JP3573730B2 - エアシャワ装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、クリーンルームの入口に設置されるエアシャワ装置に係り、特に使い勝手の優れたエアシャワ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のエアシャワ装置はジェット気流を噴射する空気吹出口の配置が図14の(a),(b),(c)に示す通り2列もしくは3列になっており、特に3列のものは中央列の最上段の空気吹出口が両側列の最上段の空気吹出口より低い位置に配置され、また中央列の最下段の空気吹出口が両側列の最下段の空気吹出口より高い位置に配置されている。図11は従来品エアシャワ装置(公知)のエアジェットノズル3の配置を示したものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
エアジェット作動用スイッチは通常光電スイッチや床マットスイッチが使用されエアシャワ室の中央に配置される。従って作業者はエアシャワ室の中央に立つのが一般的である。ところが上記従来技術は入室者に最も近い中央列のジェット気流吹出口の配置が作業者の最もじん埃の付着しやすい肩部より下側に配置されており除じん効果としては低下する。
【0004】
また従来のエアシャワは、エアシャワ室の側面ケースの表面にエアジェットタイマを露出させていたため管理者が作業者の汚染程度、クリーンルームのグレードに応じてエアジェット時間を設定しても、作業者自身がタイマを触って時間を短くするケースが多くクリーンルームの清浄度を維持しなければならない設備管理者にとって問題となっていた。
【0005】
本発明の目的は、ジェット気流を噴射する複数のエアジェット時間を切替できる使い勝手の良いエアシャワ装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明は、エアシャワ室と、該エアシャワ室の少なくとも一つの側面に設けられ前記エアシャワ室内に清浄空気のジェット気流を噴射する空気吹出口と、前記エアシャワ室下部に設けられた空気吸込口と、該空気吸込口と前記空気吹出口を連絡する通気ダクトと、前記空気吹出口に清浄空気を供給するよう前記通気ダクト中に設置された送風機及びフィルタを有するエアシャワ装置において、前記ジェット気流を噴射する複数のエアジェット時間を設定し、該設定時間を切替スイッチで切替え、前記送風機又はエアジェット作動用コンタクタが一定の動作回数に達すると点検表示灯が点灯することを特徴とする。
【0007】
また、点検表示灯はエアジェット作動用コンタクタや送風機の繰返し寿命に合わせて一定の動作回数に達すると点検表示灯が点灯し管理者に点検時期を知らせる。
【0008】
【実施例】
本発明の一実施例を図1〜図13により説明する。
【0009】
図1、図2は本発明の一実施例のエアシャワ装置の構造を示す。本実施例のエアシャワ装置は一対の本体ケース2と、本体ケース2の上部に載置された天井ケース7と、天井ケース7の下方で両本体ケースの間に配置されたエアシャワ室1を有する。
【0010】
本体ケース2は、直方体の形状でその一つの面に清浄空気のジェット気流を噴射する空気吹出口3とその下部に設けられた空気吸込口6を有し、本体ケース2の内部には空気吸込口6と空気吹出口3を連絡する通気ダクト12と、空気吹出口3に清浄空気を供給するよう通気ダクト12中に設けられた送風機10及びフィルタ11を有する。天井ケース7は直方体状に形成され、その内部に送風機9,フィルタ8を有し、天井ケース7の下面にはフィルタ8の下流側に天井部空気吹出口27が設けられる。
【0011】
エアシャワ室1はその室内と室外を隔離する扉32を有し、エアシャワ室1内には天井面に天井部空気吹出口27が、両側面には空気吹出口3および空気吸込口6がそれぞれ設けられる。
【0012】
空気吹出口3はエアシャワ室内での作業者の進行方向に沿って作業者1人当たり少なくとも3列設け、1列目と3列目の最上段の空気吹出口3は作業者15の肩の高さ(標準身長1600〜1700mmに対し約1300〜1400mm)に配置する。中央列(2列目)の空気吹出口3は1列目と3列目の最上段の空気吹出口より高い位置(本実施例では160mm高い)に配置している。また中央列の最下段のジェット気流空気吹出口3は1列目と3列目の最下段の空気吹出口3よりさらに低い位置(本実施例では160mm低い)に配置している。
【0013】
本実施例では天井ケース7にはその上面に電源と接続するための端子箱34が設けられ、本体ケース2はその一方に操作スイッチ23、24、25、プログラマブルコントローラ(以下PCS)4等の制御部品が設けられ、他方には照明灯30が設けられる。
【0014】
本体ケース2の制御部品が設けられる側では、空気吹き出し口3の上側に操作かバー17が設けられ、操作カバー17はその表面に操作スイッチ23、24、25と点検表示灯14が設けられる。なお、図12に示すように非常スイッチ26を必要に応じて設けてもよい。操作カバー17の内側(本体ケース2の内部)には図13に示すように、電気品取付板18上に配置されたPCS4、エアジェット作動時間切替スイッチ5、エアジェット駆動用コンタクタ19、送風機9、10の過電流保護用のサーマルリレー20および端子台36が設けられる。
【0015】
エアジェット作動時間(一般的に10秒、15秒、20秒の3種類)は管理者が設置場所の周囲環境や作業者15の人数、汚染状態に見合ってエアジェット作動時間切替スイッチ5により選択する。尚、切替スイッチ5は作業者15が容易に触れないよう操作カバー17の内側に設けられ、切り替え操作は操作カバー17を取外して行う。
【0016】
従来のエアシャワはエアシャワ室1の側面ケースの表面にエアジェットタイマを露出させていたため管理者が作業者の汚染程度、クリーンルームのグレードに応じてエアジェット時間を設定しても、作業者自身がタイマを触って時間を短くするケースが多くクリーンルームの清浄度を維持しなければならない設備管理者にとって問題となっていた。本実施例ではタイマを内蔵として作業者の視野からはずし、これにより切替スイッチ5に一般作業者が容易に触れるのを防止するとともに、一般的に良く使用される時間(10,15,20秒)をスイッチ操作だけで容易に切替られるようにし、使い勝手を向上している。
【0017】
エアジェット作動時間切替スイッチ5を含む切り替え回路部分の電気配線図とPCS4内のソフトウエアにより表された電気回路の実施例を図9に示す。
【0018】
点検表示灯14はエアジェット作動用コンタクタや送風機の繰返し寿命に合わせて一定の動作回数に達すると点検表示灯14が点灯し管理者に点検時期を促すようにしている。
【0019】
本実施例のエアシャワ装置の動作を図3〜図5により説明する。エアシャワ室の天井ケース7には送風機9,フィルタ8,天井部空気吹出口27が設けられる。本実施例ではフィルタ8としてHEPAフィルタが設けられるが、さらに高い清浄度が要求される分野では集じん効率の高いULPAフィルタが設けられる。一方、清浄度をそれほど必要としない分野では効率60%程度の中性能フィルタが用いられる。
【0020】
送風機9が運転されるとエアシャワ室1下部の空気吸込口6より吸込まれた空気が送風機9の吹出口9aから吹き出されてフィルタ8に供給される。フィルタ8により濾過された空気は清浄空気となって天井部空気吹出口27を介してエアシャワ室1に送り込まれる。天井部空気吹出口27は天井面のほぼ全面にわたり開口しているので天井部空気吹出口27より吹き出された清浄空気によりエアカーテンが形成され、エアシャワ室1の清浄度が維持される。本機能は半導体工業等のスーパークリーンルーム分野には必要不可欠であるがバイオ,食品分野においては必ずしも必要とされない。
【0021】
エアシャワ室1側方の本体ケース2にはその下方に空気吸込口6がエアシャワ室1に面して設けられ、本体ケース2内には送風機10と、この送風機10の吹出口に接続された加圧チャンバ12と、この加圧チャンバ12に接続されたフィルタ11が設けられる。本実施例ではフィルタ11はHEPAフィルタを用いているが要求される清浄度によってはULPAフィルタや中性能フィルタを用いてもよい。
【0022】
送風機10が運転されると加圧チャンバ12に空気が送り込まれ、加圧チャンバ12の圧力の高まりと共に、フィルタ11を通過して浄化された空気が本体ケース2のエアシャワ室1に面した側面に設けられた空気吹出口3からエアジェットとしてエアシャワ室1に供給される。エアジェットは約20〜35m/秒の風速に設定され、エアシャワ室1に入室した作業者15の衣服(無じん服)に付着したじん埃を吹き飛ばす。エアジェットとエアカーテンを併用することにより吹き飛ばされたじん埃は速やかに下方に流され、エアシャワ室1内での滞留を防止できるのでエアシャワ室1内の清浄度を向上できる。
【0023】
本実施例のエアシャワ装置はエアシャワ室1に面した側面に設けられた空気吹出口3を作業者15の肩をはさむ位置に配置している。具体的には、作業者15の進行方向に沿って少なくとも作業者1人当たり3列設け、さらに1列目と3段目の最上段の空気吹出口3は作業者15の肩の高さ(約1300〜1400mm)に配置し、中央列の最上段の空気吹出口は1列目と3列目の最上段の空気吹出口よりも高い位置(本実施例では160mm高い)に配置して、これら3個の空気吹出口が作業者15の肩をはさむ位置関係に配置されている。その結果、作業者15がエアシャワ室1の中央に立った場合、1列目と3段目の最上段の空気吹出口3は作業者15の肩部(作業者の毛髪やフケ等のじん埃が最も付着しやすい部分)に対し最短距離でエアジェット気流を噴射でき、また中央列最上段の空気吹出口3は作業者の頭附近(肩の上側)に対し最短距離でエアジェット気流を噴射できるので、肩を中心として強い気流を供給することができる。
【0024】
一方、本実施例では中央列の最下段の空気吹出口は1列目と3列目の最下段の空気吹出口より低い位置に配置させている。これにより中央列の最下部に設けた空気吹出口3は、特に台車等で荷物を運搬したりする場合に、この台車に対し最短距離でエアジェット気流を噴射でき台車上に蓄積したじん埃を効果的に除去できる。(図4(a),(b)参照)
エアジェット気流によりエアシャワ室1内に生じる乱流のうずにより作業者に付着したじん埃が吹き落とされる。従ってこのうずの位置がエアシャワ室内の作業者に対しどのような位置になるかがエアシャワの性能を左右する。この性能確認のため、図5(a),(b)に示すように、従来技術(中央列の空気吹出口3が3段でその最上段の空気吹出口が両側列の最上段の空気吹出口より低い位置で作業者の肩部より下側に配置された場合)と本実施例(中央列の空気吹出口3が4段でその最上段の空気吹出口が両側列の最上段の空気吹出口より高い位置で作業者の肩部より上側に配置された場合)の気流解析を行った結果の比較をそれぞれ図6(a)、(b)に示す。なお、図6(a)、(b)いずれもエアシャワ室の中心線より左側の半分を示す。
【0025】
解析結果では、従来技術の場合は図6(a)に示すように、うずが作業者の肩部より低い所でうず巻いており、これに対し本実施例の場合は図6(b)に示すように、作業者の肩附近でうず巻いていることが明らかになった。これは最上段のエアジェット気流の効果によるものである。またエアシャワ室1の下部付近のうず巻き状態においても従来技術のものより下方側にうず巻きが見られ、低い場所での除じん効果も高めることができる。
【0026】
このように本実施例の空気吹出口の配置は作業者に対しても台車等に対してもエアジェットによる除じん効果を高めることができる。
【0027】
また設備管理者にとってもう一つ困っている問題はエアシャワ装置の不慮の故障である。エアシャワ装置はクリーンルームの出入口に設置されクリーンルーム入室者に付着したじん埃を入室第1段階で除去しクリーンルーム内へ持ち込まないようにするものでクリーンルームの玄関に当たり重要な装置の1つである。従って設備管理者はエアシャワ装置の故障に対しては最も懸念をいだいているのが現状である。しかしながら現実にはある日突然、エアジェットが作動しなくなる等の故障が生じる場合がある。このほとんどの原因はファンを駆動しているコンタクタ等の電気的寿命に起因している。
【0028】
本実施例では図7に示すようにPCS4の出力50にコンタクタ19(図7中ではMCと表示)が接続され、PCS4はコンタクタ19の動作回数を図8に示すようにカウンタで計数して記録し、電気的寿命(例えば50万回)に達したらその信号を出力51に出力し、これに接続された点検表示ランプ14(図7中ではPLと表示)を点灯させてエアシャワ室内に寿命を表示するようにしている。
【0029】
本実施例の場合は表示ランプとしているが、例えばブザー他、管理者に点検の必要を知らせる手段であればよい。本実施例によれば、設備管理者に点検を促すことができるので設備管理者が予め点検日を休日等、エアシャワを使用していない日に設定でき部品の交換等を実施することができ、エアシャワ装置の不慮の故障をなくすことができる。
【0030】
さらに長寿命部品(モータ,フィルタ等)においては、図8のフローチャートに示すように、上記点検を行うたびに他のカウンタを用いて積算させており何回点検したかを自動的に記録させているので例えば100万回寿命の部品についても前者カウンタと後者カウンタの積算によりわかるようにしている。これにより例えば将来、移設等で設備管理者が変わったとしても後任者が容易にエアシャワ装置の使用回数が判るよう配慮している。
【0031】
図10(a)、(b)および図11は本発明の一実施例の変形例でエアシャワ室の出入口に折戸式ドア22を設けたものである。折戸式ドア22は左右各2枚の折戸からなる4枚折戸であり、入り口上部に設けられたセンサ40が入室者を検出するとPCS4がエアシャワ室1内の入室者の有無などを判断してドアエンジン21を制御することによりその開閉が制御される。折戸式ドアの場合、開戸式ドアに比べ、開閉時の圧力変動が少なく開扉時にエアシャワ室内の空気の流出を防止できてクリーンルーム内を汚染しないとともに、ドアが閉鎖する直前にエアシャワ室1内の動圧が高まることがないのでクリーンルーム内の陽圧に押されてドアが全閉しないという開戸式ドアの問題を解決でき、クリーンルーム用には適する。なお、44は製品の組立て時、または据付け場所への搬入時等にクレーンで吊り揚げるときに用いる吊り下げ用のアイボルトである。
【0032】
以上で説明したように本実施例では作業者に対しても物品運搬時の台車に対してもじん埃除去効果を高めることができるとともに、エアジェット作動時間切替スイッチの内蔵化や点検表示手段の装備により設備管理者の使い勝手性や保守性を向上できるエアシャワ装置を得ることができる。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、エアシャワ室にジェット気流を噴射するエアジェット時間を複数設定し、設定時間を切替スイッチで切替え、また送風機又は送風機起動用コンタクタの動作回数を計数し、表示し管理者に点検時期を知らせることができるので使い勝手に優れたエアシャワ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の構成を示す図で、同図(a)は一部を断面とした正面図、同図(b)は側断面図である。
【図2】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の構成を示す図で、同図(a)は正面断面図、同図(b)は側面図である。
【図3】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置に作業者が入室した状態を示す図で、同図(a)は正面断面図、同図(b)は側断面図である。
【図4】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置に台車が入室した状態を示す図で、同図(a)は正面断面図、同図(b)は側断面図である。
【図5】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置のエアジェットノズルの配置を示す図で、同図(a)は平面断面図,同図(b)は側断面図である。
【図6】エアジェットノズルの配置の違いによる気流解析図で、同図(a)は従来技術のエアシャワ装置の解析図,同図(b)本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の解析図である。
【図7】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の電気配線図である。
【図8】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の点検表示手段のフローチャートである。
【図9】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置のエアジェット時間切替手段の電気配線図である。
【図10】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の変形例を示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)は側断面図である。
【図11】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の変形例の外観を示す正面図である。
【図12】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の操作カバー部の正面図である。
【図13】本発明の一実施例におけるエアシャワ装置の電気品取付板への操作回路の実装を示す正面図である。
【図14】従来のエアシャワ装置のエアジェットノズルの配置を示す側断面図で、同図(a)はノズルが中央3個両側4個のもの、同図(b)はノズルが両側3個のもの、同図(c)はノズルが中央2個両側3個のものである。
【符号の説明】
1:エアシャワ室、2:本体ケース、3:エアジェットノズル、4:PCS、
5:エアジェット時間切替スイッチ、6:下部空気吹込口、7:天井ケース、
8,11:フィルタ、9,10:送風機、12:加圧チャンバ、
13:光電管スイッチ、14:点検表示灯、15:入室者、16:荷物台車、
17:操作カバー、18:電気品取付板、19:コンタクタ、
20:サーマルリレー、21:ドアエンジン、22:折戸式ドア、
23〜25:運転スイッチ、26:非常スイッチ
Claims (1)
- エアシャワ室と、
該エアシャワ室の少なくとも一つの側面に設けられ前記エアシャワ室内に清浄空気のジェット気流を噴射する空気吹出口と、
前記エアシャワ室下部に設けられた空気吸込口と、
該空気吸込口と前記空気吹出口を連絡する通気ダクトと、
前記空気吹出口に清浄空気を供給するよう前記通気ダクト中に設置された送風機及びフィルタを有するエアシャワ装置において、
前記ジェット気流を噴射する複数のエアジェット時間を設定し、該設定時間を切替スイッチで切替え、
前記送風機又はエアジェット作動用コンタクタが一定の動作回数に達すると点検表示灯が点灯することを特徴とするエアシャワ装置。
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