JP3974583B2 - ニオブ−チタン層を有する薄膜コーティング - Google Patents

Description

本発明は、概して、ガラスまたはその他の基材のための透明コーティングに関するものである。更に詳しくは、本発明は、ガラス焼入れ中に遭遇するような高温に耐え得るコーティングに関するものである。

本出願は、２００２年３月１日提出の出願番号第１０／０８７，６６２号の特許出願の部分継続出願であり、ここにその開示の全てを参照して組み入れる。

ガラス板およびその他の基材は、透明な金属含有フィルムの積層体で被覆して、コーテッド基材の光学特性を変化させることができる。他の波長の放射、特に赤外スペクトルの放射の透過を最小限にしながら、可視光を容易に透過するという能力によって特徴付けられるコーティングが、特に望ましい。これらの特徴は、可視透過を損なうことなく、放射熱伝達を最小限にするのに有用である。このような性質のコーテッドガラスは、建築用ガラスおよび自動車用ガラスとして有用である。

高い可視透過率および低い放射率という特徴を有するコーティングは、一般に、１以上の赤外反射フィルムと、２以上の反射防止透明誘電フィルムとを含む。赤外反射フィルムは、一般に、銀、金または銅などの導電性金属であるが、コーティングを介した放射熱の透過を低減する。透明誘電フィルムは、主として可視反射を低減し、傷つき易い赤外反射フィルムに対し機械的および化学的な保護を与え、且つ、色などの、その他の光学的なコーティング特性を制御するために用いられる。一般に使用される透明誘電物質は、亜鉛、錫およびチタンの酸化物、並びに、ケイ素、クロム、ジルコニウムおよびチタンの窒化物を含む。低放射率コーティングは、一般に、周知のマグネトロンスパッタリング法を用いることによって、ガラス板上に堆積される。

自動車のフロントガラスなどのように、ガラス板を焼入れするため、または、所望の形状に曲げるため、ガラス板は、しばしば、ガラスの融点またはそれに近い温度に加熱することを必要とされる。焼入れは、自動車の窓ガラスに使用されるガラス、特に、自動車のフロントガラスに使用されるガラスにとって重要である。破壊されたとき、焼入れガラスは、望ましくは、大きい危険な破片ではなく、非常に多くの小片に砕けるという、破壊パターンを示す。焼入れ中、コーテッドガラスは、一般に、約７００℃以上のオーダーの高温に曝される。更に、コーテッドガラスは、しばしば、十分な期間、このような温度に耐え得るものでなければならない。赤外反射フィルムとして銀を使用したフィルム積層体は、銀フィルムの劣化なしに、このような高温加工に耐えることができないことが多い。

この問題を回避するため、ガラス板は、コーティングされる前に加熱され、曲げまたは焼入れされる場合がある。そして、加熱後に、所望のフィルムが付与される。しかしながら、この手順は、複雑で費用がかかりがちであり、更に問題なことに、不均一なコーティングを生じるおそれがある。

反射銀フィルムを高温での劣化から保護するための別の方法として、銀を、酸化および／または窒化可能な金属（例えば、チタン）の保護フィルムで挟むことが報告されている。保護フィルムは、コーテッドガラスが高温に加熱された際に、これらのフィルムが、銀フィルムに達して反応する可能性のある酸素および／または窒素を捕らえられるような、十分な厚みと、十分な反応性を有している。熱処理中、もともと平らな銀フィルム中の原子が、特に移動し易くなり、酸素の存在によって活性化された後は、更に移動し易くなる。その結果、銀は小山を成長させ、この小山は、結局は孤立した金属の島（クラスター）の形成を招く。これは、通常、許容できないような可視的な曇りを生じ、赤外反射を減少させ、放射率を増大させる。米国特許第４，７９０，９２２号（ハファー（Huffer）等）、米国特許第４，８０６，２２０号（フィンレイ（Finley））および米国特許第３，９６２，４８８号（ギレリー（Gillery））を参照することができ、それぞれの教示の全てをここに参考として組み入れる。

後の酸化物層の堆積中に銀フィルムを保護するため、赤外反射銀フィルム上に直接に単一の保護チタン層を付与することが知られている。保護チタン層は、それが組み入れられた低放射率コーティングにおいて、優れた耐引掻き性を与えることが見出された。しかしながら、チタン保護層を有する低放射率コーティングは、焼入れされたときに、色が著しく変化し易い（すなわち、色変化し易い）。その結果、このようなコーティングを備えたガラスは、焼入れ後に、焼入れ前とは著しく異なった色を示す傾向がある。これは、製品の最終的な外観は、別の場所で後に実施される焼入れ後にしか現われないため、品質管理にとって望ましからざる結果を招く可能性がある。これは、製造プロセスの制御へのフィードバックを困難なものとする。

焼入れされたガラスと焼入れされていないガラスが、均一な外観を有することを保証するため、焼入れ可能なコーティングは、焼入れ後の外観が、焼入れされていないコーティングの通常の外観と実質的に同じとなるように設計される。焼入れ可能なコーティングは、一般に、これらのコーティングは焼入れ後にのみ所望の外観（すなわち、最終的な仕様）に達し得るものであるため、最初に焼入れされることなくしては使用されない。焼入れおよびその他の熱処理中に、色およびその他の特性の変化が可能な限り小さいコーティングを付与することが好ましい。

米国特許第６，０６０，１７８号および第６，２３１，９９９号（いずれもクリスコ（Krisko）による）は、その教示の全てをここに参考として組み入れるものであるが、ニオブ保護層を使用した低放射率コーティングを開示している。ニオブ保護層を有する低放射率コーティングは、焼入れまたはその他の熱処理が為された際に、最小限の特性変化（例えば、色変化）を示すという点で、特に有益である。しかしながら、ニオブ保護層を有する低放射率コーティングは、チタン保護層を有する別の等価なコーティングよりも、耐引掻き性に劣ることがわかった。
米国特許第４，７９０，９２２号明細書 米国特許第４，８０６，２２０号明細書 米国特許第３，９６２，４８８号明細書 米国特許第６，０６０，１７８号明細書 米国特許第６，２３１，９９９号明細書

低放射率コーティングに、耐引掻き性と、焼入れおよびその他の熱処理中に発生し得る色変化に対する耐性との両方を与える保護層を提供することが、望まれている。これらの特性を与え、更に、手頃なコストで低放射率コーティングに組み入れることが可能な保護層を提供することが、特に望まれている。

本発明は、基材と、前記基材上に堆積された透明フィルム積層体とを含む、透明で耐熱性の物品を提供する。耐熱性物品は、コーテッド窓ガラス、断熱ガラスユニットまたは窓組立体などのガラス製品であり得る。透明フィルム積層体は、好ましくは、赤外反射フィルムと、ニオブおよびチタンの両方を含む保護層とを含む。この保護層は、赤外反射フィルムに隣接する（すなわち、直接に接触する）ことが好ましい。保護層におけるニオブ−チタンは、ニオブおよびチタンを含む合金または混合物とすることができる。幾つかの実施形態において、ニオブ−チタン層は、少なくとも部分的に酸化されるか、および／または、少なくとも部分的に窒化されて、ニオブ−チタン合金または混合物の酸化物および／または窒化物を形成している。透明フィルム積層体は、１層、２層またはそれ以上の赤外反射フィルムを含み、そのうちの少なくとも１層に、その上または下に重ねられる保護ニオブ−チタン層が設けられている。特定の実施形態において、透明フィルム積層体における赤外反射フィルムには、その上または下に重ねられる保護ニオブ−チタン層が設けられている。各保護ニオブ−チタン層は、約３０オングストローム以下の厚みを有し得る。各保護層は、好ましくは約１０オングストローム〜約３０オングストローム、更に好ましくは約１５オングストローム〜約２２オングストローム、おそらく最適には約２０オングストロームの厚みを有する。

特定の実施形態において、本発明は、低放射率コーティングを備えた基材を提供する。本実施形態における低放射率コーティングは、基材から外側に向かって、透明誘電物質を含む第１のフィルム層と、赤外反射物質を含む第２のフィルム層と、ニオブおよびチタンを含む第３の保護フィルム層と、透明誘電物質を含む第４のフィルム層とを含む。

特定の実施形態において、本発明は、１層以上の赤外反射フィルムを含む低放射率コーティングを備えた基材を提供する。本実施形態における低放射率コーティングは、コーティングの保護される赤外反射フィルムに隣接した保護ニオブ−チタン層を含む。

特定の実施形態において、本発明は、第１の屈折率を有する透明基材を提供する。基材は、基材から外側に向かって、第１の屈折率と実質的に等しい第２の屈折率を有する、実質的な非晶質物質を含む透明下地層と、透明誘電物質を含む第１のフィルム層と、赤外反射物質を含む第２のフィルム層と、ニオブおよびチタンを含む第３の保護フィルム層と、透明誘電物質を含む第４のフィルム層とを含む。

特定の実施形態において、本発明は、低放射率コーティングを備えた基材を提供する。低放射率コーティングは、基材から外側に向かって、透明誘電物質を含む第１のフィルム層と、赤外反射物質を含む第２のフィルム層と、少なくとも３層のフィルム層を含む中間フィルム領域と、赤外反射物質を含む第６のフィルム層と、透明誘電物質を含む第７のフィルム層とを含む。好ましくは、中間フィルム領域は、結晶質フィルムと実質的な非晶質フィルムとの交互層を含む。本実施形態において、低放射率コーティングは、第２のフィルム層または第６のフォルム層のいずれかに隣接した保護ニオブ−チタン層を含む。

特定の実施形態において、本発明は、低放射率コーティングを備えた基材を提供する。本実施形態における低放射率コーティングは、基材から外側に向かって、亜鉛および錫の酸化物を含む第１のフィルム層と、亜鉛単独の酸化物を含む第２のフィルム層と、赤外反射物質を含む第３のフィルム層と、前記第３のフィルム層上に直接に形成されたニオブおよびチタンを含む第４のフィルム層と、亜鉛単独の酸化物を含む第５のフィルム層と、亜鉛および錫の酸化物を含む第６のフィルム層と、亜鉛単独の酸化物を含む第７のフィルム層と、赤外反射物質を含む第８のフィルム層と、前記第８のフィルム層上に直接に形成されたニオブおよびチタンを含む第９のフィルム層と、亜鉛単独の酸化物を含む第１０のフィルム層と、亜鉛および錫の酸化物を含む第１１のフィルム層と、透明誘電物質を含む第１２のフィルム層とを含む。

特定の実施形態において、本発明は、低放射率コーティングを備えた基材を提供する。本実施形態における低放射率コーティングは、基材から外側に向かって、チタンの酸化物を含む第１のフィルム層と、亜鉛単独の酸化物を含む第２のフィルム層と、赤外反射物質を含む第３のフィルム層と、前記第３のフィルム層上に直接に形成されたニオブおよびチタンを含む第４のフィルム層と、窒化ケイ素を含む第５のフィルム層と、亜鉛単独の酸化物を含む第６のフィルム層と、赤外反射物質を含む第７のフィルム層と、前記第７のフィルム層上に直接に形成されたニオブおよびチタンを含む第８のフィルム層と、透明誘電物質を含む第９のフィルム層とを含む。

特定の実施形態において、本発明は、ニオブ−チタン層の堆積方法を提供する。方法は、ニオブ含有ターゲットおよびチタン含有ターゲットを用意することを含む。両ターゲットを、制御環境を確立することが可能なスパッタリングキャビティーを有するスパッタリングチャンバー内に配置する。両ターゲットに電荷を届け、主面を前記ターゲットに向けて配向させた基材上に、ニオブおよびチタンをスパッタリングし、これによって、前記基材の前記主面上、または、前記基材の前記主面上に既に堆積されたフィルム層上に、ニオブ−チタンフィルムを堆積する。ニオブ−チタン層は、透明誘電層の上方に配置された赤外反射層（例えば、銀含有フィルム）の上方に、堆積される場合がある。

特定の実施形態において、本発明は、コーテッド基材の製造方法を提供する。方法は、基材の上方に、透明誘電物質を含む第１のフィルム層を堆積することを含む。この第１のフィルム層の上方に、赤外反射物質を含む第２のフィルム層が堆積される。この第２のフィルム層の上方に、ニオブおよびチタンを含む第３の保護層が堆積される。この第３のフィルム層の上方に、透明誘電物質を含む第４のフィルム層が堆積される。層は、従来の薄膜堆積法（例えば、スパッタリング、ＣＶＤおよびその他の周知の方法）によって堆積することができる。幾つかの実施形態において、方法は、基材にコーティングを付与した後、基材を熱処理することを含む。熱処理は、コーテッド基材の焼入れ、焼きなまし（heat-strengthening）および／または曲げを含み得る。一般に、基材はガラスであり、熱処理は、前述の性質を有するコーテッドガラス（この基材は、ここに記載したあらゆるフィルム積層体の実施形態に係るコーティングを備え得る）を用意し、このコーテッドガラスを約４００℃〜約７５０℃の高温に曝すことを含む。熱処理は、一般に、酸化雰囲気下で実施される。

以下の詳細な説明は図面を参照しながら読まれるものであり、図面においては、別の図面中の同様の要素には、同様の参照番号が付されている。図面は、一定の率で縮尺する必要のないものであり、選択された実施形態を表してはいるが、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。当業者であれば、ここに示された実施例が、利用可能で且つ本発明の範囲内である、多くの好適な代替手段を有していることを認めるであろう。

本発明は、少なくとも１つのニオブ−チタン層を含むコーティングを提供する。ニオブ−チタン層は、広範な種々のコーティングにおいて有用である。例えば、特別な有用性は、低放射率コーティング、特に銀ベース低放射率コーティング（すなわち、少なくとも１層の銀含有赤外反射フィルムを含む低放射率コーティング）に対して期待される。ニオブ−チタン層が、熱処理可能な低放射率コーティングにおいて、耐引掻き性と、焼入れおよびその他の熱処理中に生じる色変化に対する耐性とを与えることによって、これらのコーティングに多大な利益をもたらすことが、直ちに予想される。

本発明に関連する使用に適した基材は、一般に、平坦な板状基材を含む基材クラスを含む。このような性質を有する基材は、一般に、通常は対向する２つの主面を有する。大部分の場合、基材は、透明物質の板（すなわち、透明板）である。例えば、基材は、ガラス板であり得る。ガラス製品（例えば、断熱ガラスユニット）の製造に一般に使用されるガラスの一種は、ソーダ石灰ガラスである。ソーダ石灰ガラスは、多くの場合において、好ましい基材である。勿論、アルカリ石灰シリカガラス、リン酸塩ガラスおよび溶融シリカと呼ばれるものを含む、他種のガラスを使用することも可能である。基材は透明であることを必須とするものではないことに注意すべきである。例えば、ある場合には、不透明基材が有用であり得る。しかしながら、多くの応用においては、基材は、ガラスまたは透明プラスチックなどの透明または半透明物質を含むと予測される。

図１を参照して、低放射率コーティングを含む本発明の一実施形態を説明する。当該技術において低放射率コーティングは周知であるため、当業者は、これらのコーティングにおける種々のフィルムの正確な性質（例えば、組成、厚みおよび堆積方法）を容易に選択および変更することが可能である。従って、ここで記載され説明される低放射率フィルム積層体の実施形態は、完全に例示であると評価されるべきである。本発明は、コーティングにおけるニオブ−チタン層の位置に関わらず、少なくとも１層のニオブ−チタン層を含むあらゆる低放射率コーティングにまで範囲が広がるものであると評価されるべきである。ニオブ−チタンフィルムを赤外反射フィルム（例えば、銀）の上方および／または下方に使用することで、多大なる利益がもたらされることが、直ちに予測される。

図１の実施形態において、図示の低放射率コーティングは、ただ一つの赤外反射層５０を有している（すなわち、「単層」型低放射率コーティングである。）。この層５０は、あらゆる所望の赤外反射物質で形成することができる。例えば、銀は、最も一般的に使用される赤外反射物質である。しかしながら、金、銅、またはその他の赤外反射物質も使用可能である。同様に、これらの物質の合金または混合物を使用することも可能である。多くの場合、銀または銀含有層５０を使用することが好ましい。例えば、少量の金（例えば、５％以下の金）と組み合わせた銀の形態の赤外反射層を用意することができる。当該分野における当業者は、多くのその他の既知のタイプの銀含有フィルムを使用することを選択し得る。

単一の赤外反射層を有する低放射率コーティングに関しては、この層５０の厚みは、高レベルの赤外反射性を付与するため、少なくとも約６５オングストロームであることが好ましい。しかしながら、特定の応用に対しては、より小さい厚みが望まれる場合がある。一般に、（例えば、３〜１０ミクロンの範囲で）６０％を超える、更に好ましくは８５％を超える赤外反射値が得られように、赤外反射フィルム５０の厚みおよび材料を選択することが有益である。最適には、コーティングは、十分な可視透過率を依然として備えながら、１００％に近い赤外反射値を達成するように設計される。特定の実施形態において、赤外反射層５０は、約５０オングストローム〜約１８０オングストロームの厚みの銀を含む。例えば、約８０オングストロームの厚みの銀が、良好な結果を与えると予測される。

好ましくは、酸素が、赤外反射フィルム５０と反応可能に接触することを防ぐ。例えば、銀は、酸素と非常に反応し易いことが知られている。低放射率コーティング中の銀が、反応性酸素に曝されると、中間反応生成物として不安定な酸化銀が形成される。前述したように、揮発性酸化銀は、銀原子の望ましからざる移動度の増大を招く。このことは、焼入れ中などのような高温下において、銀が酸素と反応する場合において、特にひどくなる可能性がある。赤外反射物質は窒素とはさほど反応しないものの、窒素が赤外反射フィルム５０に到達するのを防ぐことが好ましい。

本発明のニオブ−チタン層は、熱処理中における銀原子の移動性を抑制する。よって、ニオブ−チタン層は、銀の連続膜を維持するのを助ける。このニオブ−チタン層は、酸素および／または窒素が、赤外反射フィルムに到達して反応するのを防止するのに好適である。ニオブおよびチタンは、双方とも、高温で酸素および窒素と反応し、酸化物および窒化物を形成する。よって、保護ニオブ−チタン層は、酸素および窒素と化学的に反応し、これらを捕らえて、ニオブ−チタンの酸化物および窒化物を形成することができると思われる。特定の実施形態において、ニオブ−チタンフィルムは、銀含有赤外反射層の直上に配置され、少なくとも１つの透明誘電酸化物が、保護ニオブ−チタンフィルムよりも基材から離れて配置される。銀は、酸素に特に弱いため、この実施形態は特に有益である。

酸化物および／または窒化物フィルムを含むフィルム積層体が、ガラス焼入れ温度に加熱されると、これらのフィルム中の過剰な酸素および／窒素が移動性を持ち、このような高温において非常に反応性に富むものとなり得ると推測される。この高反応性酸素および／または窒素は、保護ニオブ−チタン層によって捕らえられる。米国特許出願第１０／０８７，６６２号に記載されているように、通常のガラスの焼入れは、一般に、酸化雰囲気（例えば、空気）下で実施される。この第’６６２号の出願の教示を、特に、約７３４度に達する高温でガラスを処理するという、通常のガラス焼入れプロセスの（実施例１における）記載について、ここに参照として取り入れる。雰囲気からの反応性酸素が、焼入れ中にフィルム積層体に侵入し得ると推測される。この反応性酸素もまた、本発明のニオブ−チタン層によって捕らえられる。

更に、本発明のフィルム積層体を備えたガラス板が、高温（例えば、約７００℃のオーダー）に上げられた場合、フィルム積層体の色は、ニオブ−チタンの部分的な酸化および／または窒化の結果であるような僅かな色変化を伴うものの、大きくは影響されない。このように、本発明のニオブ−チタン層は、焼入れまたはその他の熱処理が施される低放射率コーティングに組み入れられる場合に、特に有益である。例えば、低放射率コーティングには、チタン保護層を有する等価なコーティングよりも、高温に曝された際の色変化の最小化を促進するために、本発明のニオブ−チタン層を付与され得る。更に、低放射率コーティングには、ニオブ保護層を有する等価なコーティングよりも、大きな耐磨耗性を促進するために、本発明のニオブ−チタン層を付与され得る。更に、本発明のニオブ−チタン層のコストは、ニオブ保護層のコストよりも低い。よって、ニオブ−チタン層は、消費者に手頃なコストで低放射率コーティングに組み入れることができる。

図１の実施形態において、保護ニオブ−チタン層８０は、赤外反射フィルム５０上に形成されている。一般に、保護ニオブ−チタン層は、金属フィルムとして堆積される。例えば、金属ニオブおよび金属チタンは、不活性雰囲気（例えば、アルゴン）中で、赤外反射フィルム５０上にスパッタリングされ得る。多くの場合、このようなコーテッド基材は、その後、後続の酸素含有スパッタリングゾーン（例えば、ここで、ニオブ−チタン層上に後続の透明酸化物フィルムが堆積される。）に運ばれる。この露出の結果、金属ニオブ−チタン層は、通常、少なくとも部分的に酸化される（例えば、この層の内側部分は金属のままでありながら、外側部分が酸化される。）
ここで、「ニオブ−チタン」という用語は、少なくとも幾らかのニオブと、少なくとも幾らかのチタンとを含むあらゆる化合物を意味するものとして用いられる。例えば、この定義に含まれるものとしては、金属であろうと、酸化物、窒化物などの形態であろうと、ニオブおよびチタンの両方を含み、任意で１種以上のその他の所望の物質を含む、あらゆるアロイまたは混合物である。一実施形態において、ニオブ−チタンは、ニオブおよびチタン以外の金属および半金属（すなわち、メタロイド）を実質的に含まない。例えば、ニオブ−チタンは、実質的に、金属ニオブおよびチタン、並びに／またはその反応性生物（例えば、酸化物、窒化物など）からなる。特に、ニオブ−チタンは、実質的に、ニオブ、チタン、並びに酸素および／または窒素からなる。

発明者等は、低放射率コーティングの保護層におけるニオブの使用は、このようなコーティングにおいて、高温に曝されている間の色変化に対する望ましい耐性を付与する傾向にあることを見出した。発明者等は、低放射率コーティングの保護層におけるチタンの使用は、このようなコーティングにおいて、望ましい耐磨耗性を付与する傾向にあることを見出した。よって、本発明の低放射率コーティングは、耐磨耗性と、高温加工中の色変化に対する耐性とを達成するために、ニオブおよびチタンの両方を含む保護層を備えている。本発明のニオブ−チタン層は、特に熱処理可能なコーティングに組み入れられた際に、驚くほどの有益性を示す。

保護層におけるニオブおよびチタンの割合は、所望により変化させることができる。最適には、ニオブおよびチタンの割合は、所望レベルの耐磨耗性と、高温（例えば、ガラス焼入れ時のような、約７００℃、または１１２°Ｆオーダーの温度）に曝されている間の色変化に対する耐性とを有するニオブ−チタン層が達成されるように、選択される。色変化に対してより高い耐性が望まれる場合、大きな割合のニオブが供され得る一方、より高い耐磨耗性が望まれる場合、大きな割合のチタンが供され得る。すなわち、耐磨耗性が特に重要な場合は、保護層は、ニオブよりも大きな割合のチタンを含むことが好ましい。このような特定の実施形態においては、保護層は、主パーセンテージ（すなわち、５０％以上）のチタンと、副パーセンテージ（すなわち、５０％未満）のニオブとを含む。例えば、チタンの割合は、５０％〜約９５％の範囲とすることができる。これと連帯して、ニオブの割合は、約５％を超え且つ５０％未満とすることができる。一実施形態において、ニオブ−チタン層は、約５５％のチタンと、約４５％のニオブとを含む。色変化に対する耐性が特に重要な場合は、保護層は、チタンよりも大きな割合のニオブを含むことが好ましい。このような特定の実施形態においては、保護層は、主パーセンテージのニオブと、副パーセンテージのチタンとを含む。例えば、ニオブの割合は、５０％〜約９５％の範囲とすることができる。これと連帯して、チタンの割合は、約５％を超え且つ５０％未満とすることができる。耐磨耗性と色変化に対する耐性との間で、実質的に同等なバランスが望まれる場合、ニオブとチタンは、実質的に同等の割合であることが望ましい。本発明の保護フィルムにおけるチタンおよびニオブの各々の割合は、保護フィルム中の全成分の総重量に対する、個別の物質の重量パーセントである。

保護ニオブ−チタン層は、この層の存在によって、可視透過率が過度に減少しないように、十分に小さい厚みで堆積される。この目標を達成するため、約３０オングストロームまでの堆積厚が好ましい。保護ニオブ−チタン層は、隣接する（例えば、下または上に存在する）赤外反射フィルムを焼入れ中に保護するのに十分な厚みで堆積される。特に、保護層は、好ましくは約１０〜３０オングストローム、更に好ましくは約１５〜２２オングストローム、おそらく最適には約２０オングストロームの厚みで堆積される。前述のように、保護層は、金属ニオブ−チタンを含む（任意で、実質的にこれからなる）薄膜として堆積され得る。その後、金属の大部分は、フィルム積層体の後続の層を堆積する間および／または後の熱処理（例えば、焼入れ）の間に、様々な化学量論比の酸化物および／または窒化物に変化し得る。この酸化および／または窒化の結果として、保護ニオブ−チタン層は、一般に、厚みを増す。このように、ニオブ−チタン層の最終的な厚みは、上記の好ましい堆積厚よりも大きくなり得る。他方、１０オングストロームよりも僅かに小さい（例えば、約７オングストローム以上）の堆積厚とすることができる。

一実施形態において、保護ニオブ−チタン層の厚みは、後の所望の熱処理（例えば、焼入れ）と、それに関連するニオブおよびチタンの各々の酸化物および／または窒化物への変化において、有意な酸化または有意な窒化がなされていないニオブ−チタン層の一部（例えば、最も内側の部分）が残存するように、選択される。この未反応部は、実質的に酸化されておらず、実質的に窒化されていない。保護層厚は、最適には、この未反応部が実質的に金属のままとなるように選択される。未反応部は、一般に、ニオブ−チタン層の、下に存在する赤外反射膜に直接接触する部分である。

図１の実施形態を参照して、ニオブ−チタン層８０は、赤外反射フィルム５０の外側面（すなわち、基材から離れて配向した面）の上方に配置される。好ましくは、このニオブ−チタン層８０は、その下に存在する赤外反射フィルム５０の直上に、直接接触させて（すなわち、隣接させて）配置される。これは一般に好ましい形態であるが、その他の有用な実施形態においては、下に存在する赤外反射フィルムの上方ではあるが、１以上の他の物質のフィルムによって離間させて配置された保護ニオブ−チタン層が用いられる。

赤外反射フィルムの上方に、保護ニオブ−チタン層を配置することが特に望ましいと予測される。しかしながら、これは決して必須ではない。例えば、別の実施形態（図示せず）においては、保護ニオブ−チタン層は、「単層」型低放射率コーティングにおける赤外反射フィルムの上方ではなく、下方に配置される。赤外反射フィルムとして銀が使用される場合、このフィルムの直下にニオブ−チタン層を配置しないことが望ましい。例えば、低放射率コーティングにおいて各銀フィルムの直下に純粋な酸化亜鉛の層を付与することが、高品質の銀フィルムの成長を促進することが見出されていることから、好ましい。しかしながら、赤外反射フィルムの直下にニオブ−チタン層を配置することは、赤外反射フィルムが銀で形成されていたとしても、一つの選択肢であり、このような実施形態は、特定の応用においては望ましい。

図２は、２層の保護ニオブ−チタン層８０、１８０を、それぞれ、「単層」型低放射率コーティングの赤外反射フィルム５０の上方および下方に配置した、本発明の一実施形態を示す。本実施形態において、赤外反射フィルム５０は、ニオブ−チタン層８０、１８０の間に挟まれている。赤外反射フィルム５０下のニオブ−チタン層８０は、赤外反射フィルム５０上のニオブ−チタン層１８０よりも、数オングストローム薄いことが有益である。ニオブ−チタン層８０、１８０は、好ましくは赤外反射フィルム５０の保護に必要な厚みでのみ付与されるため、これは透過率の過度の低下を防ぎ得る。前に暗示したように、赤外反射フィルム５０において銀が使用される場合、その下に直接に存在する酸化亜鉛フィルムが銀の成長を最適化する傾向があるため、この層５０の直下には内側ニオブ−チタン層８０は配置されないことが有益である。しかしながら、２つのニオブ−チタン層８０、１８０の間に直接、赤外反射フィルム５０を挟む（故に、第１のニオブ−チタン層８０を赤外反射層５０の直下に配置する）ことは、それが銀で形成されていたとしても、所望レベルの赤外反射フィルム５０の保護を与え得る。故に、図２の実施形態は、特定の応用にとって好ましい。

本発明の一側面は、耐磨耗性を有し、高温に曝されている間の色変化に対して耐性を有するニオブ−チタン層の堆積方法を提供する。ニオブ−チタン層、および残りのフィルム層は、スパッタ堆積（すなわち、スパッタリング）によって、有利に堆積することができる。スパッタリング法および装置は、本技術において周知である。例えば、マグネトロンスパッタリングチャンバーおよびその関連装置が、様々な供給源（例えば、レイボルド アンド ビーオーシー コーティング テクノロジー（Leybold and BOC Coating Technology））から商業的に入手可能である。有用なマグネトロンスパッタリング法および装置は、チャピン（Chapin）による米国特許第４，１６６，０１８号に開示されており、ここにその教示の全てを参考として組み入れる。

このように、従来のマグネトロンスパッタリング法および装置を、本発明のニオブ−チタン層の堆積に使用することができる。このような方法および装置は、図１０を参照してよく理解される。図１０には、２つの陰極を備えたスパッタリングチャンバー２００が示されている。各陰極は、スパッタリングターゲット２２０ａ、２２０ｂ、端受け２４０、並びに、ターゲット内にマグネットアレイ（図示せず）および冷却ライン（図示せず）を含む。図示のチャンバー２００は２つの陰極を備えているが、代わりに、単一の陰極を使用することが望ましい場合がある。また、図１０には、陽極２３０、ガス供給管２３５、および、基材１０をチャンバー２００を横切るように輸送するための移送ローラー２１０が示されている。このようなスパッタリング装置は、本技術において周知である。

図１０に示されるスパッタリングターゲット２２０ａ，２２０ｂは、円柱状マグネトロンターゲット（すなわち、Ｃ−Ｍａｇｓ）として表されている。しかしながら、あらゆるタイプのスパッタリングターゲット（例えば、平板状または円柱状）を使用することができる。例えば、スパッタリングチャンバーには、代わりに、単一の平板状ターゲットが備えられていてもよい。適当な平板状および／または円柱状ターゲットの選択は、当業者の権限の範囲で有効に行われる。

本発明の一方法において、ニオブ−チタン層は、ニオブおよびチタンの合金または混合物を含むターゲット物質を備えた１以上のスパッタリングターゲットによって、堆積される。ターゲット物質におけるニオブおよびチタンの割合は、所望により変化させることができる。最適には、ターゲット物質におけるニオブおよびチタンの割合は、所望レベルの耐磨耗性と、高温加工中の色変化に対する耐性とを有するニオブ−チタン層が得られるように、選択される。耐磨耗性が第１の関心事項である場合、ターゲットは、ニオブよりも大きい割合のチタンを含むことが好ましい。他方、色変化に対する耐性が第１の関心事項である場合、ターゲットは、チタンよりも大きな割合のニオブを含むことが好ましい。ターゲット物質は、ニオブおよびチタンからなる（または、実質的にこれらからなる）ものとすることができるが、ターゲット物質は、ニオブおよびチタンに加えて、１以上のその他の物質を含んでいてもよいと予測される。ニオブ−チタンターゲットは、アメリカ合衆国、オレゴン州、オルバニー（Albany）に位置するワーチャン（Wah Chang）から商業的に入手可能である。特定の一方法において、保護層は、約５５％の金属チタンおよび約４５％の金属ニオブを含むターゲット物質（すなわち、スパッタリング可能な物質）を有する、少なくとも１つのターゲットをスパッタリングすることによって、堆積される。

本発明の別の方法において、ニオブ−チタンフィルムは、同時スパッタリングによって堆積される。同時スパッタリングは、異なる組成を有する２以上のターゲットを、同時に（または、実質的に同じ時に）スパッタリングする方法である。ニオブ−チタン層は、ニオブ含有ターゲットと、チタン含有ターゲットとを、同じスパッタリングチャンバーまたはゾーンにおいて、同時スパッタリングすることによって、堆積することができる。すなわち、図示のチャンバー２００におけるターゲット２２０ａ、２２０ｂのうちの一つをニオブ含有ターゲットとし、他方をチタン含有ターゲットとすることができる。例えば、ターゲット２２０ａ、２２０ｂを、それぞれ、金属ニオブおよび金属チタンで形成することができる。代わりに、ターゲット２２０ａ、２２０ｂを、それぞれ、ニオブ化合物およびチタン化合物で形成してもよい。ニオブターゲットおよびニオブ化合物ターゲット、並びに、チタンターゲットおよびチタン化合物ターゲットは、アメリカ合衆国、ミシガン州、ニューハドソン、ティーアイシーオー チタニウム インク（TICO Titanium Inc.）などの、数多くの商業的供給源から入手可能である。ここで、「ニオブ含有」という用語は、少なくとも幾らかのニオブを含むあらゆる物質をそれぞれ意味するものとして使用される。ここで、「チタン含有」、「銀含有」などの用語は、少なくとも幾らかのチタン、少なくとも幾らかの銀などを含む、あらゆる物質をそれぞれ意味するものとして使用される。

このように、この同時スパッタリング法は、ニオブ含有ターゲットとチタン含有ターゲットとを用意することを含む。両ターゲットは、制御環境を確立可能なスパッタリングキャビティーを有するスパタリングチャンバー内に配置される。両ターゲットに電荷（例えば、陰極電荷）を届けるために、１以上の電源が用意される。そして、陰極が活性化され、基材上にニオブおよびチタンがスパッタリングされ、これによって、基材表面（例えば、一般にターゲットに向けて配向された主面）上または基材上に既に堆積されたフィルム層上（例えば、ここに記載したように、その下に別の既に堆積されたフィルムが存在する、既に堆積された赤外反射層上）に、ニオブ−チタン層が堆積される。ニオブ含有ターゲットおよびチタン含有ターゲットは、実質的に同じ時に（例えば、同時または直ぐに連続して）スパッタリングすることができる。

このように、本発明の好ましい方法は、従来通りか同時スパッタリングかに関わらず、スパッタリングによって、保護ニオブ−チタン層を堆積することを含む。図１０を続けて参照して、少なくとも１つの赤外反射フィルムを含む不完全なコーティング１１４を備えた基材１０が供給される。赤外反射フィルムは、通常、透明誘電フィルムの上方に備えられており、多くの場合、（その上にニオブ−チタン層が堆積される前の）不完全なコーティング１１４の最外面を規定する。当業者に自明なように、基材と透明誘電フィルムとの間および／または透明誘電フィルムと赤外反射フィルムとの間に、１以上の別のフィルムが形成されていてもよい。例えば、不完全なコーティング１１４は、図１〜９に示した赤外反射フィルム５０、１５０の一つを含む、その層以下のフィルム積層体の形態と取り得る。特定の一方法において、不完全なコーティング１１４は、透明誘電フィルムの上方に直接備えられた、露出した最外層である赤外反射銀含有フィルムを含む。

不完全なコーティングを施された基材１０は、（従来のスパッタリングと同時スパッタリングのいずれかによって、共同で、または個別に）ニオブおよびチタンの両方を含む１以上のターゲット２２０ａ、２２０ｂの下方に配置される。図１０に示すように、基材１０は、複数の移送ローラー２１０上に配置される。一つのターゲットまたは複数のターゲットがスパタリングされ（すなわち、活性化され）、不完全なコーティングを施された基材上（多くの場合、露出した赤外反射フィルムの直上）に、ニオブ−チタンフィルムが堆積される。スパッタリングの間、基材１０は、（例えば、連続的に一定の速さで）チャンバー２００内を輸送され得る。１以上のローラー２１０が駆動（すなわち、回転）し、基材１０がチャンバー２００内を（例えば、図１０の矢印の方向に）輸送されることは、周知である。

一般に、非反応性（すなわち、不活性）雰囲気において、ニオブ−チタンターゲットをスパッタリングして、保護ニオブ−チタン層を堆積することが好ましい。これによって、できる限り反応性に富んだ保護ニオブ−チタン層が得られ、よって、後続のフィルムの堆積中および／または熱処理中に、非常に多くの酸素および／または窒素を捕捉することが可能となると予想される。この点で、実質的に希ガスからなる（例えば、約１００％アルゴン）スパッタリング雰囲気が好ましい。例えば、約３×１０^-3ミリバールの圧力のアルゴンが、良好な結果をもたらす。ターゲット当たり約１０ｋＷまでの電力レベルが、ニオブ−チタンを堆積するスパッタリングにとって好ましい。制御下でニオブ−チタン層がスパッタリングされる領域への偶発的な漏れ（反応ガス流）を防ぐように注意すべきである。（低電力レベルにおける）ターゲット近傍での漏れは、ニオブ−チタン層に局部的な酸化領域を形成させる可能性がある。これは、焼入れ前後に不均一性の問題を生じるおそれがある。その上にニオブ−チタン層が形成された基材１０は、実質的にあらゆる所望の速度で、スパッタリングチャンバー２００内を輸送され得る。例えば、毎分約１００〜５００インチの基材速度が適当である。ニオブ−チタン層は、一つまたは複数のターゲットの下を、一回通過する間に堆積されることが好ましい。基材は、スパッタリングの間、一定の水平な配向に維持されることが好ましい。

スパッタリング法は、本発明のコーティングの保護ニオブ−チタン層およびその他のフィルム層を堆積するために、好ましいと思われるが、あらゆる薄膜堆積法を使用することが可能である。例えば、本発明のニオブ−チタン層を堆積するための別の有用な方法は、化学蒸着（すなわち、ＣＶＤ）を含む。米国特許第４、６１９、７２９号（ジョンコック（Johncock）等）、第４，７３７，３７９号（ヒューゲンス（Hudgens）等）、第５，２８８，５２７号（ジョシュ（Jousse）等）が参照され、ここにそれぞれの全教示を参考として取り入れる。例えば、プラズマＣＶＤは、プラズマによるガス状原料源の分解と、それに続く、ガラス基材などの固体表面上への膜形成を含む。得られるフィルムの厚みは、プラズマ領域を通過する基材の速度を変化させたり、各領域内のガス流量および電力を変化させることによって、調節することができる。一般に、ここに記載されたフィルム積層体は、従来のあらゆる薄膜堆積法によって、前述の配置で、前述のフィルム積層体の各層を堆積することによって、製造することができる。

幾つかの実施形態において、方法は、基材にコーティングを付与した後、基材を熱処理することを含む。熱処理は、コーテッド基材の焼入れ、焼きなましおよび／または曲げを含み得る。一般に、基材がガラスであり、熱処理が次の工程を含む：前述したような性質のコーテッドガラス（この基材は、ここに記載した実施形態のフィルム積層体のいずれかに係るコーティングを備える。）を用意する工程と、このコーテッドガラスを、約４００℃〜約７５０℃の高温に曝す工程とを含む。熱処理は、一般に、酸化雰囲気下で実施される。

図１の実施形態を続けて参照すると、基材１０の２つの主面のうちの一方の上方に、反射防止内部層３０が形成されている。反射防止内部層３０は、１以上の透明誘電フィルムを含む。ここで、「透明誘電」という用語は、１種以上の金属を含み、薄膜として堆積されたときに実質的に透明な、あらゆる非金属化合物（すなわち、純粋な金属でも合金でもない）を意味するものとして使用される。例えば、あらゆる金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属硫化物、金属ホウ化物およびそれらの組合せ（例えば、酸窒化物）が、この定義に含まれる。更に、ここで、「金属」という用語は、全ての金属および半金属（すなわち、メタロイド）を含むと理解すべきである。

反射防止内部層３０は、好ましくは約８５オングストローム〜約７００オングストローム、更に好ましくは約１００オングストローム〜約２５０オングストロームの総厚みを有する。この層３０は、１以上の透明誘電物質を含み得る。例えば、亜鉛、錫、インジウム、ビスマス、チタン、ハフニウム、ジルコニウムおよびそれらの合金および混合物の酸化物を含む、広範な種々の金属酸化物を使用することができる。容易に低コストで適用できるため、金属酸化物が好ましいが、金属窒化物（例えば、窒化ケイ素）もまた非常に有益に使用することができる。当業者であれば、この層３０に使用し得るその他の物質を容易に選択することが可能である。

図１の実施形態における内部層３０は、単一のフィルムとして示されている。しかしながら、この層３０は、所望であれば、複数のフィルムで置換することができる。例えば、内部層３０は、任意で異なる透明誘電物質によって形成された、２つの個別のフィルムを含んでいてもよい。この層３０が単一のフィルムからなる場合、このフィルムは酸化亜鉛で形成されることが好ましい。例えば、一実施形態において、この層３０は、約１００オングストロームの厚みで付与された酸化亜鉛を含む。以下の理由から、内部層３０が一つのフィルムからなるか、複数のフィルムからなるかに関わらず、個々の各フィルムは、約２５０オングストローム未満の物理的厚み、または、約４５０オングストローム以下の光学的厚みに限定されることが好ましい。

特定の特に好ましい実施形態において、層３０の物理的厚みは、（一つのフィルムか、複数のフィルムからなるかに関わらず）約２３０オングストローム未満、おそらく更に好ましくは２００オングストローム未満（例えば、約１８０オングストローム以下）、ある場合は約１６０オングストローム未満である。このような特定の実施形態において、層３０は、約４６０オングストローム未満、おそらく更に好ましくは４００オングストローム未満、ある場合には約３２０オングストローム未満の光学的厚みとなるように、約２の屈折率を有するフィルムで形成される。ここで与えられる厚みは、特に光学的厚みであると示されない限りは、物理的厚みである。このパラグラフに記載した実施形態は、二層銀低放射率コーティングに特に有益である。

前述したように、反射防止内部層３０の組成は、所望により変化させることができる。しかしながら、一般に、この層３０の最外部（すなわち、基材から最も離れた部分）として、少なくとも酸化亜鉛の薄膜を付与することが好ましい。前述のように、これは、酸化亜鉛は、銀の核形成の良好な土台を与えることが知られていることから、少なくとも、上に重ねられる赤外反射層５０が銀で形成される場合、フィルム積層体の品質を向上させると思われる。よって、反射防止内部層３０の全体を酸化亜鉛で形成するか、または、この層３０を２以上のフィルム（図示せず）に置き換え、最外層を酸化亜鉛とすることが好ましい。

このように、特定の実施形態（図示せず）においては、反射防止内部層３０は、２以上のフィルムで置き換えられる。様々なフィルム積層体が、「単層」型低放射率コーティングの反射防止内部領域としての使用に好適であることが知られている。例えば、第１のフィルム（すなわち、基材に最も近いフィルム）は、酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとのアロイまたは混合物などの、酸化亜鉛のアロイまたは混合物とすることができる。前述のように、第２のフィルムは、少なくとも、その上に重ねられる赤外反射フィルム５０が銀で形成される場合は、亜鉛単独の酸化物であることが好ましい。これら二つのフィルムの相対的な厚みは、所望により変化することができるが、両フィルムをあわせた厚みは、約８５オングストローム〜約７００オングストロームであることが好ましく、約１００オングストローム〜約２５０オングストロームであることが更に好ましい。当業者であれば、この反射防止内部層３０として使用するのに適した様々なその他のフィルム積層体を、容易に選択することができる。

図１の実施形態において、二番目に示されているフィルム５０は、赤外反射層であり、三番目に示されているフィルム８０は、保護ニオブ−チタン層である。これらの層５０、８０についてはいずれも前に詳説した。外側フィルム領域９０は、ニオブ−チタン層８０の上方に配置されることが望ましい。最も簡単な形態においては、外側フィルム領域９０は、約８５オングストローム〜約７００オングストロームの厚みで付与された、単一の透明誘電層からなる。この層の有用な材料には、窒化ケイ素、並びに、亜鉛、錫、インジウム、ビスマス、チタン、ハフニウム、ジルコニウムおよびそれらの合金および混合物の酸化物が含まれる。当業者であれば、低放射率コーティングの外側層に適したその他の材料および厚みを選択することができる。

所望であれば、外側フィルム領域９０は、複数の個別のフィルムで形成することができる。様々なフィルム積層体が、「単層」型低放射率コーティングの外側フィルム領域としての使用に適していることが知られている。特に好ましい一実施形態（図示せず）において、外側フィルム領域９０は、次の６層で形成される：（１）保護層８０上に直接に、約３８オングストロームの厚みで付与された酸化亜鉛、（２）前記酸化亜鉛層上に直接に、約４５オングストロームの厚みで付与された窒化ケイ素、（３）前記窒化ケイ素層上に直接に、約３０〜４２オングストロームの厚みで付与された酸化亜鉛、（４）前記酸化亜鉛層上に直接に、約５０オングストロームの厚みで付与された窒化ケイ素、（５）前記窒化ケイ素層上に直接に、約１５６オングストロームの厚みで付与された酸化亜鉛、（６）前記酸化亜鉛層上に直接に、約６５〜７５オングストロームの厚みで付与された窒化ケイ素。この実施形態において、良好な結果を達成しながら、いずれの層の厚みも約１５％程度変化させ得ると予想される。後述の理由から、外側フィルム領域９０が一つフィルムからなるか、複数のフィルムからなるかに関わらず、個々の各フィルムは、約２５０オングストローム未満の物理的厚みか、または、約４５０オングストローム以下の光学的厚みに限定されることが好ましい。特定の実施形態において、本発明のコーティングは、各透明誘電フィルム（層３０、中間フィルム領域１９０および外側フィルム領域１３０のフィルムを含む。）は、２００オングストローム未満（例えば、約１８０オングストローム以下）の物理的厚みを有する。

前述したように、少なくとも１つの保護ニオブ−チタン層を備えた低放射率コーティングは、特に有益である。ニオブ−チタン層は、耐引掻き性と、焼入れおよびその他の熱処理中に生じ得る色変化に対する耐性との、両方を与えるように設けられる。特定の実施形態において、少なくとも１つの保護ニオブ−チタン層と、外側（すなわち、最外赤外反射フィルムよりも基材から離れた）窒化チタンフィルムとを含む、低放射率コーティングが提供される。これらの実施形態において、窒化チタンフィルムは、コーティングの外側フィルム領域９０、１３０の中に組み入れか、または、その上方に付与することができる。これらの実施形態は、「単層」または「二層」型の低放射率コーティングと、３層以上の赤外反射フィルムを有する低放射率コーティングとを含む。

別の好ましい実施形態において、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層と、少なくとも１層の化学的耐性外側層とを含む、低放射率コーティングが提供される。化学的耐性フィルムは、コーティングに、増強された化学安定性を与える。例えば、化学的耐性フィルムは、窒化ケイ素などで形成することができる。特に望ましい窒化ケイ素フィルムは、ボンド（Bond）等による米国特許第５，８３４，１０３号に開示されており、ここにその教示のすべてを参考に取り入れる。本実施形態においては、化学的耐性フィルムは、コーティングの外側フィルム領域９０、１３０に組み入れるか、または、その上方に付与することができる。このような機能の組合せを備えた低放射率コーティングは、所望の化学安定性、所望の耐引掻き性を有し、且つ、焼入れおよびその他の熱処理中に（約７００℃オーダーの温度に曝された場合であっても）色変化を殆ど示さない。この実施形態は、「単層」若しくは「二層」型低放射率コーティング、または、３層以上の赤外反射フィルムを有する低放射率コーティングを含み得る。

特定の特に好ましい実施形態においては、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層、少なくとも１層の外側窒化チタンフィルム、および、少なくとも１層の化学的耐性外側層を含む、低放射率コーティングが提供される。このような実施形態において、窒化チタンフィルムおよび化学的耐性フィルムは、いずれも、コーティングの外側フィルム領域９０、１３０に組み入れられるか、または、その上方に付与することができる。例えば、窒化ケイ素、窒化チタンおよび窒化ケイ素フィルムのサンドイッチ状物を、コーティングの外側フィルム領域９０，１３０に組み入れるか、または、その上方に付与することが有益である。このような機能の組合せを備えた低放射率コーティングは、所望の耐引掻き性、所望の化学安定性を有し、且つ、焼入れおよびその他の熱処理中に（約７００℃オーダーの温度に曝された場合であっても）色変化を殆ど示さない。この実施形態は、「単層」若しくは「二層」型低放射率コーティング、または、３層以上の赤外反射フィルムを有する低放射率コーティングを含み得ると思われる。

図３は、本発明の特に好ましい一実施形態を示す。この実施形態において、コーティングの層構造は、基材１０と反射防止層３０との間に透明下地層２０が配置されていること以外は、図１に示すものと類似している。この下地層２０は、腐蝕した基材に関連した問題を最小限にするために設けられる。米国特許出願第１０／０８７，６６２号、発明の名称「透明下地層を有する薄膜コーティング」に記載されているように、特定の透明下地層２０が、水分により腐蝕したガラスを焼入れ可能な低放射率コーティングとともに使用した場合に見られる曇りの形成を、かなり減少させることが見出された。ここで、前記出願の教示の全てを参考として組み入れる。

透明下地層２０は、二酸化ケイ素、または、その他の非晶質若しくは実質的に非晶質のフィルムで、有利に形成することができる。透明下地層は、それが付与される基材１０と同等か、または実質的に同じ屈折率を有する、実質的な非晶質フィルムで形成されることが好ましい。透明下地層の屈折率が、基材とほぼ同じである場合、下地層２０は、コーテッド基材の可視透過、反射または色に実質的な変化をもたらすことなく、実質的にあらゆる厚みで、基材上に組み入れることが可能である。結果として、透明下地層２０には、厳密な最大厚みはない。特定の特に有益な実施形態においては、透明下地層２０は、スパッタリングされた二酸化ケイ素フィルムである。

透明下地層２０の厚みを最小化することは、時間、コストおよび資源面で有効である。二酸化ケイ素のスパッタリング速度は比較的遅いため、このことは、下地層２０がスパッタリングされた二酸化ケイ素で形成される場合に、特に真実である。例えば、下地層２０の堆積において、可能な限り少ない堆積ゾーンを占有することが好ましい。積層体における所望の数のフィルムは、利用可能なもの以上に、より多くの堆積ゾーンを別に必要とするため、このことは、上に重ねられるフィルム積層体が複合体である場合（例えば、内側領域３０、中間領域１９０または外側領域９０，１３０が、複数のフィルムを含む場合）に、特に重要である。更に、一般に、この層２０の厚みが増大するに従って、下地層２０内の応力は大きくなる。このことは、下地層２０がスパッタリングされた二酸化ケイ素で形成される場合にはさほど重要ではないが（スパッタリングされたに酸化ケイ素は、高い応力を有する傾向にはないため）、低応力の利点が、厚みの最小化によって得られる。１００オングストローム未満の厚みを有する透明下地層２０、更に約９０オングストローム未満（例えば、約７０オングストローム）の厚みを有する透明下地層２０において、良好な結果が期待される。例えば、二酸化ケイ素の下地層２０は、これらの厚みにおいて良好な結果を与えると予測される。

特定の特に有効な実施形態において、透明下地層２０はスパッタ膜である。スパッタ膜は、非常に優れた平滑性と厚みの均一性を有している。これらの性質はいずれも、熱処理可能な銀ベースのコーティングにおける曇りを回避するために望ましい。特に、スパッタリングされた下地層の低い表面粗さは、その上に重ねられるフィルムにおける良好な厚み均一性を促進する。厚み均一性は、曇りが最小化されるならば、保護層８０、１８０によって特に望ましい。スパッタリングされた二酸化ケイ素下地層は、非常に望ましい非晶質構造を有する傾向にあるため、特に好ましい。

透明下地層２０は、少なくとも約５０オングストロームの最小厚みを有することが好ましい。この大きさの厚みは、好ましくは、基材の欠陥（例えば、水分腐蝕）に関連する問題（例えば、焼入れ中の曇り形成）をかなり低減する。例えば、透明下地層２０は、約５０オングストローム〜約９０オングストロームの厚みを有し得る。好ましくは、下地層２０は、基材１０上に直接に形成される。

前述したように、図３の実施形態は、特に望ましいと予想される。この実施形態は、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層８０と、前述の透明下地層２０との組合せを備えた低放射率コーティングを提供する。このような組合せを備えた低放射率コーティングは、焼入れまたはその他の熱処理中（約７００℃オーダーの温度に曝された場合であっても）に、目立った色変化を殆ど示さず、最小化された曇り形成しか示さないと予想される。よって、このコーティングは、焼入れまたはその他の熱処理が施される基材に使用するのに、特によく適していると期待される。このようなコーティングは、所望の耐引掻き性をも有していると予想される。

図４は、本発明の別の好ましい実施形態を示す。図示の実施形態は、２つの赤外反射層５０、１５０を備えた低放射率フィルム積層体を含む。図示のフィルム積層体において、反射防止内側層３０は、基材上に形成されている。この内側層３０は、好ましくは約１００オングストローム〜約４００オングストローム、更に好ましくは約１００オングストローム〜約２７５オングストロームの総厚を有する。反射防止内側層３０に関して、図１を参照して前述したように、本実施形態の内側層３０は、１以上の透明誘電フィルムを含む。例えば、この層３０は、金属窒化物（例えば、窒化ケイ素）、および／または、亜鉛、錫、インジウム、ビスマス、チタン、ハフニウム、ジルコニウムおよびそれらの合金および混合物の酸化物などの金属酸化物を含むことが有益である。当業者であれば、本実施形態において、反射防止内側層３０に用い得るその他の物質を選択することが可能である。

図４の実施形態における内側層３０は、単一のフィルムとして示されている。しかしながら、この層３０は、所望であれば、複数の個別のフィルムで置き換えることができる。例えば、この層３０は、任意で異なる透明誘電物質で形成された、２層の個別のフィルムを含むものとすることができる。本実施形態における内側層３０が単一のフィルムからなる場合、このフィルムは、酸化亜鉛で形成されることが好ましい。例えば、この層３０は、約２３０オングストロームの厚みで付与された、酸化亜鉛の単一フィルムである。後述する理由から、本実施形態において内側層３０が１つのフィルムからなるか、複数のフィルムからなるかに関わらず、個々の各フィルムは、約２５０オングストローム未満の物理的厚み、または、約４５０オングストローム以下の光学的厚みに限定されることが最適である。

記述してきたように、図４の実施形態における反射防止内側層３０の組成は、所望により変化させることができる。しかしながら、一般に、少なくとも酸化亜鉛の薄膜を、この層３０の最外部（すなわち、基材から最も離れた部分）として付与することが好ましい。これは、酸化亜鉛は銀の核形成のための良好な土台を与えると考えられることから、少なくとも上に重ねられる赤外反射フィルム５０が銀で形成される場合に、フィルム積層体の品質を強化すると考えられる。よって、反射防止内側層３０全体を酸化亜鉛で形成するか、または。この層３０を２層以上のフィルム（図示せず）で置き換え、最外層を酸化亜鉛とすることが好ましい。

このように、図４の実施形態における内側層３０を、２層以上のフィルム（図示せず）で置き換えられる場合があると予想される。様々なフィルム積層体が、「二層」型低放射率コーティングの反射防止内側領域としての使用に適していることが知られている。例えば、第１のフィルム（すなわち、基材に最も近いフィルム）は、酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとのアロイまたは混合物などの、酸化亜鉛のアロイまたは混合物とすることができる。前に暗示したように、第２のフィルムは、少なくとも、上に重ねられる赤外反射フィルム５０が銀で形成される場合、亜鉛単体の酸化物であることが好ましい。このような好ましい一実施形態は、約６０オングストローム〜約１００オングストローム、おそらく最適には約９０オングストロームの厚みを有する第１のフィルムと、約３５オングストローム〜約６２オングストローム、おそらく最適には約４０オングストロームの厚みを有する第２のフィルムとを含む。

図４に示される第２の層５０は、赤外反射フィルムである。図１を参照して前述したような赤外反射物質を、図４の実施形態における赤外反射層５０，１５０としても使用することができる。大部分の場合、銀または銀含有層５０，１５０を使用することが好ましい.特に好ましい実施形態において、第１の赤外反射層５０は、約５０オングストローム〜約１５０オングストローム、更に好ましくは約５８オングストローム〜約９０オングストローム、おそらく最適には約８０オングストロームの厚みで、銀を含む。

保護ニオブ−チタン層８０は、第１の赤外反射層５０の上方に付与することが有益である。図４に示されるニオブ−チタン層８０，１８０は、前述したような性質のものである。例えば、第１のニオブ−チタン層８０は、第１の赤外反射層５０上に直接に付与されていることが好ましい。更に、第１のニオブ−チタン層８０の厚みは、好ましくは約７〜３０オングストローム、更に好ましくは約１５〜２２オングストローム、おそらく最適には約２０オングストロームである。

図４の実施形態において、中間フィルム領域１９０は、第１の赤外反射層５０の外側に（すなわち、第１の赤外反射層５０よりも基材から離れて）、（例えば、存在するのであれば、保護層８０上に）配置されている。その最も簡単な形態において、この中間フィルム領域１９０は、あらゆる所望の透明誘電物質の単層からなる。例えば、約４００〜１２００オングストロームの厚みを有する、単一の透明誘電フィルム（例えば、酸化亜鉛）を使用することができる。

代わりに、２以上の個別の透明誘電フィルムを、赤外反射層５０，１５０の間に配置してもよい。これらのフィルムは、約４０〜２００オングストロームの合計厚みを有することが好ましい。このような特定の実施形態においては、中間フィルム領域１９０は、少なくとも１つの金属酸化物フィルムと、少なくとも１つの金属窒化物フィルムとを含む。本発明のニオブ−チタン層８０は、このような実施形態において特に有益である。例えば、中間フィルム領域１９０は、窒化ケイ素フィルム（またはその他の実質的な非晶質フィルム）と酸化亜鉛フィルムとを含み、酸化亜鉛フィルムが、窒化ケイ素フィルムの上方（すなわち、外側）に配置される。

このように、本発明の一実施形態においては、少なくとも２層の赤外反射フィルムを有し、最も内側の赤外放射フィルムの後に、直接、外側に向かって、保護ニオブ−チタン層、窒化物フィルム（例えば、窒化ケイ素）および金属酸化物（例えば、酸化亜鉛）が連続した順序で続く、低放射率コーティングが提供される。所望であれば、１以上の追加のフィルムを、金属酸化物フィルムと第２の赤外反射フィルムとの間に付与してもよい。別の実施形態においては、少なくとも２層の赤外反射フィルムを有し、最も内側の赤外放射フィルムの後に、直接、外側に向かって、保護ニオブ−チタン層、酸化物フィルム（例えば、酸化亜鉛）および窒化物フィルム（例えば、窒化ケイ素）が連続した順序で続く、低放射率コーティングが提供される。この実施形態においては、任意で、１以上の追加のフィルムを、金属酸化物フィルムと第２の赤外反射フィルムとの間に付与してもよい。

中間フィルム領域１９０は、複数の個別の層で形成されることが好ましい。中間フィルム領域１９０を複数の個別の層で形成すると、好ましくは焼入れ中の曇り形成が最小化される。これは、国際特許出願ＰＣＴ／ＵＳ００／４２４３４、発明の名称「耐曇り性透明フィルム積層体」で議論されており、ここにその教示のすべてを参考として取り入れる。中間フィルム領域１９０が複数の個別の層を含む実施形態においては、中間フィルム領域の各層は、好ましくは約２５０オングストローム以下、更に好ましくは約２２５オングストローム以下、おそらく最適には２００オングストローム未満（例えば、約１８０オングストローム以下）の物理的厚みに限定される。これは、熱処理中のフィルム積層体において、好ましくない曇りが発達する可能性を低減するのに望ましい。

特定の好ましい実施形態においては、中間フィルム領域１９０は、結晶質と実質的に非晶質との交互膜を含む。この実施形態における中間フィルム領域１９０は、少なくとも３層のフィルム（すなわち、少なくとも３層の反射防止透明誘電フィルム）、おそらく更に好ましくは少なくとも４層のフィルム、おそらく最適には５層のフィルムを含む。特定の実施形態において、結晶質フィルムは、第１の金属（例えば、亜鉛）の酸化物であり、実質的な非晶質フィルムは、第２の金属（例えば、ケイ素）の窒化物であり、第１の金属と第２の金属とは異なるものである。この実施形態では、特に、熱処理可能な低放射率コーティングにおける、保護ニオブ−チタン層と、薄い結晶質と非晶質の交互層である中間層との組合せが、特に有益である。

中間フィルム領域１９０が複数の個別の層を含む実施形態においては、層３０の厚みに対する、中間フィルム領域の合計厚みの比は、特定の範囲内であることが好ましい。特に、この比は、約４．１／１〜約６．０／１の範囲であることが好ましい。このように、層３０は、中間フィルム領域１９０の約４分の１〜約６分の１の厚みであることが好ましい。本実施形態においては、中間フィルム領域１９０の厚みを上記の好ましい比に従って変化させて、層３０の厚みを、好ましくは約２３０オングストローム未満、更に好ましくは約２００オングストローム未満（ある場合には、約１６０オングストローム未満）とする。この好ましい比および厚みは、薄い結晶質物質と実質的な非晶質物質との交互中間層と組み合わせたニオブ−チタン保護フィルムを有する低放射率コーティングにおいて、特に望ましい。

低放射率コーティングの製造における問題の一部は、高い可視透過、高い赤外反射および好ましい色を備えたコーティングを得ることである。前のパラグラフに記載した実施形態は、この問題に対して独特の解決法を与える。この問題の関連部分は、コーティングに焼入れまたはその他の熱処理が施された場合の色変化を最小化し、曇り形成を回避すると同時に、これらの特性を維持することである。ニオブ−チタン層を、任意で複数の個別の層を含む（おそらく最適には、結晶質物質と実質的な非晶質物質との交互中間層を含む）中間フィルム領域と組み合わせて、且つ／または、薄い透明下地層とともに含む、ここに記載された実施形態は、これらの問題に対する特に優れた解決法である。

このように、中間フィルム領域１９０は、少なくとも１つの実質的な非晶質層を含むことが有益である。このような物質は、焼入れまたはその他の熱処理時に、実質的な結晶成長を経験しないという点で有益である。その結果、このような物質を、少なくとも１つの中間層に使用した場合、中間フィルム領域１９０は、熱処理中に好ましくない曇りを発達させない傾向がある。非晶質層は、物質の移動を防ぐ傾向がある。例えば、ピンホールなど、隣接する結晶質層にピンホールなどが発生した場合、隣接する非晶質層を通って拡大しない傾向にある。好ましい一実施形態は、少なくとも１つの窒化ケイ素層を含む中間フィルム領域を含む。所望であれば、この窒化ケイ素は、窒化ケイ素以外の物質（好ましくは、結晶質物質、例えば、酸化亜鉛などの結晶性金属酸化物）によって互いに離間した、２以上の分離した窒化ケイ素フィルムに分かれていてもよい。これは、窒化ケイ素は、その厚みが増大するほど大きな問題となる実質的な応力を有するため、有益である。特定の実施形態は、各々が個別に約２００オングストローム未満、おそらく更に好ましくは約１７５オングストローム未満、おそらく最適には約１６０オングストローム未満の厚みを有する、１層以上の窒化ケイ素フィルムを含む中間フィルム領域１９０を与える。この実施形態において、その他の中間フィルム層は、各々が約２５０オングストローム以下、更に好ましくは約２２５オングストローム以下、おそらく最適には２００オングストローム未満（例えば、約１８０オングストローム以下）の厚みを有する結晶質の酸化物層である。特定の実施形態において、中間フィルム領域１９０および外側フィルム領域１３０は、それぞれ、少なくとも１層の非晶質層を含む。

中間領域１９０の層の数は、所望により変化させることができる。しかしながら、この領域１９０は、少なくとも３層の分離した層で形成することが好ましい。特定の実施形態において、中間フィルム領域は、２つの酸化亜鉛フィルムの間に配置された窒化ケイ素フィルムを含む。例えば、一実施形態（図示せず）は、外側に向かって、次の層を含む中間フィルム領域１９０を与える：（１）約１５０〜２５０オングストローム、おそらく最適には約２２０オングストロームの厚みの酸化亜鉛、（２）約４０〜１２０オングストローム、おそらく最適には約８０〜１００オングストロームの窒化ケイ素、（３）約１５０〜２５０オングストローム、おそらく最適には約２１０オングストロームの酸化亜鉛。今から述べるように、中間フィルム領域１９０は、少なくとも５層の分離した層で形成されることが、更に好ましい。

図５は、中間フィルム領域１９０が５層の分離した層を含む一実施形態を示す。詳しくは、この実施形態の中間フィルム領域１９０は、第１の層１９２、第２の層１９３、第３の層１９４、第４の層１９５および第５の層１９６を含む。これらの層１９２〜１９６は、酸化亜鉛と窒化ケイ素との交互フィルム（例えば、３つの酸化亜鉛フィルム１９２，１９４，１９６と、２つの窒化ケイ素フィルム１９３，１９５）の形態で設けられる場合がある。このような中間フィルムは、特に好ましい。

前出の国際出願に記載されているように、中間フィルム領域１９０は、この領域の下層と上層とが同じ物質を含むように、奇数の中間層で形成されることが好ましい。例えば、図５の実施形態における第１の中間フィルム１９２と第５の中間フィルム１９６とを、両方とも同じ物質（例えば、酸化亜鉛）で形成することができる。前出の国際出願に記載したように、中間領域１９０の各層は、それに隣接する各層とは異なる微細構造（例えば、非晶質と結晶質）を有することが有益である。例えば、中間フィルム領域１９０の隣接する層を、異なる物質で形成することが、特に有益である。

一実施形態において、中間フィルム領域１９０は次のフィルムを含む：（１）厚さ約５０〜２００オングストローム、おそらく最適には約１０５オングストロームの酸化亜鉛の第１の層１９２、（２）厚さ約５０〜２００オングストローム、おそらく最適には約１４０オングストロームの窒化ケイ素の第２の層１９３、（３）厚さ約５０〜３００オングストローム、おそらく最適には約２００オングストロームの酸化亜鉛の第３の層１９４、（４）厚さ約５０〜２００オングストローム、おそらく最適には約１４０オングストロームの窒化ケイ素の第４の層１９５、（５）厚さ約５０〜２００オングストローム、おそらく最適には約８０オングストロームの酸化亜鉛の第５の層１９６。所望であれば、１層以上の酸化亜鉛層を、酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとの混合物などの、酸化亜鉛を含むアロイまたは混合物で形成してもよい。しかしながら、前述したように、酸化亜鉛は、（層１９６上に直接に堆積される可能性のある）銀の核形成の良好な土台を与えると考えられることから、少なくとも第５の層１９６の最外部は、酸化亜鉛で形成することが好ましい。例えば、本実施形態の第５の層１９６は、亜鉛合金の酸化物などの、厚さ約２０オングストロームの第１の酸化物フィルムと、約６０オングストロームの亜鉛単体の酸化物である第２のフィルムとを含み得る。

このように、本発明の好ましい実施形態は、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層と、少なくとも３層、好ましくは少なくとも５層の分離した透明誘電層（前述したように、任意で、厚みが限定され、且つ、結晶質層と実質的な非晶質層との交互層を含む。）を含む中間フィルム領域１９０とを含む、低放射率コーティングを提供する。このような特徴の組合せを備えた低放射率コーティングは、前出の国際出願に記載したような「水分による接着破壊試験」において、ひときわ優れた挙動を示す。このようなコーティングは、所望の耐引掻き性を有し、焼入れまたはその他の熱処理中に目立った色変化および曇り形成を殆ど示さない。

前述のパラグラフに記載されたような実施形態においては、窒化チタンフィルムを、低放射率コーティングの外側フィルム領域９０，１３０に組み入れることができる。よって、特に好ましい低放射率コーティングの一つは、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層、分離した複数の透明誘電フィルム（前述したように、任意で、厚みが限定され、且つ、結晶質層と実質的な非晶質層との交互層を含む。）を含む中間フィルム領域と、外側窒化チタンフィルム（すなわち、最外層としての、または外側フィルム領域９０，１３０における、窒化チタンフィルム）とを含む。代わりに、少なくとも１層の化学的耐性外側フィルムを、前述のパラグラフに記載されたような実施形態に組み入れることができる。このように、別の特に好ましい低放射率コーティングは、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層、分離した複数の透明誘電フィルム（前述したように、任意で、厚みが限定され、且つ、結晶質層と実質的な非晶質層との交互層を含む。）を含む中間フィルム領域と、少なくとも１層の化学的耐性外側フィルム（例えば、Ｓｉ₃Ｎ₄）とを含む。更に、前述のパラグラフに記載されたような実施形態において、外側窒化チタンフィルムと化学的耐性外側フィルムとが設けられていてもよい。このように、特に好ましい低放射率コーティングは、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層と、分離した複数の透明誘電フィルム（前述したように、任意で、厚みが限定され、且つ、結晶質層と実質的な非晶質層との交互層を含む。）を含む中間フィルム領域と、外側窒化チタンフィルムと、化学的耐性外側フィルム（例えば、最外層としての、または外側フィルム領域９０，１３０における、窒化ケイ素フィルム）とを含む。

図４〜９は、「二層」型低放射率コーティングを示す。このように、これらの実施形態の各々には、第２の赤外反射フィルム１５０が設けられている。第１の赤外反射フィルム５０の形成に有用な物質が、第２の赤外反射フィルム１５０の形成にも有用である。多くの場合、両赤外反射フィルム５０，１５０は同じ材料で形成されるが、これは必須要件ではない。両フィルム５０，１５０は、銀または銀含有フィルムであり、第２の最も外側のフィルム１５０が、第１の最も内側のフィルム５０よりも多少厚いことが好ましい。例えば、好ましい実施形態は、厚み約５０オングストローム〜約１５０オングストローム、更に好ましくは約５８オングストローム〜約９０オングストローム、おそらく最適には約８０オングストロームの銀の第１の赤外反射フィルム５０と、厚み約９０オングストローム〜約１８０オングストローム、更に好ましくは約９６オングストローム〜約１５５オングストローム、おそらく最適には約１３０オングストロームの銀の第２の赤外反射フィルム１５０とが設けられている。

図４に示すように、保護ニオブ−チタン層１８０が、第２の赤外反射フィルム１５０の上方に設けられることが好ましい。このニオブ−チタン層１８０は、前述のような性質を有するものである。例えば、このニオブ−チタン層１８０は、その下に存在する赤外反射フィルム１５０上に直接に形成されることが好ましい。更に、このニオブ−チタン層１８０の厚みは、好ましくは約７〜３０オングストローム、更に好ましくは約１５〜２２オングストローム、おそらく最適には約２０オングストロームである。特定の実施形態においては、両保護層８０，１８０は、それぞれ、約１５〜２２オングストロームの厚みで堆積された、ニオブ−チタンフィルムである。所望であれば、第１の赤外反射層１５０の直下に、追加の保護層が配置されていてもよい。更に、所望であれば、保護層８０、１８０のうちの一つを、完全に省略することもできる。

図４を続けて参照して、外側フィルム領域１３０は、第２の赤外反射フィルム１５０よりも外側（例えば、存在する場合は第２の保護層１８０の直上）に配置される。外側フィルム領域１３０の正確な性質は、所望により変化させることができる。その最も簡単な形態においては、外側フィルム領域１３０は、単一の透明誘電フィルムからなる。広範な種々の金属窒化物（例えば、窒化ケイ素）および金属酸化物（例えば、亜鉛、錫、インジウム、ビスマス、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、並びにそのアロイおよび混合物）を、低放射率コーティングの最外層として使用することができる。一実施形態においては、外側フィルム領域１３０は、約１００オングストローム〜約４００オングストローム、更に好ましくは約１００オングストローム〜約３００オングストローム、おそらく最適には約２８０オングストロームの厚みを有する、単一のフィルム（例えば、窒化ケイ素）である。当業者であれば、外側フィルム領域１３０として使用するのに適したその他の物質を、容易に選択することができる。

複数の分離した層を含む外側フィルム領域１３０を使用することが好ましい。例えば、様々なフィルム積層体が、「二層」型低放射率コーティングの外側フィルム領域としての使用に好適であることが知られている。外側フィルム領域１３０の各層は、好ましくは約２５０オングストローム以下、更に好ましくは約２２５オングストローム以下の物理的厚み、または、約４５０オングストローム以下の光学的厚みに限定される。更に、外側フィルム領域１３０の各層が、それに隣接する各層とは異なる物質で形成されていると、有益であると考えられる。中間フィルム領域１９０に関して前述したように、これは、焼入れまたはその他の熱処理中に、望ましからざる曇りが発達する可能性を低減させ得る。特定の実施形態においては、各透明誘電フィルム（層３０、中間フィルム領域１９０および外側フィルム領域１３０のフィルムを含む。）は、２００オングストローム未満の厚みを有する。

図６および７は、外側フィルム領域１３０が複数の分離した層で形成された実施形態を示す。例えば、図６の実施形態は、２つの分離した層を含む外側フィルム領域１３０を備えている。図示の実施形態において、第１の外側層１３２は、第２の保護層１８０上に直接に堆積されている。第１の外側層１３２は、あらゆる所望の透明誘電物質で形成することができる。例えば、この層１３２は、酸化亜鉛で有益に形成することができる。第１の外側層１３２の厚みは、好ましくは約１２５オングストローム〜約２７５オングストローム、更に好ましくは約１５０オングストローム〜約２５０オングストロームである。図示の実施形態において、第２の外側層１３４は、第１の外側層１３２上に直接に堆積されている。この層１３４は、あらゆる所望の透明誘電物質で形成することができるが、窒化ケイ素などの化学的耐性物質で形成されることが好ましい。第２の外側層１３４の厚みは、好ましくは約２５オングストローム〜約３００オングストローム、更に好ましくは約５０オングストローム〜約１２５オングストロームである。好ましい一実施形態において、第１の外側層１３２は、酸化亜鉛で、約１７５オングストロームの厚みで形成され、第２の外側層１３４は、窒化ケイ素で、約７５オングストロームの厚みで形成される。別の実施形態において、外側フィルム領域１３０は、少なくとも１層の窒化チタンフィルムと、少なくとも１層の化学的耐性フィルム（例えば、窒化ケイ素）を含む、２層以上のフィルムを含み、化学的耐性フィルムが、必須ではないが、好ましくは窒化チタンフィルムの外側に配置されている。

図７は、外側フィルム領域１３０が少なくとも４つの分離した層を含む、好ましい一実施形態を示す。これらの層１３１，１３３，１３５，１３７は、あらゆる所望の透明誘電物質で形成することができる。例えば、第２の保護層１８０上に直接に、酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとのアロイまたは混合物などの、酸化亜鉛のアロイまたは混合物で形成された、フィルム層１３１を堆積することができる。このフィルム層１３１は、好ましくは約５０オングストローム〜約２００オングストローム、更に好ましくは約８０オングストローム〜約１１５オングストローム、おそらく最適には約１００オングストロームの厚みで堆積される。この実施形態においては、窒化チタン層１３５を、第１の化学的耐性層１３３と第２の化学的耐性層１３７（例えば、窒化ケイ素）との間に挟み、このサンドイッチ状物をフィルム層１３１上に直接に配置することが、特に好ましい。更に詳しくは、これらの窒化ケイ素層のうちで最も内側のもの１３３は、好ましくは約２２〜５５オングストローム、おそらく最適には約３０オングストロームのオーダーの厚みを有する。窒化チタン層１３５は、好ましくは約４〜４１オングストローム、おそらく最適には約１０オングストロームのオーダーの厚みを有する。最も外側の窒化ケイ素層１３７は、好ましくは約７５〜１７９オングストローム、おそらく最適には約１１０オングストロームの厚みを有する。

本開示の教示では、発明の特定の好ましい実施形態が、少なくとも１層の赤外反射層を有する低放射率コーティングであって、外側に向かって、酸化亜鉛フィルム、銀または銀含有フィルムおよびニオブ−チタン層の順で連続しているものが提供されると認められる。この連続物における銀または銀含有フィルムは、酸化亜鉛の直上であって、ニオブ−チタン層の直下に配置される。所望であれば、１以上の追加のフィルム（例えば、二酸化ケイ素）を、この連続物の酸化亜鉛フィルムよりも内側に付与してもよい。更に、透明誘電フィルムが、この連続物のニオブ−チタン層の上方に配置されることが好ましい。この連続物における銀または銀含有フィルムは、コーティング中の唯一の赤外反射フィルムであっても、コーティング中の２以上の赤外反射フィルムのうちの一つであってもよい。

本発明の特定の一実施形態を、ここに記載する。この実施形態は、「二層」型低放射率コーティングを含む。このコーティングの層を、外側に向かって（すなわち、基材から離れる方向で）順に記載する。基材の直上に、下地層の直上に、酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとのアロイまたは混合物などの、酸化亜鉛のアロイまたは混合物の層が形成されている。この酸化物層は、好ましくは約２５０オングストローム〜約３５０オングストローム、おそらく最適には約３００オングストロームの厚みを有する。この酸化物層の直上に、純粋な酸化亜鉛の層が付与されている。この酸化亜鉛層の厚みは、好ましくは約７０オングストローム〜約１００オングストローム、おそらく最適には約８５オングストロームである。赤外反射銀層が、この酸化亜鉛層の直上に形成されている。この銀層は、好ましくは約９０オングストローム〜約１１０オングストローム、おそらく最適には約１００オングストロームの厚みを有する。そして、この銀層の直上に、保護ニオブ−チタン層が付与されている。このニオブ−チタンの大部分は、前述したように、後続の層の堆積中に酸化または窒化され得る。この層のニオブ−チタンは、好ましくは約２０オングストローム〜約３０オングストローム、おそらく最適には約２５オングストロームの厚みで堆積される。このニオブ−チタン層の直上に、純粋な酸化亜鉛の層が付与されており、この層は、好ましくは約８０オングストローム〜約１２０オングストローム、おそらく最適には約１００オングストロームの厚みを有する。この酸化亜鉛層の直上には、酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとのアロイまたは混合物などの、酸化亜鉛のアロイまたは混合物の層が付与されている。この酸化物層は、好ましくは約５３０オングストローム〜約６２０オングストローム、更に好ましくは約５５０オングストローム〜約７００オングストロームの厚みを有する。この酸化物層の直上には、純粋な酸化亜鉛の層が形成されており、この層は、好ましくは約６５オングストローム〜約１０５オングストローム、おそらく最適には約８５オングストロームの厚みを有する。この酸化亜鉛層の直上に、赤外反射銀層が形成されている。この銀層は、好ましくは、約１０５オングストローム〜約１４５オングストローム、おそらく最適には約１２５オングストロームの厚みを有する。そして、保護ニオブ−チタン層が、この銀層の直上に付与されている。この層は、後に酸化または窒化され得るものである。この層のニオブ−チタンは、約２０オングストローム〜約３０オングストローム、おそらく最適には約２０オングストロームの厚みで堆積される。このニオブ−チタン層の直上には、純粋な酸化亜鉛の層が付与されており、この層は、約１１０オングストローム〜約１３０オングストローム、おそらく最適には約１２０オングストロームの厚みを有する。この酸化亜鉛層の直上に、酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとのアロイまたは混合物などの、酸化亜鉛のアロイまたは混合物の層が堆積されている。この酸化物層は、好ましくは約１３０オングストローム〜約１７０オングストローム、おそらく最適には約１５０オングストロームの厚みを有する。この酸化物層の直上には、窒化ケイ素の層が形成されており、好ましくは、この層がフィルム積層体の最外層を形成する。この窒化ケイ素層は、好ましくは約２０オングストローム〜約５０オングストローム、更に好ましくは約３０オングストローム〜約４０オングストロームの厚みを有する。当業者であれば、この好ましい範囲の外であっても良好な結果を生じるような、その他の好適な層組成および厚みを、容易に選択し、変更することが可能である。

本発明の別の特定の実施形態を、ここに記載する。この実施形態もまた、「二層」型低放射率コーティングを含む。このコーティングの層を、外側に向かって順に記載する。基材の直上に、二酸化ケイ素の透明下地層が形成されている。下地層は、好ましくは約７０オングストローム〜約９０オングストローム、おそらく最適には約８０オングストロームの厚みを有する。二酸化ケイ素下地層の直上に、酸化亜鉛の層が付与されている。この酸化亜鉛層の厚みは、好ましくは約２１５オングストローム〜約２４５オングストローム、おそらく最適には約２３０オングストロームである。赤外反射銀層が、この酸化亜鉛層の直上に付与されている。この銀層は、好ましくは約７０オングストローム〜約９０オングストローム、おそらく最適には約８０オングストロームの厚みを有する。そして、保護ニオブ−チタン層が、この銀層の直上に付与されている。このニオブ−チタン層は、好ましくは約１８オングストローム〜約２２オングストローム、おそらく最適には約２０オングストロームの厚みで堆積されている。このニオブ−チタン層の直上に、酸化亜鉛の層が付与されている。この酸化亜鉛層は、好ましくは約９５オングストローム〜約１１５オングストローム、おそらく最適には約１０５オングストロームの厚みで堆積されている。そして、窒化ケイ素層が、この酸化亜鉛層の直上に付与されている。この窒化ケイ素層は、好ましくは約１２０オングストローム〜約１６０オングストローム、おそらく最適には約１４０オングストロームの厚みを有する。この窒化ケイ素層の直上に、酸化亜鉛の層が、約１８０オングストローム〜約２２０オングストローム、おそらく最適には約２００オングストロームの厚みで付与されている。そして、この酸化亜鉛層の直上に、窒化ケイ素層が付与されている。この窒化ケイ素層は、好ましくは約１２０オングストローム〜約１６０オングストローム、おそらく最適には約１４０オングストロームの厚みを有する。この窒化ケイ素層の直上に、酸化亜鉛が、約６５オングストローム〜約９５オングストローム、おそらく最適には約８０オングストロームの厚みで付与されている。赤外反射銀層が、この酸化亜鉛の直上に形成されている。この銀層は、好ましくは約１１０オングストローム〜約１５０オングストローム、おそらく最適には約１３０オングストロームの厚みを有する。保護ニオブ−チタン層が、この銀層の直上に付与されている。このニオブ−チタン層は、好ましくは約１８〜２２オングストローム、おそらく最適には約２０オングストロームの厚みで堆積されている。このニオブ−チタン層の直上には、酸化亜鉛の層が付与されている。この酸化亜鉛層は、好ましくは約９０オングストローム〜約１１０オングストローム、おそらく最適には約１００オングストロームの厚みを有する。そして、窒化ケイ素層が、この酸化亜鉛層の直上に堆積されている。この窒化ケイ素層は、好ましくは約２０オングストローム〜約４０オングストローム、おそらく最適には約３０オングストロームの厚みを有する。そして、窒化チタンの層が、この窒化ケイ素層の直上に形成されている。この窒化チタン層は、好ましくは約５オングストローム〜約１５オングストローム、おそらく最適には約１０オングストロームの厚みを有する。この窒化チタン層の直上に、窒化ケイ素フィルムが付与されている。この窒化ケイ素フィルムは、好ましくは約８５オングストローム〜約１３５オングストローム、おそらく最適には約１１０オングストロームの厚みを有する。この窒化ケイ素フィルムは、フィルム積層体の最外層である。

本発明の更に別の実施形態を、ここに記載する。このコーティング、「二層」型低放射コーティングであるが、その層を、外側に向かって順に記載する。酸化チタンの層（例えば、亜化学量論的ＴｉＯ_x（ｘは１〜２）である二酸化チタン）が、基材の直上に付与される。この酸化チタン層は、好ましくは約１１５オングストローム〜約１４５オングストローム、おそらく最適には約１３０オングストロームの厚みを有する。この酸化チタン層の直上には、純粋な酸化亜鉛の層が付与されている。この酸化亜鉛層の厚みは、好ましくは約４０オングストローム〜約６０オングストローム、おそらく最適には約５０オングストロームである。赤外反射銀層が、この酸化亜鉛層の直上に形成されている。この銀層は、好ましくは約８０オングストローム〜約１００オングストローム、おそらく最適には約９０オングストロームの厚みを有する。保護ニオブ−チタン層が、この銀層の直上に形成されている。この保護ニオブ−チタン層は、後に酸化または窒化され得るが、好ましくは約２０オングストローム〜約３０オングストローム、おそらく最適には約２５オングストロームの厚みで堆積される。この保護ニオブ−チタン層の直上には、窒化ケイ素の層が付与されており、この層は、好ましくは約４００オングストローム〜約７００オングストローム、おそらく最適には約５００オングストロームの厚みを有する。この窒化ケイ素層の直上に、純粋な酸化亜鉛の層が付与されている。この酸化亜鉛は、好ましくは約３０オングストローム〜約５０オングストローム、おそらく最適には約４０オングストロームの厚みを有する。この酸化亜鉛層の直上には、赤外反射銀層が形成されている。この銀層は、好ましくは約８０オングストローム〜約１３０オングストローム、更に好ましくは１００オングストローム〜約１１０オングストロームの厚みを有する。保護ニオブ−チタン層が、この銀層の直上に形成されている。この保護ニオブ−チタン層は、後に酸化または窒化され得るが、好ましくは約２０オングストローム〜約３０オングストローム、おそらく最適には約２５オングストロームの厚みで堆積される。この保護ニオブ−チタン層の直上には、窒化ケイ素の層が付与され、好ましくは、この層が、フィルム積層体の最外層を形成する。この窒化ケイ素層の好ましい厚み範囲は、約２５０オングストローム〜約３１０オングストロームであり、おそらく最適には約２８０オングストロームである。当業者であれば、これらの好ましい範囲外であるが、許容し得る結果を生じるその他の好適な層組成および厚みを、容易に選択および変化させることができる。

図８は、特に好ましい「二層」型低放射率コーティングを示す。この実施形態において、コーティングの層構造は、基材１０と反射防止層３０との間に透明下地層２０を設けて、ここに図４〜７を参照して記述したものと類似した構造とすることができる。透明下地層２０は、図３を参照して前に述べたような性質のものである。例えば、この下地層は、基材の欠陥（例えば、水分腐蝕）に関連した問題（例えば、焼入れ中の曇り形成）を最小化するために設けることができる。前述のように、少なくとも１つの保護ニオブ−チタン層および透明下地層２０を含む低放射率コーティングは、焼入れまたはその他の熱処理中に（約７００℃のオーダーの温度に曝された場合でも）、目立った色変化および曇り形成を殆ど示さない。このように、このような特色の組合せを有するコーティングは、焼入れまたはその他の熱処理が施される基材への使用に特に好適である。このような性質のコーティングは、所望の耐引掻き性をも有している。

低放射率コーティングに、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層、分離した複数の層（前述のように、おそらく最適に厚みが限定され、結晶質層と実質的な非晶質層との交互層を含む。）を含む中間フィルム領域１９０および透明下地層２０の組合せを付与することは、特に望ましいと思われる。このような性質の一実施形態を、図９に示す。この独特の特徴の組合せを備えた低放射率コーティングは、前出の国際出願に記載したような「水分による接着破壊試験」において、ひときわ優れた挙動を示す。これは、焼入れまたはその他の熱処理中に目立った色変化を殆ど示さず、曇り形成も最小化される。更に、これらのコーティングは、所望の耐引掻き性を有する。よって、この特徴の組合せを備えたコーティングは、特に好ましい。

前述のパラグラフに記載したような実施形態においては、窒化チタンフィルムを、外側フィルム領域９０，１３０に有益に組み入れることができる。このように、一つの望ましい低放射率コーティングは、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層、分離した複数の透明誘電層（前述のように、おそらく最適に厚みが限定され、結晶質層と実質的な非晶質層との交互層を含む。）を含む中間フィルム領域１９０、透明下地層２０および窒化チタン外側フィルム（例えば、最外層としての窒化チタンフィルム、または、外側フィルム領域９０，１３０中の窒化チタンフィルム）を含む。代わりに、少なくとも１層の化学的耐性外側フィルムを、前出のパラグラフに記載したような性質のコーティングに組み入れることもできる。化学的耐性フィルムは、窒化ケイ素で形成することができる。このように、別の望ましい低放射率コーティングは、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層、分離した複数の透明誘電層（前述のように、おそらく最適に厚みが限定され、結晶質層と実質的な非晶質層との交互層を含む。）を含む中間フィルム領域１９０、透明下地層２０および少なくとも１層の化学的耐性外側フィルム（例えば、最外層としての窒化ケイ素フィルム、または、外側フィルム領域９０，１３０中の窒化ケイ素フィルム）を含む。更に、前述のパラグラフで記載したような実施形態において、外側窒化チタンフィルムと、化学的耐性外側フィルム（例えば、窒化ケイ素）とを、両方付与することができる。このように、特に望ましい低放射率コーティングは、少なくとも１層の保護ニオブ−チタン層、分離した複数の透明誘電層を含む中間フィルム領域１９０、透明下地層２０、外側窒化チタンフィルムおよび化学耐性外側フィルムを含む。

前述のように、図４〜９は、２つの赤外反射フィルム５０、１５０を含む、「二層」型低放射率コーティングを示す。図４〜９の実施形態において、保護ニオブ−チタン層は、赤外反射フィルム５０，１５０の各々の上方に示されている。このような実施形態は特に有益であると予想されるが、本発明は、幾つかの別の実施形態を提供する。更なる実施形態（図示せず）において、保護ニオブ−チタン層は、赤外反射フィルム５０,１５０のうちの一方のみの上方に付与されている。幾つかの場合において、これは、第１の赤外反射フィルム５０のみに、その上に重ねられたニオブ−チタン層８０が付与されたコーティングを含み得る。この場合、第２の赤外反射フィルム１５０には、その上に重ねられた別の物質（例えば、チタン、ニオブ、ニッケル、クロム、ニクロムなど）の保護層を付与することや、第２の保護層１８０を完全に省略することができる。別の場合において、これは、第２の赤外反射フィルム１５０のみに、その上に重ねられたニオブ−チタン層１８０が付与されたコーティングを含み得る。この場合、内側の赤外反射層５０には、その上に重ねられた別の物質の保護層を付与することや、第１の保護層８０を完全に省略することができる。

別の実施形態（図示せず）において、「二層」型低放射率コーティングの赤外反射フィルム５０，１５０の各々は、保護ニオブ−チタン層で挟まれている。このような実施形態において、（例えば、透過率の過度の減少を防ぐため）各赤外反射フィルム下方のニオブ−チタン層は、その赤外反射フィルム上方のニオブ−チタン層よりも、数オングストローム薄くすることができる。前述のように、少なくとも赤外反射フィルムに銀を使用する場合は、赤外反射フィルムの直下には、ニオブ−チタンフィルムを配置しないことが有益である。直下に設けられた酸化亜鉛フィルムは、銀の成長を最適化する傾向にあるからである。しかしながら、赤外反射フィルムをニオブ−チタン層の間に直接挟むことは、赤外反射フィルムに、それが銀で形成されていても、望ましいレベルの保護を与え得る。よって、このような実施形態は望ましい。

特定の実施形態（図示せず）において、赤外反射フィルムのうちの一つのみを、２つのニオブ−チタン層の間に挟んだ、「二層」型低放射率コーティングが提供される。幾つかの場合、これは、第１の赤外反射フィルム５０のみが、２つの保護ニオブ−チタン層の間に挟まれたコーティングを含む。この場合、第２の赤外反射フィルム１５０は、その上に重ねられたニオブ−チタン保護層１８０のみ（または、その上に重ねられた別の物質の保護層１８０のみ）を有するか、または、その下に重ねられたニオブ−チタン保護層のみ（または、その下に重ねられた別の物質の保護層のみ）を有するか、または、保護層を全く有さない。別の場合では、これは、第２の赤外反射フィルム１５０のみが、保護ニオブ−チタン層の間に挟まれたコーティングを含む。この場合、第１の赤外反射フィルム５０は、その上に重ねられたニオブ−チタン保護層８０のみ（または、その上に重ねられた別の物質の保護層８０のみ）を有するか、または、その下に重ねられたニオブ−チタン保護層のみ（または、その下に重ねられた別の物質の保護層のみ）を有するか、または、保護層を全く有さない。

別の様々な実施形態が、本開示を手引きとして与えられた当業者によって、自明である。例えば、保護ニオブ−チタン層は、低放射率コーティングの各赤外反射フィルムの、上方ではなく、下方に配置することができる。別の実施形態においては、少なくとも２つの赤外反射フィルムを有する低放射率コーティングに、１つの保護ニオブ−チタン層が設けられる。このニオブ−チタン層は、コーティングの赤外反射フィルムのうちの一つの上方または下方に配置することができる。例えば、１層以上の赤外反射フィルムと、コーティングの赤外反射フィルムに隣接した少なくとも１層のニオブ−チタン層とを含む、低放射率コーティングを提供することができる。

本開示において詳説した実施形態は、非常に多くの可能なバリエーションを有し、これらは、本発明の範囲内であることは当業者に明らかである。例えば、フィルム積層体部分の数（例えば、内側フィルム領域３０、中間フィルム領域１９０、外側フィルム領域９０，１３０および特定のフィルム連続体）は、ここでは、「単層」または「二層」型低放射率コーティングに組み入れられるものとして記述した。しかしながら、１以上のこれらのフィルム積層体部分が、３層以上の赤外反射フィルムを含む低放射率コーティングに組み入れられてもよい。例えば、３層以上の赤外反射フィルムを含む低放射率コーティングであって、各赤外放射フィルムが、２層のニオブ−チタン層で挟まれているものを、提供することができる。本発明が、このような性質を有する多くのその他のバリエーションを包含することは、当業者に明らかである。

特定の実施形態において、本発明は、前に詳説したようなフィルム積層体のうちの１つを備えたガラス板を提供する。このようなコーテッドガラス板の透過率（Ｃ光源）は、少なくとも約６５％であり、実際には少なくとも約７８％である。（前に詳説したフィルム積層体において開示したような）各赤外反射フィルム、各透明誘電フィルムおよび各保護フィルムの組成および厚みは、前述の実施例において説明したように、このような透過率レベルを達成するように選択される。

本発明の好ましい実施形態を記載したが、その数多くの変更、応用および改変が、本発明の精神および添付のクレームの範囲から逸脱することなく為し得ることが、理解されるべきである。

図１は、本発明の一実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図２は、本発明の別の実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図３は、本発明の更に別の実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図４は、本発明の更に別の実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図５は、本発明の更なる実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図６は、本発明の別の実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図７は、本発明の更に別の実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図８は、本発明の更に別の実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図９は、本発明の更なる実施形態に係るフィルム積層体を備えた基材の概略断面図である。 図１０は、本発明の特定の方法において有用なスパッタリングチャンバーの概略構造図である。

Claims (29)

1. 低放射率コーティングを備えた基材であって、前記低放射率コーティングが、前記基材から外側に向かって、
   （ａ）透明誘電物質を含む第１のフィルム層と、
   （ｂ）赤外反射物質を含む第２のフィルム層と、
   （ｃ）ニオブおよびチタンを含む第３の保護フィルム層と、
   （ｄ）透明誘電物質を含む第４のフィルム層とを含む基材
   を含み、
   更に、前記基材と前記第１のフィルム層との間に配置された透明下地層を含み、前記透明下地層が、前記基材上に直接に形成された二酸化ケイ素を含み、かつ、
   前記透明下地層が、１００オングストローム未満の厚みを有する基材。
2. 前記保護フィルム層が、前記低放射率コーティングに耐磨耗性を与えられように、ニオブよりも大きな割合でチタンを含む請求項1記載の基材。
3. 前記保護フィルム層が、主パーセンテージのチタンと、副パーセンテージのニオブとを含む請求項２記載の基材。
4. 前記保護フィルム層が、５０％〜９５％のチタンと、５％を超え且つ５０％未満のニオブを含む請求項３記載の基材。
5. 前記保護フィルム層が、５５％のチタンと、４５％のニオブとを含む請求項４記載の基材。
6. 前記保護フィルム層が、前記低放射率コーティングに、７００℃オーダーの高温に曝されている間の色変化に対する耐性を与えられるように、チタンよりも大きな割合でニオブを含む請求項１記載の基材。
7. 前記保護フィルム層が、主パーセンテージのニオブと、副パーセンテージのチタンとを含む請求項６記載の基材。
8. 前記保護フィルム層が、５０％〜９５％のニオブと、５％を超え且つ５０％未満のチタンを含む請求項７記載の基材。
9. 前記二酸化ケイ素が、スパッタ膜である請求項１〜８のいずれかに記載の基材。
10. 前記保護フィルム層が、前記第２のフィルム層上に直接に形成されている請求項１記載の基材。
11. 前記第２のフィルム層の前記赤外反射物質が、銀である請求項１記載の基材。
12. 前記保護フィルム層が、１０オングストローム〜３０オングストロームの厚みを有する請求項１記載の基材。
13. 前記第１のフィルム層が、２３０オングストローム未満の厚みを有する請求項１記載の基材。
14. 前記第１のフィルム層が、２００オングストローム未満の厚みを有する請求項１３記載
    の基材。
15. 前記第１のフィルム層が、酸化亜鉛を含む請求項１記載の基材。
16. 前記第２のフィルム層が、前記第１のフィルム層上に直接に形成され、前記第２のフィルム層の赤外反射物質が、銀である請求項１５記載の基材。
17. 前記第４の層が、窒化ケイ素を含む請求項１記載の基材。
18. 更に、
    （ａ）赤外反射物質を含む第５のフィルム層と、
    （ｂ）透明誘電物質を含む第６のフィルム層とを含む、請求項１記載の基材。
19. 更に、前記第５のフィルム層と前記第６のフィルム層との間に配置された保護フィルム層を含み、前記保護フィルム層が、ニオブおよびチタンを含む請求項１８記載の基材。
20. 前記基材が、透明である請求項１〜１９のいずれかに記載の基材。
21. 前記透明下地層が、前記透明基材と実質的に同等の屈折率を有する請求項１〜２０のいずれかに記載の透明基材。
22. 低放射率コーティングを備えた基材であって、前記低放射率コーティングが、前記基材から外側に向かって、
    （ａ）透明誘電物質を含む第１のフィルム層と、
    （ｂ）赤外反射物質を含む第２のフィルム層と、
    （ｃ）結晶物質と実質的な非晶質物質との交互層を含み、少なくとも３層のフィルム層を含む中間フィルム領域と、
    （ｄ）赤外反射物質を含む第６のフィルム層と、
    （ｅ）透明誘電物質を含む第７のフィルム層とを含み、
    前記低放射率コーティングは、前記第２のフィルム層または前記第６のフィルム層に隣接した保護ニオブ−チタン層を含み、
    更に、前記基材と前記第１のフィルム層との間に配置された透明下地層を含み、前記透明下地層は、前記基材上に直接に形成された二酸化ケイ素を含み、
    前記透明下地層は、１００オングストローム未満の厚みを有する基材。
23. 前記中間フィルム領域の各フィルム層は、２００オングストローム未満の厚みを有する請求項２２記載の基材。
24. 前記結晶物質が酸化物であり、前記実質的な非晶質物質が窒化物である請求項２２記載の基材。
25. 前記窒化物は、窒化ケイ素である請求項２４記載の基材。
26. 前記中間フィルム領域は、少なくとも５層のフィルム層を含む請求項２２記載の基材。
27. 前記中間フィルム領域は、３層の酸化亜鉛フィルム層と、２層の窒化ケイ素フィルム層とを含む請求項２６記載の基材。
28. コーテッドガラスの製造方法であって、
    １００オングストローム以下の厚みを有する二酸化ケイ素層を、基材の主面上に直接堆積し、
    前記二酸化ケイ素層の上方に、透明誘電物質を含む第１のフィルム層を堆積し、
    前記第１のフィルム層の上方に、赤外反射物質を含む第２のフィルム層を堆積し、
    前記第２のフィルム層の上方に、ニオブおよびチタンを含む第３の保護フィルム層を堆積し、
    前記第３のフィルム層の上方に、透明誘電物質を含む第４のフィルム層を堆積することを含む方法。
29. 前記二酸化ケイ素層を直接堆積する工程が、二酸化ケイ素をスパッタ堆積することを含む請求項２８に記載の方法。

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