JP2003018466A - 光センサ - Google Patents

光センサ

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JP2003018466A JP2001239921A JP2001239921A JP2003018466A JP 2003018466 A JP2003018466 A JP 2003018466A JP 2001239921 A JP2001239921 A JP 2001239921A JP 2001239921 A JP2001239921 A JP 2001239921A JP 2003018466 A JP2003018466 A JP 2003018466A
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Noriyuki Shinozuka
典之 篠塚
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    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/50Control of the SSIS exposure
    • H04N25/57Control of the dynamic range
    • H04N25/571Control of the dynamic range involving a non-linear response
    • H04N25/573Control of the dynamic range involving a non-linear response the logarithmic type

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  • Nonlinear Science (AREA)
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  • Amplifiers (AREA)
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  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 残像を抑制するべく、光電変換素子の寄生容
量に残留する電荷を放電させて初期化する簡単な手段を
講ずるようにした光センサを提供する。 【構成】 光検知時の入射光量に応じて光電変換素子に
流れるセンサ電流をトランジスタのオーバフロードレイ
ン動作による弱反転状態で対数特性をもって電圧信号に
変換して、その変換された電圧信号に応じたセンサ出力
を生ずるようにした光センサにおいて、光検知に先がけ
てパルス光を照射することにより光電変換素子の寄生容
量に電荷を注入して初期化する手段を設けるようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、入射光量に応じて光電
変換素子に流れるセンサ電流を対数特性をもったセンサ
信号に変換して出力する、CMOS型イメージセンサの
画素単位となる光センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、CMOS型イメージセンサにあっ
ては、その1画素分の光センサが、図16に示すよう
に、撮影に際しての光検知時における入射光Lsの光量
に応じたセンサ電流を生ずる光電変換素子としてのフォ
トダイオードPDと、そのフォトダイオードPDに流れ
るセンサ電流をオーバフロードレイン動作による弱反転
状態で対数出力特性をもって電圧信号Vpdに変換する
トランジスタQ1と、その変換された電圧信号Vpdを
ハイインピーダンスをもって増幅するトランジスタQ2
と、画素読出し信号Vsのパルスタイミングでもってセ
ンサ信号を出力するトランジスタQ3とによって構成さ
れ、ダイナミックレンジを拡大して光信号の検出を高感
度で行わせることができるようになっている。そして、
光検知に先がけて、トランジスタQ1のゲート電圧VG
を所定時間だけ定常よりも高い値に切り換えることによ
ってドレイン・ソース間のインピーダンスを低下させ
て、フォトダイオードPDの寄生容量Cの残留電荷を放
電させて初期化することにより、センサ電流に急激な変
化が生じても即座にそのときの入射光Lsの光量に応じ
た電圧信号Vpdが得られるようにして、入射光量が少
ない場合でも残像が生ずることがないようにしている
(特開平10−90058号公報参照)。
【0003】オーバフロードレインの構造としては、図
17に示す横方向にMOSトランジスタを形成した横形
のものと、図18に示すダイオードの下にnpnトラ
ンジスタを形成する縦形のものとが知られている。図1
9は、入射光Lsの入射時における電荷qの流れによる
横形オーバフロードレインの動作状態を模擬的に示して
いる。図20は、入射光Lsの入射時における電荷qの
流れによる縦形オーバフロードレインの動作状態を模擬
的に示している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、入射光量に応じて光電変換素子に流れるセンサ電
流をトランジスタのオーバフロードレイン動作による弱
反転状態で対数特性をもって電圧信号に変換して、その
変換された電圧信号に応じたセンサ信号を出力するよう
にした光センサにあって、初期化時にそのトランジスタ
のゲート電圧を定常値よりも高い値に切り換えるように
するのでは、その電源電圧を低インピーダンスをもって
段階的に切り換える電圧切換回路を必要として、光セン
サの構成が複雑になっていることである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、光検知時の入
射光量に応じて光電変換素子に流れるセンサ電流をトラ
ンジスタのオーバフロードレイン動作による弱反転状態
で対数特性をもって電圧信号に変換するようにした光セ
ンサにあって、そのトランジスタの電源電圧を段階的に
切り換える電圧制御を行うようなことなく簡単に初期化
を行わせるようにするべく、光検知に先がけてパルス光
を照射することにより光電変換素子の寄生容量に電荷を
注入して初期化する手段を設けて、残留電荷による容量
性の残像の発生を抑制するようにしている。
【0006】
【実施例】本発明による光センサにあっては、図1に示
すように、その基本的な構成が、入射光Lsの光量に応
じたセンサ電流を生ずる光電変換素子としてのフォトダ
イオードPDと、そのフォトダイオードPDに流れるセ
ンサ電流を弱反転状態で対数特性をもって電圧信号Vp
dに変換するトランジスタQ1と、その変換された電圧
信号Vpdをハイインピーダンスをもって増幅するトラ
ンジスタQ2と、読出し信号Vsのパルスタイミングで
もってセンサ信号を出力するトランジスタQ3とによっ
て構成されている。ここでは、MOS型のトランジスタ
Q1〜Q3を用いるようにしている。図中、Cはフォト
ダイオードPDの接合容量、配線容量などからなる寄生
容量である。
【0007】このような光センサにあっては、図2に示
すように、入射光量に応じてフォトダイオードPDに流
れるセンサ電流が多いときには対数出力特性を示すが、
センサ電流が少ないときにはフォトダイオードPDの寄
生容量Cの充電に応答遅れを生じてほぼ線形の非対数出
力特性を示すようになっている。図中、WAは非対数応
答領域を示し、WBは対数応答領域を示している。
【0008】トランジスタQ1の対数動作としては、以
下のとおりである。
【0009】いま、トランジスタQ1のゲート電圧VG
をそのドレイン電圧VD以下の値に設定して、トランジ
スタQ1を弱反転状態で動作させると、入射光Lsによ
って生じた電荷が、フォトダイオードPDの電圧がトラ
ンジスタQ1のしきい値以下になると、トランジスタQ
1のドレインDに排出されるようになり(オーバフロー
ドレイン動作)、対数出力特性を示すようになる。
【0010】図5は、オーバフロードレインが動作して
いるときの入射光Lsの入射時におけるトランジスタQ
1の電荷qの流れによる動作状態を模擬的に示してい
る。
【0011】このような対数出力特性を有している光セ
ンサでは、入射光量が少ない場合、トランジスタQ1の
抵抗値が対数的に増大するために、センサ信号の出力に
際して寄生容量Cに蓄積された電荷の放電速度が遅くな
り、残留電荷による容量性の残像が生じてしまう。その
場合、明るい状態から急に暗い状態に変化したときに残
像の発生が顕著となり、また、暗い背景に動く輝点があ
ると尾を引く現象が顕著に表われることになる。
【0012】このように構成された光センサにあって、
特に本発明では、パルス発光源1を設けて、光検知に先
がけてパルス光PLを照射することによりフォトダイオ
ードPDの寄生容量Cに電荷を注入して、残留電荷によ
る容量性残像の発生を抑制するようにしている。
【0013】なお、対数出力特性をもった光センサにバ
イアスライトを常に照射するようにすると、そのバイア
スライトよりも光量が少ない入射光Lsで発生するよう
な残像が抑制されるが、入射光Lsの光量が少ない領域
での出力感度が低下してしまうという問題が生ずる。す
なわち、バイアスライトの光量を1とすると、それ以下
の光量lが入射した場合に、Log(1+l)となっ
て、Log(l)のときよりも感度が大きく減衰する。
そして、バイアスライトの光量よりも暗い被写体を撮像
することができなくなってしまう。
【0014】そのため、常にバイアスライトを照射する
のではなく、光検知時の入射光Lsに応じたセンサ信号
の出力タイミングと同期して、光検知に先がけてパルス
光PLを照射することによりフォトダイオードPDの寄
生容量Cに一時的に過剰な電荷を注入するようにすれ
ば、その後の入射光Lsによる電荷の蓄積期間で行われ
る過剰電荷の排出量と入射光Lsによる電荷の発生量と
の割合が常に同じ飽和状態になることから、一定の放電
曲線による出力特性が得られるようになり、それにより
センサ信号の出力感度を低下させるようなことなく残像
の発生を抑制できるようになる。
【0015】図4は、そのときの一定の放電曲線による
出力特性を示している。図中、aはパルス光PLの照射
による注入電荷と入射光Lsによる発生電荷との関係に
よる放電曲線を、bは明時における信号出力の状態を、
cは暗時における信号出力の状態を示している。t1は
発光期間tmをもったパルス光PLの照射時点、t2は
センサ信号の出力時点であり、Tは光検知時の入射光L
sによる寄生容量Cにおける電荷の蓄積期間である。
【0016】図3は、その光センサにおける各部信号の
タイムチャートを示している。ここで、t1はパルス光
PLの照射による初期化のタイミングを、t2はセンサ
信号の出力のタイミングを示している。初期化時に、パ
ルス光PLを照射して寄生容量Cに残留する電荷を放電
させる期間tmとしては、例えば1画素分の読出し速度
が100nsec程度の場合に5μsec程度に設定さ
れる。図中、TはフォトダイオードPDの寄生容量Cに
おける電荷の蓄積期間を示しており、その蓄積期間Tは
NTSC信号の場合1/30sec (または1/6s
ec)程度となる。
【0017】光検知に先がけてパルス光PLが照射され
ると、フォトダイオードPDの寄生容量Cにおける残留
電荷の上に大量の新たな電荷が注入されることになる。
【0018】図6は、そのときのトランジスタQ1にお
ける電荷qの流れによる動作状態を模擬的に示してい
る。この場合、被写体からの入射光Lsにパルス光PL
が重畳した光PLsがフォトダイオードPDに照射され
て、大量の電荷qがソースSから注入され、電荷qがド
レインDから排出されている。
【0019】そして、バルス光PLの照射が終了するこ
とにより残留電荷が放電して初期化が行われると、その
時点から直ちに入射光Lsの光量に応じた電荷の蓄積が
行われ、先のパルス光PLの照射時に蓄積され電荷が放
電されて、入射光Lsによって発生する電荷とつり合う
点に向けて信号の収束が行われる(図4参照)。その場
合、放電曲線は入射光Lsの光量によって一定の曲線を
描くため、残像を生ずることがなくなる。そして、周期
的に初期化を行って、所定のタイミングでセンサ信号の
読出しを行わせることにより、毎回同じ出力値が得られ
て、入射光量に対する出力値の再現性が確保される。
【0020】図7は、光検知に先がけてパルス光PLを
照射したときの光センサにおけるセンサ電流に対するセ
ンサ出力の特性を示している。この場合には、入射光L
sによる電荷蓄積の初期の段階で、オーバフロードレイ
ン動作が行われるだけの電荷がパルス光PLの照射によ
って既に蓄積されているので、センサ電流が少ない場合
にあってもセンサ出力がほぼ対数応答特性を示すことに
なる。
【0021】このように、本発明によれば、光検知に先
がけてパルス光を照射することによりフォトダイオード
PDの寄生容量Cに残留する電荷を放電させて初期化を
行わせるだけで、残像の発生が抑制された光検知を行わ
せることができるようになる。
【0022】したがって、従来のように、電源電圧を低
インピーダンスをもって段階的に切り換える電圧切換回
路を設けて、初期化時にトランジスタQ1のドレイン電
圧VDを光検知時の定常値よりも低い値に切り換えるよ
うにする場合に比して、所定のタイミングでパルス光を
照射するだけの簡単な手段を設けるだけで初期化を容易
に行わせることができる。
【0023】図8は、横形オーバフロードレイン構造を
有するCCD転送型の固体撮像素子としての光センサを
示している。
【0024】図9は、その横形オーバフロードレインに
おける入射光Lsの入射時における電荷qの流れによる
動作状態を模擬的に示している。
【0025】その横形オーバフロードレイン構造を有す
るCCD転送型の光センサは、入射光Lsによってフォ
トダイオード部で発生した電荷は、電圧がMOSトラン
ジスタ部のしきい値以下になるとそのトランジスタ部の
ドレインに排出されるようになる。
【0026】その際、フォトダイオード部の寄生容量に
電荷がない状態からフォトダイオード部の電圧がトラン
ジスタ部のしきい値と同じになるまでは、センサ出力は
入射光量に比例したほぼ線形の非対数特性を示すように
なる(図2のWA領域)。そして、フォトダイオード部
の電圧がトランジスタ部のしきい値よりも低くなると、
電荷がトランジスタ部のドレインに排出されてオーバフ
ロードレイン動作状態になる。このときのセンサ出力は
トランジスタ部をサブスレッショルド領域で利用するこ
とから、対数出力特性を示すようになる(図2のWB領
域)。
【0027】したがって、先にバルス光を照射すること
によって電荷を大量に発生させて、入射光Lsによる電
荷蓄積の初期の段階からオーバフロードレインが動作す
るような状況にしておけば、オーバフロードレインに利
用するトランジスタ部のサブスレッショルド領域の特性
から、センサ出力は対数特性を示すようになる(図7参
照)。その場合、入射光量が少ない領域では完全な対数
特性とはならない。
【0028】図10は、縦形オーバフロードレイン構造
を有するCCD転送型の固体撮像素子としての光センサ
を示している。
【0029】図11は、その縦形オーバフロードレイン
における入射光Lsの入射時における電荷qの流れによ
る動作状態を模擬的に示している。
【0030】その縦形オーバフロードレイン構造を有す
るCCD転送型の光センサは、入射光Lsによってフォ
トダイオード部で発生した電荷は、電圧がnpnトラ
ンジスタ部のしきい値以下になるとそのトランジスタ部
のドレインに排出されるようになる。
【0031】その際、フォトダイオード部の寄生容量に
電荷がない状態からフォトダイオード部の電圧がトラン
ジスタ部のしきい値と同じになるまでは、センサ出力は
入射光量に比例したほぼ線形の非対数特性を示すように
なる(図2のWA領域)。そして、フォトダイオード部
の電圧がトランジスタ部のしきい値よりも低くなると、
電荷がトランジスタ部のドレインに排出されてオーバフ
ロードレイン動作状態になる。このときのセンサ出力は
トランジスタ部をサブスレッショルド領域で利用するこ
とから、対数出力特性を示すようになる(図2のWB領
域)。
【0032】したがって、先にバルス光を照射すること
によって電荷を大量に発生させて、入射光Lsによる電
荷蓄積の初期の段階からオーバフロードレインが動作す
るような状況にしておけば、オーバフロードレインに利
用するトランジスタ部のサブスレッショルド領域の特性
から、センサ出力は対数特性を示すようになる(図7参
照)。その場合、入射光量が少ない領域では完全な対数
特性とはならない。
【0033】通常、CCD転送型の光センサでは、入射
光Lsによる光電荷を蓄積するに際して、初期の蓄積電
荷は零になっている。それは、図12に示すように、光
電荷の蓄積の開始時に、初期電荷をドレインに排出する
ことで蓄積電荷のクリアを行うことによる。または、図
13に示すように、センサ信号の読み出しのために蓄積
電荷が転送された結果として蓄積電荷がクリアされると
いうことによる。したがって、初期の蓄積電荷がないこ
とから、オーバフロードレインが機能するまではセンサ
出力は直線的に変化することになる(図2のWA領
域)。図14は、その初期時における電荷の蓄積状態を
模擬的に示している。
【0034】したがって、入射光Lsによる光検知の初
期の段階で電荷の蓄積が行われることなく、その初期の
段階からオーバフロードレインが機能するようにパルス
光PLを照射して大量の電荷を発生させておくようにす
れば(図6参照)、最初から対数特性をもったセンサ出
力が得られるようになる(図7参照)。
【0035】図15は、対数出力特性を有する光センサ
を画素単位に用いたイメージセンサ2を用いた撮像装置
の構成例を示している。
【0036】それは、被写体3からの光をレンズ4をイ
メージセンサ2に入射させて、駆動制御回路5の制御下
でイメージセンサ2から各画素のセンサ信号を時系列的
に読み出して、そのセンサ信号を信号処理回路6により
を多値量子化するようにした撮像装置にあって、パルス
発光源1を設けて、駆動制御回路5によりイメージセン
サ2の駆動と同期をとりながら所定のタイミングでパル
ス発光させて、そのパルス光をイメージセンサ2に照射
させて各画素の初期化を行わせるようにしている。
【0037】パルス発光源1としては、パルス発光が可
能なLEDやレーザダイオードなどが用いられる。ま
た、電球光をチョッパなどを用いてパルス光とするよう
にしてもよい。
【0038】ここでは、塵挨によってパルス光の光量が
低下することがないように、パルス発光源1をレンズ4
の内側の撮像装置内部に一体的に設けてコンパクト化を
図るようにしている。
【0039】また、パルス発光源1に可視光以外の光、
例えば近赤外線や近紫外線のようなイメージセンサ2に
は感度を有するが人間の目では感知できない光を発する
ものを用いるようにして、周期的に発光するパルス光が
レンズ4を通して人間の目に触れることがないようにし
ている。
【0040】
【発明の効果】以上、本発明は、光検知時の入射光量に
応じて光電変換素子に流れるセンサ電流をトランジスタ
のオーバフロードレイン動作による弱反転状態で対数特
性をもって電圧信号に変換して、その変換された電圧信
号に応じたセンサ出力を生ずるようにした光センサにあ
って、光検知に先がけてパルス光を照射することにより
光電変換素子の寄生容量に電荷を注入して初期化する手
段を設けたもので、簡単な手段によって容量性の残像の
発生を有効に抑制することができるという利点を有して
いる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光センサの一実施例を示す電気回
路図である。
【図2】その光センサにおけるパルス光照射による初期
化を行わないときのセンサ電流に対するセンサ信号の出
力特性を示す図である。
【図3】その光センサにおける各部信号のタイムチャー
トである。
【図4】光センサにパルス光を照射したときの信号出力
の放電曲線を示す特性図である。
【図5】光センサにおけるオーバフロードレインが動作
しているときの電荷の流れによる動作状態を模擬的に示
す図である。
【図6】光センサにおけるパルス光を照射したときの電
荷の流れによる動作状態を模擬的に示す図である。
【図7】光検知に先がけてパルス光を照射したときの光
センサにおけるセンサ電流に対するセンサ出力の特性を
示す図である。
【図8】横形オーバフロードレイン構造を有するCCD
転送型の固体撮像素子としての光センサを示す図であ
る。
【図9】横形オーバフロードレインにおける電荷の流れ
による動作状態を模擬的に示す図である。
【図10】縦形オーバフロードレイン構造を有するCC
D転送型の固体撮像素子としての光センサを示す図であ
る。
【図11】縦形オーバフロードレインにおける電荷の流
れによる動作状態を模擬的に示す図である。
【図12】光電荷の蓄積の開始時に蓄積電荷をドレイン
に排出するときの電荷の流れによる動作状態を模擬的に
示す図である。
【図13】センサ信号の読み出しのために蓄積電荷が転
送されるときの電荷の流れによる動作状態を模擬的に示
す図である。
【図14】初期時における電荷の蓄積状態を模擬的に示
す図である。
【図15】対数出力特性を有する光センサを画素単位に
用いたイメージセンサを用いた撮像装置の構成例を示す
ブロック図である。
【図16】従来の光センサを示す電気回路図である。
【図17】一般的な横形オーバフロードレイン構造を示
す図である。
【図18】一般的な縦形オーバフロードレイン構造を示
す図である。
【図19】一般的な横形オーバフロードレイン構造にお
ける電荷の流れによる動作状態を模擬的に示す図であ
る。
【図20】一般的な縦形オーバフロードレイン構造にお
ける電荷の流れによる動作状態を模擬的に示す図であ
る。
【符号の説明】
1 パルス発光源 2 イメージセンサ 3 被写体 4 レンズ 5 駆動制御回路 6 信号処理回路 Q1 対数特性変換用のトランジスタ Q2 増幅用のトランジスタ Q3 出力用のトランジスタ PD フォトダイオード C 寄生容量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4M118 AA02 AA05 AA10 AB01 BA14 BA16 CA03 CA07 DA02 FA06 FA13 FA14 GA05 5C024 AX01 CX43 EX00 GX03 GZ02 5F049 MA01 NA04 NB05 RA08 5J092 AA01 AA56 CA00 CA18 FA00 HA10 HA19 HA29 HA44 MA21 QA02 TA01 TA02 TA06 UL02

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光検知時の入射光量に応じて光電変換素
    子に流れるセンサ電流をトランジスタのオーバフロード
    レイン動作による弱反転状態で対数特性をもって電圧信
    号に変換して、その変換された電圧信号に応じたセンサ
    出力を生ずるようにした光センサにおいて、光検知に先
    がけてパルス光を照射することにより光電変換素子の寄
    生容量に電荷を注入して初期化する手段を設けたことを
    特徴とする光センサ。
  2. 【請求項2】 光センサがCCD転送型のものであるこ
    とを特徴とする請求項1の記載による光センサ。
  3. 【請求項3】 パルス光が可視光以外の波長を有してい
    ることを特徴とする請求項1の記載による光センサ。
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