JP2856683B2 - 電波透過型熱線遮蔽ガラス - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、太陽輻射エネルギ−を
遮蔽する車輌用等の着色ガラスに用いてさらに被膜付き
の熱線遮蔽着色ガラスとしたものであって、とりわけ冷
暖房効果を向上せしめるような優れた日射透過率を有す
るとともに、比較的高い可視光透過率を有するものであ
り、AM電波、FM電波等の放送における受信障害などの低
減、あるいはテレビ電波のゴ−スト現象等の電波障害を
低減ができ、電波透過性能を必要とするガラス、ことに
単板ガラスとして使用可能な電波透過型熱線遮蔽ガラス
であって、特に自動車用窓材、例えばフロントウインド
ー、リヤウインドーあるいはサイドウインドーまたはサ
ンルーフ等に有用な電波透過型熱線遮蔽ガラスに関す
る。

【０００２】

【従来技術】近年、車輌用ガラスを通して車内に流入す
る太陽輻射エネルギーを遮蔽し、車内の温度上昇、冷房
負荷を低減させる目的から熱線遮蔽ガラスが車輌用に採
用されている。また最近は特に該車輌用ガラスにおい
て、高熱線遮蔽性能や高可視光透過率等に加えて、各種
電波の透過性能が要求されるようになってきている。

【０００３】該車輌用の熱線遮蔽ガラスについては、例
えば特開平1-145351号公報には、赤外線遮断ガラスが記
載されており、ガラス基板上に、基板側から順に透明誘
電体膜、窒化物膜、及び透明誘電体膜の少なくとも３層
構成膜を形成してなる赤外線遮断ガラスにおいて、少な
くとも透明誘電体膜が酸化タンタルよりなることが開示
され、窒化物膜が窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化
ハフニウム、窒化タンタル、及び窒化クロムのうち少な
くとも１種からなることが開示されている。

【０００４】一方、電波透過性能と熱線遮蔽性能を備え
る車輌用ガラスについては、例えば、特開平2-177601号
公報には、電波透過性能を有する車輌用窓ガラスが記載
されており、熱線反射膜とアンテナ導体とを設けてなる
ものであって、熱線反射膜の表面抵抗率が20ｋΩ／口未
満の膜では、本来のガラスアンテナ性能を発揮できなく
なるものであり、熱線反射膜がアンテナ導体と接触状態
にある場合には、熱線反射膜の表面抵抗率は 500ｋΩ／
口以上、望ましくは１ＭΩ／口以上が好ましいことが開
示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする問題点】前述したような、例
えば特開平1-145351号公報等に記載されたものは、熱線
遮蔽性能を得るために窒化チタン等の窒化物を膜厚が通
常５〜60nmであり、また酸化タンタルとしては膜厚が比
較的厚い40〜90nmが好ましく、より好ましくは55〜75nm
であり、その結果必ずしも電波透過性能に優れるものと
は言い難く、自動車に搭載のテレビ、ラジオ、携帯電話
のためのガラスアンテナの受信性能が低下することとな
り、高い可視光透過率と低い可視光反射率、膜色調、刺
激純度、熱線遮蔽性能および電波透過性能が充分バラン
スよくて、所期の自動車用窓材としての特性を得難いと
いう問題がある。

【０００６】一方、例えば特開平２−177601号公報に記
載されたものは、仮に熱線反射膜がアンテナ導体と接触
状態にある場合、熱線反射膜の表面抵抗率が 500ｋΩ／
口以上、例えば１〜９ＭΩ／口程度のものでは、一応ア
ンテナの受信性能を満たすものの、少々の性能の低下は
避けられず、また例えば無限大の表面抵抗率すなわち絶
縁膜をなし得たとしても、一応アンテナの受信性能は充
分であるものの各種光学特性が不十分および膜厚ムラが
生じる等各種性能を満足するものではなくなり、到底充
分に優れた電波透過性能を有しかつバランスよく各種光
学特性および各種性能を備えていて、充分満足できる所
期の自動車用窓材等とは言い難いものである。

【０００７】

【問題点を解決するための手段】本発明は従来のこのよ
うな点に鑑みてなしたものであり、ガラス基板をクリア
ガラスにない光学特性を有する着色ガラスと、特定した
酸化タンタルとチタン窒素酸化物とを特定の膜厚で特定
に積層した積層成膜とを組み合わせることで、着色ガラ
スの光学特性と、該積層成膜の光学特性ならびにその物
理的化学的特性とを相互にかつ相乗的に補足し補い合
い、バランスよくその特性を発揮し、より優れた電波透
過特性を有する電波透過型熱線遮蔽ガラスをうることが
でき、単板でかつガラスアンテナを備えるようなものを
含む各種自動車用窓材にも充分使用でき、最近のニーズ
に最適なものとなる有用な電波透過型熱線遮蔽ガラスを
提供するものである。

【０００８】すなわち、本発明は、透明な着色ガラス基
板表面に、ガラス面側から第１層ならびに第３層として
膜厚が15nm以下３nm以上の酸化タンタル薄膜、第２層と
して膜厚が４nm以上10nm以下のチタン窒素酸化物薄膜を
少なくとも積層成膜してなり、しかも該チタン窒素酸化
物薄膜が、N₂ガスとO₂ガスの比が98：２ないしは92：８
の範囲、または該混合ガスにさらにArガスを加えて該混
合ガス：Arガスの比が１：０ないしは１：１の範囲の雰
囲気ガスにある真空系装置内でTiターゲットに印加しス
パッタすることで xとy の値を選択決定して成るTiNxOy
であることを特徴とする電波透過型熱線遮蔽ガラス。

【０００９】ならびに、前記３層の積層成膜のシート抵
抗値が、 10MΩ／口以上の高抵抗値であることを特徴と
する上述した電波透過型熱線遮蔽ガラス。さらに、前記
３層の積層成膜のシート抵抗値が、 15MΩ／口以上10G
Ω／口以下の高抵抗値であることを特徴とする上述した
電波透過型熱線遮蔽ガラス。

【００１０】また、前記３層の積層成膜の反射色が、ニ
ュートラル系であることを特徴とする上述した電波透過
型熱線遮蔽ガラス。さらにまた、前記電波透過型熱線遮
蔽ガラスが、透明な着色ガラス基板がグリーン系色調で
あって、可視光透過率が65％以上、可視光反射率が16％
以下であり、しかも日射透過率が60％以下、反射の刺激
純度が17％以下であることを特徴とする上述した電波透
過型熱線遮蔽ガラス。

【００１１】さらにまた、前記電波透過型熱線遮蔽ガラ
スが、透明な着色ガラス基板がブロンズ系色調であっ
て、可視光透過率が70％以上、可視光反射率が16％以下
であり、しかも日射透過率が69％以下、反射の刺激純度
が17％以下であることを特徴とする上述した電波透過型
熱線遮蔽ガラス。

【００１２】さらに、前記電波透過型熱線遮蔽ガラス
が、単板であることを特徴とする上述した電波透過型熱
線遮蔽ガラス。さらにまた、前記電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスが、アンテナ導体と少なくとも前記３層でなる積層
成膜とを備えていることを特徴とする上述した電波透過
型熱線遮蔽ガラスをそれぞれ提供するものであるここ
で、前記したように、ガラス面側から第１層ならびに第
３層として膜厚が15nm以下３nm以上の酸化タンタル薄
膜、第２層として膜厚が４nm以上10nm以下のチタン窒素
酸化物薄膜を少なくとも積層成膜してなるものとしたの
は、先ず、第２層として膜厚が４nm以上10nm以下のチタ
ン窒素酸化物薄膜については、抵抗値が高くしたがって
比較的高い電波透過性能を示すことはもちろん熱線遮蔽
性能も有するものであり、前記積層成膜の該電波透過性
能はほぼチタン窒素酸化物薄膜で決まるものの、前記積
層成膜の該熱線遮蔽性能は補足し高めるために着色ガラ
スを用いバランスをさせる必要があるものの他の光学特
性をもほぼ決定するものである。例えば膜厚が４nm未満
ではグリーン系色調ガラス基板において日射透過率が60
％以下に、またブロンズ系色調ガラス基板において日射
透過率が69％以下にすることが困難であり、膜厚が10nm
を超えると刺激純度が17％以下にすることが困難となる
ものである。好ましくは５nm以上８nm以下程度である。

【００１３】しかも、該チタン窒素酸化物薄膜を、N₂ガ
スとO₂ガスの比が98：２ないしは92：８の範囲、または
該混合ガスにさらにArガスを加えて該混合ガス：Arガス
の比が１：０ないしは１：１の範囲の雰囲気ガスにある
真空系装置内でTiターゲットに印加しスパッタすること
で xとy の値を選択決定して成るTiNxOyであることとし
たのは、前記膜厚のみだけではなく反応性スパッタリン
グにおいて前記雰囲気ガスをコントロールした該 xとy
の値によっても、前記積層成膜のシート抵抗値（表面抵
抗率Ω／口）、その光学特性ならびに物理的化学的性質
に微妙な影響を与えるためであり、例えば xの値に係わ
る前記N₂ガスとO₂ガスの比としての値（O₂ガスの値）が
２未満では導電性方向に移行し前記シート抵抗値が低下
して電波透過性能を減少するようになるとともに、着色
ガラス基板を採用する必要があるなかで可視光透過率の
値等をクリアすることは膜厚との兼ね合いを考慮したと
しても難しい場合もあり得るものであり、また例えば x
の値に係わる前記N₂ガスとO₂ガスの比としての値（O₂ガ
スの値）が８を超えるようになると絶縁性の方向に移行
し前記シート抵抗値が増大して電波透過性能を増加する
ようになるものの、日射透過率の値等をクリアすること
は膜厚との兼ね合いを考慮したとしても難しい場合もあ
り得るものである。

【００１４】次に、ガラス面側から第１層ならびに第３
層として膜厚が15nm以下３nm以上の酸化タンタル薄膜に
ついては、シート抵抗値が高く絶縁膜と言えるものであ
り、しかも第１層目であるチタン窒素酸化物薄膜の下地
層としては着色ガラス基板とチタン窒素酸化物薄膜との
密着性がよく、可視光透過率、可視光反射率あるいは刺
激純度等に対する影響がほとんどなく、また第３層目で
ある最外表層としてはチタン窒素酸化物薄膜との密着性
がよく、可視光透過率、可視光反射率あるいは刺激純度
等に対する影響がほとんどないことはもちろん、耐薬品
性、耐摩耗性、耐擦傷性ならびに耐候性等耐久性に優れ
るものである。

【００１５】また、膜厚を15nm以下３nm以上としたの
は、15nmを超えると着色ガラスならびにチタン窒素酸化
物薄膜との相互作用で例えば可視光透過率が着色ガラス
によって65〜70％以下となって所期の自動車用窓材とし
て適切なものではなくなり、３nm未満では上記した耐薬
品性、耐摩耗性、耐擦傷性ならびに耐候性等耐久性が充
分でなくなるためである。好ましくは13nm以下４nm以
上、より好ましくは10nm以下５nm以上である。

【００１６】またさらに、前記した構成でなる電波透過
型熱線遮蔽ガラスは単板で使用でき、特に自動車用窓材
として、合せガラスとしてはもちろん、例えばリアガラ
ス、サイドガラスあるいはサンルーフガラス等に単板と
して使用できるものである。

【００１７】さらに、種々の条件ないし環境のもとで使
用する際には、これに対応して前記第３層目である最外
表層の表面に、例えばシラザンやその他からなる酸化珪
素系保護膜等でハードコートをすること、あるいは反射
低減機能等機能性膜をさらに被覆することができること
は言うまでもない。

【００１８】また、前記３層の積層成膜のシート抵抗値
が 10MΩ／口以上の高抵抗値であることとしたのは、10
M Ω／口未満のシート抵抗値での電波透過性能は、積層
成膜を被膜する以前の着色ガラス板の電波透過性能に比
し充分安定確実に１dB（絶対値として）以内の変動差内
に収めることができないものであり、より充分安定確実
に１dB以内の変動差内、例えば0.8 dB以内の変動差内と
するためには15M Ω／口以上、さらに電波透過性能およ
び光学特性ならびに物理的化学的特性を充分満足する好
ましい積層成膜のシート抵抗値としては20M Ω／口以上
10G Ω／口以下程度の範囲であり、より好ましいシート
抵抗値としては22M Ω／口以上10G Ω／口以下程度の範
囲である。

【００１９】また、前記３層の積層成膜の反射色が、ニ
ュートラル（ガラス面側反射の刺激純度が約10〜12％程
度以下）系であることとしたのは、着色ガラス基板の色
調を維持しつつ、可視光透過率や可視光反射率、刺激純
度等光学特性をクリアーするためである。

【００２０】さらに、前記電波透過型熱線遮蔽ガラス
が、透明な着色ガラス基板がグリーン系色調であって、
可視光透過率が65％以上、可視光反射率が16％以下であ
り、しかも日射透過率が60％以下、刺激純度が17％以下
であることとしたのは、例えば可視光透過率が約80％程
度、可視光反射率が約７％程度、日射透過率が約62％程
度、刺激純度が２〜３％程度で、人や環境に優しく夜間
や雨天でもギラつかない、しかも紫外線吸収性能も付与
しうるグリーン系色調ガラス基板（例えば、3.5mm 厚み
程度）を用いることで、該基板とほぼ同等の電波透過性
能（積層成膜を被覆する前の着色ガラス基板のみの電波
透過性能に比してその差が１dB未満内、例えば0.8 〜0d
B である）を有する前記積層成膜と特に光学特性上で巧
みに相互に絡ませ相乗効果をもたらしめるようにするこ
とで、単に電波透過型熱線遮蔽ガラスとする従来のもの
とは異なり、電波透過性能および熱線遮蔽性能を高めた
ことはもちろん、格段に優れた光学的機能を備える卓越
した特に自動車用窓ガラスとして最適なものとしたもの
である。

【００２１】すなわち、自動車用窓ガラスとして、電波
透過性能を前記着色ガラス基板と限り無く近づけほぼ同
等としかつ熱線遮蔽性能を日射透過率が60％以下と格段
に高め居住性をさらに向上したなかで、運転者や搭乗者
等が安全上等で必要である可視光透過率を65％以上とし
た透視性、例えば可視光透過率が70％以上等を確保し法
規上もクリアできるようにでき、しかも運転者や搭乗者
等における透視性低下、誤認あるいは目の疲労等の防止
に必要である可視光反射率を16％以下ならびに刺激純度
を17％以下とすることができて従来の値よりさらに低減
せしめることができ、最適な電波透過型熱線遮蔽ガラス
とすることができたものである。好ましくは可視光透過
率が68％以上、可視光反射率が14％以下、しかも日射透
過率が58％以下、刺激純度が16％以下である。

【００２２】さらにまた、前記電波透過型熱線遮蔽ガラ
スが、透明な着色ガラス基板がブロンズ系色調であっ
て、可視光透過率が70％以上、可視光反射率が16％以下
であり、しかも日射透過率が69％以下、刺激純度が17％
以下であることとしたのは、例えば可視光透過率が約79
％程度、可視光反射率が約７％程度、日射透過率が約72
％程度、刺激純度が２〜３％程度で、人や環境に優しく
夜間や雨天でもギラつかないグリーン系色調ガラス基板
よりやや同等かやや劣るブロンズ系色調ガラス基板（例
えば、3.5mm 厚み程度）を用いることで、該基板とほぼ
同等の電波透過性能（積層成膜を被覆する前の着色ガラ
ス基板のみの電波透過性に比して１dB未満内、例えば0.
8 〜0dB ）を有する前記積層成膜と特に光学特性上で巧
みに相互に絡ませ相乗効果をもたらしめるようにするこ
とで、単に電波透過型熱線遮蔽ガラスとする従来のもの
とは異なり、電波透過性能および熱線遮蔽性能を高めた
ことはもちろん、格段に優れた光学的機能を備える卓越
した特に自動車用窓ガラスとして好適なものとしたもの
である。

【００２３】すなわち、自動車用窓ガラスとして、電波
透過性能を前記着色ガラス基板と限り無く近づけほぼ同
等としかつ熱線遮蔽性能を日射透過率が69％以下と高め
居住性をさらに向上したなかで、運転者や搭乗者等が安
全上等で必要である可視光透過率を70％以上とした透視
性、可視光透過率が70％以上を確保し法規上もクリアで
きるようにでき、しかも運転者や搭乗者等における透視
性低下、誤認あるいは目の疲労等の防止に必要である可
視光反射率を16％以下ならびに刺激純度を17％以下とす
ることができて従来の値よりさらに低減せしめることが
でき、最適な電波透過型熱線遮蔽ガラスとなったもので
ある。好ましくは可視光透過率が71％以上、可視光反射
率が14％以下、しかも日射透過率が69％以下、刺激純度
が15％以下である。

【００２４】さらにまた、前記電波透過型熱線遮蔽ガラ
スはアンテナ導体と少なくとも前記３層でなる積層成膜
とを備えている窓ガラス、例えば自動車用窓ガラス、こ
とにリアガラス、サイドガラスとして有用であり、具体
的には断面上の構成としては例えば前記着色ガラス基板
と前記積層成膜との間にアンテナ導体を設け、平面上で
は前記積層成膜を着色ガラス基板の全面に被膜すること
を基本にし、例えば着色ガラス基板の周辺部の黒枠内で
周縁端からある幅で全周部分または給電点部よりやや大
きめの部分を除いて被膜すること、あるいは該給電点部
と同様にししかもモール（枠体）を一体成型または後付
けする部分を除き被膜すること、さらには該アンテナ導
体部分の全部または一部を除いて被膜すること等とする
ことができるものであり、その構成は種々の構成が自在
になし得ることは言うまでもない。

【００２５】さらにまた、前記被膜した熱線遮蔽性能を
有する膜のシート抵抗値を前記したように高い値とした
ことにより、AM電波、FM電波等の放送における受信障害
あるいはTV映像でのゴ−スト現象等の電波障害などをよ
り確実に発現しないようにすることができ、充分な電波
透過性能を有するガラスが必要を得て、環境に優しいも
のとするためである。また例えば、ガラスアンテナ素子
に前記被覆した高抵抗の熱線遮蔽性能を有する膜を直接
積層した場合においても、電波受信性能の低下には全く
影響を及ぼすことがないと言えるものとなるものであ
る。

【００２６】また、前記したように着色ガラス基板とし
ては所謂フロート法で製造された無機質で透明な着色ガ
ラスであって、好ましくは例えばグリーン系ガラスやブ
ロンズ系ガラスであり、さらに例えばグレー系ガラスや
ブルー系ガラス等にも採用可能である。また単板で使用
できることはもとより、複層ガラスあるいは合せガラス
（本電波透過型熱線遮蔽ガラス同士はもちろんクリアガ
ラス基板との組み合わせをも含む）、強化ガラス等、さ
らに平板あるいは曲げ板等各種板ガラス製品として使用
できることは言うまでもない。また板厚としては例えば
約1.5mm 程度以上約4.5mm 程度以下が好ましく、より好
ましくは約2.0mm 程度以上約4.0mm 程度以下の着色ガラ
スである。

【００２７】なお、該着色ガラス基板あるいは前記積層
膜にさらに各種機能、例えば紫外線吸収性能、反射低減
機能、撥水性機能等を付与するようにすることができる
ことは言うまでもない。

【００２８】

【作用】前述したとおり、本発明の電波透過型熱線遮蔽
ガラスは、着色ガラス基板上に、特異にx とｙの値をコ
ントロールしたTiNxOyで表されるチタン窒素酸化物薄膜
と該薄膜を包み込むようにTaOxで表されるタンタル酸化
物を少なくとも３層にそれぞれ特定の膜厚で形成したこ
とにより、該少なくとも３層の積層膜のうち、中間膜と
して非常に高いシート抵抗値を持ちかつその値を制御で
き得、しかも目標の光学特性を前記着色ガラス基板の光
学特性と巧みに整合せしめてバランスさせるようコント
ロールでき易いTiNxOyを配置し、積層膜に充分な電波透
過特性を与えるものである。さらに単板でも耐薬品性、
耐候性、耐摩耗性および耐久性で絶縁性の性質を合わせ
もつTaOx膜を下地層と最外表層に配置することで、ガラ
ス基板と下地層の間ならびに各層膜間の密着性を高め、
光学特性への影響を最小限にとどめ、高耐摩耗性、高耐
久性を有する膜を得ることを可能にしたものであり、単
板でも３層構成において電波透過性能、高耐摩耗性、高
耐久性を保持し、可視光透過率、可視光反射率、日射透
過率ならびに反射の刺激純度とをバランスよく顕著にす
る作用を与えるものである。

【００２９】また、図１に示すように、電波透過型熱線
遮蔽ガラスのシート抵抗値と、それによるアンテナ利得
(Ｓ／Ｎ比）と被膜なしのガラス基板のアンテナ利得
（Ｓ／Ｎ比）との差すなわち利得差との関係を見出すこ
とができたことで電波透過性能を高めることができ、か
つ可視光透過率が70％以上の法的規制をもクリアできる
ようにでき、しかも日射透過率を向上し、可視光反射率
ならびに反射の刺激純度も低くし、高透視性の高熱線遮
蔽性能を有することとなり、指紋等の汚れも付きにく
く、冷暖房の効果を高め居住性を向上し、さらにAM帯、
FM帯、TV帯等での電波低反射性能が格段に優れて通常の
フロ−トガラス並の電波透過性能であることから、車輌
用のテレビ、ラジオ、携帯電話等のためのガラスアンテ
ナの受信性能を低下させることなく、またゴ−スト現象
等の電波障害を低減することができ、本来のガラスアン
テナ性能を発揮させ、車輌内外での快適な環境を確保す
ることができる、単板で使用可能な優れた電波透過型熱
線遮蔽ガラスを提供するものである。

【００３０】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。

【００３１】実施例１ 大きさ約300mmx300mm 、厚さ約3.5mm のグリーン色調系
ガラス基板(MFL3.5)を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピ
ルアルコールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロ
ンスパツタリング装置の真空槽内にセットしてあるTaの
ターゲツトを対向して上方を往復できるようセットし、
つぎに前記槽内を真空ポンプで５x10 ^-6Torr以下までに
脱気した後、該真空槽内にO₂ガスを導入して真空度を５
x10 ^-3Torrに保持し、前記Taのターゲツトに約2.0kW の
電力を印加し、O₂ガスによるDCマグネトロン反応スパツ
タの中を、前記Taのターゲツトの上方においてスピード
約500mm ／min で前記ガラス基板を搬送することによっ
て、前記ガラス基板に第１層として約５nm厚さのTaOx
（x は４／２〜５／２程度である）薄膜を成膜した。成
膜が完了した後、Taターゲツトへの印加を停止する。

【００３２】次いで、前記した同装置の真空槽内にセッ
トしてあるTiのターゲツトを対向して上方を往復できる
ようセットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで５x10 ^-6
Torr以下までに脱気した後、該真空槽内にN₂ガス、O₂ガ
ス、Arガスの混合ガス（但し、N₂ガスとO₂ガスの流量比
は0.7:0.025 、残りArガス0.275 ）を導入して真空度を
５x10 ^-3Torrに保持し、前記Tiのターゲツトに約1.0kW
の電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反
応スパツタの中を、Tiのターゲツトの上方においてスピ
ード約640mm ／min でガラス基板の上記TaOx薄膜上に第
２層として約４nm厚さのTiNxOy薄膜を成膜した。成膜が
完了した後、Tiターゲツトへの印加を停止する。

【００３３】次に、第１層と同様にして、第２層のTiNx
Oy薄膜上に第３層として第１層と同様の約５nm厚さのTa
Ox薄膜を成膜した。成膜が完了した後、Taターゲツトへ
の印加を停止する。

【００３４】得られた単板３層の電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスは表１に示すようになり、該電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスについて下記の測定をして評価した。 （測定および評価法） 光学特性： 可視光透過率(380nm〜780nm)、可視光
反射率(380nm〜780nm)ならびに日射透過率(340nm〜1800
nm) 等については340 型自記分光光度計（日立製作所
製）とJISZ8722、JISR3106によってそれぞれの光学的特
性を求めた。

【００３５】 機械的特性： （テーバー試験） （耐摩耗性） JIS R 3221に準拠、テ−バ−試験機（MODEL 503 、TABER 社 製）、摩耗輪 CS-10F 、荷重500g、1000回転後のヘ−ズ（曇 り具合）値の変化量（△Ｈ％）。

【００３６】 （トラバース試験） ブロード布＃40、荷重100g／cm² 、ストローク:100mm、回数 5000回後のヘ−ズ（曇り具合）値の変化量（△Ｈ％）。

【００３７】 ＊いずれも△Ｈ％が４％以下を合格とした。 化学的特性： （耐酸性） （耐薬品性） 常温で１規定のHCl 溶液中に試験片を約６時間浸漬した後、 可視光透過率の差の絶対値。

【００３８】 （耐アルカリ性） 常温で１規定のNaOH溶液中に試験片を約６時間浸漬した後、 可視光透過率の差の絶対値。

【００３９】 ＊いずれも可視光透過率の差の絶対値が４％以下を合格とし 、○印で表示。 （JIS R 3221に準拠） 電気的特性： 三菱油化製表面高抵抗計（HIRESTA HT-201）によって測定。

【００４０】 （シート抵抗値）（M Ω／口）。 電波透過性： 電波のうちAM帯（約520 〜1630kHz 程度の範囲）において、 （利得差） 被膜のないガラス基板のアンテナ利得（Ｓ／Ｎ比）と本発明 の電波透過型熱線遮蔽ガラスのアンテナ利得（Ｓ／Ｎ比）を 各々測定し、その差の絶対値（△dB）。

【００４１】さらに、各薄膜の膜厚については、先ず厚
さ約100nmの単層膜を被膜する。その際に被膜しない部
分を作り、その段差を表面粗さ計（SLOAN 社製、DEKTAK
IIA ）で測定する。この値をD₀nmとし、該被膜時の基
板搬送速度をV₀mm／minとする。次に厚さD nmの膜を被
膜する際の基板搬送速度をVmm／minとすると、D＝D₀V ₀
／V となる。それぞれの薄膜の基板搬送速度から該式に
よってそれぞれの薄膜の厚みを算出した。

【００４２】その結果、表１および２に示すようにな
り、充分優れた熱線遮蔽性等の光学特性、格段に高い表
面抵抗率、充分安定な耐酸性と耐アルカリ性、ならびに
優れた耐摩耗性を示し、各物性をバランスよく示す所期
の電波透過型熱線遮蔽ガラスを得ることができ、優れた
居住性をもちかつ運転者や搭乗者あるいは環境に優しく
安全性が高くしかもAM帯をはじめ各種電波を快適に受信
ができる自動車用窓ガラス、ことにアンテナ導体と同時
に備える自動車用窓ガラスに対しても充分採用できるも
のであった。

【００４３】なお、耐候性（例、サンシヤインウエザー
メーターで約1000時間：可視光透過率の変化がほぼない
こと）、耐湿性（例、約50℃、約95％RHで約15日間：外
観上異常がないこと）、その他種々の特性をも評価した
ところ、いずれも合格するものであった。

【００４４】実施例２〜８ 前記実施例１と同様の方法で、表１に示す各膜厚を得
て、その膜構成において実施例１で示した測定法等によ
って同様の評価手段で行った。その結果を表１および２
に示す。

【００４５】得られた該各実施例の電波透過型熱線遮蔽
ガラスは、いずれも実施例１と同様に優れた電波透過性
能および光学特性等の各物性をバランスよく示す所期の
ものであった。

【００４６】また、実施例２をはじめ上記実施例等によ
って、前記AM帯（約520 〜1630kHz程度の範囲）におい
て、本発明の電波透過型熱線遮蔽ガラスにおけるシート
抵抗値（M Ω／口）と前記利得の差の絶対値である利得
差（△dB）との関係が図１に示すような関係にあること
を見出した。

【００４７】この関係は本発明の電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスにおいて充分適用できることも確認ができ、例えば
前記利得の差の絶対値（△dB）を１dB以下にし、充分な
電波透過性を得るためには、約10 MΩ／口以上のシート
抵抗値が良く、また例えば0.8 〜0.6dB 以下程度であれ
ば約15〜16 MΩ／口以上のシート抵抗値であり、さらに
例えば0.5 〜0.3dB 以下程度であれば約20〜22 MΩ／口
以上のシート抵抗値がよいことが判明した。

【００４８】

【表１】

【００４９】

【表２】

【００５０】比較例１ 実施例１と同様にして処理し、表３に示すようなTiNxOy
薄膜のみを被膜したガラスを得た。実施例１と同様の測
定法、同様の評価を行った。その結果を表３および４に
それぞれ示す。

【００５１】得られたTiNxOy薄膜のみを被膜したガラス
は、シート抵抗値が充分高いものとは言えず、電波透過
性も到底よいものとは言えないものであり、しかも可視
光反射の膜面刺激純度が高く、さらに光学特性とともに
機械的特性も充分なものとは言い難いものであり、めざ
す所期の電波透過型熱線遮蔽ガラスではないものであっ
た。

【００５２】比較例２〜８ 前記実施例１と同様の方法で、表３に示す各膜厚を得
て、その膜構成において実施例１で示した測定法等によ
って同様の評価手段で行った。その結果を表３および４
に示す。

【００５３】得られた該各比較例のガラスは、光学特
性、電気的特性ならびに電波透過性のうち少なくとも一
つが不充分となり、前記比較例１と同様に、該各比較例
はめざす所期の電波透過型熱線遮蔽ガラスではないもの
であった。

【００５４】

【表３】

【００５５】

【表４】

【００５６】

【発明の効果】以上前述したように、本発明はスパッタ
法で、特定膜厚の高シート抵抗値を有するチタン窒素酸
化物薄膜をタンタル酸化物薄膜で包み込むように少なく
とも３層に被膜した熱線遮蔽ガラスであって、耐摩耗
性、耐食性ならびに耐久性に優れ、かつバランスよく優
れる光学特性を有し、しかも電波透過の良好な通常のフ
ロ−トガラス並の電波低反射率であって、電波障害を発
現するようなこともなく、該熱線遮蔽ガラスに配備した
アンテナ導体の利得がフロ−トガラス並を示し、合わせ
ガラスあるいは複層ガラス等はもちろん単板ガラスとし
て使用し得る、建築用窓ガラスはもちろん、特に自動車
用窓ガラスとして有用な電波透過型熱線遮蔽ガラスを効
率よく提供するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電波透過型熱線遮蔽ガラスにおけるシ
ート抵抗値（ MΩ／口）と、被膜がない着色ガラス基板
と電波透過型熱線遮蔽ガラスとの利得差（△dB）の関係
を示す説明図である。

フロントページの続き (72)発明者 弘津 透 三重県松阪市大口町1510 セントラル硝 子株式会社 生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 平１−145351（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−177601（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−137039（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−162942（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−291670（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−24805（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−56477（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) C03C 17/34 B60J 1/00 C03C 4/02

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明な着色ガラス基板表面に、ガラス面
   側から第１層ならびに第３層として膜厚が15nm以下３nm
   以上の酸化タンタル薄膜、第２層として膜厚が４nm以上
   10nm以下のチタン窒素酸化物薄膜を少なくとも積層成膜
   してなり、しかも該チタン窒素酸化物薄膜が、N₂ガスと
   O₂ガスの比が98：２ないしは92：８の範囲、または該混
   合ガスにさらにArガスを加えて該混合ガス：Arガスの比
   が１：０ないしは１：１の範囲の雰囲気ガスにある真空
   系装置内でTiターゲットに印加しスパッタすることで x
   とy の値を選択決定して成るTiNxOyであることを特徴と
   する電波透過型熱線遮蔽ガラス。
2. 【請求項２】 前記３層の積層成膜のシート抵抗値が、
   10MΩ／口以上の高抵抗値であることを特徴とする請求
   項１記載の電波透過型熱線遮蔽ガラス。
3. 【請求項３】 前記３層の積層成膜のシート抵抗値が、
   15MΩ／口以上10GΩ／口以下の高抵抗値であることを
   特徴とする請求項１乃至２記載の電波透過型熱線遮蔽ガ
   ラス。
4. 【請求項４】 前記３層の積層成膜の反射色が、ニュー
   トラル系であることを特徴とする請求項１乃至３記載の
   電波透過型熱線遮蔽ガラス。
5. 【請求項５】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスが、透明
   な着色ガラス基板がグリーン系色調であって、可視光透
   過率が65％以上、可視光反射率が16％以下であり、しか
   も日射透過率が60％以下、反射の刺激純度が17％以下で
   あることを特徴とする請求項１乃至４記載の電波透過型
   熱線遮蔽ガラス。
6. 【請求項６】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスが、透明
   な着色ガラス基板がブロンズ系色調であって、可視光透
   過率が70％以上、可視光反射率が16％以下であり、しか
   も日射透過率が69％以下、反射の刺激純度が17％以下で
   あることを特徴とする請求項１乃至４記載の電波透過型
   熱線遮蔽ガラス。
7. 【請求項７】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスが、単板
   であることを特徴とする請求項１乃至６記載の電波透過
   型熱線遮蔽ガラス。
8. 【請求項８】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスが、アン
   テナ導体と少なくとも前記３層でなる積層成膜とを備え
   ることを特徴とする請求項１乃至７記載の電波透過型熱
   線遮蔽ガラス。