JP2564784Y2 - エアシャワー装置 - Google Patents
エアシャワー装置Info
- Publication number
- JP2564784Y2 JP2564784Y2 JP1446492U JP1446492U JP2564784Y2 JP 2564784 Y2 JP2564784 Y2 JP 2564784Y2 JP 1446492 U JP1446492 U JP 1446492U JP 1446492 U JP1446492 U JP 1446492U JP 2564784 Y2 JP2564784 Y2 JP 2564784Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- air blowing
- nozzle
- slit
- blowing nozzle
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は半導体装置の生産に使用
されるクリーンルーム入口に設置するエアシャワー装置
に関し、特にエア吹出しノズルが可動するエアシャワー
装置に関する。
されるクリーンルーム入口に設置するエアシャワー装置
に関し、特にエア吹出しノズルが可動するエアシャワー
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のエアシャワー装置は、図３（ａ）
に示すように、エアシャワー吹出しエアはエアシャワー
下部のガラリ１１から送風ファン１２により吸引され、
ＨＥＰＡフィルタ１３にて塵埃を除去された後、両側に
配列された複数個のエア吹出しノズル１４より吹出され
る。前記エア吹出しノズル１４は、図３（ｂ）に拡大図
示するように、ノズルを壁材１７から露出させるととも
に、その基部の周面にリングギヤ１６を有し、このリン
グギヤ１６に噛合するウォームギヤ１５によりノズル１
４をエアの吹出しに連動して上下方向に回転させ、ノズ
ルの向きを連続的に変える。この動作により、クリーン
ルーム入室者に付着している異物を効率よく取り除くこ
とができる。
に示すように、エアシャワー吹出しエアはエアシャワー
下部のガラリ１１から送風ファン１２により吸引され、
ＨＥＰＡフィルタ１３にて塵埃を除去された後、両側に
配列された複数個のエア吹出しノズル１４より吹出され
る。前記エア吹出しノズル１４は、図３（ｂ）に拡大図
示するように、ノズルを壁材１７から露出させるととも
に、その基部の周面にリングギヤ１６を有し、このリン
グギヤ１６に噛合するウォームギヤ１５によりノズル１
４をエアの吹出しに連動して上下方向に回転させ、ノズ
ルの向きを連続的に変える。この動作により、クリーン
ルーム入室者に付着している異物を効率よく取り除くこ
とができる。
【０００３】又、従来の他のエアシャワー装置は、図４
（ａ）に示すように、エア吹出しノズル１４Ａが縦長に
構成されており、往復回転モータ２０によって水平方向
に往復回転される。この場合、エア吹出しノズル１４Ａ
は、図４（ｂ）に拡大横断面図を示すように、壁材１７
から一部を露出させた状態で左右に首振り運動を行う。
この装置では、図３の装置に比べて、ノズル１４Ａから
吹出すエアが均一になる特徴を有している。
（ａ）に示すように、エア吹出しノズル１４Ａが縦長に
構成されており、往復回転モータ２０によって水平方向
に往復回転される。この場合、エア吹出しノズル１４Ａ
は、図４（ｂ）に拡大横断面図を示すように、壁材１７
から一部を露出させた状態で左右に首振り運動を行う。
この装置では、図３の装置に比べて、ノズル１４Ａから
吹出すエアが均一になる特徴を有している。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】この従来のエアシャワ
ー装置では、エア吹出しノズル１４，１４Ａを回転ある
いは水平方向に繰返し運動させるため、エア吹出しノズ
ル１４，１４Ａと壁材１７等との可動機構における擦り
合わせ部から発塵し、これがノズル吹出しエアに混入
し、清浄効果が低下されるという問題点を有する。特
に、エア吹出しノズル周辺は気流速がゼロに近いため、
埃や異物がエア吹出しノズルが取付けられている凹部に
蓄積され易く、これが何らかのきっかけで付着面を離
れ、吹出しエアに混入する可能性は高い。本考案の目的
は、エア吹出しノズルの可動部から発生される埃や異物
が吹出しエアに混入することを防止したエアシャワー装
置を提供することにある。
ー装置では、エア吹出しノズル１４，１４Ａを回転ある
いは水平方向に繰返し運動させるため、エア吹出しノズ
ル１４，１４Ａと壁材１７等との可動機構における擦り
合わせ部から発塵し、これがノズル吹出しエアに混入
し、清浄効果が低下されるという問題点を有する。特
に、エア吹出しノズル周辺は気流速がゼロに近いため、
埃や異物がエア吹出しノズルが取付けられている凹部に
蓄積され易く、これが何らかのきっかけで付着面を離
れ、吹出しエアに混入する可能性は高い。本考案の目的
は、エア吹出しノズルの可動部から発生される埃や異物
が吹出しエアに混入することを防止したエアシャワー装
置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案は、エア吹出しノ
ズルの可動部周辺にエアを吸引するスリットを形成する
とともに、このスリットに連通し、かつエアを吸引する
陰圧源に連通されるダクトチャンバーを設ける。
ズルの可動部周辺にエアを吸引するスリットを形成する
とともに、このスリットに連通し、かつエアを吸引する
陰圧源に連通されるダクトチャンバーを設ける。
【０００６】
【作用】陰圧によりスリットを通して埃や異物等をダク
トチャンバー内に吸い込み、異物等が吹出しエアに混入
することを防止する。
トチャンバー内に吸い込み、異物等が吹出しエアに混入
することを防止する。
【０００７】
【実施例】次に、本考案について図面を参照して説明す
る。図１（ａ）は本考案の一実施例の断面図である。エ
アシャワー吹出しエアはエアシャワー下部のガラリ１１
から送風ファン１２により吸引され、ＨＥＰＡフィルタ
１３にて塵埃を除去された後、両側に配列された複数個
のエア吹出しノズル１４より吹出される。前記エア吹出
しノズル１４は、図１（ｂ）に拡大図を示すように、周
面にリングギヤ１６を有し、かつこのリングギヤに噛合
するウォームギヤ１５によりノズル１４を上下方向に自
転させるように回転機構を構成し、エアシャワーの作動
（エアの吹出し）に連動して、ノズルの向きを連続的に
変える。
る。図１（ａ）は本考案の一実施例の断面図である。エ
アシャワー吹出しエアはエアシャワー下部のガラリ１１
から送風ファン１２により吸引され、ＨＥＰＡフィルタ
１３にて塵埃を除去された後、両側に配列された複数個
のエア吹出しノズル１４より吹出される。前記エア吹出
しノズル１４は、図１（ｂ）に拡大図を示すように、周
面にリングギヤ１６を有し、かつこのリングギヤに噛合
するウォームギヤ１５によりノズル１４を上下方向に自
転させるように回転機構を構成し、エアシャワーの作動
（エアの吹出し）に連動して、ノズルの向きを連続的に
変える。
【０００８】更に、前記エア吹出しノズル１４周辺のウ
ォームギヤ１５等の駆動部、及びエア吹出しノズル１４
と壁材１７との擦り合わせからの発塵を吸引するべく、
壁材１７とエア吹出しノズル１４の周面との間にスリッ
ト１８を形成し、このスリット１８を含むようにダクト
チャンバー１９を形成する。このダクトチャンバー１９
は、前記送風ファン１２の吸込側に連通させ、送風ファ
ン１２によって陰圧がダクトチャンバー１９内に発生
し、この陰圧でスリット１８を通してエアをダクトチャ
ンバー１９内に吸い込むように構成する。
ォームギヤ１５等の駆動部、及びエア吹出しノズル１４
と壁材１７との擦り合わせからの発塵を吸引するべく、
壁材１７とエア吹出しノズル１４の周面との間にスリッ
ト１８を形成し、このスリット１８を含むようにダクト
チャンバー１９を形成する。このダクトチャンバー１９
は、前記送風ファン１２の吸込側に連通させ、送風ファ
ン１２によって陰圧がダクトチャンバー１９内に発生
し、この陰圧でスリット１８を通してエアをダクトチャ
ンバー１９内に吸い込むように構成する。
【０００９】この構成により、エア吹出しノズル１４の
回転動作により発生する異物、即ちウォームギヤ１５の
駆動、並びにエア吹出しノズル１４と壁材１７との擦り
合わせにより発生する異物をスリット１８を通してダク
トチャンバー１９内に吸い込み、更に送風ファン１２の
吸込側へと導き、最終的にＨＥＰＡフィルタ１３にて捕
捉する。これにより、異物をエア吹出しノズル１４から
吹き出すことを防止する。又、スリット１４からエアを
吸い込むことにより、エア吹出しノズル周辺部に気流を
生じさせ、埃や異物がエア吹出しノズル１４の設置部の
凹みに蓄積することが排除される。
回転動作により発生する異物、即ちウォームギヤ１５の
駆動、並びにエア吹出しノズル１４と壁材１７との擦り
合わせにより発生する異物をスリット１８を通してダク
トチャンバー１９内に吸い込み、更に送風ファン１２の
吸込側へと導き、最終的にＨＥＰＡフィルタ１３にて捕
捉する。これにより、異物をエア吹出しノズル１４から
吹き出すことを防止する。又、スリット１４からエアを
吸い込むことにより、エア吹出しノズル周辺部に気流を
生じさせ、埃や異物がエア吹出しノズル１４の設置部の
凹みに蓄積することが排除される。
【００１０】図２は本考案の第２実施例を示し、本考案
を図４に示した従来例のノズル縦型エアシャワー装置に
適用した例である。同図（ａ）は全体断面図、同図
（ｂ）その要部の拡大横断面図である。この実施例にお
いても、エア吹出しノズル１４Ａの周辺部の壁材１７に
スリット１８Ａを設けるとともに、このスリット１８Ａ
を含むようにダクトチャンバー１９を設け、送風ファン
１２により生じる陰圧により、ダクトチャンバー１９を
通してスリット１８Ａから異物を吸い込むようにしてい
る。又、エア吹出しノズル１４周辺にエアの流れを発生
させることで、埃や異物の蓄積を防止することができ
る。
を図４に示した従来例のノズル縦型エアシャワー装置に
適用した例である。同図（ａ）は全体断面図、同図
（ｂ）その要部の拡大横断面図である。この実施例にお
いても、エア吹出しノズル１４Ａの周辺部の壁材１７に
スリット１８Ａを設けるとともに、このスリット１８Ａ
を含むようにダクトチャンバー１９を設け、送風ファン
１２により生じる陰圧により、ダクトチャンバー１９を
通してスリット１８Ａから異物を吸い込むようにしてい
る。又、エア吹出しノズル１４周辺にエアの流れを発生
させることで、埃や異物の蓄積を防止することができ
る。
【００１１】
【考案の効果】以上説明したように本考案は、エア吹出
しノズル周辺に設けたスリット及びスリットからのエア
を陰圧源としての送風ファン吸込み側へと導くダクトチ
ャンバを備えることにより、エア吹出しノズル周辺にお
いてノズルの可動に伴い発生する異物をダイトチャンバ
ー側に吸い出して吹出しエアに混入することを防止す
る。又、エア吹出しノズル周辺にエアの流れが生じ、埃
や異物等の蓄積を防止する。これにより、エアシャワー
吹出しエアのより一層の塵埃レベル低減を達成すること
ができる。
しノズル周辺に設けたスリット及びスリットからのエア
を陰圧源としての送風ファン吸込み側へと導くダクトチ
ャンバを備えることにより、エア吹出しノズル周辺にお
いてノズルの可動に伴い発生する異物をダイトチャンバ
ー側に吸い出して吹出しエアに混入することを防止す
る。又、エア吹出しノズル周辺にエアの流れが生じ、埃
や異物等の蓄積を防止する。これにより、エアシャワー
吹出しエアのより一層の塵埃レベル低減を達成すること
ができる。
【図１】本考案のエアシャワー装置の第１実施例を示
し、同図（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は要部の拡大
図である。
し、同図（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は要部の拡大
図である。
【図２】本考案のエアシャワー装置の第２実施例を示
し、同図（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は要部の拡大
横断面図である。
し、同図（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は要部の拡大
横断面図である。
【図３】従来のエアシャワー装置の一例を示し、同図
（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は一部の拡大図であ
る。
（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は一部の拡大図であ
る。
【図４】従来のエアシャワー装置の他の例を示し、同図
（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は一部の拡大横断面図
である。
（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は一部の拡大横断面図
である。
１１ ガラリ １２ 送風ファン １３ ＨＥＰＡフィルタ １４，１４Ａ エア吹出しノズル １８，１８Ａ スリット １９ ダクトチャンバー
Claims (1)
- 【請求項１】 エア吹出しノズルの可動機構を有するエ
アシャワー装置において、エア吹出しノズルの可動部周
辺にエアを吸引するスリットを形成するとともに、この
スリットに連通し、かつエアを吸引する陰圧源に連通さ
れるダクトチャンバーを備えることを特徴とするエアシ
ャワー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1446492U JP2564784Y2 (ja) | 1992-02-15 | 1992-02-15 | エアシャワー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1446492U JP2564784Y2 (ja) | 1992-02-15 | 1992-02-15 | エアシャワー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566441U JPH0566441U (ja) | 1993-09-03 |
| JP2564784Y2 true JP2564784Y2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=11861780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1446492U Expired - Lifetime JP2564784Y2 (ja) | 1992-02-15 | 1992-02-15 | エアシャワー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2564784Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5250983B2 (ja) * | 2007-03-01 | 2013-07-31 | パナソニック株式会社 | ノズル可動装置 |
| KR20200037041A (ko) * | 2018-09-29 | 2020-04-08 | 엘지전자 주식회사 | 반려동물 목욕기 |
| JP2021145900A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 日本エアーテック株式会社 | ハンドドライヤー |
-
1992
- 1992-02-15 JP JP1446492U patent/JP2564784Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0566441U (ja) | 1993-09-03 |
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