JP2007139420A - エアーシャワー装置及びクリーンルーム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エアーシャワー装置10は、クリーンルームとは別個の移動可能な構造体であり、骨組み構造体11に取り付けられた壁面部材によりエアーシャワー空間17が画成される。第1の入出口は壁面部材に形成された開閉ドアであり、第2の入出口は壁面部材が設けられない面である。骨組み構造体11はパイプ材により構成され、空気通路は骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成される。パイプ材に塵埃除去用プレフィルタ15が設けられる。
【選択図】図6
Description
前記クリーンルームとは別個の移動可能な構造体であり、
前記エアーシャワー室は、骨組み構造体に取り付けられた壁面部材により画成され、前記第1の入出口は前記壁面部材に形成された開閉ドアであり、前記第2の入出口は前記壁面部材が設けられない面であり、
前記エアーシャワー発生機構は、
前記エアーシャワー室の空気を吸い込んで、加圧して送り出す送風機と、
該送風機の吸い込み側に設けられた塵埃除去用プレフィルタと、
前記送風機の吹き出し側に設けられた高性能塵埃除去フィルタと、
前記エアーシャワー室に向けて空気を吹き出すノズルと、
前記高性能塵埃除去フィルタを通過した空気を前記ノズルに導く空気通路と
を含み、
前記骨組み構造体はパイプ材により構成され、前記空気通路は前記骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成され、
前記パイプ材に前記塵埃除去用プレフィルタが設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置が提供される。
(付記1)
エアーシャワー室と、
該エアーシャワー室に清浄な空気を吹き出すエアーシャワー発生機構と、
前記エアーシャワー室と外部との間に設けられた開閉可能な第1の入出口と、
該入出口が設けられた面以外の面に設けられ、前記エアーシャワー室と連通して外部に開放された第2の入出口と
を有するエアーシャワー装置であって、
設置される建屋とは別個の移動可能な構造体であることを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記2)
付記1記載のエアーシャワー装置であって、
前記エアーシャワー室は、骨組み構造体に取り付けられた壁面部材により画成され、前記第1の入出口は前記壁面部材に形成された開閉ドアであり、前記第2の入出口は前記壁面部材が設けられない面であることを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記3)
付記2記載のエアーシャワー装置であって、
前記エアーシャワー発生機構は、
前記エアーシャワー室の空気を吸い込んで、加圧して送り出す送風機と、
該送風機の吸い込み側に設けられた塵埃除去用プレフィルタと、
前記送風機の吹き出し側に設けられた高性能塵埃除去フィルタと、
前記エアーシャワー室に向けて空気を吹き出すノズルと、
前記高性能塵埃除去フィルタを通過した空気を前記ノズルに導く空気通路と
を含むことを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記4)
付記3記載のエアーシャワー装置であって、
前記骨組み構造体はパイプ材により構成され、前記空気通路は前記骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成されることを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記5)
付記4記載のエアーシャワー装置であって、
前記ノズルは前記骨組み構造体の一部であるパイプ材に形成されたことを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記6)
付記3乃至5のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
前記塵埃除去用プレフィルタは、前記骨組み構造体の一部であるパイプ材の中に配置されたことを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記7)
付記3乃至6のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
底部にキャスタが設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記8)
付記3乃至7のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
前記送風機の運転を開始するための操作スイッチが、前記第1の入出口の近傍に設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記9)
付記3乃至8のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置であって、
前記送風機の運転状態を表示するための表示灯が、前記第1の入出口の近傍に設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。
(付記10)
所定の高い清浄度に維持される第1の空間と、
該第1の空間より低い清浄度に維持される第2の空間と、
前記第1の空間と前記第2の空間との間に設けられた開閉ドアと、
前記第2の空間内において前記開閉ドアに対して設置された、付記1乃至9記載のうちいずれか一項記載のエアーシャワー装置と
を有することを特徴とするクリーンルーム。
上述の発明によれば、次に述べる種々の効果を実現することができる。
11 骨組み構造体
11A 壁面
12 HEPAフィルタ
13 送風機
14 空気吹き出し部
14a ノズル
15 プレフィルタ
16 操作スイッチ
17 エアーシャワー空間
18 ドア
19 動作表示灯
20 キャスタ
21 ファスナ
110 クリーンルーム
115a〜115h 半導体製造装置
116 機械室
117,118 ドア
Claims (2)
- クリーンルームに取り付けられるエアーシャワー室と、
該エアーシャワー室に清浄な空気を吹き出しながら前記エアーシャワー室内の空気を循環させるエアーシャワー発生機構と、
前記エアーシャワー室と外部との間に設けられた開閉可能な第1の入出口と、
該入出口が設けられた面以外の面に設けられ、前記エアーシャワー室と連通して外部に開放された第2の入出口と
を有するエアーシャワー装置であって、
前記クリーンルームとは別個の移動可能な構造体であり、
前記エアーシャワー室は、骨組み構造体に取り付けられた壁面部材により画成され、前記第1の入出口は前記壁面部材に形成された開閉ドアであり、前記第2の入出口は前記壁面部材が設けられない面であり、
前記エアーシャワー発生機構は、
前記エアーシャワー室の空気を吸い込んで、加圧して送り出す送風機と、
該送風機の吸い込み側に設けられた塵埃除去用プレフィルタと、
前記送風機の吹き出し側に設けられた高性能塵埃除去フィルタと、
前記エアーシャワー室に向けて空気を吹き出すノズルと、
前記高性能塵埃除去フィルタを通過した空気を前記ノズルに導く空気通路と
を含み、
前記骨組み構造体はパイプ材により構成され、前記空気通路は前記骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成され、
前記パイプ材に前記塵埃除去用プレフィルタが設けられたことを特徴とするエアーシャワー装置。 - 所定の高い清浄度に維持される第1の空間と、
該第1の空間より低い清浄度に維持される第2の空間と、
前記第1の空間と前記第2の空間との間に設けられた開閉ドアと、
前記第2の空間内において前記開閉ドアに対して設置された、請求項1記載のエアーシャワー装置と
を有することを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
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JP2007058252A JP3987906B2 (ja) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | エアーシャワー装置及びクリーンルーム |
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JP2007058252A JP3987906B2 (ja) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | エアーシャワー装置及びクリーンルーム |
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JP2001361405A Division JP3987901B2 (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | エアーシャワー装置及びクリーンルーム |
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Publication Number | Publication Date |
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JP3987906B2 JP3987906B2 (ja) | 2007-10-10 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3372909A1 (en) | 2017-03-06 | 2018-09-12 | Toyo Engineering Corporation | Powder suction and removal apparatus and powder suction and removal method |
-
2007
- 2007-03-08 JP JP2007058252A patent/JP3987906B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3372909A1 (en) | 2017-03-06 | 2018-09-12 | Toyo Engineering Corporation | Powder suction and removal apparatus and powder suction and removal method |
US10780464B2 (en) | 2017-03-06 | 2020-09-22 | Tec Project Services Corporation | Powder suction and removal apparatus and powder suction and removal method |
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