JP4310872B2

JP4310872B2 - ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法

Info

Publication number: JP4310872B2
Application number: JP35929399A
Authority: JP
Inventors: 信孝青峰; デクルペダニエル; 純一海老沢; 和良野田; 諭司竹田
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 1998-12-18
Filing date: 1999-12-17
Publication date: 2009-08-12
Anticipated expiration: 2019-12-17
Also published as: US6451434B1; JP2000229378A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法に関し、特に、耐熱性に優れるため、強化、曲げ加工等の成形加工時における加熱によっても光学特性が劣化せず、機能性透明物品の素材として好適なガラス積層体、そのガラス積層体を素材として用いて、光学特性に優れる機能性透明物品を得ることができる方法、およびその機能性透明物品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、銀を主成分とする層を含む積層構造の膜を選択的光学反射膜あるいは導電膜として用いる機能性ガラスが、Ｌｏｗ−Ｅガラス（ＬｏｗＥｍｉｓｓｉｖｉｔｙＧｌａｓｓ）等の熱線反射ガラス、電磁遮蔽ガラス、あるいは電熱ガラスとして、自動車、電車等の車両用窓ガラス、住宅、ビル等の建築用窓ガラス、プラズマ・ディスプレィ前面板などに用いられている。
銀を主成分とする薄膜層を含む積層構造の膜は、可視領域の光に対して高い透過率を示し、近赤外光および波長１０μｍ程度の長波長の赤外光に対する反射率が高いものである。このため、銀を主成分とする層を含む積層構造の膜を用いたガラスを建築物の窓に使用した場合、室外から可視光を取り入れるとともに、太陽光に含まれる熱線の流入を低減し、夏期には冷房負荷が低減される。また、室内側からの熱の放出を低減することができ、暖房負荷が低減される。すなわち、可視光に対しては高透過率で、かつ熱線遮蔽効果に優れた、高性能の熱線反射ガラス、特にＬｏｗ−Ｅガラスとして用いることができる。
また、銀を主成分とする層を含む積層構造の膜は、シート抵抗値が１０Ω／□以下と、種々の透明導電性膜の中でも低い抵抗値を示すものの１つである。そのため、透明電磁遮蔽ガラス、あるいは電熱ガラスとして用いることができる。
【０００３】
銀を主成分とする層を含む積層構造の膜として、Ａｇを主成分とする金属からなる層（以下、単に「Ａｇ主成分層」という）と、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ等の酸化物、窒化物などからなる層を複数層積層した構成のものが知られている。例えば、ガラス基体の上に、ＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯの３層、またはＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯの５層が形成されたガラス積層体が知られている。
【０００４】
一方、ガラス積層体は、用途に応じて、各種形状に成形加工され、あるいは、強化処理が施されることが望まれている。成形加工 (例えば曲げ加工）あるいは強化処理においては、５７０〜７００℃程度に加熱して成形または急冷等の処理が行われる。例えば、自動車の窓ガラス、特にフロントウィンドウやリアウィンドウに窓ガラスとして用いられる熱線反射ガラスは、曲面状に湾曲した形状にするため、５７０〜７００℃程度に加熱して成形加工が施される。建築用の窓ガラスに用いられる熱線反射ガラスにおいても、建築物の窓形状に応じて、平板状ではなく、湾曲した形状等の複雑な形状にするために、成形加工が施されることがある。
【０００５】
しかし、従来のガラス積層体は、ガラス基体上にＡｇ主成分層、および透明な保護層を積層した後、成形加工や強化処理において、加熱（いわゆる後加熱）されると、Ａｇ主成分層の膜質が劣化し、光学特性の劣化を招き、所期の性能を発揮できないことがあった。この問題を回避するため、予め所定の形状に成形した後、Ａｇ主成分層、透明な保護層を積層する方策が考えられる。しかし、スパッタリング法によって、成形されたガラス、例えば、曲げガラスにＡｇ主成分層、透明な保護層等を成膜しようとする場合、各層をそれぞれ異なる雰囲気中で成膜するために、同じ成膜室中で基板を往復させながら、スパッタガスを交換して成膜を行う生産方式を採用しなければならない。この生産方式は、生産性に劣り、生産量が制約され、またコスト低減が困難である。
【０００６】
このような問題を改善するため、後加熱可能なガラス積層体として各種の提案がなされている。
例えば、特表平１０−５０３７４５号公報には、透明な非金属性基材と、該基材上にスパッタ析出された、少なくとも１つの赤外線反射金属フィルム、該金属フィルム上の誘電フィルム、および該誘電フィルム上の保護用窒化ケイ素フィルムを含む透明なフィルムスタックとからなる透明物品が提案されている。
【０００７】
また、特許第２５０９９２５号に係る特許掲載公報には、５〜３０ｎｍ厚さの銀層；該銀層上のアルミニウム、チタン、亜鉛およびタンタルから選択した付加金属層；および該付加金属層上の反射防止金属酸化物層からなる被覆物を有するガラス基体が提案されている。さらに、同公報には、このガラス基体に、ガラスの軟化点以上の温度に加熱する曲げおよび／または強化サイクルを作用させ、これによって曲げおよび／または強化サイクル中において被覆ガラスに高い光透過を付与することを特徴とする湾曲および／または強化銀被覆ガラス基体の製造方法が提案されている。
【０００８】
また、特開平８−２３８７１０号公報には、赤外領域における特性を有する金属層と、この金属層の下にある誘電材料の第一のコーティングおよびこの金属層の上にある誘電材料の第二のコーティングと、当該金属層のすぐ上にあってこれと接触する保護金属層とを有し、第二のコーティングが、厚さが少なくとも１０ｎｍの、ケイ素化合物ＳｉＯ₂、ＳｉＯ_xＣ_y、ＳｉＯ_xＮ_yと、Ｓｉ₃Ｎ₄又はＡｌＮのような窒化物と、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＣｒＣ、ＴａＣのような炭化物とから選ばれた、酸素の拡散に対する少なくとも一つのバリヤ層を含み、そして上記の金属層は下にある誘電性コーティングと直接接触している透明基材が提案されている。
【０００９】
また、特開昭６２−２１６９４４号公報には、無機ガラスから成る基体を
ａ）酸化錫、二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化タンタル及び酸化ジルコニウム又はこれらの混合酸化物の群から選択される酸化物からなる第１の層、
ｂ）タンタル、タングステン、ニツケル及び鉄又はこれらの金属の１つを少なくとも５０重量％含有する合金の群から選択される金属から成る第２の層、
ｃ）銀又は銀成分少なくとも５０重量％を有する銀合金から成る第３の層、
ｄ）第２の層を形成する群から選択される金属から成る第４の層、及び
ｅ）第１の群を形成する酸化物から選択される酸化物から成る第５の層
で被覆することにより、可視スペクトル範囲内で高い透過特性及び熱線に対する高い反射特性を有するウインドウーガラスを製造する方法において、基板を全層パケットａ）〜ｅ）と一緒に少なくともガラスの軟化点に加熱し、熱した状態で塑性変形しかつ変形した状態で冷却することを特徴とする、可視スペクトル範囲内で高い透過特性及び熱線に対する高い反射特性を有するウインドーガラスの製法が提案されている。
【００１０】
さらに、特開平５−２１３６３２号公報には、ガラス基板上に、ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｃｒと等の金属、これらの窒化物、ホウ化物、炭化物等からなる熱線遮断膜を形成した後、ケイ窒化ジルコニウム等の、可視光領域において透明で、酸化されても透明な第１の保護膜を形成し、更に、酸化スズ等の酸素バリヤ性の高い酸化物からなる第２の保護膜を形成する熱処理被覆ガラスの製造方法が提案されている。
【００１１】
しかしながら、従来提案されている各種ガラス積層体は、後加熱における耐熱性が十分なものではなく、熱処理を伴う成形加工によって、Ａｇ主成分層の膜質が劣化して、光学特性が劣化する問題があった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、耐熱性に優れ、強化、曲げ加工等の成形加工時における加熱によっても光学特性が劣化せず、機能性透明物品の素材として好適なガラス積層体を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、そのガラス積層体を素材として用いて、光学特性に優れる機能性透明物品を得ることができる方法、およびその機能性透明物品を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、ガラス基体と、ガラス基体上に、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）（以下、単に「膜（Ａ）」という）を含む酸化物からなる第１層を有し、
第１層の上に、Ａｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）（以下、単に「層（Ｂ）」という）と、酸化物、窒化物および炭化物から選ばれる少なくとも１種からなる層（Ｃ）（以下、単に「層（Ｃ）」という）とが、層（Ｂ）および層（Ｃ）の順に１層または交互に複数層積層され、
第１層と層（Ｂ）および層（Ｃ）、との合計の層数が２ｎ＋１（ｎは正の整数である）であるガラス積層体を提供する。
なお、Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）とは、層または膜中に含まれるＡｌ原子とＺｎ原子の総和に対するＡｌ原子の割合（ａｔ％）の意であり、以下同様である。
【００１４】
また、本発明は、前記ガラス積層体の具体的態様として、ガラス基体上に、基体側から順次、膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層、層（Ｂ）、ならびに層（Ｃ）が積層されたガラス積層体を提供する。
【００１５】
さらにまた、本発明は、前記ガラス積層体の具体的態様として、ガラス基体上に、基体側から順次、基体側に配設された膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層、層（Ｂ）、層（Ｃ）、層（Ｂ）、ならびに層（Ｃ）を有するガラス積層体を提供する。
【００１６】
また、本発明は、前記ガラス積層体を熱処理する工程を有する機能性透明物品の製造方法をも提供するものである。
さらに、本発明は、前記の方法によって得られる機能性透明物品を提供するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法について、詳細に説明する。
【００１８】
本発明のガラス積層体は、膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層を有し、第１層の上に、層（Ｂ）と、層（Ｃ）とが、層（Ｂ）および層（Ｃ）の順に１層または交互に複数層積層された層構成を有する積層体である。本発明のガラス積層体は、第１層の上に、基体側から順次、層（Ｂ）および層（Ｃ）を、それぞれ１層有する構造のものでもよいし、層（Ｂ）および層（Ｃ）を交互に複数層積層した構造を有するものでもよい。また、層（Ｂ）と層（Ｃ）の間には、必要に応じて他の層が配設されていてもよい。
また、本発明の積層体において、第１層と、第１層上に積層される層（Ｂ）および層（Ｃ）との合計の層数は２ｎ＋１（ｎは正の整数である）である。
【００１９】
本発明のガラス積層体において、ガラス基体は、特に制限されない。本発明のガラス積層体を、自動車等の車両や建築用の窓ガラスの用途に用いる場合は、ガラス基体として、ソーダライムガラスが一般的に用いられる。
【００２０】
本発明のガラス積層体において、ガラス基体上に形成される第１層は酸化物からなり、膜（Ａ）のみからなるものでもよい。
また、膜（Ａ）以外に、他の酸化物膜（以下、単に「膜（Ａ−１）」という）を有する複層構造の層であってもよい。また、第１層における膜（Ａ）と膜（Ａ−１）の配置は、膜（Ａ）が、ガラス基体に隣接する位置に配設される層構成とすることが好ましい。
【００２１】
また、膜（Ａ−１）を構成する材料としては、具体的には、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｇａ、Ｉｎ等の酸化物が挙げられる。例えば、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ａｌ、ＴａおよびＺｒから選ばれる少なくとも１種の元素の酸化物が挙げられる。他には、例えば、Ａｌ、Ｇａ、Ｓｉ、Ｓｎ等を含む酸化亜鉛、Ｓｎを含む酸化インジウムが挙げられる。
膜（Ａ−１）は、単膜でもよいし、２種以上の膜が積層された膜でもよい。
【００２２】
膜（Ａ−１）としては、層（Ｂ）を安定的に、かつ高い結晶性を有しながら形成することができる点で、Ｚｎの酸化物膜またはＳｎ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｂ、Ｍｇ、ＩｎおよびＧａから選ばれる少なくとも１種の金属元素を含むＺｎの酸化物膜が好ましい。特に、Ａｌおよび／またはＴｉを含むＺｎの酸化物膜が好ましい。
【００２３】
膜（Ａ−１）の具体例としては、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１〜１０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（ａ）が挙げられる。
特に、第１層は、膜（Ａ）と、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１〜１０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（ａ）とを有し、かつ、膜（ａ）はＡｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）に接して設けられ、膜（Ａ）はガラス基体と膜（ａ）との間に設けられることが好ましい。膜（ａ）はガラス基体と膜（Ｂ）との間に設けられることが好ましい。膜（ａ）のＡｌの含有割合は、特に１．５〜１０ａｔ％さらには３〜５ａｔ％であることが好ましい。
Ｚｎの酸化物膜（ａ）を形成すると、成膜装置、雰囲気、成膜条件等を大幅に変更しなくても、膜（Ａ）の成膜に引き続いて膜（Ａ−１）の成膜を行なうことができ、生産上、コスト的に有利である。また、第１層としては、例えば、ガラス基体に接して膜（Ａ−１）を設け、さらに、膜（Ａ）、膜（Ａ−１）を順次積層させた３層からなる多層構成であってもよい。
【００２４】
後加熱によってガラス基体から生じるアルカリ成分、例えば、Ｎａ⁺イオン等は、第１層に拡散・蓄積して、酸化等によりイオン化したＡｇと相互拡散を起こすことにより、層（Ｂ）中のＡｇが侵食を受けて積層体の層構造の乱れを引き起こして、光学特性および電気的特性を劣化させる。膜（Ａ）は、こうした劣化を防止する働きを有するものである。
【００２５】
膜（Ａ）におけるＡｌの含有割合は、Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合である。Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５ａｔ％未満の割合でＡｌを含む酸化亜鉛からなる膜は、Ａｌの含有量が少ないため非晶質化せず、酸化亜鉛の結晶成長により結晶粒が基板の法線方向に細長く成長した結晶組織、いわゆる柱状晶組織を構成する。この柱状晶組織を有する膜では、粒界での拡散が生じ易く、基体から生じるアルカリ成分の拡散による光学特性および電気的特性の劣化を防止することができない。一方、Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で５０ａｔ％を超える酸化亜鉛からなる膜は、酸化アルミニウム膜の性質に近づいていく。酸化アルミニウム膜は、本来的に、アルカリ成分を阻止する性能に乏しい。そのため、Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で５０ａｔ％を超える酸化亜鉛からなる膜は、基体から生じるアルカリ成分の拡散による光学特性および電気的特性の劣化を防止する性能が不十分である。特にＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜３０ａｔ％の割合が好ましい。
【００２６】
第１層における膜（Ａ）の膜厚（幾何学的膜厚、以下も同様）は、熱処理時にガラス基体から積層膜中へアルカリ成分が拡散するのを十分に抑制するために、少なくとも５ｎｍ以上が好ましく、特に、１０ｎｍ以上が好ましい。第１層全体の厚さは、本発明のガラス積層体の積層膜に要求される光学的特性に応じて、通常、１１〜５０ｎｍから適宜選択される。また、第１層を、膜（Ａ）のみで構成することもできる。
【００２７】
層（Ｂ）は、Ａｇのみからなる層、またはＡｇを主成分とし、他の金属元素（例えば、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃｕ等）を含む層である。他の金属元素を含む場合、他の金属元素の含有割合は、Ａｇと他の金属元素の総量に対して０．３〜１０ａｔ％であることが好ましい。他の金属元素が０．３ａｔ％未満では、Ａｇの安定化の効果が低下し、また、１０ａｔ％を超えても安定化の効果が低下する。特に、他の金属元素が、Ｐｄであると、Ａｇ原子の不動化、すなわちＡｇのマイグレーションの低減を図ることができ、高温下での安定性および化学的耐久性に優れた層を形成することができる。Ｐｄの含有量が多くなると、成膜速度が低下し、また、可視光透過率も低下し、かつ、可視光線と近赤外線との選択遮断性が悪化する傾向にある。そのため、Ｐｄの含有量は、５．０ａｔ％以下が適当である。特に、０．３〜２．０ａｔ％が好ましい。
【００２８】
本発明のガラス積層体が、層（Ｂ）を複数層有する場合には、それぞれの層（Ｂ）は、同じ組成でもよいし、異なる組成でもよい。また、層（Ｂ）は、複数の層が積層された構造の層でもよい。例えば、ＡｇとＰｄとからなる多層構造の層であってもよい。
【００２９】
層（Ｃ）は、酸化物、窒化物および炭化物から選ばれる少なくとも１種からなる層である。
層（Ｃ）を構成する材料としては、具体的には、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｇａ、Ｉｎ等の酸化物、窒化物、炭化物、またはこれらの複合化合物が挙げられる。
【００３０】
酸化物としては、例えば、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ａｌ、ＴａおよびＺｒから選ばれる少なくとも１種の元素の酸化物が挙げられる。他には、例えば、Ａｌ、Ｇａ、Ｓｉ、Ｓｎ等を含む酸化亜鉛、Ｓｎを含む酸化インジウムが挙げられる。膜（Ａ）や膜（Ａ−１）の組成と同一または類似のものも用い得る。
窒化物としては、例えば、Ｓｉ、ＡｌおよびＢから選ばれる少なくとも１種以上の元素の窒化物（Ａ）、またはＺｒもしくはＴｉの窒化物と窒化物（Ａ）との混合物（複合窒化物を含む。）などが挙げられる。
また、その他としては、ＳｉＯ_xＣ_y、ＳｉＯ_xＮ_y、ＳｉＡｌ_xＮ_y、ＳｉＡｌ_xＯ_yＮ_z等が挙げられる。
層（Ｃ）は、単膜でもよいし、２種以上の膜が積層された膜であってもよい。
例えば、層（Ｃ）は、膜（Ａ）と、酸化チタン膜または窒化ケイ素膜との２以上の膜から構成されるものでもよい。
【００３１】
また、本発明のガラス積層体が、層（Ｃ）を複数層有する場合には、それぞれの層は、同じ組成でもよいし、異なる組成でもよい。
【００３２】
本発明のガラス積層体において、層（Ｃ）のうち、基体側から最も離れた位置にある層（Ｃ）（以下、単に「層（Ｃ₀）」という）は、窒化物層または酸化物層であることが好ましい。
窒化物層としては、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ボロン、窒化ジルコニウム、窒化チタンおよび窒化ハフニウムから選ばれる少なくとも１種の窒化物からなる窒化物層（以下、「層（Ｃ−Ｎ）」という）が好ましい。特に、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素と窒化アルミニウムの混合窒化物、窒化ケイ素と窒化ジルコニウムの混合窒化物が好ましい。
酸化物層としては、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化スズ、酸化ケイ素から選ばれる少なくとも１種の酸化物からなる酸化物層（以下、「層（Ｃ−Ｏ）」という）が好ましい。特に、酸化スズと酸化ケイ素の混合酸化物が好ましい。
【００３３】
特に、層（Ｃ₀）が、層（Ｃ−Ｎ）を含む層であると、ガラス積層体の強化や曲げ等の熱処理工程、あるいは最終製品に加工する前の保管中もしくは使用時に、表面から拡散する酸素や水分によって、層（Ｂ）が劣化するのを防止するために有効である。層（Ｃ−Ｎ）は、酸素や水分を内部に拡散させにくい性質を有するため、第１層における膜（Ａ）の作用効果と相まって、ガラス積層体の耐湿性および耐酸化性をきわめて向上させる。
【００３４】
さらに、本発明のガラス積層体と、もう一枚のガラス基体とを、複数積層された層を内側にして、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）を介して貼り合わせて合わせガラスとする場合には、層（Ｃ₀）におけるＰＶＢと接する層としてエネルギーギャップが４ｅＶ以上の材料からなる層（例えば、４ｅＶ以上の層（Ｃ−Ｎ）または４ｅＶ以上の層（Ｃ−Ｏ））を配設すると、ＰＶＢを介して本発明のガラス積層体と、もう一枚のガラス基体との間の接着性を長期にわたって安定して保つことができ、自動車用の安全ガラスや防盗ガラスとして有用であるだけでなく、擦傷や腐食に対して弱いＡｇ主成分層の劣化を防止するために有効である。
【００３５】
また、本発明において、層（Ｃ）が酸化物、または酸窒化物等の酸化物を含む複合化合物からなる層であって、酸化性ガスを雰囲気中に含む反応性スパッタリングによって形成する場合には、層（Ｂ）の上に直接、層（Ｃ）を形成すると、層（Ｂ）が酸化されて、所要の光学特性および電気的特性を有するガラス積層体が得られなくなるおそれがある。したがって、金属または窒化物からなるバリア層を配設することが好ましい。バリア層は、通常、一部が未酸化状態で残存しており、熱処理時に酸化して酸化物となって透明化し、可視光透過率が向上する。
【００３６】
バリア層としては、Ｔｉ，Ｚｎ、ＡｌＺｎ、ＴｉＺｎ、ＳＵＳ、Ｚｒ、Ｔａ、ＮｉＣｒ、Ｎｉ、Ｎｉ−Ｔｉ、などの金属、該金属の不完全酸化物（一部が未酸化の酸化物）、該金属の窒化物が挙げられる。バリア層の厚さは、１〜５ｎｍの範囲が好ましい。１ｎｍより薄いとバリア層として十分に働かず、逆に、５ｎｍより厚いとガラス積層体の可視光透過率が低下する等の不具合が生じるおそれがある。
また、層（Ｂ）の直上に配設される層（Ｃ）が、例えば、Ａｌを含む酸化亜鉛からなる層等の酸化物層である場合には、同じ金属組成比のＡｌ−Ｚｎ合金からなるバリア層を配設すると、層（Ｂ）と、層（Ｃ）との層間接着力が大きくなり、多層構造の層の耐久性の向上に有効である。また、層（Ｂ）における銀の結晶性の観点から、および耐熱性の観点から、やはりＡｌ−Ｚｎ合金からなるバリア層が好ましい。なお、バリア層は、層（Ｂ）の下に設けられてもよい。
【００３７】
また、層（Ｃ₀）において基体側から最も遠い位置にある膜としては、酸化ケイ素と酸化スズとの混合物からなる膜（以下、「ＳｉＳｎ_xＯ_y膜」という）が好ましい。ＳｉＳｎ_xＯ_y膜の下層が、酸化亜鉛を主成分とする膜である場合には、酸化亜鉛を主成分とする膜との相性がよく、界面で強い密着性が得られるため、有効である。
ＳｉＳｎ_xＯ_y膜におけるＳｎとＳｉの総量に対するＳｉの含有割合は、５〜９５ａｔ％であることが好ましく、さらに３０〜９０ａｔ％，特に４０〜９０ａｔ％が好ましい。
【００３８】
ＳｉＳｎ_xＯ_y膜は、水の侵入を防止する機能（耐水性）を向上させる。酸化スズに酸化ケイ素が混合されると、形成される膜が結晶質から非晶質構造となり緻密な膜となる。酸化ケイ素の含有割合が少なすぎると、膜の耐水性が低下する。また、膜が非晶質から結晶質に近づき、膜表面の平滑性がなくなるおそれがある。また、酸化ケイ素の含有割合が多くなりすぎると、用いる合金ターゲット中のＳｉの含有割合が多くなり、直流スパッタリング法で成膜する際に、アーキングが発生しやすくなり、生産性の低下の原因となる。
ＳｉＳｎ_xＯ_y膜の厚さは、特に限定されないが、耐水性および耐擦傷性を向上させるためには、５ｎｍ程度以上必要であり、厚さが増加するにつれて、耐水性や耐擦傷性が向上する。層の厚さの上限は特にないが、２０ｎｍあれば十分な性能が得られる。
【００３９】
本発明のガラス積層体の具体例としては、３層系（第１層／層（Ｂ）／層（Ｃ））、５層系（第１層／層（Ｂ）／層（Ｃ）／層（Ｂ）／層（Ｃ））、７層系（第１層／層（Ｂ）／層（Ｃ）／層（Ｂ）／層（Ｃ）／層（Ｂ）／層（Ｃ））などが挙げられる。７層以上の多層系の積層体も可能であるが、層数を重ねるにしたがって、得られる多層構造の積層膜の可視光透過率が低下し、窓ガラス等の用途には適さなくなる。反射防止効果を付与して、いわゆるぎらぎらした外観を呈するのを防止するとともに、高い可視光透過率を有し、かつ高い透明性を有することから、３層系および５層系が好ましい。特に、５層系（Ａｇ主成分層２積層系）の積層体は、 3層系（Ａｇ主成分層１積層系）よりも優れた遮熱性能を得ることができる点で、好ましい。
【００４０】
３層系の積層膜を有するガラス積層体において、第１層、層（Ｂ）および層（Ｃ）の各層の厚さは、それぞれ１５〜４５ｎｍ、９〜１６ｎｍ（特に９〜１２ｎｍ）および３０〜４５ｎｍが適当である。厚さ２ｍｍの無着色ソーダライムガラスからなるガラス基体の上に、３層系の積層膜を形成したガラス積層体の熱処理後の代表的な光学特性としては、約７５〜８５％の可視光透過率と、約５０〜７０％の熱線透過率が挙げられる。
【００４１】
５層系の積層膜を有するガラス積層体において、基体側から順に形成される第１層、層（Ｂ）、層（Ｃ）、層（Ｂ）および層（Ｃ）の各層の厚さは、それぞれ１６〜５０ｎｍ（特に２０〜４５ｎｍ）、６．５〜１６ｎｍ（６．５〜１２．５ｎｍ）、４０〜１００ｎｍ（特に４５〜９０ｎｍ）、６．５〜１６ｎｍ（特に６．５〜１２．５ｎｍ）および１６〜５０ｎｍ（特に２０〜４５ｎｍ）が適当である。厚さ２ｍｍの無着色ソーダライムガラスからなるガラス基体の上に、５層系の積層膜を形成したガラス積層体の熱処理後の代表的な光学特性としては、約７０〜８０％の可視光透過率と、約４０〜５０％の熱線透過率が挙げられる。
【００４２】
本発明において、膜（Ａ）、第１層、層（Ｂ）および層（Ｃ）の膜厚は、本発明のガラス積層体の個々の用途において、色調、透過率、反射率、あるいは熱線遮断性能、電気特性等について要求される特性に応じて、適宜調整あるいは変更することができる。
【００４３】
本発明のガラス積層体の製造は、ガラス基体の表面を清浄化処理した後、膜（Ａ）を含む第１層、層（Ｂ）および層（Ｃ）を、順次、形成することによって行うことができる。形成方法は、特に限定されず、蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタリング法などを用いることができる。大面積のガラス基体に対しては、膜厚の均一性を容易に制御でき、生産性にも優れるという点で、直流スパッタリング法が有効である。
【００４４】
膜（Ａ）の形成は、例えば、１）ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）が前記の特定の範囲にあるように調製された、酸化亜鉛と酸化アルミニウムの焼結体からなるセラミックスターゲットを用い、アルゴンガスまたは酸化性ガスを添加したアルゴンガス雰囲気中でスパッタリングすることによって、あるいは２）Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）が前記の特定の範囲にあるように調製された、Ｚｎ−Ａｌ合金ターゲットを用い、酸化性雰囲気中で反応性スパッタリングすることによって行うことができる。
【００４５】
また、本発明は、前記ガラス積層体を熱処理する工程を有する機能性透明物品の製造方法、およびその方法で得られた機能性物品を提供するものである。
この機能性透明物品の具体例としては、例えば、自動車、電車等の車両の窓ガラス、特に、１）自動車のフロントウィンドウまたはリヤウィンドウに配設される湾曲状または複雑な三次元形状を有する窓ガラス、２）ビル、住宅等の建築物に用いられる複雑な三次元形状を有する窓ガラス、３）Ａｇ主成分層に通電して発熱体として用いる電熱ガラス、あるいは４）電磁シールドガラス等が挙げられる。
この機能性透明物品は、その成形加工時において、素材として用いられる本発明のガラス積層体が、加熱に対する耐熱性に優れるため、光学的および電気的特性の劣化がなく、所望の性能を有するものでるため、有用である。
【００４６】
本発明の機能性透明物品の製造方法において、ガラス積層体に施される熱処理は、例えば、１）曲げ加工、２）強化処理、３）着色セラミックスプリントや銀からなるバスバープリントの焼成、４）真空複層ガラスの真空封止シール加工、５）ウェット法により塗布した低反射膜や防眩膜の焼成工程などにおいて施される。例えば、１）曲げ加工や２）強化処理では、大気雰囲気中で５７０〜７００℃に加熱される。
【００４７】
【実施例】
以下、実施例および比較例によって、本発明をより具体的に説明する。
【００４８】
（実施例１）
研磨洗浄、界面活性剤による洗浄、純水によるすすぎを順次行って、表面を洗浄処理した、縦３０ｃｍ×横３０ｃｍ×厚さ５ｍｍの無色のソーダライムガラスからなる基板を、基板を搬送しながらスパッタリングを行うインライン型スパッタリング装置内に入れ、装置内でガラス基板を往復させて、スパッタ雰囲気ガスを入れ換えるとともに、ターゲットを切り換えて、真空を破らずに、下記の厚さ（幾何学的膜厚）の５層を順次形成して、ガラス積層体を製造した。このとき、各層の厚さは、予め、同じ条件で成膜を行い、得られた膜について触針式膜厚計（Taylor-Hobson 社製、Talystep）を用いて幾何学的膜厚を測定して、その結果に基づいて、基板の搬送速度を調整して、所定の膜厚を形成するように制御した。
第１層３３ｎｍ
第２層１０ｎｍ
第３層７５ｎｍ
第４層１０ｎｍ
第５層３３ｎｍ
【００４９】
このとき、第１層は、まず、Ａｌを３０ａｔ％含むＺｎターゲットを用いて、ＡｒとＯ₂の混合ガス雰囲気中で、圧力２．０×１０^-3Ｔｏｒｒ、投入電力２．２Ｗ／ｃｍ²の条件で、スパッタリングを行って、Ａｌを含むＺｎＯからなる膜（ＺｎＡｌ_xＯ_y膜：［Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）］×１００＝３０ａｔ％）を形成した後、Ａｌを３ａｔ％含むＺｎターゲットを用いて、ＡｒとＯ₂の混合ガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．０×１０^-3Ｔｏｒｒ）、投入電力２．２Ｗ／ｃｍ²の条件で、スパッタリングを行って、Ａｌを含むＺｎＯからなる層（ＡＺＯ膜：［Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）×１００＝３ａｔ％）を形成し、ガラス表面側から順次、ＺｎＡｌ_xＯ_y膜（１１ｎｍ）およびＡＺＯ膜（２２ｎｍ）からなる構造の層を形成した。
【００５０】
また、第２層および第４層として、Ｐｄを１ａｔ％含むＡｇターゲットを用いて、アルゴンガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．０×１０^-3Ｔｏｒｒ）、投入電力０．８６Ｗ／ｃｍ²の条件でスパッタリングを行ってＡｇを主成分とする金属層（Ａｇ−１ａｔ％Ｐｄ層）を形成した。
【００５１】
第３層は、Ａｌを３ａｔ％含むＺｎターゲットを用いて、ＡｒとＯ₂の混合ガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．０×１０^-3Ｔｏｒｒ）、投入電力２．２Ｗ／ｃｍ²の条件で、スパッタリングを行って、Ａｌを含むＺｎＯからなる層（ＡＺＯ膜：［Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）］×１００＝３ａｔ％）を形成した。
【００５２】
第５層は、まず、第３層と同様に、Ａｌを含むＺｎＯからなる層（ＡＺＯ膜：［Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）］×１００＝３ａｔ％）を２２ｎｍの厚さに形成した後、導電性の金属シリコンからなるターゲットを用いて、ＡｒとＮ₂の混合ガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．０×１０^-3Ｔｏｒｒ）、投入電力２．２Ｗ／ｃｍ²の条件でスパッタリングを行い、窒化ケイ素からなる膜（ＳｉＮ_x膜）を１１ｎｍの厚さに形成した。
【００５３】
さらにまた、第３層と第５層を形成する前に、第２層と第４層の金属層の酸化を防止するために、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で３ａｔ％含むＺｎターゲットを用い、アルゴンガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．０×１０^-3Ｔｏｒｒ）、投入電力０．２Ｗ／ｃｍ²の条件でスパッタリングを行って、第２層と第３層の界面、および第４層と第５層の界面に、ＺｎとＡｌの金属からなるバリア層（膜厚：約２ｎｍ）を形成した。
得られたガラス積層体に、ガラス実測温度６２３℃で５分間保持する曲げ加工のための熱処理を加え、機能性透明物品を得た。この熱処理の前後における可視光透過率、熱線透過率、および熱処理後のヘイズ値を、それぞれ分光光度計およびヘイズメーターによって測定した。ヘイズ値はＪＩＳＲ３２１２に従って測定した。可視光透過率はＪＩＳＲ３１０６に従って測定した。結果を表１に示す。
【００５４】
（実施例２）
実施例１における第１層を表１に示すように変化した以外は、実施例１と同様にして機能性透明物品を製造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示す。
【００５５】
（比較例１〜４）
第１層として、酸化スズからなる膜／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で形成した以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体を製造し、さらに機能性透明物品を製造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示す。なお、酸化スズからなる膜の形成条件は、表２に示す通りである。
【００５６】
（比較例５）
第１層として、酸化チタンからなる膜／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で形成した以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体を製造し、さらに機能性透明物品を製造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示す。なお、酸化チタンからなる膜の形成条件は、表２に示す通りである。
【００５７】
（比較例６、７）
第１層として、ＳｎをＳｎ／（Ｓｎ＋Ｚｎ）で１０ａｔ％含む酸化亜鉛膜（ＺｎＳｎ_xＯ_y膜）／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で形成した以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体を製造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示す。なお、ＺｎＳｎ_xＯ_y膜の形成条件は、表２に示す通りである。
【００５８】
（比較例８）
第１層として、Ｚｒを含む窒化ケイ素膜（ＳｉＺｒ_xＮ_y膜）／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で形成した以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体を製造し、さらに機能性透明物品を製造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示す。なお、ＳｉＺｒ_xＮ_y膜の形成条件は、表２に示す通りである。
【００５９】
（比較例９）
第１層として、炭窒化酸化ケイ素膜（ＳｉＯ_xＣ_yＮ_z膜）／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で形成した以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体を製造し、さらに機能性透明物品を製造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示す。なお、ＳｉＯ_xＣ_yＮ_z膜の形成条件は、表２に示す通りである。
【００６０】
【表１】

【００６１】
注＊１ＺｎＡｌ_xＯ_y：Ａｌを［Ａｌ／（Ｚｎ＋Ａｌ）］×１００＝３０ａｔ％含む酸化亜鉛膜
＊２ＡＺＯ：Ａｌを［Ａｌ／（Ｚｎ＋Ａｌ）］×１００＝３ａｔ％含む酸化亜鉛膜
＊３ＺｎＳｎ_xＯ_y：Ｓｎを［Ｓｎ／（Ｚｎ＋Ｓｎ）］×１００＝１０ａｔ％含む酸化亜鉛膜
＊４ＳｉＺｒ_xＮ_y: Ｚｒを［Ｚｒ／（Ｓｉ＋Ｚｒ）］×１００＝３３ａｔ％含む窒化ケイ素膜
＊５ＳｉＯ_xＣ_yＮ_z：炭窒化酸化ケイ素膜
【００６２】
【表２】

【００６３】
表１に示すとおり、実施例１〜４においては、熱処理によってＡｇ−１ａｔ％Ｐｄ層は劣化しなかった。また、未酸化のバリア層が十分に酸化される一方、また、Ａｇ−１ａｔ％Ｐｄ層が焼きなまされて格子欠陥が低減した。その結果、熱処理後の光学特性として、５ｍｍ厚の無着色ガラス板使用時の可視光透過率が７３％以上（すなわち、２ｍｍ厚の無着色ガラス板使用時では７５％以上に相当）の高い透明性と、熱線透過率が５０％以下の良好な遮熱性能が得られた。また、ヘイズ値は０．５％以下であり十分に低かった。
【００６４】
また、第１層において、ＺｎＡｌ_xＯ_y膜の代わりに酸化スズからなる膜を形成した比較例２〜４では、熱処理後に、可視光透過率が７０．３〜７１．６％の範囲を示し、十分高い透明性が得られなかった。比較例１では、７４．１％と高い可視光透過率が得られたが、ヘイズ値が０．８％と高めの値を示し、外観的には劣ったものであった。
【００６５】
さらに、比較例５、８および９は、それぞれ第１層において、ＺｎＡｌ_xＯ_y膜の代わりに、ＴｉＯ₂膜、ＳｉＺｒ_xＮ_y膜およびＳｉＯ_xＣ_NＮ_y膜を形成した例であり、熱処理後に１．１〜８．２％と高いヘイズ値を示し、実用に供せるものではなかった。
【００６６】
さらにまた、比較例６および７は、それぞれ第１層において、ＺｎＡｌ_xＯ_y膜の代わりに、ＺｎＳｎ_xＯ_y膜を形成した例であり、熱処理後に高い可視光透過率および熱線反射率を示す厚さのもの（比較例６）では、ヘイズ値が高めとなり、逆にヘイズ値が小さくなる厚さのもの（比較例７）では、可視光透過率が十分に高くない。
【００６７】
（実施例３および４）
表面を洗浄処理した、縦３０ｃｍ×横３０ｃｍ×厚さ５ｍｍの無色のソーダライムガラスからなる基板を、基板を搬送しながらスパッタリングを行うインライン型スパッタリング装置内に入れ、実施例１と同様にして、下記の表３に示す層構成の積層膜を形成して、ガラス積層体を製造した。このとき、各層の厚さは、実施例１と同様にして、基板の搬送速度を調整して、所定の膜厚を形成するように制御した。
【００６８】
【表３】

【００６９】
このとき、第１層〜第４層については、実施例１における第１層〜第４層の形成条件と同条件で形成した。
【００７０】
第５層におけるＡＺＯ膜は、実施例１の第５層におけるＡＺＯ膜の形成条件と同条件で形成した。
また、実施例３における第５層における窒化アルミニウム（ＡｌＮ_x）膜は、Ａｌターゲットを用いて、ＡｒとＮ₂の混合ガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．０×１０^-3Ｔｏｒｒ）、投入電力２．２Ｗ／ｃｍ²の条件で、スパッタリングを行って形成した。
さらに、実施例４における第５層のＺｒを含む窒化ケイ素膜は、比較例８と同様にして形成した。
【００７１】
また第２層と第３層の界面、および第４層と第５層の界面に、ＺｎとＡｌの金属からなるバリア層（膜厚：約２ｎｍ）を、実施例１におけるバリア層の形成条件と同条件で形成した。
【００７２】
得られたガラス積層体を、６５０℃で３分間保持し、強化処理のための熱処理を加え、その後風冷して、機能性透明物品を得た。この機能性透明物品について、可視光透過率および熱線透過率、ならびにヘイズ値を、それぞれ分光光度計およびヘイズメーターによって測定したところ、下記の結果が得られ、ヘイズ値が十分に低く、かつ良好な透明性（高い可視光透過率）と遮熱性能（低い熱線透過率）を示すものであった。
【００７３】
【表４】

【００７４】
（実施例５）
表面を洗浄処理した、縦３０ｃｍ×横３０ｃｍ×厚さ５ｍｍの無色のソーダライムガラスからなる基板を用いて、下記の層構成からなる積層膜を形成して、ガラス積層体を製造した。このとき、各層の厚さは、実施例１と同様にして、基板の搬送速度を調整して、所定の膜厚を形成するように制御した。
第１層（ＺｎＡｌｘＯｙ層）３８ｎｍ
第２層（Ａｇ−１ａｔ％Ｐｄ層）１０ｎｍ
第３層（ＡＺＯ層／ＡｌＮ_x膜）２８ｎｍ／７．５ｎｍ
【００７５】
このとき、第１層および第２層は、それぞれ実施例１の第１層および第２層と同条件で形成した。
第３層におけるＡＺＯ層は、実施例１の第５層におけるＡＺＯ膜の形成条件と同条件で形成した。
【００７６】
また、第２層と第３層の界面の界面に、ＺｎとＡｌの金属からなるバリア層（膜厚：約２ｎｍ）を、実施例１におけるバリア層の形成条件と同条件で形成した。
【００７７】
さらに、第３層のＡＺＯ膜の上に、金属Ａｌターゲットを用い、窒素とアルゴンの混合ガス雰囲気中でスパッタリングを行ってＡｌＮ_x膜を形成した。
【００７８】
得られたガラス積層体を、６５０℃で３分間保持し、強化処理のための熱処理を加え、その後風冷して機能性透明物品を得た。この機能性透明物品について、可視光透過率、熱線透過率および熱線反射率、ならびにヘイズ値を、それぞれ分光光度計およびヘイズメーターによって測定したところ、可視光透過率８３．５％、熱線透過率５４．６％および熱線反射率２７．５％と、良好な透明性と遮熱性能を示し、また、ヘイズ値も０．３％と低く、良好な値を示した。
【００７９】
さらに、得られた積層膜について、４端子法により電気的特性の測定を行った。積層直後の熱処理を行う前の積層膜のシート抵抗値は８．０Ω／□であった。また、得られたガラス積層体を、５５０℃、６００℃および６５０℃の各種温度で３分間保持したところ、熱処理後のシート抵抗値は、５５０℃熱処理品は６．０Ω／□、６００℃熱処理品は５．８Ω／□、６５０℃熱処理品は６．５Ω／□を、それぞれ示した。これは、Ａｇ−１ａｔ％Ｐｄ層が焼きなまされて格子欠陥が減少した結果、抵抗が低下したためと考えられる。
【００８０】
次に、実施例１〜２で得られた５層系の積層膜を有する６５０℃熱処理後のガラス積層体、ならびに実施例５で得られた３層系の積層膜を有する６５０℃熱処理後のガラス積層体を、それぞれの積層膜側に、ポリビニルブチラールからなる接着層（厚さ：０．７６ｍｍ）を介して、もう１枚のソーダライムガラス基板（厚さ：２ｍｍ）を貼り合わせて、５種の合わせガラスを製造した。得られた合わせガラスについて、可視光透過率、熱線透過率および熱線反射率を測定し、熱処理後の各例のガラス積層体の可視光透過率、熱線透過率および熱線反射率とともに、表５に示した。
【００８１】
【表５】

【００８２】
表５において、５層系（Ａｇ主成分層２積層系）の積層膜を有する合わせガラスが、約４２〜４３％の熱線透過率を示している。一方、３層系（Ａｇ主成分層１積層系）の積層膜を有する合わせガラスは、約６５％の熱線透過率を示している。したがって、５層系のガラス積層体は、３層系よりも非常に良好な遮熱性能を実現できる。さらに、５層系の積層膜を有する合わせガラスは、熱線反射率が約３１〜３２％と、３層系における熱線反射率約１８％に対して大幅に高く、熱線反射性能においても優れる。
従来のグリーンやブロンズ色の着色ガラスを用いた遮熱方法では、熱線反射率は６〜７％と低く、また、遮熱性能のほとんどをガラスによる熱線吸収に拠っていて、吸収された熱の一部が室内へ再輻射される。したがって、本発明のガラス積層体の方が、遮熱性能において優位性を有することが明らかである。
【００８３】
【発明の効果】
本発明のガラス積層体は、耐熱性に優れるため、強化、曲げ加工等の成形加工時における加熱によっても光学特性が劣化せず、機能性透明物品の素材として好適である。
そのため、本発明のガラス積層体は、予め、大面積の平板状のものを製造しておけば、所望の機能性透明物品を製造する際に、所望の大きさに切断してから成形加工等の処理（例えば曲げ加工や強化処理）を施せばよく、貯蔵、保管、生産上のメリットが大である。
また、本発明の機能性透明物品の製造方法によれば、本発明のガラス積層体を素材として用いて、光学特性に優れる機能性透明物品を得ることができる。
さらに、本発明の機能性透明物品の製造方法によれば、強化、曲げ加工等の成形加工時における加熱によってもガラス積層体の光学特性が劣化しないため、所望の性能を維持して、安定して生産することができる。

Claims

ガラス基体と、ガラス基体上に、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層を有し、
第１層の上に、Ａｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）と、酸化物、窒化物および炭化物から選ばれる少なくとも１種からなる層（Ｃ）とが、層（Ｂ）および層（Ｃ）の順に１層または交互に複数層積層され、
第１層と層（Ｂ）および層（Ｃ）、との合計の層数が２ｎ＋１（ｎは正の整数である）であるガラス積層体。
層（Ｃ）の少なくとも１層が、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む層である請求項１に記載のガラス積層体。
ガラス基体上に、基体側から順次、基体側に配設されたＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層、Ａｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）、ならびに酸化物、窒化物、炭化物およびこれらの複合化合物から選ばれる少なくとも１種からなる層（Ｃ）が積層されたガラス積層体。
層（Ｃ）が、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む層である請求項３に記載のガラス積層体。
ガラス基体上に、基体側から順次、基体側に配設されたＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層、Ａｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）、酸化物、窒化物および炭化物から選ばれる少なくとも１種からなる層（Ｃ）、Ａｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）、ならびに酸化物、窒化物、炭化物およびこれらの複合化合物から選ばれる少なくとも１種からなる層（Ｃ）を有するガラス積層体。
層（Ｃ）の少なくとも１層が、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む層である請求項５に記載のガラス積層体。
膜（Ａ）が、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜３０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなるものである請求項１〜６のいずれかに記載のガラス積層体。
第１層は、膜（Ａ）と、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１〜１０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（ａ）とを有し、かつ、膜（ａ）はＡｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）に接して設けられ、膜（Ａ）はガラス基体と膜（Ｂ）との間に設けられることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の積層体。
請求項１〜８のいずれかに記載のガラス積層体を５７０℃以上に熱処理する工程を有する機能性透明物品の製造方法。
請求項９の方法によって得られる機能性透明物品。