JP2016079052A - 窓ガラスおよび積層膜付き透明基板 - Google Patents
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- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
Abstract
【解決手段】透明基板と前記透明基板上に成膜された積層膜を有する積層膜付き透明基板からなり、前記積層膜が室内側の大気に露出した状態で使用され、JIS R3106/3107(1998)に準拠して測定される熱貫流率(U値)が3.4〜4.7W/m2・K、日射熱取得率(η値)が0.17〜0.44、および可視光透過率(Tv)が35%以上であり、 JIS Z8726(1990)に準拠してD65光源を使用し平均演色性評価数(Ra)により評価される透過光の演色性が90%以上であり、ISO12870に準拠した3日間の耐汗試験後に前記積層膜表面を顕微鏡(50倍)で観察して計測される、1mm×1mmの範囲における欠点数が50以下である窓ガラス。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の窓ガラスの一実施形態の使用時の一例を示す断面図である。図2、図3は本発明の窓ガラスを構成する積層膜付き透明基板の一実施形態およびその変形例を示す拡大断面図である。さらに、図4、図5は本発明の窓ガラスを構成する積層膜付き透明基板の別の実施形態およびその変形例を示す拡大断面図である。
(1−a)熱貫流率(U値)が3.4〜4.7W/m2・Kである。
(2−a)日射熱取得率(η値)が0.17〜0.44である。
(3−a)可視光透過率(Tv)が35%以上である。
(4−a)JIS Z8726(1990)に準拠してD65光源を使用し平均演色性評価数(Ra)により評価される透過光の演色性が90%以上である。
(5−a)ISO12870に準拠した3日間の耐汗試験後に上記積層膜表面を顕微鏡(50倍)で観察して計測される、1mm×1mmの範囲における欠点数(以下、単に「耐汗試験による欠点数」という。)が50以下である。
(6−a)JIS R3106/3107(1998)に準拠して測定される日射熱取得率(η値)および可視光透過率(Tv)を用いて、Tv/(η値×100)の式で算出される選択係数が1.1以上である。
上記本発明の第1の態様の窓ガラスにおける積層膜付き透明基板、第2の態様の窓ガラスにおける積層膜付き透明基板、および積層膜付き透明基板(A)は、いずれも、積層膜が、例えば、銀を主体とする金属層を含む積層膜、または透明導電層と窒素含有光吸収層とを含む積層膜で構成される。積層膜付き透明基板(B)が有する積層膜は、上記のとおり銀を主体とする金属層を含む積層膜である。
図2に示す積層膜付き透明基板10Aは、透明基板11と、透明基板11上に銀を主体とする金属層123を含む積層膜12Aを有する。
透明基板11は、特に限定されず、例えば、建築物用の窓ガラスや通常使用されるフロートガラス、またはロールアウト法によって製造されるソーダ石灰ガラス等の無機質の透明性を有するガラス基板を使用できる。ガラス基板としては、クリアガラス、高透過ガラス等の無色のもの等が使用できる。透明基板11として、有機質の透明基板を用いてもよい。有機質の透明基板としては、ポリメチルメタクリレート等のアクリル系樹脂やポリフェニレンカーボネート等の芳香族ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の芳香族ポリエステル系樹脂等からなる透明基板が挙げられる。
図2に示す積層膜付き透明基板10Aが透明基板11上に有する積層膜12Aは、透明基板11側から順に、第1の窒化ケイ素層121、第1のクロム含有層122、銀を主体とする金属層123、第2のクロム含有層124、および第2の窒化ケイ素層125が成膜されて構成される。このように銀を主体とする金属層が2層のクロム含有層に接するように挟持され、さらに2層の窒化ケイ素層に挟持される構成としたことで、積層膜付き透明基板10Aは、良好な化学的耐久性、機械的耐久性、および熱的耐久性を有する。
積層膜付き透明基板10A、10Bは、透明基板11の表面を清浄化処理した後、この表面に各層を成膜して得られる。成膜方法は、特に限定されず、物理的蒸着法(真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法)、化学的蒸着法(熱CVD法、プラズマCVD法、光CVD法)、イオンビームスパッタリング法等を適用できる。透明基板11の面積が大きい場合、厚さの均一性が制御しやすく、生産性に優れることから、直流または交流デュアルスパッタリング法が好ましい。
図4に示す積層膜付き透明基板10Cは、透明基板11と、透明基板11上に透明導電層221と窒素含有光吸収層222を含む積層膜12Cを有する。透明基板11については、上記図2に示す積層膜付き透明基板10Aと同様にできる。
図4に示す積層膜付き透明基板10Cが透明基板11上に有する積層膜12Cは、透明基板11側から順に、透明導電層221および窒素含有光吸収層222が成膜されて構成される。
積層膜付き透明基板10C、10Dは、透明基板11の表面を清浄化処理した後、この表面に各層の前駆層を成膜した後、熱処理を施すことで得られる。成膜方法は、特に限定されず、上記積層膜付き透明基板10A、10Bにおいて例示したのと同様の方法が適用できる。
透明基板としての厚さ3mmのソーダライムガラス板(旭硝子株式会社製、FL3)を準備し、その一方の主面上に、スパッタリング法により、表3に示す膜構成および厚さとなるように各膜を成膜して、透明基板上に積層膜を有する積層膜付き透明基板Aを製造した。表3において、透明基板、積層膜の各膜は左から積層順に記載されている。各膜は構成材料と括弧内の数字で示す厚さ(単位は全て[nm]である)で表示した。
透明基板として、厚さが6.0mmのソーダライムガラス(旭硝子株式会社製、FL6)を用意し、このガラス基板を洗浄後、基板ホルダーにセットした。
実施例2において、コーティング付きガラス基板として、ITO層の厚さを72nm、窒化チタン層の厚さを42nm、Alドープ窒化ケイ素層の厚さを59nmとしたコーティング付きガラス基板を作製した以外は、実施例2と同様にして積層膜付き透明基板Cを得た。
実施例2において、コーティング付きガラス基板として、ITO層の厚さを131nm、窒化チタン層の厚さを32nm、Alドープ窒化ケイ素層の厚さを40nmとしたコーティング付きガラス基板を作製した以外は、実施例2と同様にして積層膜付き透明基板Dを得た。
透明基板として、厚さが3.0mmのソーダライムガラス(旭硝子株式会社製、FL3)を用い、該透明基板上に実施例1と同様のスパッタ装置により、Alドープ酸化亜鉛層(Al:ZnO層)、実施例1と同様の銀パラジウム合金層(AgPd層)、Alドープ亜鉛犠牲層(Al:Zn)、Alドープ酸化亜鉛層(Al:ZnO層)、をその順に成膜し、積層膜付き透明基板Eを得た。なお、Alドープ酸化亜鉛層(Al:ZnO層)はいずれも、2質量%のアルミニウムを含有する亜鉛アルミ金属ターゲットを使用して、成膜圧力が4.5mTorrとなるように二酸化炭素ガスを導入し、パワー密度を3.6W/cm2として成膜した。また、Alドープ亜鉛犠牲層(Al:Zn)は、2質量%のアルミニウムを含有する亜鉛アルミ金属ターゲットを使用して、成膜圧力が4mTorrとなるようにアルゴンを導入し、パワー密度を0.1W/cm2として成膜した。
なお、Alドープ亜鉛犠牲層は、その上に形成されるAlドープ酸化亜鉛層(Al:ZnO層)の成膜時に、該層に包含されてそれ自体は残らない層である。
実施例2において、コーティング付きガラス基板として、ITO層の厚さを96nm、窒化チタン層の厚さを5nm、Alドープ窒化ケイ素層の厚さを55nmとしたコーティング付きガラス基板を作製した以外は、実施例2と同様にして積層膜付き透明基板Fを得た。
透明基板として、厚さが6mmの緑色の熱線吸収ガラス(旭硝子株式会社製、表3中において「TG」と示す)を作製する際に、ガラスを製造するフロートライン上に設置したChemical Vapor Deposition(CVD)装置にて、SiOC層(80nm)、SbドープSnO2層(320nm)をその順に成膜し、積層膜付き透明基板Hを得た。
透明基板として、厚さが6.0mmのソーダライムガラス(旭硝子株式会社製、FL6)を用い、該透明基板上に実施例2と同様のスパッタ装置により、窒化ケイ素層(10nm)、窒化クロム層(10nm)、窒化ケイ素層(20nm)をその順に成膜し、積層膜付き透明基板Iを得た。
日立分光光度計(U−3100型)を使用して積層膜付き透明基板の分光測定を行った。JIS R3106/3107(1998)に準拠して、熱貫流率(U値)、透明基板から光が入射する場合の日射熱取得率(η値)、可視光透過率(Tv)を求めた。また、JIS Z8726(1990)に準拠してD65光源を使用し平均演色性評価数(Ra)により評価される透過光の演色性を求めた。さらに、可視光透過率(Tv)と日射熱取得率(η値)から、選択係数(Tv/(η値×100))を算出した。
ISO12870に準じて耐汗試験を行った。すなわち、密閉容器中に人工汗液を注入するとともに、この密閉容器中に人工汗液から離して積層膜付き透明基板を配置した後、密閉状態にして55±5℃で3日間保持した。なお、人工汗液は、乳酸50g/L、および塩化ナトリウム100g/Lを含有する。その後、密閉容器から積層膜付き透明基板を取り出して、積層膜表面を顕微鏡(50倍)で観察し、1mm×1mmの範囲における欠点数を目視で計測し、以下の基準で評価した。
5;欠点数が101個以上
4;欠点数が51〜100個
3;欠点数が31〜50個
2;欠点数が6〜30個
1;欠点数が0〜5個
10A,10B,10C,10D…積層膜付き透明基板
12A,12B,12C,12D……積層膜
121…第1の窒化ケイ素層、122…第1のクロム含有層、123…銀層、124…第2のクロム含有層、125…第2の窒化ケイ素層、126…保護層
221…透明導電層、222…窒素含有光吸収層、223…誘電体層
Claims (13)
- 透明基板と前記透明基板上に成膜された積層膜を有する積層膜付き透明基板からなる窓ガラスであって、
前記積層膜が室内側の大気に露出した状態で使用され、
JIS R3106/3107(1998)に準拠して測定される熱貫流率(U値)が3.4〜4.7W/m2・K、日射熱取得率(η値)が0.17〜0.44、および可視光透過率(Tv)が35%以上であり、
JIS Z8726(1990)に準拠してD65光源を使用し平均演色性評価数(Ra)により評価される透過光の演色性が90%以上であり、
ISO12870に準拠した3日間の耐汗試験後に前記積層膜表面を顕微鏡(50倍)で観察して計測される、1mm×1mmの範囲における欠点数が50以下である窓ガラス。 - 透明基板と前記透明基板上に成膜された積層膜を有する積層膜付き透明基板からなる窓ガラスであって、
前記積層膜が室内側の大気に露出した状態で使用され、
JIS R3106/3107(1998)に準拠して測定される日射熱取得率(η値)および可視光透過率(Tv)を用いて、Tv/(η値×100)の式で算出される選択係数が1.1以上であり、
JIS Z8726(1990)に準拠してD65光源を使用し平均演色性評価数(Ra)により評価される透過光の演色性が90%以上であり、
ISO12870に準拠した3日間の耐汗試験後に前記積層膜表面を顕微鏡(50倍)で観察して計測される、1mm×1mmの範囲における欠点数が50以下である窓ガラス。 - 前記積層膜が銀を主体とする金属層を含む請求項1または2に記載の窓ガラス。
- 前記積層膜が透明導電層と窒素含有光吸収層とを含む請求項1または2に記載の窓ガラス。
- 透明基板と前記透明基板上に成膜された積層膜を有し、
JIS R3106/3107(1998)に準拠して測定される熱貫流率(U値)が3.4〜4.7W/m2・K、前記積層膜側で測定される日射熱取得率(η値)が0.17〜0.44、および可視光透過率(Tv)が35%以上であり、
JIS Z8726(1990)に準拠してD65光源を使用し平均演色性評価数(Ra)により評価される透過光の演色性が90%以上である積層膜付き透明基板。 - ISO12870に準拠した3日間の耐汗試験後に前記積層膜表面を顕微鏡(50倍)で観察して計測される、1mm×1mmの範囲における欠点数が50以下である請求項5記載の積層膜付き透明基板。
- 前記積層膜が銀を主体とする金属層を含む請求項5または6記載の積層膜付き透明基板。
- 前記積層膜が透明導電層と窒素含有光吸収層とを含む請求項5または6記載の積層膜付き透明基板。
- 透明基板と前記透明基板上に成膜された銀を主体とする金属層を含む積層膜を有し、
ISO12870に準拠した3日間の耐汗試験後に前記積層膜表面を顕微鏡(50倍)で観察して計測される、1mm×1mmの範囲における欠点数が50以下である積層膜付き透明基板。 - 前記金属層が、さらに、パラジウム、金、クロム、コバルトおよびニッケルから選ばれる少なくとも1種の金属を含む請求項9記載の積層膜付き透明基板。
- 前記積層膜が、少なくとも前記金属層の透明基体と反対側に、窒化ケイ素を主体とする窒化ケイ素層をさらに有する請求項9または10記載の積層膜付き透明基板。
- 前記積層膜が、さらに、クロム、ニッケルクロム合金、クロムの部分窒化物、またはニッケルクロム合金の部分窒化物のいずれかからなる2層のクロム含有層を前記金属層に接するように有する請求項9〜11のいずれか1項記載の積層膜付き透明基板。
- 複層ガラスまたは合わせガラスに用いられる請求項5〜12のいずれか1項に記載の積層膜付き透明基板。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019167900A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | Tdk株式会社 | 透明導電体、調光体及び透明発熱体 |
WO2021014977A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | Agc株式会社 | 積層体および積層体の製造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62216943A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-24 | ロイ ジエラルド ゴ−ドン | ソ−ラ−遮へいフイルム用保護被覆 |
JPH0244046A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-02-14 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製造方法 |
JPH0710609A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-13 | Central Glass Co Ltd | 熱遮断ガラスおよびそれを用いた複層ガラス |
JPH08239245A (ja) * | 1995-01-17 | 1996-09-17 | Guardian Ind Corp | スパッタ被覆ガラス製品及びその断熱ガラス・ユニット |
JPH08268733A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-10-15 | Guardian Ind Corp | スパッタ被覆ガラス製品及びその断熱ガラス・ユニット |
JPH09132435A (ja) * | 1995-11-02 | 1997-05-20 | Guardian Ind Corp | スパッタ被覆ガラス製品並びに断熱ガラス・ユニット及びその製造方法 |
JP2000229378A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-08-22 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法 |
JP2000281387A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 高遮熱・低放射ガラスと該高遮熱・低放射ガラスを使用したガラス物品 |
WO2006098285A1 (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 温室、温室を使用した植物の栽培方法、及び透過性基板 |
-
2014
- 2014-10-14 JP JP2014209906A patent/JP6459374B2/ja active Active
-
2015
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62216943A (ja) * | 1986-03-10 | 1987-09-24 | ロイ ジエラルド ゴ−ドン | ソ−ラ−遮へいフイルム用保護被覆 |
JPH0244046A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-02-14 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製造方法 |
JPH0710609A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-13 | Central Glass Co Ltd | 熱遮断ガラスおよびそれを用いた複層ガラス |
JPH08268733A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-10-15 | Guardian Ind Corp | スパッタ被覆ガラス製品及びその断熱ガラス・ユニット |
JPH08239245A (ja) * | 1995-01-17 | 1996-09-17 | Guardian Ind Corp | スパッタ被覆ガラス製品及びその断熱ガラス・ユニット |
JPH09132435A (ja) * | 1995-11-02 | 1997-05-20 | Guardian Ind Corp | スパッタ被覆ガラス製品並びに断熱ガラス・ユニット及びその製造方法 |
JP2000229378A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-08-22 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法 |
JP2000281387A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 高遮熱・低放射ガラスと該高遮熱・低放射ガラスを使用したガラス物品 |
WO2006098285A1 (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 温室、温室を使用した植物の栽培方法、及び透過性基板 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019167900A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | Tdk株式会社 | 透明導電体、調光体及び透明発熱体 |
JPWO2019167900A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2021-03-11 | Tdk株式会社 | 透明導電体、調光体及び透明発熱体 |
JP7024852B2 (ja) | 2018-02-28 | 2022-02-24 | Tdk株式会社 | 透明導電体、調光体及び透明発熱体 |
WO2021014977A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | Agc株式会社 | 積層体および積層体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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