JP2528520B2 - 単板断熱ガラス - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、冷暖房効果を向上させるようにするととも
に比較的高い可視光透過率を有するものであって、しか
も電波に透過が比較的よく耐摩耗性も優れた電波透過性
の単板断熱ガラス、特に車輌用断熱ガラスとして有用で
あって、ことにサイドあるいはドア用窓ガラス、リヤ用
窓ガラスとして単板でも使用可能な電波透過性の単板断
熱ガラスに関する。

［従来の技術］ 従来、例えば車両用窓ガラスとして透明誘電体または
透明導電膜／銀／透明誘電体または透明導電膜の構成で
高い可視光透過率を達成し、銀の高反射性能を利用して
日射透過率の低い断熱ガラスとして、これを合せガラス
にすることで使用されている。しかしながら銀膜は耐摩
耗性、耐湿性に弱く、合せガラスに加工処理せずに放置
しておくと数日以内で膜に異変が発現し、膜の変色変質
が起り、手で触れただけで剥離する現象になるという非
常に弱いものであった。このため最近では合せガラスで
なくても単板のままで使用しても耐候性、耐久性がある
というものが種々提案されている。例えば特開昭63−20
6333号公報には、単板熱線反射ガラスが記載されてお
り、ガラス板面に熱線反射膜としてガラス板側から数え
て順に第１層と第３層が透明誘電体膜又は透明導電性酸
化物膜、第２層が窒化物膜、第３層上の最上層が酸化物
の厚膜とが積層され、最上層が露出面でなっている、例
えばSiO₂膜／TiO₂膜/TiN膜／TiO₂膜／ガラス板の構成か
らなるものが開示されており、また特開昭64−5930号公
報には、高透過ソーラーコントロールガラスが記載され
ており、ガラス板面に、ガラス板側から順に第１層とし
て酸化スズ膜、第２層として低光吸収性膜、第３層とし
て窒化チタン膜、第４層として低光吸収性膜、第５層と
して酸化スズ膜が積層されており、場合によっては第６
層として酸化けい素膜又は酸化アルミニウム膜を主成分
としたオーバコート保護膜が被覆されてもよい、例えば
SiO₂膜／SnO₂膜／TiO₂膜/TiN膜／TiO₂膜／SnO₂膜／ガラ
ス板の構成とするものが開示されており、さらに特開昭
63−247352号公報には、反応性スパッタリングによる透
明コーティングについて記載されており、基材、基材上
のコーティング膜およびコーティング上の保護膜を含む
構成であるコートした物品であって、この保護膜がアル
ミニウムおよびけい素を含む合金であるターゲットを反
応性ガス中、特にO₂％がN₂＋O₂ガス中で10〜30％存在す
るなかでスパッタすることにより形成された反応生成物
の無定形層を含む膜であるものが開示されており、さら
にまた特開昭60−81048号公報には、ガラス上にTiO₂膜
を形成し、次いでTiO₂とTiNの馴染み層を設け、その上
にTiN膜を積層する窒化チタン薄膜付きガラスおよびそ
の作製方法が記載されており、またCr,Ti,Zr,Ta,Niある
いはステンレスの金属膜を用いるものとしては、特開昭
61−55603号公報に記載の高耐久性赤外反射鏡あるいは
特開昭63−242948号公報に記載の熱線反射ガラス等が知
られている。

さらにまた、高屈折率膜と低屈折率膜を順次積層した
反射防止膜あるいは電磁遮蔽膜を有するガラスが提案さ
れており、例えば特開昭63〜131101号公報には第１及び
第２の高屈折率膜のうちの少なくとも一方を、反応性ス
パッタリングを用いて形成された高屈折率の第１の膜状
体と、この第１の膜状体よりも更に屈折率の高い第２の
膜状体よりも更に屈折率の高い第２の膜状体とを積層す
ることにより成る多層反射防止膜が記載されており、ま
た特開昭60−81047号公報にはガラス基板の外側にITO膜
等の電磁遮蔽用透明導電性薄膜とTiO₂とSiO₂を交互に積
層した熱線反射膜を積層し、内側に電磁遮蔽用透明導電
性薄膜と可視光の反射防止膜を積層することにより、外
来電波によるノイズを防止できると共に、日射の侵入を
抑制でき、良好な視界を確保できるという電波遮蔽ウイ
ンドガラスが記載されており、さらに実開昭60−183497
号公報にはガラスに透明導電膜、特に好ましくは面積抵
抗値が100Ω／□以下であるものを設けることにより、
車載電子機器の外部からの電磁波によるノイズを防ぐこ
とができる電波遮蔽効果を有する自動車ガラスが記載さ
れている等が知られている。

いずれの場合も断熱ガラスとしての性能を確保するた
め、その構成中に導電性の成分を含んでおり、この導電
性膜により、断熱性を出し残りの誘電体との組み合わせ
で透過率、反射率を調節するものであった。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述したような例えば特開昭63−206333号公報に記載
の単板熱線反射ガラスならびに特開昭64−5930号公報に
記載の高透過ソーラーコントロールガラスについてはい
ずれも金属と同等の導電性を得るため、これに代わる耐
久性の良い導電膜をかなり厚くする必要があり、この場
合、生産性の低下が生じ、また電波に関してシールド効
果を起こすものであった。また特開昭63−247352号公報
に記載の反応性スパッタリングによる透明コーティング
については表面における耐摩耗性ならびに耐食性は向上
するものの必ずしも各層での密着性ならびに耐薬品性を
充分満足するようなものにできるものではないものであ
り、場合によっては透明性が充分でなくなることがあり
得るものである。さらにまた特開昭60−81048号公報に
記載のものは、耐摩耗性に対して必ずしも充分ではな
く、また特開昭61−55603号公報あるいは特開昭63−242
948号公報に記載のものはガラス側から見た際の可視光
反射率が大きくなりやすくかつ密着性あるいは耐摩耗性
等においても必ずしも充分なものとはいい難いものであ
って、特に例えば自動車用窓ガラスのうち単板で用いる
ドアあるいはサイドガラスには充分採用できるとは言え
ないものである。さらにまた、前記特開昭63−131101号
公報を初め前記各公報ならびに特開昭60−81047号公報
および実開昭60−183497号公報に記載のものはいずれも
自動車電話、TV、シャッター開閉のリモコン操作など電
波の送受信を要する場合には電磁シールド効果を起こし
て、充分な機能が得られ難いものであり、またガラスア
ンテナ性能自身が非常に優れていたとしても反射、吸収
するため、結果として非常に悪いアンテナ性能しか得ら
れず悪影響をもたらすものである。また無反射ガラス用
に透明酸化物のみの組み合わせで、多くの提案がなされ
ているが、膜の数が多く、また各膜の厚みがλ/4、．λ
/2など厚く、生産上非常に悪いものであり、また主にデ
ィッピング、ゾルーゲルなどでつくられているが、これ
らは膜の耐摩耗性が極めて悪く、単板としては使用でき
ないものであった。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであ
って、特定の異なる屈折率を有する特定の膜厚で誘電体
膜を組み合わせて順次３〜４層または５〜６層の薄膜を
積層し、しかも運転者等に対して充分な視野を確保でき
て単板で使用しても充分な耐摩耗性、耐久性、耐候性を
もち、電波を車内外に透過させることができ、冷暖房に
効果的な単板断熱ガラスを提供するものである。

すなわち、本発明は、透明ガラス基板の表面に、ガラ
ス面より第１層として屈折率が1.8〜2.1のSnOx（０＜ｘ
≦２）、ZrOx（０＜ｘ≦２）、AlN、TaOx（０＜ｘ≦2.
5）からなる透明誘電体膜を膜厚100〜2000Å、第２層と
して屈折率が2.2〜2.5のTiOx（０＜ｘ≦２）からなる透
明誘電体膜を膜厚100〜2000Å、第３層として屈折率が
1.8〜〜2.1のSnOx（０＜ｘ≦２）、ZrOx（０＜ｘ≦
２）、AlN、TaOx（０＜ｘ≦2.5）からなる透明誘電体膜
を膜厚100〜2000Åまたはこれに加えて最外表面膜とし
てシリコン合金酸化物膜を膜厚100〜20000Åそれぞれ順
次DCスパッタリング法によって積層して成り、かつ可視
光透過率が65％以上、可視光反射率が15％以下ならびに
日射透過率が65％以下であって成膜前のガラス基板に比
べ日射透過率が５％以上低下するものであり、さらにCS
−10Fによるテーバー試験において1000回回転後の透過
率とヘーズの変化量が試験前に比し10％以内、ならびに
各層の表面体積抵抗が100Ω・cm以上であることを特徴
とする電波透過性の単板断熱ガラス。ならびに透明ガラ
ス基板の表面に、ガラス面より第１層として屈折率が1.
8〜2.1のSnOx（０＜ｘ≦２）、ZrOx（０＜ｘ≦２）、Al
N、TaOx（０＜ｘ≦2.5）からなる透明誘電体膜を膜厚10
0〜2000Å、第２層として屈折率が2.2〜2.5のTiOx（０
＜ｘ≦２）からなる透明誘電体膜を膜厚100〜2000Å、
第３層として屈折率が1.8〜2.1のSnOx（０＜ｘ≦２）、
ZrOx（０＜ｘ≦２）、AlN、TaOx（０＜ｘ≦2.5）からな
る透明誘電体膜を膜厚100〜2000Å、第４層として屈折
率が2.2〜2.5のTiOx（０＜ｘ≦２）からなる透明誘電体
膜を膜厚100〜2000Å、第５層として屈折率が1.8〜2.1
のSnOx（０＜ｘ≦２）、ZrOx（０＜ｘ≦２）、AlN、TaO
x（０＜ｘ≦2.5）からなる透明誘電体膜を膜厚100〜200
0Åまたはこれに加えて最外表面膜としてシリコン合金
酸化物膜を膜厚100〜20000Åそれぞれ順次DCスパッタリ
ング法によって積層して成り、かつ可視光透過率が65％
以上、可視光反射率が15％以下ならびに日射透過率が65
％以下であって成膜前のガラス基板に比べ日射透過率が
５％以上低下するものであり、さらにCS−10Fによるテ
ーバー試験において1000回回転後の透過率とヘーズの変
化量が試験前に比し10％以内、ならびに各層の表面体積
抵抗が100Ω・cm以上であることを特徴とする電波透過
性の単板断熱をそれぞれ提供するものである。

ここで、断熱多層膜として透明誘電体膜を用いること
にしたのは、電波の透過が構成する膜の電気抵抗値に関
係し、しかも100Ω・cm以上、好ましくは1000Ω・cm以
上の非常に高電気抵抗値のもの、例えばTiOx、SnOx等で
なければならないことがわかり、従来のような導電性金
属等、例えばAg、TiN、ITO等では電気抵抗値が低く電波
遮蔽性能を有し、例えばガラス基板に比し数dBあるいは
10dB以上の低下となり、例えば１、2dBの低下とほぼガ
ラス基板と同等とすることができないからであり、また
これら透明誘電体膜は耐薬品性、耐湿性、付着性等に著
しく優れたものである。

誘電体膜を屈折率が1.8〜2.1、例えばSnOx（０＜ｘ≦
２）、TaOx（０＜ｘ≦2.5）、ZrOx（０＜ｘ≦２）、AlN
ならびに最外表面膜としてSiOx（０＜ｘ≦２）等であ
り、ついで屈折率が2.2〜2.5のTiOx（０＜ｘ≦２）であ
り、その上に屈折率が1.8〜2.1と低高屈折率のものが交
互になるようガラス基板表面に順次積層し３〜５または
６層の多層膜としたのは、より強く密着させたなかで、
可視光透過率ならびに反射率を、例えば膜を成膜しない
ガラス基板とほぼ同等もしくは近ずけるために膜の干渉
効果のみを利用し、干渉効果を大きくするためにはガラ
ス基板と膜、膜と膜、膜と空気の屈折率差が大きいこと
が必要であるが、高屈折率のものと低屈折率のものの組
み合わせた干渉フイルターでは、通常高屈折率のものが
2.0以上で低屈折率のものが1.6以下とその差が大き過
ぎ、反射色が赤紫系等の干渉発色を発現し、車輌用断熱
ガラスとしては好ましくなく、本発明ではこの差を微妙
に調整するように差を大きくとるなかで比較的小さい値
を選ぶようにしたためであり、しかも日射透過率を65％
以下でかつガラス基板のみの日射透過率よりも５％以
上、好ましくは10％前後低下させることができるためで
あり、３層より５または６層の方がより大きい低下とな
りやすいものである。さらに断熱を有する前期多層膜を
成膜してもその反射色は、反射の刺激純度が10％と低い
ためニュートラル色が得られる。また多層の膜厚を100
〜2000Åとしたのは、100Å未満では各層の膜強度が保
持し難いことも生じることがあること、可視光反射率、
日射透過率等においても満足すべき値となりにくいもの
が場合によっては出てくることがあるためであり、2000
Åを越えると、生産性の悪化が生じたり、厚いために発
現する歪み等の諸問題をかかえることになりかねないか
らである。また表面強度をさらに向上させる意味で、最
外表面膜として屈折率1.5程度のシリコンアルミニウム
合金酸化膜を膜厚100〜20000Å程度で用いることができ
るものである。

さらにまた成膜の製法としては、DCスパッタ法である
ことが、耐摩耗性等上必要であり、例えばディッピング
法等では耐摩耗性において非常に弱いものとなり単板で
の使用に適さないものとなるためである。

なお、例えば曲げ加工後の成膜あるいは成膜後の曲げ
加工のどちらの工程でもよいものであり、このことは全
て誘電体膜のみのため加熱による膜の変質が発現しない
ことによるものである。また５層あるいは６層を越え、
７層以上となると生産性上好ましくないものである。

また、光学特性のうち、可視光透過率を65％以上とし
たのは、例えば自動車における運転者の視野を十分確保
するためであり、好ましくは70％以上であり、また可視
光反射率を15％以下としたのは、15％を越えると自動車
窓ガラスとして使用した際、運転者にミラー効果で室内
の像が視野内に入り運転者の安全性を防げ、逆に対向車
の運転者にはまぶしさを与えるためで、好ましく13％以
下、より好ましくは10％以下であり、特に前記可視光透
過率あるいは反射率は夜間ならびに雨降り等にその効果
をよりもたらすものである。さらにまた、日射透過率を
65％以下でかつガラス基板のみの際より５％以上低下さ
せるものとしたのは、少なくとも65％を越え、前記差が
５％以内であれば冷暖房効果を向上させ、例えば車内の
住居性を向上させるために必ずしも役立たせたとは言い
難く、効果が少ないものとなるためである。

さらにまた、CS−10Fによるテーバー試験において100
0回回転後の透過率とヘーズの変化量（ΔＴとΔＨ）が
試験前に比し、10％以内であるものとしたのは、10％を
越えると長期間使用において膜の視野ならびに透明さが
悪化し、例えば運転者に目立って不快感、場合によって
は安全性を防げる場合も発現することがあるようになっ
てくるためであり、好ましくは８％以上、より好ましく
は５％以内である。

さらに各層の表面体積抵抗が100Ω・cm以上を有する
としたのは、周波数100〜1000MHzの間で特に100〜700MH
z前後において10dB以上、ガラス基板と比し数dB、電波
を遮蔽しないようにするために必要であり、特に自動車
ガラスとして断熱性能を生かしつつ電波、例えばTV波、
電話、シャッター開閉のリモコン操作などの電波のため
にはガラス基板とほぼ同等もしくは１〜2dBの低下にお
さえる必要があるためである。

つぎに、ガラス基板としては、透明ガラスであればよ
いが、特にグレー、ブロンズ等がよく、ニュートラル色
を得やすいものであってより好ましいものである。また
単板で使用できることはもとより、複層あるいは合せガ
ラスとしても使用できることは言うまでもない。

［作用］ 前述したとおり、本発明の電波透過性の単板断熱ガラ
スは、特定の低高屈折率を有する誘電体膜をDCスパッタ
法によって順次交互に特定膜厚で３〜５層または６層の
積層多層膜とし、場合によっては最外表面膜としてシリ
コンアルミニウム合金酸化物をオーバーコートして巧み
に組み合わせ、しかも可視光透過率、可視光反射率ある
いは日射透過率等の光学特性をそれぞれ特定し、さらに
テーバー試験による透過率とヘーズの変化量を特定し、
さらにまた表面体積抵抗を特定したものとしたことによ
り、各薄膜層の密着性を高め、積層した多層膜全体の耐
摩耗性ならびに耐食性が向上し、耐久性に優れ、単板と
して充分採用できるものとなり、しかも適度の干渉効果
をもたらし、断熱機能を有し、充分可視光反射率を低い
ものとして充分視野が確保でき、例えば車内外からのミ
ラー効果も殆どなく、視野を妨げるようなことになら
ず、高い安全性と居住性を備え、さらにTV電波等も透過
するものとなって、建築用窓ガラスではもちろん、車両
用窓ガラスとしてもフロント、サイドあるいはドア用ガ
ラス、さらにリヤ用ガラスにも充分採用できる電波透過
性の単板断熱ガラスを提供できるものである。

［実施例］ 以下、実施例により本発明を具体的に説明する。ただ
し本発明は係る実施例に限定されるものではない。

実施例１ 大きさ600×600mm²、厚さ5mmのグレーガラス（NGFL
5）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコールで
順次洗浄し、乾燥した後、マグネトロン反応スパッタリ
ング装置の真空槽内にセットしてあるSnとTiのターゲッ
トに対向して上方を往復できるようセットし、つぎに前
記槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまでに脱気した
後、該真空槽内にO₂ガスを導入して真空度を約２×10^-3
Torrに保持し、前記SnとTiのターゲットに約0.5KWの電
力を印加し、O₂ガス（但し、ArとO₂ガスの流量比は1:1
から0:1の範囲にあればよい。）によるDCマグネトロン
反応スパッタの中を、前記Snターゲット上方においてス
ピード約50mm/minで前記板ガラスを搬送するこよって約
600Å厚さのSnO₂薄膜を第１層として成膜した。成膜が
完了した後、Snダーゲットへの印加を停止する。

次に、板ガラスを前記真空槽中においたまま、前記Ti
ターゲットに約2.5KWの電力を印加し、O₂ガスによるDC
マグネトロン反応スパッタのなかを、前記Tiのターゲッ
ト上方において約20mm/minのスピードで搬送することに
より、前記板ガラスのSnO₂成膜表面に約500Å厚さのTiO
₂薄膜を第２層として成膜積層した。

さらに前述の第１層成膜と同様にして約60mm/minのス
ピードで搬送することにより、前記ガラスのTiO₂成膜表
面に約500ÅのSnO₂薄膜を第３層として成膜積層した。

得られた３層の多層膜を有する単板断熱ガラスについ
て、可視光透過率（380〜780nm）、可視光反射率（380
〜780nm）ならびに日射透過率（340〜1800nm）について
は340型自記分光光度計（日立製作所製）とJISZ8722,JI
SR3106によってそれぞれその光学的特性を求めた。さら
にテーバー試験による透過率の差については、テーバー
試験機（MODEL 503,TYBER社製）に膜面を上にした10cm
角の試験片をセットし、膜面に荷重500gのかかった摩耗
輪（CS−10F）が２ヶ所で当たるようになっているもの
で、1000回回転した後、先ず可視光透過率を測定し、試
験前の測定値と対比し、その変化量すなわち差（ΔＴ）
をもって表わした数値であり、次いでヘーズ（曇り具
合）値については、ヘーズメーター（日本電色工業製、
NDH−20D）によって測定し、ΔＴと同様にその変化量
（ΔＨ）をもって表わした数値である。

次に、耐薬品性のうち耐酸試験については、常温で１
規定の塩酸溶液中に前記試験片を約６時間浸漬した後、
膜の劣化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ試
験については、常温で１規定のNaOH溶液に試験片を約６
時間浸漬した後、膜の劣化状態を見て判断したものであ
り、それぞれ○印はほとんど劣化が見られなかったも
の、×印は劣化が明らかに目立ったものである。

また耐湿性については、約50℃、相対湿度約95％の部
屋内において30日間放置した後、膜の劣化状態をみて耐
薬品性同様の判断ならびに○×印で表示した。

さらに表面抵抗については、四深針抵抗測定装置RT−
８（NAPSON社製）およびハイレスタHT201（三菱油化社
製）によって測定し、100Ω・cm以上を○印とし、100Ω
・cm以下を×印または測定値で示した。これら前述の測
定値は表１に示す通りである。

またさらに、電波透過性については、シールド効果、
すなわち・通常のガラス基板と比して電波が透過しにく
くなる程度を知るため、アドバンテスト法のテムモード
によってTR17302とTR4172（いずれも（株）アドバンテ
スト製）を用いて測定して求め、図１に示した。

表１ならびに図１より明らかなように、またグレー硝
子（日射透過率71.4％）に比べ日射透過率が５％以上低
くなり、断熱性に優れ、より優れた住居性ならびに安全
性を示し、耐摩耗性、耐食性を十分に有し、耐候性、耐
久性を向上したものであって、電波を十分透過し、単板
断熱ガラスとして有用なものとなり、所期のめざすもの
が得られた。

なお、表中のガラス基板は、NGFLはグレー、NFLはブ
ロンズ、FLが無色透明の通常の板ガラスを示す。

実施例２〜14 実施例１と同様の方法で、表１に示す３〜６層積層多
層膜およびその各膜厚を得て、その膜構成において実施
例１で示した測定法等によって同様の評価手段で行い、
その結果を表１に示す。

各実施例共、実施例１と同様のものが得られた。

比較例１ならびに４〜10 実施例１と同様の方法によって表２に示すような３〜
７層の積層多層膜を得、その膜構成において実施例１で
示した測定法等によって同様の評価手段で行い、その結
果を表２にそれぞれ示す。

それぞれ、実施例に比して、例えば比較例１は表面体
積抵抗が低く、誘電性膜層を有していることを示し、図
１でも明らかなように通常のガラス基板のみより電波に
対しシールド効果を有しており、また比較例８のように
Ag層を含む７層の多層膜を有するものでも、金属で導電
性を有し表面体積抵抗が低く、図１でも明らかなように
通常のガラス基板のみよりかなりのシールド効果となっ
ており、しかも、耐摩耗性ならびに耐薬品性がないもの
となっている。そのほかの比較例４〜７および比較例９
と10では、いずれも所期の光学特性を満足するものでは
ないものであり、車輌用断熱ガラスとしていずれにして
も必ずしも優れた特性を有する単板断熱ガラスとは言い
難いものであった。

比較例２および３ 大きさ200×200mm²、厚さ5mmのグレーガラス（NGFL
5）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコールで
順次洗浄し、乾燥した後、Sn(0-n-C₄H₉)₃Cl溶液中にデ
ィッピングし、約1.2mm/secの速度で引上げ、200℃、20
分乾燥し、膜厚約600ÅのSnO₂薄膜を得、ついでTi(O-C₄
H₇)₄溶液中にディッピングし、約1.0mm/secの速度で引
上げ、前記と同じ条件で乾燥し、膜厚約500ÅのTiO₂薄
膜を得、さらにSn(O-n-C₄H₉)₃Cl溶液中にディッピング
し、約1.0mm/secの速度で引上げ、乾燥後約600℃で30分
キュァし、膜厚約500ÅのSnO₂薄膜を得、表示中の比較
例２のような３層の膜構成のものを得た。

比較例３は比較例２と同様に行い、ただSiO₂薄膜につ
いてはSi(O-C₂H₅)₄溶液中にディッピング後、約0.8mm/s
ecの速度で引上げ、膜厚約600Åのものを得た。

得られた比較例２および３のものは、テーバー試験で
膜がなくなり、耐摩耗性がないもので単板として使用不
可能と言わざる得ないものであった。

［発明の効果］ 以上前述したように、本発明はスパッタ法で、特定の
低高屈折率あるいは膜厚で誘電体膜を特異に組み合わせ
て多層膜として積層した構成にせしめ、しかも光学上な
らびに安全上の特性値が特定できるものとなし得、断熱
ガラスであって耐摩耗性、耐食性ならびに耐候耐久性に
優れ、電波透過のよい特異なものとなり、複層あるいは
合せガラスはもちろん単板のニュートラル色で居住性の
よい、ガラスアンテナ等を備えて効果的で有用な電波透
過性の単板断熱ガラスを効率よく提供できるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

図１は、電波シールド効果におけるガラス基板と実施例
１ならびに比較例1,8との差に関する一例を示す図であ
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−140152（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−206333（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明ガラス基板の表面に、ガラス面より第
   １層として屈折率が1.8〜2.1のSnOx（０＜ｘ≦２）、Zr
   Ox（０＜ｘ≦２）、AlN、TaOx（０＜ｘ≦2.5）からなる
   透明誘電体膜を膜厚100〜2000Å、第２層として屈折率
   が2.2〜2.5のTiOx（（０＜ｘ≦２）からなる透明誘電体
   膜を膜厚100〜2000Å、第３層として屈折率が1.8〜2.1
   のSnOx（０＜ｘ≦２）、ZrOx（０＜ｘ≦２）、AlN、TaO
   x（０＜ｘ≦2.5）からなる透明誘電体膜を膜厚100〜200
   0Åまたはこれに加えて最外表面膜としてシリコン合金
   酸化物膜を膜厚100〜20000Åそれぞれ順次DCスパッタリ
   ング法によって積層して成り、かつ可視光透過率が65％
   以上、可視光反射率が15％以下ならびに日射透過率が65
   ％以下であって成膜前のガラス基板に比べ日射透過率が
   ５％以上低下するものであり、さらにCS−10Fによるテ
   ーバー試験において1000回回転後の透過率とヘーズの変
   化量が試験前に比し10％以内、ならびに各層の表面体積
   抵抗が100Ω・cm以上であることを特徴とする電波透過
   性の単板断熱ガラス。
2. 【請求項２】透明ガラス基板の表面に、ガラス面より第
   １層として屈折率が1.8〜2.1のSnOx（０＜ｘ≦２）、Zr
   Ox（０＜ｘ≦２）、AlN、TaOx（０＜ｘ≦2.5）からなる
   透明誘電体膜を膜厚100〜2000Å、第２層として屈折率
   が2.2〜2.5のTiOx（（０＜ｘ≦２）からなる透明誘電体
   膜を膜厚100〜2000Å、第３層として屈折率が1.8〜2.1
   のSnOx（０＜ｘ≦２）、ZrOx（０＜ｘ≦２）、AlN、TaO
   x（０＜ｘ≦2.5）からなる透明誘電体膜を膜厚100〜200
   0Å、第４層として屈折率が2.2〜2.5のTiOx（（０＜ｘ
   ≦２）からなる透明誘電体膜を膜厚100〜2000Å、第５
   層として屈折率が1.8〜2.1のSnOx（０＜ｘ≦２）、ZrOx
   （０＜ｘ≦２）、AlN、TaOx（０＜ｘ≦2.5）からなる透
   明誘電体膜を膜厚100〜2000Åまたはこれに加えて最外
   表面膜としてシリコン合金酸化物膜を膜厚100〜20000Å
   それぞれ順次DCスパッタリング法によって積層して成
   り、かつ可視光透過率が65％以上、可視光反射率が15％
   以下ならびに日射透過率が65％以下であって成膜前のガ
   ラス基板に比べ日射透過率が５％以上低下するものであ
   り、さらにCS−10Fによるテーバー試験において1000回
   回転後の透過率とヘーズの変化量が試験前に比し10％以
   内、ならびに各層の表面体積抵抗が100Ω・cm以上であ
   ることを特徴とする電波透過性の単板断熱ガラス。