JPH09142883A - 電波透過型熱線遮蔽ガラス及びその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 遮光性でプライバシ−保護ができ、耐摩耗
性、耐食性並びに耐久性に優れ、通常のフロ−トガラス
並に電波を透過し、熱線遮蔽性で熱暑感なく冷暖房効果
を向上し、自動車用窓材として単板で少なくとも使用で
きるものを得る。 【解決手段】 透明なガラス基板表面に、少なくとも膜
厚が６nm以上50nm以下のタンタル窒化物薄膜を成膜して
なり、タンタル窒化物薄膜が、ArガスとN₂ガスの比が
５：95ないしは50：50の範囲の雰囲気ガスにある真空系
装置内で、タンタルターゲットに印加しスパッタ成膜す
ることで xの値を選択決定して成るTaNx薄膜であり、可
視光透過率が25％以上60％以下で、かつ表面抵抗値が 1
5MΩ／口以上30G Ω／口以下である電波透過型熱線遮蔽
ガラス。及びその製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、車輌用等の被膜付
きの熱線遮蔽ガラスとして使用するものであって、とり
わけ熱暑感を防止し紫外線も遮断でき冷暖房効果を向上
せしめるとともに、比較的低い可視光線透過率で遮光性
を持ちプライバシ−保護性能を有するものであり、AM電
波、FM電波等の放送における受信障害などの低減、ある
いはゴ−スト現象等の電波障害を低減でき、通常のフロ
−トガラス並の電波透過性能を必要とするガラス、こと
に単板ガラスとして使用可能な電波透過型熱線遮蔽ガラ
ス及びその製造法である。

【０００２】特に自動車用窓材、例えばフロントウイン
ドーやリヤウインドーのシェ−ドバンド、あるいはリヤ
ウインドーやサイドウインドーのプライバシ−ガラス、
またはサンルーフの遮光ガラス等、なかでもガラスアン
テナ（アンテナ導体）を備えるガラスに有用な電波透過
型熱線遮蔽ガラス及びその製造法に関する。

【０００３】

【従来の技術】近年、車輌用ガラスを通して車内に流入
する太陽輻射エネルギーを遮蔽し、車内の温度上昇、冷
房負荷を低減させる目的から熱線遮蔽ガラスが車輌用に
採用されている。また最近は特に該車輌用ガラスにおい
て、高熱線遮蔽性能に加えて、比較的低い可視光線透過
率で遮光性を持ちプライバシ−保護性能を有し各種電波
の透過性が要求されるようにもなってきている。

【０００４】該車輌用の熱線遮蔽ガラスについては、例
えば特開平1-145351号公報には、赤外線遮断ガラスが記
載されており、ガラス基板上に、基板側から順に透明誘
電体膜、窒化物膜、及び透明誘電体膜の少なくとも３層
構成膜を形成してなる赤外線遮断ガラスにおいて、少な
くとも透明誘電体膜が酸化タンタルよりなることが開示
され、窒化物膜が窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化
ハフニウム、窒化タンタル、及び窒化クロムのうち少な
くとも１種からなることが開示されている。

【０００５】一方、電波透過性と熱線遮蔽性を備える車
輌用ガラスについては、例えば、特開平2-177601号公報
には、電波透過性能を有する車輌用窓ガラスが記載され
ており、熱線反射膜とアンテナ導体とを設けてなるもの
であって、熱線反射膜の表面抵抗率が20ｋΩ／口未満の
膜では、本来のガラスアンテナ性能を発揮できなくなる
ものであり、熱線反射膜がアンテナ導体と接触状態にあ
る場合には、熱線反射膜の表面抵抗率は500KΩ／口以
上、望ましくは1MΩ／口以上が好ましいことが開示され
ている。

【０００６】また、電波透過性と熱線遮蔽性を備えかつ
遮光性を有する車輌用ガラスについては、例えば、特開
平5-170485号公報には、熱線遮蔽膜および自動車用窓硝
子が記載されており、可視光線透過率35％以下で、 20K
Ω／口以上のシ−ト抵抗値を有する熱線遮蔽膜。該熱線
遮蔽膜が窒化物、ほう化物、酸窒化物、酸化物のうち１
種からなる膜、あるいはNbOx（1.1 ≦ｘ≦1.8 ）を主成
分とする膜。ならびに上述の膜及びアンテナ導体を有
し、かかる熱線遮蔽膜はアンテナ導体と非接触状態にあ
り、 20KΩ／口以上のシ−ト抵抗値を有する自動車用窓
硝子。またかかる熱線遮蔽膜はアンテナ導体と接触状態
にあり、500KΩ／口以上のシ−ト抵抗値を有する自動車
用窓硝子が開示されている。

【０００７】さらにそこで、本出願人が既に出願した特
願平7-163333では、電波透過型の熱線遮蔽ガラスを提案
した。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前述したような、例え
ば特開平1-145351号公報等に記載されたものは、100 〜
180nm の酸化タンタル、熱線遮蔽性能を得るために窒化
チタン等の窒化物を膜厚が通常５〜60nmであり、また酸
化タンタルとしては膜厚が比較的厚い40〜90nmが好まし
く、より好ましくは55〜75nmであり、その結果３層で非
常にコスト高となり、しかも必ずしも電波透過性に優れ
るものとは言い難く、自動車に搭載のテレビ、ラジオ、
携帯電話のためのガラスアンテナの受信性能が低下する
こととなり、比較的低い可視光透過率と低い可視光反射
率、膜色調、刺激純度、熱線遮蔽性能および電波透過性
能が充分バランスよく有するような所期の自動車用窓材
としての特性を得難いという問題がある。

【０００９】一方、例えば特開平2-177601号公報に記載
されたものは、仮に熱線反射膜がアンテナ導体と接触状
態にある場合、熱線反射膜の表面抵抗率が500KΩ／口以
上、例えば１〜8MΩ／口程度のものでは、一応アンテナ
の受信性能を満たすものの、少々の性能の低下は避けら
れず、また例えば無限大の表面抵抗率すなわち絶縁膜を
なし得てアンテナの受信性能は充分であるものとして
も、各種光学特性が不十分および膜厚ムラが生じる等各
種性能を満足するものではなくなり、プライバシ−保護
性能が得られず、到底充分に優れた電波透過性能を有し
かつバランスよく各種光学特性および各種性能を備えて
いて、充分満足できる所期の自動車用窓材等とは言い難
いものである。

【００１０】また、例えば特開平5-170485号公報に記載
されたものは、仮に熱線遮蔽膜がアンテナ導体と接触状
態にある場合、熱線遮蔽膜の表面抵抗率が500KΩ／口以
上、さらに例えば1MΩ／口以上程度のものでは、一応ア
ンテナの受信性能を満たすものの、少々の性能の低下は
避けられず、特にホイップアンテナ（ポ−ルアンテナ）
をなくしてガラスアンテナのみでAM電波帯を障害なく受
信することができ難く、また例えば無限大の表面抵抗率
すなわち絶縁膜をなし得てアンテナの受信性能は充分で
あるものとしても、各種光学特性が不十分および膜厚ム
ラが生じる等各種性能を満足するものではなくなり、到
底充分に優れた電波透過性能を有しかつプライバシ保護
性能を有してバランスよく各種光学特性および各種性能
を備え、充分満足できる所期の自動車用窓材等とは言い
難いものである。

【００１１】また、従来の方法では例えばガラスボディ
カラ−あるいは熱間スプレ−により処理するため、プラ
イバシ−保護性能等その特性は得られるものの、後加工
等がしにくいものであった。近年車輌用窓ガラスとして
室内の居住性向上のために熱線遮断ガラスが有用になっ
てきており、最近ではこの特性に加えて各種電波をバッ
クウインド−のプリントアンテナ（ガラスアンテナ）で
受信する傾向にあり、ことにこれまでのホイップアンテ
ナで受信していたAM電波もガラスアンテナで受信するよ
うになってきた。

【００１２】さらに、優れた熱線遮蔽性能と電波透過性
能を有し、例えば自動車用昇降ドア部の窓ガラスとして
も充分な耐摩耗性を有するもの等が待望されている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、従来のこのよ
うな点に鑑みてなしたものであり、透明なガラス基板上
に、特定濃度のArガスを混合した混合ガススパッタ雰囲
気の中で成膜することによってTaNxで表したｘを適宜コ
ントロ−ルし、かつ特定した膜厚を有するTaの窒化物薄
膜から少なくともなり、さらにまた該Taの窒化物薄膜に
対しTaの酸化物薄膜の保護層を、あるいはTaまたはTiの
酸化物薄膜の下地層および前記した保護層を適宜組み合
わせ備えてなり、特定の単独成膜または組み合わせ積層
した積層成膜とし、可視光透過率を25〜60％でかつ表面
抵抗値を 15MΩ／口以上であるものとしたことにより、
遮光性を発現しプライバシ−保護の確保ができ、熱線遮
断性に優れ、ニュ−トラル系色調でバランスよくその特
性を発揮し、より優れた電波透過特性を有する電波透過
型熱線遮蔽ガラスを高い成膜レ−トで生産性よくうるこ
とができ、耐摩耗性等に優れて耐久性があるものとな
り、建築用窓材はもとより単板でかつガラスアンテナを
備えるようなものを含む各種自動車用窓材にも充分使用
でき、最近のニーズに最適なものとなる有用な電波透過
型熱線遮蔽ガラス及びその製造法を提供するものであ
る。

【００１４】すなわち、本発明は、透明なガラス基板表
面に、少なくとも膜厚が６nm以上50nm以下のタンタル窒
化物薄膜を成膜してなり、タンタル窒化物薄膜が、Arガ
スとN₂ガスの比が５：95ないしは50：50の範囲の雰囲気
ガスにある真空系装置内で、タンタルターゲットに印加
しスパッタ成膜することで xの値を選択決定して成るTa
Nx薄膜であり、可視光透過率が25％以上60％以下で、か
つ表面抵抗値が 15MΩ／口以上30G Ω／口以下であるこ
とを特徴とする電波透過型熱線遮蔽ガラス。

【００１５】また、前記電波透過型熱線遮蔽ガラスの積
層成膜が前記タンタル窒化物薄膜にオ−バ−コ−ト薄膜
を被覆した２層の積層膜で成り、該オ−バ−コ−ト薄膜
が膜厚が５nm以上35nm以下のタンタル酸化物薄膜であっ
て、しかも該タンタル酸化物薄膜が、ArガスとO₂ガスの
比が0:100 ないしは60：40の範囲の雰囲気ガスにある真
空系装置内で、タンタルターゲットに印加しスパッタ成
膜することで xの値を選択決定して成るTaOx薄膜である
ことを特徴とする上述した電波透過型熱線遮蔽ガラス。

【００１６】さらに、前記電波透過型熱線遮蔽ガラスの
積層成膜が前記タンタル窒化物薄膜に被覆した前記オ−
バ−コ−ト薄膜ならびに前記ガラス基板と前記タンタル
窒化物薄膜の間に施したアンダ−コ−ト薄膜との３層の
積層膜で成り、該アンダ−コ−ト薄膜が、膜厚が５nm以
上40nm以下のタンタルもしくはチタンの酸化物薄膜を積
層成膜してなり、該タンタルもしくはチタンの酸化物薄
膜が、ArガスとO₂ガスの比が0:100 ないしは60：40の範
囲の雰囲気ガスにある真空系装置内で、タンタルもしく
はチタンのターゲットに印加しスパッタ成膜することで
xの値を選択決定して成るTaOx薄膜またはTiOx薄膜であ
ることを特徴とする上述した電波透過型熱線遮蔽ガラ
ス。

【００１７】また、前記電波透過型熱線遮蔽ガラスが、
単板であることを特徴とする上述した電波透過型熱線遮
蔽ガラス。またさらに、前記電波透過型熱線遮蔽ガラス
が、少なくともアンテナ導体と前記２層でなる積層成膜
とを備えることを特徴とする上述した電波透過型熱線遮
蔽ガラス。

【００１８】さらに、ArガスとN₂ガスの比が５：95ない
しは50：50の範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内にお
いてタンタルターゲットに印加し、透明なガラス基板表
面にスパッタ成膜することで xの値を選択決定して成る
TaNxで表されるタンタル窒化物薄膜を少なくとも成膜
し、可視光透過率が25％以上60％以下で、かつ表面抵抗
値が 15MΩ／口以上30G Ω／口以下である電波透過型の
熱線遮蔽ガラスを製造することを特徴とする電波透過型
熱線遮蔽ガラスの製造法。

【００１９】さらにまた、前記タンタル窒化物薄膜のオ
−バ−コ−ト薄膜として、ArガスとO₂ガスの比が0:100
ないしは60：40の範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内
で、タンタルターゲットに印加してスパッタし、 xの値
を選択決定して成るTaOxで表されるタンタル酸化物薄膜
を、膜厚が５nm以上35nm以下になるよう積層成膜するこ
とを特徴とする上述した電波透過型熱線遮蔽ガラスの製
造法。

【００２０】さらにまた、前記オ−バ−コ−ト薄膜を施
したタンタル窒化物薄膜のアンダ−コ−ト薄膜として、
ArガスとO₂ガスの比が0:100 ないしは60：40の範囲の雰
囲気ガスにある真空系装置内で、タンタルもしくはチタ
ンのターゲットに印加してスパッタし、 xの値を選択決
定して成るTaOxまたはTiOxで表されるタンタルもしくは
チタンの酸化物薄膜を、膜厚が５nm以上40nm以下になる
よう積層成膜することを特徴とする上述した電波透過型
熱線遮蔽ガラスの製造法をそれぞれ提供するものである

【００２１】

【発明の実施の形態】前記したように、透明なガラス基
板表面に、少なくとも膜厚が６nm以上50nm以下のタンタ
ル窒化物薄膜を成膜してなり、タンタル窒化物薄膜が、
ArガスとN₂ガスの比が５：95ないしは50：50の範囲の雰
囲気ガスにある真空系装置内で、タンタルターゲットに
印加しスパッタ成膜することで xの値を選択決定して成
るTaNx薄膜であり、可視光透過率が25％以上60％以下
で、かつ表面抵抗値が 15MΩ／口以上30G Ω／口以下で
あるものとしたのは、先ず、膜厚が６nm以上50nm以下の
タンタル窒化物薄膜については、比抵抗が高くしたがっ
て比較的高い電波透過性を示すことはもちろん比較的低
い透視性でプライバシ−保護性能と高い熱線遮蔽性能も
バランスよく有するものであり、膜厚が６nm未満では可
視光透過率を60％以下となり難く、膜厚が50nmを超える
と可視光透過率を25％以上にすることが困難となって透
視性が不充分となり安全性の確保ができ難くなり、前記
膜厚の範囲で可視光透過率を25％以上60％以下に確実に
できるとともに、表面抵抗値を15M Ω／口以上30G Ω／
口以下と高抵抗を確保できてめざす電波透過性能を得る
ことができるものである。前記膜厚は好ましくは10nm以
上40nm以下程度、より好ましくは15nm以上25nm以下程度
である。

【００２２】次に、該タンタル窒化物薄膜を、Arガスと
N₂ガスの比が５：95ないしは50：50の範囲の雰囲気ガス
にある真空系装置内で、タンタルターゲットに印加しス
パッタ成膜することで xの値を選択決定して成るTaNx薄
膜であるものとしたのは、前記膜厚のみだけではなく反
応性スパッタリングにおいて前記雰囲気ガスをコントロ
ールした該 xの値によっても、前記薄膜の表面抵抗値
（シ−ト抵抗値 MΩ／口）、その光学特性、成膜レ−ト
（成膜速度）ならびに物理的化学的性能に微妙な影響を
与えるためであり、特に成膜レ−トは前記混合ガス中の
Arガス濃度範囲によってArガスを混合しない時に比し約
1.5 倍乃至4.0 倍程度の範囲に高めることができ、生産
性の向上に寄与するものである。

【００２３】また、例えば xの値に係わる前記Arガスと
N₂ガスの比としての値（Arガスの値）が50％を超えると
導電性方向に移行し前記表面抵抗値が低下して場合によ
っては15M Ω／口未満となり電波透過性能を減少するよ
うになり優れた電波透過性を示さなくなるとともに、25
％以上の可視光透過率の値等をもクリアすることは膜厚
との兼ね合いを考慮したとしても難しい場合もあり得る
ものであり、また例えば xの値に係わる前記ArガスとN₂
ガスの比としての値（Arガスの値）が５％未満では絶縁
性の方向に移行し前記表面抵抗値が増大して電波透過性
を増加するようになるものの、可視光透過率と日射透過
率の値が大きい方向となり、可視光透過率60％以下をク
リアすることができ難く、熱線遮断性能に優れるものと
してクリアすることは膜厚との兼ね合いを考慮したとし
ても難しい場合もあり得るものである。さらに、前記し
た各種作用傾向ならびに色調等を考慮すると、Arガスと
N₂ガスの比としてとしては、10：90ないしは40：60の範
囲程度が好ましい。

【００２４】また、前記表面抵抗値を15M Ω／口以上30
G Ω／口以下の高抵抗値であることとしたのは、後記し
た電気的特性（表面抵抗値）の測定評価の項で記述した
ように、別途本出願人が既に出願した例えば特願平6-28
2201等の図面で示したようになり、表面抵抗値が約15M
Ω／口であれば利得差が約0.5 前後程度となり、被膜の
ないガラス基板並となるため15M Ω／口以上とし、15M
Ω／口未満の表面抵抗値では、被膜する以前のガラス板
の電波透過性に比し充分安定確実に例えば約0.5 dB（絶
対値として）前後以内の変動差内に収めることができな
いものであり、さらに電波透過性能および光学特性なら
びに物理的化学的特性を充分満足する好ましい積層成膜
の表面抵抗値としては20M Ω／口以上30G Ω／口以下程
度の範囲であり、より好ましい表面抵抗値としては22M
Ω／口以上30G Ω／口以下程度の範囲程度である。

【００２５】さらに、例えば約30G Ω／口以上、例えば
約80G Ω／口の表面抵抗値でも、電波透過性能としては
当然より良好であって、特にガラス基板上に施したアン
テナ導体に対してはより影響を与え難くなることは言う
までもないものの、熱線遮蔽性能、プライバシ−保護性
能や他の光学特性、耐摩耗性等耐久性等とバランスをさ
せる必要があるため、約30G Ω／口以下としたものであ
る。

【００２６】また、前記電波透過型熱線遮蔽ガラスの積
層成膜が前記タンタル窒化物薄膜にオ−バ−コ−ト薄膜
を被覆した２層の積層膜で成り、該オ−バ−コ−ト薄膜
が膜厚が５nm以上35nm以下のタンタル酸化物薄膜であっ
て、しかも該タンタル酸化物薄膜が、ArガスとO₂ガスの
比が0:100 ないしは60：40の範囲の雰囲気ガスにある真
空系装置内で、タンタルターゲットに印加しスパッタ成
膜することで xの値を選択決定して成るTaOx薄膜である
ものとしたのは、タンタル酸化物薄膜は表面抵抗値が高
く絶縁膜と言えるものであり、該オ−バ−コ−ト膜とし
て膜厚が５nm以上35nm以下のタンタル酸化物薄膜を用い
ることによって前述したタンタル窒化物薄膜の特性を生
かせ、かつ該タンタル窒化物薄膜との密着性がよく、可
視光透過率、可視光反射率あるいは刺激純度等に対する
影響が少なく、耐薬品性、耐摩耗性、耐擦傷性ならびに
耐候性等耐久性に優れ、ことに透過色調と耐摩耗性をよ
り好ましいものとすることができる等であり、なかでも
例えばガラス基板(G) ／TaNx (20nm) 薄膜／TaOx(15nm)
薄膜の組み合わせが、自動車用昇降ドア窓ガラスとして
も充分使用できるようになりより好ましいものである。

【００２７】また、オ−バ−コ−ト膜としての該タンタ
ル酸化物薄膜の膜厚を５nm以上35nm以下としたのは、35
nmを超えると本電波透過型熱線遮蔽ガラスにおける膜面
側の刺激純度が高くなり、例えば膜面側の可視光反射色
調である黄色系色調が高くなり、本発明がめざすニュ−
トラル系色調とはならず、５nm未満では上記した耐薬品
性、耐摩耗性、耐擦傷性ならびに耐候性等耐久性が充分
でなくなるためである。好ましくは10nm以上30nm以下程
度である。

【００２８】また、オ−バ−コ−ト膜としての該タンタ
ル酸化物薄膜を、ArガスとO₂ガスの比が0:100 ないしは
60：40の範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内で、タン
タルターゲットに印加しスパッタ成膜することとしたの
は、例えば60％を超えると導電性方向に移行し前記表面
抵抗値が低下して場合によっては優れた電波透過性を示
さなくなるからであり、好ましいはArガスとO₂ガスの比
としては0:100 ないしは55：45の範囲の雰囲気ガスであ
り、前記光学特性等を大幅に変更するようなこともなく
成膜レ−トを高めることができること等を勘案すれば、
より好ましくは５：95ないしは50：50の範囲程度であ
る。

【００２９】さらに、前記電波透過型熱線遮蔽ガラスの
積層成膜が前記タンタル窒化物薄膜に被覆した前記オ−
バ−コ−ト薄膜ならびに前記ガラス基板と前記タンタル
窒化物薄膜の間に施したアンダ−コ−ト薄膜との３層の
積層膜で成り、該アンダ−コ−ト薄膜が、膜厚が５nm以
上40nm以下のタンタルもしくはチタンの酸化物薄膜を積
層成膜してなり、該タンタルもしくはチタンの酸化物薄
膜が、ArガスとO₂ガスの比が0:100 ないしは60：40の範
囲の雰囲気ガスにある真空系装置内で、タンタルもしく
はチタンのターゲットに印加しスパッタ成膜することで
xの値を選択決定して成るTaOx薄膜またはTiOx薄膜であ
るものとしたのは、アンダ−コ−ト薄膜として膜厚が５
nm以上40nm以下のタンタルもしくはチタンの酸化物薄膜
を用いることで、例えば刺激純度を低下せしめてニュ−
トラルに近い黄色系色調を少しでも改善し、よりニュ−
トラル系色調に変えるようできるためである。好ましい
膜厚としては10nm以上35nm以下程度である。

【００３０】また、該タンタルもしくはチタンの酸化物
薄膜を、ArガスとO₂ガスの比が0:100 ないしは60：40の
範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内で、タンタルもし
くはチタンのターゲットに印加しスパッタ成膜すること
としたのは、成膜する際にArガスを混合した混合ガス雰
囲気にしなくてもよいが、Arガスを適宜60％以下程度混
合した混合ガス雰囲気でスパッタすることで、前記光学
特性等を大幅に変更するようなこともなく成膜レ−トを
高めることができるからであり、好ましくはArガスとO₂
ガスの比が0:100 ないしは40：60の範囲程度である。

【００３１】またさらに、前記した構成でなる電波透過
型の熱線遮蔽ガラスは単板で使用でき、特に自動車用窓
材として合せガラスとしてはもちろん、例えばリアガラ
ス、サイドガラスあるいはサンルーフガラス等に単板と
して使用できるものであり、またシエ−ドバンドとして
も採用しうるものである。

【００３２】さらに、種々の条件ないし環境のもとで使
用する際には、これに対応して最外表層の表面に、例え
ばシラザンやその他からなる酸化珪素系保護膜等でハー
ドコートをすること、あるいは反射低減機能等機能性膜
をさらに被覆することができることは言うまでもない。

【００３３】さらに、前記電波透過型熱線遮蔽ガラスに
採用する透明なガラス基板として、例えば可視光透過率
が約80％程度、可視光反射率が約７％程度、日射透過率
が約62％程度、刺激純度が２〜３％程度で、人や環境に
優しく夜間や雨天でもギラつかない、しかも紫外線吸収
性能も付与しうるグリーン系色調ガラス基板（例えば、
3.5mm 厚み程度）を用いれば、該基板とほぼ同等の電波
透過性能（積層成膜を被覆する前の着色ガラス基板のみ
の電波透過性に比してその差が0.5dB 未満内、例えば0.
5 〜0dB である）を有する前記積層成膜と特に光学特性
上で巧みに相互に絡ませ相乗効果をもたらしめるように
することで、電波透過性能および熱線遮蔽性能を高めた
ことはもちろん、格段に優れた光学的機能を備える卓越
した特に自動車用窓ガラスとして最適なものとなる。

【００３４】さらにまた、前記電波透過型の熱線遮蔽ガ
ラスに採用する透明なガラス基板として、例えば可視光
透過率が約79％程度、可視光反射率が約７％程度、日射
透過率が約72％程度、刺激純度が２〜３％程度で、人や
環境に優しく夜間や雨天でもギラつかないグリーン系色
調ガラス基板より同等かやや劣るブロンズ系色調ガラス
基板（例えば、3.5mm 厚み程度）を用いることで、該基
板とほぼ同等の電波透過性能（積層成膜を被覆する前の
着色ガラス基板のみの電波透過性に比して0.5dB 未満
内、例えば0.5 〜0dB ）を有する前記積層成膜と特に光
学特性上で巧みに相互に絡ませ相乗効果をもたらしめる
ようにすることで、単に電波透過型熱線遮蔽ガラスとす
る従来とは異なり、電波透過性能および熱線遮蔽性能を
高めたことはもちろん、格段に優れた光学的機能を備え
る卓越した特に自動車用窓ガラスとして好適なものとな
る。

【００３５】さらにまた、前記電波透過型熱線遮蔽ガラ
スはアンテナ導体と少なくとも前記２層でなる積層成膜
とを備えている窓ガラス、例えば自動車用窓ガラス、こ
とにリアガラス、リアクオウタ（サイド）ガラスとして
有用であり、具体的には断面上の構成としては例えば前
記ガラス基板と前記積層成膜との間にアンテナ導体を設
け、平面上では前記積層成膜をガラス基板の全面に被膜
することを基本にし、例えばガラス基板の周辺部の黒枠
内で周縁端からある幅で全周部分または給電点部よりや
や大きめの部分を除いて被膜すること、あるいは該給電
点部と同様にししかもモール（枠体）を一体成型または
後付けする部分を除き被膜すること、さらには該アンテ
ナ導体部分の全部または一部を除いて被膜すること等と
することができるものであり、その構成は種々の構成を
自在になし得ることは言うまでもない。

【００３６】さらにまた、前記被膜した熱線遮蔽性能を
有する膜の表面抵抗値を前記したように高い値としたこ
とにより、AM電波、FM電波等の放送における受信障害あ
るいはTV映像でのゴ−スト現象等の電波障害などをより
確実に発現しないようにすることができ、充分な電波透
過性能を有するガラスが必要を得て、環境に優しいもの
とするためである。また例えば、ガラスアンテナ素子に
前記被覆した高抵抗の熱線遮蔽性能を有する膜を直接積
層した場合においても、電波受信性能の低下には全く影
響を及ぼすことがないと言えるものとなるものである。

【００３７】また、前記したようにガラス基板としては
所謂フロート法で製造された無機質で透明な無色または
着色ガラスであって、好ましくは例えばグリーン系ガラ
スやブロンズ系ガラスであり、さらに例えばグレー系ガ
ラスやブルー系ガラス等にも採用可能である。また単板
で使用できることはもとより、複層ガラスあるいは合せ
ガラス（本電波透過型の熱線遮蔽ガラスはクリア同志は
もちろんクリアと着色ガラス基板との組み合わせをも含
む）、シェ−ドバンド付きガラス、バイレイヤ−ガラ
ス、強化ガラス等、さらに平板あるいは曲げ板等各種板
ガラス製品として使用できることは言うまでもない。ま
た板厚としては例えば約1.5mm 程度以上約５mm程度以下
が好ましく、より好ましくは約2.0mm 程度以上約4.0mm
程度以下の無色または着色ガラスである。

【００３８】前述したとおり、本発明の電波透過型熱線
遮蔽ガラスは、透明なガラス基板上に、特異にx の値を
コントロールしたTaNxで表されるTaの窒化物薄膜を少な
くとも用い特定の膜厚で形成してなり、可視光透過率が
25％以上60％以下で、かつ表面抵抗値が 15MΩ／口以上
であるものとしたことにより、非常に高い表面抵抗値を
持ちかつその値を制御でき得、しかも目標の光学特性を
前記ガラス基板ともその光学特性と巧みに整合せしめて
バランスさせるようコントロールでき、充分な電波透過
特性を与えるものであり、さらに単板でも高耐摩耗性、
高耐久性を有する膜を得ることができるものであり、可
視光透過率、可視光反射率、日射透過率ならびに反射の
刺激純度とをバランスよく顕著に作用するものである。

【００３９】とりわけ、可視光透過率が25％以上60％以
下で遮光性機能膜としてクリアでき、しかも日射透過率
を低減して熱線遮蔽性を向上し、可視光反射率等光学特
性も適宜バランスし得ることができて、優れた車室内プ
ライバシ−保護性の高熱線遮蔽性能を有することとな
り、指紋等の汚れも付きにくく、熱暑感を緩和し冷暖房
の効果を高め居住性を向上し、さらにAM帯、FM帯、TV帯
等での電波低反射性能が格段に優れて通常のフロ−トガ
ラス並の電波透過性能であることから、車輌用のテレ
ビ、ラジオ、携帯電話等のためのガラスアンテナの受信
性能を低下させることなく、またゴ−スト現象等の電波
障害を低減することができ、本来のガラスアンテナ性能
を発揮させ、車輌内外での快適な環境を確保することが
でき、ことにガラスアンテナでAM帯電波を支障なく受信
でき、かつ自動車用ドア窓ガラスやリア窓ガラス等にも
単板で使用可能な優れた電波透過型熱線遮蔽ガラス及び
その製造法を高効率で提供するものである。

【００４０】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。

【００４１】実施例１ 大きさ約300mmx300mm 、厚さ約3.5mm のグリ−ン色調系
ガラス基板(MFL3.5)を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピ
ルアルコールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロ
ンスパツタリング装置の真空槽内にセットしてあるTaの
ターゲツトを対向して上方を往復できるようセットし、
つぎに前記槽内を真空ポンプで５x10 ^-6Torr以下までに
脱気した後、該真空槽内にArガスとN₂ガスの混合ガス
（但し、Arガスの濃度14％）を導入して真空度を５x10
^-3Torrに保持し、前記Taのターゲツトに約1.5kW の電力
を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパ
ツタの中を、Taのターゲツトの上方においてスピード約
212mm ／min でガラス基板上に約18nm厚さのTaNx〔ｘ＝
１−Ａ（０≦Ａ＜１）〕薄膜を成膜した。成膜が完了し
た後、Taターゲツトへの印加を停止する。

【００４２】得られた単板単層の電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスは表１に示すようになり、該電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスについて下記の測定をして評価した。 （測定および評価法） 光学特性： 可視光透過率(380nm〜780nm)、可視光
反射率(380nm〜780nm)ならびに日射透過率(340nm〜1800
nm) 等については340 型自記分光光度計（日立製作所
製）とJISZ8722、JISR3106によってそれぞれの光学的特
性を求めた。

【００４３】* 可視光透過率が25％乃至60％を合格とし
た。〔特に自動車用窓ガラスと建築用窓ガラスを勘案し
た〕 機械的特性： （テ−バ−試験） （耐摩耗性） JIS R 3221に準拠、テ−バ−試験機
（MODEL 503 、TYBER 社製）、摩耗輪 CS-10F 、荷重50
0g、1000回転後の可視光透過率の変化量（△Ｔ％）なら
びにヘ−ズ（曇り具合）値の変化量（△Ｈ％）を求め、
判定した。

【００４４】＊自動車用窓ガラスと建築用窓ガラスとし
て△Ｔが５％以下、△Ｈが４％以下を合格とし◎印で示
した。建築用窓ガラスとしてのみ合格を○印で示した。

【００４５】（トラバース試験）ブロード布＃40、荷重
100g／cm² 、ストローク:100mm、回数5000回後のヘ−ズ
（曇り具合）値の変化量（△Ｈ％）。

【００４６】＊自動車用窓ガラスと建築用窓ガラスとし
て△Ｔが１％以下、△Ｈが0.3 ％以下を合格とし◎印で
示した。自動車用窓ガラスと建築用窓ガラスのいずれも
不合格の場合を×印で示した。

【００４７】化学的特性： （耐酸性） （耐薬品性） 常温で１規定のHcl 溶液中に試験片を
約６時間浸漬した後、可視光透過率の差の絶対値。

【００４８】（耐アルカリ性）常温で１規定のNaOH溶液
中に試験片を約６時間浸漬した後、可視光透過率の差の
絶対値。

【００４９】＊いずれも可視光透過率の差の絶対値が４
％以下を合格とし、◎印で表示した。 電気的特性： 三菱油化製表面高抵抗計（HIRESTA HT
-210）によって測定。

【００５０】（表面抵抗値） （M Ω／口）。 ＊表面抵抗値が約15ＭΩ／口以上乃至30ＧΩ／口以下を
合格とした。〔別途本出願人が既に出願した特願平6-28
2201等の図面で示したように、電波のうちAM帯（約520
〜1630kHz 程度の範囲）において、被膜のないガラス基
板のアンテナ利得（Ｓ／Ｎ比）と本電波透過型熱線遮蔽
ガラスのアンテナ利得（Ｓ／Ｎ比）を各々測定し、その
差の絶対値（利得差、△dB）によって、表面抵抗値（シ
−ト抵抗値）が約15ＭΩ／口で利得差が約0.5 前後程度
となり、被膜のないガラス基板並となるために合格値と
した〕 なお、各薄膜の膜厚については、それぞれの薄膜につい
て被膜時に、被膜しない部分を作り、その段差を表面粗
さ計（SLOAN 社製、DEKTAK IIA）で測定した後、補足し
て求めた。

【００５１】その結果、表１および２に示すようにな
り、成膜時における前記スパッタ雰囲気のArガス濃度に
おいて、スパッタ雰囲気をN₂ガスのみとした際に比し約
1.7 倍程度の成膜レ−トとなって優れた生産性を発現せ
しめることができるとともに、可視光透過率が約42.4％
と優れた遮光性で車内等のプライバシ−保護ができ、充
分優れた熱線遮蔽性等の光学特性、表面抵抗値が７ＧΩ
／口と充分に高い電波透過性、さらに充分安定な耐酸性
と耐アルカリ性を示し、またテ−バ−試験で△Ｔが9.8
％、△Ｈが4.7 ％と建築用窓ガラスのみの合格になった
ものの、トラバ−ス試験では優れた耐摩耗性を示し、各
物性をバランスよく示す所期のめざす電波透過型熱線遮
蔽ガラスを得ることができ、優れた居住性をもちかつ運
転者や搭乗者あるいは環境に優しく安全性も保持されつ
つしかもAM帯をはじめ各種電波を快適に受信ができる電
波透過型熱線遮蔽ガラス、ことに建築用窓ガラスに適す
るものであった。

【００５２】なお、耐候性（例、サンシヤインウエザー
メーターで約1000時間：可視光透過率がほぼ変化がな
く、外観上異常がないこと）、耐湿性（例、約50℃、約
95％RHで約14日間：外観上異常がないこと）、その他種
々の特性をも評価したところ、いずれも合格するもので
あった。

【００５３】なおまた、電波透過性については、電波の
うちAM帯（約520 〜1630kHz 程度の範囲）において、被
膜のないガラス基板の利得と本発明の電波透過型熱線遮
蔽ガラスの利得を各々測定し、その差の絶対値（利得
差：△dB）を求め、電波透過性能を確認した。

【００５４】実施例２〜３ 前記実施例１と同様の方法で、表１に示すように、実施
例１と同様の薄膜をスパッタ雰囲気のN₂ガスとArガスの
混合ガスのArガス濃度のみを変え、実施例１と同じ膜構
成と膜厚において、実施例１で示した測定法等によって
同様の評価手段で行った。その結果を表１および２に示
す。

【００５５】得られた該各実施例の電波透過型熱線遮蔽
ガラスは、実施例２ではArガス濃度が約28％で成膜レ−
トが約2.4 倍、実施例３ではArガス濃度が約36％で成膜
レ−トが約2.9 倍とそれぞれなり、しかも可視光透過率
は38.9％と38.8％となり、かつ表面抵抗値も608MΩ／口
と75M Ω／口となり、さらに機械的特性も実施例１と同
様になる等、いずれも実施例１と同様に優れた成膜レ−
トで、かつ優れた光学特性、機械的特性ならびに耐薬品
性等をバランスよく示し、ことに建築用窓ガラスに適す
る、所期のめざすものであった。

【００５６】実施例４ 前記実施例１と同様の方法で、表１に示すように、ガラ
ス面上に実施例１と同様の薄膜をスパッタ雰囲気である
混合ガス中のArガス濃度のみ36％に変え、搬送速度を31
8mm ／min により膜厚約20nmのTaNx薄膜を下地層膜とし
て形成した。続いて該TaNx薄膜上に、実施例１と同様の
要領で、スパッタ雰囲気をO₂ガス、印加電力を約2kw 、
搬送速度約166mm ／min により、膜厚約15nmのTaOxを積
層成膜した。

【００５７】上記２層の膜構成において実施例１で示し
た測定法等によって同様の評価手段で行った。その結果
を表１および２に示す。得られた電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスは、下地層膜の成膜レ−トが約2.9 倍となり、しか
も可視光透過率は36.7％となり、かつ表面抵抗値も160M
Ω／口となり、さらに機械的特性も自動車用窓ガラスと
建築用窓ガラスの両方に合格するものとなる等、優れた
成膜レ−トで、かつ優れた光学特性、機械的特性ならび
に耐薬品性等をバランスよく示し、自動車用窓ガラスと
建築用窓ガラスの両方に採用可能な所期のめざすもので
あった。

【００５８】実施例５〜６ 前記実施例４と同様の方法で、表１に示す各膜厚を得
て、その膜構成において実施例１で示した測定法等によ
って同様の評価手段で行った。その結果を表１および２
に示す。

【００５９】得られた２層の該各実施例の電波透過型熱
線遮蔽ガラスは、いずれも実施例４と同様に優れた光学
特性、機械的特性ならびに耐薬品性等の各物性をバラン
スよく示し、自動車用窓ガラスと建築用窓ガラスの両方
に採用可能な所期のめざすものであった。

【００６０】実施例７〜８ 前記実施例４の膜構成TaNx(20nm)／TaOx(15nm)におい
て、アンダ−コ−ト膜としてガラス基板とTaNx薄膜の間
に、実施例７ではTaOx(30nm)薄膜を、また実施例８では
TiOx(20nm)薄膜をそれぞれ成膜した。なお、TiOx(20nm)
薄膜はTiのタ−ゲット、スパッタ雰囲気をO₂ガス、印加
電力を約3kw 、搬送速度約140mm ／min により成膜し、
他の薄膜は前記した実施例と同様にして成膜した。

【００６１】得られた３層の該各実施例の電波透過型熱
線遮蔽ガラスは、成膜レ−トは実施例４と同様であり、
可視光透過率は36.7％と33.7％となり、かつ表面抵抗値
も190MΩ／口と72M Ω／口となり、さらに充分安定な耐
酸性と耐アルカリ性を示し、またテ−バ−試験で実施例
７が△Ｔが8.1 ％、△Ｈが5.1 ％、実施例８が△Ｔが7.
3 ％、△Ｈが5.2 ％と建築用窓ガラスのみの合格になっ
たものの、トラバ−ス試験では優れた耐摩耗性を示し、
機械的特性も実施例１と同様になる等、いずれも優れた
光学特性、機械的特性ならびに耐薬品性等の各物性をバ
ランスよく示す所期のめざすものであった。

【００６２】実施例９ 前記実施例４の膜構成TaNx(20nm)／TaOx(15nm)におい
て、TaOx(15nm)薄膜のスパッタ成膜時に、スパッタ雰囲
気をArガスとO₂ガスの混合ガスを用い、そのArガス濃度
を50％とし、搬送速度を約373mm ／min 、他は不変の条
件で成膜した。

【００６３】得られた２層の電波透過型熱線遮蔽ガラス
は、成膜レ−トについてはTaNx薄膜は前記と同様であ
り、TaOx(15nm)薄膜は前記したO₂ガスのみのスパッタ雰
囲気に比して約2.2 倍程度アップし、可視光透過率は3
5.5％となり、かつ表面抵抗値も75M Ω／口となり、さ
らに機械的特性も自動車用窓ガラスと建築用窓ガラスの
両方に合格するものとなる等、優れた成膜レ−トで、か
つ優れた光学特性、機械的特性ならびに耐薬品性等の各
物性をバランスよく示し、自動車用窓ガラスと建築用窓
ガラスの両方に採用可能な所期のめざすものであった。

【００６４】

【表１】

【００６５】

【表２】

【００６６】比較例１ 前記実施例１において、スパッタ雰囲気を混合ガスから
N₂ガスのみ（Arガス濃度０％）、また搬送速度を125mm
／min として、他は実施例１と同様の方法で成膜した。
表３に示すように膜厚約18nmのTaNx（ｘ＝１）薄膜を被
膜したガラスを得た。実施例１と同様の測定法、同様の
評価を行った。その結果を表３および４に示す。

【００６７】得られたTaNx薄膜のみを被膜したガラス
は、その成膜レ−トが従来と同じであって生産性が向上
したものとは到底言い難いものである。可視光透過率が
43.8％、表面抵抗値が28ＧΩ／口と電波透過性もよいも
のの、またテ−バ−試験で△Ｔが10.8％、△Ｈが4.9 ％
と建築用窓ガラスのみの合格になる等他の評価は実施例
１とほぼ同じであり、必ずしも本発明がめざす所期の電
波透過型熱線遮蔽ガラスではないものであった。

【００６８】比較例２〜３ 前記実施例１と同様の方法で、スパッタ雰囲気である混
合ガス中のArガス濃度を比較例２で約57％、比較例３で
約43％に変え、また搬送速度を比較例２で約100mm ／mi
n 、比較例３で約2000mm／min として、他は実施例１と
同様の方法で成膜した。表３に示すように 比較例２で
膜厚約75nm、また比較例３で膜厚約４nmのTaNx薄膜を被
膜したガラスを得た。実施例１で示した測定法等によっ
て同様の評価手段で行った。その結果を表３とよび４に
示す。

【００６９】得られた該比較例のガラスは、成膜レ−ト
が比較例２では約4.7 倍、比較例３では約3.6 倍とそれ
ぞれなって向上するものの、可視光透過率が比較例２で
は15.9％、比較例３では71.6％となってめざすプライバ
シ−性能を発現するものではなく、表面抵抗値はそれぞ
れ高く、比較例２ではテ−バ−試験で△Ｔが12.0％、△
Ｈが5.1 ％と建築用窓ガラスのみの合格になる等である
が、最も目的とするプライバシ−性能を満足するもので
なく、到底本発明がめざす所期の電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスではないものであった。

【００７０】比較例４ 前記実施例４と同様の方法で、第１層膜をスパッタ雰囲
気である混合ガス中のArガス濃度を約28％に変え、また
搬送速度を約263mm ／min とし、ついで第２層膜を搬送
速度を約63mm／min として成膜した。表３に示す各膜厚
を得て、その膜構成において実施例１で示した測定法等
によって同様の評価手段で行った。その結果を表３およ
び４に示す。

【００７１】得られた該比較例のガラスは、膜面側の可
視光反射（Rf）の主波長（DW）が572nm に対し、その刺
激純度（EP）が38.4％と非常に高く、黄色の色調が顕著
となり、めざす所期のニュ−トラル系色調を有するもの
とは言えないものであり、本発明がめざす所期の電波透
過型の熱線遮蔽ガラスではないものであった。

【００７２】比較例５ 前記比較例４と同様の方法で、第１層膜を成膜し、つい
で第２層膜をTiタ−ゲットを用い、スパッタ雰囲気をO₂
ガスのみ、印加電力３kw、搬送速度を約140mm／min と
して成膜した。表３に示す各膜厚を得て、その膜構成に
おいて実施例１で示した測定法等によって同様の評価手
段で行った。その結果を表３および４に示す。

【００７３】得られた該比較例のガラスは、テ−バ−試
験で△Ｔが10.6％、△Ｈが4.7 ％と建築用窓ガラスのみ
の合格、トラバ−ス試験で△Ｔが3.8 ％、△Ｈが1.7 ％
と建築用窓ガラスと自動車用窓ガラスとも不合格とな
り、機械的特性を満足することができず耐久性に劣るも
のであり、到底本発明がめざす所期の電波透過型熱線遮
蔽ガラスではないものであった。

【００７４】比較例６ 前記比較例１と同様の方法で、Crタ−ゲットを用い、ス
パッタ雰囲気をN₂ガスとO₂ガスとArガスとの混合ガスと
し、印加電力１kw、搬送速度を約150mm ／minとして成
膜した。表３に示す膜厚を得て、その膜構成において実
施例１で示した測定法等によって同様の評価手段で行っ
た。その結果を表３および４に示す。

【００７５】得られた該比較例のガラスは、テ−バ−試
験で△Ｔが31.7％、△Ｈが4.2 ％、トラバ−ス試験で△
Ｔが11.1％、△Ｈが1.3 ％と建築用窓ガラスと自動車用
窓ガラスとも全て不合格となり、機械的特性を全く満足
することができず耐久性に劣るものであり、到底本発明
がめざす所期の電波透過型熱線遮蔽ガラスではないもの
であった。

【００７６】

【表３】

【００７７】

【表４】

【００７８】

【発明の効果】以上前述したように、本発明によれば、
スパッタ雰囲気にArガスを特定割合混合した混合ガスを
採用して成膜し、特定した膜厚で高表面抵抗値を有する
TaNxで表されるｘをコントロ−ルしたタンタル窒化物薄
膜を少なくとも備え、場合によってはTaの酸化物薄膜を
オ−バ−コ−ト、あるいはTaまたはTiの酸化物薄膜をア
ンダ−コ−トおよび前記したオ−バ−コ−トをし、単層
乃至３層の膜構成とした電波透過型熱線遮蔽ガラスを高
い成膜レ−トでうることができ、耐摩耗性、耐食性なら
びに耐久性に優れ、優れたプライバシ−保護性能とニュ
−トラル系色調を有し、しかもバランスよく優れる光学
特性を有し、さらに電波透過の良好な通常のフロ−トガ
ラス並の電波低反射率であって、電波障害を発現するよ
うなこともなく、該熱線遮蔽ガラスに配備したアンテナ
導体の利得がフロ−トガラス並を示し、合わせガラスあ
るいは複層ガラス等はもちろん単板ガラスとして使用し
得る、建築用窓ガラスはもちろん、特に自動車用窓ガラ
スとして有用な電波透過型熱線遮蔽ガラス及びその製造
法を効率よく提供するものである。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明なガラス基板表面に、少なくとも膜
   厚が６nm以上50nm以下のタンタル窒化物薄膜を成膜して
   なり、タンタル窒化物薄膜が、ArガスとN₂ガスの比が
   ５：95ないしは50：50の範囲の雰囲気ガスにある真空系
   装置内で、タンタルターゲットに印加しスパッタ成膜す
   ることで xの値を選択決定して成るTaNx薄膜であり、可
   視光透過率が25％以上60％以下で、かつ表面抵抗値が 1
   5MΩ／口以上30G Ω／口以下であることを特徴とする電
   波透過型熱線遮蔽ガラス。
2. 【請求項２】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスの積層成
   膜が前記タンタル窒化物薄膜にオ−バ−コ−ト薄膜を被
   覆した２層の積層膜で成り、該オ−バ−コ−ト薄膜が膜
   厚が５nm以上35nm以下のタンタル酸化物薄膜であって、
   しかも該タンタル酸化物薄膜が、ArガスとO₂ガスの比が
   0:100 ないしは60：40の範囲の雰囲気ガスにある真空系
   装置内で、タンタルターゲットに印加しスパッタ成膜す
   ることで xの値を選択決定して成るTaOx薄膜であること
   を特徴とする請求項１記載の電波透過型熱線遮蔽ガラ
   ス。
3. 【請求項３】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスの積層成
   膜が前記タンタル窒化物薄膜に被覆した前記オ−バ−コ
   −ト薄膜ならびに前記ガラス基板と前記タンタル窒化物
   薄膜の間に施したアンダ−コ−ト薄膜との３層の積層膜
   で成り、該アンダ−コ−ト薄膜が、膜厚が５nm以上40nm
   以下のタンタルもしくはチタンの酸化物薄膜を積層成膜
   してなり、該タンタルもしくはチタンの酸化物薄膜が、
   ArガスとO₂ガスの比が0:100 ないしは60：40の範囲の雰
   囲気ガスにある真空系装置内で、タンタルもしくはチタ
   ンのターゲットに印加しスパッタ成膜することで xの値
   を選択決定して成るTaOx薄膜またはTiOx薄膜であること
   を特徴とする請求項１乃至２記載の電波透過型熱線遮蔽
   ガラス。
4. 【請求項４】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスが、単板
   であることを特徴とする請求項１乃至３記載の電波透過
   型熱線遮蔽ガラス。
5. 【請求項５】 前記電波透過型熱線遮蔽ガラスが、少な
   くともアンテナ導体と前記２層でなる積層成膜とを備え
   ることを特徴とする請求項１乃至４記載の電波透過型熱
   線遮蔽ガラス。
6. 【請求項６】 ArガスとN₂ガスの比が５：95ないしは5
   0：50の範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内において
   タンタルターゲットに印加し、透明なガラス基板表面に
   スパッタ成膜することで xの値を選択決定して成るTaNx
   で表されるタンタル窒化物薄膜を少なくとも成膜し、可
   視光透過率が25％以上60％以下で、かつ表面抵抗値が 1
   5MΩ／口以上30G Ω／口以下である電波透過型の熱線遮
   蔽ガラスを製造することを特徴とする電波透過型熱線遮
   蔽ガラスの製造法。
7. 【請求項７】 前記タンタル窒化物薄膜のオ−バ−コ−
   ト薄膜として、ArガスとO₂ガスの比が0:100 ないしは6
   0：40の範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内で、タン
   タルターゲットに印加してスパッタし、 xの値を選択決
   定して成るTaOxで表されるタンタル酸化物薄膜を、膜厚
   が５nm以上35nm以下になるよう積層成膜することを特徴
   とする請求項６記載の電波透過型熱線遮蔽ガラスの製造
   法。
8. 【請求項８】 前記オ−バ−コ−ト薄膜を施したタンタ
   ル窒化物薄膜のアンダ−コ−ト薄膜として、ArガスとO₂
   ガスの比が0:100 ないしは60：40の範囲の雰囲気ガスに
   ある真空系装置内で、タンタルもしくはチタンのターゲ
   ットに印加してスパッタし、 xの値を選択決定して成る
   TaOxまたはTiOxで表されるタンタルもしくはチタンの酸
   化物薄膜を、膜厚が５nm以上40nm以下になるよう積層成
   膜することを特徴とする請求項６乃至請求項７記載の電
   波透過型熱線遮蔽ガラスの製造法。