,33の出力を受け
て、それぞれのディレイ素子32,33からパルスが出
力される毎にデータ取込メモリ36に書込み信号を与え
るオアゲートである。このように構成された回路の動作
を、図2のタイムチャートを参照しつつ説明する。
【0020】図2において、(a)はパタンジェネレー
タ24から出力されるテストレートで、図ではテストサ
イクル100〜104までを示している。(b)はパタ
ンメモリ2から出力される期待値である。図では、テス
トレートが立ち上がる直前に変化するようになってい
る。(c)はストローブパルス発生器21から出力され
るストローブAパルス出力、(d)はストローブパルス
発生器22から出力されるストローブBパルス出力であ
る。図より明らかなように、交互に発生するようになっ
ている。
【0021】(e)はMUX36の入力、(f)はラッ
チ25のQ出力、(g)はラッチ27のQ出力、(h)
はラッチ26のQ出力、(i)はラッチ28のQ出力、
(j)はコンパレータ29出力である。(k)はラッチ
30のQ出力、(l)はラッチ31のQ出力、(m)は
EXORゲート34の出力、(n)はEXORゲート3
5の出力、(o)はMUX36の出力である。
【0022】コントローラ23は、パタンジェネレータ
24から与えられる(a)のテストレート毎にストロー
ブパルス発生器21,22を交互に起動する。この結
果、ストローブAパルスは(c)に示すようにテストサ
イクル101,103で発生し、ストローブBパルスは
(d)に示すようにテストサイクル102,104で発
生する。ストローブBパルスの方は発生タイミングが変
化している。
【0023】コントローラ23は、ストローブパルス発
生器21,22を起動すると同時に、起動した側のラッ
チ25又は26にパタンメモリ2から出力される期待値
を保持する。例えば、ストローブパルス発生器21側を
起動した時には、イネーブル信号bをラッチ25に与え
て、クロックaを印加する。これにより、ラッチ25に
はパタンメモリ2から読出された期待値が保持される。
ラッチ26側の動作についても同様である。
【0024】このようにして、ラッチ25には(f)に
示すようにテストサイクル100,102の期待値が保
持され、ラッチ26には(h)に示すようにテストサイ
クル101,103の期待値が保持される。それぞのラ
ッチ25,26に保持された期待値は、ストローブパル
ス発生器21,22から出力されるストローブパルス
A,Bにより次段のラッチ27,28にそれぞれ保持さ
れる。例えば、ラッチ25に(f)に示すように保持さ
れている期待値100は、(c)に示すストローブAパ
ルスにより(g)に示すようにラッチ27に保持され
る。同様にして、ラッチ26に(h)に示すように保持
されている期待値101は、(d)に示すストローブB
パルスにより(i)に示すようにラッチ28に保持され
る。
【0025】一方、DUTの方は、LSIテスタから起
動される試験データを受けて、その出力は変化してい
る。この変化しているDUTデータをコンパレータ29
で基準閾値と比較すると、その出力は(j)に示すよう
なものとなっている。このコンパレータ29出力をディ
レイ素子32,33の出力パルスでラッチ30,31に
ラッチする。ここで、ディレイ素子32,33は、前記
ストローブAパスル,Bパルスを若干量だけ遅延させる
ものである。この遅延量は、ストローブバルス発生器2
1,22の分解能以下の値に設定されている。
【0026】従って、ディレイ素子32,33の出力で
保持されるラッチ30,31のデータラッチタイミング
は、それぞれ(k),(l)で示されるように、ストロ
ーブAパスル,Bパルスの出力タイミングとほとんど同
じであり、それぞれA′,B′とする。つまり、先ずス
トローブA′パルスのタイミングt1でコンパレータ出
力の“1”レベルが(k)に示すようにラッチ30に保
持され、次にストローブB′パルスのタイミングt2で
コンパレータ出力の“0”レベルが(l)に示すように
ラッチ31に保持される。
【0027】ストローブA′パルスでラッチ30にDU
Tデータが保持された時点で、ラッチ27には期待値が
保持されているので、期待値及びDUTデータ共に確立
されたことになる。これらラッチ27,30の出力はE
XORゲート34に入って比較される。比較結果A1
は、(m)に示すようにEXORゲート34から出力さ
れ、MUX36から(o)に示すように出力される。こ
こで、EXORゲート34は両方のデータが一致した時
に“0”を、不一致の場合に“1”をそれぞれ出力す
る。
【0028】一方、ストローブB′パルスでラッチ31
にDUTデータが保持された時点で、ラッチ28には期
待値が保持されているので、期待値及びDUTデータ共
に確立されたことになる。これらラッチ28,31の出
力はEXORゲート35に入って比較される。比較結果
B1は、(n)に示すようにEXORゲート35から出
力され、MUX36から(o)に示すように出力され
る。以下、同様にして比較結果がMUX36から出力さ
れる。出力されたデータはデータ取込メモリ36にオア
ゲート40の出力タイミングに同期して記憶されてい
く。データ取込メモリ36の内容は、後で読出され、
“1”が記憶されている部分(不一致部分)が解析され
る。
【0029】上述の実施例では、ストローブパルスを遅
延させるのにディレイ素子を用いた場合を例にとった
が、本発明はこれに限るものではなく、その他の任意の
ディレイ手段を用いることができる。ストローブパルス
発生器21,22の構成も実施例のものに限るものでは
なく、任意の手段を用いることができる。また、コント
ローラ23の出力でA,Bのステータスを出力し、デー
タと共に保持するようにしてもよい。
【0030】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よればストローブパルスで期待値を捕獲しておくように
しているので、ストローブパルスのタイミングがどのよ
うに変化しても期待値を保持することかでき、確実にD
UTデータと比較することができるデータ取込み回路を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す回路図である。
【図2】図1に示す回路の各部の動作を示すタイムチャ
ートである。
【図3】従来のLSIテスタの構成例を示すブロック図
である。
【図4】図3に示すシステムの動作を示すタイムチャー
トである。
【符号の説明】
2 パタンメモリ 21,22 ストローブパルス発生器 24 パタンジェネレータ 25,26 ラッチ 27,28 ラッチ 29 コンパレータ 30,31 ラッチ 32,33 ディレイ素子 34,35 EXORゲート 36 MUX 37 データ取込メモリ 38 オアゲート 39 F/F 40 オアゲート

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パーピン構造のテスタにおいて、テスト
    レートを基準にして交互に遅延発生機能で構成されるス
    トローブパルスを発生する2個のストローブパルス発生
    器と、これらストローブ発生器の起動タイミング制御を
    行うコントローラと、テストレートを基準としてパタン
    アドレスを発生するパタンジェネレータのアドレスで駆
    動されるパタンメモリからの期待値を前記ストローブパ
    ルス発生器からのストローブパルスによりラッチする第
    1のラッチと、DUTからの出力データを保持する第3
    のラッチとを設け、 前記ストローブパルス発生器の出力パルスにより前記第
    1のラッチに期待値をレートをこえて保持することがで
    き、前記ストローブパルス発生器からのリタイミングパ
    ルスのタイミングの後、ディレイの細かい設定を行うデ
    ィレイ発生器の出力で前記第2のラッチにDUT出力デ
    ータを保持し、 これら第1及び第2のラッチ出力同志を比較することに
    よりDUTの試験を行うように構成したことを特徴とす
    るデータ取込み回路。
JP3251579A 1991-09-30 1991-09-30 データ取込み回路 Pending JPH0587878A (ja)

Priority Applications (1)

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JP3251579A JPH0587878A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 データ取込み回路

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JP3251579A JPH0587878A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 データ取込み回路

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JP3251579A Pending JPH0587878A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 データ取込み回路

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005109019A1 (ja) * 2004-05-11 2005-11-17 Advantest Corporation タイミング発生器及び半導体試験装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005109019A1 (ja) * 2004-05-11 2005-11-17 Advantest Corporation タイミング発生器及び半導体試験装置
US7240269B2 (en) 2004-05-11 2007-07-03 Advantest Corp. Timing generator and semiconductor testing device

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