JP2002096311A - セラミックシート製造用フィルム積層体及びセラミックシートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 セラミックシートを剥離する際の剥離力が小
さく、かつ剥離不良が起こらない、セラミックシート製
造用フィルム積層体を提供する。また、セラミックシー
トの剥離時にセラミックシートの破れや剥離不良がな
く、生産性の良好なセラミックシートの製造方法を提供
する。 【解決手段】 ポリエステルフィルムの少なくとも片面
に硬化型シリコーンを主たる構成成分とする離型層を設
けた離型フィルムを基材とし、前記基材の離型層面にセ
ラミックシート層を積層してなるフィルム積層体であっ
て、前記セラミックシート層表面のダイナミック硬度Ａ
と前記離型フィルムの離型層側表面のダイナミック硬度
Ｂとの差の絶対値｜Ａ−Ｂ|が２０ｇｆ／μｍ²であるこ
とを特徴とするセラミックシート製造用フィルム積層
体。さらに、前記フィルム積層体からセラミックシート
を剥離することを特徴とするセラミックシートの製造方
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、離型フィルムを基
材とし、前記基材の離型層面にセラミックシート層を積
層したセラミックシート製造用フィルム積層体及びセラ
ミックシートの製造方法に関し、詳しくはセラミックシ
ートと離型フィルムとの剥離力が小さく、かつ安定した
剥離性能を有する、セラミックシート製造用フィルム積
層体及びセラミックシートの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ポリエチレンテレフタレートやポリエチ
レンナフタレート等のポリエステルフィルムを基材と
し、その上に離型層を積層した離型フィルムは、粘着ラ
ベル、粘着テープ等の台紙として一般的に広く使用され
ている。

【０００３】近年、携帯電話の急激な普及にともない、
積層セラミックコンデンサーの需要が拡大してきてい
る。積層セラミックコンデンサーは、一時的に電気を蓄
える特性を使い電流を安定させる目的で電子回路に不可
欠な部材であり、携帯電話には約２５０個の積層セラミ
ックコンデンサが使用されている。

【０００４】積層セラミックコンデンサー用セラミック
シートを製造する際に、工程用キャリアフィルムとし
て、機械的強度、寸法安定性、耐熱性、価格等の点よ
り、二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面
に、シリコーン系皮膜を設けた離型フィルムが一般的に
使用されてきている。このような、シリコーン系皮膜を
有する離型フィルムとしては、特開昭６０−１４１５５
３号公報、特開平３−２３１８１２号公報、特公平４−
５９２０７号公報、特公平６−２３９３号公報が知られ
ている。

【０００５】前記セラミックシートは、チタン酸バリウ
ム、アルミナ等のセラミック粉末を分散させた水系ない
し有機系溶媒に、ポリメチルメタクリレート、ポリビニ
ルアセタール、ポリビニルブチラール、ポリビニルアル
コール等の高分子バインダーと可塑剤、分散剤とを加え
たものを高速ミキサーやボールミルにより混合分散し、
次いでセラミックスラリーを離型フィルムの離型層面に
ドクターブレード法により数百μｍ〜数十μｍの厚さに
塗布・乾燥させた後、離型フィルムから剥離して巻き取
ることにより一般に製造されている。

【０００６】近年、積層セラミックコンデンサの小型・
高容量化のために、セラミックシート層の厚さをより薄
膜化し、かつ多層に積層することが要望されている。セ
ラミックシート層の厚みは、従来の７〜１０μｍ程度か
ら、現在では３〜５μｍ程度まで薄くなってきており、
さらに１〜２μｍ程度の厚みのものも開発されてきてい
る。また、数年後には１μｍ未満の厚みにまで、セラミ
ックシートの薄膜化が進むと予想されている。

【０００７】ところが、セラミックシートの厚みが薄く
なるにつれ、セラミックシート層を離型フィルムの離型
層から剥離する際の剥離力が大きくなり、剥離不良が多
発するという新しい問題が生じてきた。そのため、従来
の離型フィルムよりも剥離力の小さい離型フィルムが必
要となってきた。従来のラベル用などに使用されてきた
汎用の離型フィルムは、その用途で剥離力が小さいもの
であっても、薄層セラミックシートの製造には剥離性の
点で不十分であり、より剥離力の小さい離型フィルムが
求められている。

【０００８】また、ある特定組成のセラミックシート層
との剥離力が小さい離型フィルムを設計しても、セラミ
ックシートの構成成分（セラミックの種類や平均粒径、
バインダーの種類、それらの含有量比率など）やセラミ
ックシートの厚みが変わると、剥離力が変化し、またそ
のセラミックシート組成に最適な離型フィルムの離型層
組成を再設計する必要があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、かか
る従来の問題点を解消し、特に薄層のセラミックシート
の製造において、セラミックシートを離型フィルムの離
型層面から剥離する際の剥離力が小さく、かつ剥離不良
が起こらない、適度の力で剥離が可能な剥離界面を有す
るセラミックシート製造用フィルム積層体、及びセラミ
ックシートの剥離時にセラミックシートの破れや剥離不
良がなく、生産性の良好なセラミックシートの製造方法
を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を次
のような技術思想で解決したものである。本発明の技術
思想は、セラミックシートを製造する際の剥離工程にお
いて、剥離界面のセラミックシート層と基材の離型フィ
ルムの離型層とのダイナミック硬度差の絶対値を小さく
することにより、セラミックシートの構成成分（セラミ
ックの種類や平均粒径、バインダーの種類、それらの含
有量比率など）やセラミックシートの厚みに依存せず、
剥離力が小さくかつ適度な力で剥離することが可能とな
り、セラミックシートの破損や剥離不良がなくなるとい
うものである。このような剥離界面のセラミックシート
層と離型フィルムの離型層との物理的特性を関連づけた
技術思想は、従来技術からは予測のつかない新規なもの
である。

【００１１】すなわち、本発明の第１の発明は、ポリエ
ステルフィルムの少なくとも片面に硬化型シリコーンを
主たる構成成分とする離型層を設けた離型フィルムを基
材とし、前記基材の離型層面にセラミックシート層を積
層してなるフィルム積層体であって、前記セラミックシ
ート層表面のダイナミック硬度Ａと前記離型フィルムの
離型層側表面のダイナミック硬度Ｂとの差の絶対値が下
記式を満足することを特徴とするセラミックシート製造
用フィルム積層体である。 ｜Ａ−Ｂ|≦２０（ｇｆ／μｍ²）

【００１２】第２の発明は、第１の発明に記載のセラミ
ックシート製造用フィルム積層体からセラミックシート
を剥離することを特徴とするセラミックシートの製造方
法である。

【００１３】

【発明の実施形態】以下、本発明を詳細に説明する。本
発明のセラミックシート製造用フィルム積層体におい
て、基材の離型フィルムの支持体として用いるポリエス
テルフィルムは特に限定されず、公知の方法で製造した
ポリエステルフィルムを使用することができる。

【００１４】ポリエステルフィルムを構成するポリエス
テル樹脂は、芳香族ジカルボン酸成分とジオール成分か
らなる結晶性の線状飽和ポリエステル樹脂が好ましく、
例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−
２，６−ナフタレート、ポリメチレンテレフタレート等
が挙げられる。

【００１５】また、本発明のセラミックシート製造用フ
ィルム積層体において、セラミック層を剥離しセラミッ
クシートを製造した後、キャリアフィルムとしての機能
を終えた離型フィルムは廃棄される。すなわち、セラミ
ックシート製造後には離型フィルムは不要なものとな
る。しかしながら、従来から離型フィルムの支持体とし
て使用されてきた前記ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムやポリエチレン−２，６−ナフタレートフィルムな
どは生分解性の機能が無く、焼却処分せざるを得ない。

【００１６】したがって、自然界で分解する生分解性を
有し、燃焼時にも熱量が少なく焼却炉を痛めないなど環
境負荷が少なく、かつ透明性、機械的強度に優れた、生
分解性プラスチックフィルムを離型フィルムの支持体と
して使用することもできる。前記生分解性プラスチック
フィルムとしては、例えば主たる繰り返し単位が、一般
式、−Ｏ−ＣＨＲ−ＣＯ−（Ｒは水素または炭素数１〜
３のアルキル基）で示される単位からなる脂肪族ポリエ
ステルフィルムなどが挙げられる。

【００１７】前記繰り返し単位を有する脂肪族ポリエス
テルとしては、例えば、ポリ乳酸、ポリグリコール酸、
ポリ（２−オキシ酪酸）などを挙げることができるが、
これらの一種または二種以上が選択して用いられる。二
種以上を用いる場合は、混合物、共重合体でもよい。ま
た、ポリマー中に不斉炭素を有するものでは、Ｌ−体、
ＤＬ−体、Ｄ−体といった光学異性体が存在するが、こ
れらのいずれでもよく、また、二種以上の異性体が混在
したものであってもよい。前記脂肪族ポリエステルは、
対応するα−オキシ酸の脱水環状エステル化合物を用
い、開環重合などの公知の方法で製造することができ
る。これらの脂肪族ポリエステルの中でも、特に、ポリ
乳酸が最も好適である。

【００１８】上記ポリエステルには、フィルムの滑り
性、巻き性、ブロッキング性などのハンドリング性を良
くするために、本発明の効果を阻害しない範囲内で、無
機粒子や耐熱性高分子粒子などの不活性粒子を含有させ
ても良い。しかしながら、セラミックシート製造時のピ
ンホールなどの欠点検査のために、フィルムの透明性を
大きく阻害するような不活性粒子は好ましくない。

【００１９】前記不活性粒子としては、例えばシリカ粒
子、炭酸カルシウム粒子、アルミナ−シリカ複合酸化物
粒子、ヒドロキシアパタイト粒子等が挙げられる。特
に、ポリエステルと屈折率差の小さい粒子が好ましく、
例えば凝集体シリカ、ガラスフィラーなどが好適であ
る。また、前記不活性粒子は平均粒径が０．０１〜２μ
ｍであることが好ましく、ポリエステルフィルムに対し
０．００５〜０．５重量％の割合で含有させることが好
ましい。

【００２０】透明性を維持しながらハンドリング性に優
れたポリエステルフィルムを得るためには、例えば平均
粒径２．５μｍの凝集体シリカ粒子を使用する場合に
は、ポリエステルフィルム中に１００〜６００ｐｐｍ、
特に２００〜３００ｐｐｍ含有させることが好適であ
る。また、中間層に不活性粒子を含有させずに、表面層
にのみ不活性粒子を含有するフィルム積層体としてもよ
い。この場合、ポリエステルフィルムには不活性粒子を
含有させずに、離型層とは反対面に粒子含有層を共押出
し法または塗布法により設ける方法などが挙げられる。

【００２１】ポリエステル樹脂に不活性粒子を含有させ
る方法としては、特に限定されるものではなく、公知の
方法を採用し得る。例えば、ポリエステルを製造する任
意の段階において前記不活性粒子を反応缶へ添加するこ
とができる。好ましくは、加圧エステル化もしくはエス
テル交換反応終了後、重縮合反応開始前の段階でエチレ
ングリコール等に分散させたスラリーとして添加し、次
いで重縮合反応を進めてもよい。また、ベント付き混練
押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散
させた不活性粒子スラリーを、不活性粒子を含有してい
ない溶融ポリエステル樹脂にブレンドしてもよい。

【００２２】また、前記ポリエステル樹脂には、触媒の
ほかに各種の添加剤を含有させても良い。添加剤として
は、例えば、アルカリ土類金属塩及び／またはアルカリ
金属塩などの静電密着性付与剤、リン酸又はリン酸塩な
どの熱安定剤、帯電防止剤、ＵＶ吸収剤等が挙げられ
る。

【００２３】本発明に用いるポリエステルフィルムは、
キャリアフィルムとして要求される機械的強度、耐熱
性、透明性などの点から、二軸延伸ポリエステルフィル
ムが好ましい。

【００２４】本発明のセラミックシート製造用フィルム
積層体は、セラミックシート層表面のダイナミック硬度
Ａと基材である離型フィルムの離型層側表面のダイナミ
ック硬度Ｂとの差の絶対値｜Ａ−Ｂ｜は、２０ｇｆ／μ
ｍ²以下であることが必要である。

【００２５】前記ダイナミック硬度の差の絶対値｜Ａ−
Ｂ｜が２０ｇｆ／μｍ²を越えると、セラミックシート
層を離型フィルムから剥離してセラミックシートを製造
する際に剥離性が低下し、特に薄層のセラミックシート
を連続生産する際に、剥離時にセラミックシートの破れ
や剥離不良が多発し、歩留まりが低下し生産性が悪化す
る等の問題が発生する。

【００２６】本発明のフィルム積層体において、セラミ
ックシート層表面のダイナミック硬度Ａと基材である離
型フィルムの離型層側表面のダイナミック硬度Ｂとの差
の絶対値を上記範囲とすることにより、セラミックシー
ト層を離型フィルムから剥離してセラミックシートを製
造する際の剥離力が小さいため剥離が容易になり、セラ
ミックシートの破損を低減することができる。

【００２７】セラミック層を離型フィルムから剥離して
セラミックシートを製造する際、セラミックシートの硬
さにより剥離形態が変わるため、離型フィルムの離型層
面の硬さを変える必要がある。すなわち、セラミックシ
ートが柔らかい場合、セラミックシート層を剥離する際
に、セラミックシート層の粘性の影響がでてくるため、
それに対応して離型フィルムの離型層の構成成分である
硬化型シリコーン樹脂を柔らかくすることが好ましい。

【００２８】また、セラミックシートが硬い場合、また
はセラミックシートの厚みが薄い場合には、セラミック
シート層を剥離する際に、セラミックシート層の粘性の
影響はほとんど見られないため、離型フィルムの離型層
の構成成分である硬化型シリコーン樹脂を硬くすること
が好ましい。

【００２９】セラミックシートと離型フィルムとの界面
の剥離挙動は、通常の粘着シートと離型フィルムとの界
面の剥離挙動とは異なる。すなわち、粘着シートの粘着
層と離型フィルムの離型層との界面の剥離の場合には、
界面の凝集エネルギーが支配的となる。一方、硬いセラ
ミックシートと離型フィルムとの界面の剥離の場合に
は、離型層が硬い場合には剥離時の離型層の変形が小さ
く、結果として剥離力が小さくなる。また、離型層が柔
らかい場合には剥離時の離型層の変形が大きく、結果と
して剥離力が大きくなる。

【００３０】したがって、硬いセラミックシートと硬い
離型フィルムとの剥離挙動は、粘着シートと離型フィル
ムとの剥離のような、界面剥離力ではなく、界面せん断
力に支配されているものと考えられる。

【００３１】前記ダイナミック硬度差の絶対値｜Ａ−Ｂ
｜を２０ｇｆ／μｍ²以下とするためには、セラミック
シート層の硬さに応じて、離型フィルムの離型層である
硬化型シリコーン樹脂層の硬さを設計することが極めて
重要である。

【００３２】例えば、セラミックシートはセラミック粒
子（チタン酸バリウム、アルミナ、窒化アルミニウム
等）とバインダー（アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂等）
とから構成されるが、セラミック粒子に対するバインダ
ーの含有量比（重量比）が大きい場合、またはセラミッ
クシート層の厚みが厚い場合には、離型フィルムにセラ
ミックシート層を積層した際のセラミックシートの硬度
は小さくなる。

【００３３】また、セラミックスラリー中でのセラミッ
ク粒子の分散性もセラミックシート面の硬度に影響し、
セラミックスラリー調合時のセラミック粒子の分散性が
不十分であると、セラミックシート面の硬度は小さくな
る。

【００３４】上記のような硬度の小さいセラミックシー
トを剥離する場合には、硬化型シリコーン樹脂を主成分
とする離型層の硬度を小さくすることが必要であり、例
えば１）シリコーン樹脂中の疎水基の含有量を可能な限
り多くする、２）シリコーン樹脂中に導入する架橋基の
含有量を少なくする、３）リニアーな分子構造を有する
シリコーン樹脂を使用する、ことなどによって達成する
ことができる。また、離型層の厚みを厚くすることも有
効である。

【００３５】また、セラミック粒子に対するバインダー
の含有量比（重量比）が小さい場合、またはセラミック
シート層の厚みが薄い場合には、離型フィルムにセラミ
ックシート層を積層した際のセラミックシートの硬度は
大きくなる。

【００３６】上記のような硬度の大きいセラミックシー
トを剥離する場合には、硬化型シリコーン樹脂を主成分
とする離型層の硬度を大きくすることが必要であり、例
えばシリコーン樹脂中に導入する疎水基の含有量の調整
は必要であるが、シリコーン樹脂中に導入する架橋基の
含有量を多くするなどの方法で、シリコーン樹脂の架橋
密度を大きくすることにより達成することができる。

【００３７】また、硬化型シリコーン樹脂を主たる構成
成分とする離型層の厚みが面内において均一であれば、
厚みが小さいほど一定の硬化エネルギーでも架橋密度を
高くすることができるため、厚みを可能なかぎり小さく
することにより、離型層の硬度を大きくすることもでき
る。さらに、基材のポリエステルフィルムの機械的強度
を高くすることで硬度を大きくしてもよい。

【００３８】次に、本発明のセラミックシート製造用フ
ィルム積層体の製造方法について、離型フィルムの支持
体としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴと記す）
フィルムを使用した例を説明するが、当然これに限定さ
れるものではない。

【００３９】ＰＥＴ樹脂ペレットを十分に真空乾燥した
後、押出し機に供給し、約２８０℃の溶融ＰＥＴ樹脂を
Ｔダイよりシート状に溶融押出しし、冷却回転ロール上
で静電気を印加させながら冷却固化密着せしめて、未延
伸ＰＥＴシートを得る。溶融押出しの際、溶融ＰＥＴ樹
脂が約２８０℃に保たれたメルトライン中で、樹脂中に
含まれる異物を除去するために高精度濾過を行うことが
好ましい。

【００４０】溶融樹脂の高精度濾過に用いられる濾材は
特に限定はされないが、ステンレス焼結体の濾材の場
合、触媒や添加粒子起因の凝集物や高融点有機物の除去
性能に優れ好適である。

【００４１】さらに、濾材として濾過粒子サイズ（初期
濾過効率９５％）が１５μｍ以下のものを使用すること
により、２０μｍ以上の大きさの異物を効率良く除去す
ることができ好ましい。

【００４２】得られた未延伸シートを８０〜１２０℃に
加熱したロールで長手方向に２．５〜５．０倍に一段ま
たは多段に分け延伸して一軸配向ポリエステルフィルム
を得る。さらに、フィルムの端部をクリップで把持して
８０〜１８０℃に加熱された熱風ゾーンに導き、幅方向
に２．５〜５．０倍に延伸する。引き続き１６０〜２４
０℃の熱処理ゾーンに導き、１〜６０秒間の熱固定処理
を行い、結晶配向を完了させる。さらに、熱寸法安定性
を向上させるために、この熱固定処理工程中で、幅方向
に１〜１２％の弛緩処理を施してもよい。さらに、熱固
定処理後フィルム両端のクリップ把持部分をトリミング
し、次いで長手方向に１〜１２％の弛緩処理を施しても
よい。得られた長尺のフィルムをロール状に巻き取り、
所望するサイズ（例えば、幅４００〜６００ｍｍで、巻
長４０００〜６０００ｍ）にスリットする。

【００４３】また、二軸延伸フイルムの製造方法は、前
記のような逐次二軸延伸法以外に、未延伸フィルムを縦
方向と横方向に同時二軸延伸する方法によっても得るこ
とができる。同時二軸延伸はリニアモーター駆動式のテ
ンターを用いても良い。

【００４４】ポリエステルフィルムの厚みは、好ましく
は１２〜１００μｍ、より好ましくは２５〜５０μｍで
ある。 厚みが１２μｍ未満では、セラミックシート製
造の際のキャリヤーフィルムとして要求される腰（ステ
ィッフネス）が不十分となる。一方、厚みが１００μｍ
を超えるとコスト高となり好ましくない。

【００４５】本発明で使用する離型フィルムの離型層を
構成する硬化型シリコーン樹脂としては、特に限定はな
く、付加反応系、縮合反応系、紫外線または電子線硬化
系のシリコーン樹脂などを使用することができる。

【００４６】付加反応系のシリコーン樹脂としては、例
えば、末端にビニル基を導入したポリジメチルシロキサ
ンとハイドロジエンシロキサンとを白金触媒を用いて反
応させ、３次元架橋構造を形成したものが挙げられる。

【００４７】縮合反応系のシリコーン樹脂としては、例
えば、末端に−ＯＨ基をもつポリジメチルシロキサンと
ハイドロジエンシロキサンとを白金触媒を用いて反応さ
せ、３次元架橋構造を形成したもの等が挙げられる。

【００４８】紫外線硬化系のシリコーン樹脂としては、
例えば最も基本的なタイプとしては、１）通常のシリコ
ーンゴム架橋と同じラジカル反応を利用するもの、２）
不飽和基を導入して光硬化させるもの、３）ビニルシロ
キサンへのチオールの付加反応で架橋するもの、４）紫
外線でオニウム塩を分解して強酸を発生させ、これでエ
ポキシ基を開裂させて架橋するもの、などが挙げられ
る。

【００４９】電子線硬化型シリコーン樹脂の場合、電子
線は紫外線よりもエネルギーが強いため、紫外線硬化型
のように開始剤を用いなくてもラジカルによる架橋反応
が起こる。

【００５０】本発明において、離型層の厚みは、その使
用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、
乾燥後の離型層の塗布量を０．０２〜０．２ｇ／ｍ²と
することが好ましい。離型層の塗布量が０．０２ｇ／ｍ
²未満であると、剥離性能が低下しやすくなる。また、
０．２ｇ／ｍ²を超えると、離型層の硬度が小さくなる
ため、セラミックシートの硬度が高い場合に硬度差が大
きくなり、剥離性が悪化しやすくなる。また、ポリエス
テルとの密着性に影響する硬化時間が長くなり、加工速
度を増加できないなど生産性の点でも不都合となる。

【００５１】前記離型層をポリエステルフィルムに形成
する方法は、特に限定されないが、例えば、１）無溶剤
型の硬化型シリコーン樹脂を基材のポリエステルフィル
ムの少なくとも片面に塗布し、次いで活性エネルギー線
を照射して硬化させる、あるいは熱硬化させる方法、
２）硬化型シリコーン樹脂を溶媒に溶解あるいは分散し
たものを、基材のポリエステルフィルムに塗布し、溶媒
を乾燥除去した後、活性エネルギー線を照射して硬化さ
せる、あるいは熱硬化させる方法、などが挙げられる。

【００５２】硬化型シリコーン樹脂の硬化条件および溶
媒の乾燥条件は、使用するシリコーン樹脂の種類、離型
層の厚み、離型フィルムのサイズ等により、セラミック
シートの硬さに応じて、適時選択すれば良い。

【００５３】前記の離型層用塗布液の塗布法としては、
公知の任意の塗布法が適用することができ、例えばグラ
ビアコート法やリバースコート法などのロールコート
法、マイヤーバーなどのバーコート法、スプレーコート
法、エアーナイフコート法など、公知の方法を適用する
ことができる。

【００５４】また、離型層とポリエステルフィルムとの
密着性をさらに向上させるために、上記離型層用塗布液
をフィルムへ塗布するに先立ち、ポリエステルフィルム
表面に、アンカーコート等の前処理を行なっても良い。

【００５５】

【実施例】以下に実施例を用いてさらに詳細に本発明の
説明をするが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。なお、本発明で使用する特性及
び物性評価は、下記の方法により測定した。

【００５６】＜ダイナミック硬度＞ダイナミック超微小
硬度計（島津製作所製、ＤＵＨ−２０１−２０２）を用
いて、荷重２ｇｆの三角すいを試料（セラミックシート
面あるいは離型層面）に押しつけ、２秒間保持した後の
ダイナミック硬度を下記式より求めた。なお、測定は１
０回行ない平均値を使用した。また、離型フィルムの離
型層面におけるダイナミック硬度の測定は、セラミック
シート層を設ける前の離型フィルムに対して行なっても
よいし、セラミックシート層を設けた後にセラミックシ
ート層を剥離した離型フィルムに対して行なってもよ
い。 ダイナミック硬度＝α×Ｐ／Ｄ² ここで、Ｐは荷重（ｇｆ）、Ｄは圧子の試料への侵入量
（μｍ）、αは圧子形状による定数（１１５°三角す
い）であり、３７．８３８である。

【００５７】＜セラミックシートの剥離性＞離型フィル
ムの離型層面にセラミックシート層を積層したフィルム
積層体を５ｃｍ巾にカットし、セラミックシート層面に
ポリエステル粘着テープ（日東電工社製、ニットー３１
Ｂ）を貼り、ピール法（剥離速度：５００ｍｍ／分、Ｔ
型剥離）によりセラミックシート層を離型フィルムから
剥離して、剥離後のセラミックシートの全面を目視観察
した際のセラミックシートの欠点を下記基準により評価
した。なお、試験は５回行ない、○であれば合格とし
た。 ○：ピンホールや破れなどの破損が５回の試験で全くな
かった場合 △：５回の試験で１回でもセラミックシートの一部に破
損があった場合 ×：５回の試験で１回でもセラミックシートが完全に破
れ破損があった場合

【００５８】実施例１ 紫外線カチオン硬化型シリコーン樹脂（東芝シリコン株
式会社製、ＸＳ５６−Ａ１６５２）を樹脂固形分濃度が
２重量％となるように溶剤（ノルマルヘキサン）に分散
し、シリコーン樹脂１００重量部に対し、１重量部のビ
ス（アルキルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロア
ンチモネートを硬化触媒として添加し、硬化型シリコー
ン樹脂塗布液を作成した。

【００５９】厚さ３８μｍの二軸延伸ＰＥＴフィルム
（東洋紡績社製、Ｅ５１５１）の長尺のロールを巻き出
し、上記硬化型シリコーン樹脂塗布液を前記フィルムの
片面にワイヤーバーを用いて塗布し、１００℃で３０秒
間乾燥した後、紫外線照射装置で３００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し、乾燥後の塗布量が０．１０ｇ／ｍ²の
硬化型シリコーン樹脂を主たる構成成分とする離型層を
設けた離型フィルムを製造し、ロール状に巻き取った。

【００６０】また、溶剤（トルエン／エタノール＝５０
／５０：重量比）中にセラミック粒子（平均一次粒子径
が０．６μｍのチタン酸バリウム（BaTiO₃）、富士チタ
ン社製）１００重量部を混合し、分散メディアである粒
径１．５ｍｍのジルコニアビーズ（充填量：スラリーに
対し２００重量％）とともにボールミルで２４時間分散
した。次いで、バインダー（ポリビニルブチラール、積
水化学工業株式会社製）１０重量部、及び可塑剤（ポリ
エチレングリコール）をセラミック粉末とバインダーの
総量に対し２重量％混合し、ボールミルで２４時間分散
し、さらにフィルター（孔径３μｍ）で濾過処理を行な
い、ペースト状のセラミックスラリーを得た。

【００６１】前記の離型フィルムロールを巻き出し、上
記セラミックスラリーを乾燥後の厚みが１０μｍになる
ようにドクターブレードを用いて、離型フィルムの離型
層面に塗布し、１２０℃で１分間乾燥してセラミックシ
ート層（セラミック粒子／バインダーの重量比：１００
／１０）を設け、得られたセラミックシート製造用フィ
ルム積層体をロール状に巻き取った。評価結果を表１に
示す。

【００６２】実施例２ 熱硬化型シリコーン樹脂（信越化学株式会社製、ＫＳ８
３０）を樹脂固形分濃度が３重量％となるように溶剤
（トルエン）に分散し、シリコーン樹脂１００重量部に
対し、１重量部の白金触媒を添加し、硬化型シリコーン
樹脂塗布液を作成した。

【００６３】厚さ３８μｍの二軸延伸ＰＥＴフィルム
（東洋紡績社製、Ｅ５１５１）の長尺のロールを巻出
し、上記硬化型シリコーン樹脂塗布液を前記フィルムの
片面に、ワイヤーバーを用いて塗布し、１４０℃で３０
秒間乾燥し、乾燥後の塗布量が０．０５ｇ／ｍ²の硬化
型シリコーン樹脂を主たる構成成分とする離型層を設け
た離型フィルムを製造し、ロール状に巻き取った。

【００６４】また、溶剤（トルエン／エタノール＝５０
／５０：重量比）中にセラミック粒子（平均一次粒子径
が０．６μｍのチタン酸バリウム（BaTiO₃）、富士チタ
ン社製）１００重量部を混合し、分散メディアである粒
径１．５ｍｍのジルコニアビーズ（充填量：スラリーに
対し２００重量％）とともにボールミルで２４時間分散
した。次いで、バインダー（ポリビニルブチラール、積
水化学工業株式会社製）１０重量部、及び可塑剤（ポリ
エチレングリコール）をセラミック粉末とバインダーの
総量に対し２重量％混合し、ボールミルで２４時間分散
し、さらにフィルター（孔径３μｍ）で濾過処理を行な
い、ペースト状のセラミックスラリーを得た。

【００６５】前記の離型フィルムロールを巻き出し、上
記セラミックスラリーを乾燥後の厚みが１０μｍになる
ようにドクターブレードを用いて、離型フィルムの離型
層面に塗布し、１２０℃で１分間乾燥してセラミックシ
ート層（セラミック粒子／バインダーの重量比：１００
／１０）を設け、得られたセラミックシート製造用フィ
ルム積層体をロール状に巻き取った。評価結果を表１に
示す。

【００６６】実施例３ 実施例２において、熱硬化型シリコーン樹脂塗布液の塗
布後の乾燥条件を１７０℃で６０秒間、離型層の乾燥後
塗布量を０．５ｇ／ｍ²、さらにセラミックシート組成
をセラミック粒子／バインダー＝１００／５０（重量
比）に変更した以外は、実施例２と同様にしてセラミッ
クシート製造用フィルム積層体を製造し、ロール状に巻
き取った。

【００６７】実施例４ 実施例２において、セラミックシートの組成をセラミッ
ク粒子／バインダー＝１００／５０（重量比）に変更し
た以外は、実施例２と同様にしてセラミックシート製造
用フィルム積層体を製造し、ロール状に巻き取った。

【００６８】比較例１ 実施例３において、セラミックシートの組成をセラミッ
ク粒子／バインダー＝１００／１０（重量比）に変更し
た以外は、実施例３と同様にしてセラミックシート製造
用フィルム積層体を製造し、ロール状に巻き取った。

【００６９】比較例２ 実施例１において、紫外線の照射量を１００ｍＪ／ｃｍ
²とした以外は、実施例１と同様にしてセラミックシー
ト製造用フィルム積層体を製造し、ロール状に巻き取っ
た。

【００７０】比較例３ 実施例２において、熱硬化型シリコーン樹脂塗布液の塗
布後の乾燥条件を１００℃で３０秒間にした以外は、実
施例２と同様にしてセラミックシート製造用フィルム積
層体を製造し、ロール状に巻き取った。

【００７１】比較例４ 実施例２において、セラミックスラリーの調合方法を下
記のように変更する以外は、実施例２と同様にして、セ
ラミックシート製造用フィルム積層体を製造し、ロール
状に巻き取った。

【００７２】（セラミックスラリーの調合）また、溶剤
（トルエン／エタノール＝５０／５０：重量比）中にセ
ラミック粒子（平均一次粒子径が０．６μｍのチタン酸
バリウム（BaTiO₃）、富士チタン社製）１００重量部、
バインダー（ポリビニルブチラール、積水化学工業株式
会社製）１０重量部、及び可塑剤（ポリエチレングリコ
ール）をセラミック粉末とバインダーの総量に対し２重
量％混合し、分散メディアである粒径１．５ｍｍのジル
コニアビーズ（充填量：スラリーに対し２００重量％）
とともにボールミルで１時間分散し、ペースト状のセラ
ミックスラリーを得た。

【００７３】実施例及び比較例の結果を表１に示す。実
施例１〜４は、ダイナミック硬度差の絶対値|Ａ−Ｂ｜
がすべて２０ｇｆ／μｍ²以下であり、セラミックシー
トの剥離不良は見られなかった。それに対し、比較例１
〜３は、ダイナミック硬度差の絶対値｜Ａ−Ｂ｜が２０
ｇｆ／μｍ²を超え、セラミックシート剥離時に、剥離
不良が見られた。また、比較例４はセラミックスラリー
中でのセラミック粒子の分散性が不十分であったため、
セラミックシート面のダイナミック硬度が著しく小さく
なり、ダイナミック硬度差の絶対値｜Ａ−Ｂ｜が２０ｇ
ｆ／μｍ²を超え、セラミックシート剥離時に、剥離不
良が見られた。

【００７４】

【表１】

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のセラミッ
ク製造用フィルム積層体は、セラミックシート層と離型
層とのダイナミック硬度差の絶対値を小さくしているた
め、セラミックシートを剥離する際の剥離力が小さく、
剥離不良が起こりにくい。その結果、セラミックシート
の剥離時にセラミックシートの破れや剥離不良がなく、
工業的規模で生産性の良好なセラミックシートを得るこ
とができる。また、本発明は、顧客の要望でセラミック
シートの組成や厚みを変更する場合にも、セラミック層
表面と離型層表面との硬度差の絶対値という尺度でそれ
に適応した離型フィルムを過度な実験を行なうことなく
短期間に設計することができるので極めて有用である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒岩 晴信 大阪府大阪市北区堂島浜二丁目２番８号 東洋紡績株式会社本社内 (72)発明者 西野 泰弘 大阪府大阪市北区堂島浜二丁目２番８号 東洋紡績株式会社本社内 Ｆターム(参考） 4F100 AD00C AH08 AK41A AK42 AK52B BA03 BA07 BA10A BA10C CA02 CA04 CA30 DE01 EH46 EJ08 EJ54 GB41 JB12B JK12B JK12C JL14 JL14B YY00B YY00C 4G052 DA01 DB01

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポリエステルフィルムの少なくとも片面
   に硬化型シリコーンを主たる構成成分とする離型層を設
   けた離型フィルムを基材とし、前記基材の離型層面にセ
   ラミックシート層を積層してなるフィルム積層体であっ
   て、前記セラミックシート層表面のダイナミック硬度Ａ
   と前記離型フィルムの離型層側表面のダイナミック硬度
   Ｂとの差の絶対値が下記式を満足することを特徴とする
   セラミックシート製造用フィルム積層体。 ｜Ａ−Ｂ|≦２０（ｇｆ／μｍ²）
2. 【請求項２】 請求項１記載のセラミックシート製造用
   フィルム積層体からセラミックシートを剥離することを
   特徴とするセラミックシートの製造方法。