JP2022079536A - エアーシャワー装置 - Google Patents

Abstract

【課題】物体にエアーを吹き付けることで当該物品に付着している塵または水分を確実に吹き飛ばして除塵または乾燥できるエアー吹付け装置を備えたエアーシャワー装置を提供する。【解決手段】エアーシャワー装置３０は、互いに平行離間して設けられ、間に人間が進入する一対の吹出しノズル４１，４１を備え、吹出しノズル４１は、人間Ｎの進入方向と交差する方向に沿って延在し、かつ人間Ｎにエアーを吹き付け、吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されている。但し、エアーの吹出し角度θは、吹出しノズル４１から人間Ｎ側でかつ人間Ｎの進入方向方と逆側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線ＫＬ１と、人間Ｎの進入方向に対して垂直で、かつ、吹出しノズル４１の延在方向に対して垂直な垂直仮想線ＫＬ２とのなす角度である。【選択図】図５

Description

本発明は、物体にエアーを吹き付けることによって、当該物体を乾燥させたり、当該物体に付着している塵を吹き飛ばして除塵するエアー吹付け装置を備えたハンドドライヤー、エアーシャワー装置およびパスボックスに関する。

半導体や電子部品等を生産する製造装置は、清浄な雰囲気に維持されるクリーンルームに設置される。クリーンルーム内の空気の清浄度を維持するために、クリーンルームの入口にエアーシャワー装置が設けられる場合がある。エアーシャワー装置は、クリーンルームに入る作業者の衣服等に付着した塵やワークや機器等の物品の表面に付着した塵を空気の吹き出し（エアーシャワー）により除去するために設けられる。
このようなエアーシャワー装置の一例として特許文献１に記載のものが知られている。このエアーシャワー装置は、クリーンルームの入口側に設けられ、当該クリーンルームに入室する被処理体（物品）を通過させることによって該被処理体の除塵および除菌を行う除塵・除菌装置である。この除塵・除菌装置は、エアーを噴出するエアー噴出手段と、除菌液を噴霧する噴霧手段とを備え、噴出されたエアーによって前記被処理体の除塵を行った後に、噴霧された除菌液によって前記被処理体の除菌を行うようにしている。除塵を行う場合、エアーシャワー室の側壁にエアーノズルを設け、このエアーノズルから被処理体にエアーを吹き付けるようにしている。

クリーンルームへの入室前には準清浄環境の前室にて更衣、手洗いが行なわれる。手洗い後の乾燥には再汚染防止のためハンドドライヤー（手指乾燥機）が使用されることが多い。一般的なハンドドライヤーでは吹出ノズルから吹き出された高速気流により、手指に付着した水滴を吹き飛ばし非接触かつ短時間で乾燥が行える。
このようなハンドドライヤーの一例として特許文献２に記載のものが知られている。このハンドドライヤーは、上部に手挿入口が設けられた本体ケースの内部に、手挿入口により外部と連通する手乾燥室を形成し、手挿入口の内側に、手乾燥室の内奥側に向けて相互に交差する方向に空気を吹出す空気吹出しノズルを対向配置したものである。

また、クリーンルーム内への物品の搬入、搬出の際に、塵埃等がクリーンルームへ入るのを防止するため、クリーンルームと室外とを遮蔽する壁にパスボックスが設けられ、ユーザがパスボックスを介して物品の搬入及び搬出を行うようにしている。
このようなパスボックスの一例として特許文献３に記載のものが知られている。このパスボックスは、ノズルおよび送風機を備えており、清浄された空気を、ノズルおよび送風機により高速ジェットエアーで噴射することにより、パスボックス内に搬入された物品に付着している塵埃を強制的に取り除くようになっている。

特開２０１０－２０３７５６号公報 特開２００４－２３６７１４号公報 特開２００９－２３６３５４号公報

ところが、上述した従来のエアーシャワー装置やパスボックスにおいて、除塵のためにエアーノズルから物品にエアーを吹き付けても、物品に付着している塵の一部が吹き飛ばされずに物品の表面に一部残存する虞がある。
また、上述した従来のハンドドライヤーでは、乾燥のためにエアーノズルから手にエアーを吹き付けても、手に付着している水分の一部が吹き飛ばされずに手の表面に一部残存する虞がある。

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、物体にエアーを吹き付けることで当該物品に付着している塵または水分を確実に吹き飛ばして除塵または乾燥できるエアー吹付け装置を備えたハンドドライヤー、エアーシャワー装置およびパスボックスを提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明のハンドドライヤーは、エアーを吹き付けるエアー吹付け装置を備えたハンドドライヤーであって、
前記エアー吹付け装置は、互いに平行離間して設けられ、間に人間の手が挿入される一対の吹出しノズルを備え、
前記吹出しノズルは、前記手の挿入方向と交差する方向に沿って延在し、かつ前記手にエアーを吹き付け、
前記吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されていることを特徴とする。
但し、前記エアーの吹出し角度θは、前記吹出しノズルから手側でかつ前記手の挿入方向側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線と、前記手の挿入方向に対して垂直な垂直仮想線とのなす角度である。

ここで、エアーの吹出し角度θを０°～３５°に設定したのは、θが０°未満であると、吹出しノズルから吹き出されるエアーの殆どが手の挿入方向と逆側、つまり指側と逆側の手首側に向かうため、指に付着している水分が吹き飛ばされ難くなるとともに、手の両面から吹き飛ばされた水分がハンドドライヤーの外部に水滴として飛散し易くなるからであり、θが３５°を超えると、手に付着している水分が吹き飛ばされ難くなるからである。
エアーの吹出し角度θが０°～３５°であると、一対の吹出しノズルから吹き出されたエアーがそれぞれ手の両面（手のひら面および甲面）に当たり、コアンダ効果によってエアーが手の両面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって手の両面に付着している水分が吹き飛ばされる。
また、手の両面と略直交する側面側においては、一対の吹出しノズルから吹き出されたエアーがぶつかり合って、手の側面ではコアンダ効果によってエアーが手の側面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって手の側面に付着している水分が吹き飛ばされる。
さらに、エアーの吹出し角度θが小さいほど、吹出しノズルから吹き出されたエアーの一部が手首側に流れて指の水分が吹き飛ばされ難くなる一方、手の表面に付着している水分が吹き飛ばされ易くなるので、エアーの吹出し角度θはこれらの点を考慮して設定する。
また、前記吹出しノズルの長手方向の寸法は、手の表面（手のひら面および甲面）の幅方向の寸法より長く、かつ吹出しノズルの両端部が手の表面から幅方向に突出するような長さが好ましい。

本発明においては、吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されているので、手に付着している水分を吹き飛ばして確実に乾燥できる。

また、本発明に係るエアーシャワー装置は、エアーを吹き付けるエアー吹付け装置を備えたエアーシャワー装置であって、
前記エアー吹付け装置は、互いに平行離間して設けられ、間に人間が進入する一対の吹出しノズルを備え、
前記吹出しノズルは、前記人間の進入方向と交差する方向に沿って延在し、かつ前記人間にエアーを吹き付け、
前記吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されていることを特徴とする。
但し、前記エアーの吹出し角度θは、前記吹出しノズルから人間側でかつ前記人間の進入方向方と逆側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線と、前記人間の進入方向に対して垂直な垂直仮想線とのなす角度である。

ここで、エアーの吹出し角度θを０°～３５°に設定したのは、θが０°未満であると、吹出しノズルから吹き出されるエアーの殆どが人間の進入方向に向かうため、人間（の衣服）から吹き飛ばされた塵が人間の進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるからであり、θが３５°を超えると、人間（の衣服）に付着している塵が吹き飛ばされ難くなるからである。
エアーの吹出し角度θが０°～３５°であると、左右一対の吹出しノズルから吹き出されたエアーがそれぞれ人間の対向する表面（正面および背面）に当たり、コアンダ効果によってエアーが人間の両表面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって人間の両表面に付着している塵が吹き飛ばされて、除塵される。
また、人間の表面と略直交する肩の上面側および頭の上面側においては、一対の吹出しノズルから吹き出されたエアーがぶつかり合って、人間の肩の上面および頭の上面ではコアンダ効果によってエアーが人間の肩の上面および頭の上面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって人間の肩の上面および頭の上面に付着している塵が吹き飛ばされる。
さらに、エアーの吹出し角度θが小さいほど、人間の表面に付着している塵が吹き飛ばされ易くなる一方、吹き飛ばされた塵が人間の進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるので、エアーの吹出し角度θはこれらの点を考慮して設定する。

また、前記吹出しノズルの上下方向の寸法は、人間の下方向の寸法より長く、かつ吹出しノズルの上端が人間の頭より高く、吹出しノズルの下端が人間の足先より低いことが好ましい。

本発明においては、吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されているので、人間（の衣服）に付着している塵を吹き飛ばして確実に除塵できる。

また、本発明に係るパスボックスは、エアーを吹き付けるエアー吹付け装置を備えたパスボックスであって、
前記エアー吹付け装置は、互いに平行離間して設けられ、間に物品が進入する一対の吹出しノズルを備え、
前記吹出しノズルは、前記物品の進入方向と交差する方向に沿って延在し、かつ前記物品にエアーを吹き付け、
前記吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されていることを特徴とする。
但し、前記エアーの吹出し角度θは、前記吹出しノズルから物品側でかつ前記物品の進入方向方と逆側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線と、前記物品の進入方向に対して垂直な垂直仮想線とのなす角度である。

ここで、エアーの吹出し角度θを０°～３５°に設定したのは、θが０°未満であると、吹出しノズルから吹き出されるエアーの殆どが物品の進入方向に向かうため、物品から吹き飛ばされた塵が物品の進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるからであり、θが３５°を超えると、物品に付着している塵が吹き飛ばされ難くなるからである。
エアーの吹出し角度θが０°～３５°であると、左右一対の吹出しノズルから吹き出されたエアーがそれぞれ物品の対向する表面（両側面）に当たり、コアンダ効果によってエアーが物品の両側面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって物品の両側面に付着している塵が吹き飛ばされて、除塵される。
また、物品の上面側および下面側においては、一対の吹出しノズルから吹き出されたエアーがぶつかり合って、物品の上面および下面ではコアンダ効果によってエアーが物品Ｂの上面および下面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって物品の上面および下面に付着している塵が吹き飛ばされる。
さらに、エアーの吹出し角度が小さいほど、物品の表面に付着している塵が吹き飛ばされ易くなる一方、吹き飛ばされた塵が物品の進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるので、エアーの吹出し角度θはこれらの点を考慮して設定する。

また、前記吹出しノズルの上下方向の寸法は、物品の上下方向の寸法より長く、かつ吹出しノルの上端が物体の上面より高く、吹出しノズルの下端が物体の下面より低いことが好ましい。

本発明においては、吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されているので、物品に付着している塵を吹き飛ばして確実に除塵できる。

本発明によれば、物体（手、人間、物品）にエアーを吹き付けることで当該物品に付着している水分または塵を確実に吹き飛ばして除塵または乾燥できる。

本発明の第１の実施形態に係るハンドドライヤーを示すもので、（ａ）はハンドドライヤーの側面図、（ｂ）はハンドドライヤーの正面図である。 同、エアーの吹出し方向を説明するための図である。 本発明の第２の実施形態に係るエアーシャワー装置を示すもので、（ａ）はエアーシャワー装置の側断面図、（ｂ）はエアーシャワー装置の正面図である。 同、エアーシャワー装置の平面図である。 同、エアーの吹出し方向を説明するための図である。 本発明の第３の実施形態に係るパスボックス素を示すもので、（ａ）はパスボックスの側断面図、（ｂ）はパスボックスの正面図である。 同、パスボックスの平面図である。 同、エアーの吹出し方向を説明するための図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１および図２は本発明に係るハンドドライヤーの実施形態を示すもので、図１（ａ）はハンドドライヤーの側面図、図１（ｂ）は同正面図、図２はエアーの吹出し方向を説明するための図である。

図１および図２に示すように、本実施形態のハンドドライヤー１０は、ケース１１とこのケース１１内に設けられたエアー吹付け装置２０とを備えている。
ケース１１は矩形箱状に形成されており、このケース１１内には、シンク１２が収容されている。ケース１１はシンク１２を収容するケース本体１１ａと、このケース本体１１ａの上部開口部に着脱可能に取り付けられた上部カバー１１ｂとを備えている。
上部カバー１１ｂには、シンク１２の上方において開口する手挿入口１１ｃが設けられている。この手挿入口１１ｃは、図１（ｂ）に示すように、横長の矩形状の開口となっている。

シンク１２は、矩形箱状に形成されており、その上部に開口が設けられている。この開口の上方に手挿入口１１ｃが配置されており、シンク１２は、開口と手挿入口１１ｃにより外部と連通している。シンク１２の底壁には排水口１６が垂設され、この排水口１６には、ケース本体１ａの下部に設けられる下部ドレンパンに向けて延びる排水管１７が接続されている。
また、シンク１２の上面側でかつ奥側には自動水栓１８が設けられ、この自動水栓１８には給水管１８ａが接続され、この給水管１８ａに水に含まれる異物を捕集するためのフィルタ１８ｂが接続され、このフィルタ１８ｂが上水道に接続されている。
また、ケース１１の内側上部には殺菌灯１９が設けられ、この殺菌灯１９により手に付着している菌を殺菌できるようになっている。

ケース１１の内部には前記エアー吹付け装置２０が設けられている。このエアー吹付け装置は、上下一対の吹出しノズル２１，２１と、当該吹出しノズル２１，２１に空気を供給する空気供給部２２とを備えている。

空気供給部２２は送風機２３を備えている。送風機２３はケース本体１ａの下部に設けられたケーシング２４の内部に設けられている。ケーシング２４の前面（図１（ｂ）において左面）は開口しており、この開口部に不織布等で形成されたプレフィルタ２５が設けられている。また、ケーシング２４の後面（図１（ｂ）における右面）は開口しており、この開口部にＨＥＰＡフィルタ２６が設けられている。
また、ケース１の右側面側には空気流通路２７が上下に延在して設けられ、当該空気流通路２７の上端部と前記吹付けノズル２１，２１の端部とが空気流通可能に接続されている。また、空気流通路２７の下端部と、ケーシング２４の後面側の開口とが空気流通可能に接続されている。
そして、このような構成の空気供給部２２では、送風機２３が起動することによって、ケース１１の内部の空気がプレフィルタ２５を通ってケーシング２４内に吸引され、さらに当該空気がＨＥＰＡフィルタ２６を通って空気流通路２７に供給される。空気流通路２７に供給された空気はプレフィルタ２５およびＨＥＰＡフィルタ２６によって異物が捕集された清浄な空気となり、当該空気が空気流通路２７を流通して吹出しノズル２１，２１にその端部から供給される。吹出しノズル２１，２１から吹き出された空気はケース１１の背面側に設けられた排気口１１ｄから下部に戻りプレフィルタ２５を通って循環する。

吹出しノズル２１，２１はケース１１の正面において、ケース１１の左右側壁部間に延在して設けられており、その外周面に設けられた吹出口２１ａから空気を吹き出すようになっている。吹出しノズル２１，２１は上下に平行離間して設けられ、図２に示すように、これら吹出しノズル２１，２１の間に人間の手Ｈが挿入され、当該手Ｈに向けて上下から空気を吹き出すようになっている。つまり、手Ｈをその手のひら面を下向きにして手挿入口１１ｃ（図１参照）から吹出しノズル２１，２１間に挿入した場合、手のひら面（下面）に向けて下側の吹出しノズル２１の吹出口２１ａから空気が吹出され、手の甲面（上面）に向けて上側の吹出しノズル２１の吹出口２１ａから空気が吹出されるようになっている。

吹出しノズル２１，２１は手Ｈの挿入方向（図２において左右方向）と直交する方向（図２において紙面と直交する方向）に延在する円筒状に形成され、上側の吹出しノズル２１の外周面の最下部に、吹出しノズル２１の延在方向と同方向に延びるスリット状の吹出口２１ａが設けられ、下側の吹出しノズル２１の外周面の最上部に、吹出しノズル２１の延在方向と同方向に延びるスリット状の吹出口２１ａが設けられている。
吹出しノズル２１の吹出口２１ａから吹き出されるエアーの吹出し角度θは０°～３５°に設定されているが、－３５°～３５°に設定してもよい。
但し、エアーの吹出し角度θは、吹出しノズル２１から手側でかつ手Ｈの挿入方向側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線ＫＬ１と、手Ｈの挿入方向に対して垂直な垂直仮想線ＫＬ２とのなす角度である。本実施の形態では、エアーの吹出し角度θは５°程度に設定されている。

ここで、エアーの吹出し角度θを０°～３５°に設定したのは、θが０°未満であると、吹出しノズル２１から吹き出されるエアーの殆どが手Ｈの挿入方向と逆側、つまり指側と逆側の手首側に向かうため、指に付着している水分が吹き飛ばされ難くなるとともに、手の両面から吹き飛ばされた水分がケース１１、つまりハンドドライヤー１０の外部に水滴として飛散し易くなるからあり、θが３５°を超えると、手Ｈに付着している水分が吹き飛ばされ難くなるからである。
エアーの吹出し角度θが０°～３５°であると、上下一対の吹出しノズル２１，２１から吹き出されたエアーがそれぞれ手Ｈの両面（手のひら面および甲面）に当たり、コアンダ効果によってエアーが手Ｈの両面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって手Ｈの両面に付着している水分が吹き飛ばされて、手Ｈの両面が乾燥される。
また、手Ｈの両面と略直交する側面側においては、一対の吹出しノズル２１，２１から吹き出されたエアーがぶつかり合って、手Ｈの側面ではコアンダ効果によってエアーが手Ｈの側面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって手Ｈの側面に付着している水分が吹き飛ばされる。
さらに、エアーの吹出し角度θの絶対値が小さいほど、吹出しノズル２１から吹き出されたエアーの一部が手首側に流れて指の水分が吹き飛ばされ難くなる一方、手Ｈの表面に付着している水分が吹き飛ばされ易くなるので、エアーの吹出し角度θはこれらの点を考慮して設定する。

また、吹出しノズル２１の吹出口２１ａの開口幅つまりノズル幅ｗ（図２参照）は、
１ｍｍ～２ｍｍに設定されている。ここで、吹出しノズル２１のノズル幅を１ｍｍ～２ｍｍに設定したのは、１ｍｍ未満では、吹出されるエアーの風量が少なくなって水分の吹き飛ばし効果を得難いからであり、２ｍｍを超えると、エアーの風速（吹出し速度）が小さくなって、水分の吹き飛ばし効果を得難いからである。
なお、本実施形態では、吹出口２１ａは、吹出しノズル２１の長手方向に所定間隔で２つ設けられ、各吹出口２１ａの長さは１００ｍｍとなっている。

また、吹出しノズル２１から吹き出されるエアーの吹出速度は１００ｍ／ｓ～１５０ｍ／ｓに設定されている。
ここで、吹出しノズル２１から吹き出されるエアーの吹出速度を１００ｍ／ｓ～１５０ｍ／ｓに設定したのは、１００ｍ／ｓ未満では、エアーの吹出速度が小さくなって水分の吹き飛ばし効果を得難いからであり、１５０ｍ／ｓを超えると、エアーの吹出速度が大きくなって吹き飛ばされた水分が飛び散ってケース１１から飛散する虞があるからである。

なお、本実施形態では、吹出しノズル２１を固定状態でケース１１に設けたが、これに限ることなく、吹出しノズル２１を側面視において左右に首振り可能に設けてもよい。この場合、エアーの吹出し角度θを０°～３５°の任意の角度に容易に設定できる。

以上説明したように、本実施形態のハンドドライヤー１０によれば、吹出しノズル２１，２１から吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されているので、手Ｈに付着している水分を確実に吹き飛ばして乾燥させることができる。
また、吹出しノズル２１は、空気供給部２２のプレフィルタ２５およびＨＥＰＡフィルタ２６によって異物が捕集された清浄な空気を吹き出すので、手Ｈに吹き出しエアーによって塵が付着するのを防止しながら、手Ｈの水分を吹き出して乾燥させることができる。

さらに、エアーが吹き出される吹出しノズル２１のノズル幅が１ｍｍ～２ｍｍ、吹出しノズル２１から吹き出されるエアーの吹出速度が１００ｍ／ｓ～１５０ｍ／ｓであるので、エアーによる水分の吹き飛ばし効果を適切に得ることができる。

（第２の実施形態）
図３～図５は本発明に係るエアーシャワー装置の実施形態を示すもので、図３（ａ）はエアーシャワー装置の側断面図、図３（ｂ）は同正面図、図４は同平面図、図５はエアーの吹出し方向を説明するための図である。

図３～図４に示すように、本実施形態のエアーシャワー装置３０は、箱形の本体ケース３２と、当該本体ケース３２内に設けられたエアー吹付け装置４０とを備えている。
本体ケース３２には隔壁３３，３３が対向して設けられ、当該隔壁３３，３３間が本体ケース３２内を前面側から背面側にかけて貫通するシャワー室３４とされている。また、隔壁３３と本体ケース３２との間は、空気清浄化室３５とされている。シャワー室３４の両端にはドア３６，３６が設けられ、一方は外部に、他方はクリーンルームに連なっている。そして、一方のドア３６を開けて人間Ｎ（図５参照）が外部からシャワー室３４に入り、他方のドア３６を開けて人間Ｎがシャワー室３４からクリーンルームに入るようになっている。

空気清浄化室３５はシャワー室３４を挟んで左右両側に配置されている。つまり、本実施形態のエアーシャワー装置３０は左右一対の空気清浄化室３５，３５を備えている。
空気清浄化室３５，３５にはエアー吹付け装置４０を構成する左右一対の吹出しノズル４１，４１が設けられている。つまり、一方の空気清浄化室３５に一方の吹出しノズル４１が設けられ、他方の空気清浄化室３５に他方に吹出しノズル４１が設けられている。
吹出しノズル４１は人間Ｎの通過方向（図３（ａ）において左右方向）と交差する方向（図３において上下方向、図４において紙面と直交する方向）に沿って延在し、かつシャワー室３４に居る人間Ｎにエアーを吹き付けるようになっている。また、吹付けノズル４１は隔壁３３にその幅方向中央部において固定されている。

また、空気清浄化室３５には、空気流通路３５ａが上下に延在して設けられており、当該空気流通路３５ａを形成する壁に送風機３７が設けられている。また、空気清浄化室３５とシャワー室３４とはそれらの底部において開口によって連通しており、この開口に多数の吸込口を有する吸込板３８が設けられ、この吸込板３８に不織布やメッシュ状の織布等で形成されたプレフィルタ３９が設けられている。
また、空気流通路３５ａの上部には、メインフィルタ３５ｂが吹出しノズル４１と対向して設けられている。
さらに、空気清浄化室３５には、メインフィルタ３５ｂより下方位置において仕切壁３５ｃが設けられ、この仕切壁３５ｃによって空気清浄化室３５は上下に区画されている。

このような空気清浄化室３５では、送風機３７を起動すると、シャワー室３４内の空気が吸込板３８を通して吸い込まれ、プレフィルタ３９によって塵等の異物が捕集されたうえで、空気流通路３５ａに入り、この空気流通路３５ａを上側に流通し、さらに、メインフィルタ３５ｂによって細かな異物が捕集されて清浄な空気となり、この空気が空気清浄化室３５の仕切壁３５ｃより上側の部分に入る。この部分に入った空気は吹出しノズル４１に流入し、その吹出口４１ａからシャワー室３４に向けて吹き出される。

吹出しノズル４１，４１は人間Ｎの通過方向と直交する方向（図３におい上下方向、図４および図５において紙面と直交する方向）に延在する円筒状に形成され、吹出しノズル４１，４１の対向する外周部に上下方向に延在するスリット状の吹出口４１ａ，４１ａが設けられている。
また、図５に示すように、吹出しノズル４１の吹出口４１ａから吹き出されるエアーの吹出し角度θは０°～３５°に設定されているが、－３５°～３５°に設定してもよい。
但し、エアーの吹出し角度θは、吹出しノズル４１から人間側でかつ人間Ｎの進入方向方と逆側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線ＫＬ１と、人間Ｎの進入方向に対して垂直な垂直仮想線ＫＬ２とのなす角度である。また、本実施の形態では、エアーの吹出し角度θは５°程度に設定されている。

ここで、エアーの吹出し角度θを０°～３５°に設定したのは、θが０°未満であると、吹出しノズル４１から吹き出されるエアーの殆どが人間Ｎの進入方向に向かうため、人間Ｎ（の衣服）から吹き飛ばされた塵が人間Ｎの進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるからであり、θが３５°を超えると、人間Ｎ（の衣服）に付着している塵が吹き飛ばされ難くなるからである。
エアーの吹出し角度θが０°～３５°であると、左右一対の吹出しノズル４１，４１から吹き出されたエアーがそれぞれ人間Ｎの対向する表面（正面および背面）に当たり、コアンダ効果によってエアーが人間Ｎの両表面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって人間Ｎの両表面に付着している塵が吹き飛ばされて、除塵される。
また、人間Ｎの表面と略直交する肩の上面側および頭の上面側においては、一対の吹出しノズル４１，４１から吹き出されたエアーがぶつかり合って、人間Ｎの肩の上面および頭の上面ではコアンダ効果によってエアーが人間Ｎの肩の上面および頭の上面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって人間Ｎの肩の上面および頭の上面に付着している塵が吹き飛ばされる。
さらに、エアーの吹出し角度θが小さいほど、人間Ｎの表面に付着している塵が吹き飛ばされ易くなる一方、吹き飛ばされた塵が人間Ｎの進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるので、エアーの吹出し角度θはこれらの点を考慮して設定する。

また、吹出しノズル４１の吹出口４１ａの開口幅つまりノズル幅ｗ（図３（ａ）参照）は、３０ｍｍ～５０ｍｍに設定されている。ここで、吹出しノズル４１のノズル幅を３０ｍｍ～５０ｍｍに設定したのは、３０ｍｍ未満では、吹出されるエアーの風量が少なくなって除塵効果を得難いからであり、５０ｍｍを超えると、エアーの風速（吹出し速度）が小さくなって、除塵効果を得難いからである。

また、吹出しノズル４１から吹き出されるエアーの吹出速度は１８ｍ／ｓ～３０ｍ／ｓに設定されている。
ここで、吹出しノズル４１から吹き出されるエアーの吹出速度を１８ｍ／ｓ～３０ｍ／ｓに設定したのは、１８ｍ／ｓ未満では、エアーの吹出速度が小さくなって除塵効果を得難いからであり、３０ｍ／ｓを超えると、エアーの吹出速度が大きくなって吹き飛ばされた塵が飛び散って、隔壁３３，３３で反射して人間Ｎに再付着する虞があるからである。

なお、本実施形態では、吹出しノズル４１を固定状態で隔壁３３に設けたが、これに限ることなく、吹出しノズル３１を平面視において左右に首振り可能に設けてもよい。この場合、エアーの吹出し角度θを０°～３５°の任意の角度に容易に設定できる。

以上説明したように、本実施形態のエアーシャワー装置３０によれば、吹出しノズル４１，４１から吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されているので、人間Ｎに付着している塵を確実に吹き飛ばして除塵できる。
また、吹出しノズル４１は、空気清浄化室３５のプレフィルタ３９およびメインフィルタ３５ｂによって異物が捕集された清浄な空気を吹き出すので、人間Ｎに吹き出しエアーによって塵が付着するのを防止できる。

（第３の実施形態）
図６～図８は本発明に係るパスボックスの実施形態を示すもので、図６（ａ）はパスボックスの側断面図、図６（ｂ）は同正面図、図７は同平面図、図８はエアーの吹出し方向を説明するための図である。

図６～図７に示すように、本実施形態のパスボックス５０は、箱形の本体ケース５２と、この本体ケース５２が設置されるケース架台５２ａと、本体ケース５２内に設けられたエアー吹付け装置７０とを備えている。
本体ケース５２には隔壁５３ａ，５３ａが対向して設けられ、当該隔壁５３ａ，５３ａの上端部には天井壁５３ｂが隔壁５３ａ，５３ａを連結するようにして設けられ、隔壁５３ａ，５３ａの下端部には底壁５３ｃが隔壁５３ａ，５３ａを連結するようにして設けられている。そして、隔壁５３ａ，５３ａと天井壁５３ｂと底壁５３ｃとで囲まれた空間が本体ケース５２内を前面側から背面側にかけて貫通するシャワー室５４とされている。
また、隔壁５３ａ，５３ａおよび天井壁５３ｂの外側でかつ本体ケース５２の内側には内ケース５５が設けられ、この内ケース５５と本体ケース５２との間に空気流通路５６が設けられている。この空気流通路５６は正面視において略門形に形成されている。

また、本体ケース５２の内側上部には、チャンバ５７が設けられ、このチャンバ５７内と空気流通路５６とは連通している。また、チャンバ５７の上面にはファン５８が設けられ、下面にはメインフィルタ５９が設けられている。
また、内ケース５５の上壁はメインフィルタ５９に密接しており、当該上壁には空気を通す開口がメインフィルタ５９に対向して設けられている。
また、内ケース５５の両側壁と前記隔壁５３ａ，５３ａとの間および内ケース５５の上壁と前記天井壁５３ｂとの間は空気清浄化室６０とされている。また、底壁５３ｃとケース架台５２ａとの間は排気室６１とされ、この排気室６１と空気流通路５６，５６とが連通している。さらに、底壁５３ｃは多数の吸入口を有する吸込板６２を備えており、シャワー室５４と排気室６１とは吸込板６２を介して連通している。また、吸込板６２には不織布等で形成されたプレフィルタ６３が設けられている。
また、シャワー室５４の両端にはドア６４，６４が設けられ、一方は外部に、他方はクリーンルームに連なっている。そして、一方のドア６４を開けて物品Ｂ（図８参照）が外部からシャワー室５４に搬入され、他方のドア６４を開けて物品Ｂがシャワー室５４からクリーンルームに搬出されるようになっている。

空気清浄化室６０にはエアー吹付け装置７０を構成する左右一対の吹出しノズル７１，７１が設けられている。一方の吹出しノズル７１は空気清浄化室６０を形成する一方の隔壁５３ａに設けられ、他方の吹出しノズル７１は空気清浄化室６０を形成する他方の隔壁５３ａに設けられている。
吹出しノズル７１は物品Ｂの通過方向（図６（ａ）において左右方向）と交差する方向（図６において上下方向、図７において紙面と直交する方向）に沿って延在し、かつシャワー室５４に搬入される物品Ｂにエアーを吹き付けるようになっている。また、吹付けノズル７１は隔壁５３ａにその幅方向中央部において固定されている。

このような空気清浄化室６０では、ファン５８を起動すると、シャワー室５４内の空気が吸込板６２を通して吸い込まれ、プレフィルタ６３によって塵等の異物が捕集されたうえで、排気室６１から空気流通路５６に入り、この空気流通路５６を上側に流通してチャンバ５７に流入し、さらに、メインフィルタ５９によって細かな異物が捕集されて清浄な空気となり、この清浄な空気が空気清浄化室６０に入る。この空気清浄化室６０に入った空気は吹出しノズル７１，７１に流入し、その吹出口７１ａ，７１ａからシャワー室５４に向けて吹き出される。

吹出しノズル７１，７１は物品Ｂの通過方向と直交する方向（図６におい上下方向、図７および図８において紙面と直交する方向）に延在する円筒状に形成され、吹出しノズル７１，７１の対向する外周部に上下方向に延在するスリット状の吹出口７１ａ，７１ａが設けられている。
また、図８に示すように、吹出しノズル７１の吹出口７１ａから吹き出されるエアーの吹出し角度θは０°～３５°に設定されているが、－３５°～３５°に設定してもよい。
但し、エアーの吹出し角度θは、吹出しノズル７１から物品側でかつ物品Ｂの進入方向方と逆側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線ＫＬ１と、物品Ｂの進入方向に対して垂直な垂直仮想線ＫＬ２とのなす角度である。また、本実施の形態では、エアーの吹出し角度θは５°程度に設定されている。

ここで、エアーの吹出し角度θを０°～３５°に設定したのは、θが０°未満であると、吹出しノズル７１から吹き出されるエアーの殆どが物品Ｂの進入方向に向かうため、物品Ｂから吹き飛ばされた塵が物品Ｂの進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるからであり、θが３５°を超えると、物品Ｂに付着している塵が吹き飛ばされ難くなるからである。
エアーの吹出し角度θが０°～３５°であると、左右一対の吹出しノズル７１，７１から吹き出されたエアーがそれぞれ物品Ｂの対向する表面（両側面）に当たり、コアンダ効果によってエアーが物品Ｂの両側面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって物品Ｂの両側面に付着している塵が吹き飛ばされて、除塵される。
また、物品Ｂの上面側および下面側（物品Ｂの下面と底壁５３ｃとの間に所定の間隔がある場合の下面側）においては、一対の吹出しノズル７１，７１から吹き出されたエアーがぶつかり合って、物品Ｂの上面および下面ではコアンダ効果によってエアーが物品Ｂの上面および下面に沿って脈動を打ちながら流れるので、このエアーによって物品Ｂの上面および下面に付着している塵が吹き飛ばされる。
さらに、エアーの吹出し角度が小さいほど、物品Ｂの表面に付着している塵が吹き飛ばされ易くなる一方、吹き飛ばされた塵が物品Ｂの進入方向前方にあるクリーンルーム等に侵入する虞があるので、エアーの吹出し角度θはこれらの点を考慮して設定する。

また、吹出しノズル７１の吹出口７１ａの開口幅つまりノズル幅ｗ（図６（ａ）参照）は、３０ｍｍ～５０ｍｍに設定されている。ここで、吹出しノズル７１のノズル幅を３０ｍｍ～５０ｍｍに設定したのは、３０ｍｍ未満では、吹出されるエアーの風量が少なくなって除塵効果を得難いからであり、５０ｍｍを超えると、エアーの風速（吹出し速度）が小さくなって、除塵効果を得難いからである。

また、吹出しノズル７１から吹き出されるエアーの吹出速度は１８ｍ／ｓ～３０ｍ／ｓに設定されている。
ここで、吹出しノズル７１から吹き出されるエアーの吹出速度を１８ｍ／ｓ～３０ｍ／ｓに設定したのは、１８ｍ／ｓ未満では、エアーの吹出速度が小さくなって除塵効果を得難いからであり、３０ｍ／ｓを超えると、エアーの吹出速度が大きくなって吹き飛ばされた塵が飛び散って、隔壁５３ａ，５３ａで反射して物品Ｂに再付着する虞があるからである。

なお、本実施形態では、吹出しノズル７１を固定状態で隔壁５３ａに設けたが、これに限ることなく、吹出しノズル７１を平面視において左右に首振り可能に設けてもよい。この場合、エアーの吹出し角度θを０°～３５°の任意の角度に容易に設定できる。

以上説明したように、本実施形態のパスボックス５０によれば、吹出しノズル７１，７１から吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されているので、物品Ｂに付着している塵を確実に吹き飛ばして除塵できる。
また、吹出しノズル７１は、プレフィルタ６３およびメインフィルタ５９によって異物が捕集された清浄な空気を吹き出すので、物品Ｂに吹き出しエアーによって塵が付着するのを防止できる。

Ｈ 手（物体）
Ｎ 人間（物体）
Ｂ 物品（物体）
θ エアーの吹出し角度
ＫＬ１ 気流仮想線
ＫＬ２ 垂直仮想線
１０ ハンドドライヤー
３０ エアーシャワー装置
５０ パスボックス
２０，４０，７０ エアー洗浄装置
２１，４１，７１ 吹出しノズル

Claims (2)

1. エアーを吹き付けるエアー吹付け装置を備えたエアーシャワー装置であって、
   前記エアー吹付け装置は、互いに平行離間して設けられ、間に人間が進入する一対の吹出しノズルを備え、
   前記吹出しノズルは、前記人間の進入方向と交差する方向に沿って延在し、かつ前記人間にエアーを吹き付け、
   前記吹出しノズルから吹き出されるエアーの吹出し角度θが０°～３５°に設定されていることを特徴とするエアーシャワー装置。
   但し、前記エアーの吹出し角度θは、前記吹出しノズルから人間側でかつ前記人間の進入方向と逆側に向けて吹出される吹出しエアーの気流仮想線と、前記人間の進入方向に対して垂直で、かつ、前記吹出しノズルの延在方向に対して垂直な垂直仮想線とのなす角度である。
2. 前記吹出しノズルは、前記エアー吹付け装置に備えられたプレフィルタおよびメインフィルタによって異物が捕集された清浄な空気を吹き出すことを特徴とする請求項１に記載のエアーシャワー装置。

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