JP5464726B2 - エアシャワー装置及びエアシャワー方法 - Google Patents
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Description
空気を吹き出す複数のエアノズルと、
浮遊する粉塵を外部に排出する排気口と、
前記被清浄体の形状情報に基づいて、前記エアノズルの一方が前記被清浄体へ空気を吹き出して前記被清浄体から粉塵をはたき出す第1動作と、前記エアノズルの他方が前記排気口に向けて空気を吹き出して前記はたき出されて浮遊する粉塵を前記排出口から排出する第2動作と、を行うように前記エアノズルの空気の吹き出し範囲を制御する制御部と、を備え、
前記第2動作は、前記被清浄体に対し空気を直接に吹き出すのではなく、前記浮遊する粉塵を前記排出口から排出するように前記被清浄体の周囲に向けて吹き出すことを特徴とする。
このエアシャワー方法によれば、被清浄体からの塵埃のはたき出しと、はたき出され浮遊する粉塵の排出と、を別々に行うので、はたき出されて浮遊する粉塵を効率的に排出でき、はたき出された粉塵の被清浄体への再付着を防止できる。この場合、前記被清浄体の形状情報に基づいて前記エアノズルの動作を制御することが好ましく、これにより、必要な範囲のはたき出しが可能となり、無駄な範囲への吹き出しを省き、省エネルギー運転を実現できる。また、第1ステップ及び第2ステップは、第1のエアノズルの吹き出し範囲と第2の吹き出し範囲とが異なるように設定して行うことが好ましい。
11a,11b エアノズル
12 第2エアノズル部
12a,12b エアノズル
13,14,25,26 壁面排気口
21〜24 エアノズル
27 天井排気面
28 床面排気口
100 制御部
101 入力部
102 カードリーダ
107 粉塵量測定部
108 メモリ
A 入室者(被清浄体)
A1〜A8 エアノズル
B1〜B8 エアノズル
C1〜C8 エアノズル
CC1〜CC4 エアノズル
D1〜D8 エアノズル
DD1〜DD4 エアノズル
E,D 塵埃
R エアシャワー室
R1 左側壁
R2 右側壁
S 吹き出し範囲
S1,S2,S3,S4 分割範囲
S1,S2,S3,S4 各分割範囲
Claims (8)
- クリーンルームの入口側に設置され前記クリーンルームへの入室者を被清浄体とするエアシャワー室用のエアシャワー装置であって、
空気を吹き出す複数のエアノズルと、
浮遊する粉塵を外部に排出する排気口と、
前記被清浄体の形状情報に基づいて、前記エアノズルの一方が前記被清浄体へ空気を吹き出して前記被清浄体から粉塵をはたき出す第1動作と、前記エアノズルの他方が前記排気口に向けて空気を吹き出して前記はたき出されて浮遊する粉塵を前記排出口から排出する第2動作と、を行うように前記エアノズルの空気の吹き出し範囲を制御する制御部と、を備え、
前記第2動作は、前記被清浄体に対し空気を直接に吹き出すのではなく、前記浮遊する粉塵を前記排出口から排出するように前記被清浄体の周囲に向けて吹き出すことを特徴とするエアシャワー装置。 - 前記エアノズルは、前記第1動作を前記エアノズルの他方が行い、前記第2動作を前記エアノズルの一方が行うように切り替えられる請求項1に記載のエアシャワー装置。
- 前記制御部に対し入力された前記被清浄体の形状情報に基づいて前記エアノズルの前記被清浄体に対する吹き出しパターン及び/又は吹き出し範囲を設定する請求項1または2に記載のエアシャワー装置。
- 前記被清浄体の形状情報に基づいて前記吹き出し範囲を分割する請求項3に記載のエアシャワー装置。
- 前記エアノズルの吹き出し時間が予め設定されている請求項1乃至4のいずれか1項に記載のエアシャワー装置。
- 室内の粉塵量を測定する粉塵量測定手段を備え、その粉塵量測定結果に基づいて前記エアノズルの吹き出しが制御される請求項1乃至5のいずれか1項に記載のエアシャワー装置。
- 前記被清浄体へ空気を吹き出すエアノズルの吹き出し範囲に対応して前記浮遊する粉塵を排出するエアノズルの吹き出し範囲を変更する請求項1乃至6のいずれか1項に記載のエアシャワー装置。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のエアシャワー装置を用いることを特徴とするエアシャワー方法。
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