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  1. キセノン及びクリプトンの少なくとも一方の高付加価値ガスと窒素とを主成分とする原料ガスを圧力変動吸着分離法により分離して前記高付加価値ガスを精製する方法において、前記圧力変動吸着分離法として、吸着剤として活性炭を用いた平衡型圧力変動吸着分離法による吸着工程で、前記活性炭に対して易吸着成分である前記高付加価値ガスを前記活性炭に吸着させるともに前記活性炭に対して難吸着成分である前記窒素を含む排ガスを放出し、前記平衡型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した前記高付加価値ガスを濃縮した精製ガスを、吸着剤としてNa−A型ゼオライトを用いた速度型圧力変動吸着分離法により分離し、吸着工程でNa−A型ゼオライトに対して難吸着成分である高付加価値ガスを導出して製品ガスとすることを特徴とするガスの分離精製方法。
  2. 前記速度型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した排ガスを、前記平衡型圧力変動吸着分離法により再分離を行うために循環させて前記原料ガスに混合させることを特徴とする請求項1記載のガスの分離精製方法。
  3. キセノン及びクリプトンの少なくとも一方の高付加価値ガスと窒素とを主成分とする原料ガスを圧力変動吸着分離法により分離して前記高付加価値ガスを精製する方法において、前記圧力変動吸着分離法として、吸着剤としてNa−A型ゼオライトを用いた速度型圧力変動吸着分離法による吸着工程で、前記Na−A型ゼオライトに対して易吸着成分である前記窒素を前記Na−A型ゼオライトに吸着させるともに前記Na−A型ゼオライトに対して難吸着成分である前記高付加価値ガスを導出して製品ガスとし、前記速度型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した前記窒素を含む排ガスを、吸着剤として活性炭を用いた平衡型圧力変動吸着分離法により分離し、吸着工程で前記活性炭に対して難吸着成分である前記窒素を含む排ガスを放出し、前記平衡型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した高付加価値ガスを含む精製ガスを、前記速度型圧力変動吸着分離法により再分離を行うために循環させて前記原料ガスに混合させることを特徴とするガスの分離精製方法。
  4. 前記原料ガスを分岐して、一方を前記平衡型圧力変動吸着分離法により分離し、他方を前記速度型圧力変動吸着分離法により分離し、前記平衡型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した前記高付加価値ガスを濃縮した精製ガスを前記他方の原料ガスと混合し、前記速度型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した排ガスを、前記一方の原料ガスと混合することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のガスの分離精製方法。
  5. キセノン及びクリプトンの少なくとも一方の高付加価値ガスと窒素とを主成分とする原料ガスを圧力変動吸着分離法により分離して前記高付加価値ガスを精製する方法において、前記圧力変動吸着分離法として、吸着剤として活性炭を用いた平衡型圧力変動吸着分離法と吸着剤としてNa−A型ゼオライトを用いた速度型圧力変動吸着分離法との2種類の吸着法を使用し、前記平衡型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した前記高付加価値ガスを濃縮した精製ガス及び前記速度型圧力変動吸着分離法の再生工程で導出した排ガスを前記原料ガスに混合し、該混合ガスを分岐して、その一方を前記平衡型圧力変動吸着分離法の吸着工程で、前記活性炭に対して易吸着成分である前記高付加価値ガスを前記活性炭に吸着させるともに前記活性炭に対して難吸着成分である前記窒素を含む排ガスを放出し、他方を前記速度型圧力変動吸着分離法の吸着工程で、Na−A型ゼオライトに対して難吸着成分である高付加価値ガスを導出して製品ガスとすることを特徴とするガスの分離精製方法。
  6. 前記原料ガスを前記圧力変動吸着分離法により分離する前に、水分や二酸化炭素、その他の不純物を除去することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載のガスの分離精製方法。
  7. キセノン及びクリプトンの少なくとも一方の高付加価値ガスと窒素とを主成分とする原料ガスを圧力変動吸着分離装置により分離して前記高付加価値ガスを精製する装置において、前記圧力変動吸着分離装置は、吸着剤として活性炭を用いた平衡型圧力変動吸着分離装置と、吸着剤としてNa−A型ゼオライトを用いた速度型圧力変動吸 着分離装置とを、いずれか一方を前段に、他方を後段にして組み合わせ、前記平衡型圧力変動吸着分離装置は、前記活性炭に対して難吸着成分である前記窒素を排ガスを放出する経路及び再生工程で導出した前記高付加価値ガスを濃縮したガスを前記速度型圧力変動吸着分離装置に導入する経路とを備え、前記速度型圧力変動吸着分離装置は、吸着工程で前記Na−A型ゼオライトに対して難吸着成分である前記高付加価値ガスを製品ガスとして導出する経路を備えていることを特徴とするガスの分離精製装置
  8. 前記速度型圧力変動吸着分離装置の再生工程で導出されたガスを、前記平衡型圧力変動吸着分離装置に導入される原料ガスに混合させる経路を備えたことを特徴とする請求項記載のガスの分離精製装置
  9. キセノン及びクリプトンの少なくとも一方の高付加価値ガスと窒素とを主成分とする原料ガスを圧力変動吸着分離装置により分離して前記高付加価値ガスを精製する装置において、前記圧力変動吸着分離装置は、吸着剤として活性炭を用いた平衡型圧力変動吸着分離装置と、吸着剤としてNa−A型ゼオライトを用いた速度型圧力変動吸着分離装置と、前記原料ガスを分岐して前記平衡型圧力変動吸着分離装置と前記速度型圧力変動吸着分離装置とにそれぞれ導入する経路とを備え、前記平衡型圧力変動吸着分離装置は、前記活性炭に対して難吸着成分である前記窒素を排ガスを放出する経路及び再生工程で導出した前記高付加価値ガスを濃縮したガスを前記原料ガスを前記速度型圧力変動吸着分離装置に導入する経路に接続する経路とを備え、前記速度型圧力変動吸着分離装置は、吸着工程で前記Na−A型ゼオライトに対して難吸着成分である前記高付加価値ガスを製品ガスとして導出する経路及び再生工程で導出されたガスを前記原料ガスを分岐して前記平衡型圧力変動吸着分離装置に導入する経路とを備え、前記速度型圧力変動吸着分離装置に導入する経路と前記平衡型圧力変動吸着分離装置に導入する経路に接続する経路とを備えていることを特徴とするガスの分離精製装置
  10. キセノン及びクリプトンの少なくとも一方の高付加価値ガスと窒素とを主成分とする原料ガスを圧力変動吸着分離装置により分離して前記高付加価値ガスを精製する装置において、前記圧力変動吸着分離装置は、吸着剤として活性炭を用いた平衡型圧力変動吸着分離装置と、吸着剤としてNa−A型ゼオライトを用いた速度型圧力変動吸着分離装置と、前記平衡型圧力変動吸着分離装置と前記速度型圧力変動吸着分離装置の双方に前記原料ガスを圧縮して導入する圧縮機と、該圧縮機の一次側に設置したバッファタンクと、該バッファタンクに前記原料ガスを導入する経路とを備え、前記平衡型圧力変動吸着分離装置は、前記活性炭に対して難吸着成分である前記窒素を排ガスを放出する経路及び再生工程で導出した前記高付加価値ガスを濃縮したガスを前記バッファタンクに導入する経路とを備え、前記速度型圧力変動吸着分離装置は、吸着工程で前記Na−A型ゼオライトに対して難吸着成分である前記高付加価値ガスを製品ガスとして導出する経路及び再生工程で導出されたガスを前記バッファタンクに導入する経路とを備えていることを特徴とするガスの分離精製装置。
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