JP2002077733A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JP2002077733A JP2000264059A JP2000264059A JP2002077733A JP 2002077733 A JP2002077733 A JP 2002077733A JP 2000264059 A JP2000264059 A JP 2000264059A JP 2000264059 A JP2000264059 A JP 2000264059A JP 2002077733 A JP2002077733 A JP 2002077733A
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mos transistor
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、バイアス電圧を切り換えることな
く、光電変換部に入射される入射光量に応じて、自動的
に対数変換動作及び線形変換動作を切り換えることがで
きる固体撮像装置を提供することを目的とする。 【解決手段】信号φVPSに、撮像時にMOSトランジス
タT1のソースに与える電圧VHより低い電圧VLとな
るパルス信号を与えることによって、撮像開始時におけ
るMOSトランジスタT1のゲート電圧をソース電圧よ
り低い電圧とする。よって、撮像時において、被写体が
所定の輝度値を超えるまでは、MOSトランジスタT1
がカットオフ状態となるので、線形変換された電気信号
が出力され、又、被写体が所定の輝度値を超えたとき、
MOSトランジスタT1がサブスレッショルド領域で動
作するので、対数変換された電気信号が出力される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、入射光量に対して
線形的に変化する電気信号を出力する第1状態と入射光
量に対して自然対数的に変化する電気信号を出力する第
2状態との間で切換可能な固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より使用されている固体撮像装置に
は、光電変換素子で発生した光電荷を読み出す手段によ
ってCCD型とMOS型に大きく分けられる。CCD型
は光電荷をポテンシャルの井戸に蓄積しつつ、転送する
ようになっており、又、MOS型はフォトダイオードの
pn接合容量に蓄積した電荷をMOSトランジスタを通
して読み出すようになっている。しかしながら、このよ
うな従来の固体撮像装置は、発生した光電荷の電荷量に
比例した出力が出力されるため、ダイナミックレンジが
狭いという欠点がある。
【0003】ダイナミックレンジを広くするために、入
射した光量に応じた光電流を発生しうる感光手段と、光
電流を入力するMOSトランジスタと、このMOSトラ
ンジスタをサブスレッショルド電流が流れうる状態にバ
イアスするバイアス手段とが備えられることによって、
入射光量に対して自然対数的に変換された電気信号を出
力することができる固体撮像装置も提案されている。こ
のような固体撮像装置は、広いダイナミックレンジを有
しているものの、低輝度の場合の特性やS/N比などが
十分でないという問題があった。
【0004】一方、入射した光量に応じた光電流を発生
しうる感光手段と、光電流を入力するMOSトランジス
タと、を有するとともに、光電流に対して線形的に変換
された出力を出力する第1状態と、光電流に対して自然
対数的に変換された出力を出力する第2状態と、切り換
えることができる光センサ回路も提案されている(特開
平10−90058号公報参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】特開平10−9005
8号公報で提示されている線形変換動作と対数変換動作
の切換可能な光センサ回路は、MOSトランジスタのゲ
ート電圧をドレイン電圧より十分高くしてMOSトラン
ジスタのドレイン−ソース間のインピーダンスを低抵抗
とすることによって、フォトダイオードとコンデンサと
の接続ノードをリセットする。これにより、ソースの電
位はドレインの電位とほぼ等しくなる。そのため、この
ような回路を複数設けた場合、全ての回路について、フ
ォトダイオードとコンデンサとの接続ノードの電圧が同
一となるようにリセットされることとなり、各回路から
の出力にMOSトランジスタの閾値電圧の差異による各
回路の感度バラツキが反映されず、線形出力動作から対
数出力動作に変わる変化点が各画素毎に異なるという不
具合を生じていた。
【0006】このような問題を鑑みて、本発明は、光電
変換部に入射される入射光量に応じて、自動的に対数変
換動作及び線形変換動作を切り換えることができる新規
且つ有効な固体撮像装置を提供することを目的とする。
又、本発明は、複数の画素を有し、線形変換動作から対
数変換動作に切り替わる変化点が全画素でほぼ等しい固
体撮像装置を提供することを他の目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の固体撮像装置は、入射光量に応じ
た電気信号を発生する感光素子と、該感光素子の一方の
電極に、第1電極及び制御電極が接続されたトランジス
タと、該トランジスタの第2電極に所定のパルス信号を
与えることにより、前記トランジスタをリセットするリ
セット手段と、を備え、該リセット手段は、感光素子へ
の入射光量が所定値まではトランジスタのサブスレッシ
ョルド領域での動作を禁止するように、前記トランジス
タをリセットすることを特徴とする。
【0008】又、請求項2に記載の固体撮像装置は、入
射光量に応じた電気信号を発生する感光素子と、該感光
素子の一方の電極に、第1電極及び制御電極が接続され
たトランジスタと、該トランジスタの第2電極に所定の
パルス信号を与えることにより、前記トランジスタをリ
セットするリセット手段と、を備え、該リセット手段
は、感光素子への入射光量が所定値以上になったときに
トランジスタがサブスレッショルド領域で動作するよう
に、前記トランジスタをリセットすることを特徴とす
る。
【0009】又、請求項3に記載の固体撮像装置は、入
射光量に応じた電気信号を発生する感光素子と、該感光
素子の一方の電極に、第1電極及び制御電極が接続され
たトランジスタと、該トランジスタの第2電極に所定の
パルス信号を与えることにより、前記トランジスタをリ
セットするリセット手段と、を備え、該リセット手段
は、感光素子への入射光量が所定値まではトランジスタ
が不作動状態となり、感光素子への入射光量が所定値以
上になるとトランジスタがサブスレッショルド領域で動
作を行うように、前記トランジスタをリセットすること
を特徴とする。
【0010】又、請求項4に記載の固体撮像装置は、入
射光量に応じた電気信号を発生する感光素子と、該感光
素子の一方の電極に、第1電極及び制御電極が接続され
たトランジスタと、該トランジスタの第2電極に所定の
パルス信号を与えることにより、前記トランジスタをリ
セットするリセット手段と、を備え、該リセット手段
は、感光素子への入射光量が所定値まではトランジスタ
が不作動状態となることにより、感光素子への入射光量
に対して線形的に変化する出力が制御電極に現れるとと
もに、感光素子への入射光量が所定値以上になるとトラ
ンジスタがサブスレッショルド領域で動作を行うことに
より、感光素子への入射光量に対して対数的に変化する
出力が制御電極に現れるように、前記トランジスタをリ
セットすることを特徴とする。
【0011】又、請求項5に記載の固体撮像装置は、入
射した光量に応じた電気信号を発生する感光素子を有す
る複数の画素を備えた固体撮像装置において、前記各画
素が、第1電極と制御電極とが前記感光素子の一方の電
極に接続されるトランジスタを有し、前記各トランジス
タの第2電極に前記パルス信号を与えることによって、
前記各トランジスタをリセットするリセット手段を備
え、該リセット手段は、前記感光素子への入射光量が所
定値までは前記トランジスタが不作動状態となることに
より、前記トランジスタの制御電極に前記感光素子への
入射光量に対して線形的に変化する出力が現れるととも
に、前記感光素子への入射光量が所定値以上になったと
きは前記トランジスタがサブスレッショルド領域で動作
を行うことにより、前記トランジスタの制御電極に前記
感光素子への入射光量に対して対数的に変化する出力が
現れることを特徴とする。
【0012】このような固体撮像装置は、リセット時
に、トランジスタの第2電極にパルス信号を与えること
によって、トランジスタの制御電極に蓄積された電荷と
逆極性の電荷を流し込むことによって、トランジスタの
制御電極の電圧をリセットする。このとき、例えば、ト
ランジスタをNチャネルのMOSトランジスタとしたと
き、撮像動作時にトランジスタの第2電極に与える電圧
より低い電圧のパルス信号を与えることによって、トラ
ンジスタのゲート電極を第2電極より低い電圧にリセッ
トすることができる。又、トランジスタを通じてリセッ
トを行うため、トランジスタの閾値に応じた電圧にリセ
ットされ、結果的に、各画素において、その撮像時にお
ける光電変換特性の切換が、同一の輝度で行われる。
【0013】又、このような固体撮像装置において、請
求項6に記載するように、前記各画素に、前記トランジ
スタの制御電極からの出力を増幅する増幅回路を設け
て、出力信号を増幅するようにしても構わない。
【0014】又、請求項7に記載するように、前記各画
素に、前記トランジスタの制御電極に現れる電圧をサン
プリングする第1サンプリング回路と、該第1サンプリ
ング回路に一端が接続された第1スイッチと、該第1ス
イッチの他端に接続されるとともに、該第1スイッチが
ONとなったときに、前記第1サンプリング回路でサン
プリングされた電圧をサンプリングする第2サンプリン
グ回路と、を設けて、同時に撮像して第1サンプリング
回路でサンプリングされた出力信号を、第1スイッチを
同時にONして第2サンプリング回路にサンプリング
し、各画素毎に出力するようにしても構わない。
【0015】又、請求項8に記載するように、前記各画
素に、前記トランジスタの制御電極に現れる電圧を積分
する積分回路を設けて、光源の変動成分や高周波のノイ
ズを吸収するSN比の良好な出力信号が出力されるよう
にしても構わない。更に、この請求項8に記載の固体撮
像装置において、請求項9に記載するように、前記各画
素に、前記積分回路に一端が接続された第1スイッチ
と、該第1スイッチの他端に接続されるとともに、該第
1スイッチがONとなったときに、前記積分回路から出
力される電圧をサンプリングするサンプリング回路と、
を設けて、同時に撮像して積分回路より出力される出力
信号を、第1スイッチを同時にONして第2サンプリン
グ回路にサンプリングし、各画素毎に出力するようにし
ても構わない。
【0016】請求項10に記載の固体撮像装置は、請求
項5〜請求項9のいずれかに記載の固体撮像装置におい
て、前記各画素が、前記感光素子と前記トランジスタの
第1電極との間に接続された第2スイッチを有し、リセ
ット時に前記第2スイッチをOFFとするととともに、
撮像時に前記第2スイッチをONとすることによって、
全輝度範囲において前記トランジスタがサブスレッショ
ルド領域で動作を行い、前記トランジスタの制御電極に
前記感光素子に入射される光量に対して対数変換された
電圧が現れることを特徴とする。
【0017】このような固体撮像装置は、リセット時
に、第2スイッチをOFFすることによって、感光素子
より発生する光電流の影響なくトランジスタのポテンシ
ャル状態をリセットすることができるため、撮像時に
は、常に、入射光量に対して対数変換された電気信号を
出力することができる。
【0018】請求項11に記載の固体撮像装置は、入射
光量に応じた電気信号を発生する感光素子と、該感光素
子の一方の電極に第2の電極が接続されたトランジスタ
と、該トランジスタをリセットするリセット手段と、を
備え、該リセット手段は、前記トランジスタの制御電極
に所定の第2パルス信号を与えるとともに、第1電極に
所定の第1パルス信号を与えることにより、感光素子へ
の入射光量が所定値まではトランジスタが不作動状態と
なり、感光素子への入射光量が所定値以上になるとトラ
ンジスタがサブスレッショルド領域で動作を行うよう
に、前記トランジスタをリセットすることを特徴とす
る。
【0019】又、請求項12に記載の固体撮像装置は、
入射光量に応じた電気信号を発生する感光素子と、該感
光素子の一方の電極に第2電極が接続されたトランジス
タと、該トランジスタをリセットするリセット手段と、
を備え、該リセット手段は、前記トランジスタの少なく
とも制御電極に、トランジスタの第2電極の電位がトラ
ンジスタの閾値を反映し得る範囲内の所定のパルス電圧
を与えることにより、感光素子への入射光量が所定値ま
ではトランジスタが不作動状態となり、感光素子への入
射光量が所定値以上になるとトランジスタがサブスレッ
ショルド領域で動作を行うように、前記トランジスタを
リセットすることを特徴とする。
【0020】又、請求項13に記載の固体撮像装置は、
入射した光量に応じた電気信号を発生する感光素子を有
する複数の画素を備えた固体撮像装置において、前記各
画素が、第2電極が前記感光素子の一方の電極に接続さ
れ、リセット時に第1電圧値の第1パルス信号が第1電
極に与えられるとともに第2電圧値の第2パルス信号が
制御電極に与えられるトランジスタを有し、前記トラン
ジスタの第1電極に前記第1パルス信号を与えるととも
に、前記トランジスタの制御電極に前記第2パルス信号
を与えることによって、前記トランジスタを通して前記
トランジスタの第2電極の電圧がリセットされるととも
に、前記感光素子への入射光量が所定値までは前記トラ
ンジスタが不作動状態となることにより、前記トランジ
スタの第2電極に前記感光素子への入射光量に対して線
形的に変化する出力が現れるとともに、前記感光素子へ
の入射光量が所定値以上になったときは前記トランジス
タがサブスレッショルド領域で動作を行うことにより、
前記トランジスタの第2電極に前記感光素子への入射光
量に対して対数的に変化する出力が現れることを特徴と
する。
【0021】このような固体撮像装置は、リセット時
に、トランジスタの第1電極に第1パルス信号を与えた
後、制御電極に第2パルスを与えることによって、トラ
ンジスタの第2電極に蓄積された電荷と逆極性の電荷を
流し込むことによって、トランジスタの第2電極の電圧
をリセットする。このとき、トランジスタをNチャネル
のMOSトランジスタとした場合は、例えば、撮像動作
時にトランジスタの第1電極に与える電圧より低い電圧
のパルス信号を与えた後、撮像動作時にトランジスタの
制御電極に与える電圧より高い電圧のパルス信号を与え
ることによって、トランジスタのゲート電極を第2電極
より低い電圧にリセットすることができる。又、トラン
ジスタを通じてリセットを行うため、トランジスタの閾
値に応じた電圧にリセットされ、結果的に、各画素にお
いて、その撮像時における光電変換特性の切換が、同一
の輝度で行われる。
【0022】又、このような固体撮像装置において、請
求項14に記載するように、前記各画素に、前記トラン
ジスタの第2電極からの出力を増幅する増幅回路を設け
て、出力信号を増幅するようにしても構わない。
【0023】又、請求項15に記載するように、前記各
画素に、前記トランジスタの第2電極からの出力を積分
する積分回路を設けて、光源の変動成分や高周波のノイ
ズを吸収するSN比の良好な出力信号が出力されるよう
にしても構わない。
【0024】請求項16に記載の固体撮像装置は、複数
の画素を有する固体撮像装置において、前記各画素が、
第1電極に直流電圧が印加されたフォトダイオードと、
該フォトダイオードの第2電極に第1電極及びゲート電
極が接続されるとともに、第2電極に所定の電圧値のパ
ルス信号が与えられる第1MOSトランジスタと、を有
し、前記第1MOSトランジスタの第2電極に前記パル
ス信号が与えられることによって、前記第1MOSトラ
ンジスタを通して前記第1MOSトランジスタのゲート
電極の電圧がリセットされるとともに、撮像時におい
て、前記ダイオードに入射される光量が所定の明るさま
では前記第1MOSトランジスタが不作動状態となり、
前記第1MOSトランジスタのゲート電極に前記ダイオ
ードに入射される光量に対して線形的に変化する出力が
現れるとともに、前記ダイオードに入射される光量が所
定の明るさを超えたときは前記第1MOSトランジスタ
がサブスレッショルド領域で動作を行い、前記第1MO
Sトランジスタのゲート電極に前記ダイオードに入射さ
れる光量に対して対数的に変化する出力が現れることを
特徴とする。
【0025】このような固体撮像装置において、請求項
17に記載するように、前記各画素に、前記第1MOS
トランジスタの第1電極及びゲート電極にゲート電極が
接続されるとともに、第2電極より出力信号を出力する
第2MOSトランジスタを増幅用のMOSトランジスタ
として設けても構わない。更に、請求項18に記載する
ように、前記各画素に、前記第2MOSトランジスタの
第2電極に第1電極が接続されるとともに、ゲート電極
に行選択線が接続され、第2電極より出力信号を出力す
る第3MOSトランジスタを、行選択用のMOSトラン
ジスタとして設けても構わない。
【0026】又、請求項19に記載するように、前記各
画素に、前記第2MOSトランジスタの第2電極に一端
が接続されるとともに、他端に直流電圧が印加された第
1キャパシタを設けて、光源の変動成分や高周波のノイ
ズを吸収するSN比の良好な出力信号が出力されるよう
にしても構わない。又、請求項20に記載するように、
前記各画素に、前記第2MOSトランジスタの第2電極
にゲート電極が接続されるとともに、第1電極に直流電
圧が印加された第4MOSトランジスタを、増幅用のM
OSトランジスタとして設けても構わない。更に、請求
項21に記載するように、前記各画素に、前記第4MO
Sトランジスタの第2電極に第1電極が接続されるとと
もに、ゲート電極に行選択線が接続され、第2電極より
出力信号を出力する第3MOSトランジスタを、行選択
用のMOSトランジスタとして設けても構わない。
【0027】又、請求項22に記載するように、前記各
画素に、前記第1MOSトランジスタの第1電極及びゲ
ート電極に一端が接続されるとともに、他端に直流電圧
が印加された第1キャパシタを設けて、前記第1MOS
トランジスタの第1電極及びゲート電極に現れた信号を
サンプリングするようにしても構わない。
【0028】請求項23に記載の固体撮像装置は、請求
項19又は請求項22に記載の固体撮像装置において、
前記各画素が、前記第1キャパシタの一端に第1電極が
接続された第5MOSトランジスタと、前記第5MOS
トランジスタの第2電極に一端が接続されるとともに、
他端に直流電圧が印加された第2キャパシタと、前記第
2キャパシタの一端に第1電極が接続されるとともに、
第2電極に直流電圧が印加され、前記第2キャパシタを
リセットする第6MOSトランジスタと、を有し、前記
各画素が同時に撮像動作を行うことによって、前記フォ
トダイオードに入射される光量に応じた電圧が前記第1
キャパシタの一端に現れるとともに、前記各画素の前記
第5MOSトランジスタを同時にONすることによっ
て、前記第1キャパシタの一端に現れた電圧を前記第2
キャパシタでサンプリングすることを特徴とする。
【0029】このような固体撮像装置において、請求項
24に記載するように、前記各画素に、前記第2キャパ
シタの一端にゲート電極が接続されるとともに、第1電
極に直流電圧が印加された第4MOSトランジスタを、
増幅用のMOSトランジスタとして設けても構わない。
更に、請求項25に記載するように、前記各画素に、前
記第4MOSトランジスタの第2電極に第1電極が接続
されるとともに、ゲート電極に行選択線が接続され、第
2電極より出力信号を出力する第3MOSトランジスタ
を、行選択用のMOSトランジスタとして設けても構わ
ない。
【0030】請求項26に記載の固体撮像装置は、請求
項16〜請求項25のいずれかに記載の固体撮像装置に
おいて、前記各画素が、前記フォトダイオードの第2電
極に第1電極が接続されるとともに、前記第1MOSト
ランジスタの第1電極及びゲート電極に第2電極が接続
された第7MOSトランジスタを有し、リセット時に前
記第7MOSトランジスタをOFFとするととともに、
撮像時に前記第7MOSトランジスタをONとすること
によって、全輝度範囲において前記第1MOSトランジ
スタがサブスレッショルド領域で動作を行い、前記第1
MOSトランジスタのゲート電極に前記ダイオードに入
射される光量に対して対数変換された電圧が現れること
を特徴とする。
【0031】請求項27に記載の固体撮像装置は、複数
の画素を有する固体撮像装置において、前記各画素が、
第2電極に直流電圧が印加されたフォトダイオードと、
該フォトダイオードの第1電極に第2電極が接続され、
第1電極に第1電圧値の第1パルス信号が与えられると
ともに、ゲート電極に第2電圧内の第2パルス信号が与
えられる第1MOSトランジスタと、を有し、前記第1
MOSトランジスタの第1電極に前記第1パルス信号が
与えられた後、前記第1MOSトランジスタのゲート電
極に前記第2パルス信号が与えられることによって、前
記第1MOSトランジスタを通して前記第1MOSトラ
ンジスタの第2電極の電圧がリセットされるとともに、
撮像時において、前記ダイオードに入射される光量が所
定の明るさまでは前記第1MOSトランジスタが不作動
状態となり、前記第1MOSトランジスタの第2電極に
前記ダイオードに入射される光量に対して線形的に変化
する出力が現れるとともに、前記ダイオードに入射され
る光量が所定の明るさを超えたときは前記第1MOSト
ランジスタがサブスレッショルド領域で動作を行い、前
記第1MOSトランジスタの第2電極に前記ダイオード
に入射される光量に対して対数的に変化する出力が現れ
ることを特徴とする。
【0032】このような固体撮像装置において、請求項
28に記載するように、前記各画素に、前記第1MOS
トランジスタの第2電極にゲート電極が接続されるとと
もに、第2電極より出力信号を出力する第2MOSトラ
ンジスタを、増幅用のMOSトランジスタとして設けて
も構わない。更に、請求項29に記載するように、前記
各画素に、前記第2MOSトランジスタの第2電極に第
1電極が接続されるとともに、ゲート電極に行選択線が
接続され、第2電極より出力信号を出力する第3MOS
トランジスタを、行選択用のMOSトランジスタとして
設けても構わない。
【0033】又、請求項30に記載するように、前記各
画素に、前記第2MOSトランジスタの第2電極に一端
が接続されるとともに、他端に直流電圧が印加された第
1キャパシタを設けて、光源の変動成分や高周波のノイ
ズを吸収するSN比の良好な出力信号が出力されるよう
にしても構わない。又、請求項31に記載するように、
前記各画素に、前記第2MOSトランジスタの第2電極
にゲート電極が接続されるとともに、第1電極に直流電
圧が印加された第4MOSトランジスタを、増幅用のM
OSトランジスタとして設けても構わない。更に、請求
項32に記載するように、前記各画素に、前記第4MO
Sトランジスタの第2電極に第1電極が接続されるとと
もに、ゲート電極に行選択線が接続され、第2電極より
出力信号を出力する第3MOSトランジスタを、行選択
用のMOSトランジスタとして設けても構わない。
【0034】又、請求項33に記載の固体撮像装置は、
請求項31又は請求項32に記載の固体撮像装置におい
て、前記第2MOSトランジスタが、前記第1MOSト
ランジスタと逆極性のMOSトランジスタであることを
特徴とする。
【0035】又、請求項34に記載の固体撮像装置は、
請求項5〜請求項10又は請求項13〜請求項33のい
ずれかに記載の固体撮像装置において、前記画素マトリ
クス状に配されることを特徴とする。
【0036】
【発明の実施の形態】<画素構成>図1は本発明の他の
実施形態である二次元のMOS型固体撮像装置の一部の
構成を概略的に示している。同図において、G11〜Gm
nは行列配置(マトリクス配置)された画素を示してい
る。2は垂直走査回路であり、行(ライン)4−1、4
−2、・・・、4−nを順次走査していく。3は水平走
査回路であり、画素から出力信号線6−1、6−2、・
・・、6−mに導出された光電変換信号を画素ごとに水
平方向に順次読み出す。5は電源ラインである。各画素
に対し、上記ライン4−1、4−2・・・、4−nや出
力信号線6−1、6−2・・・、6−m、電源ライン5
だけでなく、他のライン(例えば、クロックラインやバ
イアス供給ライン等)も接続されるが、図1ではこれら
について省略する。
【0037】出力信号線6−1、6−2、・・・、6−
mごとにNチャネルのMOSトランジスタQ1、Q2が
図示の如く1組ずつ設けられている。出力信号線6−1
を例にとって説明すると、MOSトランジスタQ1のゲ
ートは直流電圧線7に接続され、ドレインは出力信号線
6−1に接続され、ソースは直流電圧VPS’のライン8
に接続されている。一方、MOSトランジスタQ2のド
レインは出力信号線6−1に接続され、ソースは最終的
な信号線9に接続され、ゲートは水平走査回路3に接続
されている。
【0038】画素G11〜Gmnには、後述するように、
それらの画素で発生した光電荷に基づく信号を出力する
NチャネルのMOSトランジスタTaが設けられてい
る。MOSトランジスタTaと上記MOSトランジスタ
Q1との接続関係は図2(a)のようになる。このMO
SトランジスタTaは、第2〜第4、第6〜第8、第1
0及び第11の実施形態では、MOSトランジスタT4
に、第1、第5及び第9の実施形態では、MOSトラン
ジスタT2に相当する。ここで、MOSトランジスタQ
1のソースに接続される直流電圧VPS’と、MOSトラ
ンジスタTaのドレインに接続される直流電圧VPD’と
の関係はVPD’>VPS’であり、直流電圧VPS’は例え
ばグランド電圧(接地)である。この回路構成は上段の
MOSトランジスタTaのゲートに信号が入力され、下
段のMOSトランジスタQ1のゲートには直流電圧DC
が常時印加される。このため下段のMOSトランジスタ
Q1は抵抗又は定電流源と等価であり、図2(a)の回
路はソースフォロワ型の増幅回路となっている。この場
合、MOSトランジスタTaから増幅出力されるのは電
流であると考えてよい。
【0039】MOSトランジスタQ2は水平走査回路3
によって制御され、スイッチ素子として動作する。尚、
後述するように図3以降の各実施形態の画素内にはスイ
ッチ用のNチャネルのMOSトランジスタT3も設けら
れている。このMOSトランジスタT3も含めて表わす
と、図2(a)の回路は正確には図2(b)のようにな
る。即ち、MOSトランジスタT3がMOSトランジス
タQ1とMOSトランジスタTaとの間に挿入されてい
る。ここで、MOSトランジスタT3は行の選択を行う
ものであり、MOSトランジスタQ2は列の選択を行う
ものである。尚、図1および図2に示す構成は以下に説
明する第1の実施形態〜第11の実施形態に共通の構成
である。
【0040】図2のように構成することにより信号を大
きく出力することができる。従って、画素がダイナミッ
クレンジ拡大のために感光素子から発生する光電流を自
然対数的に変換しているような場合は、そのままでは出
力信号が小さいが、本増幅回路により充分大きな信号に
増幅されるため、後続の信号処理回路(図示せず)での
処理が容易になる。また、増幅回路の負荷抵抗部分を構
成するMOSトランジスタQ1を画素内に設けずに、列
方向に配置された複数の画素が接続される出力信号線6
−1、6−2、・・・、6−mごとに設けることによ
り、負荷抵抗又は定電流源の数を低減でき、半導体チッ
プ上で増幅回路が占める面積を少なくできる。
【0041】<第1の実施形態>図1に示した画素構成
の各画素に適用される第1の実施形態について、図面を
参照して説明する。図3は、本実施形態に使用する固体
撮像装置に設けられた画素の構成を示す回路図である。
【0042】図3において、pnフォトダイオードPD
が感光部(光電変換部)を形成している。そのフォトダ
イオードPDのアノードはMOSトランジスタT1のゲ
ート及びドレイン、MOSトランジスタT2のゲートに
接続されている。MOSトランジスタT2のソースは行
選択用のMOSトランジスタT3のドレインに接続され
ている。MOSトランジスタT3のソースは出力信号線
6(この出力信号線6は図1の6−1、6−2、・・
・、6−mに対応する)へ接続されている。尚、MOS
トランジスタT1〜T3は、それぞれ、NチャネルのM
OSトランジスタでバックゲートが接地されている。
【0043】又、フォトダイオードPDのカソード及び
MOSトランジスタT2のドレインには直流電圧VPDが
印加されるようになっている。一方、MOSトランジス
タT1のソースには信号φVPSが入力される。又、MO
SトランジスタT3のゲートには信号φVが入力され
る。尚、信号φVPSは2値の電圧信号で、入射光量が所
定値を超えたときにMOSトランジスタT1をサブスレ
ッショルド領域で動作させるための電圧をVHとし、
又、この電圧よりも低くMOSトランジスタT1を導通
状態にする電圧をVLとする。このような構成の画素の
動作について、以下に説明する。
【0044】図4に示すタイミングチャートのように、
パルス信号φVがMOSトランジスタT3のゲートに与
えられて、出力信号が読み出されると、まず、信号φV
PSをVLとしてリセット動作を行う。このとき、MOS
トランジスタT1を通してMOSトランジスタT1のソ
ース・ドレイン間に蓄積された電荷と逆極性の電荷が流
入されて、MOSトランジスタT1のゲート電圧がリセ
ットされる。
【0045】このように信号φVPSをVLとしてリセッ
トを行っている際に、ハイレベルのパルス信号φVをM
OSトランジスタT3のゲートに与えることによって、
リセット時におけるノイズ信号を読み出す。このとき、
リセットされたMOSトランジスタT1のゲート電圧が
MOSトランジスタT2のゲートに与えられ、このMO
SトランジスタT1のゲート電圧がMOSトランジスタ
T2で電流増幅されて、MOSトランジスタT3を介し
て出力信号線6に出力される。
【0046】又、MOSトランジスタT2及びMOSト
ランジスタQ1(図2)の導通時抵抗とそれらを流れる
電流によって決まるMOSトランジスタQ1のドレイン
電圧が、ノイズ信号として出力信号線6に現れる。この
ようにしてノイズ信号が読み出されると、MOSトラン
ジスタT3をOFFにした後、信号φVPSをVHにし
て、次の撮像動作に備える。
【0047】信号φVPSをVHとして撮像動作が開始す
ると、フォトダイオードPDより入射光量に応じた光電
荷がMOSトランジスタT1に流れ込む。今、MOSト
ランジスタT1はカットオフ状態であるので、光電荷が
MOSトランジスタT1のゲートに蓄積される。よっ
て、撮像する被写体の輝度が低くフォトダイオードPD
に入射される入射光量が少ない場合は、MOSトランジ
スタT1のゲートに蓄積された光電荷量に応じた電圧が
MOSトランジスタT1のゲートに現れるため、入射光
量の積分値に対して線形的に比例した電圧がMOSトラ
ンジスタT2のゲートに現れる。
【0048】又、撮像する被写体の輝度が高くフォトダ
イオードPDに入射される入射光量が多く、MOSトラ
ンジスタT1のゲートに蓄積された光電荷量に応じた電
圧が高くなると、MOSトランジスタT1がサブスレッ
ショルド領域で動作を行うため、入射光量に対して自然
対数的に比例した電圧がMOSトランジスタT1のゲー
トに現れる。
【0049】このようにして、入射光量に対して線形的
に又は自然対数的に比例した電圧がMOSトランジスタ
T1,T2のゲートに現れ、先と同様に、パルス信号φ
VをMOSトランジスタT3のゲートに与えることによ
って、入射光量に対して線形的に又は自然対数的に比例
したMOSトランジスタT1のゲート電圧がMOSトラ
ンジスタT2で電流増幅されて、MOSトランジスタT
3を介して出力信号線6に出力される。又、MOSトラ
ンジスタT2及びMOSトランジスタQ1の導通時抵抗
とそれらを流れる電流によって決まるMOSトランジス
タQ1のドレイン電圧が、映像信号として出力信号線6
に現れる。
【0050】このような動作を行う各画素において、M
OSトランジスタT1には閾値電圧にバラツキがあるた
めに、信号φVPSがVHとされた場合、線形変換動作か
ら対数変換動作に切り替わる電圧値は、VH+VTH−K
(但し、VTHはMOSトランジスタT1の閾値電圧、K
は定数を表す)となる。本実施形態においては、信号φ
VPSがVLとされた場合、MOSトランジスタT1のゲ
ート電極の電圧値は、実用上、ほぼVL+VTHとなる。従
って、差をとると、ΔV=VH−VL−Kとなり、リセ
ットされた状態から上記切り替わり点に至らしめるため
に必要な電荷量は、各画素のMOSトランジスタT1の
閾値バラツキによらずほぼ一定である。
【0051】よって、対数変換動作に変わるときのMO
SトランジスタT1のゲート電圧に至るまでにMOSト
ランジスタT1に流れ込む光電荷量が、全ての画素にお
いて等しい。このように、各画素における変換動作が対
数変換動作に切り替わるときのフォトダイオードPDよ
り発生する光電荷量が等しいので、各画素における変換
動作が対数変換動作に切り替わるときのフォトダイオー
ドPDに入射される入射光量も等しい。即ち、全ての画
素において、その変換動作が線形変換動作から対数変換
動作に切り替わるときの被写体の輝度が等しいものとな
り、MOSトランジスタT1の閾値電圧の差異による各
画素の変換動作の切換への影響を低減することができ
る。
【0052】又、リセット時における信号φVPSの電圧
値VLを変化させることによって、線形変換動作を行う
際のMOSトランジスタT1のゲート電圧VGが変化す
る範囲を変化させることができる。よって、リセット時
における信号φVPSの電圧値VLを変化させることで、
各画素の変換動作が線形変換動作から対数変換動作に切
り替わるときの被写体の輝度を所望の切換点に変化させ
ることができる。
【0053】更に、ノイズ信号が図1の信号線9から画
素毎にシリアルに出力され、後続回路においてメモリに
画素毎のノイズ信号として記憶しておく。そして、映像
信号を記憶されているノイズ信号で画素毎に補正すれ
ば、映像信号から画素のバラツキによる成分を取り除く
ことができる。尚、この補正方法の具体例は後述する図
50に示している。この補正方法は、ラインメモリなど
のメモリを画素内に設けることによっても実現できる。
【0054】<第2の実施形態>第2の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図5は、本実施形態に使
用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回路
図である。尚、図3に示す画素と同様の目的で使用され
る素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その詳
細な説明は省略する。
【0055】図5に示すように、本実施形態では、第1
の実施形態(図3)の画素に、MOSトランジスタT2
のソースに一端が接続されたキャパシタC1と、同じ
く、MOSトランジスタT2のソースにゲートが接続さ
れたMOSトランジスタT4とが付加された構成とな
る。MOSトランジスタT4は、ソースがMOSトラン
ジスタT3のドレインに接続されるとともに、ドレイン
に直流電圧VPDが印加されている。又、MOSトランジ
スタT2のドレインには信号φDが与えられ、キャパシ
タC1の他端に直流電圧VPSが印加される。尚、MOS
トランジスタT4も、MOSトランジスタT1〜T3と
同様に、NチャネルのMOSトランジスタでバックゲー
トが接地されている。このような構成の画素の動作につ
いて、以下に説明する。
【0056】図6に示すタイミングチャートのように、
パルス信号φVがMOSトランジスタT3のゲートに与
えられて、出力信号が読み出されると、まず、信号φV
PSをVLとしてリセット動作を行う。このとき、MOS
トランジスタT1を通して、MOSトランジスタT1の
ゲート電圧がリセットされる。このように信号φVPSを
VLとしてリセットを行っている際に、まず、ローレベ
ルのパルス信号φDをMOSトランジスタT2のドレイ
ンに与えることによって、キャパシタC1に蓄積された
電荷をMOSトランジスタT2を通して信号φDの信号
線路に放出して、キャパシタC1とMOSトランジスタ
T2のソースとの接続ノードの電圧を初期化する。
【0057】そして、リセットされたMOSトランジス
タT1のゲート電圧がMOSトランジスタT2のゲート
に与えられ、このMOSトランジスタT1のゲート電圧
に応じたドレイン電流がMOSトランジスタT2を通じ
てキャパシタC1に流れて、キャパシタC1に蓄電され
る。よって、キャパシタC1とMOSトランジスタT2
のソースとの接続ノードの電圧が、リセットされたMO
SトランジスタT1のゲート電圧に応じたものとなる。
【0058】そして、次に、ハイレベルのパルス信号φ
VをMOSトランジスタT3のゲートに与えることによ
って、リセット時におけるノイズ信号を読み出す。この
とき、キャパシタC1とMOSトランジスタT2のソー
スとの接続ノードの電圧がMOSトランジスタT4に与
えられ、MOSトランジスタT4で電流増幅された出力
電流が、MOSトランジスタT3を介して出力信号線6
に出力される。このようにして、リセット時のノイズ信
号が読み出されると、再び、ローレベルのパルス信号φ
DをMOSトランジスタT2のドレインに与えて、キャ
パシタC1とMOSトランジスタT2のソースとの接続
ノードの電圧をリセットした後、信号φVPSをVHとし
て撮像動作に備える。
【0059】信号φVPSをVHとして撮像動作が開始す
ると、フォトダイオードPDへの入射光量に対して線形
的に又は自然対数的に比例した電圧がMOSトランジス
タT1,T2のゲートに現れる。そして、この入射光量
に対して線形的に又は自然対数的に比例した電圧がMO
SトランジスタT2で電流増幅されたドレイン電流がキ
ャパシタC1に流れて、キャパシタC1に蓄電される。
よって、キャパシタC1とMOSトランジスタT2のソ
ースとの接続ノードの電圧が、入射光量の積分値に対し
て線形的に又は自然対数的に比例した電圧となる。
【0060】そして、先と同様に、ハイレベルのパルス
信号φVをMOSトランジスタT3のゲートに与えるこ
とによって、撮像時における映像信号を読み出す。この
とき、キャパシタC1とMOSトランジスタT2のソー
スとの接続ノードの電圧がMOSトランジスタT4に与
えられ、MOSトランジスタT4で電流増幅された出力
電流が、MOSトランジスタT3を介して出力信号線6
に出力される。よって、出力信号線6に出力される出力
電流が、入射光量の積分値に対して線形的に又は自然対
数的に比例した電流となる。
【0061】このように撮像動作を行っているとき、第
1の実施形態と同様、所定の明るさまでは入射光量の積
分値に対して線形的に比例した電圧が、所定の明るさ以
上のときは入射光量の積分値に対して自然対数的に比例
した電圧が、それぞれ、MOSトランジスタT2のゲー
トに与えられる。
【0062】このような構成の画素において、リセット
時における信号φVPSの電圧値VLを変化させること
で、各画素の変換動作が線形変換動作から対数変換動作
に切り替わるときの被写体の輝度を変化させることがで
きる。又、本実施形態において、キャパシタC1を用い
ることで、一旦キャパシタC1で積分された信号となる
ので、光源の変動成分や高周波のノイズがキャパシタで
吸収されて除去され、SN比の良好な信号が得られる。
【0063】更に、ノイズ信号が図1の信号線9から画
素毎にシリアルに出力され、後続回路においてメモリに
画素毎のノイズ信号として記憶しておく。そして、映像
信号を記憶されているノイズ信号で画素毎に補正すれ
ば、映像信号から画素のバラツキによる成分を取り除く
ことができる。尚、この補正方法の具体例は後述する図
50に示している。この補正方法は、ラインメモリなど
のメモリを画素内に設けることによっても実現できる。
【0064】<第3の実施形態>第3の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図7は、本実施形態に使
用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回路
図である。尚、図5に示す画素と同様の目的で使用され
る素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その詳
細な説明は省略する。
【0065】図7に示すように、本実施形態では、第2
の実施形態(図5)の画素に、MOSトランジスタT2
のソースとキャパシタC1との接続ノードにドレインが
接続されたMOSトランジスタT5と、MOSトランジ
スタT5のソースに一端が接続されたキャパシタC2
と、同じく、MOSトランジスタT5のソースにドレイ
ンが接続されたMOSトランジスタT6とが付加された
構成となる。MOSトランジスタT6は、ソースに直流
電圧VRSが印加されるとともに、ゲートに信号φRSが
与えられている。又、MOSトランジスタT5のゲート
には信号φSが与えられ、キャパシタC2の他端に直流
電圧VPSが印加される。尚、MOSトランジスタT5,
T6も、MOSトランジスタT1〜T4と同様に、Nチ
ャネルのMOSトランジスタでバックゲートが接地され
ている。このような構成の画素の動作について、以下に
説明する。
【0066】パルス信号φVがMOSトランジスタT3
のゲートに与えられて、出力信号が読み出されると、ま
ず、信号φVPSをVLとしてリセット動作を行う。この
とき、MOSトランジスタT1を通して、MOSトラン
ジスタT1のゲート電圧がリセットされる。このように
信号φVPSをVLとしてリセットを行っている際に、ま
ず、ローレベルのパルス信号φDをMOSトランジスタ
T2のドレインに与えることによって、キャパシタC1
に蓄積された電荷をMOSトランジスタT2を通して信
号φDの信号線路に放出して、キャパシタC1とMOS
トランジスタT2のソースとの接続ノードの電圧を初期
化する。又、信号φRSにパルス信号を与えることによ
ってキャパシタC2を初期化する。
【0067】そして、リセットされたMOSトランジス
タT1のゲート電圧がMOSトランジスタT2のゲート
に与えられ、このMOSトランジスタT1のゲート電圧
に応じたドレイン電流がMOSトランジスタT2を通じ
てキャパシタC1に流れて、キャパシタC1に蓄電され
る。よって、キャパシタC1とMOSトランジスタT2
のソースとの接続ノードの電圧が、リセットされたMO
SトランジスタT1のゲート電圧に応じたものとなる。
そして、信号φVPSをVHとして、次の撮像動作に備え
る。尚、この信号φD,φVPSの動作については、図1
の画素G11〜Gmn全てに対して、同時に行われる。
【0068】信号φVPSをVHとして撮像動作が開始す
ると、フォトダイオードPDへの入射光量に対して線形
的に又は自然対数的に比例した電圧がMOSトランジス
タT1,T2のゲートに現れる。そして、この入射光量
に対して線形的に又は自然対数的に比例した電圧がMO
SトランジスタT2で電流増幅されたドレイン電流がキ
ャパシタC1に流れて、キャパシタC1に蓄電される。
よって、キャパシタC1とMOSトランジスタT2のソ
ースとの接続ノードの電圧が、入射光量の積分値に対し
て線形的に又は自然対数的に比例した電圧となる。
【0069】そして、次に、ハイレベルのパルス信号φ
SをMOSトランジスタT5のゲートに与えることによ
ってMOSトランジスタT5が導通し、キャパシタC1
とMOSトランジスタT2のソースとの接続ノードの電
圧がキャパシタC2によってサンプリングされる。よっ
て、キャパシタC2とMOSトランジスタT4のゲート
との接続ノードの電圧が、入射光量の積分値に対して線
形的に又は自然対数的に比例した電圧となる。尚、撮像
動作が開始してからパルス信号φSが与えられるまでの
動作については、図1の画素G11〜Gmn全てに対して、
同時に行われる。
【0070】このように撮像動作を行っているとき、第
1の実施形態と同様、所定の明るさまでは入射光量に対
して線形的に比例した電圧が、又、所定以上の明るさの
ときは入射光量に対して自然対数的に比例した電圧が、
それぞれ、MOSトランジスタT2のゲートに与えられ
る。
【0071】その後、ハイレベルのパルス信号φVをM
OSトランジスタT3のゲートに与えることによって、
撮像時における映像信号を読み出す。このとき、キャパ
シタC2とMOSトランジスタT4のゲートとの接続ノ
ードの電圧がMOSトランジスタT4に与えられ、MO
SトランジスタT4で電流増幅された出力電流が、MO
SトランジスタT3を介して出力信号線6に出力され
る。よって、出力信号線6に出力される出力電流が、入
射光量の積分値に対して線形的に又は自然対数的に比例
した電流となる。
【0072】このような構成の画素において、リセット
時における信号φVPSの電圧値VLを変化させること
で、各画素の変換動作が線形変換動作から対数変換動作
に切り替わるときの被写体の輝度を変化させることがで
きる。又、本実施形態において、キャパシタC1を用い
ることで、一旦キャパシタC1で積分された信号となる
ので、光源の変動成分や高周波のノイズがキャパシタで
吸収されて除去され、SN比の良好な信号が得られる。
又、信号φSを同時に与えることによって、全画素にお
いて同一時間に積分して得た映像信号をキャパシタC2
にサンプリングすることができる。よって、高速で異動
する被写体を撮像しても、画像歪みが生じない。
【0073】<第4の実施形態>第4の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図8は、本実施形態に使
用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回路
図である。尚、図7に示す画素と同様の目的で使用され
る素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その詳
細な説明は省略する。
【0074】図8に示すように、本実施形態では、第3
の実施形態(図7)の画素より、MOSトランジスタT
2が省かれた構成となる。即ち、MOSトランジスタT
1のドレインとゲートの接続ノードが、キャパシタC1
とMOSトランジスタT5のドレインとの接続ノードに
接続される。このような構成の画素の動作について、以
下に説明する。
【0075】パルス信号φVがMOSトランジスタT3
のゲートに与えられて、出力信号が読み出されると、ま
ず、信号φVPSをVLとしてリセット動作を行う。この
とき、MOSトランジスタT1を通して、MOSトラン
ジスタT1のゲート電圧がリセットされるとともに、キ
ャパシタC1が初期化される。又、信号φRSにパルス
信号を与えることによってキャパシタC2を初期化す
る。
【0076】その後、信号φVPSをVHとして撮像動作
が開始すると、フォトダイオードPDへの入射光量に対
して線形的に又は自然対数的に比例した電圧がMOSト
ランジスタT1のゲートに現れる。そして、この入射光
量に対して線形的に又は自然対数的に比例した電圧がキ
ャパシタC1によってサンプリングされる。次に、ハイ
レベルのパルス信号φSをMOSトランジスタT5のゲ
ートに与えることによってMOSトランジスタT5が導
通し、キャパシタC1でサンプリングされた電圧がキャ
パシタC2によってサンプリングされる。よって、キャ
パシタC2とMOSトランジスタT4のゲートとの接続
ノードの電圧が、入射光量に対して線形的に又は自然対
数的に比例した電圧となる。尚、撮像動作が開始してか
らパルス信号φSが与えられるまでの動作については、
図1の画素G11〜Gmn全てに対して、同時に行われる。
【0077】このように撮像動作を行っているとき、第
1の実施形態と同様、入射光量に対して線形的に変化し
た出力、又は、入射光量に対して自然対数的に変化した
出力が、それぞれ、キャパシタC1にサンプリングされ
る。
【0078】このような構成の画素において、リセット
時における信号φVPSの電圧値VLを変化させること
で、各画素の変換動作が線形変換動作から対数変換動作
に切り替わるときの被写体の輝度を変化させることがで
きる。又、本実施形態において、キャパシタC1を用い
ることで、一旦キャパシタC1で積分された信号となる
ので、光源の変動成分や高周波のノイズがキャパシタで
吸収されて除去され、SN比の良好な信号が得られる。
又、信号φSを同時に与えることによって、全画素にお
いて同一時間にキャパシタC1でサンプリングして得た
映像信号をキャパシタC2にサンプリングすることがで
きる。よって、高速で異動する被写体を撮像しても、画
像歪みが生じない。
【0079】<第5の実施形態>第5の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図9は、本実施形態に使
用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回路
図である。尚、図3に示す画素と同様の目的で使用され
る素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その詳
細な説明は省略する。
【0080】図9に示すように、本実施形態では、第1
の実施形態(図3)の画素に、フォトダイオードPDの
アノードとMOSトランジスタT1のドレインとの間に
接続されたMOSトランジスタT7が付加された構成と
なる。MOSトランジスタT7は、ドレインがフォトダ
イオードPDのアノードに、そして、ソースがMOSト
ランジスタT1のドレインにそれぞれ接続されるととも
に、ゲートに信号φSWが与えられる。尚、MOSトラ
ンジスタT7も、MOSトランジスタT1〜T3と同様
に、NチャネルのMOSトランジスタでバックゲートが
接地されている。
【0081】このような構成の画素は、リセット時及び
撮像時のそれぞれにおいて、常に、ハイレベルの信号φ
SWをMOSトランジスタT7のゲートに与えて、MO
SトランジスタT7をONにすることによって、第1の
実施形態の画素と同様の状態とすることができる。即
ち、常に、MOSトランジスタT7をONにして、フォ
トダイオードPDのアノードとMOSトランジスタT1
のドレインとを電気的に接続することで、被写体の輝度
に応じて自動的に線形変換動作と対数変換動作とを切り
換えることができる。よって、このように、MOSトラ
ンジスタT7を常にONしたときの動作については、第
1の実施形態を参照するものとして、本実施形態では、
その説明を省略する。
【0082】又、リセット時にMOSトランジスタT7
を所定のタイミングでON/OFFさせることによっ
て、図9のような構成の画素は、その撮像時に、全ての
輝度範囲において対数変換動作を行う。このように、撮
像時に、全ての輝度範囲において対数変換動作を行うと
きにおける、図9のような構成の画素の動作について、
以下に説明する。尚、このとき、信号φVPSは、直流電
圧VPSと略等しい電圧でMOSトランジスタT1をサブ
スレッショルド領域で動作させるための電圧をVhと
し、又、この電圧よりも低くMOSトランジスタT1を
導通状態にする電圧をVlとする。
【0083】図10に示すタイミングチャートのよう
に、パルス信号φVがMOSトランジスタT3のゲート
に与えられて、出力信号が読み出されると、まず、信号
φSWをローレベルにしてリセット動作を行う。このと
き、MOSトランジスタT1のソース側より負の電荷が
流れ込み、MOSトランジスタT1のゲート及びドレイ
ン、MOSトランジスタT2のゲート、そしてフォトダ
イオードPDのアノードに蓄積された正の電荷が再結合
される。よって、ある程度までリセットされて、MOS
トランジスタT1のドレイン及びゲート下領域のポテン
シャルが下がる。
【0084】このように、MOSトランジスタT1のド
レイン及びゲート下領域のポテンシャルが基の状態にリ
セットされようとするが、そのポテンシャルがある値に
なると、そのリセットされる速度が遅くなる。特に、明
るい被写体が急に暗くなった場合にこの傾向が顕著とな
る。よって、次に、MOSトランジスタT1のソースに
与える信号φVPSをVlとする。このように、MOSト
ランジスタT1のソース電圧を低くすることによって、
MOSトランジスタT1のソースから流入する負の電荷
の量が増加し、MOSトランジスタT1のゲート及びド
レイン、MOSトランジスタT2のゲート、そしてフォ
トダイオードPDのアノードに蓄積された正の電荷が速
やかに再結合される。
【0085】そして、MOSトランジスタT1のドレイ
ン及びゲート下領域のポテンシャルが低くなると、MO
SトランジスタT1のソースに与える信号φVPSをVh
にする。よって、MOSトランジスタT1のポテンシャ
ル状態が、基の状態にリセットされる。このようにMO
SトランジスタT1のポテンシャル状態のリセットが行
われると、ハイレベルのパルス信号φVをMOSトラン
ジスタT3のゲートに与えることによって、リセット時
におけるノイズ信号を読み出す。このようにしてノイズ
信号が読み出されると、MOSトランジスタT3をOF
Fにした後、信号φSWをハイレベルにして、次の撮像
動作に備える。
【0086】信号φSWをハイレベルにして撮像動作が
開始すると、フォトダイオードPDより入射光量に応じ
た光電荷がMOSトランジスタT1に流れ込む。今、M
OSトランジスタT1のソース電圧にVhとなる信号φ
VPSが与えられるため、MOSトランジスタT1はサブ
スレッショルド領域で動作を行う。よって、光電流を自
然対数的に変換した値の電圧がMOSトランジスタT
1,T2のゲートに発生する。
【0087】このようにして、入射光量に対して自然対
数的に比例した電圧がMOSトランジスタT1,T2の
ゲートに現れると、先と同様に、パルス信号φVがMO
SトランジスタT3のゲートに与えられる。よって、入
射光量に対して自然対数的に比例したMOSトランジス
タT1のゲート電圧がMOSトランジスタT2で電流増
幅されて、MOSトランジスタT3を介して出力信号線
6に出力される。このようにして映像信号が読み出され
た後、上述したリセット動作が行われる。
【0088】このように、リセット時に、MOSトラン
ジスタT7をOFFさせることによって、フォトダイオ
ードPDから流れる光電流の影響なくMOSトランジス
タT1のリセットを行うことができる。又、撮像時に
は、常に、MOSトランジスタT1がサブスレッショル
ド領域で動作するため、全輝度範囲で対数変換動作を行
うようにすることができる。
【0089】又、ノイズ信号が図1の信号線9から画素
毎にシリアルに出力され、後続回路においてメモリに画
素毎のノイズ信号として記憶しておく。そして、映像信
号を記憶されているノイズ信号で画素毎に補正すれば、
映像信号から画素のバラツキによる成分を取り除くこと
ができる。尚、この補正方法の具体例は後述する図50
に示している。この補正方法は、ラインメモリなどのメ
モリを画素内に設けることによっても実現できる。
【0090】<第6の実施形態>第6の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図11は、本実施形態に
使用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回
路図である。尚、図5に示す画素と同様の目的で使用さ
れる素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その
詳細な説明は省略する。
【0091】図11に示すように、本実施形態では、第
5の実施形態(図9)と同様、第2の実施形態(図5)
の画素に、フォトダイオードPDのアノードとMOSト
ランジスタT1のドレインとの間に接続されたMOSト
ランジスタT7が付加された構成となる。MOSトラン
ジスタT7は、ドレインがフォトダイオードPDのアノ
ードに、そして、ソースがMOSトランジスタT1のド
レインにそれぞれ接続されるとともに、ゲートに信号φ
SWが与えられる。
【0092】このような構成の画素は、第5の実施形態
と同様、リセット時及び撮像時のそれぞれにおいて、常
に、ハイレベルの信号φSWをMOSトランジスタT7
のゲートに与えて、MOSトランジスタT7をONにす
ることによって、第2の実施形態の画素と同様の状態と
することができる。即ち、常に、MOSトランジスタT
7をONにして、フォトダイオードPDのアノードとM
OSトランジスタT1のドレインとを電気的に接続する
ことで、被写体の輝度に応じて自動的に線形変換動作と
対数変換動作とを切り換えることができる。よって、こ
のように、MOSトランジスタT7を常にONしたとき
の動作については、第2の実施形態を参照するものとし
て、本実施形態では、その説明を省略する。
【0093】又、第5の実施形態と同様、リセット時に
MOSトランジスタT7を所定のタイミングでON/O
FFさせることによって、図11のような構成の画素
は、その撮像時に、全ての輝度範囲において対数変換動
作を行う。このように、撮像時に、全ての輝度範囲にお
いて対数変換動作を行うときにおける、図11のような
構成の画素の動作について、以下に説明する。尚、この
とき、信号φVPSは、直流電圧VPSと略等しい電圧でM
OSトランジスタT1をサブスレッショルド領域で動作
させるための電圧をVhとし、又、この電圧よりも低く
MOSトランジスタT1を導通状態にする電圧をVlと
する。
【0094】図12に示すタイミングチャートのよう
に、パルス信号φVがMOSトランジスタT3のゲート
に与えられて、出力信号が読み出されると、まず、信号
φSWをローレベルにしてリセット動作を行う。このと
き、MOSトランジスタT1のソース側より負の電荷が
流れ込み、MOSトランジスタT1のゲート及びドレイ
ン、MOSトランジスタT2のゲート、そしてフォトダ
イオードPDのアノードに蓄積された正の電荷が再結合
されて、ある程度までリセットされる。
【0095】次に、MOSトランジスタT1のソースに
与える信号φVPSをVlとする。このように、MOSト
ランジスタT1のソース電圧を低くすることによって、
MOSトランジスタT1のソースから流入する負の電荷
の量を増加させる。よって、MOSトランジスタT1の
ゲート及びドレイン、MOSトランジスタT2のゲー
ト、そしてフォトダイオードPDのアノードに蓄積され
た正の電荷が速やかに再結合される。
【0096】そして、MOSトランジスタT1のドレイ
ン及びゲート下領域のポテンシャルが低くなると、MO
SトランジスタT1のソースに与える信号φVPSをVh
にして、MOSトランジスタT1のポテンシャル状態
を、基の状態にリセットする。このようにMOSトラン
ジスタT1のポテンシャル状態のリセットが行われる
と、まず、ローレベルのパルス信号φDをMOSトラン
ジスタT2のドレインに与えることによって、キャパシ
タC1に蓄積された電荷をMOSトランジスタT2を通
して信号φDの信号線路に放出して、キャパシタC1と
MOSトランジスタT2のソースとの接続ノードの電圧
を初期化する。
【0097】そして、リセットされたMOSトランジス
タT1のゲート電圧がMOSトランジスタT2のゲート
に与えられ、このMOSトランジスタT1のゲート電圧
がMOSトランジスタT2で電流増幅されたドレイン電
流がキャパシタC1に流れて、キャパシタC1に蓄電さ
れる。よって、キャパシタC1とMOSトランジスタT
2のソースとの接続ノードの電圧が、リセットされたM
OSトランジスタT1のゲート電圧に応じたものとな
る。
【0098】そして、次に、ハイレベルのパルス信号φ
VをMOSトランジスタT3のゲートに与えることによ
って、リセット時におけるノイズ信号を読み出す。この
とき、キャパシタC1とMOSトランジスタT2のソー
スとの接続ノードの電圧がMOSトランジスタT4に与
えられ、MOSトランジスタT4で電流増幅された出力
電流が、MOSトランジスタT3を介して出力信号線6
に出力される。このようにしてノイズ信号が読み出され
ると、再び、ローレベルのパルス信号φDをMOSトラ
ンジスタT2のドレインに与えて、キャパシタC1とM
OSトランジスタT2のソースとの接続ノードの電圧を
リセットした後、信号φSWをハイレベルにして、次の
撮像動作に備える。
【0099】信号φSWをハイレベルにして撮像動作が
開始すると、フォトダイオードPDより入射光量に応じ
た光電荷がMOSトランジスタT1に流れ込む。今、M
OSトランジスタT1のソース電圧にVhとなる信号φ
VPSが与えられるため、MOSトランジスタT1はサブ
スレッショルド領域で動作を行う。よって、光電流を自
然対数的に変換した値の電圧がMOSトランジスタT
1,T2のゲートに発生する。
【0100】このようにして、入射光量に対して自然対
数的に比例した電圧がMOSトランジスタT1,T2の
ゲートに現れると、この入射光量に対して自然対数的に
比例した電圧がMOSトランジスタT2で電流増幅され
たドレイン電流がキャパシタC1に流れて、キャパシタ
C1に蓄電される。よって、キャパシタC1とMOSト
ランジスタT2のソースとの接続ノードの電圧が、入射
光量の積分値に対して自然対数的に比例した電圧とな
る。
【0101】そして、先と同様に、ハイレベルのパルス
信号φVをMOSトランジスタT3のゲートに与えるこ
とによって、撮像時における映像信号を読み出す。この
とき、キャパシタC1とMOSトランジスタT2のソー
スとの接続ノードの電圧がMOSトランジスタT4に与
えられ、MOSトランジスタT4で電流増幅された出力
電流が、MOSトランジスタT3を介して出力信号線6
に出力される。よって、出力信号線6に出力される出力
電流が、入射光量の積分値に対して自然対数的に比例し
た電流となる。このようにして映像信号が読み出された
後、上述したリセット動作が行われる。
【0102】このように、リセット時に、MOSトラン
ジスタT7をOFFさせることによって、フォトダイオ
ードPDから流れる光電流の影響なくMOSトランジス
タT1のリセットを行うことができる。又、撮像時に
は、常に、MOSトランジスタT1がサブスレッショル
ド領域で動作するため、全輝度範囲で対数変換動作を行
うようにすることができる。
【0103】又、ノイズ信号が図1の信号線9から画素
毎にシリアルに出力され、後続回路においてメモリに画
素毎のノイズ信号として記憶しておく。そして、映像信
号を記憶されているノイズ信号で画素毎に補正すれば、
映像信号から画素のバラツキによる成分を取り除くこと
ができる。尚、この補正方法の具体例は後述する図50
に示している。この補正方法は、ラインメモリなどのメ
モリを画素内に設けることによっても実現できる。
【0104】<第7の実施形態>第7の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図13は、本実施形態に
使用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回
路図である。尚、図7に示す画素と同様の目的で使用さ
れる素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その
詳細な説明は省略する。
【0105】図13に示すように、本実施形態では、第
5の実施形態(図9)と同様、第3の実施形態(図7)
の画素に、フォトダイオードPDのアノードとMOSト
ランジスタT1のドレインとの間に接続されたMOSト
ランジスタT7が付加された構成となる。MOSトラン
ジスタT7は、ドレインがフォトダイオードPDのアノ
ードに、そして、ソースがMOSトランジスタT1のド
レインにそれぞれ接続されるとともに、ゲートに信号φ
SWが与えられる。
【0106】このような構成の画素は、第5の実施形態
と同様、リセット時及び撮像時のそれぞれにおいて、常
に、ハイレベルの信号φSWをMOSトランジスタT7
のゲートに与えて、MOSトランジスタT7をONにす
ることによって、第3の実施形態の画素と同様の状態と
することができる。即ち、常に、MOSトランジスタT
7をONにして、フォトダイオードPDのアノードとM
OSトランジスタT1のドレインとを電気的に接続する
ことで、被写体の輝度に応じて自動的に線形変換動作と
対数変換動作とを切り換えることができる。よって、こ
のように、MOSトランジスタT7を常にONしたとき
の動作については、第3の実施形態を参照するものとし
て、本実施形態では、その説明を省略する。
【0107】又、第5の実施形態と同様、リセット時に
MOSトランジスタT7を所定のタイミングでON/O
FFさせることによって、図13のような構成の画素
は、その撮像時に、全ての輝度範囲において対数変換動
作を行う。このように、撮像時に、全ての輝度範囲にお
いて対数変換動作を行うときにおける、図13のような
構成の画素の動作について、以下に説明する。尚、この
とき、信号φVPSは、直流電圧VPSと略等しい電圧でM
OSトランジスタT1をサブスレッショルド領域で動作
させるための電圧をVhとし、又、この電圧よりも低く
MOSトランジスタT1を導通状態にする電圧をVlと
する。
【0108】パルス信号φVがMOSトランジスタT3
のゲートに与えられて、出力信号が読み出されると、ま
ず、信号φSWをローレベルにしてリセット動作を行
う。このとき、MOSトランジスタT1のソースに与え
る信号φVPSをVlにして、MOSトランジスタT1を
導通状態にすることによって、MOSトランジスタT1
のソースから流入する負の電荷の量を増加させて、MO
SトランジスタT1のゲート及びドレイン、MOSトラ
ンジスタT2のゲート、そしてフォトダイオードPDの
アノードに蓄積された正の電荷が速やかに再結合され
る。
【0109】そして、MOSトランジスタT1のソース
に与える信号φVPSをVhにして、MOSトランジスタ
T1のポテンシャル状態を基の状態にリセットする。こ
のように、MOSトランジスタT1のポテンシャルの状
態を基の状態にリセットした後、ローレベルのパルス信
号φDをMOSトランジスタT2のドレインに与えるこ
とによって、キャパシタC1に蓄積された電荷をMOS
トランジスタT2を通して信号φDの信号線路に放出し
て、キャパシタC1とMOSトランジスタT2のソース
との接続ノードの電圧を初期化する。又、信号φRSに
パルス信号を与えることによってキャパシタC2を初期
化する。
【0110】そして、リセットされたMOSトランジス
タT1のゲート電圧がMOSトランジスタT2のゲート
に与えられ、このMOSトランジスタT1のゲート電圧
がMOSトランジスタT2で電流増幅されたドレイン電
流がキャパシタC1に流れて、キャパシタC1に蓄電さ
れる。よって、キャパシタC1とMOSトランジスタT
2のソースとの接続ノードの電圧が、リセットされたM
OSトランジスタT1のゲート電圧に応じたものとな
る。
【0111】そして、信号φSWをハイレベルにして撮
像動作が開始すると、MOSトランジスタT1のソース
電圧にVhとなる信号φVPSが与えられるため、MOS
トランジスタT1はサブスレッショルド領域で動作を行
うので、フォトダイオードPDへの入射光量に対して自
然対数的に比例した電圧がMOSトランジスタT1,T
2のゲートに現れる。そして、この入射光量に対して自
然対数的に比例した電圧がMOSトランジスタT2で電
流増幅されたドレイン電流がキャパシタC1に流れて、
キャパシタC1に蓄電される。よって、キャパシタC1
とMOSトランジスタT2のソースとの接続ノードの電
圧が、入射光量の積分値に対して自然対数的に比例した
電圧となる。
【0112】そして、次に、ハイレベルのパルス信号φ
SをMOSトランジスタT5のゲートに与えることによ
ってMOSトランジスタT5が導通し、キャパシタC1
とMOSトランジスタT2のソースとの接続ノードの電
圧がキャパシタC2によってサンプリングされる。よっ
て、キャパシタC2とMOSトランジスタT4のゲート
との接続ノードの電圧が、入射光量の積分値に対して自
然対数的に比例した電圧となる。尚、撮像動作が開始し
てからパルス信号φSが与えられるまでの動作について
は、図1の画素G11〜Gmn全てに対して、同時に行われ
る。
【0113】その後、ハイレベルのパルス信号φVをM
OSトランジスタT3のゲートに与えることによって、
撮像時における映像信号を読み出す。このとき、キャパ
シタC2とMOSトランジスタT4のゲートとの接続ノ
ードの電圧がMOSトランジスタT4に与えられ、MO
SトランジスタT4で電流増幅された出力電流が、MO
SトランジスタT3を介して出力信号線6に出力され
る。よって、出力信号線6に出力される出力電流が、入
射光量の積分値に対して自然対数的に比例した電流とな
る。
【0114】このように、リセット時に、MOSトラン
ジスタT7をOFFさせることによって、フォトダイオ
ードPDから流れる光電流の影響なくMOSトランジス
タT1のリセットを行うことができる。又、撮像時に
は、常に、MOSトランジスタT1がサブスレッショル
ド領域で動作するため、全輝度範囲で対数変換動作を行
うようにすることができる。
【0115】<第8の実施形態>第8の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図14は、本実施形態に
使用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回
路図である。尚、図8に示す画素と同様の目的で使用さ
れる素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その
詳細な説明は省略する。
【0116】図14に示すように、本実施形態では、第
5の実施形態(図9)と同様、第4の実施形態(図8)
の画素に、フォトダイオードPDのアノードとMOSト
ランジスタT1のドレインとの間に接続されたMOSト
ランジスタT7が付加された構成となる。MOSトラン
ジスタT7は、ドレインがフォトダイオードPDのアノ
ードに、そして、ソースがMOSトランジスタT1のド
レインにそれぞれ接続されるとともに、ゲートに信号φ
SWが与えられる。
【0117】このような構成の画素は、第5の実施形態
と同様、リセット時及び撮像時のそれぞれにおいて、常
に、ハイレベルの信号φSWをMOSトランジスタT7
のゲートに与えて、MOSトランジスタT7をONにす
ることによって、第4の実施形態の画素と同様の状態と
することができる。即ち、常に、MOSトランジスタT
7をONにして、フォトダイオードPDのアノードとM
OSトランジスタT1のドレインとを電気的に接続する
ことで、被写体の輝度に応じて自動的に線形変換動作と
対数変換動作とを切り換えることができる。よって、こ
のように、MOSトランジスタT7を常にONしたとき
の動作については、第4の実施形態を参照するものとし
て、本実施形態では、その説明を省略する。
【0118】又、第5の実施形態と同様、リセット時に
MOSトランジスタT7を所定のタイミングでON/O
FFさせることによって、図14のような構成の画素
は、その撮像時に、全ての輝度範囲において対数変換動
作を行う。このように、撮像時に、全ての輝度範囲にお
いて対数変換動作を行うときにおける、図14のような
構成の画素の動作について、以下に説明する。尚、この
とき、信号φVPSは、直流電圧VPSと略等しい電圧でM
OSトランジスタT1をサブスレッショルド領域で動作
させるための電圧をVhとし、又、この電圧よりも低く
MOSトランジスタT1を導通状態にする電圧をVlと
する。
【0119】パルス信号φVがMOSトランジスタT3
のゲートに与えられて、出力信号が読み出されると、ま
ず、信号φSWをローレベルにしてリセット動作を行
う。このとき、MOSトランジスタT1のソースに与え
る信号φVPSをVlにして、MOSトランジスタT1を
導通状態にすることによって、MOSトランジスタT1
のソースから流入する負の電荷の量を増加させて、MO
SトランジスタT1のゲート及びドレイン、MOSトラ
ンジスタT2のゲート、そしてフォトダイオードPDの
アノードに蓄積された正の電荷が速やかに再結合され
る。
【0120】そして、MOSトランジスタT1のソース
に与える信号φVPSをVhにして、MOSトランジスタ
T1のポテンシャル状態を基の状態にリセットする。次
に、信号φSWをハイレベルにして撮像動作が開始する
と、MOSトランジスタT1のソース電圧にVhとなる
信号φVPSが与えられるため、MOSトランジスタT1
はサブスレッショルド領域で動作を行うので、フォトダ
イオードPDへの入射光量に対して自然対数的に比例し
た電圧がMOSトランジスタT1のゲートに現れる。そ
して、この入射光量に対して自然対数的に比例した電圧
がキャパシタC1でサンプリングされる。
【0121】このように、撮像時のMOSトランジスタ
T1のゲート電圧がキャパシタC1でサンプリングされ
ると、次に、ハイレベルのパルス信号φSをMOSトラ
ンジスタT5のゲートに与えることによってMOSトラ
ンジスタT5が導通し、キャパシタC1でサンプリング
された電圧がキャパシタC2によってサンプリングされ
る。よって、キャパシタC2とMOSトランジスタT4
のゲートとの接続ノードの電圧が、入射光量に対して自
然対数的に比例した電圧となる。尚、撮像動作が開始し
てからパルス信号φSが与えられるまでの動作について
は、図1の画素G11〜Gmn全てに対して、同時に行われ
る。
【0122】その後、ハイレベルのパルス信号φVをM
OSトランジスタT3のゲートに与えることによって、
撮像時における映像信号を読み出す。このとき、キャパ
シタC2とMOSトランジスタT4のゲートとの接続ノ
ードの電圧がMOSトランジスタT4に与えられ、MO
SトランジスタT4で電流増幅された出力電流が、MO
SトランジスタT3を介して出力信号線6に出力され
る。よって、出力信号線6に出力される出力電流が、入
射光量に対して自然対数的に比例した電流となる。
【0123】このように、リセット時に、MOSトラン
ジスタT7をOFFさせることによって、フォトダイオ
ードPDから流れる光電流の影響なくMOSトランジス
タT1のリセットを行うことができる。又、撮像時に
は、常に、MOSトランジスタT1がサブスレッショル
ド領域で動作するため、全輝度範囲で対数変換動作を行
うようにすることができる。
【0124】<ディプレッション型MOSトランジスタ
を組み合わせた構成の画素>又、第5〜第8の実施形態
(図9、図11、図13、図14)において、MOSト
ランジスタT7をディプレッション型のNチャネルのM
OSトランジスタとしても構わない。この画素の構成
を、図15〜図18に示す。図15〜図18に示すよう
に、MOSトランジスタT7以外のMOSトランジスタ
T1〜T6は、エンハンスメント型のNチャネルのMO
Sトランジスタである。
【0125】図9、図11、図13、図14の構成の画
素ように、画素内に設けられたMOSトランジスタを全
てエンハンスメント型のMOSトランジスタで構成した
とき、MOSトランジスタT1,T7が直列に接続され
るため、MOSトランジスタT7のゲートに与える信号
φSWのハイレベルの電圧が、通常は、この画素に供給
する電圧よりも高くなる。そのため、通常はMOSトラ
ンジスタT7に信号φSWを与えるための別の電源を設
ける必要がある。
【0126】それに対して、上述したように、このMO
SトランジスタT7をディプレッション型のMOSトラ
ンジスタとすることによって、そのゲートに与える信号
φSWのハイレベルの電圧を低くすることができ、他の
MOSトランジスタに与えるハイレベルの信号と同じ電
圧にすることが可能になる。これは、ディプレッション
型のMOSトランジスタの閾値が負の値となるため、エ
ンハンスメント型のMOSトランジスタと比べて、低い
ゲート電圧でONすることができるからである。
【0127】<PチャネルMOSトランジスタを組み合
わせた構成の画素>更に、第5〜第8の実施形態におい
て、MOSトランジスタT1をPチャネルのMOSトラ
ンジスタとしても構わない。この画素の構成を、図19
〜図22に示す。図19〜図22に示すように、MOS
トランジスタT7以外のMOSトランジスタT1〜T6
は、NチャネルのMOSトランジスタである。又、MO
SトランジスタT7のソースがフォトダイオードPDの
アノードと接続されるとともに、ドレインがMOSトラ
ンジスタT1のドレインに接続される。
【0128】このような構成にしたとき、MOSトラン
ジスタT7は、ゲート・ドレイン間の電圧差が閾値より
大きければONとなり、又、ゲート・ドレイン間の電圧
差が閾値より小さければOFFとなる。よって、MOS
トランジスタT7のゲートに与える信号φSWが、第5
〜第8の実施形態の信号φSWとそのタイミングが逆転
するとともに、MOSトランジスタT7のドレインに直
列に接続されたMOSトランジスタT1の影響を受ける
ことなく、ON/OFF動作を行うことができる。
【0129】又、MOSトランジスタT7のON/OF
F動作が、MOSトランジスタT1の影響を受けること
がないので、信号φSWを供給するための別の電源を設
ける必要が無くなる。更に、このようにすることによっ
て、MOSトランジスタT7を、他のMOSトランジス
タと同様にエンハンスメント型のMOSトランジスタと
することができるので、他のMOSトランジスタと同一
の工程でMOSトランジスタT7を生成することが可能
である。よって、上述したように、MOSトランジスタ
T7のみをディプレッション型のMOSトランジスタと
するときと比べて、その生産工程が簡素化される。
【0130】<第9の実施形態>第9の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。図23は、本実施形態に
使用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示す回
路図である。尚、図3に示す画素と同様の目的で使用さ
れる素子及び信号線などは、同一の符号を付して、その
詳細な説明は省略する。
【0131】図23に示すように、本実施形態では、フ
ォトダイオードPDのカソードは、MOSトランジスタ
T8のソース及びMOSトランジスタT2のゲートに接
続されている。又、MOSトランジスタT2のソースは
行選択用のMOSトランジスタT3のドレインに接続さ
れている。MOSトランジスタT3のソースは出力信号
線6(この出力信号線6は図1の6−1、6−2、・・
・、6−mに対応する)へ接続されている。尚、MOS
トランジスタT2,T3,T8は、それぞれ、Nチャネ
ルのMOSトランジスタでバックゲートが接地されてい
る。
【0132】又、フォトダイオードPDのアノードには
直流電圧VPSが、MOSトランジスタT2のドレインに
は直流電圧VPDが印加されるようになっている。又、M
OSトランジスタT3のゲートには信号φVが入力され
る。一方、MOSトランジスタT8のドレインには信号
φVPDが、又、ゲートには信号φVPGが、それぞれ入力
されるようになっている。
【0133】尚、信号φVPGは2値の電圧信号で、入射
光量が所定値を超えたときにMOSトランジスタT8を
サブスレッショルド領域で動作させるための電圧をVa
とし、又、この電圧よりも高くMOSトランジスタT8
のソース電圧を初期化するための電圧Vbとする。又、
信号φVPDは2値の電圧信号で、高い方は前記Vb以上
の電圧、低い方は前記Va以下の電圧である。このよう
な構成の画素の動作について、以下に説明する。
【0134】図24に示すタイミングチャートのよう
に、パルス信号φVがMOSトランジスタT3のゲート
に与えられて、出力信号が読み出されると、まず、信号
φVPDをローレベルとしてリセット動作を行う。このリ
セット動作について、図24のタイミングチャート及び
図25のMOSトランジスタT8におけるポテンシャル
変遷図を参照して説明する。
【0135】ところで、MOSトランジスタT8は、例
えば、図25(a)のように、P型の半導体基板(以
下、「P型基板」という。)10にN型拡散層11,1
2を形成し、且つ、そのN型拡散層11,12間のチャ
ンネル上に順次、酸化膜13とポリシリコン層14を形
成することによって構成される。ここで、N型拡散層1
1,12が、それぞれMOSトランジスタT8のドレイ
ン、ソースを形成するとともに、酸化膜13及びポリシ
リコン層14がそれぞれゲート絶縁膜とゲート電極を形
成する。尚、ここで、P型基板10において、N型拡散
層11,12の間の領域をゲート下領域である。又、図
25(b)〜(f)において、矢印の方向が、ポテンシ
ャルが高いことを表す。
【0136】よって、撮像動作が終了した直後、MOS
トランジスタT8は、例えば、図25(b)に実線で示
すように、ソースより、ソース、ゲート下領域、ドレイ
ンの順に高くなるようなポテンシャル状態にある。或い
は、図25(b)に実線及び一点鎖線で示すように、ゲ
ート下領域、ソース、ドレインの順に高くなるようなポ
テンシャル状態にある。そして、これらいずれの状態に
あっても、信号φVPDをローレベルにしたとき、図25
(c)のように、MOSトランジスタT8のドレイン側
から、MOSトランジスタT8のゲート下領域及びソー
スに電化が注入され、ドレイン、ゲート下領域、ソース
がこの信号φVPDのローレベルに応じたポテンシャルと
なる。尚、このとき、信号φVPGの電圧値はVaであ
る。
【0137】その後、信号φVPDをハイレベルに戻す
と、図25(d)のように、MOSトランジスタT8の
ドレインが信号φVPDのハイレベルに応じたポテンシャ
ルとなるとともに、MOSトランジスタT8のゲート下
領域及びソースが、信号φVPGの電圧値Vaに応じたポ
テンシャルとなる。
【0138】更に、この状態から、MOSトランジスタ
T8のゲートに与える信号φVPGの電圧をVaからVb
に切り換えることによって、図25(e)のように、M
OSトランジスタT8のゲート下領域及びソースが、信
号φVPGの電圧値Vbに応じたポテンシャルとなり、図
25(d)の状態に比べて高くなる。
【0139】このとき、ハイレベルのパルス信号φVを
MOSトランジスタT3のゲートに与えることによっ
て、リセット時におけるノイズ信号を読み出す。このと
き、リセットされたMOSトランジスタT8のソース電
圧がMOSトランジスタT2のゲートに与えられ、この
MOSトランジスタT8のソース電圧がMOSトランジ
スタT2で電流増幅されて、MOSトランジスタT3を
介して出力信号線6に出力される。
【0140】そして、再び、MOSトランジスタT8の
ゲートに与える信号φVPGの電圧をVbからVaに切り
換えることによって、図25(f)のように、MOSト
ランジスタT8のゲート下領域が、信号φVPGの電圧値
Vaに応じたポテンシャルとなり、図25(e)の状態
に比べて低くなる。よって、このとき、MOSトランジ
スタT8のソースの電位がゲート下領域の電位に比べて
高くなる。このように、信号φVPD,φVPGが動作され
ることによって、MOSトランジスタT8のポテンシャ
ル状態がリセットされる。
【0141】信号φVPGをVaとして撮像動作が開始さ
れると、フォトダイオードPDより入射光量に応じた光
電荷がMOSトランジスタT8に流れ込む。今、MOS
トランジスタT8のゲート電圧がソース電圧より低いの
で、MOSトランジスタT8はカットオフ状態となり、
光電荷がMOSトランジスタT8のソースに蓄積され
る。よって、撮像する被写体の輝度が低くフォトダイオ
ードPDに入射される入射光量が少ない場合は、MOS
トランジスタT8のソースに蓄積された光電荷量に応じ
た電圧がMOSトランジスタT8のソースに現れるた
め、入射光量の積分値に対して線形的に比例した電圧が
MOSトランジスタT2のソースに現れる。尚、このと
き、フォトダイオードPDで発生する光電荷が負の光電
荷であるので、強い光が入射されるほど、MOSトラン
ジスタT8のソース電圧が低くなる。
【0142】又、撮像する被写体の輝度が高くフォトダ
イオードPDに入射される入射光量が多くなると、MO
SトランジスタT8がサブスレッショルド領域で動作を
行うため、入射光量に対して自然対数的に比例した電圧
がMOSトランジスタT8のソースに現れる。
【0143】このようにして、入射光量に対して線形的
に又は自然対数的に比例した電圧がMOSトランジスタ
T2のゲートに現れると、先と同様に、パルス信号φV
がMOSトランジスタT3のゲートに与えられ、入射光
量に対して線形的に又は自然対数的に比例したMOSト
ランジスタT8のソース電圧がMOSトランジスタT2
で電流増幅されて、MOSトランジスタT3を介して出
力信号線6に出力される。又、MOSトランジスタT2
及びMOSトランジスタQ1の導通時抵抗とそれらを流
れる電流によって決まるMOSトランジスタQ1のドレ
イン電圧が、映像信号として出力信号線6に現れる。こ
のようにして映像信号が読み出された後、上述したリセ
ット動作が行われる。
【0144】このような動作を行う各画素において、M
OSトランジスタT8の閾値電圧にバラツキがあるため
に、φVPGがVaとされた場合、線形変換動作から対数
変換動作に切り替わる電圧値は、Va+Vx(但し、V
xはMOSトランジスタT8の閾値バラツキによる電圧
の変動成分を表す)となる。本実施形態においては、φ
VPGがVbとされた場合、MOSトランジスタT8のソ
ース電極の電圧値は、実用上、ほぼVb+Vxとなる。
従って、差をとると、ΔV=Vb−Vaとなり、リセッ
トされた状態から上記切り替わり点に至らしめるために
必要な電荷量は、各画素のMOSトランジスタT8の閾
値バラツキによらずほぼ一定である。
【0145】よって、対数変換動作に変わるときのMO
SトランジスタT8のソース電圧に至るまでにMOSト
ランジスタT8に流れ込む光電荷量が、全ての画素にお
いて等しい。このように、各画素における変換動作が対
数変換動作に切り替わるときのフォトダイオードPDよ
り発生する光電荷量が等しいので、各画素における変換
動作が対数変換動作に切り替わるときのフォトダイオー
ドPDに入射される入射光量も等しい。即ち、全ての画
素において、その変換動作が線形変換動作から対数変換
動作に切り替わるときの被写体の輝度が等しいものとな
り、MOSトランジスタT8の閾値電圧の差異による各
画素の変換動作の切換への影響を低減することができ
る。
【0146】又、リセット時における信号φVPGの電圧
値Vbを変化させることによって、線形変換動作を行う
際のMOSトランジスタT8のゲート電圧VSが変化す
る範囲を変化させることができる。よって、リセット時
における信号φVPGの電圧値Vbを変化させることで、
各画素の変換動作が線形変換動作から対数変換動作に切
り替わるときの被写体の輝度を変化させることができ
る。
【0147】更に、ノイズ信号が図1の信号線9から画
素毎にシリアルに出力され、後続回路においてメモリに
画素毎のノイズ信号として記憶しておく。そして、映像
信号を記憶されているノイズ信号で画素毎に補正すれ
ば、映像信号から画素のバラツキによる成分を取り除く
ことができる。尚、この補正方法の具体例は後述する図
50に示している。この補正方法は、ラインメモリなど
のメモリを画素内に設けることによっても実現できる。
尚、本実施ケイタイにおいては、φVPDを一旦ローレベ
ルにした後、φVPGをハイレベルにしているが、両者の
タイミングはこれに限るものではなく、例えば、φVPG
をハイレベルにしている間に、φVPDを一旦ローレベル
にするようにしても構わない。
【0148】<第10の実施形態>第10の実施形態に
ついて、図面を参照して説明する。図26は、本実施形
態に使用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示
す回路図である。尚、図23に示す画素と同様の目的で
使用される素子及び信号線などは、同一の符号を付し
て、その詳細な説明は省略する。
【0149】図26に示すように、本実施形態では、第
9の実施形態(図23)の画素に、MOSトランジスタ
T4,T9,T10及びキャパシタC3が付加された構
成となる。MOSトランジスタT9のゲートがフォトダ
イオードPDのアノードとMOSトランジスタT8のソ
ースが接続され、そのソースが一端に直流電圧VPDが印
加されたキャパシタC3の他端に接続される。又、MO
SトランジスタT9のソースとキャパシタC3との接続
ノードにMOSトランジスタT4のゲート及びMOSト
ランジスタT10のソースが接続される。尚、MOSト
ランジスタT9,T10は、PチャネルのMOSトラン
ジスタでバックゲートに電源電圧が印加されている。
【0150】直流電圧VPDがMOSトランジスタT4の
ドレインに印加されるとともに、直流電圧VPSがMOS
トランジスタT9のドレインに印加される。又、MOS
トランジスタT10のドレインに直流電圧VRSが印加さ
れるとともに、そのゲートに信号φRSが印加される。
更に、MOSトランジスタT4のソースにMOSトラン
ジスタT3のドレインが接続される。このような構成の
画素の動作について、以下に説明する。
【0151】図27に示すタイミングチャートのよう
に、パルス信号φVがMOSトランジスタT3のゲート
に与えられて、出力信号が読み出されると、まず、信号
φVPDをローレベルとしてリセット動作を行う。このと
き、MOSトランジスタT8のドレイン、ゲート下領
域、ソースがこの信号φVPDのローレベルに応じたポテ
ンシャルとなる。その後、信号φVPDをハイレベルに戻
すと、MOSトランジスタT8のドレインが信号φVPD
のハイレベルに応じたポテンシャルとなるとともに、M
OSトランジスタT8のゲート下領域及びソースが、信
号φVPGの電圧値Vaに応じたポテンシャルとなる。
【0152】更に、この状態から、MOSトランジスタ
T8のゲートに与える信号φVPGの電圧をVaからVb
に切り換えることによって、MOSトランジスタT8の
ゲート下領域及びソースが、信号φVPGの電圧値Vbに
応じたポテンシャルとなる。そして、まず、ローレベル
のパルス信号φRSをMOSトランジスタT10のゲー
トに与えることによって、キャパシタC3に蓄電して、
キャパシタC3とMOSトランジスタT9のソースとの
接続ノードの電圧を初期化する。
【0153】このとき、ハイレベルのパルス信号φVを
MOSトランジスタT3のゲートに与えることによっ
て、リセット時におけるノイズ信号を読み出す。このと
き、リセットされたMOSトランジスタT8のソース電
圧に応じた電圧がMOSトランジスタT4のゲートに与
えられる。そして、MOSトランジスタT4で電流増幅
されて、MOSトランジスタT3を介して出力信号線6
に出力される。このようにノイズ信号が読み出される
と、再度、ローレベルのパルス信号φRSをMOSトラ
ンジスタT10のゲートに与えることによって、キャパ
シタC3とMOSトランジスタT9のソースとの接続ノ
ードの電圧を初期化する。
【0154】そして、再び、MOSトランジスタT8の
ゲートに与える信号φVPGの電圧をVbからVaに切り
換えることによって、MOSトランジスタT8のゲート
下領域が、信号φVPGの電圧値Vaに応じたポテンシャ
ルとなり、ソースの電位がゲート下領域の電位に比べて
高くなる。このように、信号φVPD,φVPGが動作され
ることによって、MOSトランジスタT8のポテンシャ
ル状態がリセットされる。
【0155】信号φVPGをVaとして撮像動作が開始す
ると、フォトダイオードPDへの入射光量に対して線形
的に又は自然対数的に比例した電圧が、MOSトランジ
スタT8のソース及びMOSトランジスタT9のゲート
に現れる。尚、このとき、フォトダイオードPDで発生
する光電荷が負の光電荷であるので、強い光が入射され
るほど、MOSトランジスタT8のソース電圧が低くな
る。
【0156】このようにして光電流に対して線形的に又
は自然対数的に変化した電圧がMOSトランジスタT9
のゲートに現れると、MOSトランジスタT9がリセッ
トされてMOSトランジスタT9のゲート電圧により決
定される表面ポテンシャルより高い電圧になっているの
で、キャパシタC3から正の電荷がMOSトランジスタ
T9を介して流れる。このとき、MOSトランジスタT
9のゲート電圧によって、キャパシタC3から流れる正
の電荷量が決定される。即ち、強い光が入射されてMO
SトランジスタT8のソース電圧が低くなるときほど、
キャパシタC3から流れる正の電荷量が多い。
【0157】このようにしてキャパシタC3から正の電
荷が流れ、キャパシタC3とMOSトランジスタT9の
ソースとの接続ノードの電圧が入射光量の積分値を線形
的に又は自然対数的に比例した値となる。そして、パル
ス信号φVを与えてMOSトランジスタT3をONにし
たとき、前記光電流の積分値を線形的に又は自然対数的
に比例した値となる電流が、MOSトランジスタT3,
T4を介して出力信号線6に導出される。このようにし
て入射光量の線形的に又は対数値に比例した信号(出力
電流)を読み出すと、MOSトランジスタT3をOFF
にする。このようにして映像信号が読み出された後、上
述したリセット動作が行われる。
【0158】このように撮像動作を行っているとき、第
9の実施形態と同様、MOSトランジスタT8のソース
電圧VSが入射光量の積分値に対して線形的に比例した
電圧又は、入射光量に対して自然対数的に比例した電圧
が、それぞれ、MOSトランジスタT9のゲートに与え
られる。
【0159】このような構成の画素において、リセット
時における信号φVPGの電圧値Vbを変化させること
で、各画素の変換動作が線形変換動作から対数変換動作
に切り替わるときの被写体の輝度を変化させることがで
きる。又、本実施形態において、キャパシタC3を用い
ることで、一旦キャパシタC3で積分された信号となる
ので、光源の変動成分や高周波のノイズがキャパシタで
吸収されて除去され、SN比の良好な信号が得られる。
【0160】更に、ノイズ信号が図1の信号線9から画
素毎にシリアルに出力され、後続回路においてメモリに
画素毎のノイズ信号として記憶しておく。そして、映像
信号を記憶されているノイズ信号で画素毎に補正すれ
ば、映像信号から画素のバラツキによる成分を取り除く
ことができる。尚、この補正方法の具体例は後述する図
50に示している。この補正方法は、ラインメモリなど
のメモリを画素内に設けることによっても実現できる。
【0161】<第11の実施形態>第11の実施形態に
ついて、図面を参照して説明する。図28は、本実施形
態に使用する固体撮像装置に設けられた画素の構成を示
す回路図である。尚、図26に示す画素と同様の目的で
使用される素子及び信号線などは、同一の符号を付し
て、その詳細な説明は省略する。
【0162】図28に示すように、本実施形態では、第
10の実施形態(図26)の画素より、MOSトランジ
スタT10が省かれた構成となる。このとき、MOSト
ランジスタT9のドレインに信号φVPSが印加される。
このように構成することによって、キャパシタC3とM
OSトランジスタT9のソースとの接続ノードにおける
電圧のリセットをMOSトランジスタT9を通して行
う。よって、その他の動作については、第10の実施形
態の動作と同様であるので、本実施形態の画素の動作に
ついては、第10の実施形態を参照するものとして省略
する。
【0163】尚、本実施形態において、ハイレベルのパ
ルス信号φVPSをMOSトランジスタT9のドレインに
与えることによって、キャパシタC3とMOSトランジ
スタT9のソースとの接続ノードにおける電圧のリセッ
トが行われる。又、本実施形態のように、MOSトラン
ジスタT10を省略できる分、第10の実施形態に比べ
て、その構成がシンプルになる。
【0164】更に、ノイズ信号が図1の信号線9から画
素毎にシリアルに出力され、後続回路においてメモリに
画素毎のノイズ信号として記憶しておく。そして、映像
信号を記憶されているノイズ信号で画素毎に補正すれ
ば、映像信号から画素のバラツキによる成分を取り除く
ことができる。尚、この補正方法の具体例は後述する図
50に示している。この補正方法は、ラインメモリなど
のメモリを画素内に設けることによっても実現できる。
【0165】以上説明した各実施形態において、各画素
からの信号読み出しは電荷結合素子(CCD)を用いて
行うようにしてもかまわない。この場合、MOSトラン
ジスタT4に相当するポテンシャルレベルを可変とした
ポテンシャルの障壁を設けることにより、CCDへの電
荷読み出しを行えばよい。又、上述した各実施形態で
は、感光素子としてフォトダイオードを用いたが、フォ
トダイオードに限らず、フォトトランジスタの他の感光
素子を用いても構わない。更に、第2、第3、第6及び
第7の実施形態において、キャパシタC1のリセットを
MOSトランジスタT2を通じて行うようにしたが、キ
ャパシタC1のリセットを行うためのMOSトランジス
タを別途設けるようにしても構わない。
【0166】以上説明した第1〜第9の実施形態は、画
素内の能動素子であるMOSトランジスタT1〜T8を
全てNチャネルのMOSトランジスタで構成している
が、これらのMOSトランジスタT1〜T8を全てPチ
ャネルのMOSトランジスタで構成してもよい。又、第
10及び第11の実施形態において、画素内のNチャネ
ルのMOSトランジスタをPチャネルのMOSトランジ
スタに、PチャネルのMOSトランジスタをNチャネル
のMOSトランジスタに変えて構成しても構わない。
【0167】図31〜図38及び図47には、上記第1
〜第9の実施形態をPチャネルのMOSトランジスタで
構成した例である第12〜第20の実施形態を示してい
る。又、図48及び図49には、上記第10及び第11
の実施形態の画素のMOSトランジスタを逆極性のMO
Sトランジスタで構成した例である第21及び第22の
実施形態を示している。又、図39〜図42は、第17
〜第20の実施形態において、MOSトランジスタT7
をディプレッション型のPチャネルのMOSトランジス
タとしたものである。更に、図43〜図46は、第17
〜第20の実施形態において、MOSトランジスタT7
をNチャネルのMOSトランジスタとしたものである。
そのため図29〜図49では接続の極性や印加電圧の極
性が逆になっている。例えば、図31(第12の実施形
態)において、フォトダイオードPDはアノードに直流
電圧VPDに接続され、カソードがMOSトランジスタT
1のドレイン及びゲートとMOSトランジスタT2のゲ
ートに接続されている。MOSトランジスタT1のソー
スには信号φVPSが与えられる。
【0168】ところで、図31のような画素が対数変換
を行うとき、直流電圧VPSと直流電圧VPDは、VPS>V
PD となっており、図3(第1の実施形態)と逆であ
る。又、図32のような画素において、キャパシタC1
の出力電圧は初期値が高い電圧で、積分によって降下す
る。又、MOSトランジスタT3〜T7をONさせると
きには、低い電圧をゲートに印加する。又、図43〜図
46に示す構成の画素において、NチャネルのMOSト
ランジスタとなるMOSトランジスタT7をONさせる
ときには、高い電圧をゲートに印加する。更に、図48
の実施形態(第21の実施形態)において、MOSトラ
ンジスタT10をONさせるときには低い電圧をゲート
に印加する。以上の通り、逆極性のMOSトランジスタ
を用いる場合は、電圧関係や接続関係が一部異なるが、
構成は実質的に同一であり、また基本的な動作も同一で
あるので、図31〜図49については図面で示すのみ
で、その構成や動作についての説明は省略する。
【0169】第12〜第22の実施形態の画素を含む固
体撮像装置の全体構成を説明するためのブロック回路構
成図を図29に示している。図29については、図1と
同一部分(同一の役割部分)に同一の符号を付して説明
を省略する。以下、図29の構成について簡単に説明す
る。列方向に配列された出力信号線6−1、6−2、・
・・、6−mに対してPチャネルのMOSトランジスタ
Q1とPチャネルのMOSトランジスタQ2が接続され
ている。MOSトランジスタQ1のゲートは直流電圧線
7に接続され、ドレインは出力信号線6−1に接続さ
れ、ソースは直流電圧VPS’のライン8に接続されてい
る。
【0170】一方、MOSトランジスタQ2のドレイン
は出力信号線6−1に接続され、ソースは最終的な信号
線9に接続され、ゲートは水平走査回路3に接続されて
いる。ここで、MOSトランジスタQ1は画素内のPチ
ャネルのMOSトランジスタTaと共に図30(a)に
示すような増幅回路を構成している。尚、MOSトラン
ジスタTaは、第13〜第15、第17〜第19、第2
1及び第22の実施形態ではMOSトランジスタT4に
相当し、又、第12、第16及び第20の実施形態では
MOSトランジスタT2に相当する。
【0171】この場合、MOSトランジスタQ1はMO
SトランジスタTaの負荷抵抗又は定電流源となってい
る。従って、このMOSトランジスタQ1のソースに接
続される直流電圧VPS’と、MOSトランジスタTaの
ドレインに接続される直流電圧VPD’との関係は、VP
D’<VPS’であり、直流電圧VPD’は例えばグランド
電圧(接地)である。MOSトランジスタQ1のドレイ
ンはMOSトランジスタTaに接続され、ゲートには直
流電圧が印加されている。PチャネルのMOSトランジ
スタQ2は水平走査回路3によって制御され、増幅回路
の出力を最終的な信号線9へ導出する。画素内に設けら
れたMOSトランジスタT3を考慮すると、図30
(a)の回路は図30(b)のように表わされる。
【0172】<映像信号の補正方法>上述した第1〜第
22の実施形態のような回路構成の画素が設けられた固
体撮像装置がデジタルカメラなどの画像入力装置に使用
されたときの実施例を、図面を参照して説明する。
【0173】図50に示す画像入力装置は、対物レンズ
51と、該対物レンズ51を通して入射される光の光量
に応じて電気信号を出力する固体撮像装置52と、撮像
時の固体撮像装置52の映像信号が入力されて一時記憶
されるメモリ53と、リセット時の固体撮像装置52の
ノイズ信号が入力されて一時記憶されるためのメモリ5
4と、メモリ53から送出される映像信号からメモリ5
4から記憶されるノイズ信号を補正演算する補正演算回
路55と、補正演算回路55でノイズ信号により補正の
施された映像信号を演算処理して外部に出力する処理部
56と、リセット回路57とを有する。尚、固体撮像装
置52は、第1〜第22の実施形態のような回路構成の
画素が設けられた固体撮像装置である。リセット回路5
7は、先に説明した各実施形態におけるリセット動作を
行うための物であり、少なくとも電源とこの電源をON
/OFFする所定のタイミングジェネレータ及びスイッ
チを備えている。これにより、第1の実施形態であれ
ば、MOSトランジスタT1のソースに対してφVPS
が、第9の実施形態であれば、MOSトランジスタT8
のゲートに対してφVPG、ドレインに対してφVPDがそ
れぞれ与えられMOSトランジスタがリセットされる。
リセット回路57は、垂直及び水平走査回路で兼用して
も良い。
【0174】このような構成の画像入力装置は、まず、
撮像動作を行って、固体撮像装置52から各画素毎に映
像信号がメモリ53に出力される。そして、各画素が撮
像動作を終えて、リセット動作を行ったときに、上記で
説明したように、各画素の感度のバラツキを調べて、ノ
イズ信号をメモリ54に出力する。そして、メモリ53
内の各画素の映像信号とメモリ54内の各画素のノイズ
信号を、補正演算回路55にこの映像信号を各画素毎に
送出する。
【0175】補正演算回路55では、メモリ53から送
出された映像信号がこの映像信号を出力した同一画素の
メモリ54から送出されたノイズ信号によって各画素毎
に補正演算される。このノイズ信号が補正演算された映
像信号が処理部56に送出されて、演算処理された後、
外部に出力される。又、このような画像入力装置におい
て、メモリ53,54は、それぞれ、固体撮像装置52
からライン毎に送出されるデータが記録されるラインメ
モリなどが用いられる。従って、メモリ53,54を固
体撮像装置内に組み込むことも容易である。
【0176】
【発明の効果】本発明によると、光電変換動作を、入射
光量に応じて線形変換動作と対数変換動作の間で自動的
に切り換えることができる。よって、被写体が暗く、入
射光量の少ない場合は、線形変換動作を行うので、リセ
ットした後に撮像した信号に残像が生じない。逆に、被
写体が明るく、入射光量の多い場合は、対数変換動作を
行うので、ダイナミックレンジの広い信号を出力するこ
とができる。又、線形変換動作から対数変換動作に切り
替わる輝度を、各画素全てについてほぼ一定の輝度とす
ることができる。又、トランジスタに与えるパルス信号
の電圧値を変化させることによって、線形変換動作から
対数変換動作に切り替わる輝度を変換させることができ
る。更に、サンプリング回路を設けることによって、全
画素同時に撮像時の出力信号のサンプリングを行うこと
ができるので、高速で異動する被写体を撮像しても画像
歪みが生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態である二次元固体撮像装置
の全体の構成を説明するためのブロック回路図。
【図2】図1の一部を示す図。
【図3】本発明の第1の実施形態の1画素の構成を示す
回路図。
【図4】本発明の第1の実施形態の画素の動作を示すタ
イミングチャート。
【図5】本発明の第2の実施形態の1画素の構成を示す
回路図。
【図6】本発明の第2の実施形態の画素の動作を示すタ
イミングチャート。
【図7】本発明の第3の実施形態の1画素の構成を示す
回路図。
【図8】本発明の第4の実施形態の1画素の構成を示す
回路図。
【図9】本発明の第5の実施形態の1画素の構成を示す
回路図。
【図10】本発明の第5の実施形態の画素の動作を示す
タイミングチャート。
【図11】本発明の第6の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図12】本発明の第6の実施形態の画素の動作を示す
タイミングチャート。
【図13】本発明の第7の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図14】本発明の第8の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図15】本発明の第5の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図16】本発明の第6の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図17】本発明の第7の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図18】本発明の第8の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図19】本発明の第5の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図20】本発明の第6の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図21】本発明の第7の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図22】本発明の第8の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図23】本発明の第9の実施形態の1画素の構成を示
す回路図。
【図24】本発明の第9の実施形態の画素の動作を示す
タイミングチャート。
【図25】図23の画素の構成及びポテンシャルの関係
を表した図。
【図26】本発明の第10の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図27】本発明の第10の実施形態の画素の動作を示
すタイミングチャート。
【図28】本発明の第11の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図29】画素内の能動素子をPチャネルのMOSトラ
ンジスタで構成した実施形態の場合の本発明の二次元固
体撮像装置の全体の構成を説明するためのブロック回路
図。
【図30】図29の一部を示す図。
【図31】本発明の第12の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図32】本発明の第13の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図33】本発明の第14の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図34】本発明の第15の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図35】本発明の第16の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図36】本発明の第17の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図37】本発明の第18の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図38】本発明の第19の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図39】本発明の第16の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図40】本発明の第17の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図41】本発明の第18の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図42】本発明の第19の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図43】本発明の第16の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図44】本発明の第17の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図45】本発明の第18の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図46】本発明の第19の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図47】本発明の第20の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図48】本発明の第21の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図49】本発明の第22の実施形態の1画素の構成を
示す回路図。
【図50】各実施形態の画素を用いた個体撮像装置を備
えた画像入力装置の内部構造を示すブロック図。
【符号の説明】
G11〜Gmn 画素 2 垂直走査回路 3 水平走査回路 4−1〜4−n ライン 5 電源ライン 6−1〜6−m 出力信号線 7 直流電圧線 8 ライン 9 信号線 PD フォトダイオード C1,C2 キャパシタ T1〜T10,Q1,Q2 MOSトランジスタ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年8月20日(2001.8.2
0)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項6
【補正方法】変更
【補正内容】

Claims (34)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光量に応じた電気信号を発生する感
    光素子と、 該感光素子の一方の電極に、第1電極及び制御電極が接
    続されたトランジスタと、 該トランジスタの第2電極に所定のパルス信号を与える
    ことにより、前記トランジスタをリセットするリセット
    手段と、を備え、 該リセット手段は、感光素子への入射光量が所定値まで
    はトランジスタのサブスレッショルド領域での動作を禁
    止するように、前記トランジスタをリセットすることを
    特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 入射光量に応じた電気信号を発生する感
    光素子と、 該感光素子の一方の電極に、第1電極及び制御電極が接
    続されたトランジスタと、 該トランジスタの第2電極に所定のパルス信号を与える
    ことにより、前記トランジスタをリセットするリセット
    手段と、を備え、 該リセット手段は、感光素子への入射光量が所定値以上
    になったときにトランジスタがサブスレッショルド領域
    で動作するように、前記トランジスタをリセットするこ
    とを特徴とする固体撮像装置。
  3. 【請求項3】 入射光量に応じた電気信号を発生する感
    光素子と、 該感光素子の一方の電極に、第1電極及び制御電極が接
    続されたトランジスタと、 該トランジスタの第2電極に所定のパルス信号を与える
    ことにより、前記トランジスタをリセットするリセット
    手段と、を備え、 該リセット手段は、感光素子への入射光量が所定値まで
    はトランジスタが不作動状態となり、感光素子への入射
    光量が所定値以上になるとトランジスタがサブスレッシ
    ョルド領域で動作を行うように、前記トランジスタをリ
    セットすることを特徴とする固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 入射光量に応じた電気信号を発生する感
    光素子と、 該感光素子の一方の電極に、第1電極及び制御電極が接
    続されたトランジスタと、 該トランジスタの第2電極に所定のパルス信号を与える
    ことにより、前記トランジスタをリセットするリセット
    手段と、を備え、 該リセット手段は、感光素子への入射光量が所定値まで
    はトランジスタが不作動状態となることにより、感光素
    子への入射光量に対して線形的に変化する出力が制御電
    極に現れるとともに、感光素子への入射光量が所定値以
    上になるとトランジスタがサブスレッショルド領域で動
    作を行うことにより、感光素子への入射光量に対して対
    数的に変化する出力が制御電極に現れるように、前記ト
    ランジスタをリセットすることを特徴とする固体撮像装
    置。
  5. 【請求項5】 入射した光量に応じた電気信号を発生す
    る感光素子を有する複数の画素を備えた固体撮像装置に
    おいて、 前記各画素が、第1電極と制御電極とが前記感光素子の
    一方の電極に接続されるトランジスタを有し、 前記各トランジスタの第2電極に前記パルス信号を与え
    ることによって、前記各トランジスタをリセットするリ
    セット手段を備え、 該リセット手段は、前記感光素子への入射光量が所定値
    までは前記トランジスタが不作動状態となることによ
    り、前記トランジスタの制御電極に前記感光素子への入
    射光量に対して線形的に変化する出力が現れるととも
    に、前記感光素子への入射光量が所定値以上になったと
    きは前記トランジスタがサブスレッショルド領域で動作
    を行うことにより、前記トランジスタの制御電極に前記
    感光素子への入射光量に対して対数的に変化する出力が
    現れることを特徴とする固体撮像装置。
  6. 【請求項6】 前記各画素が、前記トランジスタの制御
    電極からの出力を増幅する増幅回路を有することを特徴
    とする請求項1に記載の固体撮像装置。
  7. 【請求項7】 前記各画素が、 前記トランジスタの制御電極に現れる電圧をサンプリン
    グする第1サンプリング回路と、 該第1サンプリング回路に一端が接続された第1スイッ
    チと、 該第1スイッチの他端に接続されるとともに、該第1ス
    イッチがONとなったときに、前記第1サンプリング回
    路でサンプリングされた電圧をサンプリングする第2サ
    ンプリング回路と、 を有することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載
    の固体撮像装置。
  8. 【請求項8】 前記各画素が、前記トランジスタの制御
    電極からの出力を積分する積分回路を有することを特徴
    とする請求項5に記載の固体撮像装置。
  9. 【請求項9】 前記各画素が、 前記積分回路に一端が接続された第1スイッチと、 該第1スイッチの他端に接続されるとともに、該第1ス
    イッチがONとなったときに、前記積分回路からの出力
    をサンプリングするサンプリング回路と、 を有することを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装
    置。
  10. 【請求項10】 前記各画素が、前記感光素子と前記ト
    ランジスタの第1電極との間に接続された第2スイッチ
    を有し、 リセット時に前記第2スイッチをOFFとするとととも
    に、撮像時に前記第2スイッチをONとすることによっ
    て、全輝度範囲において前記トランジスタがサブスレッ
    ショルド領域で動作を行い、前記トランジスタの制御電
    極に前記感光素子への入射光量に対して対数的に変化す
    る出力が現れることを特徴とする請求項5〜請求項9の
    いずれかに記載の固体撮像装置。
  11. 【請求項11】 入射光量に応じた電気信号を発生する
    感光素子と、 該感光素子の一方の電極に第2の電極が接続されたトラ
    ンジスタと、 該トランジスタをリセットするリセット手段と、を備
    え、 該リセット手段は、前記トランジスタの制御電極に所定
    の第2パルス信号を与えるとともに、第1電極に所定の
    第1パルス信号を与えることにより、感光素子への入射
    光量が所定値まではトランジスタが不作動状態となり、
    感光素子への入射光量が所定値以上になるとトランジス
    タがサブスレッショルド領域で動作を行うように、前記
    トランジスタをリセットすることを特徴とする固体撮像
    装置。
  12. 【請求項12】 入射光量に応じた電気信号を発生する
    感光素子と、 該感光素子の一方の電極に第2の電極が接続されたトラ
    ンジスタと、 該トランジスタをリセットするリセット手段と、を備
    え、 該リセット手段は、前記トランジスタの少なくとも制御
    電極に、トランジスタの第2電極の電位がトランジスタ
    の閾値を反映し得る範囲内の所定のパルス電圧を与える
    ことにより、感光素子への入射光量が所定値まではトラ
    ンジスタが不作動状態となり、感光素子への入射光量が
    所定値以上になるとトランジスタがサブスレッショルド
    領域で動作を行うように、前記トランジスタをリセット
    することを特徴とする固体撮像装置。
  13. 【請求項13】 入射した光量に応じた電気信号を発生
    する感光素子を有する複数の画素を備えた固体撮像装置
    において、 前記各画素が、 第2電極が前記感光素子の一方の電極に接続され、リセ
    ット時に第1電圧値の第1パルス信号が第1電極に与え
    られるとともに第2電圧値の第2パルス信号が制御電極
    に与えられるトランジスタを有し、 前記トランジスタの第1電極に前記第1パルス信号を与
    えるとともに、前記トランジスタの制御電極に前記第2
    パルス信号を与えることによって、前記トランジスタを
    通して前記トランジスタの第2電極の電圧がリセットさ
    れるとともに、 前記感光素子への入射光量が所定値までは前記トランジ
    スタが不作動状態となることにより、前記トランジスタ
    の第2電極に前記感光素子への入射光量に対して線形的
    に変化する出力が現れるとともに、前記感光素子への入
    射光量が所定値以上になったときは前記トランジスタが
    サブスレッショルド領域で動作を行うことにより、前記
    トランジスタの第2電極に前記感光素子への入射光量に
    対して対数的に変化する出力が現れることを特徴とする
    固体撮像装置。
  14. 【請求項14】 前記各画素が、前記トランジスタの第
    2電極からの出力を増幅する増幅回路を有することを特
    徴とする請求項13に記載の固体撮像装置。
  15. 【請求項15】 前記各画素が、前記トランジスタの第
    2電極からの出力を積分する積分回路を有することを特
    徴とする請求項13に記載の固体撮像装置。
  16. 【請求項16】 複数の画素を有する固体撮像装置にお
    いて、 前記各画素が、 第1電極に直流電圧が印加されたフォトダイオードと、 該フォトダイオードの第2電極に第1電極及びゲート電
    極が接続されるとともに、第2電極に所定の電圧値のパ
    ルス信号が与えられる第1MOSトランジスタと、を有
    し、 前記第1MOSトランジスタの第2電極に前記パルス信
    号が与えられることによって、前記第1MOSトランジ
    スタを通して前記第1MOSトランジスタのゲート電極
    の電圧がリセットされるとともに、 撮像時において、前記ダイオードに入射される光量が所
    定の明るさまでは前記第1MOSトランジスタが不作動
    状態となり、前記第1MOSトランジスタのゲート電極
    に前記ダイオードに入射される光量に対して線形的に変
    化する出力が現れるとともに、前記ダイオードに入射さ
    れる光量が所定の明るさを超えたときは前記第1MOS
    トランジスタがサブスレッショルド領域で動作を行い、
    前記第1MOSトランジスタのゲート電極に前記ダイオ
    ードに入射される光量に対して対数的に変化する出力が
    現れることを特徴とする固体撮像装置。
  17. 【請求項17】 前記各画素が、前記第1MOSトラン
    ジスタの第1電極及びゲート電極にゲート電極が接続さ
    れるとともに、第2電極より出力信号を出力する第2M
    OSトランジスタを有することを特徴とする請求項16
    に記載の固体撮像装置。
  18. 【請求項18】 前記各画素が、前記第2MOSトラン
    ジスタの第2電極に第1電極が接続されるとともに、ゲ
    ート電極に行選択線が接続され、第2電極より出力信号
    を出力する第3MOSトランジスタを有することを特徴
    とする請求項17に記載の固体撮像装置。
  19. 【請求項19】 前記各画素が、前記第2MOSトラン
    ジスタの第2電極に一端が接続されるとともに、他端に
    直流電圧が印加された第1キャパシタを有することを特
    徴とする請求項17に記載の固体撮像装置。
  20. 【請求項20】 前記各画素が、前記第2MOSトラン
    ジスタの第2電極にゲート電極が接続されるとともに、
    第1電極に直流電圧が印加された第4MOSトランジス
    タを有することを特徴とする請求項19に記載の固体撮
    像装置。
  21. 【請求項21】 前記各画素が、前記第4MOSトラン
    ジスタの第2電極に第1電極が接続されるとともに、ゲ
    ート電極に行選択線が接続され、第2電極より出力信号
    を出力する第3MOSトランジスタを有することを特徴
    とする請求項20に記載の固体撮像装置。
  22. 【請求項22】 前記各画素が、前記第1MOSトラン
    ジスタの第1電極及びゲート電極に一端が接続されると
    ともに、他端に直流電圧が印加された第1キャパシタを
    有することを特徴とする請求項16に記載の固体撮像装
    置。
  23. 【請求項23】 前記各画素が、 前記第1キャパシタの一端に第1電極が接続された第5
    MOSトランジスタと、 前記第5MOSトランジスタの第2電極に一端が接続さ
    れるとともに、他端に直流電圧が印加された第2キャパ
    シタと、 前記第2キャパシタの一端に第1電極が接続されるとと
    もに、第2電極に直流電圧が印加され、前記第2キャパ
    シタをリセットする第6MOSトランジスタと、を有
    し、 前記各画素が同時に撮像動作を行うことによって、前記
    フォトダイオードに入射される光量に応じた電圧が前記
    第1キャパシタの一端に現れるとともに、前記各画素の
    前記第5MOSトランジスタを同時にONすることによ
    って、前記第1キャパシタの一端に現れた電圧を前記第
    2キャパシタでサンプリングすることを特徴とする請求
    項19又は請求項22に記載の固体撮像装置。
  24. 【請求項24】 前記各画素が、前記第2キャパシタの
    一端にゲート電極が接続されるとともに、第1電極に直
    流電圧が印加された第4MOSトランジスタを有するこ
    とを特徴とする請求項23に記載の固体撮像装置。
  25. 【請求項25】 前記各画素が、前記第4MOSトラン
    ジスタの第2電極に第1電極が接続されるとともに、ゲ
    ート電極に行選択線が接続され、第2電極より出力信号
    を出力する第3MOSトランジスタを有することを特徴
    とする請求項24に記載の固体撮像装置。
  26. 【請求項26】 前記各画素が、前記フォトダイオード
    の第2電極に第1電極が接続されるとともに、前記第1
    MOSトランジスタの第1電極及びゲート電極に第2電
    極が接続された第7MOSトランジスタを有し、 リセット時に前記第7MOSトランジスタをOFFとす
    るととともに、撮像時に前記第7MOSトランジスタを
    ONとすることによって、全輝度範囲において前記第1
    MOSトランジスタがサブスレッショルド領域で動作を
    行い、前記第1MOSトランジスタのゲート電極に前記
    ダイオードに入射される光量に対して対数変換された電
    圧が現れることを特徴とする請求項16〜請求項25の
    いずれかに記載の固体撮像装置。
  27. 【請求項27】 複数の画素を有する固体撮像装置にお
    いて、 前記各画素が、 第2電極に直流電圧が印加されたフォトダイオードと、 該フォトダイオードの第1電極に第2電極が接続され、
    第1電極に第1電圧値の第1パルス信号が与えられると
    ともに、ゲート電極に第2電圧値の第2パルス信号が与
    えられる第1MOSトランジスタと、を有し、 前記第1MOSトランジスタの第1電極に前記第1パル
    ス信号が与えられた後、前記第1MOSトランジスタの
    ゲート電極に前記第2パルス信号が与えられることによ
    って、前記第1MOSトランジスタを通して前記第1M
    OSトランジスタの第2電極の電圧がリセットされると
    ともに、 撮像時において、前記ダイオードに入射される光量が所
    定の明るさまでは前記第1MOSトランジスタが不作動
    状態となり、前記第1MOSトランジスタの第2電極に
    前記ダイオードに入射される光量に対して線形的に変化
    する出力が現れるとともに、前記ダイオードに入射され
    る光量が所定の明るさを超えたときは前記第1MOSト
    ランジスタがサブスレッショルド領域で動作を行い、前
    記第1MOSトランジスタの第2電極に前記ダイオード
    に入射される光量に対して対数的に変化する出力が現れ
    ることを特徴とする固体撮像装置。
  28. 【請求項28】 前記各画素が、前記第1MOSトラン
    ジスタの第2電極にゲート電極が接続されるとともに、
    第2電極より出力信号を出力する第2MOSトランジス
    タを有することを特徴とする請求項27に記載の固体撮
    像装置。
  29. 【請求項29】 前記各画素が、前記第2MOSトラン
    ジスタの第2電極に第1電極が接続されるとともに、ゲ
    ート電極に行選択線が接続され、第2電極より出力信号
    を出力する第3MOSトランジスタを有することを特徴
    とする請求項28に記載の固体撮像装置。
  30. 【請求項30】 前記各画素が、前記第2MOSトラン
    ジスタの第2電極に一端が接続されるとともに、他端に
    直流電圧が印加された第1キャパシタを有することを特
    徴とする請求項28に記載の固体撮像装置。
  31. 【請求項31】 前記各画素が、前記第2MOSトラン
    ジスタの第2電極にゲート電極が接続されるとともに、
    第1電極に直流電圧が印加された第4MOSトランジス
    タを有することを特徴とする請求項30に記載の固体撮
    像装置。
  32. 【請求項32】 前記各画素が、前記第4MOSトラン
    ジスタの第2電極に第1電極が接続されるとともに、ゲ
    ート電極に行選択線が接続され、第2電極より出力信号
    を出力する第3MOSトランジスタを有することを特徴
    とする請求項31に記載の固体撮像装置。
  33. 【請求項33】 前記第2MOSトランジスタが、前記
    第1MOSトランジスタと逆極性のMOSトランジスタ
    であることを特徴とする請求項31又は請求項32に記
    載の固体撮像装置。
  34. 【請求項34】 前記画素がマトリクス状に配されるこ
    とを特徴とする請求項5〜請求項10又は請求項13〜
    請求項33のいずれかに記載の固体撮像装置。
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Cited By (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002073956A1 (en) * 2001-03-09 2002-09-19 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Optical sensor circuit
JP2004088312A (ja) * 2002-08-26 2004-03-18 Minolta Co Ltd 撮像装置
US6812448B2 (en) * 2002-09-19 2004-11-02 Minolta Co., Ltd. Solid-state image-sensing device
WO2005034511A1 (ja) 2003-10-02 2005-04-14 Hamamatsu Photonics K.K. 光検出装置
WO2006022163A1 (ja) * 2004-08-26 2006-03-02 Hamamatsu Photonics K.K. 光検出装置
JP2006074663A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Renesas Technology Corp 固体撮像装置
WO2006129460A1 (ja) * 2005-06-03 2006-12-07 Konica Minolta Holdings, Inc. 撮像装置
WO2006132366A1 (ja) * 2005-06-10 2006-12-14 Honda Motor Co., Ltd. 光センサ回路およびイメージセンサ
WO2007145099A1 (ja) 2006-06-14 2007-12-21 Konica Minolta Holdings, Inc. 撮像装置
US7399951B2 (en) 2005-03-29 2008-07-15 Konica Minolta Holdings, Inc. Solid-state image-sensing device
US7443438B2 (en) 2003-12-12 2008-10-28 Konica Minolta Holdings, Inc. Solid-state image-sensing device with selectively grouped pixels
US7508422B2 (en) 2004-07-01 2009-03-24 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus comprising a logarithmic characteristic area and a linear characteristic area
JP2009077410A (ja) * 2002-08-23 2009-04-09 Micron Technology Inc 画素信号処理方法及び画素回路処理方法
US7545412B2 (en) 2003-09-09 2009-06-09 Konica Minolta Holdings, Inc. Image-sensing apparatus with a solid-state image sensor switchable between linear and logarithmic conversion
US7667764B2 (en) 2004-06-04 2010-02-23 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus
WO2010032842A1 (ja) * 2008-09-19 2010-03-25 国立大学法人静岡大学 情報取得装置及び光通信システム
US7714928B2 (en) 2004-05-28 2010-05-11 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus and an image sensing method comprising a logarithmic characteristic area and a linear characteristic area
US7791647B2 (en) 2004-12-20 2010-09-07 Konica Minolta Holdings, Inc. Image capturing apparatus which converts incident light to first electric signals according to a plurality of photoelectronic conversion characteristics and image capturing method
JP4586941B1 (ja) * 2009-06-15 2010-11-24 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
JP4586942B1 (ja) * 2009-06-15 2010-11-24 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
US7843493B2 (en) 2006-01-31 2010-11-30 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus and image processing method
US7932947B2 (en) 2001-04-27 2011-04-26 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Output-compensating device and method of an image sensor
US8013918B2 (en) 2006-03-20 2011-09-06 Konica Minolta Holdings, Inc. Image capturing apparatus including an image sensor having three photoelectric conversion characteristics with each corresponding to a range of luminance intensity
WO2011155136A1 (ja) 2010-06-07 2011-12-15 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
WO2011155135A1 (ja) 2010-06-07 2011-12-15 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
US8213063B2 (en) * 2004-06-02 2012-07-03 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus, image sensing system, and operating program product for image sensing system
US8218027B2 (en) 2009-04-09 2012-07-10 Hand Held Products, Inc. Imaging terminal having color correction
US8218042B2 (en) 2004-07-05 2012-07-10 Konica Minolta Holdings, Inc. Solid-state image-sensing device and camera provided therewith
US8223240B2 (en) 2007-06-07 2012-07-17 Konica Minolta Holdings, Inc. Image pickup device and image pickup apparatus
US8233059B2 (en) 2004-05-31 2012-07-31 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus
US8339468B2 (en) 2007-08-30 2012-12-25 Konica Minolta Opto, Inc. Image processing device, image processing method, and image pickup apparatus
JP2014059313A (ja) * 2007-03-26 2014-04-03 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置
US9183425B2 (en) 2009-04-09 2015-11-10 Hand Held Products, Inc. Image sensor pixel array having output response curve including logarithmic pattern for image sensor based terminal
JP2020080532A (ja) * 2018-10-10 2020-05-28 センサーズ・アンリミテッド・インコーポレーテッド 画素、飛行時間型センサシステム、および飛行時間型撮像の方法

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2374926A (en) * 2001-04-28 2002-10-30 Secr Defence Log-linear pixel circuit and pixel array system.
EP1265291A1 (fr) * 2001-06-08 2002-12-11 EM Microelectronic-Marin SA Capteur d'image CMOS et procédé permettant d'opérer un capteur d'image CMOS avec une dynamique accrue
US7372495B2 (en) 2002-08-23 2008-05-13 Micron Technology, Inc. CMOS aps with stacked avalanche multiplication layer and low voltage readout electronics
JP3948433B2 (ja) * 2003-05-21 2007-07-25 コニカミノルタホールディングス株式会社 固体撮像装置
FR2855326B1 (fr) 2003-05-23 2005-07-22 Atmel Grenoble Sa Capteur d'image matriciel en technologie cmos
US7141841B2 (en) * 2003-07-03 2006-11-28 Micron Technology, Inc. Image sensor having a transistor for allowing increased dynamic range
WO2005083790A1 (ja) * 2004-02-27 2005-09-09 Texas Instruments Japan Limited 固体撮像装置、ラインセンサ、光センサおよび固体撮像装置の動作方法
US7525579B2 (en) 2004-12-27 2009-04-28 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus and image processing method for use therein
US9270868B2 (en) * 2005-03-15 2016-02-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge coupled device
JP2006287343A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Konica Minolta Holdings Inc 固体撮像装置
JP2007006453A (ja) * 2005-05-24 2007-01-11 Konica Minolta Holdings Inc 固体撮像装置
JP2006339761A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Konica Minolta Holdings Inc 撮像装置
JP2007097127A (ja) * 2005-08-30 2007-04-12 Konica Minolta Holdings Inc 固体撮像装置
JP5012188B2 (ja) * 2007-05-14 2012-08-29 コニカミノルタホールディングス株式会社 固体撮像装置
GB2451678A (en) * 2007-08-10 2009-02-11 Sensl Technologies Ltd Silicon photomultiplier circuitry for minimal onset and recovery times
JP7148269B2 (ja) * 2018-05-02 2022-10-05 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子および撮像装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0824351B2 (ja) * 1984-04-27 1996-03-06 オリンパス光学工業株式会社 固体撮像装置
US5241575A (en) 1989-12-21 1993-08-31 Minolta Camera Kabushiki Kaisha Solid-state image sensing device providing a logarithmically proportional output signal
US5401952A (en) * 1991-10-25 1995-03-28 Canon Kabushiki Kaisha Signal processor having avalanche photodiodes
US5933190A (en) * 1995-04-18 1999-08-03 Imec Vzw Pixel structure, image sensor using such pixel structure and corresponding peripheral circuitry
JP3576715B2 (ja) 1996-09-10 2004-10-13 本田技研工業株式会社 光センサ回路
DE69841968D1 (de) * 1997-08-15 2010-12-09 Sony Corp Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung und Steuerverfahren dafür
JP3546985B2 (ja) * 1997-12-15 2004-07-28 シャープ株式会社 増幅型光電変換素子、増幅型固体撮像装置及びその駆動方法
JP3724188B2 (ja) * 1998-04-30 2005-12-07 コニカミノルタホールディングス株式会社 固体撮像装置
US6054704A (en) * 1998-06-30 2000-04-25 Foveon, Inc. Driven capacitor storage pixel sensor and array
JP2000196961A (ja) 1998-12-28 2000-07-14 Canon Inc 撮像装置
US6967682B1 (en) * 1999-03-29 2005-11-22 Minolta Co., Ltd. Photoelectric converting device
JP3278716B2 (ja) 1999-05-18 2002-04-30 本田技研工業株式会社 光センサ回路
JP4292628B2 (ja) 1999-06-25 2009-07-08 コニカミノルタホールディングス株式会社 固体撮像装置
JP4345145B2 (ja) * 1999-07-22 2009-10-14 コニカミノルタホールディングス株式会社 固体撮像装置
JP2001218111A (ja) * 2000-02-01 2001-08-10 Minolta Co Ltd 固体撮像装置
JP4345175B2 (ja) 2000-02-01 2009-10-14 コニカミノルタホールディングス株式会社 固体撮像装置
JP2001268442A (ja) 2000-03-21 2001-09-28 Minolta Co Ltd 固体撮像装置
JP2004112438A (ja) * 2002-09-19 2004-04-08 Minolta Co Ltd 固体撮像装置

Cited By (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002073956A1 (en) * 2001-03-09 2002-09-19 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Optical sensor circuit
US7932947B2 (en) 2001-04-27 2011-04-26 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Output-compensating device and method of an image sensor
JP2009077410A (ja) * 2002-08-23 2009-04-09 Micron Technology Inc 画素信号処理方法及び画素回路処理方法
JP2004088312A (ja) * 2002-08-26 2004-03-18 Minolta Co Ltd 撮像装置
US6812448B2 (en) * 2002-09-19 2004-11-02 Minolta Co., Ltd. Solid-state image-sensing device
US7545412B2 (en) 2003-09-09 2009-06-09 Konica Minolta Holdings, Inc. Image-sensing apparatus with a solid-state image sensor switchable between linear and logarithmic conversion
EP1677522A1 (en) * 2003-10-02 2006-07-05 Hamamatsu Photonics K. K. Photo detecting apparatus
EP1677522A4 (en) * 2003-10-02 2010-03-31 Hamamatsu Photonics Kk PHOTO DETECTOR DEVICE
US7800667B2 (en) 2003-10-02 2010-09-21 Hamamatsu Photonics K.K. Photo-detecting apparatus
WO2005034511A1 (ja) 2003-10-02 2005-04-14 Hamamatsu Photonics K.K. 光検出装置
US7443438B2 (en) 2003-12-12 2008-10-28 Konica Minolta Holdings, Inc. Solid-state image-sensing device with selectively grouped pixels
US7714928B2 (en) 2004-05-28 2010-05-11 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus and an image sensing method comprising a logarithmic characteristic area and a linear characteristic area
US8233059B2 (en) 2004-05-31 2012-07-31 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus
US8427575B2 (en) 2004-05-31 2013-04-23 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus with exposure controller
US8213063B2 (en) * 2004-06-02 2012-07-03 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus, image sensing system, and operating program product for image sensing system
US7667764B2 (en) 2004-06-04 2010-02-23 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus
US7508422B2 (en) 2004-07-01 2009-03-24 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus comprising a logarithmic characteristic area and a linear characteristic area
US8643756B2 (en) 2004-07-05 2014-02-04 Knoica Minolta Holdings, Inc. Solid-state image-sensing device having a plurality of controlled pixels, with each pixel having a transfer gate signal that is ternary-voltage signal switched among three levels, and method of operating same
US8218042B2 (en) 2004-07-05 2012-07-10 Konica Minolta Holdings, Inc. Solid-state image-sensing device and camera provided therewith
US7679663B2 (en) 2004-08-26 2010-03-16 Hamamatsu Photonics K.K. Photodetection apparatus
WO2006022163A1 (ja) * 2004-08-26 2006-03-02 Hamamatsu Photonics K.K. 光検出装置
JP4529027B2 (ja) * 2004-09-06 2010-08-25 ルネサスエレクトロニクス株式会社 固体撮像装置
JP2006074663A (ja) * 2004-09-06 2006-03-16 Renesas Technology Corp 固体撮像装置
US7791647B2 (en) 2004-12-20 2010-09-07 Konica Minolta Holdings, Inc. Image capturing apparatus which converts incident light to first electric signals according to a plurality of photoelectronic conversion characteristics and image capturing method
US7399951B2 (en) 2005-03-29 2008-07-15 Konica Minolta Holdings, Inc. Solid-state image-sensing device
WO2006129460A1 (ja) * 2005-06-03 2006-12-07 Konica Minolta Holdings, Inc. 撮像装置
JP4771092B2 (ja) * 2005-06-03 2011-09-14 コニカミノルタホールディングス株式会社 撮像装置
WO2006132366A1 (ja) * 2005-06-10 2006-12-14 Honda Motor Co., Ltd. 光センサ回路およびイメージセンサ
US7880788B2 (en) 2005-06-10 2011-02-01 Honda Motor Co., Ltd. Optical sensor circuit and image sensor
US8228397B2 (en) 2006-01-31 2012-07-24 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus and image processing method
US7843493B2 (en) 2006-01-31 2010-11-30 Konica Minolta Holdings, Inc. Image sensing apparatus and image processing method
US8013918B2 (en) 2006-03-20 2011-09-06 Konica Minolta Holdings, Inc. Image capturing apparatus including an image sensor having three photoelectric conversion characteristics with each corresponding to a range of luminance intensity
WO2007145099A1 (ja) 2006-06-14 2007-12-21 Konica Minolta Holdings, Inc. 撮像装置
JP2014059313A (ja) * 2007-03-26 2014-04-03 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置
US8223240B2 (en) 2007-06-07 2012-07-17 Konica Minolta Holdings, Inc. Image pickup device and image pickup apparatus
US8339468B2 (en) 2007-08-30 2012-12-25 Konica Minolta Opto, Inc. Image processing device, image processing method, and image pickup apparatus
WO2010032842A1 (ja) * 2008-09-19 2010-03-25 国立大学法人静岡大学 情報取得装置及び光通信システム
US8891978B2 (en) 2008-09-19 2014-11-18 National University Corporation Shizuoka University Information-acquisition device and optical communication system
JP5322120B2 (ja) * 2008-09-19 2013-10-23 国立大学法人静岡大学 情報取得装置及び光通信システム
US9609241B2 (en) 2009-04-09 2017-03-28 Hand Held Products, Inc. Image sensor pixel array having output response curve including logarithmic pattern for image sensor based terminal
US9183425B2 (en) 2009-04-09 2015-11-10 Hand Held Products, Inc. Image sensor pixel array having output response curve including logarithmic pattern for image sensor based terminal
US8218027B2 (en) 2009-04-09 2012-07-10 Hand Held Products, Inc. Imaging terminal having color correction
WO2010146749A1 (ja) * 2009-06-15 2010-12-23 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
JP4586941B1 (ja) * 2009-06-15 2010-11-24 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
JP4586942B1 (ja) * 2009-06-15 2010-11-24 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
JP2011024246A (ja) * 2009-06-15 2011-02-03 Konica Minolta Opto Inc 撮像装置
WO2010146748A1 (ja) * 2009-06-15 2010-12-23 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
WO2011155135A1 (ja) 2010-06-07 2011-12-15 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
WO2011155136A1 (ja) 2010-06-07 2011-12-15 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
US9294740B2 (en) 2010-06-07 2016-03-22 Konica Minolta Advanced Layers, Inc. Imaging device having a color image generator generating a color image using edge data and a fake color suppressing coefficient
JP2020080532A (ja) * 2018-10-10 2020-05-28 センサーズ・アンリミテッド・インコーポレーテッド 画素、飛行時間型センサシステム、および飛行時間型撮像の方法
JP7344076B2 (ja) 2018-10-10 2023-09-13 センサーズ・アンリミテッド・インコーポレーテッド 画素、飛行時間型センサシステム、および飛行時間型撮像の方法

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Publication number Publication date
US6927884B2 (en) 2005-08-09
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EP1187217A3 (en) 2005-11-09
EP1187217A2 (en) 2002-03-13
US20020054389A1 (en) 2002-05-09

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