JP2000229378A - ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法 - Google Patents

ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】強化、曲げ加工等の成形加工時における加熱に
よっても光学特性が劣化しないガラス積層体の提供。 【解決手段】ガラス基体上に、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚ
ｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる
膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層と、該第１層の上
に、Ａｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）ならびに
酸化物等からなる層（Ｃ）が交互に積層されたガラス積
層体。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス積層体、機
能性透明物品およびその製造方法に関し、特に、耐熱性
に優れるため、強化、曲げ加工等の成形加工時における
加熱によっても光学特性が劣化せず、機能性透明物品の
素材として好適なガラス積層体、そのガラス積層体を素
材として用いて、光学特性に優れる機能性透明物品を得
ることができる方法、およびその機能性透明物品に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、銀を主成分とする層を含む積層構
造の膜を選択的光学反射膜あるいは導電膜として用いる
機能性ガラスが、Ｌｏｗ−Ｅガラス（Ｌｏｗ Ｅｍｉｓ
ｓｉｖｉｔｙ Ｇｌａｓｓ）等の熱線反射ガラス、電磁
遮蔽ガラス、あるいは電熱ガラスとして、自動車、電車
等の車両用窓ガラス、住宅、ビル等の建築用窓ガラス、
プラズマ・ディスプレィ前面板などに用いられている。
銀を主成分とする薄膜層を含む積層構造の膜は、可視領
域の光に対して高い透過率を示し、近赤外光および波長
１０μｍ程度の長波長の赤外光に対する反射率が高いも
のである。このため、銀を主成分とする層を含む積層構
造の膜を用いたガラスを建築物の窓に使用した場合、室
外から可視光を取り入れるとともに、太陽光に含まれる
熱線の流入を低減し、夏期には冷房負荷が低減される。
また、室内側からの熱の放出を低減することができ、暖
房負荷が低減される。すなわち、可視光に対しては高透
過率で、かつ熱線遮蔽効果に優れた、高性能の熱線反射
ガラス、特にＬｏｗ−Ｅガラスとして用いることができ
る。また、銀を主成分とする層を含む積層構造の膜は、
シート抵抗値が１０Ω／□以下と、種々の透明導電性膜
の中でも低い抵抗値を示すものの１つである。そのた
め、透明電磁遮蔽ガラス、あるいは電熱ガラスとして用
いることができる。
【０００３】銀を主成分とする層を含む積層構造の膜と
して、Ａｇを主成分とする金属からなる層（以下、単に
「Ａｇ主成分層」という）と、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ
等の酸化物、窒化物などからなる層を複数層積層した構
成のものが知られている。例えば、ガラス基体の上に、
ＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯの３層、またはＺｎＯ／Ａｇ／Ｚ
ｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯの５層が形成されたガラス積層体が
知られている。
【０００４】一方、ガラス積層体は、用途に応じて、各
種形状に成形加工され、あるいは、強化処理が施される
ことが望まれている。成形加工 (例えば曲げ加工）ある
いは強化処理においては、５７０〜７００℃程度に加熱
して成形または急冷等の処理が行われる。例えば、自動
車の窓ガラス、特にフロントウィンドウやリアウィンド
ウに窓ガラスとして用いられる熱線反射ガラスは、曲面
状に湾曲した形状にするため、５７０〜７００℃程度に
加熱して成形加工が施される。建築用の窓ガラスに用い
られる熱線反射ガラスにおいても、建築物の窓形状に応
じて、平板状ではなく、湾曲した形状等の複雑な形状に
するために、成形加工が施されることがある。
【０００５】しかし、従来のガラス積層体は、ガラス基
体上にＡｇ主成分層、および透明な保護層を積層した
後、成形加工や強化処理において、加熱（いわゆる後加
熱）されると、Ａｇ主成分層の膜質が劣化し、光学特性
の劣化を招き、所期の性能を発揮できないことがあっ
た。この問題を回避するため、予め所定の形状に成形し
た後、Ａｇ主成分層、透明な保護層を積層する方策が考
えられる。しかし、スパッタリング法によって、成形さ
れたガラス、例えば、曲げガラスにＡｇ主成分層、透明
な保護層等を成膜しようとする場合、各層をそれぞれ異
なる雰囲気中で成膜するために、同じ成膜室中で基板を
往復させながら、スパッタガスを交換して成膜を行う生
産方式を採用しなければならない。この生産方式は、生
産性に劣り、生産量が制約され、またコスト低減が困難
である。
【０００６】このような問題を改善するため、後加熱可
能なガラス積層体として各種の提案がなされている。例
えば、特表平１０−５０３７４５号公報には、透明な非
金属性基材と、該基材上にスパッタ析出された、少なく
とも１つの赤外線反射金属フィルム、該金属フィルム上
の誘電フィルム、および該誘電フィルム上の保護用窒化
ケイ素フィルムを含む透明なフィルムスタックとからな
る透明物品が提案されている。
【０００７】また、特許第２５０９９２５号に係る特許
掲載公報には、５〜３０ｎｍ厚さの銀層；該銀層上のア
ルミニウム、チタン、亜鉛およびタンタルから選択した
付加金属層；および該付加金属層上の反射防止金属酸化
物層からなる被覆物を有するガラス基体が提案されてい
る。さらに、同公報には、このガラス基体に、ガラスの
軟化点以上の温度に加熱する曲げおよび／または強化サ
イクルを作用させ、これによって曲げおよび／または強
化サイクル中において被覆ガラスに高い光透過を付与す
ることを特徴とする湾曲および／または強化銀被覆ガラ
ス基体の製造方法が提案されている。
【０００８】また、特開平８−２３８７１０号公報に
は、赤外領域における特性を有する金属層と、この金属
層の下にある誘電材料の第一のコーティングおよびこの
金属層の上にある誘電材料の第二のコーティングと、当
該金属層のすぐ上にあってこれと接触する保護金属層と
を有し、第二のコーティングが、厚さが少なくとも１０
ｎｍの、ケイ素化合物ＳｉＯ2 、ＳｉＯx Ｃy 、ＳｉＯ
x Ｎy と、Ｓｉ3 Ｎ4 又はＡｌＮのような窒化物と、Ｓ
ｉＣ、ＴｉＣ、ＣｒＣ、ＴａＣのような炭化物とから選
ばれた、酸素の拡散に対する少なくとも一つのバリヤ層
を含み、そして上記の金属層は下にある誘電性コーティ
ングと直接接触している透明基材が提案されている。
【０００９】また、特開昭６２−２１６９４４号公報に
は、無機ガラスから成る基体を ａ）酸化錫、二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化タン
タル及び酸化ジルコニウム又はこれらの混合酸化物の群
から選択される酸化物からなる第１の層、 ｂ）タンタル、タングステン、ニツケル及び鉄又はこれ
らの金属の１つを少なくとも５０重量％含有する合金の
群から選択される金属から成る第２の層、 ｃ）銀又は銀成分少なくとも５０重量％を有する銀合金
から成る第３の層、 ｄ）第２の層を形成する群から選択される金属から成る
第４の層、及び ｅ）第１の群を形成する酸化物から選択される酸化物か
ら成る第５の層で被覆することにより、可視スペクトル
範囲内で高い透過特性及び熱線に対する高い反射特性を
有するウインドウーガラスを製造する方法において、基
板を全層パケットａ）〜ｅ）と一緒に少なくともガラス
の軟化点に加熱し、熱した状態で塑性変形しかつ変形し
た状態で冷却することを特徴とする、可視スペクトル範
囲内で高い透過特性及び熱線に対する高い反射特性を有
するウインドーガラスの製法が提案されている。
【００１０】さらに、特開平５−２１３６３２号公報に
は、ガラス基板上に、ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｃｒと等の金属、
これらの窒化物、ホウ化物、炭化物等からなる熱線遮断
膜を形成した後、ケイ窒化ジルコニウム等の、可視光領
域において透明で、酸化されても透明な第１の保護膜を
形成し、更に、酸化スズ等の酸素バリヤ性の高い酸化物
からなる第２の保護膜を形成する熱処理被覆ガラスの製
造方法が提案されている。
【００１１】しかしながら、従来提案されている各種ガ
ラス積層体は、後加熱における耐熱性が十分なものでは
なく、熱処理を伴う成形加工によって、Ａｇ主成分層の
膜質が劣化して、光学特性が劣化する問題があった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、耐熱
性に優れ、強化、曲げ加工等の成形加工時における加熱
によっても光学特性が劣化せず、機能性透明物品の素材
として好適なガラス積層体を提供することにある。ま
た、本発明の別の目的は、そのガラス積層体を素材とし
て用いて、光学特性に優れる機能性透明物品を得ること
ができる方法、およびその機能性透明物品を提供するこ
とにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、ガラス基体と、ガラス基体上に、Ａｌを
Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む
酸化亜鉛からなる膜（Ａ）（以下、単に「膜（Ａ）」と
いう）を含む酸化物からなる第１層を有し、第１層の上
に、Ａｇを主成分とする金属からなる層（Ｂ）（以下、
単に「層（Ｂ）」という）と、酸化物、窒化物および炭
化物から選ばれる少なくとも１種からなる層（Ｃ）（以
下、単に「層（Ｃ）」という）とが、層（Ｂ）および層
（Ｃ）の順に１層または交互に複数層積層され、第１層
と層（Ｂ）および層（Ｃ）、との合計の層数が２ｎ＋１
（ｎは正の整数である）であるガラス積層体を提供す
る。なお、Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）とは、層または膜中に
含まれるＡｌ原子とＺｎ原子の総和に対するＡｌ原子の
割合（ａｔ％）の意であり、以下同様である。
【００１４】また、本発明は、前記ガラス積層体の具体
的態様として、ガラス基体上に、基体側から順次、膜
（Ａ）を含む酸化物からなる第１層、層（Ｂ）、ならび
に層（Ｃ）が積層されたガラス積層体を提供する。
【００１５】さらにまた、本発明は、前記ガラス積層体
の具体的態様として、ガラス基体上に、基体側から順
次、基体側に配設された膜（Ａ）を含む酸化物からなる
第１層、層（Ｂ）、層（Ｃ）、層（Ｂ）、ならびに層
（Ｃ）を有するガラス積層体を提供する。
【００１６】また、本発明は、前記ガラス積層体を熱処
理する工程を有する機能性透明物品の製造方法をも提供
するものである。さらに、本発明は、前記の方法によっ
て得られる機能性透明物品を提供するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明のガラス積層体、機
能性透明物品およびその製造方法について、詳細に説明
する。
【００１８】本発明のガラス積層体は、膜（Ａ）を含む
酸化物からなる第１層を有し、第１層の上に、層（Ｂ）
と、層（Ｃ）とが、層（Ｂ）および層（Ｃ）の順に１層
または交互に複数層積層された層構成を有する積層体で
ある。本発明のガラス積層体は、第１層の上に、基体側
から順次、層（Ｂ）および層（Ｃ）を、それぞれ１層有
する構造のものでもよいし、層（Ｂ）および層（Ｃ）を
交互に複数層積層した構造を有するものでもよい。ま
た、層（Ｂ）と層（Ｃ）の間には、必要に応じて他の層
が配設されていてもよい。また、本発明の積層体におい
て、第１層と、第１層上に積層される層（Ｂ）および層
（Ｃ）との合計の層数は２ｎ＋１（ｎは正の整数であ
る）である。
【００１９】本発明のガラス積層体において、ガラス基
体は、特に制限されない。本発明のガラス積層体を、自
動車等の車両や建築用の窓ガラスの用途に用いる場合
は、ガラス基体として、ソーダライムガラスが一般的に
用いられる。
【００２０】本発明のガラス積層体において、ガラス基
体上に形成される第１層は酸化物からなり、膜（Ａ）の
みからなるものでもよい。また、膜（Ａ）以外に、他の
酸化物膜（以下、単に「膜（Ａ−１）」という）を有す
る複層構造の層であってもよい。また、第１層における
膜（Ａ）と膜（Ａ−１）の配置は、膜（Ａ）が、ガラス
基体に隣接する位置に配設される層構成とすることが好
ましい。
【００２１】また、膜（Ａ−１）を構成する材料として
は、具体的には、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａ
ｌ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｇａ、Ｉｎ等の酸化物が挙げら
れる。例えば、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｔａお
よびＺｒから選ばれる少なくとも１種の元素の酸化物が
挙げられる。他には、例えば、Ａｌ、Ｇａ、Ｓｉ、Ｓｎ
等を含む酸化亜鉛、Ｓｎを含む酸化インジウムが挙げら
れる。膜（Ａ−１）は、単膜でもよいし、２種以上の膜
が積層された膜でもよい。
【００２２】膜（Ａ−１）としては、層（Ｂ）を安定的
に、かつ高い結晶性を有しながら形成することができる
点で、Ｚｎの酸化物膜またはＳｎ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、
Ｓｉ、Ｂ、Ｍｇ、ＩｎおよびＧａから選ばれる少なくと
も１種の金属元素を含むＺｎの酸化物膜が好ましい。特
に、Ａｌおよび／またはＴｉを含むＺｎの酸化物膜が好
ましい。
【００２３】膜（Ａ−１）の具体例としては、ＡｌをＡ
ｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１〜１０ａｔ％の割合で含む酸化
亜鉛からなる膜（ａ）が挙げられる。特に、第１層は、
膜（Ａ）と、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１〜１０ａ
ｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（ａ）とを有し、
かつ、膜（ａ）はＡｇを主成分とする金属からなる層
（Ｂ）に接して設けられ、膜（Ａ）はガラス基体と膜
（Ａ）との間に設けられることが好ましい。膜（ａ）は
ガラス基体と膜（Ｂ）との間に設けられることが好まし
い。膜（ａ）のＡｌの含有割合は、特に１．５〜１０ａ
ｔ％さらには３〜５ａｔ％であることが好ましい。Ｚｎ
の酸化物膜（ａ）を形成すると、成膜装置、雰囲気、成
膜条件等を大幅に変更しなくても、膜（Ａ）の成膜に引
き続いて膜（Ａ−１）の成膜を行なうことができ、生産
上、コスト的に有利である。また、第１層としては、例
えば、ガラス基体に接して膜（Ａ−１）を設け、さら
に、膜（Ａ）、膜（Ａ−１）を順次積層させた３層から
なる多層構成であってもよい。
【００２４】後加熱によってガラス基体から生じるアル
カリ成分、例えば、Ｎａ+ イオン等は、第１層に拡散・
蓄積して、酸化等によりイオン化したＡｇと相互拡散を
起こすことにより、層（Ｂ）中のＡｇが侵食を受けて積
層体の層構造の乱れを引き起こして、光学特性および電
気的特性を劣化させる。膜（Ａ）は、こうした劣化を防
止する働きを有するものである。
【００２５】膜（Ａ）におけるＡｌの含有割合は、Ａｌ
／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合である。Ａ
ｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５ａｔ％未満の割合でＡｌを含
む酸化亜鉛からなる膜は、Ａｌの含有量が少ないため非
晶質化せず、酸化亜鉛の結晶成長により結晶粒が基板の
法線方向に細長く成長した結晶組織、いわゆる柱状晶組
織を構成する。この柱状晶組織を有する膜では、粒界で
の拡散が生じ易く、基体から生じるアルカリ成分の拡散
による光学特性および電気的特性の劣化を防止すること
ができない。一方、Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で５０ａｔ％
を超える酸化亜鉛からなる膜は、酸化アルミニウム膜の
性質に近づいていく。酸化アルミニウム膜は、本来的
に、アルカリ成分を阻止する性能に乏しい。そのため、
Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で５０ａｔ％を超える酸化亜鉛か
らなる膜は、基体から生じるアルカリ成分の拡散による
光学特性および電気的特性の劣化を防止する性能が不十
分である。特にＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜３０ａｔ
％の割合が好ましい。
【００２６】第１層における膜（Ａ）の膜厚（幾何学的
膜厚、以下も同様）は、熱処理時にガラス基体から積層
膜中へアルカリ成分が拡散するのを十分に抑制するため
に、少なくとも５ｎｍ以上が好ましく、特に、１０ｎｍ
以上が好ましい。第１層全体の厚さは、本発明のガラス
積層体の積層膜に要求される光学的特性に応じて、通
常、１１〜５０ｎｍから適宜選択される。また、第１層
を、膜（Ａ）のみで構成することもできる。
【００２７】層（Ｂ）は、Ａｇのみからなる層、または
Ａｇを主成分とし、他の金属元素（例えば、Ｐｄ、Ａ
ｕ、Ｃｕ等）を含む層である。他の金属元素を含む場
合、他の金属元素の含有割合は、Ａｇと他の金属元素の
総量に対して０．３〜１０ａｔ％であることが好まし
い。他の金属元素が０．３ａｔ％未満では、Ａｇの安定
化の効果が低下し、また、１０ａｔ％を超えても安定化
の効果が低下する。特に、他の金属元素が、Ｐｄである
と、Ａｇ原子の不動化、すなわちＡｇのマイグレーショ
ンの低減を図ることができ、高温下での安定性および化
学的耐久性に優れた層を形成することができる。Ｐｄの
含有量が多くなると、成膜速度が低下し、また、可視光
透過率も低下し、かつ、可視光線と近赤外線との選択遮
断性が悪化する傾向にある。そのため、Ｐｄの含有量
は、５．０ａｔ％以下が適当である。特に、０．３〜
２．０ａｔ％が好ましい。
【００２８】本発明のガラス積層体が、層（Ｂ）を複数
層有する場合には、それぞれの層（Ｂ）は、同じ組成で
もよいし、異なる組成でもよい。また、層（Ｂ）は、複
数の層が積層された構造の層でもよい。例えば、Ａｇと
Ｐｄとからなる多層構造の層であってもよい。
【００２９】層（Ｃ）は、酸化物、窒化物および炭化物
から選ばれる少なくとも１種からなる層である。層
（Ｃ）を構成する材料としては、具体的には、Ｚｎ、Ｔ
ｉ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｇ
ａ、Ｉｎ等の酸化物、窒化物、炭化物、またはこれらの
複合化合物が挙げられる。
【００３０】酸化物としては、例えば、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｓ
ｎ、Ｓｉ、Ａｌ、ＴａおよびＺｒから選ばれる少なくと
も１種の元素の酸化物が挙げられる。他には、例えば、
Ａｌ、Ｇａ、Ｓｉ、Ｓｎ等を含む酸化亜鉛、Ｓｎを含む
酸化インジウムが挙げられる。膜（Ａ）や膜（Ａ−１）
の組成と同一または類似のものも用い得る。窒化物とし
ては、例えば、Ｓｉ、ＡｌおよびＢから選ばれる少なく
とも１種以上の元素の窒化物（Ａ）、またはＺｒもしく
はＴｉの窒化物と窒化物（Ａ）との混合物（複合窒化物
を含む。）などが挙げられる。また、その他としては、
ＳｉＯx Ｃy 、ＳｉＯx Ｎy 、ＳｉＡｌx Ｎy 、ＳｉＡ
ｌx Ｏy Ｎz 等が挙げられる。層（Ｃ）は、単膜でもよ
いし、２種以上の膜が積層された膜であってもよい。例
えば、層（Ｃ）は、膜（Ａ）と、酸化チタン膜または窒
化ケイ素膜との２以上の膜から構成されるものでもよ
い。
【００３１】また、本発明のガラス積層体が、層（Ｃ）
を複数層有する場合には、それぞれの層は、同じ組成で
もよいし、異なる組成でもよい。
【００３２】本発明のガラス積層体において、層（Ｃ）
のうち、基体側から最も離れた位置にある層（Ｃ）（以
下、単に「層（Ｃ0 ）」という）は、窒化物層または酸
化物層であることが好ましい。窒化物層としては、窒化
ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ボロン、窒化ジルコニ
ウム、窒化チタンおよび窒化ハフニウムから選ばれる少
なくとも１種の窒化物からなる窒化物層（以下、「層
（Ｃ−Ｎ）」という）が好ましい。特に、窒化ケイ素、
窒化アルミニウム、窒化ケイ素と窒化アルミニウムの混
合窒化物、窒化ケイ素と窒化ジルコニウムの混合窒化物
が好ましい。酸化物層としては、酸化チタン、酸化ジル
コニウム、酸化スズ、酸化ケイ素から選ばれる少なくと
も１種の酸化物からなる酸化物層（以下、「層（Ｃ−
Ｏ）」という）が好ましい。特に、酸化スズと酸化ケイ
素の混合酸化物が好ましい。
【００３３】特に、層（Ｃ0 ）が、層（Ｃ−Ｎ）を含む
層であると、ガラス積層体の強化や曲げ等の熱処理工
程、あるいは最終製品に加工する前の保管中もしくは使
用時に、表面から拡散する酸素や水分によって、層
（Ｂ）が劣化するのを防止するために有効である。層
（Ｃ−Ｎ）は、酸素や水分を内部に拡散させにくい性質
を有するため、第１層における膜（Ａ）の作用効果と相
まって、ガラス積層体の耐湿性および耐酸化性をきわめ
て向上させる。
【００３４】さらに、本発明のガラス積層体と、もう一
枚のガラス基体とを、複数積層された層を内側にして、
ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）を介して貼り合わせて
合わせガラスとする場合には、層（Ｃ0 ）におけるＰＶ
Ｂと接する層としてエネルギーギャップが４ｅＶ以上の
材料からなる層（例えば、４ｅＶ以上の層（Ｃ−Ｎ）ま
たは４ｅＶ以上の層（Ｃ−Ｏ））を配設すると、ＰＶＢ
を介して本発明のガラス積層体と、もう一枚のガラス基
体との間の接着性を長期にわたって安定して保つことが
でき、自動車用の安全ガラスや防盗ガラスとして有用で
あるだけでなく、擦傷や腐食に対して弱いＡｇ主成分層
の劣化を防止するために有効である。
【００３５】また、本発明において、層（Ｃ）が酸化
物、または酸窒化物等の酸化物を含む複合化合物からな
る層であって、酸化性ガスを雰囲気中に含む反応性スパ
ッタリングによって形成する場合には、層（Ｂ）の上に
直接、層（Ｃ）を形成すると、層（Ｂ）が酸化されて、
所要の光学特性および電気的特性を有するガラス積層体
が得られなくなるおそれがある。したがって、金属また
は窒化物からなるバリア層を配設することが好ましい。
バリア層は、通常、一部が未酸化状態で残存しており、
熱処理時に酸化して酸化物となって透明化し、可視光透
過率が向上する。
【００３６】バリア層としては、Ｔｉ，Ｚｎ、ＡｌＺ
ｎ、ＴｉＺｎ、ＳＵＳ、Ｚｒ、Ｔａ、ＮｉＣｒ、Ｎｉ、
Ｎｉ−Ｔｉ、などの金属、該金属の不完全酸化物（一部
が未酸化の酸化物）、該金属の窒化物が挙げられる。バ
リア層の厚さは、１〜５ｎｍの範囲が好ましい。１ｎｍ
より薄いとバリア層として十分に働かず、逆に、５ｎｍ
より厚いとガラス積層体の可視光透過率が低下する等の
不具合が生じるおそれがある。また、層（Ｂ）の直上に
配設される層（Ｃ）が、例えば、Ａｌを含む酸化亜鉛か
らなる層等の酸化物層である場合には、同じ金属組成比
のＡｌ−Ｚｎ合金からなるバリア層を配設すると、層
（Ｂ）と、層（Ｃ）との層間接着力が大きくなり、多層
構造の層の耐久性の向上に有効である。また、層（Ｂ）
における銀の結晶性の観点から、および耐熱性の観点か
ら、やはりＡｌ−Ｚｎ合金からなるバリア層が好まし
い。なお、バリア層は、層（Ｂ）の下に設けられてもよ
い。
【００３７】また、層（Ｃ0 ）において基体側から最も
遠い位置にある膜としては、酸化ケイ素と酸化スズとの
混合物からなる膜（以下、「ＳｉＳｎx Ｏy 膜」とい
う）が好ましい。ＳｉＳｎx Ｏy 膜の下層が、酸化亜鉛
を主成分とする膜である場合には、酸化亜鉛を主成分と
する膜との相性がよく、界面で強い密着性が得られるた
め、有効である。ＳｉＳｎx Ｏy 膜におけるＳｎとＳｉ
の総量に対するＳｉの含有割合は、５〜９５ａｔ％であ
ることが好ましく、さらに３０〜９０ａｔ％，特に４０
〜９０ａｔ％が好ましい。
【００３８】ＳｉＳｎx Ｏy 膜は、水の侵入を防止する
機能（耐水性）を向上させる。酸化スズに酸化ケイ素が
混合されると、形成される膜が結晶質から非晶質構造と
なり緻密な膜となる。酸化ケイ素の含有割合が少なすぎ
ると、膜の耐水性が低下する。また、膜が非晶質から結
晶質に近づき、膜表面の平滑性がなくなるおそれがあ
る。また、酸化ケイ素の含有割合が多くなりすぎると、
用いる合金ターゲット中のＳｉの含有割合が多くなり、
直流スパッタリング法で成膜する際に、アーキングが発
生しやすくなり、生産性の低下の原因となる。ＳｉＳｎ
x Ｏy 膜の厚さは、特に限定されないが、耐水性および
耐擦傷性を向上させるためには、５ｎｍ程度以上必要で
あり、厚さが増加するにつれて、耐水性や耐擦傷性が向
上する。層の厚さの上限は特にないが、２０ｎｍあれば
十分な性能が得られる。
【００３９】本発明のガラス積層体の具体例としては、
３層系（第１層／層（Ｂ）／層（Ｃ））、５層系（第１
層／層（Ｂ）／層（Ｃ）／層（Ｂ）／層（Ｃ））、７層
系（第１層／層（Ｂ）／層（Ｃ）／層（Ｂ）／層（Ｃ）
／層（Ｂ）／層（Ｃ））などが挙げられる。７層以上の
多層系の積層体も可能であるが、層数を重ねるにしたが
って、得られる多層構造の積層膜の可視光透過率が低下
し、窓ガラス等の用途には適さなくなる。反射防止効果
を付与して、いわゆるぎらぎらした外観を呈するのを防
止するとともに、高い可視光透過率を有し、かつ高い透
明性を有することから、３層系および５層系が好まし
い。特に、５層系（Ａｇ主成分層２積層系）の積層体
は、 3層系（Ａｇ主成分層１積層系）よりも優れた遮熱
性能を得ることができる点で、好ましい。
【００４０】３層系の積層膜を有するガラス積層体にお
いて、第１層、層（Ｂ）および層（Ｃ）の各層の厚さ
は、それぞれ１５〜４５ｎｍ、９〜１６ｎｍ（特に９〜
１２ｎｍ）および３０〜４５ｎｍが適当である。厚さ２
ｍｍの無着色ソーダライムガラスからなるガラス基体の
上に、３層系の積層膜を形成したガラス積層体の熱処理
後の代表的な光学特性としては、約７５〜８５％の可視
光透過率と、約５０〜７０％の熱線透過率が挙げられ
る。
【００４１】５層系の積層膜を有するガラス積層体にお
いて、基体側から順に形成される第１層、層（Ｂ）、層
（Ｃ）、層（Ｂ）および層（Ｃ）の各層の厚さは、それ
ぞれ１６〜５０ｎｍ（特に２０〜４５ｎｍ）、６．５〜
１６ｎｍ（６．５〜１２．５ｎｍ）、４０〜１００ｎｍ
（特に４５〜９０ｎｍ）、６．５〜１６ｎｍ（特に６．
５〜１２．５ｎｍ）および１６〜５０ｎｍ（特に２０〜
４５ｎｍ）が適当である。厚さ２ｍｍの無着色ソーダラ
イムガラスからなるガラス基体の上に、５層系の積層膜
を形成したガラス積層体の熱処理後の代表的な光学特性
としては、約７０〜８０％の可視光透過率と、約４０〜
５０％の熱線透過率が挙げられる。
【００４２】本発明において、膜（Ａ）、第１層、層
（Ｂ）および層（Ｃ）の膜厚は、本発明のガラス積層体
の個々の用途において、色調、透過率、反射率、あるい
は熱線遮断性能、電気特性等について要求される特性に
応じて、適宜調整あるいは変更することができる。
【００４３】本発明のガラス積層体の製造は、ガラス基
体の表面を清浄化処理した後、膜（Ａ）を含む第１層、
層（Ｂ）および層（Ｃ）を、順次、形成することによっ
て行うことができる。形成方法は、特に限定されず、蒸
着法、ＣＶＤ法、スパッタリング法などを用いることが
できる。大面積のガラス基体に対しては、膜厚の均一性
を容易に制御でき、生産性にも優れるという点で、直流
スパッタリング法が有効である。
【００４４】膜（Ａ）の形成は、例えば、１）ＡｌをＡ
ｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）が前記の特定の範囲にあるように調
製された、酸化亜鉛と酸化アルミニウムの焼結体からな
るセラミックスターゲットを用い、アルゴンガスまたは
酸化性ガスを添加したアルゴンガス雰囲気中でスパッタ
リングすることによって、あるいは２）Ａｌ／（Ａｌ＋
Ｚｎ）が前記の特定の範囲にあるように調製された、Ｚ
ｎ−Ａｌ合金ターゲットを用い、酸化性雰囲気中で反応
性スパッタリングすることによって行うことができる。
【００４５】また、本発明は、前記ガラス積層体を熱処
理する工程を有する機能性透明物品の製造方法、および
その方法で得られた機能性物品を提供するものである。
この機能性透明物品の具体例としては、例えば、自動
車、電車等の車両の窓ガラス、特に、１）自動車のフロ
ントウィンドウまたはリヤウィンドウに配設される湾曲
状または複雑な三次元形状を有する窓ガラス、２）ビ
ル、住宅等の建築物に用いられる複雑な三次元形状を有
する窓ガラス、３）Ａｇ主成分層に通電して発熱体とし
て用いる電熱ガラス、あるいは４）電磁シールドガラス
等が挙げられる。この機能性透明物品は、その成形加工
時において、素材として用いられる本発明のガラス積層
体が、加熱に対する耐熱性に優れるため、光学的および
電気的特性の劣化がなく、所望の性能を有するものでる
ため、有用である。
【００４６】本発明の機能性透明物品の製造方法におい
て、ガラス積層体に施される熱処理は、例えば、１）曲
げ加工、２）強化処理、３）着色セラミックスプリント
や銀からなるバスバープリントの焼成、４）真空複層ガ
ラスの真空封止シール加工、５）ウェット法により塗布
した低反射膜や防眩膜の焼成工程などにおいて施され
る。例えば、１）曲げ加工や２）強化処理では、大気雰
囲気中で５７０〜７００℃に加熱される。
【００４７】
【実施例】以下、実施例および比較例によって、本発明
をより具体的に説明する。
【００４８】（実施例１）研磨洗浄、界面活性剤による
洗浄、純水によるすすぎを順次行って、表面を洗浄処理
した、縦３０ｃｍ×横３０ｃｍ×厚さ５ｍｍの無色のソ
ーダライムガラスからなる基板を、基板を搬送しながら
スパッタリングを行うインライン型スパッタリング装置
内に入れ、装置内でガラス基板を往復させて、スパッタ
雰囲気ガスを入れ換えるとともに、ターゲットを切り換
えて、真空を破らずに、下記の厚さ（幾何学的膜厚）の
５層を順次形成して、ガラス積層体を製造した。このと
き、各層の厚さは、予め、同じ条件で成膜を行い、得ら
れた膜について触針式膜厚計（Taylor-Hobson 社製、Ta
lystep）を用いて幾何学的膜厚を測定して、その結果に
基づいて、基板の搬送速度を調整して、所定の膜厚を形
成するように制御した。 第１層 ３３ｎｍ 第２層 １０ｎｍ 第３層 ７５ｎｍ 第４層 １０ｎｍ 第５層 ３３ｎｍ
【００４９】このとき、第１層は、まず、Ａｌを３０ａ
ｔ％含むＺｎターゲットを用いて、ＡｒとＯ2 の混合ガ
ス雰囲気中で、圧力２．０×１０-3Ｔｏｒｒ、投入電力
２．２Ｗ／ｃｍ2 の条件で、スパッタリングを行って、
Ａｌを含むＺｎＯからなる膜（ＺｎＡｌx Ｏy 膜：［Ａ
ｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）］×１００＝３０ａｔ％）を形成し
た後、Ａｌを３ａｔ％含むＺｎターゲットを用いて、Ａ
ｒとＯ2 の混合ガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ
（２．０×１０-3Ｔｏｒｒ）、投入電力２．２Ｗ／ｃｍ
2 の条件で、スパッタリングを行って、Ａｌを含むＺｎ
Ｏからなる層（ＡＺＯ膜：［Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）×１
００＝３ａｔ％）を形成し、ガラス表面側から順次、Ｚ
ｎＡｌx Ｏy 膜（１１ｎｍ）およびＡＺＯ膜（２２ｎ
ｍ）からなる構造の層を形成した。
【００５０】また、第２層および第４層として、Ｐｄを
１ａｔ％含むＡｇターゲットを用いて、アルゴンガス雰
囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．０×１０-3Ｔｏｒ
ｒ）、投入電力０．８６Ｗ／ｃｍ2 の条件でスパッタリ
ングを行ってＡｇを主成分とする金属層（Ａｇ−１ａｔ
％Ｐｄ層）を形成した。
【００５１】第３層は、Ａｌを３ａｔ％含むＺｎターゲ
ットを用いて、ＡｒとＯ2 の混合ガス雰囲気中で、圧力
０．２６６Ｐａ（２．０×１０-3Ｔｏｒｒ）、投入電力
２．２Ｗ／ｃｍ2 の条件で、スパッタリングを行って、
Ａｌを含むＺｎＯからなる層（ＡＺＯ膜：［Ａｌ／（Ａ
ｌ＋Ｚｎ）］×１００＝３ａｔ％）を形成した。
【００５２】第５層は、まず、第３層と同様に、Ａｌを
含むＺｎＯからなる層（ＡＺＯ膜：［Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚ
ｎ）］×１００＝３ａｔ％）を２２ｎｍの厚さに形成し
た後、導電性の金属シリコンからなるターゲットを用い
て、ＡｒとＮ2 の混合ガス雰囲気中で、圧力０．２６６
Ｐａ（２．０×１０-3Ｔｏｒｒ）、投入電力２．２Ｗ／
ｃｍ2 の条件でスパッタリングを行い、窒化ケイ素から
なる膜（ＳｉＮx 膜）を１１ｎｍの厚さに形成した。
【００５３】さらにまた、第３層と第５層を形成する前
に、第２層と第４層の金属層の酸化を防止するために、
ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で３ａｔ％含むＺｎターゲ
ットを用い、アルゴンガス雰囲気中で、圧力０．２６６
Ｐａ（２．０×１０-3Ｔｏｒｒ）、投入電力０．２Ｗ／
ｃｍ2 の条件でスパッタリングを行って、第２層と第３
層の界面、および第４層と第５層の界面に、ＺｎとＡｌ
の金属からなるバリア層（膜厚：約２ｎｍ）を形成し
た。得られたガラス積層体に、ガラス実測温度６２３℃
で５分間保持する曲げ加工のための熱処理を加え、機能
性透明物品を得た。この熱処理の前後における可視光透
過率、熱線透過率、および熱処理後のヘイズ値を、それ
ぞれ分光光度計およびヘイズメーターによって測定し
た。ヘイズ値はＪＩＳ Ｒ３２１２に従って測定した。
可視光透過率はＪＩＳ Ｒ３１０６に従って測定した。
結果を表１に示す。
【００５４】（実施例２）実施例１における第１層を表
１に示すように変化した以外は、実施例１と同様にして
機能性透明物品を製造し、実施例１と同様にして測定し
た結果を表１に示す。
【００５５】（比較例１〜４）第１層として、酸化スズ
からなる膜／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で形成
した以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体を製
造し、さらに機能性透明物品を製造し、実施例１と同様
にして測定した結果を表１に示す。なお、酸化スズから
なる膜の形成条件は、表２に示す通りである。
【００５６】（比較例５）第１層として、酸化チタンか
らなる膜／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で形成し
た以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体を製造
し、さらに機能性透明物品を製造し、実施例１と同様に
して測定した結果を表１に示す。なお、酸化チタンから
なる膜の形成条件は、表２に示す通りである。
【００５７】（比較例６、７）第１層として、ＳｎをＳ
ｎ／（Ｓｎ＋Ｚｎ）で１０ａｔ％含む酸化亜鉛膜（Ｚｎ
Ｓｎx Ｏy 膜）／ＡＺＯ膜を、表１に示す厚さの割合で
形成した以外は、実施例１と同様にして、ガラス積層体
を製造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に
示す。なお、ＺｎＳｎx Ｏy 膜の形成条件は、表２に示
す通りである。
【００５８】（比較例８）第１層として、Ｚｒを含む窒
化ケイ素膜（ＳｉＺｒx Ｎy 膜）／ＡＺＯ膜を、表１に
示す厚さの割合で形成した以外は、実施例１と同様にし
て、ガラス積層体を製造し、さらに機能性透明物品を製
造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示
す。なお、ＳｉＺｒx Ｎy 膜の形成条件は、表２に示す
通りである。
【００５９】（比較例９）第１層として、炭窒化酸化ケ
イ素膜（ＳｉＯx Ｃy Ｎz 膜）／ＡＺＯ膜を、表１に示
す厚さの割合で形成した以外は、実施例１と同様にし
て、ガラス積層体を製造し、さらに機能性透明物品を製
造し、実施例１と同様にして測定した結果を表１に示
す。なお、ＳｉＯx Ｃy Ｎz 膜の形成条件は、表２に示
す通りである。
【００６０】
【表１】
【００６１】注 ＊１ ＺｎＡｌx Ｏy ：Ａｌを［Ａｌ
／（Ｚｎ＋Ａｌ）］×１００＝３０ａｔ％含む酸化亜鉛
膜 ＊２ ＡＺＯ：Ａｌを［Ａｌ／（Ｚｎ＋Ａｌ）］×１０
０＝３ａｔ％含む酸化亜鉛膜 ＊３ ＺｎＳｎx Ｏy ：Ｓｎを［Ｓｎ／（Ｚｎ＋Ｓ
ｎ）］×１００＝１０ａｔ％含む酸化亜鉛膜 ＊４ ＳｉＺｒx Ｎy : Ｚｒを［Ｚｒ／（Ｓｉ＋Ｚ
ｒ）］×１００＝３３ａｔ％含む窒化ケイ素膜 ＊５ ＳｉＯx Ｃy Ｎz ：炭窒化酸化ケイ素膜
【００６２】
【表２】
【００６３】表１に示すとおり、実施例１〜４において
は、熱処理によってＡｇ−１ａｔ％Ｐｄ層は劣化しなか
った。また、未酸化のバリア層が十分に酸化される一
方、また、Ａｇ−１ａｔ％Ｐｄ層が焼きなまされて格子
欠陥が低減した。その結果、熱処理後の光学特性とし
て、５ｍｍ厚の無着色ガラス板使用時の可視光透過率が
７３％以上（すなわち、２ｍｍ厚の無着色ガラス板使用
時では７５％以上に相当）の高い透明性と、熱線透過率
が５０％以下の良好な遮熱性能が得られた。また、ヘイ
ズ値は０．５％以下であり十分に低かった。
【００６４】また、第１層において、ＺｎＡｌx Ｏy 膜
の代わりに酸化スズからなる膜を形成した比較例２〜４
では、熱処理後に、可視光透過率が７０．３〜７１．６
％の範囲を示し、十分高い透明性が得られなかった。比
較例１では、７４．１％と高い可視光透過率が得られた
が、ヘイズ値が０．８％と高めの値を示し、外観的には
劣ったものであった。
【００６５】さらに、比較例５、８および９は、それぞ
れ第１層において、ＺｎＡｌx Ｏy膜の代わりに、Ｔｉ
Ｏ2 膜、ＳｉＺｒx Ｎy 膜およびＳｉＯx ＣN Ｎy 膜を
形成した例であり、熱処理後に１．１〜８．２％と高い
ヘイズ値を示し、実用に供せるものではなかった。
【００６６】さらにまた、比較例６および７は、それぞ
れ第１層において、ＺｎＡｌx Ｏy膜の代わりに、Ｚｎ
Ｓｎx Ｏy 膜を形成した例であり、熱処理後に高い可視
光透過率および熱線反射率を示す厚さのもの（比較例
６）では、ヘイズ値が高めとなり、逆にヘイズ値が小さ
くなる厚さのもの（比較例７）では、可視光透過率が十
分に高くない。
【００６７】（実施例３および４）表面を洗浄処理し
た、縦３０ｃｍ×横３０ｃｍ×厚さ５ｍｍの無色のソー
ダライムガラスからなる基板を、基板を搬送しながらス
パッタリングを行うインライン型スパッタリング装置内
に入れ、実施例１と同様にして、下記の表３に示す層構
成の積層膜を形成して、ガラス積層体を製造した。この
とき、各層の厚さは、実施例１と同様にして、基板の搬
送速度を調整して、所定の膜厚を形成するように制御し
た。
【００６８】
【表３】
【００６９】このとき、第１層〜第４層については、実
施例１における第１層〜第４層の形成条件と同条件で形
成した。
【００７０】第５層におけるＡＺＯ膜は、実施例１の第
５層におけるＡＺＯ膜の形成条件と同条件で形成した。
また、実施例３における第５層における窒化アルミニウ
ム（ＡｌＮx ）膜は、Ａｌターゲットを用いて、Ａｒと
Ｎ2 の混合ガス雰囲気中で、圧力０．２６６Ｐａ（２．
０×１０-3Ｔｏｒｒ）、投入電力２．２Ｗ／ｃｍ2 の条
件で、スパッタリングを行って形成した。さらに、実施
例４における第５層のＺｒを含む窒化ケイ素膜は、比較
例８と同様にして形成した。
【００７１】また第２層と第３層の界面、および第４層
と第５層の界面に、ＺｎとＡｌの金属からなるバリア層
（膜厚：約２ｎｍ）を、実施例１におけるバリア層の形
成条件と同条件で形成した。
【００７２】得られたガラス積層体を、６５０℃で３分
間保持し、強化処理のための熱処理を加え、その後風冷
して、機能性透明物品を得た。この機能性透明物品につ
いて、可視光透過率および熱線透過率、ならびにヘイズ
値を、それぞれ分光光度計およびヘイズメーターによっ
て測定したところ、下記の結果が得られ、ヘイズ値が十
分に低く、かつ良好な透明性（高い可視光透過率）と遮
熱性能（低い熱線透過率）を示すものであった。
【００７３】
【表４】
【００７４】（実施例５）表面を洗浄処理した、縦３０
ｃｍ×横３０ｃｍ×厚さ５ｍｍの無色のソーダライムガ
ラスからなる基板を用いて、下記の層構成からなる積層
膜を形成して、ガラス積層体を製造した。このとき、各
層の厚さは、実施例１と同様にして、基板の搬送速度を
調整して、所定の膜厚を形成するように制御した。 第１層（ＺｎＡｌｘＯｙ層） ３８ｎｍ 第２層（Ａｇ−１ａｔ％Ｐｄ層） １０ｎｍ 第３層（ＡＺＯ層／ＡｌＮx 膜）２８ｎｍ／７．５ｎｍ
【００７５】このとき、第１層および第２層は、それぞ
れ実施例１の第１層および第２層と同条件で形成した。
第３層におけるＡＺＯ層は、実施例１の第５層における
ＡＺＯ膜の形成条件と同条件で形成した。
【００７６】また、第２層と第３層の界面の界面に、Ｚ
ｎとＡｌの金属からなるバリア層（膜厚：約２ｎｍ）
を、実施例１におけるバリア層の形成条件と同条件で形
成した。
【００７７】さらに、第３層のＡＺＯ膜の上に、金属Ａ
ｌターゲットを用い、窒素とアルゴンの混合ガス雰囲気
中でスパッタリングを行ってＡｌＮx 膜を形成した。
【００７８】得られたガラス積層体を、６５０℃で３分
間保持し、強化処理のための熱処理を加え、その後風冷
して機能性透明物品を得た。この機能性透明物品につい
て、可視光透過率、熱線透過率および熱線反射率、なら
びにヘイズ値を、それぞれ分光光度計およびヘイズメー
ターによって測定したところ、可視光透過率８３．５
％、熱線透過率５４．６％および熱線反射率２７．５％
と、良好な透明性と遮熱性能を示し、また、ヘイズ値も
０．３％と低く、良好な値を示した。
【００７９】さらに、得られた積層膜について、４端子
法により電気的特性の測定を行った。積層直後の熱処理
を行う前の積層膜のシート抵抗値は８．０Ω／□であっ
た。また、得られたガラス積層体を、５５０℃、６００
℃および６５０℃の各種温度で３分間保持したところ、
熱処理後のシート抵抗値は、５５０℃熱処理品は６．０
Ω／□、６００℃熱処理品は５．８Ω／□、６５０℃熱
処理品は６．５Ω／□を、それぞれ示した。これは、Ａ
ｇ−１ａｔ％Ｐｄ層が焼きなまされて格子欠陥が減少し
た結果、抵抗が低下したためと考えられる。
【００８０】次に、実施例１〜２で得られた５層系の積
層膜を有する６５０℃熱処理後のガラス積層体、ならび
に実施例５で得られた３層系の積層膜を有する６５０℃
熱処理後のガラス積層体を、それぞれの積層膜側に、ポ
リビニルブチラールからなる接着層（厚さ：０．７６ｍ
ｍ）を介して、もう１枚のソーダライムガラス基板（厚
さ：２ｍｍ）を貼り合わせて、５種の合わせガラスを製
造した。得られた合わせガラスについて、可視光透過
率、熱線透過率および熱線反射率を測定し、熱処理後の
各例のガラス積層体の可視光透過率、熱線透過率および
熱線反射率とともに、表５に示した。
【００８１】
【表５】
【００８２】表５において、５層系（Ａｇ主成分層２積
層系）の積層膜を有する合わせガラスが、約４２〜４３
％の熱線透過率を示している。一方、３層系（Ａｇ主成
分層１積層系）の積層膜を有する合わせガラスは、約６
５％の熱線透過率を示している。したがって、５層系の
ガラス積層体は、３層系よりも非常に良好な遮熱性能を
実現できる。さらに、５層系の積層膜を有する合わせガ
ラスは、熱線反射率が約３１〜３２％と、３層系におけ
る熱線反射率約１８％に対して大幅に高く、熱線反射性
能においても優れる。従来のグリーンやブロンズ色の着
色ガラスを用いた遮熱方法では、熱線反射率は６〜７％
と低く、また、遮熱性能のほとんどをガラスによる熱線
吸収に拠っていて、吸収された熱の一部が室内へ再輻射
される。したがって、本発明のガラス積層体の方が、遮
熱性能において優位性を有することが明らかである。
【００８３】
【発明の効果】本発明のガラス積層体は、耐熱性に優れ
るため、強化、曲げ加工等の成形加工時における加熱に
よっても光学特性が劣化せず、機能性透明物品の素材と
して好適である。そのため、本発明のガラス積層体は、
予め、大面積の平板状のものを製造しておけば、所望の
機能性透明物品を製造する際に、所望の大きさに切断し
てから成形加工等の処理（例えば曲げ加工や強化処理）
を施せばよく、貯蔵、保管、生産上のメリットが大であ
る。また、本発明の機能性透明物品の製造方法によれ
ば、本発明のガラス積層体を素材として用いて、光学特
性に優れる機能性透明物品を得ることができる。さら
に、本発明の機能性透明物品の製造方法によれば、強
化、曲げ加工等の成形加工時における加熱によってもガ
ラス積層体の光学特性が劣化しないため、所望の性能を
維持して、安定して生産することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 海老沢 純一 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150 旭硝 子株式会社内 (72)発明者 野田 和良 神奈川県愛甲郡愛川町角田426−１ 旭硝 子株式会社内 (72)発明者 竹田 諭司 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150 旭硝 子株式会社内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ガラス基体と、ガラス基体上に、ＡｌをＡ
    ｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸
    化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む酸化物からなる第１層を
    有し、 第１層の上に、Ａｇを主成分とする金属からなる層
    （Ｂ）と、酸化物、窒化物および炭化物から選ばれる少
    なくとも１種からなる層（Ｃ）とが、層（Ｂ）および層
    （Ｃ）の順に１層または交互に複数層積層され、 第１層と層（Ｂ）および層（Ｃ）、との合計の層数が２
    ｎ＋１（ｎは正の整数である）であるガラス積層体。
  2. 【請求項２】層（Ｃ）の少なくとも１層が、ＡｌをＡｌ
    ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化
    亜鉛からなる膜（Ａ）を含む層である請求項１に記載の
    ガラス積層体。
  3. 【請求項３】ガラス基体上に、基体側から順次、基体側
    に配設されたＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０
    ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む酸
    化物からなる第１層、Ａｇを主成分とする金属からなる
    層（Ｂ）、ならびに酸化物、窒化物、炭化物およびこれ
    らの複合化合物から選ばれる少なくとも１種からなる層
    （Ｃ）が積層されたガラス積層体。
  4. 【請求項４】層（Ｃ）が、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）
    で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜
    （Ａ）を含む層である請求項３に記載のガラス積層体。
  5. 【請求項５】ガラス基体上に、基体側から順次、基体側
    に配設されたＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０
    ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなる膜（Ａ）を含む酸
    化物からなる第１層、Ａｇを主成分とする金属からなる
    層（Ｂ）、酸化物、窒化物および炭化物から選ばれる少
    なくとも１種からなる層（Ｃ）、Ａｇを主成分とする金
    属からなる層（Ｂ）、ならびに酸化物、窒化物、炭化物
    およびこれらの複合化合物から選ばれる少なくとも１種
    からなる層（Ｃ）を有するガラス積層体。
  6. 【請求項６】層（Ｃ）の少なくとも１層が、ＡｌをＡｌ
    ／（Ａｌ＋Ｚｎ）で１５〜５０ａｔ％の割合で含む酸化
    亜鉛からなる膜（Ａ）を含む層である請求項５に記載の
    ガラス積層体。
  7. 【請求項７】膜（Ａ）が、ＡｌをＡｌ／（Ａｌ＋Ｚｎ）
    で１５〜３０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛からなるもの
    である請求項１〜６のいずれかに記載のガラス積層体。
  8. 【請求項８】第１層は、膜（Ａ）と、ＡｌをＡｌ／（Ａ
    ｌ＋Ｚｎ）で１〜１０ａｔ％の割合で含む酸化亜鉛から
    なる膜（ａ）とを有し、かつ、膜（ａ）はＡｇを主成分
    とする金属からなる層（Ｂ）に接して設けられ、膜
    （Ａ）はガラス基体と膜（Ｂ）との間に設けられること
    を特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の積層体。
  9. 【請求項９】請求項１〜８のいずれかに記載のガラス積
    層体を５７０℃以上に熱処理する工程を有する機能性透
    明物品の製造方法。
  10. 【請求項１０】請求項９の方法によって得られる機能性
    透明物品。
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