JPS62196537A - エア−シヤワ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は入室者の着衣に付着した塵埃によってクリーン
ルームの汚染を防ＩＦするために必要なだけの塵埃を短
時間で離脱させることに好適なエアーシャワー装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

従来のエアーシャワー装置は特開昭６０−１２０５３９
号に記載のように低風速吹出しの天井部吹出［１と、高
風速吹出しの側面部吹出口により構成されていた。しか
し、高風速吹出しの時間だけで管理されており、この高
風速吹出しによって、実際に入室者に入室者の着衣がク
リーン化されたかどうかを調べるという点については配
慮されていなかった。

〔発明が解決しようどする問題〕

上記従来の技術では入室者の着衣に付着した塵埃髪除去
するためのエアーシャワー室側面からの高風速吹出しの
吹出時間は入室者がエアーシャワー室に入ってからの入
室時間として設定されているだけがあった。このため、
着衣の付着塵埃が除去されなくても設定時間になると吹
出しが停止してしまい。入室者が塵埃が付着した着衣の
ままクリーンルームに入室する可能性があり、クリーン
ルームの汚染を引起すという問題があった。

逆に、付着した塵埃が離脱除去された後にも高風速吹出
しは設定時間まで継続され、必要以−ヒの時間をエアー
シャワー室で費す場合もある。

本発明の目的は入室者がクリーンルームを汚染すること
のない必要最小限の時間が通過し得るエアーシャワー装
置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

一ヒ記問題点はエアーシャワー室と、このエアーシャワ
ー室の天井部から該室にエアーを供給するための第１の
送風機と、第１の送風機からのエアーをクリーン化する
ための第１の高性能フィルタと、エアーシャワー室の側
面部から該室にエアーを供給する第２の送風機と、第２
の送線機からのエアーをクリーン化するための第２の高
性能フィルタと、エアーシャワー室に供給されたエアー
を排気する排気口を備え、エアーシャワー室のエアー排
出部にエアーシャワー室の作動中のクリーン度を検出す
る浮遊塵埃検出手段を設けることによって解決される。

〔作用〕

一ヒ記浮遊塵埃検出手段はエアーシャワー室内に浮遊す
る塵埃数を検出し、その検出値と設定値とを比較し、設
定値のクリーン度が得られると通常、高風速吹出しの第
２の送風機を停止することにより完了させる。

このようにすることによって、入室者の着衣に付着した
塵埃を高風速吹出しで離脱させ、クリーンルームを汚染
しかい十分なりリーン度が短時間に得られる。

また、入室者の着衣が比較的きれいだった場合にはエア
ーシャワー室を通過する時間を時間管理だけのエアーシ
ャワー装置に比べ短縮できる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図、第２図は本発明の第１の実施例を示す図で、第
１図はエアーシャワー室の断面正面図であり、第２図は
第１図の１’　−Ｔ線矢視図である。

エアーシャワー装置はエアーシャワー室１と。

エアーシャワー室１の天井部からこのエアーシャワー室
１にエアーを供給するための第１の送風機２と、この第
１の送風機２からのエアーをクリーン化するための第１
の高性能フィルタ３と、エアーシャワー室１の側面部か
らこのエアーシャワー室１にエアーを供給するための第
２の送風機４と、第２の送風機４からのエアーをクリー
ン化するための第２の高性能フィルタ５と、このフィル
タ５を経てエアーシャワー室１にクリーンエアーを噴出
するノズル６と、エアーシャワー室１に供給されたエア
ーを排気する排気ロアと、この１［気ロアに取付けたプ
レフィルタ８と、プレフィルタ８を通過したエアーを前
記送風機２，５に戻すための循環ダクト９とを備えてな
る。前記エアーシャワー室１の排気ロア部にはエアーシ
ャワー室］の作動中のクリーン度を検出し、またモニタ
するための浮遊塵埃検出装置１０のサンブリンクチュー
ブ】１が設けられている。この検出装置１０には検出制
御装置１２が付設されており、例えば入室者１３がエア
ーシャワー室１に入り、菖風速吹出しの第２の送風機５
のスイッチになっているエアーシャワー１の床板１４に
踏んだ時点から浮遊塵埃の開側を検出装置】０により開
始される。さらに、検出制御装置１２の時々刻々変化す
る浮遊塵埃数を表示部１５に伝達しモニタリングできる
ようにすると共に、その値を設定部１６のエアーシャワ
ー室ｌでの設定クリーン度と比較し、エアーシャワー室
１のクリーン度が設定値以上になった時点で高風速吹出
しの第２の送風機５を停止させる信号を送信する。

上記のように、入室＃１１３の着衣に付着した塵埃の高
風速吹出しでの離脱はクリーンルームを汚染しない十分
なりリーン度を短時間で、しかもそのクリーン度を保障
して達成できる。また、逆に入室者１３の着衣が比較的
きれいな場合にはエアーシャワー室１を通過する時間が
これまでの時間管理だけに依存するエアーシャワー装置
に比較して短縮されるこになり、生産工場では実生産時
間を増大し得る。

前記エアーシャワー室１内の達成目標のクリーン度は第
２図に示すエア−シャワー室１側面の設定部１６で任意
値に設定できる。また、表示部１５は入室者１３自身が
クリーン度の変化をモニタリングするために設けられて
いる。

′　　第３図は本発明の第２の実施例を示す図で、エア
ーシャワー室の断面正面図である。エアーシャワー室を
並設したエアーシャワー装置において、図に例示のよう
に二つのエアーシャワー室１内の浮遊塵埃一つの浮遊塵
埃検出装置１０で計測するように構成したものである。

本実施例の場合にもサンプリングされるエアーはサンプ
リングチューブ１１より浮遊塵埃検出装置１０に導びか
られ検出される。サンプリングチューブ１１の途中には
サンプリングエアーの切換えを行う切換器１７が配設さ
れており、交互にあるいは一方に導入を行う。

本実施例では浮遊塵埃検出装置の共用によってエアーシ
ャワー装置身体を簡素化できる効果がある。

第４図は本発明の第３の実施例を示す図で、エアーシャ
ワー室の断面平面図である。エアーシャワー室１を入室
者１３の進行方向に多数連結して構成されるウオークス
ルー型のエアーシャワー装置に適用したものである。従
来のこの種の装置においては設定時間の経過後、順次、
次のエアーシャワー室に進行するような表示を行ってい
た。しかし、本実施例の場合には第１の室ではクラス＋
００００　、第２の室ではクラス１０００、そして第３
の室ではクラス１００のように進行方向に従って高いク
リーン度に設定値を定めておき、各室でのクリーン度が
達成された後に火室に進行するようにしたものである。

この進行の表示は例えば赤青ランプ板で行う。各室の浮
蓼塵埃の検出は各室に浮遊塵埃検出装置１０を設けるよ
うにしてもよいのはもちろん、前記第２の、実施例のよ
うなサンプリングエアーの切換方式を採用することも可
能である。図において、１９はエアーシャワー室１へ出
入りする扉である。

本実施例によれば、扉の開閉に要する時間をある程度省
略することが可能であると共に、多くの入室者１３を短
時間でエアーシャワー室を通過させることができる。

第１５図は本発明の第４の実施例を示す図で、エアーシ
ャワー室の断面平面図である。本実施例ではエアーシャ
ワー室１にエアーを供給する第１の送風機２の吹出しを
準備室２０側にも送出することのできる切換弁２１が配
置されて構成され、エアーシャワー室１内が設定された
クリーン度に達すると、第１の送風機２の吹出しはエア
ーを準備室２０側に向けて吹出すように切換弁２１を切
換える。これによって、エアーシャワー室１内の圧力を
低下させることができる。クリーンルーム２２に通じる
側の扉１９を開口した場合、クリーンルーム２２からエ
アーシャワー室に向う気流が生じ、エアーシャワー室１
の角部に浮遊している塵埃がクリーンルーム２２内に侵
入するのを避けることがでる。

また、図において、１０は浮遊塵埃検出装置であり、１
２は検出制御装置である。

前記検出制御装置１２により第２の送風機４が作動し高
風速吹出し中の場合には扉１９をロック状態にし、エア
ーシャワー室１内が設定クリーン度に達し、また、エア
ーシャワー室内の圧力が低下後に扉１９をアンロックす
る。

本実施例によれば入室者１３の着衣のクリーン度は確実
に保障され、またクリーンルーム２２を汚染しない効果
が得られる。

尚、エアーシャワー室１内の圧力を低下させる手段とし
て本実施例では第１の送風機２からの工アーを切換えて
エアーシャワー室１の外部に排出することによって実行
するようにしたが、別に送風機を設置することによって
行うことができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によればエアーシャワー室
のエアー排気口部に浮遊塵埃検出手段を設はエアーシャ
ワー室のクリーン度を検出するようにしたので、入室者
の着衣から塵埃の離脱状況が確認できると共に、着衣の
クリーン度を保障し、またクリーンルームを汚染するこ
とのない必要最小限の時間でエアーシャワー室を通過し
得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の第１の実施例を示す図で、第
１図はエアーシャワー室の断面正面図、第２図は第１図
のＩ−Ｔ線矢視図、第３図は本発明の第２の実施例を示
す図で、エアーシャワー室の断面正面図、第４図は本発
明の第３実施例を示す図で、エアーシャワー室の断面平
面図、第５図は本発明の第４の実施例を示す図で、エア
ーシャワー室の断面平面図である。 ■・・・エアーシャワー室、２・・・第１の送風機、３
・・・第１の高性能フィルタ、４・・・第２の送風機、
５・・・第２の高性能フィルタ、６・・・ノズル、７・
・・排気口、１０・・・浮遊塵埃検出装置、１２・・・
検出制御装置、１５・・・浮遊塵埃の表示部、１６・・
・クリーン度の設定部、１７・・・サンプリングエアー
の切換器、２２・・・クリーンルーム。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、エアーシャワー室と、前記エアーシャワー室の天井
   部から該室にエアーを供給するための第１の送風機と、
   前記第１の送風機からエアーをクリーン化するための第
   １の高性能フィルタと、前記エアーシャワー室の側面部
   から該室にエアーを供給する第２の送風機と、前記第２
   の送風機からのエアーをクリーン化するための第２の高
   性能フィルタと、前記第２の高性能フィルタを経て前記
   エアーシャワー室にクリーンエアーを噴出するノズルと
   、前記エアーシャワー室に供給されたエアーを排気する
   排気口を備え、前記エアーシャワー室のエアー排気口部
   にエアーシャワー室のクリーン部を検出するための浮遊
   塵埃検出手段を設けたことを特徴とするエアーシャワー
   装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記浮遊塵埃検出
   手段は前記エアーシャワー室内が所定のクリーン度に達
   するまでクリーンルームに通じる扉をロックすることを
   特徴とするエアーシャワー装置。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記浮遊塵埃検出
   手段は前記エアーシャワー室内に入室者が入ることによ
   って検出を開始することを特徴とするエアーシャワー装
   置。 ４、特許請求の範囲第３項において、前記浮遊塵埃検出
   手段は該検出経過を前記エアーシシャワー室内に表示す
   ることを特徴とするエアーシャワー装置。 ５、特許請求の範囲第１項において、前記浮遊塵埃検出
   手段は前記エアーシャワー室と別に設置されるエアーシ
   ャワー室と切替手段によって共用いられるように構成さ
   れていることを特徴とするエアーシャワー装置。 ６、特許請求の範囲第１項において、前記エアーシャワ
   ー室を入室者の進行方向に複数配列し、前記エアーシャ
   ワー室は進行方向出口に向かって順次高い清浄度に設定
   され、入室者の清浄度達成状況に応じて順次前記エアー
   シャワー室を進行し得るように構成されている特徴とす
   るエアーシャワー装置。 ７、特許請求の範囲第６項において、前記入室者の清浄
   度達成状況は赤青ランプ方式で表示されることを特徴と
   するエアーシャワー装置。