JP2002168493A - エアシャワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 改修工事などに携わる工事関係者等の出入通
路にも簡単に設置でき，また容易に撤去できるエアシャ
ワー装置を提供する。 【解決手段】 移動自在な箱体１０に人間が通過できる
入口１５と出口１６を形成し，箱体の内部に向かって清
浄な空気を吐出するノズル３６を設け，このノズル３６
に対して空気を送風するファン４１と，ファン４１によ
ってノズル３６に送風される空気をろ過するフィルタ４
３を備えてなり，ファン４１及び／又はフィルタ４３
を，箱体１０に対して取り外し自在に設けたエアシャワ
ー装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，クリーンルームの
入口などに配設され，人体や防塵衣等に付着した異物を
除去するエアシャワー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば集積回路などを生産する半導体製
造分野やバイオテクノロジーなどの分野において，清浄
な雰囲気や無菌状態を保つためにクリーンルームが利用
されている。またクリーンルームにおいては，内部を正
常に保つだけでなく，クリーンルームの入口にエアシャ
ワー装置を設置し，作業者等がクリーンルームに入室す
る際は，エアシャワー装置によって人体や防塵衣等に付
着した異物を除去することにより，クリーンルームへの
異物の侵入を防いでいる。

【０００３】一般にエアシャワー装置は，フィルターで
ろ過した清浄な空気をノズルから吐出し，人体や防塵衣
等に付着した異物を吹き飛ばすことにより，異物を除去
するようになっている。

【０００４】一方，クリーンルーム内を改修工事する場
合など，工事作業によって清浄な空間内での発塵を生ず
ることがある。そのような場合，作業場所を仮の間仕切
りなどで囲り，作業場所で発生した塵埃をクリーンルー
ム内に漏らさないようにしている。かかる，間仕切り内
から作業員が出る際には，塵埃をクリーンルーム内に持
ち込まないようにしなければならない。即ち，作業場所
への往路や復路にクリーンルームが介在するような場
合，作業場所からクリーンルーム内に塵埃を持ち込まな
いように，エアシャワーの設置が余儀なくされる。ま
た，工事作業と生産工程の能率の面から既設のエアシャ
ワーを工事関係者が使用するのを避け，工事動線に沿っ
てエアシャワーを仮設する必要がる場合もある。クリー
ンルームの高さ（グレーチングなどの床面からフィルタ
フレームなどの天井面まで）は３〜３．５ｍ程度が一般
的であるが，エアシャワーの設置高さもそれに制限され
る。更に搬入するための廊下等の高さが低いと搬入もま
まならず，エアワッシャーの搬入方法，経路を工夫しな
ければならない。また改修工事などの作業は工区を分け
て限られた空間単位で連続して行うこともあり，エアワ
ッシャー移設の機動性も求められる。

【発明が解決しようとする課題】

【０００５】しかし，クリーンルームの改修工事などに
携わる工事関係者等の出入通路に公知のエアシャワー装
置を設置することは設置高さ，搬入スペース，重量の関
係で困難であった。そのため，クリーンルームに出入す
る工事関係者等に特別なルールを課したり，あるいは入
場経路を工夫するなどして，クリーンルームへの異物の
侵入をなるべく少なくせざるを得なかった。しかし，こ
れらの対策は作業の進捗を犠牲にするほか，稼働中のク
リーンルームの生産活動を低下させない注意も必要とさ
れた。

【０００６】本発明の目的は，改修工事などに携わる工
事関係者等の出入通路にも簡単に設置でき，また容易に
撤去できるエアシャワー装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば，移動自
在な箱体に人間が通過できる入口と出口を形成し，箱体
の内部に向かって清浄な空気を吐出するノズルを設け，
このノズルに対して空気を送風するファンと，ファンに
よってノズルに送風される空気をろ過するフィルタを備
えてなり，ファン及び／又はフィルタを，箱体に対して
取り外し自在に設けてなる，エアシャワー装置が提供さ
れる。

【０００８】このエアシャワー装置を，例えば改修工事
を行うクリーンルームなどにおいて工事関係者等の出入
通路に設置する。なお，作業空間の一部が廊下などの非
清浄空間に面している場合には，箱体に形成された出口
をクリーンルームに接しさせ，入口をクリーンルームの
外（非清浄空間）に向けて設置すると良い。箱体に形成
された出入口は，例えばドアなどで開閉自在に構成する
と良いが，ビニールカーテンなどのような簡単な手段で
開閉自在に構成しても良い。

【０００９】そして，改修工事などに携わる工事関係者
等がクリーンルームに入ろうとする場合，その工事関係
者等は，こうして出入通路などに設置されたエアシャワ
ー装置の入口から箱体内に入る。

【００１０】一方，エアシャワー装置においては，ファ
ンを稼働し，フィルタでろ過した清浄な空気をノズルに
送風する。これにより，箱体内に入った工事関係者等に
対し，ノズルから吐出された清浄な空気が吹き付けられ
る。こうして，清浄な空気の気流により人体や防塵衣等
に付着した異物が吹き飛ばされ，異物が除去される。

【００１１】なお，箱体の内部から排気させる排気口を
設けることにより，前述のようにノズルから清浄な空気
を吐出しながら，箱体内の空気をこの排気口からファン
に戻すように構成しても良い。そうすれば，ノズルから
吐出された空気は，人体や防塵衣等に付着した異物を吹
き飛ばした後，排気口からファンに戻され，フィルタで
ろ過されて清浄な空気となって，再びノズルから吐出さ
れることとなる。

【００１２】本発明のエアシャワー装置にあっては，箱
体を移動させることにより，工事関係者等の出入通路な
どに容易にエアシャワー装置を設置させることができ，
また，クリーンルームの改修工事などが終了した場合
は，エアシャワー装置を簡単に撤去することが可能であ
る。特に，前述のように箱体に形成される入口をビニー
ルカーテンなどのような簡単な構成で開閉できるように
すれば，エアシャワー装置全体を軽量化でき，エアシャ
ワー装置の設置作業や撤去作業が楽になる。なお，入口
にビニールカーテンを装着した場合，ビニールカーテン
の下部などに重りを取り付ければ，ビニールカーテンの
めくれ上がりを防止できるようになる。

【００１３】このエアシャワー装置において，箱体を移
動可能にさせる車輪を装着しても良い。そうすれば，台
車やジャッキローラ等の搬入具の使用も不要で，エアシ
ャワー装置の移動が容易となり，設置作業や撤去作業が
円滑にできるようになる。この場合，車輪として無指向
キャスターなどを用いて，箱体を任意の方向に移動可能
に構成すると良い。また，車輪の走行を停止させるスト
ッパーなどを更に設けても良い。そうすれば，設置した
エアシャワー装置をストッパーによって固定させること
ができ，不用意にエアシャワー装置が動いてしまう心配
がない。

【００１４】また，このエアシャワー装置において，フ
ァン及び／又はフィルタを，箱体に対して取り外し自在
に設けても良い。そうすれば，例えばエアシャワー装置
を移動させる場合などは，箱体からファンやフィルタを
取り外して分割することによって，箱体とファンやフィ
ルタを別々に移動でき，移動，設置に際しての高さ制限
を免れる。

【００１５】この場合，例えば箱体の上部などに別のユ
ニットを脱着自在に設け，このユニットにファンやフィ
ルタを搭載するようにしても良い。そうすれば，箱体に
対してユニットを装着したり，取り外すことによって，
ファンやフィルタを脱着させることが可能となる。

【００１６】なお，本発明のエアシャワー装置にあって
は，ファンの電源は単相１００Ｖの電源を用いると良
い。一般的にはファン用電源としては３相２００Ｖが用
いられるが，電源が３相２００Ｖではエアシャワー装置
の設置場所が限定されてしまうので，単相１００Ｖの電
源をコンセント型にすることにより，例えば新設時には
予期しない作業場所での電源供給を容易にすることが好
ましい。

【００１７】また，本発明のエアシャワー装置におい
て，ノズルから吐出させる空気をろ過するためのフィル
タとしては，例えばＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィル
タなどの高性能フィルタが用いられる。この場合，静圧
を減少させるために，フィルタの面積はなるべく大きく
すると良い。また，ファンの吐出側の直後に例えば拡大
板などを配置することによって，なるべくフィルタの表
面全体に送風できるようにすると良い。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下，本発明の好ましい実施の形
態を図面を参照にして説明する。図１は，本発明の実施
の形態にかかるエアシャワー装置１の斜視図であり，図
２は，図１のＡ−Ａ断面図である。図３は，エアシャワ
ー装置本体１０の側面２５の斜視図である。図４は，送
風ユニット１１の内部構造を示す斜視図であり，図５
は，送風ユニット１１の平面図である。

【００１９】このエアシャワー装置１は，直方体形状の
箱体をなすエアシャワー装置本体１０の上に，送風ユニ
ット１１を脱着自在に載せた構成になっている。図１に
おいて，エアシャワー装置本体１０の前面には人間が通
過できる大きさの入口１５が形成されており，この入口
１５から人間がエアシャワー装置本体１０の中に入るこ
とができるようになっている。また図１において，エア
シャワー装置本体１０の背面には人間が通過できる大き
さの出口１６が形成されており，入口１５からエアシャ
ワー装置本体１０の中に入った人間は，この出口１６か
らエアシャワー装置本体１０の外に出ることが可能であ
る。

【００２０】入口１５には，ビニールカーテン２０が取
り付けてあり，図１中の一点鎖線２０’で示すように，
このビニールカーテン２０を上方にめくり上げることに
より，人間がエアシャワー装置本体１０の中に入ること
ができる。ビニールカーテン２０の下端には錘２１が取
り付けてあり，この錘２１によってビニールカーテン２
１がめくれ上がらず，後述するように，ノズル３６から
吹き出した清浄な空気（高速気流）が工事関係者等に吹
き付けられる間，エアシャワー装置本体１０内の空気が
外部に漏れ出ないようになっている。

【００２１】出口１６には，ドア２３が取り付けてあ
り，図１中の一点鎖線２３’で示すように，このドア２
３を開くことにより，人間がエアシャワー装置本体１０
の中から外に出ることができる。

【００２２】そして，これらビニールカーテン２０とド
ア２３を閉じることにより，入口１５と出口１６を閉塞
し，エアシャワー装置本体１０の内部を外部と隔離した
状態にできる構成になっている。

【００２３】エアシャワー装置本体１０の側面（入口１
５と出口１６に直交する両側面）２５，２５は，エアシ
ャワー装置本体１０の内部に向かって清浄な空気を吐出
するように構成されている。図２に示すように，側面２
５の内部（エアシャワー装置本体１０の内部側）には，
上下（エアシャワー装置本体１０の底部内側と頂部の各
面）に渡って立設された仕切り板２６で仕切られること
により，給気チャンバ２７と排気ダクト２８が形成され
ている。側面２５の内部において，出口１６に近い側に
側面２５の上下に渡って排気ダクト２８が形成されてい
る。図３に示すように，側面２５の上面には，給気チャ
ンバ２７内に清浄な空気を送り込むための給気開口部３
０（図３）と，排気ダクト２８から空気を排気させるた
めの排気開口部３１が設けられている。なお，給気チャ
ンバ２７の頂部は，給気開口部３０を除き，金属板で閉
鎖されている。

【００２４】側面２５の内面（エアシャワー装置本体１
０の内部に向かう表面）３５には，複数のノズル３６が
設けられている。側面２５の上面に形成された給気開口
部３０を通じて側面２５内部の給気チャンバ２７に給気
された清浄な空気が，これらノズル３６からエアシャワ
ー装置本体１０の内部に向かって吐出されるようになっ
ている。ノズル３６は，側面２５の内面３５のほぼ全体
に万遍なく配置されており，エアシャワー装置本体１０
の内部の全体に向かって清浄な空気を吐出できるように
なっている。

【００２５】側面２５の内面下部（側面２５の内面足下
近く）には，出口１６に近い側に排気口３７が設けられ
ている。この排気口３７は排気ダクト２８に連通してお
り，エアシャワー装置本体１０の内部の空気は，排気口
３７から排気ダクト２８を通って，側面２５の上面に形
成された排気開口部３１から排気されるようになってい
る。そして，給気開口部３０と排気開口部３１は対称の
位置関係にある。

【００２６】エアシャワー装置本体１０の外側面の下部
四隅には，無指向キャスター３８が装着されている。こ
れにより，エアシャワー装置本体１０は，床面上を任意
の方向に容易に移動させることが可能である。図示はし
ないが，無指向キャスター３８は移動を禁止させるスト
ッパーを備えている。

【００２７】図４に示すように，送風ユニット１１は，
エアシャワー装置本体１０の上に載せられる直方体形状
のケーシング４０の内部に，ファン４１と，その下流側
に拡大板４２とフィルタ４３を配置した構成である。ケ
ーシング４０の底面４５の四隅には，ユニット側給気開
口部４６，４６と，ユニット側排気開口部４７，４７が
設けられている。エアシャワー装置本体１０の上に送風
ユニット１１を載せた際には，エアシャワー装置本体１
０の側面２５の上面に設けられている給気開口部３０に
ユニット側給気開口部４６，４６がそれぞれ一致し，排
気開口部３１にユニット側排気開口部４７，４７がそれ
ぞれ一致するようになっている。

【００２８】ファン４１は軸流ファンであり，吸気口４
１ａをユニット側排気開口部４７，４７（排気開口部３
１）に向け，吐出口４１ｂをユニット側給気開口部４
６，４６（給気開口部３０）に向けて，ケーシング４０
の側面と平行に配置されている。拡大板４２は多数の開
口を有する鉄板である。フィルタ４２は止め金具でケー
シング４０内を仕切るように固定され，フィルタ４２の
周囲の隙間から気流が流通しないように閉塞板等が設け
られている。これにより，ファン４１は，ユニット側排
気開口部４７，４７から，低い静圧で広いろ過空間を経
てユニット側給気開口部４６，４６に向かう方向に送風
するようになっている。なお図５に示すように，ファン
４１の吸気口４１ａと吐出口４１ｂを雰囲気的に仕切る
ように，遮蔽板５０がファン４１の周囲に取り付けてあ
る。

【００２９】フィルタ４３としては，例えばＨＥＰＡフ
ィルタやＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタが用い
られる。フィルタ４３は，送風ユニット１１の内部を前
後に仕切るように配置されており，ケーシング４０の頂
面と底面にフィルタ枠を接しさせ，止め金具による固定
に必要なスペースを除いてはケーシング４０の断面積い
っぱいに配置されている。ファン４１の吐出口４１ｂか
ら吐出された空気は，すべてこのフィルタ４３を通過し
てろ過された後，ユニット側給気開口部４６，４６に流
れ込むようになっている。

【００３０】拡大板４２は，パンチングメタルなどで構
成され，ファン４１の吐出口４１ｂの直後に間隔をお
き，かつ，拡大板４２の中心をファン４１の中心線（吐
出気流の中心線）に一致させて配置されている。ファン
４１の吐出口４１ｂから吐出された空気をこの拡大板４
２にぶつからせて拡散させることにより，フィルタ４３
のなるべく表面全体に空気を送風させるように構成され
ている。拡大板４２は，気流の急拡大による局所静圧の
増大を抑える作用をはたす。

【００３１】さて，以上のように構成された本発明の実
施の形態にかかるエアシャワー装置１を，例えば改修工
事を行うクリーンルームなどにおいて工事関係者等の出
入通路に設置する。このようにエアシャワー装置１を設
置する際には，送風ユニット１１をエアシャワー装置本
体１０から取り外し，両者を分割すれば現場などに搬入
しやすい。この場合，エアシャワー装置本体１０は，無
指向キャスター３８を利用することにより，床面上を任
意の方向に容易に移動させることができ，移動が容易で
ある。また送風ユニット１１を取り外して移動させるこ
とにより，高さの低い状態でエアシャワー装置本体１０
を搬入でき，移動の邪魔になりにくい。なお，送風ユニ
ット１１の搬入を容易にさせるために，送風ユニット１
１の重量は人間が運搬できる程度の重量に構成すると良
い。

【００３２】こうして，エアシャワー装置本体１０と送
風ユニット１１を分割して搬入し，現場において，エア
シャワー装置本体１０の上に送風ユニット１１を装着す
ることにより，クリーンルームの出入通路にエアシャワ
ー装置１を設置する。このようにエアシャワー装置本体
１０の上に送風ユニット１１を装着する場合，全周パッ
キンを改装させ，図示しないフランジ部をネジ止めする
ことによりエアシャワー装置本体１０の上に送風ユニッ
ト１１を固定したり，例えば本体１０に受け溝を設けて
送風ユニット１１をはめ込み，テープで止めるなど，簡
易で気密性が確保できる方法で行うのがよい。なお，エ
アシャワー装置本体１０の上に送風ユニット１１を載せ
る際には，エアシャワー装置本体１０の上面に設けられ
ている給気開口部３０にユニット側給気開口部４６，４
６をそれぞれ一致させ，排気開口部３１にユニット側排
気開口部４７，４７をそれぞれ一致させる。

【００３３】また，クリーンルームの出入通路などにエ
アシャワー装置１を設置する場合，エアシャワー装置本
体１０に形成された出口１６をクリーンルームに接しさ
せ，入口１５をクリーンルームの外に向けて設置する。
そして設置後は，ストッパー（図示せず）を用いて無指
向キャスター３８の移動を禁止させ，エアシャワー装置
１が不用意に動かないように固定する。

【００３４】このようにしてエアシャワー装置１を所望
に位置に設置し，送風ユニット１１に設けられたファン
４１を稼働させる。この場合，ファン４１の電源を単相
１００Ｖのコンセントからとるようにすれば，電源供給
が容易となり，エアシャワー装置１の設置場所が限定さ
れない。

【００３５】そして，改修工事などに携わる工事関係者
等がクリーンルームに入ろうとする場合，その工事関係
者等は，こうして出入通路などに設置されたエアシャワ
ー装置１の出口１５からエアシャワー装置本体１０の中
に入る。

【００３６】一方，エアシャワー装置１においては，フ
ァン４１の稼働により，ケーシング４０内においてユニ
ット側排気開口部４７，４７からユニット側給気開口部
４６，４６に向かう方向に送風が開始される。ファン４
１の吐出口４１ｂから吐出された空気は，拡大板４２に
ぶつかって拡散した後，フィルタ４３の表面全体に供給
され，フィルタ４３を通過してろ過された後，ユニット
側給気開口部４６，４６に流れ込む。そして，フィルタ
４３でろ過された清浄な空気が給気開口部３０を通じて
給気チャンバ２７内に供給される。こうして給気チャン
バ２７内は陽圧となり，側面２５の内面３５に配置され
た複数のノズル３６からエアシャワー装置本体１０の内
部の全体に向かって清浄な空気が万遍なく吐出される。

【００３７】これにより，エアシャワー装置本体１０の
内部に入った工事関係者等に対し，ノズル３６から吐出
された清浄な空気が両側から吹き付けられる。こうし
て，清浄な空気の気流により人体や防塵衣等に付着した
異物が吹き飛ばされ，異物が除去される。

【００３８】また，エアシャワー装置本体１０の内部の
空気は，側面２５の内面下部に配置された排気口３７か
ら排気ダクト２８内に流れ込んで，排気される。こうし
て，エアシャワー装置本体１０内から排気された空気
は，排気ダクト２８内を流れてエアシャワー装置本体１
０の上面に形成された排気開口部３１からユニット側排
気開口部４７，４７を通じてケーシング４０内に流れ込
み，ファン４１の吸気口４１ａに吸い込まれる。こうし
てファン４１に戻された空気は，ファン４１によって送
風されることにより，フィルタ４３でろ過されて清浄な
空気となって，再びノズル３６から吐出されることとな
る。

【００３９】この実施の形態のエアシャワー装置１にあ
っては，無指向キャスター３８を利用して移動させるこ
とにより，工事関係者等の出入通路などに容易にエアシ
ャワー装置１を設置させることができ，また，クリーン
ルームの改修工事などが終了した場合は，エアシャワー
装置１を簡単に撤去することが可能である。特に，この
実施の形態のエアシャワー装置１は，エアシャワー装置
本体１０と送風ユニット１１を分割することにより，小
さく軽い状態で別々に搬送できるので，搬入や撤去がし
やすい。また，入口１５にビニールカーテン２０を取り
付けた構成とすれば，エアシャワー装置本体１０を軽量
化させることができ，移動がより楽になる。

【００４０】以上，本発明の好適な実施の形態の一例を
説明したが，本発明はここに示した形態に限定されな
い。例えば，入口１５を出口１６と同様にドアなどで閉
めるように構成しても良い。また，出口１６にビニール
カーテンを取り付けても良い。

【００４１】

【発明の効果】本発明によれば，設置や撤去を極めて容
易にできるエアシャワー装置が提供される。本発明のエ
アシャワー装置は，改修工事などに携わる工事関係者等
の出入通路などにも簡単に設置でき，また容易に撤去で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置
の斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】エアシャワー装置本体の側面の斜視図である。

【図４】送風ユニットの内部構造を示す斜視図である。

【図５】送風ユニットの平面図である。

【符号の説明】

１ エアシャワー装置 １０ エアシャワー装置本体 １１ 送風ユニット １５ 入口 １６ 出口 ２０ ビニールカーテン ２１ 錘 ２３ ドア ２６ 仕切り板 ２７ 給気チャンバ ２８ 排気ダクト ３０ 給気開口部 ３１ 排気開口部 ３６ ノズル ３７ 排気口 ３８ 無指向キャスター ４０ ケーシング ４１ ファン ４２ 拡大板 ４３ フィルタ ４６ ユニット側給気開口部 ４７ ユニット側排気開口部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B116 AA46 AB01 BB21 BB88 CD11 CD22 3L058 BF04 BF08 BG03 4D058 UA08 UA25

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動自在な箱体に人間が通過できる入口
   と出口を形成し，箱体の内部に向かって清浄な空気を吐
   出するノズルを設け，このノズルに対して空気を送風す
   るファンと，ファンによってノズルに送風される空気を
   ろ過するフィルタを備えてなり，ファン及び／又はフィ
   ルタを，箱体に対して取り外し自在に設けてなる，エア
   シャワー装置。
2. 【請求項２】 箱体を移動可能にさせる車輪を装着して
   なる，請求項１のエアシャワー装置。
3. 【請求項３】 箱体の内部から排気させる排気口を設
   け，この排気口から前記ファンに空気を戻すように構成
   してなる，請求項１又は２のエアシャワー装置。