JP5012188B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
まず、以下の各実施形態で共通となる固体撮像装置の構成について、図1を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態である二次元のCMOS型固体撮像装置の一部の構成を概略的に示している。
本発明の第1の実施形態について、図面を参照して説明する。図2は、本実施形態における固体撮像装置内に設けられる各画素の構成を示す図である。尚、図2に示す画素の構成において、図14に示す画素構成と同一の部分については、同一の符号を付してその詳細な説明については省略する。
本発明の第2の実施形態について、図面を参照して説明する。図4は、本実施形態における固体撮像装置内に設けられる各画素の構成を示す図である。尚、図4に示す画素の構成において、図2に示す画素構成と同一の部分については、同一の符号を付してその詳細な説明については省略する。
本発明の第3の実施形態について、図面を参照して説明する。図6は、本実施形態における固体撮像装置内に設けられる各画素の構成を示す図である。尚、図6に示す画素の構成において、図16に示す画素構成と同一の部分については、同一の符号を付してその詳細な説明については省略する。
本発明の第4の実施形態について、図面を参照して説明する。図8は、本実施形態における固体撮像装置内に設けられる各画素の構成を示す図である。尚、図8に示す画素の構成において、図6に示す画素構成と同一の部分については、同一の符号を付してその詳細な説明については省略する。
上述のように構成される画素を備えた固体撮像装置の第1の動作例について、図9のタイミングチャートに基づいて説明する。本動作例においては、信号φRDを常にハイとして、MOSトランジスタT12のドレインに一定の電圧値VPDが与えられる。
又、上述のように構成される画素を備えた固体撮像装置の第2の動作例について、図10のタイミングチャートに基づいて説明する。本動作例においては、第1の動作例と異なり、信号φRDをローとする期間を設ける。尚、本動作例において、第1の動作例と同一の動作状態については、その詳細な説明は省略する。
本発明の第5の実施形態について、図面を参照して説明する。図11は、本実施形態における固体撮像装置内に設けられる各画素の構成を示す図である。尚、図11に示す画素の構成において、図4に示す画素構成と同一の部分については、同一の符号を付してその詳細な説明については省略する。
12 水平走査回路
13−1〜13−n ライン
14−1〜14−m 出力信号線
15 電源ライン
16−1〜16−m 定電流源
17−1〜17−m サンプルホールド回路
18 補正回路
20 P型層
21 N型埋込層
22,24 絶縁膜
23,25 ゲート電極
30 P型基板
31 P型ウェル層
FD N型浮遊拡散層
PD フォトダイオード
PDa 埋込型フォトダイオード
T1〜T6,T11〜T13 MOSトランジスタ
T2a,T5a,T11a,T13a MOSトランジスタ
TG 転送ゲート
RG リセットゲート
Claims (6)
- 入射光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と、該光電変換部からの電気信号が制御電極に入力される積分用トランジスタと、該積分用トランジスタの第1電極に一端が接続されて前記積分用トランジスタと積分動作を行う積分用容量素子と、を有する複数の画素を備える固体撮像装置において、
前記画素が、前記積分用トランジスタの制御電極に対して前記積分用トランジスタをOFFとする制御信号を与えて、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を制御する積分動作制御部を、備え、
前記複数の画素全てに対して、前記積分動作制御部によって前記積分用トランジスタをONとする期間を同一期間とし、
前記複数の画素全てにおいて、前記光電変換部による光電変換動作、及び、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を、同一タイミングで行い、
前記光電変換部が、
第1電極に直流電圧が印加されるとともに、入射光量に応じた光電荷を発生する光電変換素子と、
第1電極、第2電極、及び制御電極を備えるとともに、該光電変換素子の第2電極に第1電極が接続されることで該光電変換素子と直列に接続され、前記光電変換素子の第2電極との接続ノードに前記積分用トランジスタの制御電極に与える前記入射光量に応じた電気信号を出力する光電変換用トランジスタと、
を備え、
前記光電変換用トランジスタの制御電極に与えられる電圧値を一定とし、
前記積分動作制御部として、前記積分用トランジスタの制御電極に前記制御信号を与えるスイッチ素子を備え、
前記スイッチ素子がOFFであるとき、前記積分用トランジスタが、前記光電変換用トランジスタからの前記入射光量に応じた電気信号に基づいて駆動し、
前記スイッチ素子がONであるとき、前記制御信号が前記積分用トランジスタに与えられて、前記積分用トランジスタがOFFとなり、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作が停止することを特徴とする固体撮像装置。 - 入射光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と、該光電変換部からの電気信号が制御電極に入力される積分用トランジスタと、該積分用トランジスタの第1電極に一端が接続されて前記積分用トランジスタと積分動作を行う積分用容量素子と、を有する複数の画素を備える固体撮像装置において、
前記画素が、前記積分用トランジスタの制御電極に対して前記積分用トランジスタをOFFとする制御信号を与えて、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を制御する積分動作制御部を、備え、
前記複数の画素全てに対して、前記積分動作制御部によって前記積分用トランジスタをONとする期間を同一期間とし、
前記複数の画素全てにおいて、前記光電変換部による光電変換動作、及び、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を、同一タイミングで行い、
前記光電変換部が、
第1電極に直流電圧が印加されるとともに、入射光量に応じた光電荷を発生する光電変換素子と、
第1電極、第2電極、及び制御電極を備えるとともに、該光電変換素子の第2電極に第1電極が接続されることで該光電変換素子と直列に接続され、前記光電変換素子の第2電極との接続ノードに前記積分用トランジスタの制御電極に与える前記入射光量に応じた電気信号を出力する光電変換用トランジスタと、
を備え、
前記光電変換用トランジスタの制御電極に与えられる電圧値を一定とするとともに、
前記光電変換用トランジスタの第2電極に、第1電圧値及び第2電圧値による状態切換信号が与えられることで、前記光電変換用トランジスタが、前記積分動作制御部としても動作し、
前記状態切換信号が第1電圧値であるとき、前記積分用トランジスタが、前記光電変換用トランジスタからの前記入射光量に応じた電気信号に基づいて駆動し、
前記状態切換信号が第2電圧値であるとき、前記光電変換用トランジスタを通じて前記制御信号が前記積分用トランジスタに与えられて、前記積分用トランジスタがOFFとなり、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作が停止することを特徴とする固体撮像装置。 - 入射光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と、該光電変換部からの電気信号が制御電極に入力される積分用トランジスタと、該積分用トランジスタの第1電極に一端が接続されて前記積分用トランジスタと積分動作を行う積分用容量素子と、を有する複数の画素を備える固体撮像装置において、
前記画素が、前記積分用トランジスタの制御電極に対して前記積分用トランジスタをOFFとする制御信号を与えて、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を制御する積分動作制御部を、備え、
前記複数の画素全てに対して、前記積分動作制御部によって前記積分用トランジスタをONとする期間を同一期間とし、
前記複数の画素全てにおいて、前記光電変換部による光電変換動作、及び、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を、同一タイミングで行い、
前記光電変換部が、
第1電極に直流電圧が印加されるとともに、入射光量に応じた光電荷を発生する光電変換素子と、
第1電極、第2電極、及び制御電極を備えるとともに、該光電変換素子の第2電極に第1電極が接続されることで該光電変換素子と直列に接続され、前記光電変換素子の第2電極との接続ノードに前記積分用トランジスタの制御電極に与える前記入射光量に応じた電気信号を出力する光電変換用トランジスタと、
を備え、
前記光電変換用トランジスタの制御電極に、第1電圧値及び第2電圧値による状態切換信号が与えられることで、前記光電変換用トランジスタが、前記積分動作制御部としても動作し、
前記状態切換信号が第1電圧値であるとき、前記積分用トランジスタが、前記光電変換用トランジスタからの前記入射光量に応じた電気信号に基づいて駆動し、
前記状態切換信号が第2電圧値であるとき、前記光電変換用トランジスタを通じて前記制御信号が前記積分用トランジスタに与えられて、前記積分用トランジスタがOFFとなり、前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作が停止することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記光電変換素子と前記光電変換用トランジスタとの間の電気的な接離を行う電荷転送用スイッチ素子を備え、
前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を行うとき、前記電荷転送用スイッチ素子をONとすることによって、前記光電変換素子と前記光電変換用トランジスタとの間の電気的に接続し、
前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を停止するとき、前記電荷転送用スイッチ素子をOFFとすることによって、前記光電変換素子と前記光電変換用トランジスタとの間の電気的に切断することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換素子で発生した光電荷を外部に強制的に放出させるリセット用スイッチ素子を備え、
前記積分用トランジスタと前記積分用容量素子とによる積分動作を停止するとき、前記リセット用スイッチ素子をONとすることによって、前記光電変換素子で発生した光電荷を外部に強制的に放出することを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。 - 前記画素と接続されて前記画素から電気信号が出力される出力信号線を備え、
前記画素が、
前記容量素子に現れる電気信号を増幅する増幅部と、
前記出力信号線に接続されて、該増幅部で増幅された電気信号を前記出力信号線に出力する読み出し用スイッチと、
を備えることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の固体撮像装置。
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