JPH0566441U - エアシャワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エアシャワー装置に設けられるエア吹出しノ
ズルの可動部から発生される埃や異物が吹出しエアに混
入することを防止する。 【構成】 エア吹出しノズル１４の可動部周辺にエアを
吸引するスリット１８を形成するとともに、このスリッ
ト１８に連通し、かつエアを吸引する陰圧源（送風ファ
ン１２）に連通されるダクトチャンバー１９を設ける。
陰圧によりスリット１８を通して埃や異物等をダクトチ
ャンバー１９内に吸い込み、異物等が吹出しエアに混入
することを防止する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体装置の生産に使用されるクリーンルーム入口に設置するエアシ ャワー装置に関し、特にエア吹出しノズルが可動するエアシャワー装置に関する 。

【０００２】

【従来の技術】

従来のエアシャワー装置は、図３（ａ）に示すように、エアシャワー吹出しエ アはエアシャワー下部のガラリ１１から送風ファン１２により吸引され、ＨＥＰ Ａフィルタ１３にて塵埃を除去された後、両側に配列された複数個のエア吹出し ノズル１４より吹出される。前記エア吹出しノズル１４は、図３（ｂ）に拡大図 示するように、ノズルを壁材１７から露出させるとともに、その基部の周面にリ ングギヤ１６を有し、このリングギヤ１６に噛合するウォームギヤ１５によりノ ズル１４をエアの吹出しに連動して上下方向に回転させ、ノズルの向きを連続的 に変える。この動作により、クリーンルーム入室者に付着している異物を効率よ く取り除くことができる。

【０００３】 又、従来の他のエアシャワー装置は、図４（ａ）に示すように、エア吹出しノ ズル１４Ａが縦長に構成されており、往復回転モータ２０によって水平方向に往 復回転される。この場合、エア吹出しノズル１４Ａは、図４（ｂ）に拡大横断面 図を示すように、壁材１７から一部を露出させた状態で左右に首振り運動を行う 。この装置では、図３の装置に比べて、ノズル１４Ａから吹出すエアが均一にな る特徴を有している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

この従来のエアシャワー装置では、エア吹出しノズル１４，１４Ａを回転ある いは水平方向に繰返し運動させるため、エア吹出しノズル１４，１４Ａと壁材１ ７等との可動機構における擦り合わせ部から発塵し、これがノズル吹出しエアに 混入し、清浄効果が低下されるという問題点を有する。 特に、エア吹出しノズル周辺は気流速がゼロに近いため、埃や異物がエア吹出 しノズルが取付けられている凹部に蓄積され易く、これが何らかのきっかけで付 着面を離れ、吹出しエアに混入する可能性は高い。 本考案の目的は、エア吹出しノズルの可動部から発生される埃や異物が吹出し エアに混入することを防止したエアシャワー装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、エア吹出しノズルの可動部周辺にエアを吸引するスリットを形成す るとともに、このスリットに連通し、かつエアを吸引する陰圧源に連通されるダ クトチャンバーを設ける。

【０００６】

【作用】

陰圧によりスリットを通して埃や異物等をダクトチャンバー内に吸い込み、異 物等が吹出しエアに混入することを防止する。

【０００７】

【実施例】

次に、本考案について図面を参照して説明する。図１（ａ）は本考案の一実施 例の断面図である。エアシャワー吹出しエアはエアシャワー下部のガラリ１１か ら送風ファン１２により吸引され、ＨＥＰＡフィルタ１３にて塵埃を除去された 後、両側に配列された複数個のエア吹出しノズル１４より吹出される。前記エア 吹出しノズル１４は、図１（ｂ）に拡大図を示すように、周面にリングギヤ１６ を有し、かつこのリングギヤに噛合するウォームギヤ１５によりノズル１４を上 下方向に自転させるように回転機構を構成し、エアシャワーの作動（エアの吹出 し）に連動して、ノズルの向きを連続的に変える。

【０００８】 更に、前記エア吹出しノズル１４周辺のウォームギヤ１５等の駆動部、及びエ ア吹出しノズル１４と壁材１７との擦り合わせからの発塵を吸引するべく、壁材 １７とエア吹出しノズル１４の周面との間にスリット１８を形成し、このスリッ ト１８を含むようにダクトチャンバー１９を形成する。このダクトチャンバー１ ９は、前記送風ファン１２の吸込側に連通させ、送風ファン１２によって陰圧が ダクトチャンバー１９内に発生し、この陰圧でスリット１８を通してエアをダク トチャンバー１９内に吸い込むように構成する。

【０００９】 この構成により、エア吹出しノズル１４の回転動作により発生する異物、即ち ウォームギヤ１５の駆動、並びにエア吹出しノズル１４と壁材１７との擦り合わ せにより発生する異物をスリット１８を通してダクトチャンバー１９内に吸い込 み、更に送風ファン１２の吸込側へと導き、最終的にＨＥＰＡフィルタ１３にて 捕捉する。これにより、異物をエア吹出しノズル１４から吹き出すことを防止す る。 又、スリット１４からエアを吸い込むことにより、エア吹出しノズル周辺部に 気流を生じさせ、埃や異物がエア吹出しノズル１４の設置部の凹みに蓄積するこ とが排除される。

【００１０】 図２は本考案の第２実施例を示し、本考案を図４に示した従来例のノズル縦型 エアシャワー装置に適用した例である。同図（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）そ の要部の拡大横断面図である。この実施例においても、エア吹出しノズル１４Ａ の周辺部の壁材１７にスリット１８Ａを設けるとともに、このスリット１８Ａを 含むようにダクトチャンバー１９を設け、送風ファン１２により生じる陰圧によ り、ダクトチャンバー１９を通してスリット１８Ａから異物を吸い込むようにし ている。 又、エア吹出しノズル１４周辺にエアの流れを発生させることで、埃や異物の 蓄積を防止することができる。

【００１１】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、エア吹出しノズル周辺に設けたスリット及びス リットからのエアを陰圧源としての送風ファン吸込み側へと導くダクトチャンバ を備えることにより、エア吹出しノズル周辺においてノズルの可動に伴い発生す る異物をダイトチャンバー側に吸い出して吹出しエアに混入することを防止する 。又、エア吹出しノズル周辺にエアの流れが生じ、埃や異物等の蓄積を防止する 。これにより、エアシャワー吹出しエアのより一層の塵埃レベル低減を達成する ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のエアシャワー装置の第１実施例を示
し、同図（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は要部の拡大
図である。

【図２】本考案のエアシャワー装置の第２実施例を示
し、同図（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は要部の拡大
横断面図である。

【図３】従来のエアシャワー装置の一例を示し、同図
（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は一部の拡大図であ
る。

【図４】従来のエアシャワー装置の他の例を示し、同図
（ａ）は全体断面図、同図（ｂ）は一部の拡大横断面図
である。

【符号の説明】

１１ ガラリ １２ 送風ファン １３ ＨＥＰＡフィルタ １４，１４Ａ エア吹出しノズル １８，１８Ａ スリット １９ ダクトチャンバー

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 エア吹出しノズルの可動機構を有するエ
   アシャワー装置において、エア吹出しノズルの可動部周
   辺にエアを吸引するスリットを形成するとともに、この
   スリットに連通し、かつエアを吸引する陰圧源に連通さ
   れるダクトチャンバーを備えることを特徴とするエアシ
   ャワー装置。