JPH06291003A - エアシャワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 防塵衣等に付着した異物等を効率よく除去し
得るエアシャワー装置を提供する。 【構成】 エアシャワー室１１適所に回転可能に支持さ
れた複数のエア噴出口３を有するエア噴射ノズルユニッ
ト１と、エア噴射ノズルユニット１内に設けた回転翼４
と、エア噴射ノズルユニット１の軸方向に往復動可能に
装着された脈動気流発生ユニット６と、を備えいる。エ
アシャワー室１１内の被清浄体に対してエアーを吹き付
ける際に、回転・脈動気流を噴射することにより、被清
浄体に付着した異物を効率よく除去し得るようにしたも
のである。エア噴射ノズルユニット１は、その中心軸か
ら偏心した角度位置に配設されたエア噴出口３を有して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、無塵状態で作業を行う
必要がある例えば半導体装置の製造工程において、人体
又は防塵衣等に付着した異物を効率よく除去するための
エアシャワー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に半導体装置等の製造は、高い清浄
度に維持されたクリーンルーム内で行われるが、このク
リーンルームの入口には通常、所謂エアシャワー室が設
置されている。このエアシャワー室において、クリーン
ルーム外部から入室する作業者又は機器類等に対して、
清浄空気のジェット気流が吹き付けられるようになって
いる。そして、これらの被清浄体の表面に付着している
塵埃粒子等を払い落とし、クリーンルームへ入室する前
に、予め作業者等から塵埃等を除去するようにしてい
る。

【０００３】上記のように従来のエアシャワー装置で
は、ジェット気流を吹き付けるためのエア噴出口を、そ
の装置の適所に備えており、該エア噴出口の向きを手動
により任意に可変設定し得るように固定支持されてい
る。また、エア噴出口から噴出されるジェット気流は、
エア噴射時間の長短が制御されるようになっていて、そ
の噴射時間のみを管理するものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に従来のエアシャワー装置においては、エア噴出口の向
きを手動により任意に可変設定し得るように、固定支持
されているので、エアシャワー室内を通過する作業者等
の被清浄体に対して、その全域をカバーするようにジェ
ット気流を吹き付けるためには、エア噴出口を有するノ
ズルの設置位置及びそのエア噴出方向を相互に変化させ
て、多数のエア噴射ノズルを分散して設置する必要があ
った。

【０００５】しかしながら、上記のように多数のエア噴
射ノズルを設置する場合でも、各ノズル毎にそのエア噴
出口から噴出されるジェット気流の噴射方向が一定であ
るため、被清浄体においてエアシャワーが直接当たらな
い所謂、角度的な死角が生じ易かった。このために衣類
等に付着した塵埃等を十分に除去するためには、その作
業者自身においてエアシャワー装置に対する姿勢を変化
させ、しかも長い時間をかけてエアシャワーを受けるよ
うにしなければならなかった。このように従来のエアシ
ャワー装置では、塵埃等を効率的に除去することが困難
であった。

【０００６】そこで本発明は、防塵衣等に付着した異物
等を効率よく除去し得るエアシャワー装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のエアシャワー装
置は、エアシャワー室適所に回転可能に支持された複数
のエア噴出口を有するエア噴射ノズルユニットと、この
エア噴射ノズルユニット内に設けた回転翼と、上記エア
噴射ノズルユニットの軸方向に往復動可能に装着された
脈動気流発生ユニットと、を備えいる。そして特に、上
記エアシャワー室内の被清浄体に対してエアーを吹き付
ける際に、回転・脈動気流を噴射することにより、前記
被清浄体に付着した異物を効率よく除去し得るようにし
たものである。

【０００８】また、前記エア噴射ノズルユニットは、そ
の中心軸から偏心した角度位置に配設されたエア噴出口
を有している。

【０００９】

【作用】本発明によれば、エア噴射ノズルユニットに開
口するエア噴出口は、その中心軸から偏心した角度位置
に複数配設されると共に、該エア噴射ノズルユニットが
回転駆動される。またエア噴射ノズルユニット内の回転
翼を駆動すると共に、脈動気流発生ユニットを軸方向に
往復動させ、これにより回転・脈動気流を形成すること
ができる。そして、エアシャワー室内で立ち止まった作
業者に対して、複数のエア噴出口を介してかかる回転・
脈動気流を吹き付けることによって、その防塵衣等に付
着した異物を完全に除去することができる。

【００１０】上記の場合、特にエア噴射ノズルユニット
のエア噴出口から噴射するジェット気流の噴射方向は、
自動的に変化して不特定方向となるため、被清浄体に対
してエアシャワーが直接当たらない角度的な死角が生じ
ることはない。従って、一定位置に立ち止まったままの
作業者に対して、万遍なくエアーを吹き付けることがで
き、この結果、作業者自身がエアシャワー装置に対して
姿勢を変化させる必要がなくなる。

【００１１】これにより、衣服等に付着した異物を完全
に除去するために長い時間をかけなくとて済み、極めて
高い効率で異物除去を完了する。またクリーンルームへ
の所謂、持込み異物を格段に低減することができ、その
結果、ウェハ歩留及びデバイス信頼性等を有効に向上さ
せることが可能になる。

【００１２】

【実施例】以下、図１乃至図４に基づき、本発明による
エアシャワー装置の好適な一実施例を説明する。本実施
例は、従来例の場合と同様な半導体装置製造に使用する
エアシャワー室に適用した例とする。図１は、本発明に
係るエア噴射ノズルユニット１の構造例を示している
が、このエア噴射ノズルユニット１は、後述するように
エアシャワー装置１０（図４参照）においてエアシャワ
ー室１１を画成する仕切板１２に設置される。なお該エ
ア噴射ノズルユニット１は、上記エアシャワー室１１に
おいて適宜の複数箇所に設置される。

【００１３】図１において、エア噴射ノズルユニット１
は、軸受２を介して上記仕切板１２に回転可能に支持さ
れ、図示しないモータ等によって回転駆動されるように
なっている。エア噴射ノズルユニット１の本体１ａは、
概略中空構造を有しており、また上記軸受２の反対側に
複数のエア噴出口３を有している。このエア噴出口３
は、例えば図２に示されるように、上記エア噴射ノズル
ユニット１の中心軸から偏心した角度位置に配設された
エア噴出口３ａ，３ｂ，．．３ｈにより構成される。図
２の図示例のように、内側と外側の円周方向に沿って９
０°間隔で８個配置され、その各々はエア噴射ノズルユ
ニット１の本体１ａ内部に通じている。なお、各エア噴
出口３の口径等の寸法は適宜選定され、その配置関係は
必ずしも図２の例にのみ限定されるものではない。

【００１４】更に、エア噴射ノズルユニット１内には、
回転翼４が設けられている。この回転翼４は、その駆動
軸５を介して、図示しないモータ等によって回転駆動さ
れるようになっている。回転翼４は、図３の図示例のよ
うに４枚構成で成るが、必ずしもこの例にのみ限定され
るものではない。また脈動気流発生ユニット６が、エア
噴射ノズルユニット１の基部１ｂ内で、該エア噴射ノズ
ルユニット１の軸方向に沿って往復動可能に（図１、矢
印Ｃ参照）装着されいる。

【００１５】ここで、上記回転翼４を、駆動軸５のまわ
りに回転させることにより、清浄な回転気流が発生す
る。一方、脈動気流発生ユニット６を、中心軸に沿って
図１において左右方向に、一定速度で摺動させることに
より、清浄な脈動気流が発生する。このように回転翼４
及び脈動気流発生ユニット６の作動により形成された清
浄な脈動状態の回転気流は、各エア噴出口３を介して噴
出される。この場合、エア噴射ノズルユニット１は、そ
の中心軸のまわりに回転駆動されるようになっている
（図２、矢印Ｄ参照）。

【００１６】本発明に係るエアシャワー装置１０では、
エア噴射ノズルユニット１は、図４に示したように、エ
アシャワー室１１に複数個設けられる。例えばエアシャ
ワー室１１内の作業者Ｍに対して、仕切板１２における
その作業者Ｍの両側部及び上側に図示例のように適当に
配置される。なお図４において、１３はエアチャンバ、
１４，１５はそれぞれフィルタ、１６は送風機、１７は
エアシャワー室１１の床に敷設された作業者Ｍに対する
センサである。

【００１７】上記の場合、上記エア噴射ノズルユニット
１，回転翼４又は脈動気流発生ユニット６等のための駆
動モータ等、上記送風機１６及びセンサ１７等は、図示
されていない制御回路等に接続されていて、それらの作
動が制御されるようになっている。

【００１８】本発明のエアシャワー装置１０において、
作業者Ｍがエアシャワー室１１に入ると、センサ１７が
作動して送風機１６を作動させる。この送風機１６は、
フィルタ１４を介してエアシャワー室１１内の空気を吸
引し、エアチャンバ１３へ送風する。これにより該エア
チャンバ１３内の圧力が高くなるが、この圧力が一定値
以上になると、先ずフィルタ１５を通して、そしてエア
噴射ノズルユニット１により清浄な脈動状態の回転気流
が噴出される。

【００１９】特にエア噴射ノズルユニット１によれば、
回転翼４が駆動軸５のまわりに回転することにより、清
浄な回転気流が発生すると共に、脈動気流発生ユニット
６が中心軸に沿って往復動することにより、清浄な脈動
気流が発生する。そして更に、エア噴射ノズルユニット
１自体が回転することにより、そのエア噴出口３を介し
て回転・脈動気流が噴射される。

【００２０】このエア噴出口３から噴射されるジェット
気流の噴射方向は、自動的に変化して不特定方向となる
ため、そしてまた、そのようなエア噴出口３を備えたエ
ア噴射ノズルユニット１がエアシャワー室１１に複数設
置されているため、該エアシャワー室１１内で立ち止ま
ったままの状態にある作業者Ｍに対して、万遍なくエア
ーを吹き付けることができる。従って作業者Ｍは特別に
その姿勢を変化させる必要がなく、且つその場合でも死
角が生じることはない。しかもかかる回転・脈動気流
は、単調な空気流ではなく、その脈動により強弱変化す
るようになっているので、作業者Ｍの防塵衣等に付着し
た異物等を吹き払うために極めて有効である。

【００２１】上記のように、作業者Ｍの衣服等に付着し
た異物を完全に除去するために、長い時間をかけてエア
シャワーを浴びなくても済み、極めて高い効率で異物除
去を完全に除去することができる。またクリーンルーム
へ持込み異物を格段に低減することができ、その結果、
ウェハ歩留及びデバイス信頼性等を有効に向上させる。

【００２２】なお上記実施例において、エアシャワーを
受ける対象が作業者Ｍである場合について説明したが、
機器用エアシャワー装置等に対して有効に適用し得るこ
とは勿論であり、上記実施例を同様な作用効果を得るこ
とができる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、こ
の種エアシャワー装置において、特にエア噴射ノズルユ
ニットを通して、そこに開口するエア噴出口から噴出す
ることにより、防塵衣等に付着した異物を完全に除去す
ることができ、クリーンルームのクリーン度を向上・保
証することができる。その場合、エアシャワーに死角が
生じないので、作業者等がその姿勢を変化させる必要が
なくなる等の利点がある。また衣服等に付着した異物を
十分に除去するために、長い時間をかけてエアシャワー
を浴びなくても済み、異物除去作業もしくは工程が著し
く能率的になるると共に、クリーンルームへ持込み異物
を低減し、ウェハ歩留及びデバイス信頼性等が高くなる
等の利点も有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のエアシャワー装置の一実施例における
エア噴射ノズルユニットまわりの縦断面図である。

【図２】本発明に係る上記エア噴射ノズルユニットにお
けるエア噴出口を配置構成例を示す図１のＡ矢視方向の
図である。

【図３】本発明に係る回転翼の構成例を示す図１のＢ矢
視方向の図である。

【図４】本発明のエアシャワー装置の一実施例による全
体構成を示す図である。

【符号の説明】

１ エア噴射ノズルユニット １ａ 本体 ２ 軸受 ３ エア噴出口 ４ 回転翼 ５ 駆動軸 ６ 脈動気流発生ユニット １０ エアシャワー装置 １１ エアシャワー室 １２ 仕切板 １３ エアチャンバ １４ フィルタ １５ フィルタ １６ 送風機 １７ センサ Ｍ 作業者

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エアシャワー室適所に回転可能に支持さ
   れると共に、複数のエア噴出口を有するエア噴射ノズル
   ユニットと、このエア噴射ノズルユニット内に設けた回
   転翼と、上記エア噴射ノズルユニットの軸方向に往復動
   可能に装着された脈動気流発生ユニットと、を備え、 上記エアシャワー室内の被清浄体に対してエアーを吹き
   付ける際に、回転・脈動気流を噴射することにより、前
   記被清浄体に付着した異物を除去し得るようにしたこと
   を特徴とするエアシャワー装置。
2. 【請求項２】 前記エア噴射ノズルユニットは、その中
   心軸から偏心した角度位置に配設されたエア噴出口を有
   していることを特徴とする請求項１に記載のエアシャワ
   ー装置。