JP2002219427A - エアシャワ装置 - Google Patents
エアシャワ装置Info
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Abstract
吹出口を効率よく除じんできる位置に配置してエアシャ
ワ効果を高めたエアシャワ装置を提供することにある。 【構成】台車用空気吹出口を前記エアシャワ室の床より
略150mmの高さに配置したエアシャワ装置。 【効果】本発明によれば台車等に除塵効率の高いエアシ
ャワ装置を得ることができる。
Description
に設置されるエアシャワ装置に係り、特に台車に対して
エアシャワ装置のエアジェット気流によるじん埃除去に
好適なエアシャワ装置に関する。
噴射する空気吹出口の配置が図14の(a),(b),
(c)に示す通り2列もしくは3列になっており、特に
3列のものは中央列の最上段の空気吹出口が両側列の最
上段の空気吹出口より低い位置に配置され、また中央列
の最下段の空気吹出口が両側列の最下段の空気吹出口よ
り高い位置に配置されている。図11は従来品エアシャ
ワ装置(公知)のエアジェットノズル3の配置を示した
ものである。
者以外に台車等で物品をクリーンルームに持ち込む際に
も使用される。この場合中央列のジェット気流吹出口が
台車の高さに対しさらに上側に配置しており上記同様、
気流の到達距離が長くなり風速低下により除じん効果が
低下する。このように従来技術のジェット気流の空気吹
出口の配置はエアシャワ室を利用する作業者や台車に対
し除じん効果において効率の良い配置とはなっておらず
配慮されていなかった。
のジェット気流の空気吹出口を効率よく除じんできる位
置に配置してエアシャワ効果を高めたエアシャワ装置を
提供することにある。
本発明は、エアシャワ室と、該エアシャワ室の少なくと
も一つの側面に設けられ前記エアシャワ室内に清浄空気
のジェット気流を噴射する空気吹出口と、前記エアシャ
ワ室下部に設けられた空気吸込口と、該空気吸込口と前
記空吹出口を連絡する通気ダクトと、前記空気吹出口に
清浄空気を供給するよう前記通気ダクト中に設置された
送風機及びフィルタを有するエアシャワ装置において、
台車用吹出口を前記エアシャワ室の床より略150mm
の高さに設置したことを特徴とするものである。
方に設けられた空気吹出口はエアシャワ室内に清浄空気
のジェット気流を噴射する。空気吸込口と空気吹出口を
連絡する通気ダクト中に設置された送風機及びフィルタ
は、エアシャワ室下部に設けられた空気吸込口からエア
シャワ室内の空気を吸い込み、この空気を浄化して空気
吹出口から清浄空気としてエアシャワ室内に供給する。
また中央列の最下段の空気吹出口を両側列の最下段の空
気吹出口より下方に配置することにより運搬台車に対し
最短距離で噴射することができる。これにより空気吹出
口を作業者及び運搬台車双方に最適な位置に配置するこ
とができエアシャワ効果を高めることができる。
する。
ワ装置の構造を示す。本実施例のエアシャワ装置は一対
の本体ケース2と、本体ケース2の上部に載置された天
井ケース7と、天井ケース7の下方で両本体ケースの間
に配置されたエアシャワ室1を有する。
の面に清浄空気のジェット気流を噴射する空気吹出口3
とその下部に設けられた空気吸込口6を有し、本体ケー
ス2の内部には空気吸込口6と空気吹出口3を連絡する
通気ダクト12と、空気吹出口3に清浄空気を供給する
よう通気ダクト12中に設けられた送風機10及びフィ
ルタ11を有する。天井ケース7は直方体状に形成さ
れ、その内部に送風機9,フィルタ8を有し、天井ケー
ス7の下面にはフィルタ8の下流側に天井部空気吹出口
27が設けられる。
る扉32を有し、エアシャワ室1内には天井面に天井部
空気吹出口27が、両側面には空気吹出口3および空気
吸込口6がそれぞれ設けられる。
の進行方向に沿って作業者1人当たり少なくとも3列設
け、1列目と3列目の最上段の空気吹出口3は作業者1
5の肩の高さ(標準身長1600〜1700mmに対し
約1300〜1400mm)に配置する。中央列(2列
目)の空気吹出口3は1列目と3列目の最上段の空気吹
出口より高い位置(本実施例では160mm高い)に配
置している。また中央列の最下段のジェット気流空気吹
出口3は1列目と3列目の最下段の空気吹出口3よりさ
らに低い位置(本実施例では160mm低い)に配置し
ている。
電源と接続するための端子箱34が設けられ、本体ケー
ス2はその一方に操作スイッチ23、24、25、プロ
グラマブルコントローラ(以下PCS)4等の制御部品
が設けられ、他方には照明灯30が設けられる。
は、空気吹き出し口3の上側に操作かバー17が設けら
れ、操作カバー17はその表面に操作スイッチ23、2
4、25と点検表示灯14が設けられる。なお、図12
に示すように非常スイッチ26を必要に応じて設けても
よい。操作カバー17の内側(本体ケース2の内部)に
は図13に示すように、電気品取付板18上に配置され
たPCS4、エアジェット作動時間切替スイッチ5、エ
アジェット駆動用コンタクタ19、送風機9、10の過
電流保護用のサーマルリレー20および端子台36が設
けられる。
15秒、20秒の3種類)は管理者が設置場所の周囲環
境や作業者15の人数、汚染状態に見合ってエアジェッ
ト作動時間切替スイッチ5により選択する。尚、切替ス
イッチ5は作業者15が容易に触れないよう操作カバー
17の内側に設けられ、切り替え操作は操作カバー17
を取外して行う。
ケースの表面にエアジェットタイマを露出させていたた
め管理者が作業者の汚染程度、クリーンルームのグレー
ドに応じてエアジェット時間を設定しても、作業者自身
がタイマを触って時間を短くするケースが多くクリーン
ルームの清浄度を維持しなければならない設備管理者に
とって問題となっていた。本実施例ではタイマを内蔵と
して作業者の視野からはずし、これにより切替スイッチ
5に一般作業者が容易に触れるのを防止するとともに、
一般的に良く使用される時間(10,15,20秒)を
スイッチ操作だけで容易に切替られるようにし、使い勝
手を向上している。
む切り替え回路部分の電気配線図とPCS4内のソフト
ウエアにより表された電気回路の実施例を図9に示す。
タクタや送風機の繰返し寿命に合わせて一定の動作回数
に達すると点検表示灯14が点灯し管理者に点検時期を
促すようにしている。
図5により説明する。エアシャワ室の天井ケース7には
送風機9,フィルタ8,天井部空気吹出口27が設けら
れる。本実施例ではフィルタ8としてHEPAフィルタ
が設けられるが、さらに高い清浄度が要求される分野で
は集じん効率の高いULPAフィルタが設けられる。一
方、清浄度をそれほど必要としない分野では効率60%
程度の中性能フィルタが用いられる。
部の空気吸込口6より吸込まれた空気が送風機9の吹出
口9aから吹き出されてフィルタ8に供給される。フィ
ルタ8により濾過された空気は清浄空気となって天井部
空気吹出口27を介してエアシャワ室1に送り込まれ
る。天井部空気吹出口27は天井面のほぼ全面にわたり
開口しているので天井部空気吹出口27より吹き出され
た清浄空気によりエアカーテンが形成され、エアシャワ
室1の清浄度が維持される。本機能は半導体工業等のス
ーパークリーンルーム分野には必要不可欠であるがバイ
オ,食品分野においては必ずしも必要とされない。
の下方に空気吸込口6がエアシャワ室1に面して設けら
れ、本体ケース2内には送風機10と、この送風機10
の吹出口に接続された加圧チャンバ12と、この加圧チ
ャンバ12に接続されたフィルタ11が設けられる。本
実施例ではフィルタ11はHEPAフィルタを用いてい
るが要求される清浄度によってはULPAフィルタや中
性能フィルタを用いてもよい。
2に空気が送り込まれ、加圧チャンバ12の圧力の高ま
りと共に、フィルタ11を通過して浄化された空気が本
体ケース2のエアシャワ室1に面した側面に設けられた
空気吹出口3からエアジェットとしてエアシャワ室1に
供給される。エアジェットは約20〜35m/秒の風速
に設定され、エアシャワ室1に入室した作業者15の衣
服(無じん服)に付着したじん埃を吹き飛ばす。エアジ
ェットとエアカーテンを併用することにより吹き飛ばさ
れたじん埃は速やかに下方に流され、エアシャワ室1内
での滞留を防止できるのでエアシャワ室1内の清浄度を
向上できる。
1に面した側面に設けられた空気吹出口3を作業者15
の肩をはさむ位置に配置している。具体的には、作業者
15の進行方向に沿って少なくとも作業者1人当たり3
列設け、さらに1列目と3段目の最上段の空気吹出口3
は作業者15の肩の高さ(約1300〜1400mm)
に配置し、中央列の最上段の空気吹出口は1列目と3列
目の最上段の空気吹出口よりも高い位置(本実施例では
160mm高い)に配置して、これら3個の空気吹出口
が作業者15の肩をはさむ位置関係に配置されている。
その結果、作業者15がエアシャワ室1の中央に立った
場合、1列目と3段目の最上段の空気吹出口3は作業者
15の肩部(作業者の毛髪やフケ等のじん埃が最も付着
しやすい部分)に対し最短距離でエアジェット気流を噴
射でき、また中央列最上段の空気吹出口3は作業者の頭
附近(肩の上側)に対し最短距離でエアジェット気流を
噴射できるので、肩を中心として強い気流を供給するこ
とができる。
吹出口は1列目と3列目の最下段の空気吹出口より低い
位置に配置させている。これにより中央列の最下部に設
けた空気吹出口3は、特に台車等で荷物を運搬したりす
る場合に、この台車に対し最短距離でエアジェット気流
を噴射でき台車上に蓄積したじん埃を効果的に除去でき
る。(図4(a),(b)参照) エアジェット気流によりエアシャワ室1内に生じる乱流
のうずにより作業者に付着したじん埃が吹き落とされ
る。従ってこのうずの位置がエアシャワ室内の作業者に
対しどのような位置になるかがエアシャワの性能を左右
する。この性能確認のため、図5(a),(b)に示す
ように、従来技術(中央列の空気吹出口3が3段でその
最上段の空気吹出口が両側列の最上段の空気吹出口より
低い位置で作業者の肩部より下側に配置された場合)と
本実施例(中央列の空気吹出口3が4段でその最上段の
空気吹出口が両側列の最上段の空気吹出口より高い位置
で作業者の肩部より上側に配置された場合)の気流解析
を行った結果の比較をそれぞれ図6(a)、(b)に示
す。なお、図6(a)、(b)いずれもエアシャワ室の
中心線より左側の半分を示す。
(a)に示すように、うずが作業者の肩部より低い所で
うず巻いており、これに対し本実施例の場合は図6
(b)に示すように、作業者の肩附近でうず巻いている
ことが明らかになった。これは最上段のエアジェット気
流の効果によるものである。またエアシャワ室1の下部
付近のうず巻き状態においても従来技術のものより下方
側にうず巻きが見られ、低い場所での除じん効果も高め
ることができる。
作業者に対しても台車等に対してもエアジェットによる
除じん効果を高めることができる。
る問題はエアシャワ装置の不慮の故障である。エアシャ
ワ装置はクリーンルームの出入口に設置されクリーンル
ーム入室者に付着したじん埃を入室第1段階で除去しク
リーンルーム内へ持ち込まないようにするものでクリー
ンルームの玄関に当たり重要な装置の1つである。従っ
て設備管理者はエアシャワ装置の故障に対しては最も懸
念をいだいているのが現状である。しかしながら現実に
はある日突然、エアジェットが作動しなくなる等の故障
が生じる場合がある。この殆どの原因はファンを駆動し
ているコンタクタ等の電気的寿命に起因している。
出力50にコンタクタ19(図7中ではMCと表示)が
接続され、PCS4はコンタクタ19の動作回数を図8
に示すようにカウンタで計数して記録し、電気的寿命
(例えば50万回)に達したらその信号を出力51に出
力し、これに接続された点検表示ランプ14(図7中で
はPLと表示)を点灯させてエアシャワ室内に寿命を表
示するようにしている。
が、例えばブザー他、管理者に点検の必要を知らせる手
段であればよい。本実施例によれば、設備管理者に点検
を促すことができるので設備管理者が予め点検日を休日
等、エアシャワを使用していない日に設定でき部品の交
換等を実施することができ、エアシャワ装置の不慮の故
障をなくすことができる。
においては、図8のフローチャートに示すように、上記
点検を行うたびに他のカウンタを用いて積算させており
何回点検したかを自動的に記録させているので例えば1
00万回寿命の部品についても前者カウンタと後者カウ
ンタの積算によりわかるようにしている。これにより例
えば将来、移設等で設備管理者が変わったとしても後任
者が容易にエアシャワ装置の使用回数が判るよう配慮し
ている。
明の一実施例の変形例でエアシャワ室の出入口に折戸式
ドア22を設けたものである。折戸式ドア22は左右各
2枚の折戸からなる4枚折戸であり、入り口上部に設け
られたセンサ40が入室者を検出するとPCS4がエア
シャワ室1内の入室者の有無などを判断してドアエンジ
ン21を制御することによりその開閉が制御される。折
戸式ドアの場合、開戸式ドアに比べ、開閉時の圧力変動
が少なく開扉時にエアシャワ室内の空気の流出を防止で
きてクリーンルーム内を汚染しないとともに、ドアが閉
鎖する直前にエアシャワ室1内の動圧が高まることがな
いのでクリーンルーム内の陽圧に押されてドアが全閉し
ないという開戸式ドアの問題を解決でき、クリーンルー
ム用には適する。なお、44は製品の組立て時、または
据付け場所への搬入時等にクレーンで吊り揚げるときに
用いる吊り下げ用のアイボルトである。
に対しても物品運搬時の台車に対してもじん埃除去効果
を高めることができるとともに、エアジェット作動時間
切替スイッチの内蔵化や点検表示手段の装備により設備
管理者の使い勝手性や保守性を向上できるエアシャワ装
置を得ることができる。
ジェット気流用の空気吹出口を床より略150mmの高
さに配置したので台車等の付着じん埃除去効果の高いエ
アシャワ装置を得ることができる。
成を示す図で、同図(a)は一部を断面とした正面図、
同図(b)は側断面図である。
成を示す図で、同図(a)は正面断面図、同図(b)は
側面図である。
業者が入室した状態を示す図で、同図(a)は正面断面
図、同図(b)は側断面図である。
車が入室した状態を示す図で、同図(a)は正面断面
図、同図(b)は側断面図である。
アジェットノズルの配置を示す図で、同図(a)は平面
断面図,同図(b)は側断面図である。
析図で、同図(a)は従来技術のエアシャワ装置の解析
図,同図(b)本発明の一実施例におけるエアシャワ装
置の解析図である。
気配線図である。
検表示手段のフローチャートである。
アジェット時間切替手段の電気配線図である。
変形例を示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)は
側断面図である。
変形例の外観を示す正面図である。
操作カバー部の正面図である。
電気品取付板への操作回路の実装を示す正面図である。
の配置を示す側断面図で、同図(a)はノズルが中央3
個両側4個のもの、同図(b)はノズルが両側3個のも
の、同図(c)はノズルが中央2個両側3個のものであ
る。
ノズル、4:PCS、5:エアジェット時間切替スイッ
チ、6:下部空気吹込口、7:天井ケース、8,11:
フィルタ、9,10:送風機、12:加圧チャンバ、1
3:光電管スイッチ、14:点検表示灯、15:入室
者、16:荷物台車、17:操作カバー、18:電気品
取付板、19:コンタクタ、20:サーマルリレー、2
1:ドアエンジン、22:折戸式ドア、23〜25:運
転スイッチ、26:非常スイッチ
Claims (1)
- 【請求項1】エアシャワ室と、該エアシャワ室の少なく
とも一つの側面に設けられ前記エアシャワ室内に清浄空
気のジェット気流を噴射する空気吹出口と、前記エアシ
ャワ室下部に設けられた空気吸込口と、該空気吸込口と
前記空吹出口を連絡する通気ダクトと、前記空気吹出口
に清浄空気を供給するよう前記通気ダクト中に設置され
た送風機及びフィルタを有するエアシャワ装置におい
て、台車用空気吹出口を前記エアシャワ室の床より略1
50mmの高さに設置したことを特徴とするエアシャワ
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001335964A JP2002219427A (ja) | 2001-11-01 | 2001-11-01 | エアシャワ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001335964A JP2002219427A (ja) | 2001-11-01 | 2001-11-01 | エアシャワ装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03506493A Division JP3301143B2 (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | エアシャワ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002219427A true JP2002219427A (ja) | 2002-08-06 |
Family
ID=19150878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001335964A Pending JP2002219427A (ja) | 2001-11-01 | 2001-11-01 | エアシャワ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002219427A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007007504A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Sekisui House Ltd | 花粉除去装置 |
JP2010276213A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワ装置 |
-
2001
- 2001-11-01 JP JP2001335964A patent/JP2002219427A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007007504A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Sekisui House Ltd | 花粉除去装置 |
JP2010276213A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワ装置 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040226 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041005 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041203 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050125 |