JP2002164527A5 - - Google Patents
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【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、この発明は固体撮像装置に係り、その固体撮像装置の基本構成として、図2及び図4に示すように、光照射により光発生電荷を発生させる受光ダイオード111と、受光ダイオード111に隣接する、光発生電荷をゲート電極59下方のチャネル領域54c下に蓄積し、蓄積された光発生電荷により閾値電圧を変調させて光信号を検出する光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112とを備えた単位画素101が行と列に配列されてなり、図1、図3、図5乃至図8に示すように、受光ダイオード111は自らの単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112と、隣接する単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112とによってその周辺部を囲まれ、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112は自らの単位画素の受光ダイオード111と、隣接する単位画素の受光ダイオード111とによってその周辺部を囲まれて配置されていることを特徴としている。
また、同一の行内にある絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112のゲート電極59が相互に接続され、かつ同一の列内にある絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112のソース領域56が相互に接続されていることを特徴としている。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、この発明は固体撮像装置に係り、その固体撮像装置の基本構成として、図2及び図4に示すように、光照射により光発生電荷を発生させる受光ダイオード111と、受光ダイオード111に隣接する、光発生電荷をゲート電極59下方のチャネル領域54c下に蓄積し、蓄積された光発生電荷により閾値電圧を変調させて光信号を検出する光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112とを備えた単位画素101が行と列に配列されてなり、図1、図3、図5乃至図8に示すように、受光ダイオード111は自らの単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112と、隣接する単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112とによってその周辺部を囲まれ、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112は自らの単位画素の受光ダイオード111と、隣接する単位画素の受光ダイオード111とによってその周辺部を囲まれて配置されていることを特徴としている。
また、同一の行内にある絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112のゲート電極59が相互に接続され、かつ同一の列内にある絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112のソース領域56が相互に接続されていることを特徴としている。
【0011】
また、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112のゲート電極59はリング状を有し、ゲート電極59の内周部の内側にn型(反対導電型)のソース領域56が設けられ、ゲート電極59の外周部の外側にn型(反対導電型)のドレイン領域57aが設けられ、かつ受光ダイオード111及び絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112はドレイン領域57aと同じ導電型(反対導電型)を有する拡散分離領域53が一連なりとなっている素子分離領域によって囲まれている。この場合、拡散分離領域53は、p型(一導電型)を有するウエル領域(一導電型の半導体層)54a,54bよりも深い、n型(反対導電型)の導電型不純物領域がドレイン領域57aと接続して形成されてなることを特徴としている。
また、単位画素101は、同じ行内ではドレイン領域によって繋がっており、かつ行毎に絶縁膜により分離され、又は一導電型の拡散領域により分離されていることを特徴としている。
また、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112のゲート電極59はリング状を有し、ゲート電極59の内周部の内側にn型(反対導電型)のソース領域56が設けられ、ゲート電極59の外周部の外側にn型(反対導電型)のドレイン領域57aが設けられ、かつ受光ダイオード111及び絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112はドレイン領域57aと同じ導電型(反対導電型)を有する拡散分離領域53が一連なりとなっている素子分離領域によって囲まれている。この場合、拡散分離領域53は、p型(一導電型)を有するウエル領域(一導電型の半導体層)54a,54bよりも深い、n型(反対導電型)の導電型不純物領域がドレイン領域57aと接続して形成されてなることを特徴としている。
また、単位画素101は、同じ行内ではドレイン領域によって繋がっており、かつ行毎に絶縁膜により分離され、又は一導電型の拡散領域により分離されていることを特徴としている。
【0012】
さらに、固体撮像装置内の単位画素101の平面配置においては、特に、図5乃至図8に示すように、行方向に沿って及び列方向に沿って受光ダイオード111とゲート電極59とが交互に並んでいることを特徴としている。
この場合、例えば、図5に示すように、同一の行内の単位画素101の並びは行方向に沿って直線状になっており、かつ受光ダイオード111の並びは行方向に沿ってジグザクとなっている。また、例えば、図6乃至図8に示すように、受光ダイオード111の並び以外に、同一の行内の単位画素101の並びが、行方向に沿ってジグザクとなっている。
さらに、固体撮像装置内の単位画素101の平面配置においては、特に、図5乃至図8に示すように、行方向に沿って及び列方向に沿って受光ダイオード111とゲート電極59とが交互に並んでいることを特徴としている。
この場合、例えば、図5に示すように、同一の行内の単位画素101の並びは行方向に沿って直線状になっており、かつ受光ダイオード111の並びは行方向に沿ってジグザクとなっている。また、例えば、図6乃至図8に示すように、受光ダイオード111の並び以外に、同一の行内の単位画素101の並びが、行方向に沿ってジグザクとなっている。
【0013】
以下に、上記構成により奏される作用・効果を説明する。
本発明の固体撮像装置では、光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112とを備えた単位画素101が行と列に配列されてなり、受光ダイオード111は自らの及び隣接する単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112によってその周辺部を囲まれ、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112は自らの及び隣接する単位画素の受光ダイオード111によってその周辺部を囲まれている。即ち、図1、図3、図5乃至図8に示すような画素配置となる。この場合、一つの画素101において、外周部の平面形状が四辺以上の辺を有する多角形状又は円形状であるようなリング状のゲート電極59が設けられ、受光ダイオード111がゲート電極59の多角形の少なくとも一辺に、又は円形状の円周の一部分に隣接して設けられている。
以下に、上記構成により奏される作用・効果を説明する。
本発明の固体撮像装置では、光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112とを備えた単位画素101が行と列に配列されてなり、受光ダイオード111は自らの及び隣接する単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112によってその周辺部を囲まれ、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ112は自らの及び隣接する単位画素の受光ダイオード111によってその周辺部を囲まれている。即ち、図1、図3、図5乃至図8に示すような画素配置となる。この場合、一つの画素101において、外周部の平面形状が四辺以上の辺を有する多角形状又は円形状であるようなリング状のゲート電極59が設けられ、受光ダイオード111がゲート電極59の多角形の少なくとも一辺に、又は円形状の円周の一部分に隣接して設けられている。
【0022】
図1に示すように、受光ダイオード111と、受光ダイオード111に隣接する光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(以下、単にMOSトランジスタと称する場合もある。)112とを備えた単位画素101が行と列に配列されている。MOSトランジスタ112としてnチャネルMOS(nMOS)を用いている。単位画素101は拡散分離領域53が一連なりとなっている素子分離領域によって囲まれている。また、MOSトランジスタ112の部分のゲート電極59は周縁部が八角形状を有し、帯状、かつリング状を有している。
図1に示すように、受光ダイオード111と、受光ダイオード111に隣接する光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(以下、単にMOSトランジスタと称する場合もある。)112とを備えた単位画素101が行と列に配列されている。MOSトランジスタ112としてnチャネルMOS(nMOS)を用いている。単位画素101は拡散分離領域53が一連なりとなっている素子分離領域によって囲まれている。また、MOSトランジスタ112の部分のゲート電極59は周縁部が八角形状を有し、帯状、かつリング状を有している。
【0026】
次に、図2を参照して本発明の実施の形態に係るMOS型イメージセンサの一つの単位画素101の断面構造について説明する。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。
図2に示すように、受光ダイオード111とMOSトランジスタ112は、それぞれ異なるp型のウエル領域、即ち第1のウエル領域(一導電型の半導体層)54aと第2のウエル領域(一導電型の半導体層)54bに形成され、それらのウエル領域54a、54bは互いに接続されている。受光ダイオード111の部分の第1のウエル領域54aは光照射による電荷の発生領域の一部を構成している。MOSトランジスタ112の部分の第2のウエル領域54bはこの領域54bに付与するポテンシャルによってチャネルの閾値電圧を変化させることができるゲート領域を構成している。
次に、図2を参照して本発明の実施の形態に係るMOS型イメージセンサの一つの単位画素101の断面構造について説明する。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。
図2に示すように、受光ダイオード111とMOSトランジスタ112は、それぞれ異なるp型のウエル領域、即ち第1のウエル領域(一導電型の半導体層)54aと第2のウエル領域(一導電型の半導体層)54bに形成され、それらのウエル領域54a、54bは互いに接続されている。受光ダイオード111の部分の第1のウエル領域54aは光照射による電荷の発生領域の一部を構成している。MOSトランジスタ112の部分の第2のウエル領域54bはこの領域54bに付与するポテンシャルによってチャネルの閾値電圧を変化させることができるゲート領域を構成している。
【0033】
また、垂直出力線60a,60b,・・・が列毎に一つずつ出ており、各垂直出力線60a,60b,・・・は列方向に並ぶ全ての単位画素101内のMOSトランジスタ112のソース領域56にそれぞれ接続されている。
さらに、MOSトランジスタ112のソース領域56は列毎に垂直出力線60a,60b,・・・を通して信号出力回路105と接続している。そして、図10に示すように、ソース領域56は上記の信号出力回路105内の図示しないキャパシタからなるラインメモリと直結している。
また、垂直出力線60a,60b,・・・が列毎に一つずつ出ており、各垂直出力線60a,60b,・・・は列方向に並ぶ全ての単位画素101内のMOSトランジスタ112のソース領域56にそれぞれ接続されている。
さらに、MOSトランジスタ112のソース領域56は列毎に垂直出力線60a,60b,・・・を通して信号出力回路105と接続している。そして、図10に示すように、ソース領域56は上記の信号出力回路105内の図示しないキャパシタからなるラインメモリと直結している。
【0035】
光信号検出のための素子動作においては、蓄積期間−読出期間−初期化期間(掃出期間)−雑音電圧読出期間−蓄積期間−・・というように、蓄積期間−読出期間−初期化期間(掃出期間)−雑音電圧読出期間という一連の過程が繰り返される。
光信号検出のための素子動作においては、蓄積期間−読出期間−初期化期間(掃出期間)−雑音電圧読出期間−蓄積期間−・・というように、蓄積期間−読出期間−初期化期間(掃出期間)−雑音電圧読出期間という一連の過程が繰り返される。
【0039】
雑音電圧読出期間では、初期化期間と蓄積期間の間にキャリアポケット55から光発生電荷を掃き出した状態での第2のソース電位を第2のラインメモリに記憶させる。この期間も、受光ダイオード111やMOSトランジスタ112には上記読出期間と同様な電圧が印加される。
雑音電圧読出期間では、初期化期間と蓄積期間の間にキャリアポケット55から光発生電荷を掃き出した状態での第2のソース電位を第2のラインメモリに記憶させる。この期間も、受光ダイオード111やMOSトランジスタ112には上記読出期間と同様な電圧が印加される。
Claims (9)
- 光照射により光発生電荷を発生させる受光ダイオードと、該受光ダイオードに隣接する、前記光発生電荷をゲート電極下方のチャネル領域下に蓄積し、該蓄積された光発生電荷により閾値電圧を変調させて光信号を検出する光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタとを備えた単位画素が行と列に配列されてなり、
前記単位画素は、前記受光ダイオードが自らの単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、隣接する単位画素の絶縁ゲート型電界効果トランジスタとによってその周辺部を囲まれ、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタが自らの単位画素の受光ダイオードと、隣接する単位画素の受光ダイオードとによってその周辺部を囲まれて配置されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記受光ダイオードと前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲート電極とが前記行方向及び前記列方向に交互に並んでいることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記受光ダイオードと前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタは一導電型の半導体層に形成され、
前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲート電極はリング状を有し、該ゲート電極の内周部の内側の前記一導電型の半導体層に反対導電型のソース領域が設けられ、前記ゲート電極の外周部の外側の前記一導電型の半導体層に反対導電型のドレイン領域が設けられており、
前記チャネル領域下の前記一導電型の半導体層内に、前記光発生電荷を蓄積する一導電型の高濃度埋込層が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像装置。 - 前記高濃度埋込層は前記ドレイン領域から前記ソース領域に至るチャネル長方向の一部領域であって、前記チャネル領域下にリング状に形成されていることを特徴とする請求項3記載の固体撮像素子。
- 前記単位画素は反対導電型の拡散分離領域が一連なりとなっている素子分離領域によって囲まれていることを特徴とする請求項3又は4記載の固体撮像装置。
- 前記拡散分離領域は前記ドレイン領域と接続し、かつ前記一導電型の半導体層よりも深く形成されてなることを特徴とする請求項5記載の固体撮像装置。
- 前記単位画素は、同じ前記行内では前記ドレイン領域によって繋がっており、かつ前記行毎に絶縁膜により分離され、又は一導電型の拡散領域により分離されていることを特徴とする請求項3乃至6の何れか一に記載の固体撮像装置。
- 前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲート電極及びその周辺は遮光されていることを特徴とする請求項1乃至7の何れか一に記載の固体撮像装置。
- 同一の前記行内にある前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲート電極が相互に接続され、かつ同一の前記列内にある前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタのソース領域が相互に接続されていることを特徴とする請求項1乃至8の何れか一に記載の固体撮像装置。
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002164527A JP2002164527A (ja) | 2002-06-07 |
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ID=18828858
Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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WO2005109512A1 (en) | 2004-05-06 | 2005-11-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device and manufacturing method thereof |
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JP5357291B2 (ja) * | 2012-03-21 | 2013-12-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 距離センサ及び距離画像センサ |
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2000
- 2000-11-22 JP JP2000356658A patent/JP3615144B2/ja not_active Expired - Lifetime
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