JP3987906B2 - エアーシャワー装置及びクリーンルーム - Google Patents

Description

本発明はエアーシャワー装置に係り、特に半導体製造工場等におけるクリーンルームの入出口に設置されるエアーシャワー装置に関する。

半導体や電子部品等の微細構造部品を生産する製造装置は、清浄な雰囲気に維持されるクリーンルームに設置される。クリーンルーム内の空気の清浄度を維持するために、クリーンルームの入出口にはエアーシャワー装置が設けられる。エアーシャワー装置は、クリーンルームに入る作業者の衣服等に付着した塵埃等を空気の吹き出し（エアーシャワー）により除去するために設けられる。

図１は従来の一般的なエアーシャワー装置１００の正面図であり、図２はエアーシャワー装置１００の側面図である。また、図３はエアーシャワー装置１００を上方から見た平面図である。

エアーシャワー装置１００内には、プレフィルタ１０１と、ターボファン１０２と、ＨＥＰＡフィルタ等の高性能集塵フィルタ１０３と、エアー吹き出し口１０４と、入退室用ドア８５ａ、１０５ｂを備えている。また、エアーシャワー装置１００内には、作業者が入ってエアーシャワーを浴びるエアーシャワー室１０６が形成されている。

エアーシャワー装置１００は、例えば、半導体製造装置が設置されたクリーンルームの入り口に設置される。作業者がクリーンルームに入る際は、作業者が着ている防塵服等に付着している塵埃を落とすために、まずドア８５ａを通ってエアーシャワー室１０６に入室する。そして、塵埃を落とした後に、ドア８５ｂからクリーンルームへと入る。

入退室用ドア８５ａ、１０５ｂは一般に自動ドアとなっている。したがって、クリーンルームに入室する作業者がドア８５ａの前に立つと、ドア８５ａの近傍に設置されている赤外線センサ等が作業者を検知し、ドア８５ａが自動的に開くようになっている。そして、作業者がエアーシャワー室１０６に入って一定時間が経過すると、ドア８５ａは自動的に閉じられる。

作業者がエアーシャワー室１０６に入ると、ターボファン１０２が作動して、プレフィルタ１０１を通過した空気が、ターボファン１０２によって加圧され、高性能集塵フィルタ１０３を通過して、エアー吹き出し口１０４から高速の清浄な空気となって吹き出す。

エアー吹き出し口１０４から吹き出した高速の清浄な空気は、作業者の防塵服等に当たって防塵服に付着した塵埃が空気の勢いにより飛ばされる。空気は再びプレフィルタ１０１に吸い込まれて循環する。一定時間空気が循環して防塵服に付着した塵埃が除去されると、ターボファン１０２が停止し、ドア８５ｂが自動的に開かれる。したがって、作業者はドア８５ｂを通ってクリーンルームに入室することができる。

一般的に、上述の従来のエアーシャワー装置１００は、クリーンルームの入出口に建物の一部として固定して設置される。すなわち、エアーシャワー装置１００の外壁はクリーンルームを形成する建物の壁面部材やパーティションと同じ部材、例えば鉄板により形成され、クリーンルームの建物の一部として作られる。

近年、半導体製造装置が設置されるクリーンルームの方式として、スルーザウォール（Through the Wall）方式が多く採用されている。図４はスルーザウォール（Through the Wall）方式を採用したクリーンルーム１１０にエアーシャワー装置１００を設置した場合の構成を示す平面図である。クリーンルーム１１０は縦長に作られ、両側に複数の半導体製造装置１１５ａ〜１１５ｈが設置されている。各半導体製造装置１１５ａ〜１１５ｈは筐体内に収容されており、筐体の一面が開放されてクリーンルーム１１０の壁面に取り付けられている。したがって、クリーンルーム１１０側から各半導体製造装置１１５ａ〜１１５ｈを操作することができる。

クリーンルーム１１０の外側は機械室１１６となっており、半導体製造装置を設置する場合、あるいは各半導体製造装置１１５ａ〜１１５ｈを保守点検する場合に、作業者は機械室１１６に入って作業を行う。

半導体ウェハ等の非処理体や半導体製造装置１１５ａ〜１１５に直接接触するクリーンルーム１１０内の空気は、非常に高い清浄度（例えばクラス１程度）に維持される。一方、機械室１１６の空気は、被処理体や半導体製造装置１１５ａ〜１１５ｈの内部に直接接触することはないので、機械室１１６内の空気の清浄度は、クリーンルーム１１０内の空気より低い清浄度（例えばクラス５００〜クラス１０００程度）に維持される。また、クリーンルーム１１０内は、機械室１１６より僅かに高い圧力（陽圧）に維持されており、機械室１１６の空気がクリーンルーム１１０に入り込まないようになっている。

上述のような構成のクリーンルーム１１０において、クリーンルーム１１０内の空気を汚染しないように、作業者がクリーンルーム１１０に入る際は、必ずエアーシャワー装置１００を通って入室する必要がある。

なお、図４に示すクリーンルームの構成において、機械室１１６及びエアーシャワー装置１００が設置される領域も、広い意味ではクリーンルーム内であるということができる。この場合、クリーンルーム１１０は、清浄度の高い空間に相当し、シャワールーム装置１００は、清浄度の高い空間と清浄度の低い空間との間に設けられることとなる。
特開平９−４１７４９号公報 特開平８−１１００７４号公報 特開平８−２７００７３号公報 特開昭５９−１１２１４２号公報 特開平７−２９３９５６号公報

図４に示すクリーンルーム１１０に新たに半導体製造装置を設置する場合、あるいは半導体製造装置１１５ａ〜１１５ｈを保守点検する場合、作業者は機械室１１６とクリーンルーム１１０との間を往復することがある。すなわち、クリーンルーム１１０から機械室１１６へと移動し、また機械室１１６からクリーンルームへと移動することを何度も繰り返さなければならない場合がある。このような場合、作業者はクリーンルームへの入退室ごとにエアーシャワー装置１００を通らなければならない。したがって、例えば保守点検作業が行われている半導体製造装置１１５ａ〜１１５ｈとエアーシャワー装置１００とが離れている場合には、作業者の移動に時間がかかり、保守点検作業等が非効率的となる。

ここで、図４に示すように、クリーンルーム１１０には、機械室１１６に直接通じるドア１１７，１１８が設けられることがある。ドア１１７，１１８は、保守点検時あるいは非常時に作業者が迅速に機械室１１６に出ることができるように設けられるものであり、作業者一人が通ることができる程度の大きさである。このドアを利用して保守点検時にクリーンルーム１１０から機械室１１６に出ることはできる。すなわち、クリーンルーム１１０内は、機械室よりも圧力が高めに設定されているので、ドア１１７，１１８を開けたとしても、機械室１１６の空気はクリーンルーム１１０には入らない。そして、作業者はクリーンルーム１１０から機械室１１６へと出て行くだけなので、クリーンルーム１１０内の空気が汚染されることはない。

ところが、作業者が機械室１１６からドア１１７，１１８を通ってクリーンルーム１１０に入ることは、クリーンルーム１１０内の空気を汚染することとなる。すなわち、機械室１１６内の空気はクリーンルーム内の空気より清浄度が低く、作業者の防塵服等にはある程度の塵埃が付着している。したがって、作業者がドア１１７，１１８を通って直接クリーンルーム内に入ると、防塵服に付着した塵埃をクリーンルーム１１０内に持ち込むこととなり、クリーンルーム１１０内の空気がこの塵埃により汚染されてしまう。

したがって、作業者がドア１１７，１１８を通って機械室１１６に出たとしても、クリーンルーム１１０に戻るときには、やはりエアーシャワー装置１００を通る必要がある。

そこで、エアーシャワー装置１００をクリーンルーム１１０の外側の数箇所に設けることが考えられるが、この場合、クリーンルーム１１０の周囲に配置される半導体製造装置の設置場所の一部にエアーシャワー装置１００を設置することとなり、一つのクリーンルーム１１０に対して設置できる半導体製造装置の数が減少してしまう。これにより、一つのクリーンルーム内で行うべき処理工程で必要な半導体製造装置を設置できなくなるおそれがある。また、エアーシャワー装置１００のコストがクリーンルームの建設費用に加算されるため、クリーンルームの建設費用が上昇してしまう。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、クリーンルームの壁面等に簡単に取り付けることができる小型で簡単な構造のシャワールーム装置を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明によれば、クリーンルームに取り付けられるエアーシャワー室と、該エアーシャワー室に清浄な空気を吹き出しながら前記エアーシャワー室内の空気を循環させるエアーシャワー発生機構と、前記エアーシャワー室と外部との間に設けられた開閉可能な第１の入出口と、該入出口が設けられた面以外の面に設けられ、前記エアーシャワー室と連通して外部に開放された第２の入出口とを有するエアーシャワー装置であって、
前記クリーンルームとは別個の移動可能な構造体であり、
前記エアーシャワー室は、骨組み構造体に取り付けられた壁面部材により画成され、前記第１の入出口は前記壁面部材に形成された開閉ドアであり、前記第２の入出口は前記壁面部材が設けられない面であり、
前記エアーシャワー発生機構は、
前記エアーシャワー室の空気を吸い込んで、加圧して送り出す送風機と、
該送風機の吸い込み側に設けられた塵埃除去用プレフィルタと、
前記送風機の吹き出し側に設けられた高性能塵埃除去フィルタと、
前記エアーシャワー室に向けて空気を吹き出すノズルと、
前記高性能塵埃除去フィルタを通過した空気を前記ノズルに導く空気通路と
を含み、
前記骨組み構造体はパイプ材により構成され、前記空気通路は前記骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成され、
前記パイプ材に前記塵埃除去用プレフィルタが設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置が提供される。

また、本発明によれば、所定の高い清浄度に維持される第１の空間と、該第１の空間より低い清浄度に維持される第２の空間と、前記第１の空間と前記第２の空間との間に設けられた開閉ドアと、前記第２の空間内において前記開閉ドアに対して設置された上述のエアーシャワー装置とを有することを特徴とするクリーンルームが提供される。

上述の本発明によれば、骨組み構造体のパイプ材の中に塵埃除去用プレフィルタが設けられるため、塵埃除去用プレフィルタを設けるための空間を特別に確保する必要はなく、エアーシャワー装置を小型且つ簡単な構造とすることができる。

次に、本発明の実施の形態について、図５乃至図８を参照しながら説明する。

図５は本発明の一実施の形態によるエアーシャワー装置１０の正面図であり、図６はエアーシャワー装置１０の側面図である。また、図７はエアーシャワー装置１０を上から見た平面図である。さらに、図８は、スルーザウォール方式を採用したクリーンルームにエアーシャワー装置１０を設置した場合の構成を示す平面図である。

本発明の一実施の形態によるエアーシャワー装置１０は、骨組み構造体１１と壁面部材１１Ａとにより構成された簡単な構造の箱型の構造体として形成され、内部にエアーシャワー室１７が形成される。エアーシャワー装置１０には、高性能塵埃除去フィルタとしてのＨＥＰＡフィルタ１２と、送風機１３と、塵埃除去用プレフィルタ１５とよりなるエアーシャワー発生機構が設けられ、エアーシャワー室１７においてエアーシャワーを発生することができる。また、エアーシャワー装置１０の前面の外壁には、ドア１８が設けられ、ドア１８の近傍に操作スイッチ１６と動作表示灯１９とが設けられる。

本実施の形態によるエアーシャワー装置１０は、小型化され簡素化された構造を有しているが、エアーシャワー発生機構の送風機１３、ＨＥＰＡフィルタ１２等は、従来のエアーシャワー装置と同等な性能を有するものを用いるため、エアーシャワーによる清浄化性能は、従来のエアーシャワー装置と同等な性能を有する。

ここで、図８に示すように、エアーシャワー装置１０が、クリーンルーム１１０のドア１１７又は１１８の外側に設置された場合について説明する。なお、エアーシャワー装置１０のドア１８が設けられた面の反対側の面は、開放されており、エアーシャワー装置１０は、この開放された面がクリーンルーム１１０のドア１１７又は１１８に配置されるように設置される。

機械室１１６内の作業者は、通常のエアーシャワー装置１００を通らずに、エアーシャワー装置１０を通ってクリーンルーム１１０に入ることができる。エアーシャワー装置１０のエアーシャワー室７に入る際、作業者は、まず前面のドア１８の近傍に配置された操作スイッチ１６を操作する。これにより、エアーシャワー発生機構がスタンバイ状態（待機状態）となる。そして、作業者はドア１８を手動で開けて、エアーシャワー室１７に入る。作業者がドア１８を閉めると、送風機１３が作動を開始する。このとき、動作表示灯１６が点灯して、エアーシャワー装置１０が運転中であることを表示する。

送風機１３が作動すると、エアーシャワー室１７の空気は、プレフィルタ１５を通過して送風機１３に吸い込まれ、送風機１３で加圧された後、ＨＥＰＡフィルタ１２に供給される。ＨＥＰＡフィルタ１２を通過して清浄化された空気は、骨組み構造体１１の一部により形成された空気吹き出し部１４に導入され、空気吹き出し部１４に設けられた複数のノズル１４ａからエアーシャワー室１７に向けて吹き出される。したがって、ノズル１４ａからエアーシャワー室１７に向けて吹き出された清浄化された空気により、作業者の防塵服等に付着した塵埃は除去される。ノズル１４から吹き出された空気は、再びプレフィルタ１５を通過して送風機１３に吸い込まれ、ＨＥＰＡフィルタを通過して清浄化されてノズルから吹き出される。このように、エアーシャワー室に吹き出される空気はプレフィルタ１５とＨＥＰＡフィルタ１２とに清浄化されながら循環するので、外部から清浄な空気を供給する必要はない。

送風機１３は一定時間（例えば２０秒）作動した後、自動的に停止する。送風機１３が停止して、エアーシャワーが停止した後、作業者はドア１８の反対側にあるクリーンルーム１１０のドア１１７又は１１８を開いて、クリーンルーム１１０に入ることができる。この際、クリーンルーム１１７又は１１８をエアーシャワー装置１０側（すなわち機械室１１６側）から開いても、クリーンルーム１１０は機械室１１６に対して陽圧となっているので、エアーシャワー室１７内の空気（機械室１１６の空気）がクリーンルーム１１０に入ることはない。また、作業者の防塵服等はエアーシャワー装置１０によるエアーシャワーにより清浄化されているので、作業者がクリーンルーム１１０に入ってもクリーンルーム１１０の空気を汚染することはない。

クリーンルーム１１０内の作業者が機械室１１６に出る際は、作業者は、ドア１１７又は１１８を開けてエアーシャワー装置１０内に入り、ドア１１７又は１１８を閉めた後、エアーシャワー装置１０のドア１８を開けて機械室１１６に出る。この時、清浄度の高いクリーンルーム１１０から清浄度の低い機械室１１６へと出るだけなのでエアーシャワーを浴びる必要はなく、したがって、送風機３を作動させる必要はない。また、クリーンルーム１１７又は１１８を開いても、クリーンルーム１１０はエアーシャワー装置１０（機械室１１６）に対して陽圧となっているので、エアーシャワー室１７内の空気がクリーンルーム１１０に入ることはない。

上述のように、エアーシャワー装置１０は、骨組み構造体１１と壁面部材１１Ａとにより構成された簡単な構造の箱型の構造体として形成されている。また、プレフィルタ１５はパイプ部材よりなる骨組み構造体１１の中に配置されるため、特別にプレフィルタ５を設置する部分を設ける必要はない。さらに、空気吹き出し部１４も、パイプ部材よりなる骨組み構造体１１の一部を利用して設けられているので、特別に空気通路及び空気吹き出し用ノズルを設けるための部材を配置する必要はない。

骨組み構造体１１としては、軽量化のために例えばアルミ製の角パイプを使用することが好ましいが、角パイプに限らず丸パイプでもよい。また、上述の実施の形態では、骨組み構造体１１をパイプ材により構成することにより、吹き出し空気の通路とノズルとをパイプ材を利用して形成することとしているが、吹き出し空気の通路とノズルとを独立した部材により形成することとしてもよい。この場合、骨組み構造体１１にパイプ材を用いる必要なく、チャンネル型部材、Ｌ型、Ｈ型部材等を用いることができる。

また、空気吹き出し用ノズルの位置は、骨組み構造体１１の位置に限定されることはなく、空気吹き出し用ノズルを形成する部材を別個に設けた場合は、エアーシャワー室１７内の任意の位置に配置することができる。

上述のように、エアーシャワー装置１０は非常に簡素化され、小型軽量化された構造であるため、簡単に移動が可能である。従って、クリーンルームを建設した後に、エアーシャワー装置１０を任意の場所に設置することができる。エアーシャワー装置１０の移動をさらに容易にするために、エアーシャワー装置１０の底部にキャスタ２０を設けることとしてもよい。

エアーシャワー装置１０は、例えば図８に示すようにクリーンルーム１１０のドア１１８及び１１９の両方に常設してもよく、また、移動が容易なことから、使用するドアの場所に必要なときに移動して設置することとしてもよい。エアーシャワー装置１０を設置する際には、電力供給ラインを接続するだけであり、電力供給ラインを接続離脱可能なコネクタとしておけば、電力供給ラインの接続も容易となる。

また、骨組み構造体１１に対して取り付けられる壁面部材１１Ａは、鋼板やアルミ板等が用いられるが、これに限ることなく、骨組み構造体１１だけで十分な強度を有するものであれば、例えば厚手のビニールシート等を張り付けることとしてもよい。この場合、図６の符号２１で示すように、ビニールシートにファスナを設けることにより、エアーシャワー装置１０を開閉することができる。

以上のように、本実施の形態によるエアーシャワー装置１０は、クリーンルームの外側の任意の位置に配置することができるため、クリーンルームの既設のドアの部分に設置することにより、作業者はどのドアからでも自由にクリーンルームに出入りすることが可能となり、クリーンルームに設置された半導体製造装置の保守点検作業等を効率的に行うことができる。

また、本実施の形態によるエアーシャワー装置１０は小型であるので、クリーンルームの既存のドアとほぼ同等な幅とすることができ、半導体製造装置を設置する場所を占有することはない。したがって、エアーシャワー装置１０を設置しても、設置する前と同じ数の半導体製造装置をクリーンルームに設置することができる。

さらに、エアーシャワー装置１０は簡素化された構造であり、従来の据え付け型のエアーシャワー装置に比べて製造コストが低いため、複数のエアーシャワー装置をクリーンルームに設置しても、クリーンルーム全体の建設コストを著しく増大することはない。

なお、図８に示すクリーンルームの構成において、機械室１１６及び既存のエアーシャワー装置１００が設置される領域も、広い意味ではクリーンルーム内であるということができる。この場合、クリーンルーム１１０は、清浄度の高い空間に相当し、機械室１１６は清浄度の低い空間に相当する。そして、本実施の形態によるシャワールーム装置１０は、清浄度の低い空間において清浄度の高い空間との間のドアに対して設けられることとなる。

以上のように、本明細書は以下の発明を開示する。
（付記１）
エアーシャワー室と、
該エアーシャワー室に清浄な空気を吹き出すエアーシャワー発生機構と、
前記エアーシャワー室と外部との間に設けられた開閉可能な第１の入出口と、
該入出口が設けられた面以外の面に設けられ、前記エアーシャワー室と連通して外部に開放された第２の入出口と
を有するエアーシャワー装置であって、
設置される建屋とは別個の移動可能な構造体であることを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記２）
付記１記載のエアーシャワー装置であって、
前記エアーシャワー室は、骨組み構造体に取り付けられた壁面部材により画成され、前記第１の入出口は前記壁面部材に形成された開閉ドアであり、前記第２の入出口は前記壁面部材が設けられない面であることを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記３）
付記２記載のエアーシャワー装置であって、
前記エアーシャワー発生機構は、
前記エアーシャワー室の空気を吸い込んで、加圧して送り出す送風機と、
該送風機の吸い込み側に設けられた塵埃除去用プレフィルタと、
前記送風機の吹き出し側に設けられた高性能塵埃除去フィルタと、
前記エアーシャワー室に向けて空気を吹き出すノズルと、
前記高性能塵埃除去フィルタを通過した空気を前記ノズルに導く空気通路と
を含むことを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記４）
付記３記載のエアーシャワー装置であって、
前記骨組み構造体はパイプ材により構成され、前記空気通路は前記骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成されることを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記５）
付記４記載のエアーシャワー装置であって、
前記ノズルは前記骨組み構造体の一部であるパイプ材に形成されたことを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記６）
付記３乃至５のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
前記塵埃除去用プレフィルタは、前記骨組み構造体の一部であるパイプ材の中に配置されたことを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記７）
付記３乃至６のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
底部にキャスタが設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記８）
付記３乃至７のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
前記送風機の運転を開始するための操作スイッチが、前記第１の入出口の近傍に設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記９）
付記３乃至８のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
前記送風機の運転状態を表示するための表示灯が、前記第１の入出口の近傍に設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。
（付記１０）
所定の高い清浄度に維持される第１の空間と、
該第１の空間より低い清浄度に維持される第２の空間と、
前記第１の空間と前記第２の空間との間に設けられた開閉ドアと、
前記第２の空間内において前記開閉ドアに対して設置された、付記１乃至９記載のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置と
を有することを特徴とするクリーンルーム。
上述の発明によれば、次に述べる種々の効果を実現することができる。

付記１記載の発明によれば、エアーシャワー装置は建屋に作り付けで固定して設置されるものではなく、移動可能な構造体として形成される。したがって、建屋に既設の開閉ドアに対してエアーシャワー装置を容易に設置することができる。

付記２記載の発明によれば、エアーシャワー装置は簡単な構造であり、容易に移動して既存の開閉ドアに対して設置することができる。

付記３記載の発明によれば、エアーシャワー室の空気をフィルタを通過させて清浄化しながら循環してエアーシャワー室に吹き出すことができるため、外部から清浄な空気を供給する必要がなく、送風機に電力を供給するだけでエアーシャワーを発生することができる。

付記４記載の発明によれば、空気通路を骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成することで、空気通路を別個に設ける必要がなくなり、エアーシャワー装置の構造をより簡素化することができる。

付記５記載の発明によれば、ノズルを骨組み構造体の一部であるパイプ材に形成することで、ノズルを形成する部材を別個に設ける必要がなくなり、エアーシャワー装置の構造をより簡素化することができる。

付記６記載の発明によれば、塵埃除去用プレフィルタを骨組み構造体の一部であるパイプ材内に配置することで、プレフィルタを配置するための部材を別個に設ける必要がなくなり、エアーシャワー装置の構造をより簡素化することができる。

付記７記載の発明によれば、キャスタによりエアーシャワー装置を容易に任意の位置に移動することができる。

付記８記載の発明によれば、作業者がエアーシャワー装置に入る際に、操作スイッチを操作して送風機をスタンバイ状態として、エアーシャワー室に入ることができる。

付記９記載の発明によれば、エアーシャワー装置が運転中であるか否かを外部から容易に認識することができる。

付記１０記載の発明によれば、第１の空間と第２の空間との間に設けられた既設のドアに対してエアーシャワー装置を容易に設置することができ、作業者は第２の空間からエアーシャワー装置が設置された既設のドアを通って第１の空間に入ることができる。これにより保守点検作業等を効率的に行うことができる。

従来の一般的なエアーシャワー装置の正面図である。 図１に示すエアーシャワー装置の側面図である。 図１に示すエアーシャワー装置を上方から見た平面図である。 スルーザウォール方式を採用したクリーンルームに図１に示すエアーシャワー装置を設置した場合の構成を示す平面図である。 本発明の一実施の形態によるエアーシャワー装置の正面図である。 図５に示すエアーシャワー装置の側面図である。 図５に示すエアーシャワー装置を上から見た平面図である。 スルーザウォール方式を採用したクリーンルームに本発明によるエアーシャワー装置を設置した場合の構成を示す平面図である。

符号の説明

１０ エアーシャワー装置
１１ 骨組み構造体
１１Ａ 壁面
１２ ＨＥＰＡフィルタ
１３ 送風機
１４ 空気吹き出し部
１４ａ ノズル
１５ プレフィルタ
１６ 操作スイッチ
１７ エアーシャワー空間
１８ ドア
１９ 動作表示灯
２０ キャスタ
２１ ファスナ
１１０ クリーンルーム
１１５ａ〜１１５ｈ 半導体製造装置
１１６ 機械室
１１７，１１８ ドア

Claims (2)

1. クリーンルームに取り付けられるエアーシャワー室と、
   該エアーシャワー室に清浄な空気を吹き出しながら前記エアーシャワー室内の空気を循環させるエアーシャワー発生機構と、
   前記エアーシャワー室と外部との間に設けられた開閉可能な第１の入出口と、
   該入出口が設けられた面以外の面に設けられ、前記エアーシャワー室と連通して外部に開放された第２の入出口と
   を有するエアーシャワー装置であって、
   前記クリーンルームとは別個の移動可能な構造体であり、
   前記エアーシャワー室は、骨組み構造体に取り付けられた壁面部材により画成され、前記第１の入出口は前記壁面部材に形成された開閉ドアであり、前記第２の入出口は前記壁面部材が設けられない面であり、
   前記エアーシャワー発生機構は、
   前記エアーシャワー室の空気を吸い込んで、加圧して送り出す送風機と、
   該送風機の吸い込み側に設けられた塵埃除去用プレフィルタと、
   前記送風機の吹き出し側に設けられた高性能塵埃除去フィルタと、
   前記エアーシャワー室に向けて空気を吹き出すノズルと、
   前記高性能塵埃除去フィルタを通過した空気を前記ノズルに導く空気通路と
   を含み、
   前記骨組み構造体はパイプ材により構成され、前記空気通路は前記骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成され、
   前記パイプ材に前記塵埃除去用プレフィルタが設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。
2. 所定の高い清浄度に維持される第１の空間と、
   該第１の空間より低い清浄度に維持される第２の空間と、
   前記第１の空間と前記第２の空間との間に設けられた開閉ドアと、
   前記第２の空間内において前記開閉ドアに対して設置された、請求項１記載のエアーシャワー装置と
   を有することを特徴とするクリーンルーム。

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