JPH0365531A

JPH0365531A - 単板断熱ガラス

Info

Publication number: JPH0365531A
Application number: JP1198304A
Authority: JP
Inventors: Hironobu Iida; 裕伸飯田; Nobuyuki Takeuchi; 伸行竹内; Masato Nakamura; 昌人中村; Koichi Furuya; 孝一古屋; Hiroshi Nakajima; 弘中嶋
Original assignee: Central Glass Co Ltd
Current assignee: Central Glass Co Ltd
Priority date: 1989-07-31
Filing date: 1989-07-31
Publication date: 1991-03-20
Anticipated expiration: 2011-08-28
Also published as: JP2528520B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、冷暖房効果を向上させるようにするとともに
比較的高い可視光透過率を有するものであって、しかも
電波の透過が比較的よく耐摩耗性も優れた単板断熱ガラ
ス、特に車輌用断熱ガラスとして有用であって、ことに
サイドあるいはドア用窓ガラス、リヤ用窓ガラスとして
単板でも使用可能な単板断熱ガラスに関する。

［従来の技術］従来、例えば車両用窓ガラスとして透明誘電体または透
明導！膜／銀／透明誘電体または透明導電膜の構成で高
い可視光透過率を達威し、銀の高反射性能を利用して日
射透過率の低い断熱ガラスとして、これを合せガラスに
することで使用されている。しかしながら銀膜は耐摩耗
性、耐湿性に弱く、合せガラスに加工処理せずに放置し
ておくと数日以内で膜に異変が発現し、膜の変色変質が
起り、手で触れただけで剥離する現象になるという非常
に弱いものであった。

このため最近では合せガラスでなくても単板のままで使
用しても耐候性、耐久性があるというものが種々提案さ
れている。例えば特開昭６３２０６３３３号公報には、
単板熱線反射ガラスが記載されており、ガラス板面に熱
線反射膜としてガラス板側から数えて順に第１層と第３
層が透明誘電体膜又は透明導電性酸化物膜、第２層が窒
化物膜、第３層上の最上層が酸化物の厚膜とが積層され
、最上層が露出面でなっている、例えばＳｉＯ□膜／Ｔ
！Ｏ１膜／ＴｉＮ膜／ＴｉＯλ膜／ガラス板の構成から
なるものが開示されており、また特開昭６４−５９３０
号公報には、高透過ソーラーコントロールガラスが記載
されており、ガラス板面に、ガラス板側から順に第１層
として酸化スズ膜、第２層として低光吸収性膜、第３層
として窒化チタン膜、第４層として低光吸収性膜、第５
層として酸化スズ膜が積層されており、場合によっては
第６１ｉ１として酸化けい素膜又は酸化アルミニウム膜
を主成分としたオーバコート保護膜が被覆されてもよい
、例えば５ｉＯ１膜／ＳｎＯ□膜／ＴｉＯ２膜／ＴｉＮ
膜／Ｔｉ％膜／　ＳｎＯ□膜／ガラス板の構成とするも
のが開示せれており、さらに特開昭６３−２４７３５２
号公報には、反応性スパッタリングによる透明コーティ
ングについて記載されており、基材、基材上のコーテイ
ング膜およびコーティング上の保護膜を含む構成である
コートした物品であって、この保護膜がアルミニウムお
よびけい素を含む合金であるターゲットを反応性ガス中
、特にＯＬ％がＮ２＋ＯＬガス中で１０〜３０％存在す
るなかでスパッタすることにより形成された反応生成物
の無定形層を含む膜であるものが開示されており、さら
にまた特開昭６０８１０４８号公報には、ガラス上にＴ
ＩＯ，Ｌ膜を形成し、次いでＴｉＯえとＴｉＮの馴染み
層を設け、その上にＴｉＮ膜を積層する窒化チタン薄膜
付きガラスおよびその作製方法が記載されており、また
Ｃｒ、Ｔｉ。

Ｚｒ　Ｔａ　Ｎｉあるいはステンレスの金属膜を用いる
ものとしては、特開昭６１−５５６０３号公報に記載の
高耐久性赤外反射鏡あるいは特開昭６３−２４２９４８
号公報に記載の熱線反射ガラス等が知られている。

さらにまた、高屈折率膜と低屈折率膜を順次積層した反
射防止膜あるいは電磁鵡蔽膜を有するガラスが提案され
ており、例えば特開昭６３〜１３１１０１号公報には第
１及び第２の高屈折率膜のうちの少なくとも一方を、反
応性スパッタリングを用いて形成された高屈折率の第１
の膜状体と、この第１の膜状体よりも更に屈折率の高い
第２の膜状体よりも更に屈折率の高い第２の膜状体とを
積層することにより成る多層反射防止膜が記載されてお
り、また特開昭６０−８１０４７号公報にはガラス基板
の外側にＩＴＯ膜等の電磁返蔽用透明導電性″ｉＲ膜と
ＴｉＯ□とＳｉＯ□を交互に積層した熱線反射膜を積層
し、内側に電磁遮蔽用透明導電性薄膜と可視光の反射防
止膜を積層することにより、外来電波によるノイズを防
止できると共に、日射の侵入を抑制でき、良好な視界を
確保できるという電波遮蔽ウィンドガラスが記載されて
おり、さらに実開昭６０−１８３４９７号公報にはガラ
スに透明導電膜、特に好ましくは面積抵抗値が１００Ω
／口以下であるものを設けることにより、車！！電子機
器の外部からの電磁波によるノイズを防ぐことができる
電波遍蔽効果を有する自動車ガラスが記載されている等
が知られている。

いずれの場合も断熱ガラスとしての性能を確保するため
、その構成中に導電性の成分を含んでおり、この導電性
Ｆ！ムこより、断熱性を出し残りの誘電体との組み合わ
せで透過率、反射率を調節するものであった。

［発明が解決しようとする問題点］前述したような例えば特開昭６３−２０６３３３号公報
に記載の単板熱線反射ガラスならびに特開昭６４−５９
３０号公報に記載の高ｉ３過ソーラーコントロールガラ
スについてはいずれも金属と同等の導電性を得るため、
これに代わる耐久性の良い導電膜をかなり厚くする必要
があり、この場合、生産性の低下が生し、また電波に関
してシールド効果を起こすものであった。また特開昭６
３２４７３５２号公報に記載の反応性スパッタリングに
よる透明コーティングについては表面における耐摩耗性
ならびに耐食性は向上するものの必ずしも各層での密着
性ならびに耐薬品性を充分満足するようなものにできる
ものではないものであり、場合によっては透明性が充分
でなくなることがあり得るものである。さらにまた特開
昭６０−８１０４８号公報に記載のものは、耐摩耗性に
対して必ずしも充分ではなく、また特開昭６１−５５６
０３号公報あるいは特開昭６３−２４２９４８号公報に
記載のものはガラス側から見た際の可視光反射率が大き
くなりやすくかつ密着性あるいは耐摩耗性等においても
必ずしも充分なものとはいい難いものであって、特に例
えば自動車用窓ガラスのうち単板で用いるドアあるいは
サイドガラスには充分採用できるとは言えないものであ
る。

さらにまた、前記特開昭６３−１３１１０１号公報を初
め前記各公報ならびに特開昭６０−８１０４７号公報お
よび実開昭６０−１８３４９７号公報に記載のものはい
ずれも自動車電話、ＴＶ、シャッター開閉のリモコン操
作など電波の送受信を要する場合には電磁シールド効果
を起こして、充分な機能が得られ難いものであり、また
ガラスアンテナ性能自身が非常に優れていたとしても反
射、吸収するため、結果として非常に悪いアンテナ性能
しか得られず悪影響をもたらすものである。また無反射
ガラス用に透明酸化物のみの組み合わせで、多くの提案
がなされているが、膜の数が多く、また基膜の厚みがλ
／４、λ／２など厚く、生産上非常に悪いものであり、
また主にデインピング、ゾル−ゲルなどでつくられてい
るが、これらは膜の耐摩耗性が極めて悪く、単板として
は使用できないものであった。

［問題点を解決するための手段］本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、特定の異なる屈折率を有する特定の膜厚で誘電体膜
を組み合わせて順次３〜４７ｉＩまたは５〜６層の薄膜
を積層し、しかも運転者等に対し充分名視野を確保でき
て単板で使用しても充分な耐摩耗性、耐久性、耐候性を
もち、電波を車内外に透過させることができ、冷暖房に
効果的な単板断熱ガラスを提供するものである。

すなわち、本発明は、透明ガラス基板の表面に、ガラス
面より第１層として屈折率が１．８〜２．１の透明誘電
体膜を膜厚１００〜２０００Å、第２層として屈折率が
２．２〜２．５の透明誘電体膜を膜厚１００〜２０００
Å、第３層として屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体
膜を膜厚１００〜２０００人またはこれに加えて最外表
面膜としてシリコン合金酸化物膜を膜厚１００〜２００
００人それぞれ順次スパッタリング法あるいはＣＶＤ法
によって積層して成り、かつ可視光透過率が６５％以上
、可視光反射率が１５％以下ならびに日射透過率が６５
％以下であって成膜前のガラス基板に比べ日射透過率が
５％以上低下するものであり、さらにＣＳ−１０Ｆによ
るテーパー試験において１０００回回転後の透過率とヘ
ーズの変化量が試験前に比し１０％以内、ならびに各層
の表面体積抵抗が１００Ω・ＣＭ以上であることを特徴
とする単板断熱力゛ラス、ならびに透明ガラス基板の表
面に、ガラス面より第１層として屈折率が１．８〜２．
１の透明誘電体膜を膜厚１００〜２０００Å、第２層と
して屈折率が２．２〜２．５の透明誘電体膜を膜厚１０
０〜２０００Å、第３層として屈折率が１．８〜２．１
の透明誘電体膜を膜厚１００〜２０００Å、第４層とし
て屈折率が２．２〜２．５の透明誘電体膜を膜厚１００
〜２０００Å、第５層として屈折率が１．８〜２．１の
透明誘電体膜を膜厚１００〜２０００人またはこれに加
えて最外表面膜としてシリコン合金酸化物膜を膜厚１０
０〜２００００人それぞれ順次スパッタリング法あるい
はＣＶＤ法によって積層して成り、かつ可視光透過率が
６５％以上、可視光反射率が１５％以下ならびに日射透
過率が６５％以下であって成膜前のガラス基板に比べ日
射透過率が５％以上低下するものであり、さらにＣＳ−
１０Ｆによるテーパー試験において１０００回回転後の
透過率とヘーズの変化量が試験前に比し１０％以内、な
らびに各層の表面体積抵抗が１００Ω・ＣＭ以上である
ことを特徴とする単板断熱ガラス。加えて、前記積層成
膜において、屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体膜と
して５ｎＯｘ、　ＺｒＯｘ、　ＡＬＮ　、　ＴａＯｘを
、また屈折率が２．２〜２．５の透明誘電体膜としてＴ
ｉＯｘをそれぞれ用いることを特徴とする前記単板断熱
ガラスをそれぞれ提供するものである。

ここで、断熱多層膜として透明誘電体膜を用いることに
したのは、電波の透過が構成する膜の電気抵抗値に関係
し、しかも１００Ω・ＣＭ以上、好ましくは１０００Ω
・ＣＭ以上の非常に高電気抵抗値のもの、例えばＴｉＯ
ｘ、　５ｎＯｘ等でなければならないことがわかり、従
来のような導電性金属等、例えばＡｇ、　ＴｉＮｊＴＯ
等では電気抵抗値が低く電波４蔽性能を有し、例えばガ
ラス基板に比し数ｄＢあるいは１０ｄＢ　　以上のマイ
ナスとなり、例えば１．２ｄＢのマイナスとぼはガラス
基板と同等とすることができないからであり、またこれ
ら透明誘電体膜は耐薬品性、耐湿性、付着性等に著しく
優れたものである。

誘電体膜を屈折率が１．８〜２．１、例えば５ｎＯｘ　
（０＜ｘ≦２）、Ｔａ０ｘ（０＜ｘ≦２．５〉、ＺｒＯ
ｘ　（０くｘ≦２）、５ｉＯｘ（０＜ｘ≦２）ならびに
ＡＩＮ等であり、ついで２．２〜２，５、例えばＴｉＯ
ｘ　（０くＸ≦２）であり、その上に１．８〜２，１と
低高屈折率のものが交互になるようガラス基板表面に順
次積層し３〜５Ｎの多ｉｓとしたのは、より強く密着さ
せたなかで、可視光透過率ならびに反射率を、例えば膜
を成膜しないガラス基板とほぼ同等もしくは近ずけるた
めに膜の干渉効果のみを利用し、干渉効果を大きくする
ためにはガラス基板と膜、膜と膜、膜と空気の屈折率差
が大きいことが必要であるためであり、しかも日射透過
率を６５％以下でかつガラス基板のみの日射透過率より
も５％以上、好ましくは１０％前後低下させることがで
きるためであり、３層より５層の方がより大きい低下と
なりやすいものである。さらに断熱を有する前期多層膜
を成膜してもその反射色は、反射の刺激純度が１０％と
低いためニュートラル色が得られる。また多層の膜厚を
１００〜２０００人としたのは、１００人未満では各層
の膜強度が保持し難いことも生しることがあること、可
視光反射率、日射透過率等においても満足すべき値とな
りにくいものが場合によっては出てくることがあるため
であり、２０００人を越えると、生産性の悪化が生じた
り、厚いために発現する歪み等の諸問題をかかえること
になりかねないからである。また表面強度をさらに向上
させる意味で、屈折率１．５程度のシリコンアルミニウ
ム合金酸化膜を膜厚１００〜２０００ＯＡ程度で用いる
ことができるものである。

さらにまた成膜の製法としては、スパッタ法またはＣＶ
Ｄ法であることが、耐摩耗性環上必要であり、例えばデ
ィッピング法等では耐摩耗性において非常に弱いものと
なり単板での使用に通さないものとなるためである。

なお、例えば曲げ加工後の成膜あるいは威膜後の曲げ加
工のどちらの工程でもよいものであり、このことは全て
誘電体膜のみのため加熱による膜の変質が発現しないこ
とによるものである。また５層あるいは６層を越えると
生産性上好ましくないものである。

また、光学特性のうち、可視光透過率を６５％以上とし
たのは、例えば自動車における運転者の視野を十分確保
するためであり、好ましくは７０％以上であり、また可
視光反射率を１５％以下としたのは、１５％を越えると
自動車窓ガラスとして使用した際、運転者にミラー効果
で室内の像が視野内に入り運転者の安全性を妨げ、逆に
対向車の運転者にはまぶしさを与えるためで、好ましく
１３％以下、より好ましくは１０以下であり、特に前記
可視光透過率あるいは反射率は夜間ならびに雨降り等に
その効果をよりもたらすものである。さらにまた、日射
透過率を６５％以下でかつガラス基板のみの際より５％
以上低下させるものとしたのは、少なくとも６５％を越
え、前記差が５％以内であれば冷暖房効果を向上させ、
例えば車内の住居性を向上させるために必ずしも役立た
せたとは言い難く、効果が少ないものとなるためである
。

さらにまた、ＣＳ−１０Ｆによるテーパー試験において
１０００回回転後の透過率とヘーズの変化ｉｔ（ΔＴと
Δ旧が試験前に比し、１０％以内であるものとしたのは
、１０％を越えると長期間使用において膜の視野ならび
に透明さが悪化し、例えば運転者に目立って不快感、場
合によっては安全性を妨げる場合も発現することがある
ようになってくるためであり、好ましくは８％以上、よ
り好ましくは５％以内である。

さらに各層の表面体積抵抗が１００Ω・ＣＭ以上を有す
るとしたのは、周波数１００〜１０００１００Ｏの間で
特に１００〜７００ＭＩＩｚ前後において１０ｄＢ以上
、ガラス基板と比し数ｄＢ、電波を遮蔽しないようにす
るために必要であり、特に自動車ガラスとして断熱性能
を生かしつつ電波、例えばＴＶ波、電話、シャッター開
閉のリモコン操作などの電波のためにはガラス基板とほ
ぼ同等もしくは１〜２ｄＢの低下におさえる必要がある
ためである。

つぎに、ガラス基板としては、透明ガラスであればよい
が、特にグレー、ブロンズ等がよく、ニュートラル色を
得やすいものであってより好ましいものである。また単
板で使用できることはもとより、複層あるいは合せガラ
スとしても使用できることは言うまでもない。

［作用］前述したとおり、本発明の単板断熱ガラスは、特定の低
高屈折率を有する誘電体膜をスバ、夕またはＣＶＤによ
って順次交互に特定膜厚で３〜５層の積層多層膜とし、
場合によっては加えてシリコンアル兆ニウム合金酸化物
をオーバーコートして巧みに組み合わせ、しかも可視光
透過率、可視光反射率あるいは日射透過率等の光学特性
をそれぞれ特定し、さらにテーパー試験による透過率と
ヘーズの変化量を特定し、さらにまた表面体積抵抗を特
定したものとしたことにより、各薄膜層のＶ着性を高め
、積層した多層膜全体の耐摩耗性ならびに耐食性が向上
し、耐久性に優れ、単板として充分採用できるものとな
り、しかも適度の干渉効果をもたらし、断熱機能を有し
、充分可視光反射率を低いものとして充分視野が確保で
き、例えば車内外からのミラー効果も殆どなく、視野を
妨げるようなことにならず、高い安全性と居住性を備え
、例えばＴＶ電波等も透過するものとなって、建築用窓
ガラスではもちろん、車両用窓ガラスとしてもフロント
、サイドあるいはドア用ガラス、さらにリヤ用ガラスに
も充分採用できる傘板断熱ガラスを提供できるものであ
る。

［実施例］以下、実施例により本発明を具体的に説明する。ただし
本発明は係る実施例に限定されるものではない。

実施例１大きさ６００Ｘ　６００旧２、厚さ５ｍｍのグレーガラ
ス（ＮＧＦＬ５）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピル
アルコールで順次洗浄し、乾燥した後、マグネトロン反
応スパンタリング装置の真空槽内にセットしであるＳｎ
とＴｉのターゲットに対向して上方を往復できるようセ
ットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで約５　Ｘ　１０
　Ｔｏｒｒまでに脱気した後、該真空槽内に０□ガスを
導入して真空３度を約２　Ｘ　ｌ０Ｔｏｒｒに保持し、前記ＳｎとＴｉ
のターゲットに約０．５ＫＷの電力を印加し、０２ガス
（但し、Ａｒと０２ガスの流量比は１：１からＯ：ｌの
範囲にあればよい、）によるＤＣマグネトロン反応スパ
ッタの中を、前記Ｓｎターゲット上方においてスピード
約５ＱＩｌ／ｍｉｎで前記仮ガラスを搬送することによ
って約６００人厚さのＳｎＯ□薄膜を第１層として成膜
した。成膜が完了した後、Ｓｎターゲノトへの印加を停
止する。

次に、板ガラスを前記真空槽中においたまま、前記Ｔｉ
ターゲノトに約２．５ＫＷの電力を印加し、０□ガスに
よるＤＣマグネトロン反応スパッタのなかを、前記Ｔｉ
のクーゲント上方において約２０＋＋＋＋ｓ／ｗｉｎの
スピードで搬送することにより、前記板ガラスのＳｎＯ
□成膜表面に約５０Ａ厚さのＴｉＯ２薄膜を第３層とし
て成膜積層した。

さらに前述の第１層成膜と同様にして約６０１／ｍｉｎ
のスピードで搬送することにより、前記ガラスのＴｉＯ
□成膜表面に約５００人の５ｎ０２薄膜を第３層として
成膜積層した。

得られた３層の多層膜を有する単板断熱ガラスについて
、可視光透過率（３８０〜７８０ｎｍ）、可視光反射率
（３８０〜７８０ｎｍ）ならびに日射透過率（３４０〜
１８００ｒｖ）については３４０型自記分光光度計（日
立製作所型）とＪＩＳＺ８７２２．　ＪＩＳＲ３１０６
によってそれぞれその光学的特性を求めた。さらにテバ
ー試験による透過率の差については、テーパー−試験機
（ＭＯＤＥＬ　５０３．　ＴＹＢＥＩ！社製）に膜面を
上にした１００角の試験片をセットし、膜面に荷重５０
０ｇのかかった摩耗輪（ＣＳ−１０Ｆ）が２ケ所で当た
るようになっているもので、１０００回回転した後、先
ず可視光透過率を測定し、試験前の測定値と対比し、そ
の変化量すなわち差（ΔＴ）をもって表わした数値であ
り、次いでヘーズ（曇り具合）値については、ヘーズメ
ーター（日本重色工業製、ＮＤＩ＋−２０Ｄ）によって
測定し、ΔＴと同様にその変化量（Δ旧をもって表わし
た数値である。

次に、耐薬品性のうち耐酸試験については、常温で１規
定の塩酸？８液中に前記試験片を約６時間浸漬した後、
膜の劣化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ試
験については、常温で１規定のＮａ０１ｌ溶液に試験片
を約６時間浸漬した後、膜の劣化状態を見て判断したも
のであり、それぞれ○印はほとんど劣化が見られなかっ
たもの、Ｘ印は劣化が明らかに目立ったものである。

また耐薬品性については、約５０°Ｃ２相対温度約９５
％の部屋内において３０口間放置した後、膜の劣化状態
をみて耐薬品性同様の判断ならびに○×印で表示した。

さらに表面抵抗については、四探針抵抗測定装置ＲＴ−
８（ＮＡＰＳＯＮ社製）によって測定し、１００Ω・Ｃ
Ｍ以上を○印とし、１．００Ω・ＣＭ以下を×印または
測定値で示した。これら前述の測定値は表１に示す通り
である。

またさらに、電波透過性については、シールド効果、す
なわち・通常のガラス基板と比して電波が透過しにくく
なる程度を知るため、アトバンチストン去のテムモード
によってＴＲ１７３０２とＴｎ４１７２　（いずれも■
アトパンテスト製）を用いて測定して求め、図１に示し
た。

表１ならびに図１より明らかなように、またグレー硝子
（日射透過率７１．４％）に比べ日射透過率が５％以上
低くなり、断熱性に優れ、より優れた住居性ならびに安
全性を示し、耐摩耗性、耐食性を十分に有し、耐候性、
耐久性を向上したものであって、電波を十分透過し、単
板断熱ガラスとして有用なものとなり、所期のめざすも
のが得られた。

なお、表中のガラス基板は、ＮＧＦＬはグレーＮＦＬは
ブロンズ、ＦＬは無色透明の通常の仮ガラスを示す。

実施例２〜１４実施例１と同様の方法で、表１に示す３〜６層積層多層
膜およびその各膜厚を得て、その膜構成において実施例
１で示した測定法等によって同様の評価手段で行い、そ
の結果を表１に示す。

各実施例共、実施例１と同様のものが得られた。

比較例１ならびに４〜１０実施例１と同様の方法によって表２に示すような３〜７
層の積層多層膜を得、その膜構成において実施例１で示
した測定法等によって同様の評価手段で行い、その結果
を表２にそれぞれ示す。

それぞれ、実施例に比して、例えば比較例１は表面体積
抵抗が低く、導電性膜層を有していることを示し、図１
でも明らかなように通常のガラス基板のみよりシールド
効果を有しており、また比較例８のようにＡｇ層を含む
７層の多層膜を有するものでも、金属で導電性を有し表
面体積抵抗が低く、図１でも明らかなように通常のガラ
ス基板のみよりかなりのシールド効果となっており、し
かも、耐摩耗性ならびに耐薬品性かないものとなってい
る。そのほかの比較例では、いずれも光学特性を満足す
るものではないものであり、いずれにしても必ずしも優
れた特性を有する単板断熱ガラスとは言い難いものであ
った。

比較例２および３大きさ２００　Ｘ２００　ｍｌ、厚さ５■のグレーガラ
ス（ＮＧＦＬ５）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピル
アルコールで順次洗浄し、乾燥した後、５ｎ（Ｏｎ　ｃ
、Ｉ！、　）３Ｃロ容ン夜中にデインピングし、約１，
２１Ｉｌｉ／ｓｅｃの速度で引上げ、２００°Ｃｌ２Ｏ
分乾燥し、膜厚約６００人の５ｎ０２薄膜を得、ついで
Ｔｉ（０−ＣｖＨ７）ａ？Ｓ液中にデインピングし、約
１．Ｏｎ＋ｍ／ｓｅｃの速度で引上げ、前記と同し条件
で乾燥し、膜厚約５００人のＴｉＯ２薄膜を得、さらに
Ｓｎ　（０−ｎ−Ｃ４１１９）３　”’容ン夜中にデイ
ンピングし、約１．０ｍｍ／ｓｅｃの速度で引上げ、乾
燥後約６００°Ｃで３０分キュアし、膜厚約５００人の
ＳｎＯ□薄膜を得、表示中の比較例２のような３層の膜
構成のものを得た。

比較例３は比較例２と同様に行い、ただＳｉＯ２薄膜に
ついては、Ｓ　ｉ　（ＯＣｘ　１１ｓ）　ａン容ン夜中
にデイ９．／ピング後、約０．８ｍｍ／ｓｅｃの速度で
引上げ、膜厚約６００人のものを得た。

得られた比較例２および３のものは、テーパー試験で膜
がなくなり、耐摩粍性がないもので単板として使用不可
能と言わざるを得ないものであった。

［発明の効果］以上前述したように、本発明はスパッタ法またはＣＶＤ
法で、特定の低高屈折率あるいは膜厚でｖＦＪ電体膜を
特異に組み合わせて多層膜としてｌＩ層した構成にせし
め、しかも光学上ならびに安全上の特性値が特定できる
ものとなし得、断熱ガラスであって耐摩耗性、耐食性な
らびに耐候耐久性に優れ、電波透過のよい特異なものと
なり、複層あるいは合せガラスはもちろん単板のニュー
トラル色で居住性のよい、ガラスアンテナ等を備えて効
果的で有用な単板断熱ガラスを効率よく提供できるもの
である。

【図面の簡単な説明】図１は、電波シールド効果におけるガラス基板と実施例
１ならびに比較例１．８との差に関する一例を示す図で
ある。（Ｍｆｈ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）透明ガラス基板の表面に、ガラス面より第１層と
して屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体膜を膜厚１０
０〜２０００Å、第２層として屈折率が２．２〜２．５
の透明誘電体膜を膜厚１００〜２０００Å、第３層とし
て屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体膜を膜厚１００
〜２０００Åまたはこれに加えて最外表面膜としてシリ
コン合金酸化物膜を膜厚１００〜２００００Åそれぞれ
順次スパッタリング法あるいはＣＶＤ法によって積層し
て成り、かつ可視光透過率が６５％以上、可視光反射率
が１５％以下ならびに日射透過率が６５％以下であって
成膜前のガラス基板に比べ日射透過率が５％以上低下す
るものであり、さらにＣＳ−１０Ｆによるテーパー試験
において１０００回回転後の透過率とヘーズの変化量が
試験前に比し１０％以内、ならびに各層の表面体積抵抗
が１００Ω・ＣＭ以上であることを特徴とする単板断熱
ガラス。
（２）透明ガラス基板の表面に、ガラス面より第１層と
して屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体膜を膜厚１０
０〜２０００Å、第２層として屈折率が２．２〜２．５
の透明誘電体膜を膜厚１００〜２０００Å、第３層とし
て屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体膜を膜厚１００
〜２０００Å、第４層として屈折率が２．２〜２．５の
透明誘電体膜を膜厚１００〜２０００Å、第５層として
屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体膜を膜厚１００〜
２０００Åまたはこれに加えて最外表面膜としてシリコ
ン合金酸化物膜を膜厚１００〜２００００Åそれぞれ順
次スパッタリング法あるいはＣＶＤ法によって積層して
成り、かつ可視光透過率が６５％以上、可視光反射率が
１５％以下ならびに日射透過率が６５％以下であって成
膜前のガラス基板に比べ日射透過率が５％以上低下する
ものであり、さらにＣＳ−１０Ｆによるテーパー試験に
おいて１０００回回転後の透過率とヘーズの変化量が試
験前に比し１０％以内、ならびに各層の表面体積抵抗が
１００Ω・ＣＭ以上であることを特徴とする単板断熱ガ
ラス。
（３）前記積層成膜において、屈折率が１．８〜２．１
の透明誘電体膜としてＳｎＯ＿ｘ、ＺｒＯ＿ｘ、ＡＬＮ
、ＴａＯ＿ｘを、また屈折率が２．２〜２．５の透明誘
電体膜としてＴｉＯ＿ｘをそれぞれ用いることを特徴と
する請求項１ならびに２記載の単板断熱ガラス。