JP3278716B2 - 光センサ回路 - Google Patents

光センサ回路

Info

Publication number
JP3278716B2
JP3278716B2 JP17447699A JP17447699A JP3278716B2 JP 3278716 B2 JP3278716 B2 JP 3278716B2 JP 17447699 A JP17447699 A JP 17447699A JP 17447699 A JP17447699 A JP 17447699A JP 3278716 B2 JP3278716 B2 JP 3278716B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mos transistor
signal
voltage
photodiode
optical sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP17447699A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000329616A (ja
Inventor
典之 篠塚
克彦 武部
利明 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honda Motor Co Ltd
Citizen Watch Co Ltd
Original Assignee
Honda Motor Co Ltd
Citizen Watch Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honda Motor Co Ltd, Citizen Watch Co Ltd filed Critical Honda Motor Co Ltd
Priority to JP17447699A priority Critical patent/JP3278716B2/ja
Publication of JP2000329616A publication Critical patent/JP2000329616A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3278716B2 publication Critical patent/JP3278716B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/50Control of the SSIS exposure
    • H04N25/57Control of the dynamic range
    • H04N25/571Control of the dynamic range involving a non-linear response
    • H04N25/573Control of the dynamic range involving a non-linear response the logarithmic type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光信号を電気信号に変
換する光センサ回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、MOS型のイメージセンサにあっ
ては、その1画素分の光センサ回路として、図7に示す
ように、光電変換素子としてのフォトダイオードPDに
流れる入射光Lsの光量に応じたセンサ電流をMOSト
ランジスタQ1によって電圧信号Vd(フォトダイオー
ドPDの両端電圧)に変換し、その変換された電圧信号
Vdを増幅用のMOSトランジスタQ2によって増幅
し、その増幅した電圧信号を画素選択用のMOSトラン
ジスタQ3によってゲート制御電圧VCのパルスタイミ
ングでもって画素信号Voとして出力するようにしてい
る。
【0003】その際、フォトダイオードPDの接合容量
C(寄生容量に配線等の浮遊容量が加わったもの)にあ
らかじめ電荷が充電されており、入射光Lsによって電
荷が放電されることによってセンサ電流が生ずることに
なる。
【0004】そして、その光センサ回路にあって、特に
ダイナミックレンジを拡大して光信号の検出を高感度で
行わせるようにするために、トランジスタに流れる電流
が小さいときにはその抵抗変化が対数特性を示すことを
利用して、MOSトランジスタQ1に対数出力特性をも
たせるようにしている。
【0005】その場合、MOSトランジスタQ1のゲー
ト電圧VGをドレイン電圧VDと同じかまたはそれ以下
に設定して(VG,VDの各電圧値は固定)、MOSト
ランジスタQ1を弱反転状態で動作させている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、光電変換素子のセンサ電流をMOSトランジスタ
を用いて弱反転状態で対数出力特性をもって電圧信号に
変換するようにした光センサ回路を用いたイメージセン
サでは、光電変換素子の入射光量が少なくなると残像が
生じてしまうことである。
【0007】いま、図7の構成にあって、フォトダイオ
ードPDに充分な光量をもって入射光Lsが当たってい
るときには、MOSトランジスタQ1には充分なセンサ
電流が流れることになり、MOSトランジスタQ1の抵
抗値もさほど大きくないことから、イメージセンサとし
て残像を生ずることがないような充分な応答速度をもっ
て光信号の検出を行わせることができる。
【0008】しかし、フォトダイオードPDの入射光L
sの光量が少なくなってMOSトランジスタQ1に流れ
る電流が小さくなると、MOSトランジスタQ1はそれ
に流れる電流が1桁小さくなるとその抵抗値が1桁大き
くなるように動作するように設定されていることから、
MOSトランジスタQ1の抵抗値が増大し、接合容量C
との時定数が大きくなってフォトダイオードPDの接合
容量Cに蓄積された電荷を放電するのに時間がかかるよ
うになる。そのため、入射光Lsの光量が少なくなるに
したがって、残像が長時間にわたって観測されることに
なる。
【0009】図3は、フォトダイオードPDのセンサ電
流が1E−10Aから1E−15Aまで急激に変化した
場合の電圧信号Vdの変化特性を示している。
【0010】この特性から、フォトダイオードPDへの
入射光Lsの光量が少ない1E−12A程度のセンサ電
流では、1/30secごとに画素信号Voを出力させ
るようにする場合、その時間内では電圧信号Vdが飽和
しないことがわかる。
【0011】したがって、フォトダイオードPDの入射
光Lsの光量が少ないときのセンサ電流に応じた電圧信
号Vdの飽和時間が長くなるため、図8に示すようなパ
ルスタイミングで画素信号Voの読み出しを行うと、当
初ほど大きなレベルの出力が残像となってあらわれる。
なお、図8中、Vd′は増幅用のMOSトランジスタQ
2によって反転増幅された電圧信号を示している。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、光信号を検出
して電気信号に変換する光電変換素子のセンサ電流をM
OSトランジスタを用いて弱反転状態で対数出力特性を
もって電圧信号に変換するようにした光センサ回路にあ
って、センサ電流に急激な変化が生じても即座にそのと
きの入射光の光量に応じた電圧信号が得られるようにし
て、イメージセンサに用いた場合に入射光の光量が少な
い場合でも残像を生ずることがないようにするべく、光
信号を検出する際に前記MOSトランジスタのドレイン
電圧を所定時間だけ定常値よりも低く設定して、ソース
側に接続された光電変換素子の接合容量に蓄積された電
荷を放電させて初期化する初期設定手段を設けるように
している。
【0013】
【実施例】図1は、イメージセンサの1画素分の構成要
素として用いたときの光センサ回路の構成例を示してい
る。
【0014】その光センサ回路は、光信号を電気信号に
変換する光電変換素子としてのフォトダイオードPD
と、入射光Lsの光量に応じてフォトダイオードPDに
流れるセンサ電流を弱反転状態で対数特性出力特性をも
って電圧信号に変換するMOSトランジスタQ1と、そ
の変換された電圧信号(フォトトランジスタPDの端子
電圧)Vdを増幅するMOSトランジスタQ2と、その
増幅した電圧信号を画素信号Voとして出力する画素選
択用のMOSトランジスタQ3とからなっている。
【0015】図中、Cは寄生容量に配線等の浮遊容量が
加わったフォトダイオードPDの接合容量を等価的に示
している。
【0016】VGは、フォトダイオードPDを低電圧の
弱反転状態で動作させるための固定のゲート電源であ
る。VCは、画素選択用のMOSトランジスタQ3のス
イッチングを行わせるためのゲート制御用電源である。
バイアス用の固定電源VDDおよび抵抗Rは画素信号V
oの出力レベルを所定にするためのものである。
【0017】また、VDはMOSトランジスタQ1のド
レイン電圧用の電源である。
【0018】本発明では、特に、MOSトランジスタQ
1のドレイン電圧VDの大きさを可変に調整する電圧コ
ントローラ1を設けて、光信号を検出する際にMOSト
ランジスタQ1のドレイン電圧VDを所定時間だけ定常
値(ハイレベル)よりも定常値よりも低い電圧値(また
は零値)に設定して、ソース側に接続されたフォトダイ
オードPDの接合容量Cに蓄積された電荷を放電させて
初期化するようにしている。
【0019】図2は、光信号を検出する際にMOSトラ
ンジスタQ1のドレイン電圧VDを所定時間tm(例え
ば1画素分の読出し速度が100msec程度の場合に
5μsec程度となる)のあいだ定常値(ハイレベル
H)よりも低い電圧を(ローレベルL)に切り換える初
期化のタイミングおよび画素選択用のMOSトランジス
タQ3をスイッチオン状態にするゲート制御電圧VCに
よる光信号読出しのタイミングを示している。図中、T
はフォトダイオードPDの接合容量Cの蓄積期間を示し
ており、その畜積期間TはNTSC信号の場合1/30
sec(または1/60sec)程度となる。
【0020】このように構成されたものにあっては、電
圧コントローラ1の制御下で、初期化時にMOSトラン
ジスタQ1のドレイン電圧VDがローレベルLに切り換
えられると、そのときのゲート電圧VGとドレイン電圧
VDとの間の電位差がMOSトランジスタQ1のしきい
値よりも大きければMOSトランジスタQ1が低抵抗状
態になる。それにより、そのときのソース側の電位がド
レイン電圧VDと同じになり(実際にはしきい値分の電
位差が残る)、フォトダイオードPDの接合容量Cが放
電状態になる。
【0021】そして、電圧コントローラ1の制御下で、
tm時間の経過後にそのドレイン電圧VDが定常のハイ
レベルHに切り換えられると、ソース側の電位がドレイ
ン電圧VDよりも低くなって、そのときのゲート電圧V
Gとドレイン電圧VDとの間の電位差がしきい値よりも
大きければMOSトランジスタQ1が低抵抗状態にな
り、フォトダイオードPDの接合容量Cが充電状態にな
る。
【0022】このように光信号の検出に先がけてフォト
ダイオードPDの接合容量Cを放電させて初期化したの
ちにその接合容量Cを充電させるようにすると、その初
期化のタイミングから一定の時間経過した時点での出力
電圧(フォトダイオードPDの端子電圧)Vdは入射光
Lsの光量に応じた値となる。すなわち、初期化後には
入射光Lsの光量の変化に追随した一定の時定数による
放電特性が得られるようになる。
【0023】その際、長時間放置すればドレイン電圧V
DからMOSトランジスタQ1を通して供給される電流
とフォトダイオードPDを流れる電流とは同じになる
が、前に残った電荷がなければ常に同じ放電特性が得ら
れるので残像が生ずることがなくなる。
【0024】したがって、初期化してから一定の時間を
定めて光信号を読み出すようにすれば、入射光Lsの光
量に応じた残像のない画素信号Voを得ることができる
ようになる。
【0025】図3はフォトダイオードPDのセンサ電流
が1E−10Aから1E−15Aまで急激に変化した場
合の電圧信号Vdの変化特性にあって、初期化してから
一定の時間1/30sec経過後に光信号の読み出しの
タイミングを設定したときを示している。
【0026】図4は、1/30secのタイミングで光
信号の読み出しをくり返し行わせたときの電圧信号Vd
の増幅信号の特性を示している。これによれば、1/3
0secごとに得られる信号特性はフォトダイオードP
Dへの入射光Lsの光量に応じたセンサ電流に即したも
のとなり、残像の影響がないことがわかる。
【0027】図5は、フォトダイオードPDへの入射光
Lsの光量を変化させたときの画素信号Voの出力特性
(a)を示している。これによれば、フォトダイオード
PDのセンサ電流が1E−13A以上では完全に対数出
力特性となっていることがわかる。また、センサ電流が
1E−13A以下の領域では対数特性から外れるもの
の、残像のない出力が得られることがわかる。
【0028】また、電圧コントローラ1によって制御さ
れる電圧VDのローレベルLを調整すると、完全にMO
SトランジスタQ1を低抵抗状態にできるまで電圧を下
げれば図5中(a)で示すような出力特性が得られる。
しかし、その制御電圧VDをゲート電圧VGと同一にな
るように設定すると、図5中(b)で示すような通常の
対数出力特性が得られることになる。
【0029】したがって、図5中(a)で示す出力特性
の場合には、残像はないが、光量が少ないときに感度が
小さくなる。図5中(b)で示す対数出力特性の場合に
は、光量が少ないときでも感度は大きいが、残像が顕著
になる。すなわち、感度と残像との間にはトレードオフ
の関係が成立する。
【0030】したがって、図5中(a)で示す出力特性
と図5中(b)で示す対数出力特性との中間の領域に出
力特性がくるように制御電圧VDを調整することによ
り、残像を問題にしない用途では感度を優先するような
設定とし、残像が問題となる用途では残像をなくすこと
を優先とするような設定とすることができるようにな
る。実際には、用途に応じて問題にならない残像の程度
に応じて制御電圧VDを調整して、感度を可能なかぎり
大きく設定するようにすることが考えられる。
【0031】図6は、図1に示した光センサ回路を1画
素分のセンサ素子Sとして2次元状に配設してイメージ
センサを形成したときの構成例を示している。
【0032】図6中、1は各センサ素子Sに共通に設け
られた電圧コントローラを、2は各センサ素子Sに共通
に設けられた画素選択回路である。また、各センサ素子
Sの画素信号Voを順次出力させるための信号選択回路
3が設けられている。
【0033】このような構成によれば、残像がなく、ダ
イナミックレンジの広い対数出力特性をもったイメージ
センサを実現できるようになる。
【0034】
【効果】以上、本発明によれば、光信号を検出して電気
信号に変換する光電変換素子のセンサ電流をMOSトラ
ンジスタを用いて弱反転状態で対数出力特性をもって電
圧信号に変換するようにした光センサ回路にあって、光
信号を検出する際に前記MOSトランジスタのドレイン
電圧を所定時間だけ定常値よりも低く設定して、ソース
側に接続された光電変換素子の接合容量に蓄積された電
荷を放電させて初期化する初期設定手段を設けることに
より、センサ電流に急激な変化が生じても即座にそのと
きの入射光の光量に応じた電圧信号が得られるようにし
て、入射光の光量が少ない場合でも残像を生ずることが
なくなるという利点を有している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光センサ回路の一実施例を示す電
気回路図である。
【図2】同実施例における初期化のタイミングと光信号
読出しのタイミングとの関係を示すVD信号およびVC
信号のタイムチャートである。
【図3】同実施例におけるフォトダイオードPDのセン
サ電流が変化したときの各電圧信号Vdの変化特性を示
す図である。
【図4】同実施例において所定のタイミングで光信号の
読み出しをくり返し行わせたときの電圧信号Vdの増幅
信号の特性を示す図である。
【図5】同実施例においてフォトダイオードPDへの入
射光Lsの光量を変化させたときの画素信号Voの出力
特性を示す図である。
【図6】同実施例における光センサ回路を1画素分のセ
ンサ素子として2次元状に配設してイメージセンサを形
成したときの構成例を示すブロック図である。
【図7】従来の光センサ回路を示す電気回路図である。
【図8】従来の光センサ回路における入射光量が少ない
ときに所定のタイミングで読み出される画素信号の出力
特性を示す図である。
【符号の説明】
1 電圧コントローラ 2 画素選択回路 3 信号選択回路 C 接合容量 PT フォトダイオード Q1 電圧信号変換用MOSトランジスタ Q2 増幅用MOSトランジスタ Q3 画素選択用MOSトランジスタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 利明 埼玉県所沢市大字下富字武野840番地 シチズン時計株式会社技術研究所内 (56)参考文献 特開 平10−90058(JP,A) 特開 平5−276442(JP,A) 特開 平4−370720(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01J 1/44 H01L 27/14 H01L 31/10 H04N 5/335

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光信号を検出して電気信号に変換する光
    電変換素子のセンサ電流をMOSトランジスタを用いて
    弱反転状態で対数出力特性をもって電圧信号に変換する
    ようにした光センサ回路において、光信号を検出する際
    に前記MOSトランジスタのドレイン電圧を所定時間だ
    け定常値よりも低く設定して、ソース側に接続された光
    電変換素子の接合容量に蓄積された電荷を放電させて初
    期化する初期設定手段を設けたことを特徴とする光セン
    サ回路。
  2. 【請求項2】 光電変換素子のセンサ電流をMOSトラ
    ンジスタにより対数出力特性をもって変換された電圧信
    号を増幅用のMOSトランジスタによって増幅し、その
    増幅した電圧信号を画素選択用のMOSトランジスタを
    介して出力するようにしたものをイメージセンサの1画
    素分の構成要素として用いるようにしたことを特徴とす
    る請求項1の記載による光センサ回路。
JP17447699A 1999-05-18 1999-05-18 光センサ回路 Expired - Lifetime JP3278716B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17447699A JP3278716B2 (ja) 1999-05-18 1999-05-18 光センサ回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17447699A JP3278716B2 (ja) 1999-05-18 1999-05-18 光センサ回路

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000329616A JP2000329616A (ja) 2000-11-30
JP3278716B2 true JP3278716B2 (ja) 2002-04-30

Family

ID=15979159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17447699A Expired - Lifetime JP3278716B2 (ja) 1999-05-18 1999-05-18 光センサ回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3278716B2 (ja)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3493405B2 (ja) 2000-08-31 2004-02-03 ミノルタ株式会社 固体撮像装置
WO2002045414A1 (fr) 2000-12-01 2002-06-06 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Dispositif permettant de corriger la sortie d'un capteur d'images
EP1361749B1 (en) 2000-12-26 2013-01-09 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Image processor
US7380697B2 (en) 2001-02-14 2008-06-03 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Welding condition monitoring device
JP2002271698A (ja) * 2001-03-09 2002-09-20 Honda Motor Co Ltd 光センサ回路
TW550944B (en) 2001-03-09 2003-09-01 Honda Motor Co Ltd Photosensitive circuit
WO2002091736A1 (fr) * 2001-04-27 2002-11-14 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Unite de correction de sortie d'un capteur d'image
JP2002357478A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Honda Motor Co Ltd 光センサ回路
WO2002102061A1 (fr) * 2001-06-06 2002-12-19 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Detecteur d'images
JP2003018466A (ja) * 2001-07-03 2003-01-17 Honda Motor Co Ltd 光センサ
US7319486B2 (en) * 2001-09-13 2008-01-15 Honda Giken Kogyo K.K. High-speed event imaging device
JP3963008B2 (ja) * 2001-12-20 2007-08-22 本田技研工業株式会社 イメージセンサの出力補正装置
AU2003236261A1 (en) * 2002-05-02 2003-11-17 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Image sensor output correction device
TWI225232B (en) * 2002-07-12 2004-12-11 Toshiba Matsushita Display Tec Display device
JP3803924B2 (ja) * 2002-09-09 2006-08-02 本田技研工業株式会社 イメージセンサ
JP4254388B2 (ja) 2003-06-11 2009-04-15 本田技研工業株式会社 イメージセンサの走査回路
US7495695B2 (en) 2003-07-18 2009-02-24 Honda Giken Kogyo K.K. Image processing device and method capable of emphasizing the contrast of an image taken by an image sensor
JP4587161B2 (ja) * 2004-04-16 2010-11-24 キヤノン株式会社 撮像装置
JP4529027B2 (ja) * 2004-09-06 2010-08-25 ルネサスエレクトロニクス株式会社 固体撮像装置
JP4308170B2 (ja) 2005-06-10 2009-08-05 本田技研工業株式会社 イメージセンサ
US7696463B2 (en) 2005-12-01 2010-04-13 Honda Motor Co., Ltd. Photosensor circuit presenting linear and logarithimic output characteristics and image sensor using the same
KR100718786B1 (ko) 2005-12-29 2007-05-16 매그나칩 반도체 유한회사 시모스 이미지 센서
KR101874034B1 (ko) * 2012-02-10 2018-07-06 삼성디스플레이 주식회사 광 센서, 이를 포함하는 표시 장치 및 그 구동 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000329616A (ja) 2000-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3278716B2 (ja) 光センサ回路
JP3576715B2 (ja) 光センサ回路
CA2393514C (en) Photodetector and method for detecting radiation
US7489355B2 (en) CMOS active pixel with hard and soft reset
JP4683436B2 (ja) 光検出装置
US7391004B2 (en) Photo detecting apparatus
EP1943831B1 (en) Image sensor
JP2016533140A (ja) 動的な、単一光ダイオードの画素回路およびその作動方法
JP4308170B2 (ja) イメージセンサ
JP3882128B2 (ja) イメージセンサの出力補正装置
JP5335318B2 (ja) 光センサ、測定装置及びカメラシステム
US7176435B2 (en) Image sensor with a voltage switching circuit for low afterglow
US7696463B2 (en) Photosensor circuit presenting linear and logarithimic output characteristics and image sensor using the same
JP3861245B2 (ja) 光センサ回路
JPH06189204A (ja) 固体撮像装置
JPH06189199A (ja) 固体撮像装置
US6717616B1 (en) Amplifier assisted active pixel read out structure
JP4205717B2 (ja) 光センサ回路およびイメージセンサ
JP2007096913A (ja) 撮像デバイス回路、固体撮像装置、撮像デバイス回路の感度調整方法
US20030160882A1 (en) Video sensor chip circuit
JP4420402B2 (ja) 光センサ回路およびイメージセンサ
JP2002271698A (ja) 光センサ回路
US6563103B1 (en) Image sensor and method of operating an image sensor
JP2003204485A (ja) イメージセンサ
JP2004120724A (ja) イメージセンサ

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080222

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090222

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100222

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100222

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130222

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130222

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140222

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term