JP2002173341A - 着色酸化物被覆ガラス - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐久性、電波低反射性に優れた被膜付きガラ
スを得ること。 【解決手段】 ガラス基板表面に、スパッタリング法に
よりＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも
１種の金属よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有す
る着色酸化物層が膜付けされてなり、膜付け後に曲げ加
工及び／又は強化加工しないこと。
スを得ること。 【解決手段】 ガラス基板表面に、スパッタリング法に
よりＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも
１種の金属よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有す
る着色酸化物層が膜付けされてなり、膜付け後に曲げ加
工及び／又は強化加工しないこと。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、建築用、車両用等
に好適な断熱特性、プライバシー性、電波低反射性を有
する着色酸化物被覆ガラスに関する。
に好適な断熱特性、プライバシー性、電波低反射性を有
する着色酸化物被覆ガラスに関する。
【０００２】
【従来技術】近年、室内や車内の居住性を向上するため
に、建築用、車輌窓ガラス等において太陽放射エネルギ
ーを効果的に遮断する熱線遮蔽性能を有する断熱性ガラ
ス、ガラスの外側から室内、車内を見えにくくし室内、
車内にいる人のプライバシーを確保するプライバシーガ
ラス等が広く使われだした。これらのスパッタリング法
によるコーティング被膜としては、可視光線及び赤外線
を反射吸収する膜としてステンレス、Ｃｒ、ＮｉＣｒ、
Ｔｉ等よりなる金属膜やＴｉＮ、窒化ステンレス、Ｃｒ
Ｎ等よりなる窒化物膜が膜構成の一部に使用されてい
る。
に、建築用、車輌窓ガラス等において太陽放射エネルギ
ーを効果的に遮断する熱線遮蔽性能を有する断熱性ガラ
ス、ガラスの外側から室内、車内を見えにくくし室内、
車内にいる人のプライバシーを確保するプライバシーガ
ラス等が広く使われだした。これらのスパッタリング法
によるコーティング被膜としては、可視光線及び赤外線
を反射吸収する膜としてステンレス、Ｃｒ、ＮｉＣｒ、
Ｔｉ等よりなる金属膜やＴｉＮ、窒化ステンレス、Ｃｒ
Ｎ等よりなる窒化物膜が膜構成の一部に使用されてい
る。
【０００３】前記金属膜或いは窒化物膜に関連する特許
出願としては、例えば透明基材上にスパッタリング法に
より酸化物層を形成したのち、その上層にＣｒＮ層を積
層してなる可視域で５〜４０％の透過率および熱線に対
する反射能を有する板の製法に関する特開昭６０−３６
３５５号公報、ガラス基板上にＴｉＯ2層、ＴｉＮx層及
びＴｉＯ2層をスパッタリング法等により形成すること
により可視域の透過率が小さく多種の反射色調を有する
ようにした熱線反射ガラスの製法に関する特開昭６３−
１９０７４２号公報、ガラス基板表面に金属膜、窒化物
膜および酸化物膜を積層させてなる膜表面の可視光反射
率を所望の低値に抑制し夜間の窓ガラスのミラー化を低
減させた熱線反射ガラスに関する特開昭６３−２４２９
４８号公報、透明板上に窒化チタン膜を形成したのちそ
の上面に金属酸化物誘電体膜を積層し可視光線反射率を
１０％以下で且つ非膜面からの反射光を金色とした金色
反射色を有する透明板に関する特開平１−２０８３４４
号公報等が知られている。
出願としては、例えば透明基材上にスパッタリング法に
より酸化物層を形成したのち、その上層にＣｒＮ層を積
層してなる可視域で５〜４０％の透過率および熱線に対
する反射能を有する板の製法に関する特開昭６０−３６
３５５号公報、ガラス基板上にＴｉＯ2層、ＴｉＮx層及
びＴｉＯ2層をスパッタリング法等により形成すること
により可視域の透過率が小さく多種の反射色調を有する
ようにした熱線反射ガラスの製法に関する特開昭６３−
１９０７４２号公報、ガラス基板表面に金属膜、窒化物
膜および酸化物膜を積層させてなる膜表面の可視光反射
率を所望の低値に抑制し夜間の窓ガラスのミラー化を低
減させた熱線反射ガラスに関する特開昭６３−２４２９
４８号公報、透明板上に窒化チタン膜を形成したのちそ
の上面に金属酸化物誘電体膜を積層し可視光線反射率を
１０％以下で且つ非膜面からの反射光を金色とした金色
反射色を有する透明板に関する特開平１−２０８３４４
号公報等が知られている。
【０００４】また、酸化物膜に関しては、ガラス板の表
面にＣｏ、Ｆｅ及びＣｒを含む酸化物よりなる第１、第
２の被膜を積層した熱処理可能な熱線反射ガラスに関す
る特開平９−８６９６６号公報、ガラス板の表面にＣ
ｏ、Ｃｕ及びＣｒを含む酸化物よりなる第１、第２の被
膜を積層した熱処理可能な熱線反射ガラスに関する特開
平９−３０１７４１号公報等が知られている。
面にＣｏ、Ｆｅ及びＣｒを含む酸化物よりなる第１、第
２の被膜を積層した熱処理可能な熱線反射ガラスに関す
る特開平９−８６９６６号公報、ガラス板の表面にＣ
ｏ、Ｃｕ及びＣｒを含む酸化物よりなる第１、第２の被
膜を積層した熱処理可能な熱線反射ガラスに関する特開
平９−３０１７４１号公報等が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】スパッタリング法によ
り成膜された前記特開昭６０−３６３５５号公報、特開
昭６３−１９０７４２号公報、特開昭６３−２４２９４
８号公報、特開平１−２０８３４４号公報に記載された
金属膜或いは窒化物膜は、通常電気良導性を有するか
（金属膜の場合）或いは完全な結晶化ではなく自由電子
が構造中に残っている（窒化物膜の場合）ことから何れ
の膜組成の場合も導電性を打ち消す事ができない。ま
た、これらの金属或いは窒化物を誘電体で挟み込んだ構
造にしても同様であり、従来の被膜では可視光線や赤外
線を反射吸収できても電気的に高抵抗率のものが得られ
ないという問題があり、建物の外装窓ガラスにそれらの
膜を使用した場合には該ガラスを用いたビルの周辺のＴ
Ｖゴーストの発生や、或いは自動車用窓ガラスに用いた
場合には自動車用ガラスアンテナのアンテナ性能を悪化
させる等の電波障害を起こす等の電波障害の問題が残
る。さらに、これらの金属及び窒化物は膜の耐久性に問
題があり、保護膜としてＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＣｒＯ2等
の酸化物を用いてもＪＩＳ Ｒ ３２２１の熱線反射ガ
ラスのＡ類(耐摩耗性,耐酸性、耐アルカリ性)に合格す
る事ができないため建築用途として用いる場合、膜を窓
ガラスの外部側に被覆することはできず室内使いにしな
ければならないものであった。
り成膜された前記特開昭６０−３６３５５号公報、特開
昭６３−１９０７４２号公報、特開昭６３−２４２９４
８号公報、特開平１−２０８３４４号公報に記載された
金属膜或いは窒化物膜は、通常電気良導性を有するか
（金属膜の場合）或いは完全な結晶化ではなく自由電子
が構造中に残っている（窒化物膜の場合）ことから何れ
の膜組成の場合も導電性を打ち消す事ができない。ま
た、これらの金属或いは窒化物を誘電体で挟み込んだ構
造にしても同様であり、従来の被膜では可視光線や赤外
線を反射吸収できても電気的に高抵抗率のものが得られ
ないという問題があり、建物の外装窓ガラスにそれらの
膜を使用した場合には該ガラスを用いたビルの周辺のＴ
Ｖゴーストの発生や、或いは自動車用窓ガラスに用いた
場合には自動車用ガラスアンテナのアンテナ性能を悪化
させる等の電波障害を起こす等の電波障害の問題が残
る。さらに、これらの金属及び窒化物は膜の耐久性に問
題があり、保護膜としてＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＣｒＯ2等
の酸化物を用いてもＪＩＳ Ｒ ３２２１の熱線反射ガ
ラスのＡ類(耐摩耗性,耐酸性、耐アルカリ性)に合格す
る事ができないため建築用途として用いる場合、膜を窓
ガラスの外部側に被覆することはできず室内使いにしな
ければならないものであった。
【０００６】また、前記特開平９−８６９６６号、特開
平９−３０１７４１号の発明については、主にガラスの
フロートラインでスプレー法によりＣｏ、Ｃｕ、Ｃｒの
混合膜を成膜するものであり、ライン上の高温状態で成
膜した膜である事から後加熱による強化加工や曲げ加工
も問題無く電波透過性もあり優れたものであるが、この
膜は、Ｃｒの添加が不可欠であり、その成分が不足した
場合には目視による白濁等の不具合が生じる欠点があ
る。また、その欠点を補うためにＣｒを多めに添加する
と膜強度が弱くなるという問題点があり、Ｃｒ等の重金
属を大量に使用することは公害の点からも好ましいもの
ではない。さらに、特開平９−３０１７４１号発明のよ
うな単層膜では透過率、反射色調等を自由に設計する事
が不可能であり、ガラスにプライバシー性能を持たせた
（透過率４０％以下）場合、ガラス面側の反射率が３５
％以上と高くなり光公害等の問題が発生する等の問題が
ある。
平９−３０１７４１号の発明については、主にガラスの
フロートラインでスプレー法によりＣｏ、Ｃｕ、Ｃｒの
混合膜を成膜するものであり、ライン上の高温状態で成
膜した膜である事から後加熱による強化加工や曲げ加工
も問題無く電波透過性もあり優れたものであるが、この
膜は、Ｃｒの添加が不可欠であり、その成分が不足した
場合には目視による白濁等の不具合が生じる欠点があ
る。また、その欠点を補うためにＣｒを多めに添加する
と膜強度が弱くなるという問題点があり、Ｃｒ等の重金
属を大量に使用することは公害の点からも好ましいもの
ではない。さらに、特開平９−３０１７４１号発明のよ
うな単層膜では透過率、反射色調等を自由に設計する事
が不可能であり、ガラスにプライバシー性能を持たせた
（透過率４０％以下）場合、ガラス面側の反射率が３５
％以上と高くなり光公害等の問題が発生する等の問題が
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者等は鋭意研究し
た結果、通常のスパッタによるＴｉ、ＴｉＮ、ステンレ
ス、窒化ステンレス、Ｃｒ、ＣｒＮ等の金属或いは窒化
金属とは異なった着色酸化物を用いることにより、可視
域及び赤外域で大幅な吸収や反射が生じ、断熱性能、プ
ライバシー性能、さらには電波低反射性をも兼ね備えた
建築用窓ガラス、車両用窓ガラスに好適なバランスのと
れた着色酸化物被覆ガラスが得られることを見出した。
た結果、通常のスパッタによるＴｉ、ＴｉＮ、ステンレ
ス、窒化ステンレス、Ｃｒ、ＣｒＮ等の金属或いは窒化
金属とは異なった着色酸化物を用いることにより、可視
域及び赤外域で大幅な吸収や反射が生じ、断熱性能、プ
ライバシー性能、さらには電波低反射性をも兼ね備えた
建築用窓ガラス、車両用窓ガラスに好適なバランスのと
れた着色酸化物被覆ガラスが得られることを見出した。
【０００８】すなわち、本発明の着色酸化物被覆ガラス
は、ガラス基板表面に、スパッタリング法によりＦｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも１種の金属
よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有する着色酸化
物層が膜付けされてなり、膜付け後に曲げ加工及び／又
は強化加工しないことを特徴とする。
は、ガラス基板表面に、スパッタリング法によりＦｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも１種の金属
よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有する着色酸化
物層が膜付けされてなり、膜付け後に曲げ加工及び／又
は強化加工しないことを特徴とする。
【０００９】また、本発明の着色酸化物被覆ガラスは、
着色酸化物層の少なくとも上層或いは下層に無色透明な
誘電体層が積層されてなることを特徴とする。
着色酸化物層の少なくとも上層或いは下層に無色透明な
誘電体層が積層されてなることを特徴とする。
【００１０】さらに、本発明の着色酸化物被覆ガラス
は、着色酸化物層は、該着色酸化物がＦｅ酸化物の場合
には４０重量％以内のＣｏ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含み、該有色酸化物がＣｏ酸化物の場合
には４０重量％以内のＦｅ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含み、該着色酸化物がＮｉ酸化物の場合
には４０重量％以内のＦｅ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含み、該着色酸化物がＣｕ酸化物の場合
には４０重量％以内のＣｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含むことを特徴とする。
は、着色酸化物層は、該着色酸化物がＦｅ酸化物の場合
には４０重量％以内のＣｏ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含み、該有色酸化物がＣｏ酸化物の場合
には４０重量％以内のＦｅ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含み、該着色酸化物がＮｉ酸化物の場合
には４０重量％以内のＦｅ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含み、該着色酸化物がＣｕ酸化物の場合
には４０重量％以内のＣｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、
Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の金属よりな
る金属酸化物を含むことを特徴とする。
【００１１】またさらに、本発明の着色酸化物被覆ガラ
スは、誘電体層は、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＺｎＳ
ｎxＯy、ＺｎＡｌxＯy、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｓｉ
3Ｎ4、ＡＩ3Ｎ4、ＳｉＮxＯy、ＡｌＮxＯyの内の少なく
とも１種以上よりなる酸窒化膜であることを特徴とす
る。
スは、誘電体層は、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＺｎＳ
ｎxＯy、ＺｎＡｌxＯy、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｓｉ
3Ｎ4、ＡＩ3Ｎ4、ＳｉＮxＯy、ＡｌＮxＯyの内の少なく
とも１種以上よりなる酸窒化膜であることを特徴とす
る。
【００１２】また、本発明の着色酸化物被覆ガラスの製
造方法は、下記工程により製造することを特徴とする。 （１）ガラス基板を、５５０〜７００℃の温度において
加熱処理を行い曲げ加工及び／又は強化加工を行う工
程、（２）曲げ加工及び／又は強化加工を行ったガラス
基板表面に、スパッタリング法により成膜されたＦｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも１種の金属
よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有する着色酸化
物層を成膜する工程。
造方法は、下記工程により製造することを特徴とする。 （１）ガラス基板を、５５０〜７００℃の温度において
加熱処理を行い曲げ加工及び／又は強化加工を行う工
程、（２）曲げ加工及び／又は強化加工を行ったガラス
基板表面に、スパッタリング法により成膜されたＦｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも１種の金属
よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有する着色酸化
物層を成膜する工程。
【００１３】
【発明の実施の態様】本発明は、ガラス基板表面に、ス
パッタリング法によりＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属の
うちの少なくとも１種の金属よりなる金属酸化物を６０
重量％以上含有する着色酸化物層が膜付けされてなり、
膜付け後に曲げ加工及び／又は強化加工しないことを特
徴とする。なお、本発明に用いることができる着色酸化
物としては、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ，Ｃｕの金属のうちの少
なくとも１種の金属よりなる金属酸化物を６０重量％以
上含有するものである。これらの着色酸化物膜は、Ｔｉ
Ｏ2、ＺｎＯ、ＳｎＯ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2
等の通常のスパッタによる無色透明な金属酸化物膜とは
異なり、可視及び赤外域で大幅な吸収や反射がみられる
ため、着色しているとともに可視光線透過率が小さく、
外部からガラスを通して室内、車内が見えにくいという
プライバシー性能、赤外域での熱線が吸収され遮断され
るので室内、車内に入射する熱線の量が少ないことによ
る断熱性を有するとともに、電気的に非常に高抵抗の酸
化物膜を用いているため、建物の外装窓ガラスにそれら
の膜を使用した場合にビル周辺のＴＶゴーストの発生や
或いは自動車用窓ガラスに用いた場合に自動車用ガラス
アンテナのアンテナ性能を悪化させる等の電波障害を起
こすことがない電波低透過性も兼備する等の利点を有す
る。
パッタリング法によりＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属の
うちの少なくとも１種の金属よりなる金属酸化物を６０
重量％以上含有する着色酸化物層が膜付けされてなり、
膜付け後に曲げ加工及び／又は強化加工しないことを特
徴とする。なお、本発明に用いることができる着色酸化
物としては、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ，Ｃｕの金属のうちの少
なくとも１種の金属よりなる金属酸化物を６０重量％以
上含有するものである。これらの着色酸化物膜は、Ｔｉ
Ｏ2、ＺｎＯ、ＳｎＯ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2
等の通常のスパッタによる無色透明な金属酸化物膜とは
異なり、可視及び赤外域で大幅な吸収や反射がみられる
ため、着色しているとともに可視光線透過率が小さく、
外部からガラスを通して室内、車内が見えにくいという
プライバシー性能、赤外域での熱線が吸収され遮断され
るので室内、車内に入射する熱線の量が少ないことによ
る断熱性を有するとともに、電気的に非常に高抵抗の酸
化物膜を用いているため、建物の外装窓ガラスにそれら
の膜を使用した場合にビル周辺のＴＶゴーストの発生や
或いは自動車用窓ガラスに用いた場合に自動車用ガラス
アンテナのアンテナ性能を悪化させる等の電波障害を起
こすことがない電波低透過性も兼備する等の利点を有す
る。
【００１４】なお、前記Ｆｅ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｎｉの金属
のうちの少なくとも１種の金属よりなる金属酸化物の含
有量が６０重量％未満の場合には、可視光線透過率が高
くなったり膜の品質(耐久性能、ヘーズ等)が劣ってしま
い好ましくない。従って、これらの金属酸化物の含有率
は６０重量％以上が必要であり、かつこれら金属酸化物
の含有量の多い方が優れたプライバシー性能を発揮する
事ができる。
のうちの少なくとも１種の金属よりなる金属酸化物の含
有量が６０重量％未満の場合には、可視光線透過率が高
くなったり膜の品質(耐久性能、ヘーズ等)が劣ってしま
い好ましくない。従って、これらの金属酸化物の含有率
は６０重量％以上が必要であり、かつこれら金属酸化物
の含有量の多い方が優れたプライバシー性能を発揮する
事ができる。
【００１５】これらの着色酸化物層をスパッタリング法
で成膜する場合、そのターゲットとしては、金属酸化物
ターゲット又は金属ターゲットを用いて成膜する事が可
能である。但し、Ｃｏ或いはＦｅの金属ターゲットは磁
性がある事からスパッタリング法ではプラズマが不安定
となるので、ターゲットの厚みを５ｍｍ以下として磁性
を弱めるか、４０重量％以内のＣｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｓ
ｉ、Ｔｉを含んだ合金のターゲットとする事が好まし
い。前記Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金属とＣｏ或
いはＦｅとで合金ターゲットを合成すれば、Ｃｏ、Ｆｅ
の磁性を弱める事が可能となり、スパッタリングが可能
となる。但し、前記Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金
属は着色酸化物ではない事から４０重量％以上含有させ
ると可視光線及び日射透過率が増加してしまうので好ま
しくない。
で成膜する場合、そのターゲットとしては、金属酸化物
ターゲット又は金属ターゲットを用いて成膜する事が可
能である。但し、Ｃｏ或いはＦｅの金属ターゲットは磁
性がある事からスパッタリング法ではプラズマが不安定
となるので、ターゲットの厚みを５ｍｍ以下として磁性
を弱めるか、４０重量％以内のＣｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｓ
ｉ、Ｔｉを含んだ合金のターゲットとする事が好まし
い。前記Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金属とＣｏ或
いはＦｅとで合金ターゲットを合成すれば、Ｃｏ、Ｆｅ
の磁性を弱める事が可能となり、スパッタリングが可能
となる。但し、前記Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金
属は着色酸化物ではない事から４０重量％以上含有させ
ると可視光線及び日射透過率が増加してしまうので好ま
しくない。
【００１６】なお、ＣｒはＣｏやＦｅの磁性を消す働き
があり、従ってターゲットのＣｒの含有量を２０％以上
とするのが好ましい。また、Ｎｉ酸化物は不完全な酸化
物となるから、その含有量を２０重量％以下に抑えるこ
とが好ましい。さらに、Ｃｒ酸化物はガラス中のＮａイ
オンと反応しクロム酸ナトリウムとなり、膜が白濁や割
れ等が生じる危険性がある事から同様に３０重量％以下
に抑えることが好ましい。着色酸化物層の膜厚として
は、特に限定するものではないが１０〜１００ｎｍが好
ましい。
があり、従ってターゲットのＣｒの含有量を２０％以上
とするのが好ましい。また、Ｎｉ酸化物は不完全な酸化
物となるから、その含有量を２０重量％以下に抑えるこ
とが好ましい。さらに、Ｃｒ酸化物はガラス中のＮａイ
オンと反応しクロム酸ナトリウムとなり、膜が白濁や割
れ等が生じる危険性がある事から同様に３０重量％以下
に抑えることが好ましい。着色酸化物層の膜厚として
は、特に限定するものではないが１０〜１００ｎｍが好
ましい。
【００１７】本発明の着色酸化物被覆ガラスは、前記の
着色酸化物層を単層だけ設けてもよいが、耐摩耗性、耐
薬品性の向上或いは色調のバリエーションのために該着
色酸化物層の少なくとも上層或いは下層に、無色透明の
誘電体層を積層させることが好ましい。積層される誘電
体としては、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＺｎＳｎ
xＯy、ＺｎＡｌxＯy、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｓｉ3Ｎ４、
ＡＩ3Ｎ4、ＳｉＮxＯｙ、ＡｌＮxＯyの内の少なくとも
１種以上を用いることができる。誘電体層を着色酸化物
層の下層に設ける場合にはその膜厚は３０ｎｍ以下が好
ましく、着色酸化物層の上層に設ける場合にはその膜厚
としては７０ｎｍ以下が好ましい。なお、前記の着色酸
化物層或いは誘電体層の成膜方法は、スパッタリング法
により成膜することができる。
着色酸化物層を単層だけ設けてもよいが、耐摩耗性、耐
薬品性の向上或いは色調のバリエーションのために該着
色酸化物層の少なくとも上層或いは下層に、無色透明の
誘電体層を積層させることが好ましい。積層される誘電
体としては、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＺｎＳｎ
xＯy、ＺｎＡｌxＯy、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｓｉ3Ｎ４、
ＡＩ3Ｎ4、ＳｉＮxＯｙ、ＡｌＮxＯyの内の少なくとも
１種以上を用いることができる。誘電体層を着色酸化物
層の下層に設ける場合にはその膜厚は３０ｎｍ以下が好
ましく、着色酸化物層の上層に設ける場合にはその膜厚
としては７０ｎｍ以下が好ましい。なお、前記の着色酸
化物層或いは誘電体層の成膜方法は、スパッタリング法
により成膜することができる。
【００１８】また、本発明の着色酸化物被覆ガラスを建
築用、車両用等の曲げガラス及び／又は強化ガラスに適
用する場合には、平板ガラスを約５５０〜７００℃の加
熱処理により曲げ加工及び／又は強化加工したのち、ス
パッタリング法により熱加工したガラス基板表面に着色
酸化物層、誘電体層を成膜することができ、膜付け後に
曲げ加工及び／又は強化加工はしない。なお、加熱処理
することなく生板ガラスのまま用いることもできる。
築用、車両用等の曲げガラス及び／又は強化ガラスに適
用する場合には、平板ガラスを約５５０〜７００℃の加
熱処理により曲げ加工及び／又は強化加工したのち、ス
パッタリング法により熱加工したガラス基板表面に着色
酸化物層、誘電体層を成膜することができ、膜付け後に
曲げ加工及び／又は強化加工はしない。なお、加熱処理
することなく生板ガラスのまま用いることもできる。
【００１９】着色酸化物被覆ガラスの特性としては、可
視光線透過率（ＦＬ３ｍｍ厚のガラス板）は１５．０〜
７０．０％が好ましい。また、着色酸化物膜の表面抵抗
率は１ｋΩ／□以上が好ましく、該抵抗率が１ｋΩ／□
以上の抵抗値膜であれば建築用ガラスの電波低反射性膜
として、また、１ＭΩ／□以上の膜であれば車両用ガラ
スの電波低反射性膜として使用することが可能である。
視光線透過率（ＦＬ３ｍｍ厚のガラス板）は１５．０〜
７０．０％が好ましい。また、着色酸化物膜の表面抵抗
率は１ｋΩ／□以上が好ましく、該抵抗率が１ｋΩ／□
以上の抵抗値膜であれば建築用ガラスの電波低反射性膜
として、また、１ＭΩ／□以上の膜であれば車両用ガラ
スの電波低反射性膜として使用することが可能である。
【００２０】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。但し、本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた膜付きガラスの
品質評価は下記に示す方法で評価した。
る。但し、本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた膜付きガラスの
品質評価は下記に示す方法で評価した。
【００２１】（１）表面抵抗率 膜表面の表面抵抗率（Ω／□）は、４探針プローブ抵抗
計（エプソン社製）により測定。表面抵抗率が１ｋΩ／
□以上を合格とした。
計（エプソン社製）により測定。表面抵抗率が１ｋΩ／
□以上を合格とした。
【００２２】（２）光学特性 可視光線透過率（％）、可視光線ガラス面反射率
（％）、反射色調ａ＊値、ｂ＊値（ＪＩＳ Ｚ ８７２
９ Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系による物体色の表示方法）〈以
上の波長範囲：３８０〜７８０ｎｍ〉及び日射透過率
（％、波長範囲：３００〜２５００ｎｍ）は、Ｕ４００
０型自記分光光度計（日立製作所製）を用いて測定。な
お、可視光線透過率は１５．０〜７０．０％を合格とし
た。
（％）、反射色調ａ＊値、ｂ＊値（ＪＩＳ Ｚ ８７２
９ Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系による物体色の表示方法）〈以
上の波長範囲：３８０〜７８０ｎｍ〉及び日射透過率
（％、波長範囲：３００〜２５００ｎｍ）は、Ｕ４００
０型自記分光光度計（日立製作所製）を用いて測定。な
お、可視光線透過率は１５．０〜７０．０％を合格とし
た。
【００２３】（３）耐久性 ＪＩＳ Ｒ ３２２１Ａ類に準じる方法で耐摩耗性、耐
酸性、対アルカリ性、耐光性を評価した。 耐摩耗性：テーバー式摩耗試験機を用い回転数２００回
転後の可視光線透過率差が４％以内なら合格 耐酸性：温度２３±２℃の１Ｎの塩酸に２４時間浸せき
し可視光線透過率差が４％以内なら合格 耐アルカリ：温度２３±２℃の１Ｎの水酸化ナトリウム
溶液に２４時間浸せきし可視光線透過率差が４％以内な
ら合格 耐光性：紫外線照射装置を用いて膜面に対して４５±５
℃で１，０００時間紫外線を照射し可視光線透過率差が
４％以内なら合格。
酸性、対アルカリ性、耐光性を評価した。 耐摩耗性：テーバー式摩耗試験機を用い回転数２００回
転後の可視光線透過率差が４％以内なら合格 耐酸性：温度２３±２℃の１Ｎの塩酸に２４時間浸せき
し可視光線透過率差が４％以内なら合格 耐アルカリ：温度２３±２℃の１Ｎの水酸化ナトリウム
溶液に２４時間浸せきし可視光線透過率差が４％以内な
ら合格 耐光性：紫外線照射装置を用いて膜面に対して４５±５
℃で１，０００時間紫外線を照射し可視光線透過率差が
４％以内なら合格。
【００２４】〔実施例１〜９〕 （１）成膜 実施例１〜９の成膜方法を下記に示す。ガラス基板とし
て厚さ３ｍｍのフロ−ト板ガラス（ＦＬ３）を用い、Ｂ
ＯＣ社のＤＣマグネトロンスパッタ装置を使用して所定
の膜構成及び膜厚となるように成膜を行った。なお、各
実施例の膜構成と膜厚を表１に示す。着色酸化物層或い
は誘電体層としての酸化物層の成膜は、金属ターゲット
（Ｃｕ、Ｃｏ合金、Ｆｅ合金、Ｎｉ合金、Ｔｉ）を用
い、酸素１００％のプロセスガス組成で真空度が４．０
〜６．０×１０-1Ｐａの範囲になる雰囲気に調整し、２
０〜６０ｋｗの電力を印加しスパッタリングを行った。
また、誘電体層としての透明窒化物層の成膜は、Ｎ2１
００％のプロセスガス中で真空度が４．０〜６．０×１
０-1Ｐａの範囲になる雰囲気に調整し、Ｃ−ＭＡＧ（Ｂ
ＯＣ社製シリドリカルマグネトロンカソード）を使用
し、金属ターゲット（Ｓｉ）に２０〜４０ｋｗの電力を
印加しスパッタリングを行った。
て厚さ３ｍｍのフロ−ト板ガラス（ＦＬ３）を用い、Ｂ
ＯＣ社のＤＣマグネトロンスパッタ装置を使用して所定
の膜構成及び膜厚となるように成膜を行った。なお、各
実施例の膜構成と膜厚を表１に示す。着色酸化物層或い
は誘電体層としての酸化物層の成膜は、金属ターゲット
（Ｃｕ、Ｃｏ合金、Ｆｅ合金、Ｎｉ合金、Ｔｉ）を用
い、酸素１００％のプロセスガス組成で真空度が４．０
〜６．０×１０-1Ｐａの範囲になる雰囲気に調整し、２
０〜６０ｋｗの電力を印加しスパッタリングを行った。
また、誘電体層としての透明窒化物層の成膜は、Ｎ2１
００％のプロセスガス中で真空度が４．０〜６．０×１
０-1Ｐａの範囲になる雰囲気に調整し、Ｃ−ＭＡＧ（Ｂ
ＯＣ社製シリドリカルマグネトロンカソード）を使用
し、金属ターゲット（Ｓｉ）に２０〜４０ｋｗの電力を
印加しスパッタリングを行った。
【００２５】（２）評価結果 得られた着色酸化物被覆ガラスの性能を評価した結果、
表１に示すように実施例１〜９におけるサンプルは表面
抵抗率がいずれも１ｋΩ／□以上と良好であり電波低反
射性，電波透過性の特性を有していた。また、ＪＩＳＲ
３２２１のいずれの耐久性試験にも合格する優れた耐久
性を有していた。
表１に示すように実施例１〜９におけるサンプルは表面
抵抗率がいずれも１ｋΩ／□以上と良好であり電波低反
射性，電波透過性の特性を有していた。また、ＪＩＳＲ
３２２１のいずれの耐久性試験にも合格する優れた耐久
性を有していた。
【００２６】
【表１】
【００２７】〔比較例１〜５〕比較例１〜５は、実施例
と同様に表１の膜構成になるようにＤＣマグネトロンス
パッタ装置を使用して成膜した。なお、比較例の金属
膜、窒化物膜、酸化物膜を成膜する場合のターゲットと
しては実施例で用いたターゲットの他にステンレス、Ｃ
ｒ、Ｓｎを用い成膜した。得られた膜付きガラスの性能
を評価した結果、表２に示すように何れのサンプルも表
面抵抗率が１ｋΩ／□以下と不合格であり電波低反射
性、電波透過性の特性に優れたものではなかった。
と同様に表１の膜構成になるようにＤＣマグネトロンス
パッタ装置を使用して成膜した。なお、比較例の金属
膜、窒化物膜、酸化物膜を成膜する場合のターゲットと
しては実施例で用いたターゲットの他にステンレス、Ｃ
ｒ、Ｓｎを用い成膜した。得られた膜付きガラスの性能
を評価した結果、表２に示すように何れのサンプルも表
面抵抗率が１ｋΩ／□以下と不合格であり電波低反射
性、電波透過性の特性に優れたものではなかった。
【００２８】また、耐久性能においても比較例１では耐
酸性、耐アルカリ性が不合格、比較例２では耐摩耗性、
耐酸性、耐アルカリ性が不合格、比較例３では耐摩耗
性、耐酸性が不合格、比較例４では耐酸性が不合格、比
較例５では耐摩耗性、耐酸性が不合格と耐久性能が不充
分であった。さらに、比較例１および比較例３は何れも
可視光線透過率が１５％以下と不合格であった。
酸性、耐アルカリ性が不合格、比較例２では耐摩耗性、
耐酸性、耐アルカリ性が不合格、比較例３では耐摩耗
性、耐酸性が不合格、比較例４では耐酸性が不合格、比
較例５では耐摩耗性、耐酸性が不合格と耐久性能が不充
分であった。さらに、比較例１および比較例３は何れも
可視光線透過率が１５％以下と不合格であった。
【００２９】
【表２】
【００３０】
【発明の効果】本発明の着色酸化物被覆ガラスは、通常
のスパッタによる金属、窒化物膜（Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｃ
ｒ、ＣｒＮ、ステンレス、窒化ステンレス等）とは異な
り、膜の耐久性が非常に優れているとともに電波低反射
性でありながらプライバシー性能を兼備しており、特に
建築用窓ガラス、自動車用窓ガラスとして好適である。
のスパッタによる金属、窒化物膜（Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｃ
ｒ、ＣｒＮ、ステンレス、窒化ステンレス等）とは異な
り、膜の耐久性が非常に優れているとともに電波低反射
性でありながらプライバシー性能を兼備しており、特に
建築用窓ガラス、自動車用窓ガラスとして好適である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4G059 AA01 AB11 AC08 AC30 EA06 EA07 EB04 GA01 GA12 4K029 AA09 AA24 BA41 BA44 BA47 BA48 BA49 BA50 BA58 BB02 BC07 BC08 BD00 CA06 FA06
Claims (6)
- 【請求項１】ガラス基板表面に、スパッタリング法によ
りＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも１
種の金属よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有する
着色酸化物層が膜付けされてなり、膜付け後に曲げ加工
及び／又は強化加工しないことを特徴とする着色酸化物
被覆ガラス。 - 【請求項２】着色酸化物層の少なくとも上層或いは下層
に無色透明な誘電体層が積層されてなることを特徴とす
る請求項１記載の着色酸化物被覆ガラス。 - 【請求項３】着色酸化物層は、該着色酸化物がＦｅ酸化
物の場合には４０重量％以内のＣｏ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎ
ｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の
金属よりなる金属酸化物を含み、該着色酸化物がＣｏ酸
化物の場合には４０重量％以内のＦｅ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｎ
ｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の
金属よりなる金属酸化物を含み、該着色酸化物がＮｉ酸
化物の場合には４０重量％以内のＦｅ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｃ
ｒ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の
金属よりなる金属酸化物を含み、該着色酸化物がＣｕ酸
化物の場合には４０重量％以内のＣｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎ
ｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの金属のうちの少なくとも１種の
金属よりなる金属酸化物を含むことを特徴とする請求項
１又は２記載の着色酸化物被覆ガラス。 - 【請求項４】誘電体層は、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、
ＺｎＳｎxＯy、ＺｎＡｌxＯy、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｓ
ｉ3Ｎ4、ＡＩ3Ｎ4、ＳｉＮxＯy、ＡｌＮxＯyの内の少な
くとも１種以上よりなることを特徴とする請求項２記載
の着色酸化物被覆ガラス。 - 【請求項５】着色酸化物被覆ガラスの表面抵抗率は１ｋ
Ω／□以上であることを特徴とする請求項１乃至４記載
の着色酸化物被覆ガラス。 - 【請求項６】下記工程により製造することを特徴とする
着色酸化物被覆ガラスの製造方法。 （１）ガラス基板を、５５０〜７００℃の温度において
加熱処理を行い曲げ加工及び／又は強化加工を行う工
程、（２）曲げ加工及び／又は強化加工を行ったガラス
基板表面に、スパッタリング法により成膜されたＦｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕの金属のうちの少なくとも１種の金属
よりなる金属酸化物を６０重量％以上含有する着色酸化
物層を成膜する工程。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000373158A JP2002173341A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 着色酸化物被覆ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000373158A JP2002173341A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 着色酸化物被覆ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002173341A true JP2002173341A (ja) | 2002-06-21 |
Family
ID=18842588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000373158A Abandoned JP2002173341A (ja) | 2000-12-07 | 2000-12-07 | 着色酸化物被覆ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002173341A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102828149A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-12-19 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜件及其制造方法 |
| CN102828150A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-12-19 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜件及其制造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06212400A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-02 | Asahi Glass Co Ltd | コーティングガラスの製造方法 |
| JPH08268732A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-15 | Central Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
| JP2000272337A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱線反射ガラス |
-
2000
- 2000-12-07 JP JP2000373158A patent/JP2002173341A/ja not_active Abandoned
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06212400A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-02 | Asahi Glass Co Ltd | コーティングガラスの製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102828149A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-12-19 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜件及其制造方法 |
| CN102828150A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-12-19 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜件及其制造方法 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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