JP7024852B2 - 透明導電体、調光体及び透明発熱体 - Google Patents
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Description
吸収率(%)=100-透過率(%)-反射率(%)
(参考例1)
透明基材として厚さ125μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを準備した。DCマグネトロンスパッタリングによって、透明基材の一方面上に、第1誘電層、主成分として銀合金を含む金属層、光吸収層、及び第2誘電層をこの順に形成した。これによって、透明基材、第1誘電層(厚さ:30nm)、金属層(厚さ:9nm)、光吸収層(厚さ:2nm)、及び第2誘電層(厚さ:30nm)をこの順で有する透明導電体を得た。
光吸収層の厚さを12nmにしたこと以外は、参考例1と同様にして透明導電体を作製した。
光吸収層を、第1誘電層と金属層の間に設けたこと以外は、実施例1と同様にして透明導電体を作製した。すなわち、DCマグネトロンスパッタリングによって、透明基材の一方面上に、第1誘電層、光吸収層、主成分として銀合金を含む金属層、及び第2誘電層をこの順に形成した。これによって、透明基材、第1誘電層(厚さ:30nm)、光吸収層(厚さ:2nm)、金属層(厚さ:9nm)及び第2誘電層(厚さ:30nm)をこの順で有する透明導電体を得た。
光吸収層の厚さを12nmにしたこと以外は、参考例3と同様にして透明導電体を作製した。
光吸収層の厚さを22nmにしたこと以外は、参考例3と同様にして透明導電体を作製した。
光吸収層を、Cu-Tiターゲットを用いて形成したこと以外は、実施例4と同様にして透明導電体を作製した。Cu-Tiターゲットの組成は、Cu:Ti=80:20(質量%)であった。光吸収層は、ターゲットと同じ組成を有していた。
透明基材と第1誘電層の間に高屈折率層を設けたこと、第2誘電層の金属層側とは反対側に導電層を設けたこと、及び第1誘電層と第2誘電層の厚みを10nmにしたこと以外は、参考例3と同様にして透明導電体を作製した。すなわち、DCマグネトロンスパッタリングによって、透明基材の一方面上に、SiNで構成される高屈折率層、第1誘電層、光吸収層、主成分として銀合金を含む金属層、第2誘電層、及び、ITOで構成される導電層をこの順に形成した。これによって、透明基材、高屈折率層(厚み:20nm)、第1誘電層(厚さ:10nm)、光吸収層(厚さ:2nm)、金属層(厚さ:9nm)、第2誘電層(厚さ:10nm)、及び導電層(厚さ:20nm)をこの順で有する透明導電体を得た。
光吸収層の厚さを12nmにしたこと以外は、参考例7と同様にして透明導電体を作製した。
光吸収層を設けなかったこと以外は、参考例7と同様にして透明導電体を作製した。
金属層の代わりに光吸収層を第1誘電層と第2誘電層の間に設けたこと以外は、比較例1と同様にして透明導電体を作製した。すなわち、DCマグネトロンスパッタリングによって、透明基材の一方面上に、第1誘電層、光吸収層、及び第2誘電層をこの順に形成した。これによって、透明基材、第1誘電層(厚さ:30nm)、光吸収層(厚さ:20nm)、及び第2誘電層(厚さ:30nm)をこの順で有する透明導電体を得た。光吸収層の形成に用いたNi-Crターゲットの組成は、Ni:Cr=80:20(質量%)であった。光吸収層は、Ni-Crターゲットと同じ組成を有していた。
光吸収層を、第2誘電層の金属層側とは反対側に設けたこと以外は、実施例2と同様にして透明導電体を作製した。すなわち、DCマグネトロンスパッタリングによって、透明基材の一方面上に、第1誘電層、主成分として銀合金を含む金属層、第2誘電層、及び光吸収層、をこの順に形成した。これによって、透明基材、第1誘電層(厚さ:30nm)、金属層(厚さ:9nm)、第2誘電層(厚さ:30nm)、及び光吸収層(厚さ:12nm)をこの順で有する透明導電体を得た。
上述の手順で作製した、各透明導電体における光吸収層を構成する合金の構成元素、位置、及び厚みを表2に纏めて示す。表2中、位置の欄における番号(1)は、第1誘電層と金属層の間に光吸収層を備えることを示している。番号(2)は、金属層と第2誘電層の間に光吸収層を備えることを示している。番号(3)は、第1誘電層と第2誘電層の間に光吸収層を備えることを示している。番号(4)は、第2誘電層の金属層側とは反対側に光吸収層を備えることを示している。
Claims (7)
- 透明基材と、第1誘電層と、主成分として銀又は銀合金を含む金属層と、第2誘電層と、をこの順に備え、
前記第1誘電層と前記金属層との間、及び、前記金属層と前記第2誘電層との間、の一方又は双方に光吸収層を備え、
前記第1誘電層が、主成分として、酸化亜鉛、酸化インジウム及び酸化チタンを含み、
前記第2誘電層が、主成分として、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン及び酸化スズを含み、
前記光吸収層の厚さが12~22nmである透明導電体。 - 前記第1誘電層と前記金属層との間にのみ前記光吸収層を備える、請求項1に記載の透明導電体。
- 前記光吸収層が、構成元素として、Ni、Cr、Cu及びTiからなる群より選ばれる少なくとも一つを有する合金を含む、請求項1又は2に記載の透明導電体。
- 前記透明基材と前記第1誘電層との間に高屈折率層、及び、前記第2誘電層の前記金属層側とは反対側に導電層、の一方又は双方を更に備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の透明導電体。
- 調光体用又は透明発熱体用である、請求項1~4のいずれか一項に記載の透明導電体。
- 一対の透明導電体と、その間に調光層と、を備え、
前記一対の透明導電体の少なくとも一方は、請求項1~4のいずれか一項に記載の透明導電体である、調光体。 - 請求項1~4のいずれか一項に記載の透明導電体を備える透明発熱体。
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JP2016012555A (ja) | 2014-06-02 | 2016-01-21 | Tdk株式会社 | 透明導電性フィルム及びタッチパネル |
JP2016079052A (ja) | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 旭硝子株式会社 | 窓ガラスおよび積層膜付き透明基板 |
JP2016081318A (ja) | 2014-10-17 | 2016-05-16 | コニカミノルタ株式会社 | 透明導電体及びタッチパネル |
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