JP2000229380A - ガラス積層体及びその製造方法 - Google Patents

ガラス積層体及びその製造方法

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JP2000229380A JP11359734A JP35973499A JP2000229380A JP 2000229380 A JP2000229380 A JP 2000229380A JP 11359734 A JP11359734 A JP 11359734A JP 35973499 A JP35973499 A JP 35973499A JP 2000229380 A JP2000229380 A JP 2000229380A
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glass
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Nobutaka Aomine
信孝 青峰
Daniel Decroupet
デクルペ ダニエル
Junichi Ebisawa
純一 海老沢
Kazuyoshi Noda
和良 野田
Satoshi Takeda
諭司 竹田
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】熱処理時の熱線反射層の劣化が効果的に防止さ
れ、熱処理を施しても低いヘイズ値を有するガラス積層
体の提供。 【解決手段】ガラス基体10、底部反射防止層11、下
部バリア層14、熱線反射層15、上部バリア層16、
中央部反射防止層17、下部バリア層18、熱線反射層
19、上部バリア層20、頂部反射防止層21の順に構
成され、下部バリア層のうち少なくとも一層はZnと特
定の材料Xとを含むガラス積層体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス積層体、特
に太陽光制御フィルタとして適用でき、熱処理工程に耐
え得る、ガラス積層体とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ヨーロッパ特許出願公開第233003
号には、ガラス基板/SnO2底部反射防止層/Al、
Ti、Zn、Zr又はTaの第1金属バリア層/Ag層
/Al、Ti、Zn、Zr又はTaの第2金属バリア層
/SnO2頂部反射防止層、という構成の、スパッタリ
ングにより形成された光学フィルタを有するガラス積層
体が記載されている。この光学フィルタは、可視光領域
においては入射光の大部分を透過しながら、赤外光領域
においては入射光の大部分を遮断するように設計されて
いる。このため、このフィルタは、良好な可視透過性を
保ちつつ、入射太陽光による温度上昇を低減するように
働き、特に自動車の風防ガラスに適している。
【0003】Ag層は、赤外光領域の入射光を反射する
ように働くため、この役割を果たすためには、銀の酸化
物ではなく、金属の銀として維持されていなくてはなら
ない。Ag層を両側から挟んでいる反射防止層は、可視
光領域における反射を低減するように働く。
【0004】第2金属バリア層は、その上のSnO2
射防止層を酸化性雰囲気中でスパッタリングにより形成
する間に、Ag層が酸化されるのを防ぐように働く。こ
のバリア層は、このスパッタリングプロセス中に少なく
とも部分的に酸化される。
【0005】第1金属バリア層の主な役割は、Ag層へ
酸素を到達させずに、このバリア層自身が酸化されるこ
とによって、曲げ加工、強化加工などの熱処理中に、A
g層が酸化されるのを防ぐことである。この熱処理中の
バリア層の酸化は、ガラス積層体の光透過率の上昇を引
き起こす。
【0006】ヨーロッパ特許出願公開第792847号
には、これと同じ原理に基づく、ガラス基板/ZnO反
射防止層/Znバリア層/Ag層/Znバリア層/Zn
O反射防止層/Znバリア層/Ag層/Znバリア層/
ZnO反射防止層、という構成の、熱処理可能な太陽光
制御ガラス積層体が記載されている。各Ag層の下に位
置するZnバリア層は、熱処理中に完全に酸化され、A
g層が酸化されるのを防ぐように働くように意図されて
いる。この分野でよく知られているように、間隔をあけ
て設けられた2層のAg層を有する構成は、Ag層が1
層の場合に比べて、フィルタの選択透過度(可視光に対
する透明性を保ちつつ赤外光の入射を有効に抑制する性
能)を向上させる。
【0007】ヨーロッパ特許出願公開第275474号
には、ガラス基板/ZnとSnの酸化物の反射防止層/
Tiバリア層/Ag層/Tiバリア層/ZnとSnの酸
化物の反射防止層、という構成の、熱処理可能な太陽光
制御ガラス積層体が記載されている。Tiバリア層は、
酸素に対する親和力が高く、酸化されて酸化チタンとな
りやすいことから、熱処理可能な膜構成においてはよく
用いられている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、熱処理時の
熱線反射層(金属層)の劣化が効果的に防止され、熱処
理を施しても低いヘイズ値を有するガラス積層体とその
製造方法の提供を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも、
ガラス基体、底部反射防止層、下部バリア層、熱線反射
層、上部バリア層、頂部反射防止層、の順に構成された
積層体を有するガラス積層体であって、下部バリア層
は、Znと材料Xとを含み、原子比X/Znが0.03
以上であり、材料Xは、周期表の3a、3b、4a、4
b、5a、5b及び6b、7b族の元素の群から選ばれ
た少なくとも1種の材料であることを特徴とするガラス
積層体(第1の態様のガラス積層体)を提供する。
【0010】本発明はまた、少なくとも、ガラス基体、
底部反射防止層、下部バリア層、熱線反射層、上部バリ
ア層、中央部反射防止層、下部バリア層、熱線反射層、
上部バリア層、頂部反射防止層、の順に構成された積層
体を有するガラス積層体であって、下部バリア層のうち
少なくとも一層は、Znと材料Xとを含み、原子比X/
Znが0.03以上であり、材料Xは、周期表の3a、
3b、4a、4b、5a、5b、6b及び7b族の元素
の群から選ばれた少なくとも1種の材料であることを特
徴とするガラス積層体(第2の態様のガラス積層体)を
提供する。
【0011】本発明における積層体は、ガラス基体と、
反射防止層、バリア層および熱線反射層からなる積層膜
とを含み、本発明のガラス積層体は該積層体を有する。
【0012】各反射防止層の材質としては、酸化物、窒
化物及び炭化物から選ばれる少なくとも1種が挙げられ
る。酸化物としては、例えば、Zn、Ti、Sn、S
i、Al、Ta及びZrから選ばれる少なくとも1種の
元素の酸化物が挙げられる。他には、例えば、Al、G
a、Si、Sn等を含む酸化亜鉛、Snを含む酸化イン
ジウムが挙げられる。
【0013】窒化物としては、例えば、Si、Al及び
Bから選ばれる少なくとも1種以上の元素の窒化物A、
又はZr、Tiいずれかの窒化物と窒化物Aとの混合物
(複合窒化物を含む。)などが挙げられる。また、その
他としては、SiOxy、SiOxy、SiAlxy
SiAlxyz等が挙げられる。反射防止層は、単膜
でもよいし、2種以上の膜が積層された膜でもよい。
【0014】特に、熱線反射層を安定的に、かつ高い結
晶性を有しながら形成できる点で、Znの酸化物膜、又
はSn、Al、Cr、Ti、Si、B、Mg、In及び
Gaから選ばれる少なくとも1種の元素を含むZnの酸
化物膜が好ましい。特に、Al及び/又はTiを含むZ
nの酸化物膜が好ましい。
【0015】熱線反射層は、Agのみからなる層、又は
Agを主成分とし、他の金属元素(例えば、Pd、A
u、Cu等)を含む層である。他の金属元素を含む場
合、他の金属元素の含有割合は、Agと他の金属元素の
総量に対して0.3〜10原子%であることが好まし
い。他の金属元素が0.3原子%未満では、Agの安定
化の効果が低下し、また、10原子%を超えても安定化
の効果が低下する。特に0.3〜5原子%であることが
好ましい。特に、他の金属元素がPdであると、Ag原
子の不動化(すなわちAgのマイグレーション)の低減
を図ることができ、高温下での安定性及び化学的耐久性
に優れた層を形成できる。Pdの含有量が多くなると、
成膜速度が低下し、可視光透過率も低下する。また、可
視光線と近赤外線との選択遮断性(可視光線を透過させ
近赤外線を遮断する性能)が悪化する傾向にある。その
ため、Pdの含有量は、5.0原子%以下が適当であ
る。特に、0.3〜2.0原子%が好ましい。
【0016】本発明のガラス積層体が、熱線反射層を複
数層有する場合には、それぞれの熱線反射層は同じ組成
でもよいし、異なる組成でもよい。また、熱線反射層
は、複数の層が積層された構造の層でもよい。例えば、
Ag層とPd層とからなる多層構造の層であってもよ
い。
【0017】第1の態様のガラス積層体において、基体
側から順に形成される底部反射防止層、熱線反射層及び
頂部反射防止層の各層の厚さは、それぞれ15〜45n
m、9〜16nm(特に9〜12nm)及び30〜45
nmが適当である。厚さ2mmの無着色ソーダライムガ
ラスをガラス基体として用いた場合、ガラス積層体の熱
処理後の代表的な光学特性としては、約75〜85%の
TLと、約50〜70%のTEが挙げられる。
【0018】なお、TEは、太陽エネルギー透過率(日
射透過率)であり、入射した全太陽光エネルギー(可視
光領域及び可視光領域以外の波長の光のエネルギー)に
対する、基体を透過した全太陽光エネルギーの割合を示
す。また、TLは、光透過率(可視光透過率)であり、
入射した可視光に対する、基体を透過した可視光の割合
を示す。
【0019】第2の態様のガラス積層体において、基体
側から順に形成される底部反射防止層、熱線反射層、中
央部反射防止層、熱線反射層及び頂部反射防止層の各層
の厚さは、それぞれ16〜50nm(特に20〜45n
m)、6.5〜16nm(特に6.5〜12.5n
m)、40〜100nm(特に45〜90nm)、6.
5〜16nm(特に6.5〜12.5nm)及び16〜
50nm(特に20〜45nm)が適当である。厚さ2
mmの無着色ソーダライムガラスをガラス基体として用
いた場合、ガラス積層体の熱処理後の代表的な光学特性
としては、約70〜80%のTLと、約40〜50%の
TEが挙げられる。
【0020】本発明においては、下部バリア層の一部又
は全部が、Znと材料Xと含む。具体的には、Znと材
料Xとの混合物(ZnとXとからなる金属、ZnとXと
からなる混合酸化物、酸化が不完全な該混合酸化物な
ど)である。本発明における下部バリア層は、Ag層が
熱処理中に酸化されるのを防ぐだけでなく、機械的耐久
性及び化学的耐久性の向上にも寄与する。
【0021】本発明における各層の形成には、例えば、
蒸着法(熱蒸着又は電子ビーム蒸着)、液体を熱分解す
る方法、化学的気相蒸着法、真空蒸着法、スパッタリン
グ法(特にマグネトロンスパッタリング法)などが用い
られる。なかでも、直流マグネトロンスパッタリング法
が好ましい。各層は同一の方法で、又は異なる方法で成
膜できる。
【0022】本発明においては下部バリア層を用いるこ
とにより、以下に挙げる作用効果が同時に得られる。 1)ガラス積層体が曲げ加工、強化加工などの熱処理を
施される際、従来のバリア層(例えばTiやZn等)を
用いた場合に比べ、バリア層の上に位置するAg層の劣
化を低減できる。 2)本発明における下部バリア層は、従来のバリア層と
比べて、隣接するAg層に対する密着性が高く、結果、
機械的耐久性の向上に寄与する。
【0023】3)Ag層の結晶化は、光学特性に影響を
与える。純粋なZn又はZnOからなる層がAg層の下
に位置していると、特に熱処理中にAgの過度の結晶化
が起こり、ヘイズ値が高くなることがあり得る。本発明
における下部バリア層を用いれば、良好な赤外線反射特
性を発現するに充分な程度の結晶化は起こるが、過度の
結晶化は起こらない。
【0024】下部バリア層における材料XがZn中に不
純物としてのみ存在する場合や、原子比X/Znが小さ
すぎる場合は、前記した作用効果が発現しない可能性が
ある。原子比X/Znは0.03以上であることが重要
である。なお、上限値は材料Xの種類によって、0.3
〜10の範囲で選択される。特に原子比X/Znは5以
下、さらには4以下、またさらには3以下であることが
好ましい。
【0025】下部バリア層は、例えば金属又は一部が未
酸化の酸化物の状態で形成され、Ag層への酸素の通過
を妨げるだけでなく、ガラス基体からAg層への、軽金
属イオン(特にNaイオン)の拡散をも妨げるように働
くことが好ましい。下部バリア層における材料Xが、A
l、Ti、Hf、Sb、Nb、Ta及びZrの群から選
ばれる少なくとも1種の金属である場合、特に良好な結
果が得られる。下部バリア層の膜厚は、0.5nm超で
あることが好ましい。0.5nm超であれば、熱処理さ
れた際の膜の特性が顕著に改善される。特に1nm超で
あることが好ましい。上限は5nmであることが好まし
い。
【0026】下部バリア層の膜厚は、熱処理後に良好な
結果が得られることから、1)材料XがTiである場合
は5nm以下、2)原子比X/Znが3以下である場合
は4nm以下、3)原子比X/Znが1以下である場合
は3nm以下、4)材料XがAlである場合は2.5n
m以下、であることが好ましい。下部バリア層の最適な
膜厚は、下部バリア層の組成、下部バリア層の膜形成条
件、得ようとしているガラス積層体の光学特性、及びガ
ラス積層体が曝される熱処理条件によって影響される。
【0027】本発明の下部バリア層による前記作用効果
は、2層、又は3層以上の熱線反射層を有する積層膜に
おいても発現する。各熱線反射層はそれぞれ下部バリア
層を有し、その場合、下部バリア層のうち少なくとも1
層(特にすべての下部バリア層)が、Znと材料Xとを
含み、原子比X/Znが0.03以上であることが好ま
しい。
【0028】多層の熱線反射層は、1.5(特に1.
7)を超える選択透過度(TEに対するTLの割合、す
なわち、TL/TE)を有するガラス積層体を形成する
うえで好適である。前記の作用効果は、熱処理可能なガ
ラス積層体、又は熱処理されたガラス積層体に対して特
に有利に働く。熱処理されないガラス積層体に対しても
有利である。
【0029】本明細書において「熱処理可能なガラス積
層体」とは、ガラス積層体が熱処理(曲げ加工や強化加
工など)を経ても、ヘイズ値が0.5を超えない、好ま
しくは0.3を超えないように設計されていることを意
味する。熱処理は、例えば、1)曲げ加工、2)強化加
工、3)着色セラミックスプリントや銀からなるバスバ
ープリントの焼成、4)真空複層ガラスの真空封止シー
ル加工、5)ウェット法により塗布した低反射層や防眩
層の焼成、などの工程において施される。例えば、1)
曲げ加工や2)強化加工では、大気雰囲気中で570〜
700℃に加熱される。
【0030】本明細書において「実質的にヘイズのな
い、熱処理されたガラス積層体」とは、熱処理を施され
た後、ヘイズ値が0.5を超えていない(好ましくは
0.3を超えていない)ガラス積層体を意味する。熱処
理は、例えば、600℃以上で少なくとも10分間(例
えば12分間又は15分間)、620℃以上で少なくと
も10分間(例えば12分間又は15分間)、又は、6
40℃以上で少なくとも10分間(例えば12分間又は
15分間)、の工程である。本明細書において、ヘイズ
値は、ASTM D 1003−61(1988年版)
に準じて測定されたものをいう。
【0031】下部バリア層がAl及びZnを含むとき特
に良好な結果が得られる。原子比Al/Znは約1より
小さいことが好ましい。原子比Al/Znは特に0.0
3〜0.3、さらには0.05〜0.15が好ましい。
下部バリア層がZn及びTiを含むときにも特に良好な
結果が得られる。原子比Ti/Znは1〜10、特に
1.5〜6、さらには2〜5の範囲が好ましい。
【0032】本発明の積層体において、2層以上の下部
バリア層を有する場合、各下部バリア層は、同一か、又
は、実質的に同じ組成とすることが好ましい。こうすれ
ば、生産工程の制御や、必要なターゲットの準備及び保
管を単純化できる。下部バリア層がZnと材料Xとを含
み、下部バリア層に隣接する反射防止層も、Znと下部
バリア層に含まれるのと同じ材料Xとを含むようにする
と、ガラス積層体が熱処理されている間の、下部バリア
層の酸化をコントロールするのが容易になる。
【0033】上部バリア層に、下部バリア層と同一か、
又は類似する材料を使用すると、双方のバリア層の熱処
理中の酸化をコントロールするのが容易になる。その場
合、上部バリア層に隣接する反射防止層のうち1層又は
2層以上も下部バリア層と類似する材料を含むことが好
ましい。
【0034】形成する積層膜のうち2層以上に類似する
材料(特に同一材料)を使用すると、多くの膜を類似す
る条件で形成できるため、多種類の膜を形成するために
必要となる膜形成工程のコントロールが容易となる。さ
らに、多層膜のうち2層以上を形成するのに類似組成の
ターゲットを使用できるため、工業生産規模でのターゲ
ットの保管や準備を容易にできる。形成する多層膜のう
ち2層以上に対して類似する材料を使用することは、形
成される膜相互間の密着性をも良好にし、これにより、
機械的耐久性も良くすることができる。
【0035】熱処理は、ガラス積層体のTLの上昇を引
き起こす可能性がある。TLの上昇は、自動車用の風防
ガラスに用いられるガラス積層体に対して、TLが充分
高いことを保証するうえで都合がよい。TLは、熱処理
中に、絶対値で、例えば、2.5%超上昇することがあ
る。
【0036】本発明は、前記のガラス積層体に、570
℃以上の温度で、曲げ加工及び/又は強化加工を施すこ
とを特徴とするガラス積層体の製造方法を提供する。前
記の570℃以上の温度で熱処理(例えば大気雰囲気中
で熱処理)された後のガラス積層体は、ヘイズ値が0.
5未満(好ましくは0.3未満)であることが好まし
い。該製造方法は、例えば、建築用、自動車用(特に風
防ガラス)や、産業用の用途に好適な、熱処理されたガ
ラス積層体を生産するのに採用できる。
【0037】
【実施例】本発明の実施例を、図1を参照しながら以下
に説明する。図1は、曲げ及び強化加工される前のガラ
ス積層体の模式断面図である。
【0038】「実施例1」図1に、2層の熱線反射層と
してのAg層を有し、熱処理可能な、マグネトロンスパ
ッタリング法によってガラス基体上に形成された、表1
に示すような連続した構成を有する被膜が形成されたガ
ラス積層体を示す。
【0039】
【表1】
【0040】表1のZnAlOxは、ZnとTiの合金
又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直
流マグネトロンスパッタリング法で形成された、Znと
Alを含む混合酸化物である。ZnAlOyバリア層は
どれも、完全には酸化されていないバリア層が形成でき
るように、酸素(完全に酸化させるには不充分な量の酸
素)を含むアルゴン雰囲気中で、ZnとAlの合金又は
混合物のターゲットを直流マグネトロンスパッタリング
法で形成された。
【0041】他の手段として、ZnAlOx層は、酸化
亜鉛及び酸化アルミニウムの混合物のターゲットを、ア
ルゴンガス中又は酸素(完全に酸化させるには不充分な
量の酸素)を含むアルゴン雰囲気中でマグネトロンスパ
ッタリングして形成することもできる。
【0042】底部、中央部、及び頂部ZnAlOx反射
防止層各々の酸化状態は必ずしも同一であることを要し
ない。同様に、ZnAlOyバリア層各々の酸化状態も
必ずしも同一であることを要しない。また、原子比Al
/Znの値もすべての膜において同一であることを要し
ない。例えば、バリア層が反射防止層と異なる原子比A
l/Znを有していてもよいし、反射防止層どうしが互
いに異なった原子比Ti/Znを有していてもよい。
【0043】各上部バリア層は、その上のZnAlOx
酸化物層を反応性直流マグネトロンスパッタリング法で
形成する際に、その下のAg層が酸化されるのを防ぐ。
これらのバリア層は、その上の酸化物層を形成する際に
酸化が進むかもしれないが、続いてガラス積層体に対し
て行われる熱処理においてバリアの役割を果たすため
に、これらのバリア層の一部分は、完全に酸化されてい
ない酸化物のまま残っていることが好ましい。
【0044】AlN層は6061合金をターゲットとし
て用い、窒素とアルゴンとの混合ガス雰囲気中で、反応
性直流マグネトロンスパッタリング法で形成した。Ag
層はAgターゲットを用い、アルゴン雰囲気中で直流マ
グネトロンスパッタリング法で形成した。ガラス基体と
しては、2mm厚のクリアガラスを用いた。
【0045】本実施例のガラス積層体は、自動車用合わ
せ風防ガラスやディスプレイに用いられることを意図さ
れており、表2に示す特性を有する。表中のa*、b
*は、CIE Lab表示における通常入射光での色度の
値である。表中のシステムムーン2は光源の種類であ
る。REは、入射した全太陽光エネルギー(可視光領域
及び可視光領域以外の波長の光のエネルギー)に対す
る、基体から反射された全太陽光エネルギーの割合を示
す。
【0046】
【表2】
【0047】熱処理によって全てのバリア層が実質的に
完全に酸化され、熱処理後には表3に示すような被膜構
成となっていることが好ましい。
【0048】
【表3】
【0049】部分的に酸化されているAlN層は、Al
Nが熱処理中に部分的に酸化され、AlNとAl23
混合物を含んでいることがある。
【0050】「実施例2」本実施例の被膜構成及び膜厚
等を表4に示す。
【0051】
【表4】
【0052】表4のZnAlOxは、ZnとAlの合金
又は混合物のターゲットを用い、酸素存在下で反応性直
流マグネトロンスパッタリング法で形成された、Znと
Alを含む混合酸化物である。ZnAlバリア層はどれ
も、実質的に酸素を含まない不活性雰囲気中で、Znと
Alの合金又は混合物のターゲットを用いて直流マグネ
トロンスパッタリング法で形成された。
【0053】上部バリア層16、20の少なくとも一部
分は、その上の酸化物層の形成中に酸化される。それで
も、これらのバリア層の一部分は、続いてガラス積層体
に対して行われる熱処理においてバリアの役割を果たす
ために、金属状態又は少なくとも完全には酸化されてい
ない酸化物の状態で残っていることが好ましい。本実施
例のガラス積層体は、自動車用合わせ風防ガラスやディ
スプレイに用いられることを意図されており、表5に示
す特性を有する。
【0054】
【表5】
【0055】熱処理によって全てのバリア層が実質的に
完全に酸化され、熱処理後には表6に示すような被膜構
成となっていることが好ましい。
【0056】
【表6】
【0057】本発明においては、必要であれば、他の層
を本発明における積層膜の上、下、又は層間に、付加的
に導入してもよい。各実施例において得られる優れた光
学特性に加えて、各実施例で得られたガラス積層体は、
適当に配置された電気接続子(コネクタ)を付加すれ
ば、例えば、防曇及び/又は防霜機能を果たす自動車の
電気加熱可能な風防ガラスとして使用できる。
【0058】各実施例の色度(a*及びb*)は、ある角
度をもって車体に取り付けられたとき、反射色調がニュ
ートラル(見た目に無色)か、わずかに青味がかるか、
又は、わずかに緑がかるような値であり、特に自動車の
風防ガラスに好適な値である。他の用途、例えば、建築
用の用途には、従来から知られているように、反射防止
層及び/又は熱線反射層の膜厚を調整することにより、
反射色を調整できる。
【0059】本発明のガラス積層体のTLは、求められ
る用途に合うように調整できる。例えば、 1)ヨーロッパ市場向けの自動車用風防ガラスに使用さ
れる場合は、TLは75%超となるように選択される
(ヨーロッパの規則により必要とされている)、 2)日本と米国市場向けの自動車用風防ガラスに使用さ
れる場合は、TLは70%超となるように選択される
(日本と米国の規則により必要とされている)、 3)自動車の前方サイドガラスに使用される場合は、T
Lは70%超となるように選択される(ヨーロッパの規
則により必要とされている)、 4)自動車の後方サイドガラス又はリア窓ガラスに使用
される場合は、TLは約30%と70%の間となるよう
に選択される。
【0060】TLを調整するには、例えば、 1)形成される積層膜の各層の厚さ、特に反射防止層及
び/又は熱線反射層の膜厚を変える、 2)形成される積層膜を着色ガラス基体と組み合わせ
る、 3)形成させる積層膜を、着色されたPVB膜又は他の
合わせ加工用の膜と組み合わせる、などの方法を採用で
きる。
【0061】
【発明の効果】本発明によれば、熱処理時の熱線反射層
(金属層)の劣化が効果的に防止され、熱処理を施して
も低いヘイズ値を有するガラス積層体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるガラス積層体の模式断面図
【符号の説明】
10:ガラス基体 11:底部反射防止層 12:AlN層 13:ZnAlOx(ZnとAlを含む混合酸化物)層 14:下部バリア層 15:熱線反射層 16:上部バリア層 17:中央部反射防止層 18:下部バリア層 19:熱線反射層 20:上部バリア層 21:頂部反射防止層 22:ZnAlOx(ZnとAlを含む混合酸化物)層 23:AlN層
フロントページの続き (72)発明者 野田 和良 神奈川県愛甲郡愛川町角田426−1 旭硝 子株式会社内 (72)発明者 竹田 諭司 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150 旭硝 子株式会社内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも、ガラス基体、底部反射防止
    層、下部バリア層、熱線反射層、上部バリア層、頂部反
    射防止層、の順に構成された積層体を有するガラス積層
    体であって、下部バリア層は、Znと材料Xとを含み、
    原子比X/Znが0.03以上であり、材料Xは、周期
    表の3a、3b、4a、4b、5a、5b、6b及び7
    b族の元素の群から選ばれた少なくとも1種の材料であ
    ることを特徴とするガラス積層体。
  2. 【請求項2】少なくとも、ガラス基体、底部反射防止
    層、下部バリア層、熱線反射層、上部バリア層、中央部
    反射防止層、下部バリア層、熱線反射層、上部バリア
    層、頂部反射防止層、の順に構成された積層体を有する
    ガラス積層体であって、下部バリア層のうち少なくとも
    一層は、Znと材料Xとを含み、原子比X/Znが0.
    03以上であり、材料Xは、周期表の3a、3b、4
    a、4b、5a、5b、6b及び7b族の元素の群から
    選ばれた少なくとも1種の材料であることを特徴とする
    ガラス積層体。
  3. 【請求項3】材料XはAlであることを特徴とする請求
    項1又は2に記載のガラス積層体。
  4. 【請求項4】材料XはTiであることを特徴とする請求
    項1又は2に記載のガラス積層体。
  5. 【請求項5】反射防止層のうち少なくとも1層は、Zn
    と材料Xとの混合酸化物層を含むことを特徴とする請求
    項1〜4いずれか1項に記載のガラス積層体。
  6. 【請求項6】上部バリア層のうち少なくとも1層は、Z
    nと前記材料Xとを含むことを特徴とする請求項1〜5
    いずれか1項に記載のガラス積層体。
  7. 【請求項7】請求項1〜6いずれか1項に記載のガラス
    積層体に、570℃以上の温度で、曲げ加工及び/又は
    強化加工を施すことを特徴とするガラス積層体の製造方
    法。
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